Sisteme integrate de conversie electromecanica Cursul 6

Cursul 6

Aplicaţii ale materialelor piezoelectrice

1.1 Aplicaţii potenţiale ale materialelor piezoelectrice

1.1.1 Transformatoare piezoelectrice

Una dintre aplicaţiile cele mai simple ale ceramicii piezoelectrice este aprinzătorul de gaz.
Înalta tensiune generată în ceramica piezoelectrică sub acţiunea unei forţe mecanice poate
cauza apariţia unei scântei şi astfel aprinderea gazului (fig.1.1).

Fig. 1.1 Aprinzător de gaze (a); Tensiunea de ieşire (b)

Există două moduri de aplicare a forţei: bruscă sau cu increment constant.

Când terminalele de intrare şi de ieşire sunt ataşate piezo-dispozitivului, iar tensiunea de
intrare/ieşire este schimbată datorită transferului de energie a vibraţiilor, dispozitivul este
denumit transformator piezoelectric. Au existat câteva variante de astfel de transformatoare
studiate, propuse de C.A.Rosen (Rosen, 1957): fig.1.2 arată o structură fundamentală în care două
părţi cu polarităţi diferite coexistă într-o bara piezoelectrică. Este generată o undă permanentă cu
lungimea de undă egală cu lungimea mostrei, o porţiune de jumătate de undă existând atât în
partea de intrare (l1) cât şi în partea de ieşire (l2) a mostrei.

Fig. 1.2 Transformator piezoelectric

1
Sisteme integrate de conversie electromecanica Cursul 6

Rata de creştere a tensiunii r este dată pentru starea neîncărcată de ecuaţia:

E E
4 l 2 2 s33 / s11
r k k Q
31 33 m (1.1)
2 t 1  s33
D
/ s11E

Transformatoarele piezoelectrice au fost folosite mai întâi în televiziunea color,

datorită dimensiunilor reduse în comparaţie cu cele ale transformatoarele clasice pe bază
de bobine.

1.1.2 Vibratoare piezoelectrice

În utilizarea dispozitivelor de vibraţii mecanice precum filtre şi oscilatoare, forma şi
dimensiunile dispozitivului sunt foarte importante, şi trebuie luat în considerare atât materialul
ceramic cât şi modul de vibraţie.
Frecvenţa de rezonanţă a unei mostre centimetrice în stare îndoită are valori între 100-1000
Hz mult mai scăzută decât în starea iniţială de grosime (neîndoită) (100 kHz).
Pentru aceste aplicaţii vibrante, materialul piezo-ceramic mai degrabă necesită un factor
mecanic Qm foarte bun, decât un coeficient piezoelectric d mare; adică ceramicile piezoelectrice
tari sunt preferate.

Fig. 1.3 Sonerie piezoelectrică

Pentru difuzoare şi sonerii care fac parte din gama audibilă pentru oameni, sunt folosite
dispozitive cu frecvenţă de rezonanţă scăzută (kHz). Ca exemple, am putea da: structura bimorfă
care constă în două plăcuţe piezo-ceramice alăturate şi o ramificaţie piezoelectrică constând
dintr-un piezo-dispozitiv şi o ramificaţie de metal. O sonerie piezoelectrică (fig.1.3) are avantaje
ca: randament electric mare, dimensiuni reduse şi durată mare de funcţionare.

1.1.3 Traductoare ultrasonice

Undele ultrasonice sunt folosite acum în diverse domenii. Sursa de sunet este realizată din
ceramică piezoelectrică precum şi din materiale magnetostrictive. Piezoceramicile sunt, în
general, superioare atât în eficienţă cât şi în dimensiuni materialelor magnetostrictive. Sunt
preferate, în special, materialele piezoelectrice dure, cu coeficienţi Qm mari.
De obicei, este folosit un mediu lichid pentru a transmite energia sunetului.

2
Sisteme integrate de conversie electromecanica Cursul 6

Maşinile de spălat ultrasonice şi microfoanele ultrasonice pentru comenzi de la

distanţe scurte sunt larg răspândite în fabrici, iar detectorii de explorare ultrasonici sunt
folosiţi în electronica medicală.

1.1.4 Dispozitive cu unde acustice de suprafaţă

Filtrele cu unde acustice de suprafaţă (SAW) au fost foarte utilizate pentru frecvenţa
intermediară a semnalului de transfer al imaginii în televiziunea color, datorită excelentei
caracteristici de temporizare (intervalul de întârziere).
Structura fundamentală a unui filtru SAW este arătată în fig.1.4, unde o pereche de electrozi
intercalaţi sunt aplicaţi pe un cristal piezoelectric. O undă de suprafaţă generată la electrodul de
intrare este transferată şi culeasă la partea de ieşire ca semnal electric. Dispozitivul este foarte
folositor ca filtru de înaltă frecvenţă.

Fig. 1.4 Structura fundamentală a unui filtru SAW

În prezent, patru materiale sunt utilizate la fabricarea dispozitivelor SAW, Pb(Zr,Ti)O 3

ceramica care are la bază (PZT), pelicule magnetice subţiri de ZnO, monocristalele LiNbO 3 şi
LiTaO3, ale căror caracteristici se găsesc în tabelul 3.

Un coeficient mic de temperatură a frecvenţei este preferat; acesta este determinat de

sumarea coeficientului de temperatură al vitezei sunetului şi coeficientul dilatării termice a
ceramicii.
Când un material policristalin este folosit, el trebuie să fie făăa pori şi foarte omogen.
Mostrele trebuie să fie extrem de reproductibile, şi necesită tehnologie avansată de
preparare fină a ceramicii.

3
Sisteme integrate de conversie electromecanica Cursul 6

1.1.5 Actuatoare piezoelectrice

În ultimii ani, nevoia de elemente mobile noi, în domenii precum optica, dispozitivele de
precizie şi motoarele mici, a crescut foarte mult. Cerinţele pentru procesare precisă a
dispozitivelor optice precum laserele şi camerele de luat vederi, împreună cu precizia de
poziţionare necesară în fabricarea microchipurilor semiconductoare sunt la nivel micrometric şi
sub-micrometric.
Cerinţele pentru un dispozitiv de poziţionare la scară micrometrică, fiabil, au motivat noi
domenii de activitate în dezvoltarea actuatoarelor ceramice care funcţionează pe principiul
sarcinii induse prin câmp electric.
Pentru aplicaţiile actuatorului, câmpuri electrice intense sunt aplicate materialului ( ≈ 1
kV/mm), şi, astfel, generând solicitări mari ( ≈ 10 MPa) şi eforturi ( ∆l/l ≈ 10‾ ³).
În consecinţă, în plus faţă de un răspuns electrostrictiv adecvat, este necesară o izolaţie
electrică bună şi o rezistenţă mecanică mare.
Ceramicile care au la bază titanat-zirconatul de plumb (PZT) sunt, în prezent, materialele
primare folosite pentru aplicaţiile piezoelectrice (Furuta, 1986). Compusul (Pb,La)
(Zr,Ti)O3(PLZT)(7/62/38) este un asemenea material. Curbele de efort pentru acest compus sunt
prezentate în fig.1.5,a.

Fig. 1.5 Efort indus de câmp în ceramici: a) material piezoelectric PLZT (7/62/38); b) material electrostrictiv

Când câmpul electric aplicat este mic, efortul indus este proporţional cu câmpul electric. Pe
măsură ce câmpul electric se măreşte (adică, mai mare de 100 V/mm), curba efortului deviază de
la tendinţa liniară şi apare un ciclu de histerezis semnificativ datorită inversării polarităţii. Acest
fapt limitează folosirea materialelor în aplicaţiile actuatorului care solicită o caracteristică de
răspuns liniară, fără histerezis.
În prealabil, electrostricţiunea, un fenomen secundar al cuplajului electromecanic, a fost
considerat ca un efect neglijabil, şi, în consecinţă, nu a fost studiat din punct de vedere practic.
Cercetări recente asupra ceramicii care are la bază PMN [Pb(Mg 1/3Nb 2/3)O3], au stârnit
totuşi interesul asupra materialelor electrostrictive.
Ceramicile bazate pe PMN arată eforturi considerabile, până la 0,1 % ( adică, la o mostră de
1 cm se poate observa o elongaţie de aproximativ 10 µm.
Altă caracteristică atractivă a acestor materiale o constituie absenţa aproape totală a
histerezisului (fig.1.5,b).
Actuatoarele piezoelectrice/electrostrictive pot fi clasificate în două categorii, în funcţie de
câmpul excitant aplicat dispozitivului şi în funcţie de natura efortului indus de acel câmp
(fig.1.6):

4
Sisteme integrate de conversie electromecanica Cursul 6

(1) Dispozitive cu deplasare rigidă, în care efortul este indus unidirecţional

de un câmp de curent continuu ;
(2) Dispozitive de efort rezonant, pentru care rezonanţa mecanică este
excitată de un câmp de curent alternativ.
Prima parte poate fi împărţită în alte două categorii:
(1) Convertoare servodeplasoare controlate printr-un sistem cu legătură
inversă, printr-un semnal poziţie-detecţie;
(2) Motoare cu impuls de comandă care operează într-un mod de comutare
simplu deschis/închis (Uchino, 1986).

Fig. 1.6 Clasificarea actuatorilor piezoelectrici/electrostrictivi: E - câmpul electric; x -

solicitarea

Cerinţele materialului pentru cele trei clase de dispozitive sunt oarecum diferite şi, deci,
anumiţi compuşi vor fi potriviţi aplicaţiilor particulare. De exemplu, motorul ultrasonic necesită
un tip de material piezoelectric standard, cu coeficient mecanic Qm mare.
Convertorul servodeplasare este afectat de ciclul de histerezis, şi, deci, un electrostrictor
PMN este folosit pentru acest dispozitiv.
Motorul cu impuls de comandă, necesită un material cu permitivitate scăzută, tinzând mai
degrabă către un răspuns rapid decât către un ciclu de histerezis mic, de aceea, materialele
piezoelectrice PZT moi sunt mai potrivite.
În secţiunea ce urmează, trei aplicaţii tipice vor fi examinate şi discutate.

1.1.5.1 Oglinzi deformabile

În domeniul procesării informaţiilor optice, oglinzile deformabile au fost alese pentru a
controla faza incidenţei luminii. Oglinda deformabilă poate fi făcută mai concavă sau mai
convexă, dupa cum este nevoie. Acest tip de oglindă, care îşi găseşte aplicaţii în observatoare
şi telescoape, corectează efectiv distorsiunile imaginilor, datorate fluxurilor curenţilor de
aer.
Un exemplu de oglindă deformabilă este una multistrat, bidimensională bimorfă. Principiul
de funcţionare al acestei oglinzi este similar unui dispozitiv bimetal, care constă din două lamele

5
Sisteme integrate de conversie electromecanica Cursul 6

de metal, cu coeficienţi de dilatare termică diferiţi, strânse împreună. Lamelele se vor îndoi odată
cu modificarea temperaturii.
Când trei straturi subţiri de ceramică electrostrictivă (PMN) sunt alăturate suprafeţei
elastice a unei oglinzi, suprafaţa acesteia este deformată în diferite moduri corespunzător
eforturilor induse în straturile PMN. Natura deformaţiei este determinată de configurarea
electrozilor şi distribuţia câmpului electric aplicat. Au fost proiectate modele de probă, astfel ca
primul strat, cu configuraţia electrodului uniformă, produce o deformare sferică (adică,
refocalizează), iar cel de-al doilea strat, cu configuraţia electrodului în diviziuni de 6 minute
corectează erorile mari.

1.1.5.2 Imprimante matriciale

Printre diversele tipuri de imprimante care sunt folosite în prezent, imprimantele matriciale
sunt utilizate foarte des. Fiecare caracter format de o asemenea imprimantă este iniţial compus
dintr-o matrice 9 x 9. O panglică de printare este lovită de o grupare multifilară. O schemă a
imprimantei apare în fig.1.7,a .

Fig. 1.7 Structura capului de printare (a) şi cap de printare de tip piezoelectric diferenţial (b)

Actuatoarele simple presupun o configuraţie multistrat de aproximativ 100 de foiţe fine din
ceramică piezoelectrică, care sunt suprapuse.
Avantajele folosirii unui actuator multistrat pentru acest tip de aplicaţie, includ: tensiune de
comandă scăzută, deplasări mari şi o eficienţă mare a conversiei electro-mecanice. Acest actuator
este instalat într-o unitate specială de amplificare a deplasării (fig.1.7,b), pentru a comanda pinii
de imprimare. Această unitate de amplificare este bazată pe un braţ articulat monolitic cu o
amplificare de 30, realizând astfel o deplasare de 300 µm şi o eficienţă a transferului de energie
mai mare de 50 %.
Avantajele imprimantelor cu materiale piezoelectrice comparate cu cele de tip
electromagnetic convenţionale sunt: viteza de imprimare mai mare cu un ordin de mărime,
consum de energie mai mic cu un ordin de mărime, zgomot de printare redus.

1.1.5.3 Motoare ultrasonice

Au fost făcute eforturi pentru a dezvolta vibratoare ultrasonice de mare putere pentru
a înlocui motoarele electromagnetice convenţionale.
În particular, au fost cercetate două actuatoare pentru această aplicaţie: unul de tip cuplaj
vibrant şi altul de tip undă de suprafaţă (Akiyama, 1986).
Modelul de bază a tipului cuplajului vibrant este prezentat în fig.1.8.

6
Sisteme integrate de conversie electromecanica Cursul 6

Fig. 1.8 Structura de bază a unui cuplaj vibrator al unui motor ultrasonic

Vibratorul piezoelectric tip Langevin generează o mişcare eliptică uniformă în vârful piesei
vibratoare. Când se pune în contact cu un rotor la un unghi mic, presa vibratoare generează un
cuplu de rotaţie.
Acest model simplu are totuşi câteva neajunsuri. Deteriorarea rotorului în punctul de
contact, datorată frecării mecanice şi lipsei de control în ambele direcţii de funcţionare sunt două
dintre problemele serioase ale acestui prototip.
Problema frecării este oarecum uşurată prin cuplarea fermă prin presiune a părţii vibrante
cu rotorul, pentru a preveni, pe cât posibil, alunecarea în timpul funcţionării.
Modelul din fig.1.9 este un model modificat în sensul acesta (Kumada, 1985). La o viteză
de rotaţie de 600 rpm, motorul are caracteristici de performanţă care depăşesc motoarele
electromagnetice clasice cu un cuplu de rotaţie de 13 kgf · cm ( ≈ 1.3 Nm) şi un randament al
conversiei energiei de 80 %.

Fig. 1.9 Motor ultrasonic şi o viziune grosolană a cuplului vibrator

Celălalt tip de motor utilizează vibraţii ale undelor de suprafaţă. Principiul de funcţionare a
acestui dispozitiv este ilustrat în fig.1.10.

7
Sisteme integrate de conversie electromecanica Cursul 6

Fig. 1.10 Principiul de funcţionare a unui motor liniar cu undă de suprafaţă (propagarea transversală a undei
fiind excitată pe un corp elastic)

Datorită undei elastice propagate, indusă de elementul piezoelectric, un cursor în contact cu

suprafaţa ″ondulată″ a corpului elastic este mişcat în direcţia indicată. Sunt posibile motoare de
acest tip atât rotaţionale cât şi liniare.
Structura unui motor rotaţional cu unde de suprafaţă este prezentată în fig.1.11.

Fig. 1.11 Exemplu de structură a unui motor rotaţional cu undă de suprafaţă

Deşi randamentul conversiei energiei (30 %) cât şi cuplul de rotaţie (0.5 kgf · cm) sunt
destul de scăzute în comparaţie cu primul tip de motor, avantajul acestuia constând în
posibilitatea de rotaţie în ambele sensuri şi dimensiuni reduse, făcându-l astfel potrivit
pentru montarea în aparatele video (VTR) sau camerele video, ca şi dispozitiv de focalizare
automată.

1.1.6 Micromotoare piezoelectrice. Aspecte generale

În gama dimensiunilor centimetrice şi milimetrice, motoarele piezoelectrice constituie o
alternativă performantă în raport cu soluţiile clasice, realizate pe baza efectului magnetic.
Debutul acestor motoare a fost înregistrat în perioada anilor '70 în SUA. A urmat, apoi, o
spectaculoasă dezvoltare în Japonia, în perioada anilor '80. Mai tarziu, în perioada anilor '90,

8
Sisteme integrate de conversie electromecanica Cursul 6

acest motor a început să fie studiat şi apreciat pentru calităţile sale deosebite şi în Europa. În
fig.1.12 este prezentat un model de vibromotor piezoelectric liniar, cu undă progresivă.

Fig. 1.12 Vibromotor piezoelectric liniar cu undă progresivă

Un motor piezoelectric este rezultatul aplicării efectului piezoelectric invers, prin care
realizează conversia unei mişcări vibratorii, bazată pe deformarea alternativă a unei structuri
elastice, în mişcare continuă, liniară sau de rotaţie. Spre deosebire de motoarele clasice, bazate pe
″acţiunea de la distanţă″ a câmpurilor magnetice, respectiv electrice, funcţionarea motoarelor
piezoelectrice presupune transmiterea energiei de la stator către partea mobilă printr-un contact
direct. Altfel spus, există posibilitatea transmiterii prin fricţiune a unei mişcări de acţionare către
partea mobilă. În fig.1.13 şi 1.14 sunt prezentate modele de vibromotoare liniare.

Fig. 1.13 Vibromotoare liniare: a) tipodimensiuni de vibromotoare liniare: 1- element alunecător; 2 – convertor
b)vibromotor liniar cu două elemente active: 1 - element alunecător; 2,3,4 - convertoare

Interesul manifestat pentru aceste noi servomotoare, în raport cu soluţiile clasice, se explică
prin anumite avantaje, dintre care, cel mai important consta în posibilitatea obţinerii unor cupluri
(forţe) ridicate la viteze relativ reduse. Aceste avantaje sunt prezentate în continuare.

9
Sisteme integrate de conversie electromecanica Cursul 6

 Motoarele piezoelectrice se caracterizează prin forţe, respectiv cupluri ridicate şi, în

acelaşi timp, prin viteze lente;
 Factorul de utilizare a masei motorului (raportul dintre forţa şi masa motorului) este
de aproximativ două ori mai mare decât la cele mai performante motoare cu magneţi permanenţi;
 Motoarele piezoelectrice prezintă un efect natural de frânare care se manifestă,
aproape instantaneu, la întreruperea alimentării statorului. Faptul menţionat reprezintă o
proprietate specifică micromotoarelor piezoelectrice;
 Prezintă avantajul unei funcţii electromecanice integrate, echivalentă unui
ansamblu compus dintr-un servomotor, un reductor şi o frână;
 Prezintă avantajul unei funcţionări silenţioase posibilă, în general, datorită
frecvenţelor ultrasonore ale vibraţiilor de lucru;
 Timpul de răspuns este foarte scurt (câteva milisecunde);
 Funcţionarea unui micromotor piezoelectric nu este influenţată de câmpuri
magnetice exterioare. Altfel spus, structura unui micromotor piezoelectric are un caracter
amagnetic;
 Motorul piezoelectric poate fi utilizat în cadrul unor sisteme de poziţionare cum ar fi
obiectivele fotografice şi anumite instalaţii robotice legate de: domeniul biomedical, dozatoare de
medicamente, acţionarea fotocopiatoarelor şi a altor instalaţii cu destinaţie birotică;
Există, de asemenea, câteva inconveniente care frânează, încă, dezvoltarea industrială a
acestor tipuri de micromotoare:
 Dezavantajul cel mai important consta în uzura rapidă a elementelor în contact. Acest
fenomen limitează, încă, durata de viaţă a acestor servomotoare;
 Materialele piezoelectrice utilizate - în prezent - la realizarea acestor micromotoare
prezintă un fenomen de oboseală care poate conduce la fisurarea materialelor active;
 Există, încă, probleme în legătură cu costul ceramicii piezoelectrice şi a lipirii acesteia în
structura vibrantă;
 Forţa şi cuplul maxim dezvoltat de un micromotor piezoelectric sunt dependente de
tensiunea de alimentare. Valoarea acesteia este limitată de pericolul străpungerii dielectrice a
materialului activ;
 Funcţionarea micromotoarelor piezoelctrice este influenţată de efectul termic;
 Materialele piezoelectrice îşi pierd proprietăţile, care asigură performanţele acestor
micromotoare, la temperaturi ce depăşesc punctul Curie (aproximativ 300°C). Aceste modificări
afectează: modulul lui Young, frecvenţa de rezonanţă şi randamentul;
 La tensiuni şi frecvenţe ridicate, în raport cu sursa, micromotorul piezoelectric se
comportă ca o sarcină capacitivă.
Transformarea mişcării alternative (de vibraţie) într-o mişcare continuă se bazează,
deopotrivă, pe traiectoriile imprimate punctelor materiale de la suprafaţa părţii vibrante şi care
acţionează prin frecare asupra părţii mobile, cât şi pe inerţia relativ mare a acesteia din urmă.
Mişcarea punctelor menţionate se manifestă printr-un ciclu orientat care cuprinde două faze: una
de extensie şi alta de retragere.
În plan cinematic, determinarea precisă a vitezei, imprimată părţii mobile, este, în general, o
operaţie foarte dificilă, dacă se ţine seama de alunecare şi de deformaţiile locale puse în joc, în
punctul de contact. Pentru a avea un punct de referinţă, trebuie precizat că pentru un rotor cu
diametrul de 60 mm, la frecvenţe de rezonanţă uzuale, viteza maximă de acţionare este de ordinul
a 0.5 m/s, iar cea de rotaţie de 160 rpm. Din punct de vedere dinamic, acţiunile ce se exercită
asupra părţii mobile în punctul de contact, sunt ilustrate în fig.1.14.

10
Sisteme integrate de conversie electromecanica Cursul 6

Fig. 1.14 Explicativă la dinamica acţionării prin mişcare vibrantă

Rezultanta F, în punctul de contact, se descompune într-o componentă normală F n,

echilibrată de compresiunea elementului elastic şi o componentă tangenţială Ft, corespunzătoare
efortului de acţionare, la care valoarea maximă este diferită, la limita de alunecare, prin relaţia:
Ft max  Fn , (1.2)
unde µ reprezintă coeficientul de frecare cinetică (cu valori inferioare coeficientului de frecare
statică şi dependent de condiţiile de contact). Îmbunătăţirea condiţiilor de contact este posibilă
prin utilizarea unui strat de fricţiune depus pe una sau pe alta din suprafeţele de contact. Alegerea
corectă a caracteristicilor materialului pentru stratul de contact permite o optimizare a
performanţelor micromotorului care reprezintă, în fapt, un compromis între forţa de acţionare
produsă şi viteza transmisă.
Un micromotor piezoelectric este constituit din două părţi principale: statorul, elementul
activ creator al mişcării şi partea mobilă care primeşte energia mecanică şi o transmite sarcinii
antrenate.
Dupa tipul vibraţiei, micromotoarele piezoelectrice pot fi cu undă staţionară şi cu undă
progresivă. În primul caz motorul piezoelectric este realizat pe baza unui oscilator Langevin, care
amplifică deformaţia elementului activ.
Figura 1.15 ilustrează un astfel de micromotor la care statorul este constituit dintr-un
oscilator Langevin realizat prin asocierea a două elemente piezoelectrice în formă de disc,
polarizate axial şi presate prin intermediul unor piese metalice cilindrice, plasate la extremităţi şi
legate între ele prin intermediul unui tirant axial.

Fig. 1.15 Schema de principiu a unui motor piezoelectric paralel cu suprafaţa activă a rotorului

11
Sisteme integrate de conversie electromecanica Cursul 6

În scopul amplificării deformaţiei la extremităţile ansamblului, lungimea totală se stabileşte

la jumătate din lungimea de undă corespunzătoare frecvenţei de rezonanţă. În acelaşi scop mai
este utilizat un adaptor mecanic, realizat sub forma unei piese mecanice cu profil exponenţial,
fixat la una din extremităţile dispozitivului şi având frecvenţa proprie egală cu cea a oscilatorului.
Într-o primă variantă, axa oscilatorului este orientată cu suprafaţa activă a rotorului. Rotorul fiind
antrenat în mişcare de rotaţie, într-un mod similar celui întâlnit la mecanismele cu roată dinţată şi
clichet. Presupunând că amplitudinea vibraţiei iniţiale este de 0.1 µm, prin cele două soluţii
expuse anterior, se poate obţine o amplificare de până la 50 µm.
În fig.1.16, axa oscilatorului este aproximativ normală la suprafaţa discului rotoric într-un
mod ce face ca extremitatea adaptorului să provoace o mişcare aproape fără alunecare cu ocazia
dilataţiei sale şi o contracţie fără atingerea rotorului. Extremitatea adaptorului, conţinând axa
oscilatorului, descrie o elipsă în planul xOy.

Fig. 1.16 Micromotor piezoelectric cu undă progresivă

Mişcarea extremităţii adaptorului în gol, este exprimată, în planul menţionat, prin ecuaţiile
parametrice:
x  X 0 sin( m t )
y  Y0 sin( m t )
Deformaţia longitudinală a extremităţii adaptorului rezultă din:
l  X 0    X 0  X 0 sin( m t 0 )  Y0 sin( m t 0   ) tan  ,
unde t 0 este momentul corespunzător realizării contactului prin adaptor şi rotor, ceea ce
corespunde intersecţiei planului discului rotoric cu elipsa de deplasare fără sarcină;  - unghiul
dintre axa oscilatorului şi axa de rotaţie. Forţa utilă rezultă din relaţia:
Fu  F sin  .
Cuplul instantaneu se calculează funcţie de durata contactului dintre adaptor şi rotor, în
timp ce cuplul mediu se calculează în funcţie de perioada de excitaţie. Funcţionarea motorului
piezoelectric deschis reprezintă, de fapt, funcţionarea unui motor sincron pas cu pas.
În cazul micromotorului piezoelectric din figura 1.16,a, antrenarea rotorului de către stator
se realizează prin fricţiune, prin intermediul unei unde progresive creată prin efect transversal.
Micromotorul este realizat sub forma unui ansamblu constituit din elemente suprapuse aşa cum
indicat în figura 1.16,a. La bază se găseşte o coroană realizată din mai multe elemente
piezoelectrice, polarizate axial, cu polaritate alternată, care împreună cu electrozii aferenţi
formează un sistem polifazat capabil să genereze o undă progresivă rotitoare. Deasupra acestui
element este fixată o coroană crestată care amplifică deformaţiile elementelor piezoelectrice ale
coroanei anterioare şi care serveşte drept adaptor. La partea superioară este plasat un rotor inelar,

12
Sisteme integrate de conversie electromecanica Cursul 6

presat pe stator. Deplasarea este asigurată de forţele tangenţiale, care apar la contactul vârfurilor
undei progresive a statorului cu rotorul, într-o manieră sugerată în fig.1.16,b.

1.2 Domenii de utilizare ale motoarelor piezoelectrice

1.2.1 Utilizarea motoarelor piezoelectrice în chirurgie
Tendinţa din tehnologie spre minimizare a dispozitivelor electrice, nu a omis domeniul
microactuatorilor.
Aplicaţiile pentru controlul mişcării în chirurgia invazivă minimală, poziţionarea capului de
citire a discului, microscoapele electronice şi robotică sunt toate progrese în realizarea
actuatorilor liniari cu dimensiuni reduse şi precizie mai mare.
Aceste aplicaţii necesită motoare care sunt relativ mici şi ieftine şi sunt în stare de o forţă
substanţială şi/sau scheme de control sofisticate. Întrunirea acestor cerinţe va avea la bază o
continuă minimizare a tehnologiilor existente şi dezvoltarea de noi tehnologii care vor putea oferi
reducerea substanţială a dimensiunilor şi /sau câştiguri privind performanţa.
Deoarece materialele piezoelectrice pot uşor genera deplasări submicrometrice, se
pretează foarte bine în aplicaţiile poziţionării precise.
J.W.Judy si T.Higuchi au analizat utilizarea unui material piezoelectric, o masă şi un cuplaj
electrostatic care foloseşte inerţia masei şi controlul deschis/închis al cuplajului pentru generarea
mişcării. Cu toate că, dispozitivul lui J.W.Judy a fost o bună dovadă a conceptului, performanţa
slabă a cuplajului electrostatic a rezultat într-un motor cu o forţă foarte limitată şi o performanţă
scăzută a vitezei.
Se va descrie mai jos o nouă abordare bazată pe un mecanism de strângere care are în
construcţia sa o placuţă dublă din siliciu.
Schema de control a cuplajului îmbunătăţită, produce rezultate performante semnificative
faţă de dispozitivul lui J.W.Judy.
Tehnologia modernă de prelucrare a plăcuţei de siliciu este utilizată pentru obţinerea unor
plăcuţe cu înveliş subţire dielectric de dioxid de siliciu (SiO 2) pentru tensiunea de străpungere în
profunzime şi de nitrură de siliciu (Si3N4) pentru o rezistenţă mare la uzură.
Deoarece forţa cuplajului generată este proporţională cu pătratul tensiunii şi invers
proporţională cu distanţa de separare, grosimea stratului dielectric submicrometric poate genera o
subtanţială forţă de strângere cu o tensiune mai mică prin plăcuţele cuplajului.
Două plăcuţe echipează cuplajul utilizând precizia de lustruire a suprafeţelor plăcuţelor
pentru o interfaţă bine îmbinată.
Este implementată o schemă de funcţionare a cuplajului care utilizează o formă de undă de
polaritate inversă pentru eliberarea, pe scurt timp, a cuplajului în realizarea mişcării incrementale
pas cu pas.
Cu scopul de a demonstra fiabilitatea acestei tehnologii de a plasa mici implanturi în
aplicaţiile microchirurgiei, au fost proiectate şi construite cinci prototipuri portabile de motor pas
cu pas.
Fig.1.17 prezintă schematic asamblarea unui motor pas cu pas, care constă din: un
dispozitiv manual, capul de conectare şi tachetul care încastrează şi plasează implanturile,
dispozitive electronice de control, un variator de viteză şi un schimbător pentru picior
bidirecţional.

13
Sisteme integrate de conversie electromecanica Cursul 6

Fig. 1.17 Componentele de bază ale unui cuplaj electrostatic

Aspectele privind performanţa motorului, ambalarea şi rezultatele măsurate sunt cele avute
în vedere pentru dezvoltarea tehnologiei motorului pas cu pas pentru a se potrivi în dispozitive
manuale cu carcase cilindrice de 15 cm x 1,2 cm.
Prototipurile testate au plasat fiecare peste 50 de implanturi, cu o performanţă considerabilă.
Dispozitivele manuale au atins viteze de 1,2 mm/s la sarcini de rezistenţă de 3 N, viteze de
10 mm/s fără sarcină, o forţă maximă de ieşire de 4,6 N şi o deplasare totală de 38 mm.
Fig.1.18 prezintă imaginea unui motor pas cu pas, şi un dispozitiv de încercare pe bază de
frecare, utilizate pentru a testa câteva din caracteristicile de performanţă forţă/viteză.
De asemenea, sunt arătate în figură trei vederi consecutive ale tachetului motorului pas cu
pas plasând un implant prin capul de conectare. În acest caz, implantul era o lentilă
intraoculară – aplicaţia fiind pentru proceduri chirurgicale ale cataractei, unde cristalinul
uman este înlocuit de o lentilă artificială.

Fig.1.18 Aplicaţii ale MPP-ului piezoelectric

Fig.1.19 prezintă un cuplaj care acţionează cu trei straturi de dielectric. Oxidul (≈1 µm)
furnizează o constantă dielectrică scăzută, în timp ce nitrura (≈0.3 µm) conferă o bună rezistenţă
la uzură, în zona de frecare a cuplajului. Poate exista un strat de aer, datorat cuplării imperfecte a
interfeţelor cuplajului. Deşi straturile efective (reale), nu au o grosime uniformă, cum a fost
prezentat, presupunem o grosime ideală a stratului pentru această derivaţie.

14
Sisteme integrate de conversie electromecanica Cursul 6

Fig. 1.19 Dispunerea straturilor dielectrice

Integrând ecuaţia pentru câmpul electric în dielectrici, se obţine o ecuaţie pentru capacitatea
a două armături paralele cu trei straturi de dielectric:
Q S
C 
V  d1 d 2 d 3  , (1.3)
   
 1  2  3 
unde Q este sarcina armăturilor paralele, V este tensiunea între armături, S este aria suprafeţei
armăturilor, di este dielectricul sau grosimea golului de aer şi εi este constanta dielectrică asociată.
Pentru a afla forţa de atracţie dintre aceste două armături paralele, trebuie să utilizăm principiul
deplasării virtuale (principiul lui d’Alembert) (D.K.Cheng, 1989).
Mai simplu spus, această metodă implică calculul unei schimbări a energiei din sistem care
determină o mică deplasare. Aceasta schimbare a energiei poate fi apoi folosită pentru a obţine
forţa de atracţie a celor două armături.
Când se realizează calculul forţei, vom presupune grosimile lui d1 şi d2 constante şi
grosimea interfeţei de aer d3, este cea a cărei variaţie va controla distanţa de separaţie.
Luând gradientul unei ecuaţii pentru energia stocată, vom obţine forţa de atracţie Fa egală
cu:
SV 2
Fa  2
d d d  . (1.4)
 3  1  2  3 
 1  2  3 

Figura 1.20 prezintă componentele fundamentale ale motorului pas cu pas bazat pe inerţie.
O bară a convertorului piezoelectric (PZT) de 1.5-in x 0.25-in x 0.031-in (1 inch = 25.4
mm) este utilizată ca element piezoelectric. O masă (20-40 gr) este epoxată la un capăt şi o
plăcuţă de siliciu (plăcuţa de strângere) este epoxată la celălalt capăt, lustruită în partea de jos.
Altă plăcuţă de siliciu (plăcuţa de bază) este plasată cu partea superioară lustruită sub plăcuţa de
strângere. Grosimea tipică a stratului dielectric de pe suprafeţele plăcuţelor este de aproximativ 1
µm de SiO2 şi 0.3 µm de Si3N4. Contactul electric la plăcuţe se realizează cu 0.3 µm Al depus pe
partea din spate. Ansamblul este finisat pentru a asigura o îmbinare uniformă a interfeţelor
plăcuţelor.

15
Sisteme integrate de conversie electromecanica Cursul 6

Fig. 1.20 Ilustrarea contracţiilor şi dilatărilor lente şi rapide ale PZT pentru a efectua o deplasare netă pe ciclu:
a) configuraţia de pornire a montajului motorului pas cu pas; b) uşoară contracţie a PZT; c) dilatarea rapidă a
PZT care produce o alunecare lină a plăcuţei de strângere, deci o deplasare netă

În fig.1.21 este ilustrat cât de repede şi de uşor miscările PZT lucrează pentru a realiza
mişcarea. În acest caz, motorul porneşte cu PZT-ul complet dilatat.
Primul pas implică pornirea cuplajului şi uşoara contracţie a PZT-ului. Aceasta va produce
alunecarea înainte a masei, fără a repoziţiona cuplajul de mişcare.
Următorul pas implică oprirea cuplajului şi utilizarea unei dilatări rapide a PZT-ului pentru
alunecarea cuplajului în mişcare peste suprafaţa cuplajului de bază.
Aceasta rezultă în aceeaşi configuraţie ca şi cea cu care am început, dar acum masa,
elementul PZT şi cuplajul de mişcare s-au deplasat faţă de cuplajul de bază.
De notat că, aceşti paşi, folosiţi în ordine inversă, vor produce mişcare în sensul opus.
Pentru a obţine o ecuaţie care să prevadă o viteză medie a motorului pas cu pas, se fac
următoarele presupuneri şi simplificări legate de sistem. Prima presupunere este aceea că cuplajul
electrostatic capacitiv funcţionează doar în două moduri, complet pornit sau complet oprit.
Aceasta ne permite să ignorăm scurtele treceri între stările deschis şi închis, unde valoarea forţei
de strângere şi frecarea rezultată ar fi dificil de determinat.
De asemenea, se presupune că stările complet pornit sau oprit vor avea o frecare infinită şi
respectiv frecare zero.
În sfârşit, vom presupune că inerţia masei ataşate la un capăt al barei PZT şi la cuplajul de
bază este mult mai mare decât inerţia barei PZT şi plăcuţa de strângere. Această presupunere
înseamnă că, o contracţie rapidă a barei PZT va avea ca rezultat numai mişcarea cuplajului,
deoarece, forţele inerţiale ale masei şi plăcuţei de bază vor fi mult mai mari şi foarte rezistente la
mişcări rapide.
Utilizând aceste presupuneri, ştim că deplasarea pe ciclu PZT va fi:
d LV
X PZT  13 , (1.5)
T
unde d13 este constanta piezoelectrică pentru deplasare ca o funcţie a tensiunii aplicate
(aproximativ 1 x 10-10 m/V), L = lungimea, T = grosimea barei PZT, V = tensiunea aplicată pe
suprafeţele opuse. Dacă elementul PZT şi cuplajul electrostatic sunt acţionate la o frecvenţă f,
atunci viteza pentru un motor descărcat va fi:

16
Sisteme integrate de conversie electromecanica Cursul 6

d13 LV
Vneinc  f . (1.6)
T
Pentru a calcula viteza pentru un motor încărcat, se presupune că încărcarea electrică este o
forţă continuă fără dependenţă inerţială şi valorile pozitive şi negative ale lui Fext corespund unei
forţe în direcţia şi respectiv, contra direcţiei de mişcare.
Teoretic, această forţă va provoca alunecarea motorului când capul de prindere nu este
pornit. Cantitatea alunecării va depinde de inerţia masei precum şi de durata procesului cât capul
de prindere este oprit.
Utilizând ecuaţia clasică pentru distanţa parcursă la o acceleraţie constantă prin o forţă
externă constantă Fext, putem scrie că alunecarea pe ciclu PZT este:
at 2 F t2
X Fext  INCHIS  ext INCHIS , (1.7)
2 2M m
unde t INCHIS = timpul cât cuplajul este oprit şi M m = masa utilizată în construcţia motorului.
Incluzând această alunecare în ecuaţia (1.6) şi frecvenţa de funcţionare, vom obţine:
 d LV Fext t INCHIS
2

Vmed  f  13  . (1.8)
 T 2M m 
Puterea medie furnizată de motorul pas cu pas la o sarcină externă, poate fi aflată
multiplicând forţa externă Fext cu distanţa parcursă ∆X şi împărţind la timpul ∆t necesar
parcurgerii distanţei.
Putem presupune distanţa şi timpul de deplasare infinitezimal de mici, astfel încât să putem
înlocui cu viteza medie:
Fext X
Pmed  , (1.9)
t

 d LV Fext t INCHIS
2

Pmed  Fext  Vmed  Fext  f  13  .
 (1.10)
 T 2 M m 
Pentru a controla cuplajul electrostatic şi elementul PZT, este necesar un circuit de înaltă
tensiune pentru a acţiona plăcuţele de strângere şi de bază şi cele două feţe ale barei PZT. Două
scheme diferite se pot folosi pentru a conduce tensiunea prin plăcuţele de strângere aşa cum se
indică în fig.1.22.
Prima schemă foloseşte capacitatea dobândită în cuplaj şi rezistenţa de întindere a
circuitului de acţionare pentru crearea unei margini de ridicare RC (tip exponenţial), care este
urmată de deschiderea unui tranzistor MOSFET cu N-canale pentru a produce o margine de
cădere rapidă.
Tensiunea diferenţială prin plăcuţe, permite o scurtă perioadă de timp când tensiunea în
cuplaj este zero şi, apoi, creşte treptat până la strângere.
A doua metodă utilizează ambele margini de ridicare şi de cădere rapidă şi se bazează pe
controlul circuitului pentru a produce o perioadă de timp în care tensiunea diferenţială este zero.
Cum s-a afirmat mai devreme, tensiunea zero a cuplajului trebuie să fie sincronizată cu
marginea rapidă a PZT.
Similar cu forma de undă a cuplajului, PZT-ul este, de asemenea, acţionat cu o margine de
ridicare RC şi o margine de cădere rapidă care crează tranziţiile lente şi rapide necesare realizării
unei mişcări nete.

17
Sisteme integrate de conversie electromecanica Cursul 6

Fig. 1.22 Metode de generare a timpului în care cuplajul este oprit

Cum este prezentat în fig.1.23, suprafeţele alternative de acţionare ale barei PZT crează
forme de undă diferenţiale inversate folosite pentru generarea mişcării înainte sau înapoi.

Fig. 1.23 Forme de undă ale tensiunii PZT utilizate pentru generarea mişcării înainte şi înapoi

În fig.1.24 este prezentat un eşantion experimental şi teoretic de viteză a motorului pas cu

pas în funcţie de frecvenţă. Frecvenţa prezentată aici va fi frecvenţa de funcţionare PZT şi
frecvenţa de funcţionare a cuplajului va fi dublul frecvenţei PZT. De observat, cum viteza
experimentală creşte cu viteza teoretică până la 700 Hz şi, apoi, începe să se micşoreze. Această
limitare este în mare masură datorată frecvenţei de funcţionare, care nu permite îndeajuns timp
PZT-ului să se încarce complet ducând la compromiterea pasului avansului. Diferenţele din curba

18
Sisteme integrate de conversie electromecanica Cursul 6

teoretică, sunt, de asemenea, posibil să fie datorate pierderilor prin frecare din interfaţa cuplajului
şi pierderile de flexare (încovoiere) din construcţia motorului (care scad din contracţia sau
dilatarea completă a PZT).

Fig. 1.24 Viteza medie versus frecvenţa de funcţionare – Fig. 1.25 Mărimea pasului versus tensiunea PZT şi
teoretică şi experimentală tensiunea cuplajului – teoretică şi experimentală
(presupunerile teoretice neglijând tensiunea cuplajului,
este prezentată o singură curbă teoretică)

Vitezele din această figură sunt valabile numai pentru condiţiile de testare utilizate aici.
Acest lot a fost generat cu o sarcină constantă de 50 g, care a fost implementată folosind o
greutate suspendată şi scripetele pentru redirecţionarea forţei greutăţii pe orizontală. Vitezele
pentru un motor descărcat vor fi puţin mai mari datorită alunecării înapoi şi mai mici pe durata
cât cuplajul este oprit.
De asemenea, vitezele pentru sarcinile mai mari vor continua să scadă până când sarcina
depăşeşte forţa de frecare a cuplajului sau valoarea alunecării înapoi egalează valoarea pasului
înainte produs într-un ciclu PZT. Cu toate că nu este prezentat în această figură, viteza continuă
să se micşoreze în limita 1-2 kHz.
Pasul avansului este o caracteristică importantă a motorului pas cu pas, odată ce determină
cea mai mică creştere a pasului care se poate obţine. După cum se arată în fig.1.25, cel mai bun
control al pasului avansului este tensiunea PZT.
Pasul avansului corespunde bine cu teoria tensiunilor mari PZT, dar se abate clar la tensiuni
sub 100 V. Diferenţa dintre valorile prevăzute şi cele reale de peste 100 V, par să se datoreze
pierderilor prin frecare ale interfeţei cuplajului şi pierderilor de flexare din construcţia motorului.
Aceasta este confirmată de evidenţa de pierderi uşor mai mari la tensiuni de cuplare mai
mari, care vor cauza pierderi mai mari prin frecare. La tensiuni mai mici de 100 V, câmpul
electric din PZT devine insuficient pentru a activa cristalele PZT şi a produce mişcare. Aceasta
produce îndepărtarea de curba teoretică. Pasul avansului minim înaintea pierderii activării tuturor
PZT-urilor este în jur de 20 nm.
Cum s-a afirmat mai sus, puterea produsă de acest motor pas cu pas poate depinde de forţa
sarcinii externe.
Fig.1.26 prezintă eşantioane experimentale şi teoretice ale puterii ca funcţie a sarcinii de
creştere. După cum prevede teoria, puterea este aproape o funcţie liniară a forţei externe când Fext
este mică. Pe măsură ce forţa creşte, există un vârf prevăzut al puterii produse. După acest vârf,
valorile experimentale scad sub valorile prevăzute ca valoare de vârf.

19
Sisteme integrate de conversie electromecanica Cursul 6

Fig. 1.26 Puterea versus sarcina externă exprimate Fig. 1.27 Viteza exprimată versus o sarcină externă.
în echivalent gram-forţă – teoretic şi experimental Ilustrarea diferenţei dintre o masă de 20 g şi una de 40 g
utilizate în construcţia motorului

Aceasta este probabil datorată forţei externe care depăşeşte forţa de frecare a cuplajului
electrostatic. Pentru generarea curbei teoretice pentru fig.1.26, a fost folosit un timp de închidere
de 110 µsec, deoarece acesta a produs cea mai bună corespondenţă cu datele experimentale. În
realitate, acest timp va depinde de schema de circuit utilizată pentru a produce forme de undă ale
cuplajului, precum şi mărimea tensiunii de cuplare în sine.
Este posibil ca acolo să existe şi factori structurali care vor afecta durata cât cuplajul este
oprit.
S-a observat că viteza motorului pas cu pas va fi independentă de o forţă externă cu condiţia
ca termenii Fext şi t INCHIS să fie mici sau Mm mare. Dacă aceşti termeni nu sunt destul de mici sau
mari, ne vom aştepta ca viteza motorului să crească sau să se micşoreze proporţional cu o forţă
externă.
Rata de scădere a vitezei va fi o funcţie de timp t INCHIS şi masă.
Fig.1.27 prezintă un lot de de două linii, una pentru motorul pas cu pas cu o masă de 20 g şi
cealaltă cu o masă de 40 g. De observat, cum viteza este la fel pentru ambele motoare când forţa
externă este mică şi că viteza motorului cu masa de 20 g scade de două ori mai repede decât cea a
motorului cu masa de 40 g cum rezultă din ec.(1.8).
Aceasta confirmă faptul că o viteză constantă va necesita o masă suficient de mare pentru a
limita scăderea vitezei la sarcini mai mari.
Tensiunea cuplajului nu a fost luată în consideraţie în nici una din ecuaţiile teoretice,
deoarece presupunerile noastre iniţiale au definit cuplajul ca ceva ce poate fi complet pornit sau
complet oprit. Deoarece, este o valoare pur binară, nu s-a prevăzut nimic în cazul în care ar exista
schimbări ale tensiunii prin cuplajul electrostatic şi cum ar putea asta afecta performanţa
motorului.

20
Sisteme integrate de conversie electromecanica Cursul 6

Fig. 1.28 Viteza experimentală a motorului versus o forţă externă ilustrează efectele unei tensiuni mari a
cuplajului

Prezentat în fig.1.28, este un lot de viteze pentru două motoare pas cu pas, unul cu o
tensiune a cuplajului de 100 V, iar celălalt cu o tensiune de 175 V. Observaţia care trebuie făcută,
aici, este că o tensiune prea joasă a cuplajului va creşte timpul cât cuplajul este oprit (închis) şi ar
permite o alunecare suplimentară în spate cu o forţă externă.
Trebuie urmărit ca tensiunea cuplajului să fie cât mai mare posibil, pentru a micşora riscul
unei alunecări nedorite. Deşi, s-ar câştiga dacă tensiunea cuplajului ar creşte, într-o anumită
măsură, funcţionarea la o tensiune prea mare poate cauza o scădere a vitezei datorită unui timp
t INCHIS micşorat (care interferează cu repoziţionarea cuplajului).
O tensiune mai mare a cuplajului va produce, de asemenea, tensiuni de forfecare mari pe
suprafeţele plăcuţelor şi rezultă o uzură mai rapidă a acestora. Pentru o fixare optimă, tensiunea
cuplajului trebuie să fie cât mai mică posibil, cu condiţia ca scăderea de viteză datorată unei forţe
externe să fie acceptabilă.
Ca un rezumat la ce s-a prezentat, se poate spune că: un motor pas cu pas liniar a fost
construit prin fabricarea unui cuplaj electrostatic, utilizând tehnici de prelucrare a siliciului
convenţionale şi folosind un element piezoelectric pentru translaţia electro-mecanică. Forţa de
atracţie a două armături electrostatice depinde de tensiunea aplicată şi grosimile straturilor de
dioxid de siliciu, nitrură de siliciu şi de golul de aer efectiv dintre cele două armături. Viteza
motorului este cel mai bine controlată prin frecvenţa de funcţionare. Daca frecvenţa se apropie
de 1 kHz, pasul avansului începe să scadă şi viteza tinde să atingă un maxim.
La frecvenţe mai mari, uşoara mişcare a elementului piezoelectric este de frecvenţă
ridicată şi produce o alunecare a cuplajului odată cu repoziţionarea masei. Puterea furnizată
unei sarcini externe depinde de mărimea acelei sarcini. Puterea va atinge un vârf la o sarcină
externă dată care reprezintă punctul în care valoarea alunecării înapoi datorată sarcinii externe
este egală cu ½ din mişcarea cuplajului generată de tranziţia rapidă piezoelectrică. O putere
constantă a motorului pas cu pas poate fi obţinută dacă sarcina este centrată în jurul acestui
maxim la care există o mică schimbare a puterii pentru schimbările în sarcina externă.
Dimensiunile mici ale pasului sunt limitate de tensiunea minimă de activare a materialului
piezoelectric, care produce o schimbare minimă a lungimii.
Au fost proiectate, construite şi testate mai multe prototipuri mobile pentru a fi utilizate în
aplicaţii microchirurgicale, în special oftalmologice, şi anume inserţia unei lentile de înlocuire a

21
Sisteme integrate de conversie electromecanica Cursul 6

cristalinului uman imediat dupa îndepărtarea cataractei. Fiecare din elementele testate a plasat
peste 50 de implanturi cu randament mare.
Dipozitivele manuale au atins viteze de 1.2 mm/s la o sarcină de rezistenţă de 3 N, viteze de
10 mm/s fără nici o sarcină, o forţă maximă la ieşire de 4.6 N şi o deplasare totală de 38 mm
limitată de lungimea platformei de siliciu.
Motorul piezoelectric pas cu pas realizat are, totuşi, o gamă mai mare de aplicaţii, prin
posibilitatea de înlocuire reciprocă a instrumentelor ataşate la capătul micromotorului. Acestea
includ precizia tăierii, a endoscopiei, a biopsiei şi a administrării corespunzătoare a medicaţiei
specifice.

22