II Conceptul de microsistem

Cap. II CONCEPTUL DE MICROSISTEM

Componentele unui microsistem

Senzorii se realizeaz n prezent pe un substrat, integrai ntr-o matrice senzorial. In funcie de
aplicaia acestora, pot utiliza principii mecanice, termice, magnetice, chimice sau biologice.
Actuatorii sunt elemente active ale unui microsistem care permit acestuia s reacioneze la un
stimul (de exemplu: micromotoare, micropompe, supape, ntreruptoare, relee). Spre deosebire
de miniaturizarea senzorilor care este posibil n prezent, miniaturizarea actuatorilor este o
direcie de cercetare care trebuie s rezolve aspecte multiple privind att materialele ct i
tehnologiile de realizare ale acestora.
Modulul de prelucrare a informaiilor i control al sistemelor are funcii complexe i este limitat
din punct de vedere al dimensiunilor i al consumului de putere. Algoritmii de control trebuie
adaptai la necesitile i specificul microsistemelor.
Interfaa cu alte procese sau sisteme asigur schimbul de energie, informaie i substan. Se
consider c fezabilitatea i succesul pe pia a viitoarelor microsisteme depinde de dezvoltarea
interfeelor practice micro-macro.
n prezent, se bucur de un mare interes interfaa electric (pentru transmiterea informaiilor i
energiei). Sunt studiate diverse posibiliti de realizare a interfeelor pe cale optic, termic,
acustic etc. Pn n prezent, singura metod utilizat pentru transferul de substan este cea cu
ajutorul unor elemente specifice micro-fluidicii.
Convertoarele A/D i D/A fac deseori parte integrant din interfaa electric. Ele permit
conversia semnalelor analogice date de senzori n semnale ce pot fi prelucrate digital precum
i
Informaie
controlul analog al actuatorilor utiliznd comenzi digitale generate de microcontroler. n cazul
microsistemelor cu structur descentralizat, echipate cu senzori i actuatori inteligeni (cu
propriile microcontrolere), convertoarele A/D i D/A pot fi integrate direct pe chip-urile
microsenzorilor sau microactuatorilor.
Componentele pentru electronica de putere sunt eseniale pentru orice microsistern, ele ridicnd
Energie
deseori probleme electromagnetice sau termice de care trebuie s se in seama n faza de
proiectare.
Componentele de prelucrare a informaiei genereaz semnale electrice pentru controlul
actuatorilor utiliznd datele de la senzori: Un ciclu de prelucrare a informaiilor cuprinde:
captarea lor, transformarea, stocarea, evaluarea i generarea de semnale.
Substan
Semnalele de la diferii senzori sunt digitalizate cu un convertor A/D i amplificate; semnalele
prelucrate servesc ca i semnale de control pentru actuatori.
Microsistemele pot fi auto-monitorizate i testate de propriile uniti de control i pot comunica
cu alte sisteme i microsisteme, dac este necesar.
Modul de prelucrare a informaiilor de ctre un microsistem este ilustrat n (Fig.2)

MEDIUL NCONJURTOR

Microsistem: sistem tehnic realizat cu ajutorul microtehnologiilor i care poate ndeplini funcii
multiple ntr-un spaiu redus.
Structura unui microsistem este determinat de funciile sale i anume:
- detectarea, prelucrarea i evaluarea semnalelor externe;
- luarea unor decizii pe baza informaiilor receptate;
- transformarea deciziilor n comenzi corespunztoare pentru actuatori.

Fig. 1 Componentele unui microsistem

MEDIUL NCONJURTOR

II Conceptul de microsistem

Microsenzori fizici
i chimici

Convertor A/D i
amplificare

Semnale
electrice
analogice

Prelucrarea
semnalelor
Semnale
digitale

Informaii

Fig. 2 Procesarea semnalului i a informaiei

ntr-uni microsistem
Automonitorizarea
testarea sistemului

n tabelul 1.1 se prezint spectrul microsistemelor i metodele corespunztore de fabricaie.

Semnal test

MetodeConvertor
de
Elemente
Semnale
de control
D/A i
10 mm
observare/msurare
componente
Microactuatori
amplificare
Semnale de
Milimaini
Componenete
comunicare
Vizibile cu ochiul liber
miniaturizate
1 mm

Tabelul 1.1
Prelucrarea
inteligent
a de
Tehnologii
informaiilor:
realizare
- Evaluarede
Prelucrri
- Luare decizii
precizie
- Control

Microtehnologii
specifice (ex.:
LIGA. etc.)
Comunicare
Ingineria
Nanomaini
Componente
Microscop electronic
proteinelor.
1 nm
moleculare
biotehnologie
Aceast clasificare acoper o scar dimensional de la 10 mm la civa nanometri incluznd toate
mecanismele relevante. Cele mai importante aplicaii ale tehnologieiSisteme
microsistemelor
(TMS) sunt
externe
MICROSISTEM
prezentate n (Fig. 3).
Micromasini
1 m

Semnale
Microscop
electrice
analogice

optic

Micro-componente

II Conceptul de microsistem

Dispozitive pentu
industrie auto

Inginerie
biomedical i
biotehnologie

Microroboi

Protecia mediului

Industria
aero-spaial

Ingineria
proceselor de
producie

TMS
Telecomunicaii

Electronic

Tehnologia
calculatoarelor,
birotic, electrocasnice

Metrologie

Fig. 3 Aplicaii ale tehnologiei microsistemelor

TMS reprezint soluia actual de rezolvare a multiplelor probleme legate de performanele
deosebite ce se impun componentelor unui sistem: senzori, actuatori, module de prelucrare a
informaiilor.
Microroboii sunt reprezentani importani ai microsistemelor. Microroboii sunt microsisteme ce
au volumul sub l cm3. Dimensiunile diferite ale roboilor miniaturizai, ale mini i microroboilor
sunt determinate de aplicaiile lor diferite i implic tehnologii de realizare, metode de msurare,
control i de asamblare diferite. Din punct de vedere tehnologic este dificil de delimitat o tipologie
specific mini i microroboilor, totui se pot identifica dou clase distincte:
a) microroboii de tip clasic la care arhitectura este cea a roboilor industriali i
manipulatoarelor, fiind obinut prin miniaturizarea sau integrarea elementelor componente.
Performanele lor funcionale depind nemijlocit de progresele tehnologice n direcia miniaturizrii
senzorilor i actuatorilor.
b) microroboii neconvenionali ce se bazez pe principii fizice particulare
(piezoelectricitate, magnetostriciune, memoria formei, electroreologie). Acetia utilizeaz
proprietile mecanice, electrice sau magnetice ale aa-numitelor materiale "inteligente", ceea ce
permite, n final, realizarea unor funcii specifice roboilor de tip clasic. Cel mai adesea se obine
o mobilitate ce determin deplasarea ntregului sistem sau a unei pri a acestuia pe suprafaa unui
solid, n mediu lichid sau n aer.
Asamblarea microsistemelor, nsoit de transportul nedistructiv, manipularea precis i
poziionarea precis a microcomponentelor sunt aplicaii dintre cele mai importante ale
microsistemelor.

Microsisteme electromecanice MEMS

Sunt sisteme integrate de dimensiuni mici i foarte mici (de la civa micrometri pn la
milimetri) care combin n structura lor elemente electrice i mecanice.
Acronim:
MEMS n SUA
MST (Microsystems technology) n Europa
Micromachines n Japonia

II Conceptul de microsistem

Fig. 4 Domenii de interferen

Sunt fabricate utiliznd tehnica de realizare a circuitelor integrate combinat cu microprelucrri
ale suportului respectiv materialelor utilizate. n timp ce circuitele integrate sunt proiectate
exploatnd proprietile electrice ale siliciului, MEMS utilizeaz att proprietile electrice
ct i proprietile mecanice ale acestuia.
ntr-o form general, MEMS constau n microstructuri mecanice, microsenzori, microactuatoare
i microelectronic, toate integrate pe acelai chip.
MEMS se constituie ca un mod de proiectare i creare a unor dispozitive mecanice i sisteme
complexe integrnd electronica aferent la nivel micro i nano.
MICROSISTEME
ELECTROMECANICE

TRADUCTORI dispozitive care transform un semnal n

energie.

SENZORI dispozitive care msoar informaia din

mediu i produc la ieire un semnal proporional cu
mrimea msurat (mecanice, termice, chimice,
radioactive, magnetice, electrice).

ACTUATORI dispozitive care realizeaz conversia

unui semnal electric n aciune mecanic (lucru mecanic).

II Conceptul de microsistem