Microsenzori si microactuatori

Masterand:
Flucus(Chiujea) Iulia
IMMA –3181
 2.Microsenzori
2.1. Introducere
Senzorii sunt din ce în ce mai mult folositi pentru aplicatii tehnice. Formând
interfata dintre mediu si elementul de control, un senzor este un organ vital
pentru un sistem și artificial. Senzorii pot mirosi, gusta, vedea si simti prin
măsurarea parametrilor mecanici, biochimici, și termici, magnetici si radianti.
Ei sunt clasificati, de obicei, după semnalele pe care le măsoară.
Microsenzorii au devenit o unealtă indispensabilă pentru aplicatiile medicale.
De exemplu, măsurătorile continue ale diferitilor parametri fizici/chimici ai
sângelui, cum ar fi temperatura, presiunea, valoarea pH-ului, volumul debitului
si valorile respiratorii ca oxigenul, dioxidul de carbon sau anestezicele, sunt de
o importantă specială. În prezent pentru a măsura simultan diferiti parametri ai
unui pacient, trebuie introduse în corp mai multe catetere, acest fapt măreste
riscul unor infectii. De aceea, sunt de dorit cipuri cu senzori integrati care să
poată măsura mai multe mărimi diferite în acelasi timp.
Microsenzorii trebuie să prezinte o încredere ridicată, volum si masă mici si
costuri de productie în masă scăzute. Aplicatiile prezente si viitoare ale
microsenzorilor au cel mai ridicat potential în industria de automobile, protectia
mediului, tehnologia productiei si de proces si sectorul militar. Cerintele
solicitate de la ele sunt: precizie înaltă, sigurantă ridicată pentru om si materiale
si abilitatea de a furniza rezultate de încredere în timp real.
Proiectarea senzorilor, tehnicile de fabricatie si componentele de procesare a
semnalului sunt continuu îmbunătătite, iată de ce tehnologia senzorilor a devenit
activitatea cea mai dezvoltată a MST. Problemele întâlnite la microsenzori sunt
identice cu cele ale altor componente MST. Tehnologia microsenzorilor a
câstigat mai mult de pe urma tehnicilor conventionale decât tehnologia
microactuatorilor. Marea majoritate a principiilor de măsură au fost luate de la
macro- si minisenzorii deja existenti.
2.2.Microsenzori de acceleratie
2.2.1 Principiul consolei
Senzorii miniaturizati de acceleratie îi vor găsi locul mai ales în industria
automobilului. Ei sunt, de asemenea, de interes pentru industria aeronautică si
spatială si pentru multe alte aplicatii. Microsenzorii pentru acceleratie vor ajuta
la îmbunătătirea confortului, sigurantei si calitătii conducerii automobilelor.
Totusi pentru ca ele să devină un produs de interes general, costurile lor de
productie trebuie să fie drastic scăzute. Acceleratia este, de obicei, detectată
prin metode piezorezistive sau capacitive. Cel mai adesea este folosită o
consolă elastică la care este atasată o masă. Atunci când senzorul este accelerat,
masa deplasează consola si deplasarea este înregistrată de senzor.
2.2.2 Principiul piezorezistiv
Pentru a măsura efectiv acceleratia cu acest principiu, piezorezistorii sunt
plasati în puncte ale consolei unde se produce deplasarea maximă. Stabilitatea
si precizia senzorului se îmbunătăteste cu cresterea numărului de
piezoelemente. Dacă o masă se miscă accelerat, aceasta determină deformarea
piezorezistorilor, în felul acesta modificându-se rezistenta lor.
2.2.3 Sistemul multisenzor pentru măsurarea acceleratiei
Dispozitivul se bazează pe principiul măsurării capacitătii, el are o matrice
senzor constând din mai multi senzori ieftini integrati într-un singur cip. Cu
această conceptie, fiabilitatea si precizia sistemului de măsură au putut fi
îmbunătătite. Componentele centrale ale acestui sistem sunt senzorii
micromecanici capacitivi fabricati din nichel prin tehnica SLIGA. Senzorul este
un condensator diferential, acesta constă din doi electrozi fixi între care există o
masă mobilă atasată la o consolă felxibilă. Pentru a compensa sensibilitatea la
temperatură a dispozitivului, pe cipsa fost integrat un senzor pentru temperatură.
Dispozitivul cu toate componentele sale microelectronice are dimensiuni totale
de numai 2 mm x 25mm x 35mm. Domeniul de măsură al unui prototip a fost ±
3 g, cu o sensibilitate de 2,5 V/g. În acest caz, combinarea tehnicii LIGA cu
tehnologia siliciului a oferit o solutie de proiectare bună.
Senzorii de acceleraţie pot avea roluri importante în funcţionarea roboţilor
mobili pentru:
• Măsurarea înclinării/pantei diferitelor module;
• Măsurarea unghiului de rotaţie pentru a anumită axă:
• Identificarea stării de mişcare sau repaus;
• Sesizarea şocurilor/ciocnirilor;
Senzorii de acceleraţie permit măsurarea acceleraţiilor dinamice (datorate
vibraţiilor) sau statice (determinate de gravitaţie) ale unui solid după una sau
mai multe direcţii. Sunt multe principii de funcţionare ale acestora.
 3.Microactutori
3.1 Introducere
MEMS-urile reprezintă sisteme complexe, care pot fi privite ca dispozitive
mecanice de dimensiuni foarte mici, integrând electronica aferentă. De
asemenea, tipurile de dispozitive MEMS pot varia de la structuri relativ simple
care nu au elemente în mişcare, la sisteme electromecanice extrem de complexe,
cu multiple elemente în mişcare sub controlul microelectronicelor integrate.
Caracteristica principală a MEMS este că există cel puţin câteva elemente care
au un fel de funcţionalitate mecanică chiar dacă aceste elemente se pot deplasa
sau nu.
Termenii folosiți pentru a defini MEMS variază în diferite părţi ale lumii. În
Statele Unite, acestea sunt numite predominant MEMS, în timp ce în alte părţi
ale lumii sunt numite "Microsystems Tehnologie" sau "dispozitive
microprelucrate" (“micromachined devices”). În timp ce elementele funcţionale
ale MEMS sunt structuri miniaturizate, senzori,elemente de acţionare, şi
microelectronice, elementele cele mai importante (şi probabil, cele mai
interesante) sunt microsenzorii şi microactuatorii. Microsenzorii şi
microactuatorii sunt corect clasificați ca "traductoare", care sunt definite ca
dispozitive care transformă energia dintr-o forma în alta. În cazul
microsenzorilor, dispozitivul transformă de obicei, un semnal mecanic măsurat
într-un semnal electric.
Nanotehnologia este abilitatea de a manipula materia la nivel atomic
saumolecular pentru a face ceva util, la scară nano-dimensională. În principiu,
există două abordări de implementare : de sus în jos şi de jos în sus. În
abordarea de sus în jos, dispozitivele şi structurile sunt realizate folosind multe
din tehnicile utilizate în MEMS cu excepţia faptului că acestea sunt realizate în
dimensiuni mai mici, de obicei prin utilizarea unor metode mai avansate de
fotolitografie şi gravură. Abordarea de jos în sus implică de obicei tehnologii de
depunere, de creştere, sau de auto-asamblare.
Avantajele dispozitivelor nano-dimensionale față de MEMS implică beneficii
derivate în special din legile de scalare, care pot prezenta, de asemenea, unele
provocări. Unii experti cred că nanotehnologia promite să :
a) ne permite să punem în esenţă,fiecare atom sau moleculă în locul şi poziţia
dorită acesta este controlul exact al poziţiei pentru asamblare;
b) ne permite să facem aproape orice structură sau material în concordanţă cu
legile fizicii, care pot fi specificate la nivel atomic sau molecular
c) ne permite să avem costuri de producţie care nu depăşesc cu mult costul
materialelor prime necesare şi al energiei utilizate la fabricare (de exemplu,
paralelism masiv).

Fig.1O imagine colorată a unei imagini a unei suprafețe observată cu un

microscop de scanare-tunel, care este o tehnica de imagistica comună utilizată
în domeniul nanotehnologiei.
3.2Micromașinile cu capacitate variabilă
Acestea sunt maşini sincrone care produc un cuplu din cauza nealinierii spaţiale
dintre electrozii de pe stator şi polii aparenți de pe rotor. Trimmer și Gabriel au
propus conceptul de micromotoare liniare și rotative cu capacitanță variabilă
(VCM) în 1987.
Au fost construite motoare sincrone fabricate folosind procese semi-standard de
fabricatie a IC cunoscute sub numele de "microprelucrări de suprafaţă".
3.3Microprelucrările de suprafaţă
Acestea presupun prelucrarea la nivelul straturilor depuse pe un substrat şi se
bazează pe procese de corodare selectivă a unor straturi, supranumite şi straturi
de sacrificiu, realizându-se astfel structuri mecanice suspendate (de tip lamele,
bride, etc., întâlnite la microsenzori) sau mobile (roţi, discuri, balamale, etc.,
întâlnite la micromotoare, microactuatori, etc.).

Fig.2Etapele utilizate în procesul de microprelucrări de suprafaţă. Un proces de

stratificare este utilizat pentru a crea componente MEMS şi de a obţine golurile
de aer dintre straturi care permit mișcarea componentelor.
Prin tehnica microprelucrărilor de suprafaţă se pot realiza cât de multe straturi
este nevoie, fiecare start având o configuraţie diferită. Numărul uzual de starturi
realizate în cazul MEMS-urilor este de cca. 5 - 6 straturi. Deoarece structurile
active sunt realizate deasupra substratului şi nu în interiorul acestuia,
proprietăţile substratului nu sunt atât de importante aici, de aceea substraturile
mai scumpe de siliciu pot fi înlocuite cu substarturi mai ieftine din materiale
amorfe (sticlă) sau mase plastice.
Exemple de utilizare: la producerea TFT-urilor (thin-film transistor, care sunt
tranzistori cu efect de câmp realizaţi prin depunerea stratului activ
semiconductor, a stratului dielectric şi a contactelor metalice pe un substrat
amorf) utilizate la ecranele plate; la fabricarea celulelor solare cu straturi subţiri,
etc.
3.4 Microactuatori
Microactuatorii reprezintă dispozitive cu mărimea de la câţiva microni la câţiva
centimetri şi care materializează un principiu funcţional aplicabil în lumea
micro. Microactuatorii includ, de asemenea, acei actuatori care sunt fabricaţi
folosind tehnologiile specifice micromecanicii. În plus, faţă de miniaturizare,
microdispozitivele mecanice având elemente ca: pompele, valvele,
microgrippere, elemente de poziţionare liniare şi rotaţionale, actuatorii simpli de
tip consolă şi sisteme complexe de muschi artificiali, trebuie sa fie funcţionale
pentru a înzestra un microsistem cu capabilităţi dependente de sarcini.
Micropompele şi microvalvele pentru tratare la nivel microscopic a lichidelor şi
gazelor pot fi folosite în medicină, unde sunt necesare sisteme implantabile, de
mare acurateţe, pentru dozarea medicaţiei, sau pentru analiza chimică şi
biologică, unde trebuie transportate şi analizate volume exacte de lichide. Pe
lângă microactuatorii electrostatici, piezoelectrici sau electromagnetici care sunt
în mod curent investigaţi, materialele magneto - şi electrostrictive şi aliajele cu
memoria formei devin tot mai utilizate..Aceşti microactuatori deschid o lume cu
noi posibilităţi, deoarece ei se bazează pe principii de funcţionare complet
diferite faţă de actuatorii convenţionali. În comparaţie cu actuatorii
convenţionali, microactuatorii folosesc, în general, acţionări directe fără
elemente de transmisie mecanică.
3.5 Microstructuri suspendate
Microstructurile suspendate, în care toate componentele unui dispozitiv sunt
suspendate de arcuri/indoituri ataşate la ancore fixe, acoperă o gamă largă de
aplicații inclusiv accelerometre , microoglinzi , giroscoape , filtre mecanice şi
oscilatoare , precum si senzori de presiune . Cele mai uzuale configuratii de
indoituri utilizate în MEMS-uri suspendate sunt microconsole , microcarucior ,
microcarlig , structuri microserpentine şi structuri de microcute , asa cum se
arată în figura 3. Structurile MEMS suspendate pot fi comandate utilizând fie
actuatori cu placi paralele fie actuatori pieptene.
Fig 3. Diferite tipuri de ondulatii:a) tip carucior, b)tip consola, c)tip carlig, d)tip
“serpentina”, e) tip cutat
 1.Introducere
Sistemele microelectromecanice (MEMS) s-au mutat din arena principală de
cercetare pentru a deveni o tehnologie utilizabilă.
Ce inseamnă MEMS?
Răspunsul scurt este “mașini microscopice”; cu toate acestea, ele sunt mult mai
mult de atât. MEMS-urile sunt sisteme integrate de dimensiuni mici (de la
câţiva micrometri la câţiva milimetri) care sunt alcătuite din elemente electrice
şi mecanice. MEMS-urile sunt fabricate utilizând tehnica de realizare a
circuitelor integrate combinată cu micro-prelucrări ale materialelor utilizate şi a
suportului.
În timp ce circuitele integrate sunt proiectate astfel încât să utilizeze
proprietăţile electrice ale siliciului, la proiectarea MEMS-urilor sunt exploatate
atât proprietăţile electrice cât şi cele mecanice ale acestui material
semiconductor. MEMS-urile reprezintă sisteme complexe, care pot fi privite ca
dispozitive mecanice de dimensiuni foarte mici, integrând electronica aferentă.
De asemenea, tipurile de dispozitive MEMS pot varia de la structuri relativ
simple care nu au elemente în mişcare, la sisteme electromecanice extrem de
complexe, cu multiple elemente în mişcare sub controlul microelectronicelor
integrate.
Caracteristica principală a MEMS este că există cel puţin câteva elemente care
au un fel de funcţionalitate mecanică chiar dacă aceste elemente se pot deplasa
sau nu. Termenii folosiți pentru a defini MEMS variază în diferite părţi ale
lumii.
Dicţionarele din prima parte a anilor '70 nu cuprind cuvântul "senzor". Acesta a
apărut odată cu dezvoltarea microelectronicii, împreună cu alte noţiuni de mare
impact, cum ar fi cele de „microprocesor”, „microcontroller”, „transputer”,
„actuator” etc., adăugând o noţiune nouă unei terminologii tehnice având o
anumită redundanţă. Astfel, o mare parte din elementele tehnice senzitive sunt
încadrate în categoria de traductor. Un traductor este un dispozitiv care
converteşte efecte fizice în semnale electrice, ce pot fi prelucrate de instrumente
de măsurat sau calculatoare. În unele domenii, în special în sfera dispozitivelor
electro-optice, se utilizează termenul de detector (detector în infraroşu,
fotodetector etc.). Traductoarele introduse într-un fluid sunt denumite, uneori,
probe. O categorie largă o constituie sistemele terminate în "-metru": de
exemplu, "accelerometru" pentru măsurarea acceleraţiei, "tahometru" pentru
măsurarea vitezei unghiulare.
Ce este senzorul?
Trebuie spus că nu există o definiţie unitară şi necontestată a „senzorului”,
motiv care lasă mult spaţiu pentru interpretări, ambiguităţi şi confuzii. Mulţi
autori preferă să folosească sintagma „senzori şi traductoare”, în cadrul căreia,
fie pun pe picior de egalitate senzorul şi traductorul, utilizând, alternativ sau
preferenţial, unul dintre termeni, fie consideră că unul reprezintă o categorie
ierarhică superioară, incluzându-l pe celălalt. De multe ori se mai utilizează şi
noţiunea de „captor”, care amplifică semnele de întrebare, întrucât în limba
franceză, termenul „capteur” este utilizat pentru a desemna elementele tehnice,
care în această carte au fost numite „senzor.
Nivelul de dezvoltare a capacităţilor senzoriale ale unui sistem mecatronic se
determină, în general, după modul în care acesta reuşeşte să realizeze funcţii de
recunoaştere similare cu cele ale omului. Între sistemele de recunoaştere ale
omului si ale unui sistem mecatronic există însă două mari deosebiri:
• omul are posibilităţi multiple de recunoaştere, fiind dotat cu organe de
simţ complexe, care îi asigură capacităţile de vedere, auz, miros, gust şi
percepţie tactilă; la un sistem mecatronic acest lucru nu este nici necesar
şi nici posibil, tinzându-se spre limitarea funcţiilor senzoriale la cele strict
necesare impuse de utilizările concrete ale acestuia;
• un sistem mecatronic poate fi dotat cu facilităţi senzoriale pe care nu le
întâlnim la om, asigurate, de exemplu, de senzorii de proximitate
inductivi, capacitivi, fluidici, sau cei de investigare, bazaţi pe radiaţii
ultrasonice sau radiaţii laser şi funcţionând pe principiul radarului.
 3.Bibliografie

1. file:///C:/Users/pc-pc/Downloads/130323502-Micro-Actuatori.pdf
2. file:///C:/Users/pc-pc/Downloads/239848482-Micro-Senzori.pdf
3. 2016,Bazele sistemelor mecatronice, Adrian Dumitriu
4. 2005,Micromotoare si microactuatori piezoelectrici,Mircea Ignat
5. 2014, Aplicatii mecatronice si micromecatronice