Modelarea, Simularea Si Proiectarea Microsistemelor Electromecanice

Modelarea, simularea si proiectarea microsistemelor electromecanice (MEMS)
Nano - i microinginerie Nano - i microtehnologii

Introducere Dezvoltarea i implementarea NEMS i MEMS sunt critice pentru economie i societatea, deoarece nano - i microtehnologiile vor conduce la progrese majore n domeniul tehnologiei informaiei i a calculatoarelor, n medicin i sntate, n domeniul fabricaiei i a transporturilor, n dezvoltarea sistemelor energetice, a aviatiei i a securitii naionale. NEMS i MEMS i au un impact important n medicin i bioinginerie (analiza i sinteza codului genetic ADN, livrri de medicamente, diagnosticare, i imagistic), n tehnologiile bio i informaionale, n aviaie, n domeniul aerospatial (nano- i microactuatori i senzori, aripi inteligente cu geometrie reconfigurabil, structuri spaiale flexibile i microgiroscoape), n domeniul automobilistic i al transportului (senzori i actuatori, accelerometre), fabricare, sigurana public, etc. n decursul ultimilor ani, unele guverne i industria de nalt tehnologie au finanat cercetri fundamentale i aplicate n domeniul NEMS i MEMS datorit creterii curente i poteniale rapide a impactelor sociale i economice pozitive directe i indirecte. Nano- i microingineria sunt teoriile fundamentale, i tehnologiile de vrf n analiza, proiectarea, optimizarea, i fabricarea NEMS i MEMS, de nano- i microstructuri, dispozitive i subsisteme. Nano- i microstructurile i dispozitivele studiate au dimensiunile de ordinul nano- i micrometrilor. Pentru a sprijini nano- i microtehnologiile, cercetri fundamentale i aplicate trebuie efectuate. Nanoingineria studiaz materialele i structurile de dimensiuni nano- i micro-, precum i dispozitivele i sistemele ale cror structur i pri componente prezint proprieti, fenomene i procese fizice (electromagnetice i electromecanice), chimice i biologice necunoscute. Dimensiunile nanosistemelor i a componentelor acestora sunt cuprinse ntre 10-10m (dimensiuni moleculare) i 10-7m; adic ntre 0.1 i 100 nanometri. Studiind nanostructurile, cercettorul i concentreaza atenia asupra nivelurilor atomice i moleculare, asupra fabricaiei, a dinamicii i a controlului, asupra augmentrii i integrrii structurale, a aplicrii i sintetizrii sistemelor pe scar larg, etc. Reducnd dimensiunile sistemelor, se ajunge la aplicaii cu materiale noi (nanotuburi de carbon, reele i puncte cuantice). Problemele care trebuie rezolvate pornesc de la producia de mas i asamblarea nanostructurilor la scar atomic/molecular (ex. componente electronice, actuatori i senzori cu structuri nano-) cu proprietile dorite. Este esenial proiectarea de noi nanodispozitive precum nanotranzistori i nanodiode, nanontreruptoare i nanopori logice, pentru proiectarea calculatoarelor la scar nanometric cu capaciti de terascalare. Toate sistemele biologice triesc datorit interaciunilor moleculare ale diferitelor subsisteme. Blocurile de construcie moleculare (proteine i acizi nucleici, lipide i carbohidrai, ADN i ARN) pot fi vzute ca posibile surse de inspiraie n ceea ce privete proiectarea de NEMS si MEMS de nalt performan care dein proprietile i caracteristicile necesare. Metodele analitice i numerice sunt disponibile pentru a analiza dinamica i geometria tridimensional, conexiunea i alte caracteristici ale atomilor i moleculelor. Aadar, se pot studia caracteristicile electromagnetice i mecanice, precum i alte proprieti fizice i chimice. Nanostructurile i nanosistemele vor fi utilizate pe scar larg n medicin i sntate. Printre aplicaiile posibile ale nanotehnologiei sunt: sinteza i livrarea de medicamente (potenialul terapeutic va fi mbuntit datorit livrrii directe i eficiente a noilor tipuri de medicamente), nanochirurgia i nanoterapia, sinteza i diagnosticarea genomului, senzori i actuatori la scar nanometric (diagnosticare i preveniri de boli), implantarea organelor nanoartificiale nerespinse de ctre organism, i proiectrea nanomaterialelor de nalt performan.
Este evident c nano - i microtehnologiile schimb drastic fabricarea i procesul de fabricaie a materialelor, dispozitivelor, precum i a sistemelor prin: proprieti previzibile ale nano-compozitelor i a materialelor (de exemplu, greutate redus i rezisten ridicat, stabilitate termic, dimensiuni i volumul redus, putere extrem de mare, cuplu, for, sarcini i densiti de curent, conductivitate termic i rezistivitate specificate, etc), crearea rapid de prototipuri virtuale (reducerea ciclului de proiectare, a costului i a ntreinerii), mbuntirea preciziei, fiabilitate i durabilitate, creerea gradului de eficien, a capaciti, a integritii i flexibilitii, a accesibilitii i suportabilitii, a redundanei i a duratei de via, robustee i stabilitate mbuntit, grad mai ridicat de siguran, competitivitate n ceea ce privete mediul. Prevzut de Richard Feyman, termenul de "nanotehnologie" a fost folosit prima dat de ctre N. Taniguchi n 1974 n lucrarea Cu privire la conceptul de baz al nanotehnologiei. n ultimele dou decenii nanofabricarea i nanoengineria i au fost popularizate de ctre Eric Drexler prin Institutul Foresight. Avansarea miniaturizrii la nivel molecular cu scopul final de a proiecta i fabrica nanocomputere i nanomanipulatoare, folosirea pe scar larg a sistemelor inteligente NEMS i MEMS (care contin nanocomputere ca i componentele de baz), fac ca proiectantul s se confrunte cu un numr mare de probleme nerezolvate. Conceptele de baz posibile n dezvoltarea nanocomputerelor sunt enumerate mai jos. "Calculatoarele" mecanice au cea mai bogat istorie, ce poate fi urmrit cu mii de ani n urm. n timp ce mainile i teoriile cele mai creative au fost dezvoltate i demonstrate, fezabilitatea nanocomputerelor mecanice este contestata de ctre unii cercettori datorit numrului de componente mecanice (care este necesar a fi controlate), precum i datorit problemelor nerezolvate care in de fabricaie (montaj) i de dificultile tehnologice. Nanocomputerele chimice pot fi proiectate pe baza informaiilor prelucrate din legarea sau sau ruperea legaturilor chimice, precum i prin stocarea informaiilor n substana chimic rezultat. n schimb, n nanocomputerele cuantice, informaiile pot fi prezentate printr-o stare cuantic (de exemplu, rotaia atomului poate fi controlat de ctre cmpul electromagnetic). Nanocomputerele electronice pot fi proiectate folosind concepte convenionale care au fost testate i utilizate n ultimii treizeci de ani. n particular, tranzistori moleculari sau puncte cuantice pot fi folosite ca elemente de baz. Nanontreruptoarele (elemente de procesare fr capacitate de memorare), porile logice, i regitrii trebuie a fi construite la scara unei singure molecule. Aa numitele puncte cuantice sunt cutii de metal care conin un numr discret de electroni care este schimbat prin aplicarea unui cmp electromagnetic. Punctele cuantice sunt aranjate n celule de puncte cuantice. Celulele de puncte cuantice conin fiecare cte cinci puncte cuantice, dintre care dou conin electroni. Dou stri diferite ale celulelor sunt ilustrate n Figura 1.1.1 (punctele colorate conin electroni, iar cele albe nu conin electroni).
Figura 1.1.1 Puncte cuantice aflate n strile 0 i 1, i n configuraia 1 1 Este evident faptul c punctele cuantice pot fi utilizate in a sintetiza dispozitivele logice. A fost subliniat faptul c n sistemele convenionale electromecanice, sistemele nanoelectromecanice 2
(actuatori i alte dispozitive moleculare) sunt controlate prin schimbarea cmpului electromagnetic. Devine evident faptul c alte structuri i dispozitive la scar nanometric (nanodiode i nanotransistori) sunt de asemenea controlae prin aplicarea unui cmp electromagnetic (reamintim faptul c tensiunea i curentul sunt rezultante ale cmpului electromagnetic). 1.2. Analogii cu biologia Comportamentul i micarea coordonat, vizualizarea i detectarea, deplasarea i luarea deciziilor, memorarea i nvarea organismelor vii sunt rezultatele transmisiei electrice (electromagnetice) a informaiei ctre neuroni. Un centimetru cub din creier conine milioane de celule nervoase, iar aceste celulele comunic cu mii de neuroni crend reele de prelucrare a datelor (reele de comunicare). Informaia este transmis de la creier la muchi n cteva milisecunde. Juctorii de baseball, fotbal, baschet i tenis calculeaz viteza mingii, analizeaz situaia, iau decizii i acioneaz (de exemplu alearg, sar, arunc sau lovesc mingea, etc). Sistemul nervos central uman, care include creierul i coloana vertebral, servete drept legatur ntre senzori (receptori) i sistemul nervos periferic motor (efectori, muchi i celule glandulare). Trebuie pus accent pe meniunea c sistemul nervos prezint urmtoarele funcii principale: senzorial, de integrare i luare a deciziilor i de acionare. Creierul uman este mprit n trei zone majore. Acestea sunt partea inferioar (controleaz homeostaza i coordoneaz micarea), partea central (controleaz receptarea, integrarea i procesarea informaiei senzoriale) i partea frontal (controleaz procesarea neuronal, integrarea informaiei, procesarea imaginilor, memoria de scurt i lung durat, funciile de nvare, luarea deciziilor i dezvoltarea funciilor motoare). Sistemul nervos periferic const n sistemul senzorial (neuronii senzoriali transmit informaia din mediul intern i extern ctre sistemul nervos central, iar neuronii motori transport informaia de la creier sau coloana vertebral ctre efectori), care transmite informaia de la receptorii senzoriali ctre sistemul nervos central i sistemul nervos motor, care furnizeaz semnale (comenzi) de la sistemul nervos central ctre muchi (efectori) i glande. Coloana vertebral mediaz reflexele care integreaz intrrile senzoriale i ieirile/reaciile motrice, iar prin coloana vertebral neuronii transport informaia spre i dinspre creier. Transmiterea semnalelor electrice prin neuroni reprezint un proces foarte complex. Potenialul membranei pentru un neuron netransmitor se datoreaz distribuirii inegale a ionilor (de sodiu i de potasiu) de-a lungul membranei. Potenialul de repaus este meninut datorit pereabilitii difereniale a ionilor i a aa-numitelor pompe Na+ - K+. Stimulul modific permeabilitatea membranei, iar ionii pot depolariza sau hiperpolariza potenialul repausului membranei. Acest potenial (tensiune) este proporional cu intensitatea stimulului. Stimulul este transmis ca urmare a mecanismului - axon. Sistemul nervos este ilustrat n figura 1.2.1.
Figura 1.2.1 Sistemul nervos al organismelor vertebrate: diagrama general de funcionare 3
Exist o mare diversitate de organizaii ale sistemului nervos. Reeaua nervoas cnidarian (hydra) este un sistem organizat de nervi far un control central, iar un simplu nerv poate executa o sarcin elementar (notul meduzelor). Echinodermele au un inel central cu nervi radiali (de exemplu, stelele de mare au nervi centrali i radiali cu reea de nervi). Planarianele au creieri mici, care transmit informaii prin intermediul a dou sau mai multe trunchiuri nervoase, dup cum sunt prezentate n figura 1.2.2.
Fig. 1.2.2. Imagine de ansamblu asupra sistemelor nervoase al organismelor nevertebrate 1.3. Sisteme nano- i microelectromecanice Prin analogie cu biosistemele, o mare varietate de sisteme electromecanice au fost proiectate i realizate de ctre om. Pentru a analiza, proiecta, dezvolta, implementa noi sisteme NEMS i MEMS, proiectantul trebuie s sintetizeze arhitecturi avansate, s integreze cele mai recente progrese n nano- i microactuatori/senzori (traductoare), structuri inteligente, circuite integrate (ICS) i multiprocesoare, fabricaie i materiale, proiectare structural i optimizare, modelare i simulare, etc. Este evident faptul c noile arhitecturi optimizate de NEMS i MEMS (cu procesoare sau multiprocesoare, ierarhii de memorie i parelelism multiplu pentru a garanta un calcul i o putere de luare a deciziilor avansate), noi structuri i actuatori, circuite integrate (IC) i antene, precum i alte subsisteme, joac un rol esenial n avansarea cercetrilor, a evoluiei i a punerii n aplicare a rezultatelor. Sistemele electromecanice, dup cum sunt prezentate n figura 1.3.1, pot fi clasificate astfel: sisteme electromecanice convenionale, sisteme microelectromecanice (MEMS), sisteme nanoelectromechanice (NEMS).
Fig. 1.3.1. Clasificarea sistemelor electromecanice Principiile de operare i fundaiile de baz a sistemelor convenionale i electromecanice MEMS sunt aceleai, n timp ce sistemele NEMS sunt studiate cu ajutorul diferitelor concepte i teorii. De fapt, proiectantul aplic principiile de mecanic implementate de ctre Newton i Lagrange, precum i principii electromagnetice (ecuaiile lui Maxwell) pentru a studia sistemele convenionale i electromecanice i sistemele MEMS. n contrast, sistemele NEMS sunt studiate cu ajutorul teoriilor cuantice i a conceptelor de nanoelectromecanic. Figura 1.3.2 prezint teoriile fundamentale folosite pentru a studia procesele i fenomenele n sistemele micro i nanoelectromecanice convenionale. 4
Fig. 1.3.2. Teoriile fundamentale folosite pentru studiul sistemelor electromecanice Sistemele NEMS i MEMS integreaz diferite structuri, dispozitive, i subsisteme. Cercetrile n domeniul integrrii i a optimizrii (arhitecturi optimizate i optimizare structural) acestor subsisteme nu au fost instituite i efectuate, iar performanele i comportamentul trebuie studiate de la un capt la altul (procesoare - reele subsisteme de intrare/ieire circuite integrate/antene - actuatori/senzori). Sistemele MEMS i NEMS de scar larg, care pot integra un procesor (multiprocesor) i memorii, reele de nalt performan i sisteme de intrare/ieire (IO), sunt mult mai complexe dect sistemele MEMS folosite uzual n acest moment. n particular, sistemele MEMS i NEMS de scar larg pot integra: mii de noduri de actuatori/senzori de nalt performan i structuri inteligente controlate de circuite integrate i antene; procesoare de nalt performan sau multiprocesoare; memorii cu stagii multiple i ierarhii de stocare cu diferii timpi de accesare a datelor (mii de dispozitive de stocare secundare i teriare ncrcate cu arhive de date); baze de date heterogene interconectate i distribuite; reele de comunicare de nalt performan (reele robuste, adaptabile, inteligente). Trebuie accentuat faptul c i cele mai simple nanosisteme (de exemplu, un actuator pur), de obicei nu pot funciona de sine stttoare. De exemplu, este nevoie de cel puin o surs intern sau extern de energie. Complexitatea sistemelor MEMS i NEMS de scar larg cere noi cercetri i dezvoltri fundamentale i aplicate. De asemenea, crete cererea de coordonare a unuei game largi de hardware i software. De exemplu, proiectarea de nano- i microactuatori/senzori avansai i de structuri inteligente, sintetizarea arhitecturilor optimizate (balansate), dezvoltarea de noi limbaje de programare i compilatoare, programe pentru depanare, sisteme de operare i de management a resurselor, sisteme de vizualizare de nalt fidelitate i de reprezentare, proiectarea de reele de nalt performan etc. Este mare nevoie de noi algoritmi i structuri de date, sisteme software avansate i acces distribuit la arhive vaste de date, tehnici sofisticate de cutare a datelor i de vizualizare, precum i analize avansate a datelor. n plus, mai este nevoie i de procesoare i multiprocesoare avansate pentru a atinge capabilitatea susinut cerut de sistemele MEMS i NEMS de scar nalt funcionale, pentru a putea fi folosite. Cercetrile fundamentale i aplicate n domeniul MEMS i NEMS au fost afectate dramatic de ctre apariia calculatoarelor de nalt performan. Analiza i simularea sistemelor MEMS i NEMS au avut rezultate semnificative. Problemele care apar n analiza, modelarea i simularea sistemelor MEMS i NEMS de scar larg i care includ dinamica molecular complet, nu pot fi rezolvate deoarece teoria cuantic clasic nu poate fi aplicat practic n molecule complexe sau nanostructuri simpliste (1 nm3 dintr-un actuator conine mii de molecule). 5
Exist cteva probleme de cercetare provocatoare n care teoriile i puterea de calcul avansate sunt necesare pentru a progresa n ceea ce privete teoriile i aplicarea acestora n practic. Fundamentele multidisciplinare ale nanoelectromecanicii trebuie dezvoltate pentru a garanta posibilitatea de a sintetiza, analiza i realiza sisteme MEMS i NEMS de nalt performan care s dein caracteristicile dorite (specificate). Acest lucru va scurta semnificativ timpul i costul dezvoltrii de sisteme MEMS i NEMS utilizate n scop medical i biomedical, n aeronautic i automobilism, n sisteme electronice i de fabricaie. Importana dezvoltrii de modele matematice i analize numerice a fost accentuat. Simularea numeric sporete, dar nu nlocuiete metodele de cercetare fundamentale. Mai mult, simulrile explicite ar trebui bazate pe studii fundamentale sigure i trebuie validate prin experimente. Totui, este evident faptul c simulrile conduc la nelegerea performanelor sistemelor MEMS i NEMS complexe (nano- i microstructuri, dispozitive i subsisteme), la reducerea timpului i a costului procesului pe care trebuie s l urmeze tehnologiile sistemelor MEMS i NEMS de la concept la dispozitiv/sistem i de la dispozitiv/sistem la scoaterea pe pia. Cercetarile fundamentale i aplicate sunt nucleul simulrii, iar eforturile trebuie concentrate asupra modelrilor complete i asupra calculrii avansate eficiente. Pentru a studia complet sistemele MEMS i NEMS, sunt necesare instrumente avansate de modelare i calcul n primul rnd pentru simulri i modelri intensive de tip 3D+ (dinamica geometric tridimensional), pentru a studia comportamentul dinamic complet al actuatorilor i a senzorilor. Modelele matematice ale sistemelor MEMS i NEMS, mpreun cu componentele acestora (structuri, dispozitive i subsisteme), trebuie dezvoltate. Aceste modele (augmentate cu algoritmi computaionali eficieni, computere terascalare i software avansat) vor juca un rol major n simularea i proiectarea de sisteme MEMS i NEMS din punctul de vedere al realizrii rapide de prototipuri virtuale. Exist trei categorii generale de probleme pentru care este critic dezvoltarea de noi algoritmi i metode de calcul: 1.Probleme pentru care sunt dezvoltate teorii fundamentale, dar complexitatea soluiilor este n afara razei acoperite de tehnologiile de calcul care vor aparea n viitorul apropiat. De exemplu, mecanica cuantic conceptual clasic i dinamica molecular nu pot fi aplicate nici mcar pentru nanoactuatori. n contrast, este posibil crearea de simulri predictive al comportamentului molecular al nano- i microactuatorilor/senzorilor i de structuri inteligente care ar putea conine milioane de molecule. 2.Probleme pentru care teoriile fundamentale nu sunt dezvoltate complet pentru a justifica simulri directe, dar care pot fi avansate sau dezvoltate prin metode avansate de baz i numerice. 3.Probleme pentru care metodele de modelare i simulare dezvoltate vor conduce la avansri majore i vor avea un impact important. De exemplu, comportamentul tranzitoriu complet 3D+ al sistemelor MEMS i NEMS. Pentru sistemele MEMS i NEMS, precum i pentru dispozitivele subsistemelelor, modelarea fidel i simulrile computaionale masive (modele matematice proiectate cu ajutorul librriilor i bazelor de date/arhivelor inteligente, manipularea i stocarea inteligent a datelor, corelarea i gruparea datelor, vizualizarea, cutarea i interpretarea datelor) ofer perspectiva dezvoltrii i nelegerii mecanismelor, fenomenelor i a proceselor pentru mbuntirea eficienei i a modului de proiectare a noilor sisteme de nalt performan MEMS i NEMS. Simulrile predictive bazate pe modelare necesit resurse de calcul avansate i un nivel de integrare fr precedent ntre inginerie i tiin. Pentru a modela i simula sisteme MEMS i NEMS, se augumenteaz mecanica cuantic modern, electromagnetica i electromecanica, toate la scar nano- i micro. n particular, scopul principal este de a dezvolta teoria nanoelectromecanicii. Se poate efectua analiza dinamic steady-state/starii de echilibru. Dei analiza starii de echilibru i optimizarea structural sunt importante pentru a nelege actuatorii/senzorii i structurile inteligente, sistemele MEMS i NEMS trebuie analizate n domeniul timpului. Scopul de lung durat al nanoelectromecanici este de a dezvolta o teorie fundamental pentru analiza interaciunilor dintre acionare i sim, calcul i comunicare, procesarea semnalelor i stocarea ierarhic a datelor i a altor procese i fenomene regsite n cadrul sistemelor MEMS i NEMS. 6
Folosind conceptul interaciunilor electromagnetice-electromecanice puternice, teoria nanoelectromecanic fundamental va fi dezvoltat i aplicat nanostructurilor i nanodispozitivelor pentru a prezice performanele prin soluii analitice i simulri numerice. Macromodelele dinamice al nodurilor pot fi dezvoltate, iar moleculele singure sau grupurile de molecule pot fi studiate. Efectuarea acestui studiu este decisiv n determinarea unui numr de parametrii pentru a obine evaluri corecte ale performanelor i pentru a analiza fenomenul prin efectuarea de simulri i prin compararea rezultatelor experimentale dup modelare i simulare. Progresele i dezvoltrile curente n modelarea i simularea fenomenelor complexe din cadrul sistemelor MEMS i NEMS sunt tot mai mult dependente de noi metode de abordare pentru a calcula, vizualiza i valida rezultatele clarificnd, corelnd, definind i descriind limitele dintre rezultatele numerice i analiza calitativ-cantitativ analitic, n scopul de a nelege trsturile de baz. Pentru simularea sistemelor MEMS i NEMS este nevoie de metode de calul avansate care vor fi disponibile n anii imediat urmtori. Limitrile computaionale i inabilitatea de a dezvolta modele matematice clare (unele fenomene non-lineare nu pot fi nelese), concentreaz studiile avansate asupra cercetrii de baz a modelrii i simulrii afectate de incertitudini. Procesele de modelare, simulare i proiectare sunt decisive n privina avansului i protejrii cutezanelor teoretice i inginereti. Ne concentrm cercetrile asupra dezvoltrii teoriei nanoelectromecanice pentru a modela i simula sisteme MEMS i NEMS de scar larg. De exemplu, la nivel de subsistem, nano- i microactuatorii i senzorii vor fi modelai i analizai n sistem 3D+ (dinamic geometric tridimensional n domeniul timpului) aplicnd algoritmi i metode numerice avansate. Metode riguroase de cuantificare a incertitudinilor trebuie dezvoltate. Incertitudunile rezult datorit faptului c este imposibil de a nelege complet procesele i subsistemele complexe din cadrul sistemelor MEMS i NEMS (actuatori/senzori, structuri inteligente, antene, circuite integrate digitale sau analogice, micarea datelor, stocarea i managementul n cadrul ierarhiilor de memorie cu nivele multiple, arhive, reele i periferice), schimbrile structurale i de mediu, fenomenele nemsurate i nemodelate etc. Pentru a proiecta sisteme MEMS i NEMS, vom dezvolta modele matematice analitice. Exist un numr de zone unde trebuie fcute progrese pentru a realiza promisiunile i beneficiile recente n domeniul dezvoltrilor teoretice moderne. De exemplu, pentru a realiza modelri de tip 3D+ ale actuatorilor/senzorilor i a structurilor inteligente, se vor folosi metode numerice i algoritmi analitici avansai (metode i algoritmi noi n generarea de geometrii i reele, asimilare de date i rafinare dinamic adaptiv a reelelor) precum i mediul computaional eficient i robust MATLAB. Exist probleme fundamentale i computaionale care nu au fost abordate, formulate i rezolvate datorit complexitii sistemelor MEMS i NEMS de scar larg (de exemplu, modele hibride de scar larg, abilitatea limitat de a genera i vizualiza cantiti masive de date etc.). Alte probleme ar fi nelinearitatea i incertitudinile care presupun limite fundamentale pentru a formula, pregti i rezolva probleme de analiz i proiectare. Prin urmare, ar trebui dezvoltate metode i algoritmi pentru cuantificarea i modelarea incertitudinilor, a tehnicilor de generare a reelelor i a geometriilor de tip 3D+, precum i metode de modelare i simulare adaptiv sub incidena incertitudinilor.
1.4. APPLICATII ALE SISTEMELOR MICRO SI NANO ELECTROMECANICE NEMS i MEMS trebuie proiectate in funcie de specificaii i cerinte, obiective i aplicaii. In general, NEMS sunt mai rapide i mai simple, mai eficiente i fiabile, rezistente i robuste n comparaie cu MEMS. Oricum, datorit mrimii limitate i capabilitilor funcionale, nu se pot atinge caracteristicile dorite. De exemplu, s consideram actuatorii nano i micro. Dimensiunea actuatorului este determinat de desitatea/mrimea forei sau momentului dezvoltat. Astfel, dimensiunea este determinat de necesitatea fortei sau momentului dezvoltat i de materialele utilizate. Utiliznd NEMS sau MEMS ca i dispozitive logice, semnalul electric de ieire (tensiune sau curent) sau cmp electromagnetic (intensitate sau densitate) trebuie s aib valoarea specificat. Cu toate c MEMS i NEMS au particulariti comune exist i diferene. Cercetarile si dezvoltarile curente in domeniul NEMS si al nanotehnologiilor moleculare sunt concentrate in principal asupra proiectarii, modelarii, simularii si fabricarii de dispozitive la scara moleculara. MEMS sunt fabricate folosind alte tehnologii, ca de exemplu semiconductoare metalice complementare (CMOS) i litografierile. Tehnologia de atasare directa a cipurilor a fost dezvoltata si des utilizata. Asamblarea flip-chip inlocuieste structura in benzi pentru conectarea IC-urilor (IC-circuite integrate) cu actuatori i senzori la scara micro si nano. Utilizarea tehnologiei flip-chip elimina rezistentele, capacitatile si inductantele parazite. Acest lucru conduce la creste caracteristicilor de performan. In plus asamblarea flip-chip ofera avantaje in implementarea impachetarilor/incapsularilor (packaging-ului) flexibile avansate, mbuntind funcionarea de lunga durata, reduce masa i mrimea etc. Asamblarea flip-chip include ataarea actuatorilor i senzorilor direct pe substratul IC-ului. Actuatorii si senzorii sunt montati cu faa n jos prin bumpere (socluri) pe placa formnd conxiunile electronice i mecanice in substratul IC-ului. Materialul de incapsulare este adaugat intre suprafata cipului i circuitul flex pentru a atinge fiabilitatea cerut. Figura 1 prezint MEMS-urile de tip flipchip.
Fig. 1. Ansamblu monolithic MEMS flip-chip cu senzori i actuatori MEMS-ul integrat la scar larg (un singur chip, care poate si produs in masa utiliznd (CMOS Complementary Metal Oxide Semiconductor - Semiconductoare cu Oxid de Metal Complementar), fotolitografie si alte tehnologii la costuri reduse, integreaz:
1
Noduri N de actuatori/senzori, structuri inteligente , IC-uri si antene, Procesoare i memorii, Reele de interconectare (bus-uri de comunicatie), Sisteme IO (intrare-iesire)
Pentru controlul sistemelor complexe, proceselor i fenomenelor se folosesc MEMS i NEMS. O diagrama bloc complex de funcionare a MEMS-urilor de scar larg este ilustrat in fig. 2.
Fig. 2 Schema bloc de functionare MEMS cu senzori si actuatori de rotatie si translatie Actuatorii se folosesc pentru a pune in miscare sistemele dinamice. Actuatorii raspund comenzilor stimulante (semnale de control) si pentru a dezvolta forte si momente. Exista un numar mare de actuatori biologici (ex. Ochiul uman si sistemele de locomoie) creai de om. Actuatorii biologici se bazeaza pe fenomene si procese electro-magneto-mecano-chimice. Actuatorii creai de om (motoare electromagnetice, electrice, hidraulice, termice si acustice) sunt dispozitive care primesc semnale sau stimuli (presiune, tensiune, termici si acustici etc.) si raspund in moment si forta. Sa luam in considerare avioanele. Actuatorii inteligenti bazati pe NEMS si MEMS sunt adecvati a fi utilizai la aparatele de zbor. Zborul la avioane, nave spaiale, rachete, i interceptoare este controlat prin actuatori care modifica geometria suprafeelor aeronavei si geometriei aripei. Spre exemplu
2
elevatoarele, flapsurile, stabilizatoarele, varfurile de aeronavelor avansate etc., pot fi controlate prin intermediul nano-micro i mini-actuatorilor utilizand tehnologia NEMS si MEMS. Figura 3 prezinta o aeronava in cadrul crea actuatori rotativi si de translatie sunt utilizati pentru controlul geometriei suprafetelor si pentru a schimba si controla geometriei aripilor.
Fig. 3. Aeronave cu actuatori NEMS si MEMS de translaie i de rotaie pentru zbor Senzorii sunt dispozitivele care primesc si raspund la semnale si stimuli. Spre exemplu incarcarile (pe care le simte aeronava in timpul zborului), vibratiile, temperatura, viteza etc, pot fi masurate de catre micro si nano senzori precum se vede in figura 4. Se poate meniona ca exista o multitudine de senzori care pot msura interferentele electromagnetice si deplasrile, orientarea si poziia, tensiunea electrica si curentul care trec prin dispozitivele electronice de putere etc.
Fig. 4 Aplicaii ale nano i micro senzorilor la aeronave Uzual cteva procese de conversie sunt incluse pentru a produce semnale senzoriale electrice, electronice, electromagnetice sau mecanice. Conversia energiei prezint interes. Folosind analiza
3
bazata pe energie se pot studia fundamentele teoretice generale. Dezvoltrile majore in NEMS si MEMS au fost conduse de ctre componenta tehnologiei de fabricatie a acestora, iar cercetarile aplicate s-au axat pe fabricarea structurilor si dispozitivelor precum si analiza caracteristicilor acestora. Spre exemplu, structurile inteligente micro i mini precum si IC-urile au fost studiate in detaliu iar tehnologiile fiabile de fabricaie, materiale si procese au fost dezvoltate. Recent au fost descoperite nanotuburile de carbon si au fost construite firele si tranzistorii moleculari. Cu toate acestea, nanostructurile i dispozitivele NEMS, MEMS sunt nc studiate la scara nanometric si se depun eforturi pentru a dezvolta teorii fundamentale. 1.5. SYSTEME NANO- AND MICROELECTROMECHANICE In general, MEMS-urile monolitice sunt structuri integrate microasamblate (microsisteme electromecanice pe un singur chip) care au atat componente electrice-electronice (circuite integrate) cat si mecanice. Pentru fabricarea MEMS, sunt utilizate metode de fabricare, tehnologii si materiale in microelectronica avansata. Actionarea si sesizarea nu poate fi considerata ca o functie periferica in multe aplicatii. Actuatorii-senzorii integrati (de obicei microstructuri de miscare) cu circuite integrate compun clasa majora de MEMS. Datorita utilizarii tehnicilor de litografie CMOS bazate pe tehnologii de fabricare a actuatorilor si senzorilor, microelectronica MEMS este o parghie in domenii suplimentare importante care revolutioneaza capabilitatile aplicatiilor. De fapt, MEMS au ajutat considerabil microelectronica in comparatie cu circuitele integrate. Amplificatorul operational de putere (Dual power operational amplifiers Motorola TCA0372) este un circuit integrat monolithic ce poate fi utilizat la controlul micromasinilor electrice de curent continuu este prezentat in figura 5.
Fig. 5 Aplicaii ale circuitului integrat la controlul micromasinilor de current continuu MEMS poate fi definit ca un lot de dispozitive fabricate la microscara (circuite integrate si microstructuri de miscare) care transforma parametrii fizici in semnale electrice si invers, in plus caracteristicile componentelelor electrice si mecanice la microscara, arhitecturile, structurile si parametrii acestora sunt elemente importante pentru functionarea si designul lor.
4
Fig. 6 Prezentarea generala MST(MEMS) Ex.
Fig. 7 Tehnici fundamentale MST (MEMS)
Structuri MEMS realizate la Sandia National Laboratories sunt prezentate in figura 8.
Fig. 8 Structuri MEMS de la Sandia National Laboratories
Fig. 9 Accelerometru MEMS
Fig. 10 Cartu de imprimant cu circuit integrat Fig. 11 Controlul aripilor aeronavei utilizand MEMS
5
Fig. 12 Micromanipulator cu trei grade de mobilitate
ASPECTE PRIVIND MANIPULAREA MICROOBIECTELOR IN MICROROBOTICA Una dintre sarcinile cele mai importante n TMS/microrobotic este manipularea obiectelor de mici dimensiuni. Micromanipulatoarele se utilizeaz n aplicaii n care este necesar o precizie ridicat de prindere, orientare i poziionare. n funcie de mediu se pot identifica micromanipulri: n aer, lichid, sau vacuum; iar n funcie de modalitile de contact sunt identificate: micromanipularea cu contact i micromanipularea fr contact; O alt clasificare vizeaz micromanipularea serial (componentele sunt asamblate una cte una) i micromanipularea paralel (mai multe componente sunt asamblate simultan). n funcie de aplicaie, pot fi identificate urmtoarele clase de micromanipulare: - micromanipulare manual; - micromanipulare parial automatizat (telecomandat), n cadrul unor sisteme comandate de la distan; - micromanipulare n cadrul unor staii computerizate, automate, multifuncionale. Micromanipularea serial conine: - micromanipularea manual; - micromanipularea telecomandat; - micromanipularea automat, iar micromanipularea paralel: - micromanipularea deterministic; - micromanipularea stocastic. Micromanipularea manual este cea mai utilizat n aplicaiile medicale, biologice i chiar n industrie, la microasamblare. Pe msur ce dimensiunile componentelor scad, cerinele de precizie devin tot mai mari i capacitile umane nu mai rspund acestor cerine. Micromanipularea telecomandat transform, prin intermediul unui joystick sau a mouse-lui, micrile minii operatorului uman n micri tridimensionale mai fine ale micromanipulatorului. n acest caz este foarte important transmisia diferitelor tipuri de semnale din lumea micro (video, audio, semnale tactile) ctre operator, oferindu-i acestuia un feed-back mai bun. Problema fundamental rmne rezoluia i viteza, deoarece micarea dispozitivului terminal este de fapt imitarea direct a micrii minii operatorului uman. Un sistem de micromanipulare telecomandat este prezentat n figura 1. Sistemul conine cinci componente: unitatea propriu-zis de manipulare, modulul de operare, microscopul optic cu camer CCD (charge coupled device), unitatea de control i modulul de transmitere a semnalelor. Unitatea de manipulare prezentata in figura 1 are n componen elemente de poziionare grosier i fin, un senzor de for multiaxial i un efector final. Elementul de poziionare grosier este acionat de un motor pas cu pas cu rezoluia 3,5 mm. Elementul de poziionare fin utilizeaz un principiu electromagnetic de acionare i are o rezoluie de 600 m pe direciile x, y i 800 m pe direcia z. Fiecare element de manipulare este echipat cu un senzor de for multiaxial ale crui semnale sunt transformate dup amplificare n semnale acustice corespunztoare, care la rndul lor sunt transmise la operator. Camera CCD i microscopul stereo sunt utilizate pentru transmiterea informaiei vizuale i expunerea ei pe un monitor. Sistemul de control utilizeaz transputere T805, fiecare element de poziionare grosier i fin fiind controlat de acesta. Modulul de operare este un joystick cu trei grade de libertate, echipat cu un senzor de for multiaxial care detecteaz forele pe care 1
operatorul uman le exercit. Acest sistem poate fi utilizat pentru a manipula piese cu dimensiuni de la civa micrometri la civa milimetri.
Fig. 1. Structura unui sistem de micromanipulare telecomandat Staiile computerizate (desktop stations) automatizate, multifuncionale, pentru micromanipulare sunt susinute de microroboi flexibili, mobili i capabili s execute manipulri n diverse spaii de lucru. Spre deosebire de micromanipulrile menionate mai sus, n acest caz nu exist nici o legtur direct ntre minile operatorului uman i robot. Etapele de asamblare sunt realizate cu ajutorul algoritmilor de comand cu bucl deschis, sau pentru sarcini mai complexe cu bucl nchis. Operatorul uman comand toate sarcinile mecanismului miniaturizat de asamblare, ncercnd s compenseze capacitile sale limitate de micromanipulare. ntr-o astfel de staie de micromanipulare pot s lucreze simultan mai muli microroboi. O astfel de staie automatizat pentru micromanipulare este prezentat n figura 2. 2
Fig. 2 Staie computerizat automatizat
University of Karlsruhe, Institute for Real-time Computer System & Robotics
Micromanipularea paralel deterministic n cadrul acestui tip de manipulare, mai multe componente sunt asamblate simultan. Relaia dintre o component i destinaia ei este cunoscut de la nceputul operaiei. Micromanipularea paralel stocastic n cadrul acestui fel de manipulare mai multe componente sunt asamblate simultan. Relaia dintre o component i destinaia ei este necunoscut sau aleatoare. Exist posibilitatea ca 3
pe baza unor fore fluidice, electrostatice, electromagnetice sau prin utilizarea vibraiilor s se realizeze o anumit asamblare. n general, manipulrile presupun urmtoarele etape: apucare, transport, poziionare, decuplare, procesare (tiere, decupare, lipire etc). n figura 3 se prezint cteva metode de manipulare specifice lumii micro. Pentru a fi posibile astfel de operaii sunt necesare unelte corespunztoare, cum ar fi: microcuite, microace pentru a fixa microobiecte, duze pentru microdozarea unui adeziv, dispozitive microlaser pentru lipire, sudur i tiere, diferite tipuri de cleti, unelte de ajustare etc. Obiectele cu dimensiuni de ordinul milimetrilor pot fi prinse cu minigrippere, realizate asemntor cu gripperele clasice, dar n condiiile unor precizii mult mai mari. Microgripperele, pentru a cror realizare se recurge la soluii originale, diferite de gripperele clasice, sunt destinate manipulrii obiectelor cu dimensiuni cuprinse ntre 1 mm i 1 m. Obiectele cu dimensiuni mai mici de 1 m nu pot fi manipulate dect cu dispozitive speciale, din domeniul nanotehnologiei.
Prindere + transport
Tiere
Strngere Absortie sau pulverizare Spare Zgriere + msurarea forei
Apucare + asamblare
Fig. 3 Manipulri n lumea micro Tehnicile recente de investigare utiliznd microscopul cu baleiaj cu efect tunel (STMScanning Tunnelling Microscope) i a microscopului de for atomic (AFM-Atomic Force Microscope) sunt promitoare. Pentru a realiza o astfel de servooperare la nivel nanometric, sunt importani nu numai actuatorii, ci i tehnologiile de detecie, materialele utilizate i structura general a echipamentului. S-au realizat demonstraii de scriere a unor caractere de dimensiuni nanometrice pe suprafaa unei plachete de siliciu prin utilizarea echipamentelor STM sau AFM. Atomii de la suprafaa plcuei de siliciu sunt extrai unul cte unul datorit cmpului electric de mare intensitate ce este concentrat n jurul atomului. n figura 4 a se prezint modelul unui probe nainte de manipulare pe care se gsesc nanoparticule de aur cu diametrul de 15 nm, iar dup nanomanipulare sunt obinute caracterele USC.
a) b) Fig. 4 Nanomanipularea particulelor de 15 nm Sistemele STM presupun utilizarea unui electrod din wolfram pentru msurarea curentului electric de tunelare i un actuator piezoelectric tip stiv care realizeaz poziionri 3D pentru electrod, cu rezoluie subnanometric. ntre electrod i prob este lsat o distan de cteva zecimi de nanometru; deplasarea electrodului este realizat n direciile z i z (fig. 5). Actuatori piezoelectrici conduc electrodul n micarea de scanare n planul x y. Cum distana dintre electrod i prob este meninut constant cu ajutorul circuitului de feedback, electrodul va executa o micare ntr-un plan paralel cu planul probei. Rezultatul scanrii este o hart z(x,y) a suprafeei probei. Rezoluia este att de mare nct pot fi detectate dimensiuni de ordinul diametrului atomic.
Fig. 5 Principiul STM Sistemul AFM se bazeaz pe forele interatomice. Principiul de operare este prezentat n figura 6. Forele atomice dintre prob i vrful prghiei-palpator vor cauza o ncovoiere a acesteia. Mrimea ncovoierii este msurat cu ajutorul unui laser. Forele depind de distana dintre vrful prghiei i suprafaa probei. 5
Fig. 6 Principiul AFM n cazul AFM-ului nu este necesar ca materialele probei i palpatorului s fie conductoare, din aceast cauz acest sistem are o aplicabilitate mai mare. Dac vrful palpatorului este adus foarte aproape de prob la cteva zecimi de nanometru, forele de respingere mpiedic vrful s penetreze proba. Sistemul AFM furnizeaz o rezoluie foarte bun dar nu poate fi utilizat n cazul probelor sensibile (de exemplu unele biomateriale sufer deteriorri din cauza forelor de contact). Alternativa const n plasarea vrfului sondei la o distan de civa nm sau zeci de nm unde forele atomice sunt nc active (sistem non-contact). Vrful este pus n vibraie cu o frecven de rezonan a prghiei n consol de ordinul kHz. Caracteristicile constructiv - funcionale ale microgriperelor sunt determinate nemijlocit de faptul c fenomenele fizice ce nsoesc mini i micromanipularea sunt diferite de cele specifice macromanipularii. Astfel, cea mai evident diferen const n importana mult mai mare a forelor de adeziune (de suprafa) dect a forelor ineriale (de mas) n lumea micro fa de lumea macro dimensiunilor. Ca i o consecin, lsarea (desprinderea) unui micro-obiect ridic mai multe probleme dect prinderea (apucarea) lui (fig. 7).
Manipulare n lumea macro
Apucare
Deschidere
Eliberare
Manipulare n lumea micro
Apucare
Deschidere
Eliberare
Fig. 7 Manipulri n lumea macro i micro Micro-obiectele pot fi sensibile la particulele de praf, la umiditate, vibraii sau variaii de temperatur. De aceea sunt necesare camere curate speciale, cu aer condiionat, care au filtre de aer i amortizoare de vibraii. 6
Greutatea micro-obiectelor este neglijabil iar cele mai semnificative fore de adeziune sunt forele Van der Waals, cele electrostatice precum i forele de tensiune superficial. Interaciunile obiect - obiect i obiect - gripper sunt foarte complexe. Reducerea acestor fore se poate realiza ca n figura 8.
Fig. 9 Reducerea i controlul forelor de adeziune La proiectarea i realizarea dispozitivelor de prindere miniaturizate (mini i microgrippere) apar constrngeri suplimentare, determinate de: - dexteritate mare impus acestora; acuratee ridicat; vitez mare de lucru, impus n condiiile unui spaiu de lucru redus; condiiile diferite de mediu n care opereaz (aer, lichide, medii biologice, camere curate, medii sterile); biocompatibilitatea materialelor; condiia de a realiza o prindere stabil a obiectelor de diferite forme; fragilitatea obiectelor manipulate n cadrul aplicaiilor ne-industriale, n special, n biologie, ceea ce determin controlul fin al forei de prindere; gabarit redus, comparabil cu cel al obiectelor manipulate; constrngeri specifice, determinate de interfaa care asigur schimbul de energie, informaie i substan cu alte sisteme i cu mediul. Cteva exemple reprezentative de microgrippere sunt prezentate n figura 10 a, b, c.
a)
b)
c)
Fig. 10 Micromanipularea unei microroi dinate utiliznd un microgripper din polisilicon
n figura 11 este prezentat o micromanipulare celular, iar n figura 12 se prezint asamblarea unei microroi dinate cu diametru de 500 m la microscopul electronic.
Fig. 11 Micromanipularea celulelor
Fig. 12 Asamblarea unei roi dinate cu 500 m
Alte solutii constructive de microgripere sunt prezentate in figura 13.
Fig. 13
1. Sisteme de acionare cu actuatori electromagnetici 1.1 Actuatori electromagnetici rotativi Sistemele de acionare pe baz de motoare electrice pas cu pas i motoare de curent continuu reprezint frecvente soluii de acionare cu aplicaii n microrobotic. Construcia clasic a acestor tipuri de motoare este marcat de tendinele i rezultatele deosebite n ceea ce privete miniaturizarea. Mai mult, sunt n plin dezvoltare motoarele ultraminiaturizate, realizate prin diferite tehnici litografice i tehnica straturilor subiri. Motoare pas cu pas i motoare de curent continuu Motoare pas cu pas Acionarea cu motoare pas cu pas se realizeaz incremental, cu pai unghiulari sau liniari de valori date, n general reduse i prezint avantajul c viteza unghiular a motorului nu este influenat de variaia momentului rezistent. Domeniul de variaie al pasului de lucru este inferior celui obinut la servomotoare. Motorul poate fi frnat uor, fr pierderi de pai, ceea ce permite o poziionare rapid a acestuia, spre deosebire de schemele de comand n circuit nchis, unde motorul este frnat treptat pentru a se realiza o poziionare precis. Puterea dezvoltat de aceste tipuri de motoare este inferioar celei dezvoltate de motoarele de curent continuu (pentru gabarite aproximativ egale). Din punct de vedere constructiv cele mai utilizate sunt motoarele cu reluctan variabil cu magnet permanent i cele hibride. Dac la un motor pas cu pas se cunoate frecvena limit de pornire f0 corespunztoare unui moment de inerie redus I 0r , iar motorul trebuie utilizat pentru un alt moment de inerie redus Ir, frecvena de lucru f corespunztoare este:
f = f0 I 0r Ir
(1)
Momentul static dezvoltat de motor Mm se determin cu relaia:
M m = M M sin K
(2)
unde MM momentul maxim, K constant dependent de tipul i construcia motorului, deplasarea mecanic unghiular a rotorului din poziia de pas. Momentul rezistent maxim (Mrm) ce poate fi aplicat unui motor pas cu pas se obine la intersecia curbelor A, B i C (fig. 1.1), reprezentnd momentele motoare dezvoltate de rotor n raport cu poziia cmpului statorului la activarea consecutiv a fazelor motorului.
Mm A
p B
p C
Fig. 1.1 Curba de variaie a momentelor motoare

1
Matematic, funcionarea motorului pas cu pas cu m faze impune studiul unui sistem de m+1 ecuaii dintre care m corespund celor m nfurri, decalate ntre ele cu 2 / m i o ecuaie de echilibru dinamic a motorului. Astfel, aceste ecuaii sunt: - ecuaiile de echilibru electric:
uk = Rk ik + - ecuaia de echilibru mecanic M m = I r + K d + M rr (4) d ( Lk , ik ) k = 1, 2,3 . m dt (3)
unde uk i ik reprezint valorile instantanee ale tensiunii i curentului nfurrii k; Lkinductivitatea acestor nfurri, M m momentul motor; M rr momentul rezistent redus (inclusiv momentul de frecare), K d - momentul de amortizare datorat cmpului magnetic, I r momentul de inerie redus, - acceleraia arborelui motor. n ecuaia (4) trebuie inut cont i de momentul rezistent al cuplului de meninere:
M rm = K r ( p p 0 )
(5)
acesta ine cont c n timpul funcionrii motorului pas cu pas exist o diferen (mic) ntre poziia de pas real p i poziia prescris p 0 . Existena acestei diferene determin apariia unui moment de meninere (care tinde s anuleze aceste diferene). La fel ca i la servomotoarele de curent continuu cu funcionare incremental este posibil controlul variaiei vitezei motorului pas cu pas. n relaia (4) se poate neglija termenul K d - i ecuaia de echilibru dinamic poate fi scris sub forma:
M m = I r + M rr
(6)
Momentul de inerie redus la arborele motorului, n cazul n care motorul este utilizat pentru acionarea roii unui robot se va determina cu relaia:
I r = Im + IR
(7)
unde Im este momentul de inerie al rotorului motorului pas cu pas, IR este momentul de inerie al roii motoare, IR = m(rR)2/2, iar m este masa i rR raza roii motoare Dac ntre roat i motor exist i un reductor (n general cu o treapt de reducere (fig. 3)) momentul de inerie redus se modific:
I r = I m + I1 +
1 (I 2 + I R ) i2
(8)
unde s-a notat cu I1, I2 momentele de inerie corespunztoare roilor dinate cu numerele de dini z1 i z2 i cu i raportul de transmitere i = z2/z1. Dac se impune o vitez v de deplasare a robotului, n funcie de caracteristicile geometrice 2 p f n funcie de care se calculeaz frecvena rezult viteza unghiular la axul motorului M = 360 impulsului de comanda cu relaia:
2
f =
360 M . 2 p
(9)
Se calculeaz M rr la axul motorului de antrenare considernd att rezistenta pasiv (frecri) ct i cele utile.Verificarea motoarelor const n a verifica dac punctul A de coordonate ( M rr , f ' ) se afl sub caracteristica motorului (fig. 1.2).
Senzori
CPU
r r
Motoare Reductor Reductor
Fig. 1.2 Modul de verificare a unui motor pas cu pas
Fig. 1.3 Robot acionat cu dou motoare
Im Ir deoarece caracteristica din figura 1.2 este ridicat pentru motoare, la mers n gol, astfel lundu-se n considerare ineria elementelor antrenate. Roboii, utilizeaz pentru antrenarea roilor motoare, n general, unul sau dou motoare (fig. 1.2 i fig. 1.3). Alegerea motorului pas cu pas ncepe cu calculul momentului rezistent redus la arborele de antrenare (care va include momentul de frecare dintre suprafaa de rulare i roat, momentul frecrii de rostogolire, momentul de frecare din lagrul roii). Momentul de frecare dintre suprafa i roat i momentul de frecrii de rostogolire se calculeaz cu relaiile (fig. 1.4):
Verificarea motorului se realizeaz pe baza frecvenei recalculate cu relaia: f ' = f
M f = Ff
d = FN rR M fr = FN s 2
(10)
unde: este coeficientul de frecare de alunecare, Ff - fora de frecare, FN - fora de reaciune care se determin distribuind greutatea total a robotului uniform pe cele trei sau patru roi ale robotului, s coeficientul frecrii de rostogolire, d = 2 rR diametrul roii.
senzor
CPU
baterii
rR Ft M fr s
Mm Ff
FN
Fig. 1.4 Robot acionat cu doua motoare de curent continuu

3
Fig. 1.5 Distribuia forelor i momentelor pe roata motoare
Dac presupunem c motorul ales are Np pai pe o rotaie i notnd cu s deplasarea minim programabil corespunztore unui increment al micrii atunci: d= Motoare de curent continuu Acionarea roboilor, n foarte multe cazuri, este realizat cu motoare de curent continuu. Motoarele de curent continuu utilizate n microrobotic sunt aproape n exclusivitate cu magnei permaneni i permit reglarea turaiei. Ecuaiile electrice i mecanice n regim tranzitoriu sunt:
di A u A = RAi A + LA dt + K e ; r r M m = I + M r + K d ; M = K i . m A m
N p s
(11)
(12)
n care: uA - reprezint tensiunea la bornele nfurrii motorului, iA - curentul absorbit de acesta, LA - inductivitatea nfurrii motorului, RA - rezistena total a nfurrii motorului, Ir - momentul de inerie redus, Mm - momentul motor, M rr - momentul rezistent redus care include i momentul de frecare din lagre Mf, Ke = - e0 tensiunea electromotoare, Kd - momentul de amortizare datorat pierderilor de cmp magnetic i frecrilor vscoase din lagre, - acceleraia unghiular a arborelui motorului, - viteza unghiular a arborelui motorului, Km - constanta momentului motor n Nm/A, Ke - constanta tensiunii electromotoare n V/rad s-1 sau V/K rot min-1 (Km = Ke). Rezolvnd sistemul de ecuaii (12) la alimentarea n curent constant (iA = IA = ct) se obin parametrii principali ai micrii astfel: din relaiile: M m = I r + M rr + K d i M m = K m I A obinem: d Ir + K d = K m I A M rr (13) dt sau scriind relaia de mai sus sub forma: K d 1 = rd + r K m I A M rr . (14) dt I I b Aceast ecuaie este de forma: ' (t ) = a + b cu a, b R avnd soluia (t ) = Ce at a 1 Kd unde a = r i b = r K m I A M rr . I I b Pentru t = 0, (0) = 0 rezult C = iar soluia ecuaiei (13) este: a Kd r t K I Mr r (t ) = 1 e I m A (15) K d
reprezentnd viteza unghiular a arborelui motor. Dup accelerare sau decelerare viteza unghiular devine: K I M rr L = m A Kd intensitatea curentului de alimentare n faza de regim se obine astfel:
(16)
K d M rr . + Km Km Derivndu-se ecuaia (15) se obine acceleraia unghiular n perioada tranzitorie Krd t ( K I M r ) (t ) = e I m A r r I pentru valori mici ale timpului de accelerare, de ordinul milisecundelor, rezult: (K I M r ) = m Ar r I viteza unghiular L i deplasarea se determin cu relaiile:
L K d = K m I A M rr I A = L
(17)
(18)
(19)
L = 0 + t i L = 0 +
unde 0 este viteza unghiular iniial, nainte de accelerare. Tensiunea de alimentare este determinat cu relaia (uA = UA): di u A = RA I A + LA A + ke = RA I A + ke L dt iar, din ecuaiile: U A = RA I A + ke L
t2 2
(20)
(21) (22) (23) (24) (25)
M m = KmI A
Mm =I +M
r r r
+ K d
eliminnd intensitatea IA obinem: Ke Km U K d + + + M rr A m = 0 Ir K d dt RA RA sau d 1 KK 1 U AKm = r M rr Kd + e m + r dt I RA I RA unde ecuaia (26) are soluia (t ) = C ' e a 't
(26)
b' cu, a' KK 1 U AKm 1 b' = r a' = r Kd + e m M rr I RA I RA b' i pentru t = 0, (0) = 0 se obine C ' = . a' La funcionarea motorului cu tensiune de alimentare constant, viteza unghiular a motorului este:
(t ) = 1 e

K d RA + K e K m I r RA
U A K m M rr t RA Ke Km Kd + RA
(27)
iar timpul t pentru obinerea vitezei unghiulare dup aplicarea tensiunii constante se obine din relaia de mai sus dac o aducem la forma:

K d RA + K e K m I r RA
U AKm M rr RA = U AKm K K Kd + e m M rr RA RA
(28)
iar dup logaritmare se obine:

U K M rr + A m RA I A RA . ln t = K R +K K U AKm Ke Km e m r d A Mr + Kd + R R A A
(29)
Dup faza de accelerare sau decelerare, viteza unghiular are valoarea:
=
rezult:
M rr R A + K mU A K K iar dac se consider K d << m e RA K d RA + K m K e
M rr R A U A + Km Ke Ke
(30)
iar acceleraia n regim tranzitoriu se obine derivnd relaia (27):
RA K d K m K e K mU A M rr R A I r RA t e I r RA
(31)
i este o mrime neliniar pentru intervale de timp foarte mici. La proiectare se determin momentul motor sau puterea motorului n perioada de regim, urmrindu-se dac motorul poate funciona i n regim tranzitoriu, cnd puterea consumat este mai mare datorit ineriei. n perioada de regim momentul motor Mm se consider aproximativ constant i se stabilete calculndu-se momentul rezistent redus M rr la arborele motorului al tuturor forelor i momentelor (inclusiv cele de inerie). Pentru calculul forelor i momentelor de inerie se consider cunoscut turaia motorului i se traseaz curba de variaie a momentului rezistent redus de exemplu ca n figura 1.6.
M M t ( ) t M
Fig. 1.6 Curba de variaie a momentelor motor i rezistent redus 6
t ( ) t
Pe intervalul unui ciclu tc, pentru o rotaie cu unghiul 1 + 2 a arborelui motor (de obicei 1 + 2 = n) trebuie ca lucrurile mecanice datorate momentelor motoare i rezistente s fie egale:
1 + 2
M rr d = (1 + 2 ) M m
(32)
n diagrama din figura 6 s-a considerat c M rr = 0 , pe intervalul 2 relaia (32) devine:

0
M rr d = (1 + 2 ) M m i rezult c:
1 r Mm = 0 M r d / (1 + 2 ) ,
(33)
iar puterea motorului este:

1 r P = M m = 0 M r d / (1 + 2 ) .
(34)
n cazul utilizrii servomotoarelor de curent continuu dac se cunoate viteza unghiular L din micarea de regim, se adopt tipul motorului i parametrii caracteristici Km, Ke, RA, Kd, Im, stabilindu-se cu relaia (17) curentul de alimentare IA. Este necesar ca IA < IAM , unde IAM este indicat n catalogul motorului i reprezint curentul de demagnetizare a magneilor permaneni. Dac este ndeplinit aceast condiie se determin relaiile (31) i (29) acceleraia unghiular i timpul de demarare. Antrenarea incremental cu motoare de curent continuu se poate realiza dac se adopt pentru viteza unghiular diferite legi de variaie: parabolic, triunghiular i trapezoidal ce sunt obinute prin controlul acceleraiei (fig. 1.7).
(t) L t (t) L t (t) tp tp
(t) L t (t) L t (t) tp tp 2 tp
(t) L t (t) L tp 2 tp
(t) L t t p 3 2tp 3 t p (t) 1 2 t 3
t (t) tf t ta tm tp
(t)
tp
a)
b)
c)
d)
Fig. 1.7 Variaia vitezei, deplasrii i acceleraiei unghiulare a arborelui motor n regim tranzitoriu: legi de variaie a) dreptunghiular, b) parabolic, c) triunghiular, d) trapezoidal Profilul optim al vitezei este dat de curentul consumat sau de energia disipat n nfurarea motorului. Se urmrete ca solicitarea termic a motorului s nu depeasc limitele admise. Energia termic dezvoltat n indus pe parcursul unei perioade de funcionare t este dat de relaia:
7

2 (t )dt = E d = R Ai A 0 t
RA r d Mr + I r dt . 2 km 0 dt
t
(35)
n relaia de mai sus s-a nlocuit intensitatea iA din relaia (13) momentul rezistent redus M se consider constant i s-au neglijat momentul de amortizare datorat pierderilor de cmp magnetic i frecrilor vscoase din lagre Kd . Dezvoltnd termenul de sub integral se obine relaia:
r r
Ed =
t t t 2 RA r2 r r + + M dt 2 M I ( t ) dt I r 2 (t )dt , r r 2 km 0 0 0
(36)
dar, deoarece n marea majoritate a aplicaiilor, perioada de funcionare reprezentat prin curbele (t ), (t ), (t ), are o form simetric pe intervalul 0 ... t , graficul acceleraiei (t ) are o poriune pozitiv de arie egal cu una negativ. Deci, termenul din mijloc al expresiei (36) este nul, rezultnd pentru energia termic dezvoltat formula general:
t RA r 2 r2 Ed = 2 M r t + I 2 (t )dt . km 0
(37)
Dac t = tp, unde tp este timpul n care se realizeaz un pas iar p reprezint deplasarea unghiular a arborelui motor, energia disipat n motor corespunztor fazei de funcionare se va determina cu relaiile: - pentru legea de variaie parabolic
2 2 12 I r p RA r2 Ed = 2 M r t p + km t3 p
(38)
- pentru legea de variaie liniar

r2 2 RA M r 2 t + 16 I p r p 2 km t3 p - pentru legea de variaie liniar cu palier 2 2 Ir p RA r2 Ed = 2 M r t p + 13,5 3 km tp
Ed =
(39)
(40)
O lege de variaie teoretic ideal este aceea n care viteza nu variaz n intervalul 0... t, i se ntlnete n cazul legii de variaie dreptunghiulare, dar este irealizabil din cauza solicitrii termice foarte mari (teoretic infinite) a indusului. Legea de variaie optim din punct de vedere al cldurii dezvoltate este cea parabolic, deoarece solicit cel mai puin motorul de acionare. Comparativ, legea de variaie triunghiular este mai dezavantajoas att sub aspectul cldurii dezvoltate, ct i al vitezei limit mai ridicate. n schimb, legea de variaie trapezoidal este apropiat de cea optim parabolic. n practic este dificil de a realiza o poziionare incremental dup o lege de variaie parabolic, fapt pentru care s-a preferat legea de variaie trapezoidal. Un alt parametru important care influeneaz energia dezvoltat de motor este raportul de transmitere al mecanismului dispus ntre motor i roata robotului (fig. 1.8).
Fig. 1.8 Structura transmisiei unui robot cu roi

n cazul n care este utilizat un reductor cu o singur treapt de reducere notnd cu i raportul de transmitere ntre motor i roat i considerndu-se momentul rezistent Mr constant se pot scrie urmtoarele relaii:
p = i R
M rr = M r / i I r = Im + IR / i2 unde: R reprezint pasul incremental al roii, Im momentul de inerie al rotorului motorului (s-au neglijat momentele de inerie ale roilor dinate), IR momentul de inerie al roii. Dac se introduc relaiile (41) n relaia (38) se obine cldura dezvoltat: Ed =
2 2 2 RA I R i 2 R M r t p + 12 , + I m 2 2 2 3 km i i t p
(41)
(42)
iar dac se noteaz cu =
t2 pM r
2 2 12 R IR
relaia (42) devine:

2 2 12 2 R I 2 Im 1 R A R = + x 2 3 , I + i2 k t x m p R
2 2 Im 1 12 R RA I R + i2 + 2 Ed (i ) = 2 3 2 kmt p IR i i
(43)
valoarea minim a expresiei (43) este obinut n urma anulrii derivatei n raport cu x ( x = i 2 ). Rezult: I x = i2 = R 1 + (44) Im din care se obine raportul de transmitere optim: IR 1+ . (45) Im Se constat c acest raport de transmitere depinde de factorul care include momentul rezistent. ioptim =
9
1.2 Actuatori electromagnetici liniari
Cel mai simplu actuator electromagnetic este alctuit dintr-un conductor parcurs de un curent electric amplasat ntr-un cmp magnetic constant cum este cel prezentat n figura 1.9. Expresia forei Lorentz este dat de relaia: dF = Idl x B (46)
Fig. 1.9 Fora Lorentz n cmp magnetic constant
Fig. 1.10 Exemple de actuatori Lorentz
Acest tip de actuator are o bun aplicabilitate n domeniul microsistemelor deoarece magneii permaneni miniaturizai produc cmpuri magnetice intense. n figurile 1.9 si 1.10 sunt prezentate dou tipuri de actuatori electromagnetici ce utilizeaz acest principiu: unul cu bobin mobil i magnet permanent fixat (fig. 9) i cellalt cu magnet mobil i bobin fixat (fig. 1.10). Levitaia este utilizat cu succes n microrobotic. Astfel n figura 1.11 este prezentat construcia unui actuator liniar pe principiul levitaiei electro-magnetice.
Fig. 1.11 Actuator liniar pe baz de levitaie magnetic
Fig. 1.12 Actuator electromagnetic liniar
n cazul actuatorului electromagnetic convenional din figura 1.12 fora de atracie se determin cu relaia: W 1 A 2 = 0 2 NI ) Fz (z) = (47) z 2 z unde: A - aria suprafeelor plane, 0 = 410-7 H/m - permeabilitatea magnetic a vidului, N numrul de spire.
10
Presiunea magnetic se poate calcula raportnd fora Fz(z) la suprafa: Pmagnetica = iar energia magnetic n ntrefier este dat de relaia:
2 NI 1 1 2 W = 0 H = 0 A/ z 2 2 2
1 1 0 2 NI )2 2 z
(48)
(49)
unde: H este intensitatea cmpului magnetic. n continuare, sunt prezentate n caz general, relaiile de calcul la acionarea cu electromagnei: Fora de atracie a actuatorilor electromagnetici convenionali (electromagnei) alimentai cu curent continuu sau alternativ, se determin cu relaia: dWm F=(50) dx n care: x - reprezint deplasarea armturii electromagnetului, Wm - energia magnetic total. Aceast for se poate exprim i n raport cu inducia magnetic n ntrefier B sau tensiunea magnetic Um (Um = R = / unde: - reprezint permeana magnetic care se determin n raport cu forma constructiv adoptat pentru electromagnet, - fluxul util al electromagnetului; R - rezistena util a bobinei electromagnetului). Fluxul magnetic este dependent de intensitatea curentului i, inductivitatea L a fluxului din ntrefier i numrul N de spire ale bobinei electromagnetului: = iL N (51)
Pentru un electromagnet de curent continuu, fora de atracie se stabilete cu relaiile:

2 2 K' 2 KU U F = K1 m ; F = 2 m ; F = 1 B 2 2 2
(52)
unde K1, K2, K1 pentru diferite forme constructive ale electromagnetului sunt indicate n literatura de specialitate. n cazul unui electromagnet de curent continuu la care ntrefierul este A A limitat de suprafee plane, K1 = 0 2 i K'1 = , unde A reprezint aria suprafeelor plane ale x 0 ntrefierului, se obine:
F= 2 K1 ' B2 A B2 . = = 2 0 2 2 0 A (53)
Temperatura de nclzire a electromagneilor de curent continuu rezult din relaia: 2 NI = 2f n l iar n regim intermitent, cu durata de conectare relativ Tc, cu expresia:
(54)
11
Tc NI (55) 2f n l n care NI este solenaia necesar, l - lungimea total a carcasei i a izolaiei dintre straturi, - coeficientul de transmitere a cldurii, f - factorul de umplere total inclusiv al marginilor nebobinate, - rezistivitatea bobinei, h - grosimea total a bobinei. Tensiunea de excitaie U este dat de relaia: = U = RI = 4 Lm NI/ d2 (56)
unde d - diametrul conductorului bobinei iar, Lm - lungimea medie a unei spire. Dac armtura electromagnetului este n micare se ine seama de variaia inductivitii n raport cu timpul. Tensiunea de alimentare a electromagnetului se determin cu relaia: U = Ri + dL di d = Ri + L + i dt dt dt (57)
unde: R - rezistena electromagnetului, t - reprezint fluxul magnetic util total din electromagnet: NiA 2 0 ; N - numrul de spire ale electromagnetului. t = N = 2x Ct timp armtura mobil nu este pus n micare, fora de atracie este mai mic dect fora rezisten redus Frr iar n momentul deplasrii cele dou fore sunt egale deci: F min = Frr = C0i 2 , pentru x = x0 unde x0 - poziia iniial a armturii, i - este curentul din electromagnet din momentul deplasrii armturii, C - este constant dependent de forma constructiv a electromagnetului. Pentru un ntrefier plan aceast contant se poate determina cu relaia: C0 =
N 2 A 0 2 8x 0
(58)
Timpul necesar pentru realizarea comenzii de pornire a unui electromagnet de curent continuu se determin cu relaia:
tp =
L ln R
U UR - Fmin C0
(59)
unde L - inductivitatea real a electromagnetului pentru poziia iniial a armturii (dac se neglijeaz reluctana fierului i cmpul magnetic de dispersie), N 2 A 0 L= . (60) x2 0 La calculul preliminar al unui electromagnet de curent continuu cu ntrefier plan n raport cu fora ce trebuie realizat, se red forma constructiv i modul de alimentare al electromagnetului i se stabilesc dimensiunile principale, nclzirea electromagnetului, timpul de lucru al acestuia. Cu ajutorul caracteristicilor statice (diagrama forei de atracie n funcie de cursa armturii pentru poziia imobil a acestuia) sau n raport cu constanta electromagnetului, dat de:
Ce = Fmin / x max
se alege tipul electromagnetului.
(61)
12
2 Exemple de actuatori electromagnetici si aplicatiile lor in microrobotica

Prin intermediul actuatorilor electromagnetici, energia electric este transformat n energie mecanic. n acest caz, motoarele miniaturizate reprezint dezvoltrile cele mai importante, putnd produce micri liniare sau de rotaie care sunt potrivite pentru diferite sarcini ale microsistemelor. Miniaturizarea actuatorilor electromagnetici implic mbuntirea proprietilor magnetice ale materialelor utilizate i dezvoltarea unor noi metode de fabricare pentru microbobinri. Dou micromotoare, realizate de Manufacturing Engineering Research Center, Toshiba Corporation, n dou variante constructive (un micromotor lung, cu ntrefier radial i cellalt cu dimensiuni mult mai reduse, cu diametrul exterior de 0,8 mm, cu ntrefier axial) sunt prezentate n literatura de specialitate. Miniaturizarea este posibil deoarece materialele folosite sunt materiale speciale cu caracteristici magnetice, electrice i mecanice deosebite, obinute prin tehnologia semiconductorilor. Micromotorul radial este construit dintr-un magnet i o bobin care asigur un cuplu ridicat, raportat la dimensiunile motorului. n figura 2.1 este prezentat o seciune prin micromotorul radial. Carcasa este cilindric cu diametrul de 3 mm i lungimea de 5 mm, conine bobina, magnetul i lagrele axului. Sensul de rotaie al motorului este dat de polaritatea curentului de alimentare. Cuplul de inerie la pornirea motorului radial este de 210-5 Nm, iar puterea dezvoltat de motor este de 98 mW la o tensiune de alimentare n curent continuu de 2 V [107]. Motorul nu are sistem de perii-colector utiliznd soluia de comutare electronic.
Lagr Rotor (magnei din pmnturi rare)
Bobin
Stator
Fig. 2.1 Seciune transversal prin micromotorul electromagnetic radial de curent continuu
Diferena major ntre micromotorul axial i cel radial care a dus i la posibilitatea reducerii dimensiunilor micromotorului axial, este poziionarea axial a rotorului (care conine magnetul) i a statorului alctuit din bobina de inducie, ntre ele fiind ntrefierul plan axial (fig. 2.2 a).
Rotor Magnet Bobin Stator Lagr Roti Bobin Magnet Roat conductoare
a)
b)
Fig. 2.2 Micromotor electromagnetic axial. Micromain ce utilizeaz micromotorul axial

Tensiunea de alimentare este de 1,7 V n curent continuu, iar n funcie de tensiunea de alimentare a motorului, se poate acoperi o plaj foarte larg de turaii: ntre 60 i 10000 rot/min. Utiliznd acest tip de motor a fost realizat o micromain care poate s se deplaseze cu o vitez de 120 mm/s (fig. 2.2 b).
13
i n domeniul servomotoarelor de curent continuu exist preocupri n ceea ce privete miniaturizarea. Astfel, prin utilizarea a dou servomotoare de curent continuu miniaturiazate la TOKI Corporation din Tokio a fost realizat un microsubmarin (fig. 2.3) care are dimensiunile 55 x 45 x 20 mm3, cntrete 16 grame i utilizeaz elemente motoare din aliaje cu memoria formei pentru ridicarea aripilor laterale.
Senzor IR Surs de lumin Corpul submarinului
Muf de alimentare
Lungime Latime Greutate
Arip
Fig. 2.3 Structura i fotografia microsubmarinului

Este echipat cu un microcalculator special proiectat, se mic n mediu lichid pe baza unui semnal infrarou (IR) sau PCM (Pulse Code Modulation). Cele dou servomotoare de curent continuu utilizate pentru propulsie au diametrul de 6 mm, lungimea de 12 mm, execut pn la 10000 rot/min la 1,35 V i 100 mA i sunt alimentate prin intermediul unui acumulator rencrcabil Ni-Cd. Elicele microsubmarinului sunt realizate din poliacetat, i au trei palete de 8 mm diametru. n cadrul unui proiect care a avut drept scop: miniaturizarea prin integrarea senzorilor i actuatorilor i realizarea unei comuniti de microroboi format din mai muli indivizi aflai n interaciune, la Massachusetts Institute of Technology (MIT), n laboratorul de Inteligen Artificial au fost realizai microroboii Ants cu dimensiuni de 1 inch3 (fig. 2.4).
a)
b)
Fig. 2.4 Microroboii Ants

Fiecare microrobot are n componen: 17 senzori din care: 4 senzori de lumin, 4 receptori pentru infrarou (IR), senzori de contact, senzori pentru alimentare i un senzor pentru nclinare (sau rsturnare). Aceti senzori comunic ntre ei prin intermediul a 2 emitoare n infrarou (unul montat n fa cellalt montat pe partea superioar a microrobotului). La Departamentul Energetic din Sandia National Laboratories a fost realizat microrobotul autonom a crui volum este dintr-un inch, se deplaseaz pe enile i are n componen (fig. 2.5): un microprocesor cu 8 K ROM, un senzor de temperatur, trei baterii de ceas i dou motoare de curent continuu pentru acionare.
14
i n domeniul motoarelor pas cu pas exist tendine de miniaturizare. Microrobotul "Monsieur" realizat la Seiki Epson Co. utilizeaz un motor pas cu pas ultra miniaturizat cu pasul unghiular al motorului de 1800, utilizat curent la ceasurile de mn. A fost asamblat manual i conine un numr total de 98 repere majoritatea acestora fiind repere de ceas (fig. 2.6).
Fig. 2.5 Microrobot cu volum de inch
Fig. 2.6 Microrobotul "Monsieur"
Motorul pas cu pas utilizat este uor de fabricat, are o mare fiabilitate, magnetul rotorului este din magnei pe baz pmnturi rare i are diametrul de 1 mm, greutatea 2 mg, iar statorul este din permalloy. n figurile 2.7 se prezint o vedere frontal i o vedere lateral a microrobotului. Microrobotul ''Alice'' realizat de ctre Autonomus Systems Lab. din Lausanne este unul din cei mai mici i ieftini microroboi inteligeni mobili, fiind utilizat pentru studiul comportrii colective (fig. 2.8).
a)
b)
Fig. 2.7 Vedere frontal i lateral a microrobotului "Monsieur"

Modulele de baz din componena microrobotului sunt: 2 motoare de ceas, 2 roi cu cauciuc, un microcontroler PIC16C84 cu memorie EEPROM de 1K, convertor analog-digital cu 2 canale, 2 baterii de ceas i ca module suplimentare: senzori de distan pentru navigare local, diod n infrarou pentru telecomand.
a) Fig. 2.8 Microrobotul Alice 15
b)
Microrobotul beneficiaz de dou nivele de control pentru navigare (fig. 2.9 b):
a)
b)
Fig. 2.9 Schema de control a microrobotului Alice - navigarea local este asigurat cu senzori de distan n IR, microrobotul ocolete obstacole, urmrete perei i distinge diferite forme; - o legtur (fr fir n IR) este utilizat pentru telecomanda robotului sau pentru reprogramarea navigrii. Microrobotul prezint ca avantaje: dimensiunile mici (23mm x 21mm x 16 mm), autonomia energetic 10 ore, flexibilitatea, cost sczut, distana de comunicare n IR 6 m, viteza de deplasare 20 mm/s. Pentru viitor se urmrete realizarea comunicrii ntre mai muli microroboi i controlul de la distan prin internet. Prin utilizarea aa numitelor micromotoare smoovy cu diametru de 3 mm realizate de firma RMB, a fost realizat microrobotul din figura 2.10 echipat cu roi dinate pentru deplasare. Utiliznd actuatori liniari de la aceeai firm (fig. 2.11) s-a realizat microrobotul zburtor din figura 2.12.
Fig. 2.12 Microrobot Fig. 2.11 Actuator liniar Fig. 2.10 Microrobot zburtor pe roi n cazul mini i microroboilor cu deplasare pe sol, cu ct sunt mai redui ca i dimensiuni cu att denivelrile suprafeei influeneaz negativ locomoia. n aceste cazuri, deplasarea prin salt sau prin zbor poate reprezenta o alternativ.
a)
b)
c)
Fig. 2.13 Microrobot zburtor n cmp electromagnetic a) structura microrobotului b) micarea aripilor c) fotografia microrobotului 16
Locomoia prin zbor a microroboilor este inspirat din zborul unor insecte sau psri bazndu-se pe micarea ritmic a unor aripi . Astfel, n figura 2.13 este prezentat principiul unui microrobot zburtor. Aripile sunt confecionate din poliimide i nichel (fig. 2.13 b). La amplasarea microrobotului n cmp magnetic alternativ fora magnetic acioneaz asupra stratului subire (peliculei) de nichel, determinnd vibraia aripilor. Prin utilizarea unui perechi de aripi se obine o for aerodinamic, portant. n privina utilizrii actuatorilor liniari sunt consemnate n literatura de specialitate o serie de realizri astfel: la NTT Interdisciplinare Research Laboratories, din Tokio, Japonia a fost realizat un microrobot acionat de o for electromagnetic, cu acumularea energiei ntr-un resort. Acest microrobot a fost realizat pentru a putea ptrunde n interiorul evilor de diametre mici, n serpentine sau n spaii restrnse, de ordinul milimetrilor, acolo unde nu se poate ajunge cu mijloace de msur sau control clasice (sonde, palpatoare, ublere, micrometre, rugozimetre etc). Schema de principiu a microrobotului i o fotografie a sa sunt prezentate n figura 2.14. Micarea pulsatorie din interiorul microrobotului este dat de fora electromagnetic i de fora nmagazinat n arc. Aceasta este transformat ntr-o micare unidirecional prin intermediul picioruelor de pe corpul mobil al microrobotului.
Limitator Element de cuplare Arc elicoidal
Cablu de alimentare
Picior spate
Miez
Piciorue Picior fa
a)
b)
Fig. 2.14 Microrobot cu actuator electromagnetic liniar Viteza microrobotului este controlat prin simpla modificare a frecvenei curentului de alimentare. Cteva caracteristici tehnice ale microrobotului sunt: dimensiuni: 10 x 10 x 8 mm3; greutate: 1,8 grame; viteza de deplasare: 30 mm/sec; panta maxim de urcare: 300. Utiliznd acelai principiu s-a realizat actuatorul din figura 2.15 a. Prin utilizarea acestuia a fost realizat un microrobot care se deplaseaz urmrind o traiectorie (linie neagr) (fig. 2.15 b) .
a)
b)
Fig. 2.15 Structura actuatorului electromagnetic i a microrobotului

Un microrobot destinat inspeciilor n evi cu diametrul de pn la un 1 inch, este prezentat n figura 2.16. Are diametru exterior 23 mm i 110 mm n lungime. Este echipat cu o microcamera de luat vederi de nalt fidelitate i un bra mecanic prevzut cu dou degete pentru manipularea obiectelor din eav.
17
Camera de luat vederi i braul mecanic se rotesc n jurul axei evii cu ajutorul unui motor pneumatic. Microrobotul are n componen un motor electromagnetic cu un rotor cu patru poli din magnei din samariu i cobalt i 16 bobine. Motorul are un diametru de 5 mm i o lungime de 8 mm, lagrele rotorului fiind pe baz de rulmeni miniaturizai. A fost testat ntr-o eava cu interiorul de 24 mm care a prezentat dou coturi, viteza de deplasare fiind 6 mm/s iar fora de traciune exercitat de 1N.
Fig. 2.16 Structura microrobotului
18
Actuatori n general, prin actuator se nelege un subansamblu care convertete o form de energie (electric, pneumatic, termic, chimic etc.) n energie mecanic. Structura acestuia nu mai poate fi descompus n sub-structuri dect cu riscul de a pierde capacitatea de generare a micrii. Micarea simpl, elementar generat de un actuator poate fi utilizat direct pentru un anumit scop sau poate fi transmis, transformat i amplificat, sau corelat cu micarea obinut de la ali actuatori. Actuatorii din domeniul aplicaiilor n mecatronic au o serie de particulariti care i difereniaz i individualizeaz, particulariti rezultate nemijlocit din caracteristicile generale ale tehnologiei mecatronice. Actuatorii sunt elemente componente ale sistemelor de acionare mecatronice proiectate i realizate n structur modularizat, la care propagarea i conversia energiei este nsoit de propagarea i conversia unor semnale purttoare de informaii. Sistemele de acionare mecatronice asigur fluxul de comenzi, conform cerinelor precum i fluxul de semnale de control, fiind realizate ca i sisteme automate, echipate cu traductoare, senzori i elemente de inteligen artificial. Criteriul calitativ hotrtor al sistemelor de acionare mecatronice este fidelitatea sau precizia de transmitere a fluxului de semnale purttoare de informaii. O caracteristic esenial a elementele din structura actuatorilor este faptul c au un triplu rol: - rol structural (de a prelua ncrcrile i sarcinile transmise); - rol senzorial (oferind suplimentar posibilitatea integrrii n structur a senzorilor i traductorilor, pentru a obine un control n bucl nchis); - rol de acionare. Pentru a reduce complexitatea, i astfel costurile i greutatea, actuatorii utilizeaz semnale pentru transmiterea comenzii (semnale de control) i semnale senzoriale, asemntoare sau identice cu semnalele pentru transmiterea energiei (.semnale de acionare). Actuatorii specifici aplicaiilor din mecatronic se realizeaz ntr-o mare varietate funcional i constructiv, n general au caracteristic urmtoarea structur (Fig. 1):
Energie de intrare Electric Magnetic Termic Optic Chimic Mecanismul actuatorului Caracteristici geometrice ale mecanismelor Proprieti de material Energie de ieire - Lucru mecanic - Cldur Micare
Cldur pierdut
Fig. 1 Structura actuatorilor Conversia energiei de intrare n energie util de ieire i cldur disipat se realizeaz prin intermediul cmpurilor electrice, magnetice, ca urmare a unor fenomene fizice: fenomenul piezoelectric, fenomenul magnetostrictiv, fenomenul de memorare a formei, ca urmare a dilatrii corpurilor la creterea temperaturii, a schimbrilor de faz, a efectului electroreologic, electrohidrodinamic, de diamagnetism. Mecanismul actuatorului transform, amplific i transmite micarea fcnd acordul cu parametrii specifici scopului tehnologic. Miniaturizarea actuatorilor determin tehnologiile de prelucrare a reperelor componente. Pentru a asigura o bun prelucrabilitate i posibiliti de asamblare a acestora, se utilizeaz frecvent tehnologiile neconvenionale (eroziune electric, eroziune chimic, eroziune ultrasonic, prelucrare cu fascicul laser etc) precum i tehnologiile specifice microstructurilor i nanostructurilor. 1
Microactuatorii reprezint dispozitive cu dimensiuni n intervalul (10-3 10) mm i care materializeaz un principiu funcional aplicabil n lumea micro. Microactuatorii includ, de asemenea, acei actuatori care sunt fabricai folosind tehnologiile specifice micromecanicii. Pe lng microactuatorii electrostatici, piezoelectrici sau electromagnetici care sunt n mod curent investigai, materialele magnetostrictive, electrostrictive i aliajele cu memoria formei devin tot mai utilizate. De asemenea, actuatorii hidraulici, pneumatici, termomecanici, electroreologici au tot mai multe aplicaii n acest domeniu. Aceti microactuatori deschid noi posibiliti, deoarece ei se bazeaz pe principii de funcionare complet diferite fa de actuatorii convenionali. n comparaie cu actuatorii convenionali, microactuatorii folosesc, n general, acionri directe fr elemente de transmisie mecanic. n privina integrrii ntr-un sistem, un actuator conecteaz partea de procesare a informaiei din unitatea de control a sistemului cu procesul care trebuie investigat. O reprezentare schematic a unui actuator integrat este prezentat n figura 2, unde semnalul de control generat cu ajutorul informaiei senzoriale este transformat n micare prin intermediul actuatorului.
. . . .
. . . .
. . . .
Fig. 2 Integrarea unui microactuator ntr-un microsistem Sistematizarea actuatorilor utilizai n microrobotic Actuatorii specifici aplicaiilor din microrobotic se realizeaz ntr-o gam foarte variat putnd fi concepui ca i actuatori liniari sau rotativi, avnd curs limitat sau teoretic nelimitat, cu un element activ sau cu mai multe elemente active n structur. Acionarea propriu-zis este obinut pe trei ci distincte: - Interaciunea cmpurilor magnetice, a curentului electric cu cmpuri magnetice precum i interaciunea sarcinilor electrice, permit materializarea unor actuatori care au curs teoretic nelimitat (micromotoare de curent continuu, micromotoare de curent alternativ asincrone i sincrone - n special cu rotor pe baz de magnei permaneni - micromotoare electrostatice), sau limitat (micromotoare liniare de curent continuu, microelectromagnei). - Acionarea bazat pe interaciunea mecanic presupune asigurarea fluxului de energie prin intermediul unui agent fizic, de regul un lichid sau un gaz, a crui presiune sau debit determin deplasarea sau deformarea unor elemente active. Astfel, actuatorii cu elemente mobile rotative sunt micromotoarele cu palete, cu rotaie parial sau total, microturbinele iar actuatorii liniari de acest tip sunt cilindri hidraulici i pneumatici. Actuatorii liniari cu elemente deformabile sunt cei cu tub flexibil i cei cu tub Bourdon iar cei de rotaie au n structur elemente active sub form de tub rsucit sau tub anizotropic, curbat. - Actuatorii a cror funcionare se bazeaz pe deformaiile liniare i unghiulare limitate, au n structur unul sau mai multe elemente din materiale "inteligente" - materiale care au capacitatea de a se deforma controlat, confecionate sub form lamelar dreapt sau curbat preformat, cilindric, form de disc, bar, bar de torsiune, membran, arc spiral sau elicoidal, astfel nct se obin att 2
deplasri liniare ct i deplasri unghiulare. Elementele active cu deformaie controlat pot fi nsoite de elemente elastice pasive sau pot fi nglobate n structuri cu proprieti de elasticitate. Deformaiile liniare sau unghiulare limitate, ce determin practic micri de translaie alternativ sau de oscilaie, pot fi transformate ntr-o micare continu de rotaie sau de translaie prin intermediul unor mecanisme i n condiiile unei dispuneri corespunztoare a elementelor active. n funcie de semnalul de intrare folosit pentru comanda actuatorilor, acetia se clasific astfel: - actuatori comandai termic (prin intermediul unui flux de cldur): - actuatori pe baz de dilatare a gazelor i a materialelor solide; - actuatori cu elemente active bimetalice; - actuatori pe baz de transformare de faz; - actuatori cu elemente active din aliaje cu memorie; - actuatori cu cear; - actuatori comandai electric (prin intermediul intensitii cmpului electric): - actuatori electrostatici; - actuatori piezoelectrici, cu elemente active din piezocristale, piezoceramici sau piezopolimeri; - actuatori electroreologici; - actuatori comandai magnetic (prin intermediul induciei cmpului magnetic): - actuatori electromagnetici; - actuatori magnetostrictivi; - actuatori pe baz de ferofluide; - actuatori comandai optic (optoelectric sau optotermic): - actuatori termo - / electro - fotostrictivi; - actuatori piro - / piezoelectrici; - actuatori comandai chimic: - actuatori pe baz de polimeri: geluri polimerice, polimeri conductivi, polimeri electrostrictivi (muchi artificiali); - actuatori pe baz de reacii chimice nsoite de degajare de gaze; - alte tipuri de actuatori, bazai pe alte fenomene fizice. Actuatorii specifici aplicaiilor din micromecatronic completeaz n mod fericit gama de elemente de execuie utilizate curent, anume servomotoarele de curent continuu, motoarele de curent continuu, motoarele pas cu pas, elementele de execuie pneumatice, hidraulice etc. Principalul criteriu de difereniere a microroboilor este reprezentat de sistemul de acionare n particular de tipul actuatorilor/microactuatorilor utilizai. Astfel, o schema simplificat a actuatorilor cu aplicaii n microrobotic este prezentat n figura 3.
Energie F o optic C tosint e he a e t l mo za, f oe en o to t l c u o s mi ni tf nis react ec mi ii ce n u l Ef o
ic ctr ec El tr
ta
ini um ea l n a u i s anic Pre mec a t cen inis Lum
Energie electric
e sa d Sur
Electroliza Celula de combustie
Energie chimic
E mec xplozie ano chim ica
Microprocesor
Fig. 3 Sinteza transformrii energiilor n energie mecanic
rica lect re e ica alzi Inc erm ie t
Energie termic
Fo rta ele Efe ct p ctrom iez oel agne tic ect a re ric e d Ar Frecare
rg ene
Dilatare termica
Energie mecanic
Microactuator
Microsenzor
Fig. 4 Componentele definitorii ale micromecatronicii
Criteriul de clasificare utilizat este cel al energiei de intrare, convertit de actuatori n energie mecanic (fig. 3). Examinnd aceasta schem bloc se desprind urmtoarele observaii importante: a) toate tipurile de energie sistematizate n schema bloc se transform n energie mecanic; b) transformrile energetice presupun anumite sensuri determinate, deci nu toate tipurile de energie se pot transforma nemijlocit n toate celelalte. Evoluia n dezvoltarea tehnologic, n secolul urmtor nseamn micromecatronic, nanomecatronic i biomecatronic. Este clar tendina de miniaturizare prin integrare, n realizarea sistemelor tehnice i de ndreptare a ateniei ctre lumea vie ca surs de inspiraie pentru noi creaii n tehnic. Micromecatronica, ca i subdomeniu a mecatronicii, reprezint integrarea sinergetic a sistemelor microelectromecanice cu tehnologiile electronice i mecanica de precizie. Aceasta urmrete aceeai abordare ca i mecatronica dar se axeaz pe reducerea dimensiunilor sistemelor meninndu-le funcionalitatea. Aplicaii ale micromecatronicii sunt evideniate n: domeniul medical (microcateterele pentru neurochirurgie, micropompe pentru livrarea de medicamente, organe artificiale etc); n domeniul industrial (microsenzori pentru echipamente de inspecie i reparaii, microscanere pentru sisteme optice etc) i n domeniul serviciilor (interfee cu operatori umani, jucrii inteligente etc). n structura sistemelor micromecatronice se identific urmtoarele componente aflate ntr-o legtur organic, prezentat n figura 4. Microprocesorul (creierul artificial) are rolul de a controla sistemele micromecatronice utiliznd att metode simple (logic secvenial) ct i metode de control mai complexe. Aceste metode determin nemijlocit tipul microprocesorului i performanele sale. Microsenzorii (organele de sim artificiale) intelectualizarea microsistemelor presupune dezvoltarea de microsenzori cu rol de a detecta att mediul exterior al microsistemului ct i cel interior. Microtehnologiile actuale permit realizarea i integrarea cu circuite electrice a urmtoarelor tipuri de microsenzori: de presiune, de acceleraie, chimici etc. Microactuatorii (muchii artificiali) prin combinarea microtehnologiilor cu tehnologiile convenionale s-au creat condiiile de realizare a unor microactuatori performani din categoriile: electromagnetici, electrostatici, piezoelectrici, optici etc. Biomecatronica are ca obiect de activitate sistemele inteligente destinate aplicaiilor medicale (pentru ajutarea sau asistarea funciilor motrice i, mai ales, senzoriale, pierdute definitiv sau diminuate, pentru perfecionarea tehnicilor i echipamentelor de achiziionare, prelucrare i analiz a unor imagini din interiorul organismului, pentru mbuntirea diagnosticrii i tratamentului, pentru perfecionarea tehnicilor chirurgicale). Cteva din produsele biomecatronice sunt: sistemele protetice inteligente, organele i esuturile artificiale, echipamentele de asigurarea mobilitii, robotica pentru asistarea persoanelor cu handicap, sistemele miniaturizate pentru chirurgia minimal invaziv, echipamentele de imagistic medical, etc. In domeniul nanomecatronicii se pot evidential dimensiunile submicronice ale unor componente ce reclama tehnologii de comanda si control a manipularii la nivel nanometric. Tehnicile recente de investigare utiliznd microscopul cu baleiaj cu efect tunel (STM-Scanning Tunnelling Microscope) i a microscopului de for atomic (AFM-Atomic Force Microscope) sunt exemple care confirma aceste tendinte. S-au realizat demonstraii de scriere a unor caractere de dimensiuni nanometrice pe suprafaa unei plachete de siliciu prin utilizarea echipamentelor STM sau AFM. n figura 5 se prezint modelul unui probe nainte de manipulare pe care se gsesc nanoparticule de aur cu diametrul de 15 nm, iar dup nanomanipulare sunt obinute caracterele USC. 4
Fig. 5 Nanomanipularea particulelor de 15 nm
Multe organisme biologice servesc ca exemple pentru nanoroboi. Acestea sunt simple i eficiente, constituind totodat, modele pentru sistemele de acionare electrochimice. n domeniul biologiei moleculare au fost elucidate structura motorului flagelar (fig. 6) i a fibrei musculare.
Fig. 6 Motorul flagelar
Fig. 7 Enzima capcan
Rotorul motorului flagelar se rotete contra statorului n raport de densitatea ionului de hidrogen H+. De asemenea a existat ipoteza c enzima este o micromain molecular, macroglobulina 2 se deformeaz pentru a prinde n capcan enzima proteolitic (fig. 7). n viitor nanosistemele, vor avea aplicaii semnificative n domeniul serviciilor n special, n domeniul medical.
LOCOMOTIA BIOSISTEMELOR - MODEL DE INSPIRATIE IN MINI / MICROROBOTIC 1. LOCOMOTIA BIOSISTEMELOR Biosistemele se caracterizeaz prin micare mecanic (a lor i a subsistemelor componente), la nivel molecular, subcelular i supracelular. Micarea activ a fiinelor vii const fie n mobilitate (capacitatea de a-i schimba poziia n spaiu), fie n contractilitate (capacitatea de a genera fore). Deplasarea organismelor poate avea loc: a) la limita de separaie dintre dou medii. Astfel, deplasarea poate avea loc la limita dintre ap i uscat (animale ce se deplaseaz pe fundul apelor), la limita dintre aer i uscat (animale ce se deplaseaz pe suprafaa pmntului, prin trre sau pire) sau la limita dintre aer i ap (animale ce se deplaseaz la suprafaa apei). b) n cuprinsul aceluiai mediu (n ap sau n aer). Micarea n cuprinsul aceluiai mediu poate fi not (locomoie acvatic) i zbor (locomoie aerian). Organismele unicelulare se deplaseaz fie cu ajutorul micrilor amiboidale fie cu ajutorul cililor sau al flagelilor. Micarea ciliar i flagelar d posibilitatea deplasrii cu uurin a organismelor n mediul lor extern. Micarea cililor este de ''vslire cilic'', (Fig. 1) un ciclu avnd cursa util (C.U. 1-2-3) i cursa de revenire (C.R. 4-5-6). n timpul C.U. cilul se nclin spre baz, mpingnd lichidul pe lng suprafaa de care este ancorat (sgeata indic sensul de deplasare al fluidului). n timpul cursei de revenire, care este mai lung dect al celei utile, cilul nu mai este rigid, ci se ndoaie treptat, revenind n poziia ''1'' gata de a ncepe un nou ciclu. Cilii vslesc cu o frecven de 10-14 Hz i realizeaz o vitez de transport a filmului de lichid de aproximativ 1 mm/s. Frecvena cililor depinde de specia considerat dar i de condiiile de mediu. Cilii nu se mic aleatoriu ci coordonat, ca un lan de gru n btaia vntului, producnd un flux nentrerupt de lichid pe lng suprafa. Figura 1 b prezint astfel de cili (numii metacroni) n diferite faze ale cursei utile.
1 6 5 4 2 3
E P IT E L IU (F IX )
E P IT E L IU (F IX )
a Fig. 1 Micarea ciliar
Flagelii sunt specializai pentru realizarea notului ntr-un lichid. Ei constau din protuberane ale membranei plasmatice umplute cu un mnunchi de tubule cu diametre comparabile cu ale cililor (0,5 m) dar cu lungimi mai mari, de la 0,1 0,2 mm pn la civa mm. Ei execut o micare n plan, ondulatorie, care se propag de la baza lor, de lng membran, spre vrf asigurnd-le prin reaciune, o mpingere nainte (Fig. 2). Sgeata indic sensul de naintare. Frecvena btilor flagelilor este de 4060 Hz, viteza de deplasare a celulei fiind de 5 50 lungimi de flagel pe secund.
3 2 1
a
Fig. 2 Micarea flagelilor
b
Fig. 3 Deplasarea amibei
Micarea organismelor animale ce nu au un esut muscular se realizeaz prin mecanisme primitive bazate pe existena unor elemente contractile n protoplasm, a unor formaiuni contractile sau pe micarea protoplasmei. Astfel cea mai primitiv form de micare din lumea animal este micarea amiboidal. Principial exist dou tipuri de amiboism: prin traciune i prin rostogolire. Excitantul cel mai frecvent al unei amibe este o substan alimentar. Cnd aceasta ajunge n contact cu corpul amibei, o excit i determin formarea unui pseudopod. Acesta ader cu captul lui la suport i, contractndu-se, trage corpul amibei nainte (Fig. 3 a, b); apoi se formeaz un nou pseudopod. n cazul amiboismului prin rostogolire, pseudopodul format nainteaz continuu iar protoplasma se rostogolete ca i enilele unui vehicul (Fig. 3 c). Deplasarea prin trre presupune naintarea prin micri specifice, cu trupul lipit de pmnt, ceea ce conduce la o pierdere mare de energie prin frecare. Performanele cele mai mari la deplasarea prin trre, le obin animalele fr picioare (apodele): erpii, rmele, melcii, omizile etc. Astfel, deplasarea erpilor se realizeaz prin ondulaii laterale orizontale, prin aanumita micare serpentiform (Fig. 4). Ondulaiile se propag din regiunea anterioar spre regiunea posterioar, asperitile terenului servind ca puncte de sprijin. Solzii ventrali sunt folosii drept prghii pentru naintarea corpului. Un alt tip de micare specific arpelui este micarea tip concertin, executat n spaii nguste (Fig. 5). arpele i strnge o parte a corpului su n cteva bucle cu care preseaz pereii tunelului, n felul acesta fixnd acea parte. n acest timp partea anterioar se ndreapt n sensul de deplasare. Apoi are loc fixarea corpului arpelui n noua poziie i reluarea procesului de naintare.
s
a
a b
b
c
c
d
d
Fig. 5 Micarea concertin a arpelui
Fig. 4 Micarea serpentiform a arpelui

m b a
Fig. 6 Aciunea solzilor ventrali
a b Fig. 7 Principiul de deplasare al viperei i al cobrei
n figura 6 este ilustrat schematizat mecanismul aciunii solzilor ventrali la naintarea arpelui. S-au utilizat notaiile: a solz posterior, b solz anterior, m muchi tegumentar. Solzii tegumentari ventrali sunt dispui transversal fa de axa corpului. Prin contracia 2
muchilor tegumentari un solz este ridicat i tras nainte. Acesta se sprijin cu marginea lui posterioar de o asperitate, astfel nct servete ca prghie pentru tragerea nainte a solzului urmtor. n acest fel, pornind din regiunea anterioar, pn n regiunea posterioar, corpul este tras treptat nainte. n figura 7 a este reprezentat schematic principiul de deplasare al viperei, bazat pe ondulaii n plan vertical comparativ cu al cobrei, bazat pe ondulaii i extensii n plan orizontal, (Fig. 7 b). Principiul de deplasare al viermilor bazat pe extensie n plan orizontal este prezentat n figura 8 a iar n figura 8 b este un alt exemplu de locomoie specific lumii vii. Locomoia rmei se face tot prin trre prin micri ce se aseamn cu cele peristaltice folosind ca prghii de sprijin periorii laterali ai corpului i a asperitile terenului (Fig. 9). n prima faz are loc o subiere i o mpingere nainte a regiunii anterioare a corpului prin contracia musculaturii circulare i b relaxarea celei longitudinale. Apoi urmeaz o Fig. 8 Alte principii de locomoie trecere nainte a regiuni posterioare a corpului prin contracia musculaturii longitudinale i relaxarea celei circulare, avnd ca punct de sprijin periorii laterali ndreptai cu vrful spre napoi. Astfel ntregul corp, sau unele segmente, se poate deplasa spre nainte dar nu mai poate reveni la poziia iniial. Scurtrile i lungirile succesive ale unor poriuni din corpul rmei se obin prin ngroarea i subierea acestora i nu prin curbare ca la arpe. Deplasarea lipitorilor se realizeaz printr-un mecanism asemntor, alungirile i scurtrile corpului determinate de contracia succesiv a musculaturii circulare i longitudinale fiind nsoite de fixarea prin intermediul ventuzelor (Fig. 10). Din totalitatea speciilor regnului animal, vertebratele reprezint 9%, insectele 70% i celelalte grupe de animale 21%. Din cele peste 4 milioane de specii de insecte, au fost studiate numai aproximativ 750.000. Insectele se deplaseaz cu ajutorul picioarelor sau al aripilor, acionate de un mare numr de muchi. Mecanismul general al locomoiei vertebratelor presupune urmtoarea succesiune: impuls nervos, contracie muscular, aciune a prghiilor osoase i mobilitate articular. Un numr de vieuitoare (cangurul, iepurele, broasca, lcusta) se deplaseaz prin salt, n condiii de consum energetic minim, vitez de deplasare mare i echilibrare dinamic.
1 2
3 1 2
7 8 1
Fig. 9 Locomoia rmei
Fig. 10 Locomoia lipitorilor
La broasc (Fig. 11) salturile se bazeaz pe picioarele din spate, ale cror dimensiuni sunt mult mai mari dect ale celor din fa, permind o curs mare a saltului. Membrele anterioare au rolul de a amortiza ocul la cdere pe sol, dup sritur. Diversitatea anatomic i morfologic a faunei acvatice se regsete i n diversitatea mecanismelor fiziologice cu ajutorul crora reprezentanii se deplaseaz n acest mediu. O prim categorie de animale sunt cele care plutesc datorit formei i densitii corpului lor (not surfactant). Insectele cu aceast posibilitate de deplasare, au la captul abdomenului glande ce secret o substan care micoreaz tensiunea superficial a apei.
Fig. 11 Saltul unei broate
Fig. 12 Fazele unei ntoarceri executate de un pete
Cele mai multe animale acvatice se deplaseaz, ns, activ n masa apei, n moduri foarte diferite - prin alunecare, prin micare de tumb (actiniile), prin micri serpentiforme (viermii), cu ajutorul picioarelor (crustaceii), prin aruncarea brusc a apei din cavitile lor (meduzele, cefalopodele) sau prin not (crustaceii i petii). Corpul petilor, fusiform, asigur o rezisten minim de naintare din partea apei. Acest lucru nu este datorat numai formei corpului ci i utilizrii unor generatori de vrtejuri n regiunea codal, utilizrii mucusului pentru micorarea rezistenei la naintare. Deplasarea petilor este datorat micrilor ondulatorii efectuate de nottoarea codal sau de ntregul corp, avnd ca punct de sprijin masa de ap. Celelalte nottoare asigur meninerea unei anumite poziii a corpului la schimbarea direciei de not. n figura 12 sunt ilustrate fazele unei ntoarceri efectuate de un pete. Locomoia aerian se refer la zborul psrilor i al insectelor. Dou treimi din totalul speciilor animale pot zbura. Ele utilizeaz energia muscular pentru a echilibra greutatea corpului lor i pentru a nvinge rezistena opus de aer la naintare. La psri, densitatea este micorat datorit sacilor aerieni i structurii poroase a oaselor, iar la insecte, datorit sistemului respirator troheal, plin cu aer. Zborul poate fi planat sau batant. Frecvena btilor variaz de la 5 Hz la fluturi, pn la 1000 Hz la musculie. Multe insecte pot zbura lateral, pe vertical sau chiar napoi. Psrile pot atinge pn la 160 km/h. 2. LOCOMOIA N MINI / MICROROBOTIC Microroboii sunt sisteme de mici dimensiuni, cu funciuni evoluate care pot realiza operaii minuioase n spaii extrem de reduse. Recent frontierele acestui domeniu au fost deschise de tehnologiile de microprelucrare a siliciului, n care structurile mecanice de ordinul de mrime microscopic se formeaz pe plachete din acest material, prin corodare, depunere i tehnici de litografiere. Cercetrile privind tehnologia microsistemelor sunt la nceput i numeroase probleme privind frecarea, durabilitatea, rezistena la solicitri i sursele de energie sunt nc nerezolvate. Sunt necesare noi tehnologii, incluznd metode de proiectare, de prelucrare, asamblare i control. Trebuie investigate metodele de miniaturizare, materialele i particularitile fenomenelor fizice la scara microscopic. Definirea microroboilor deriv din lumea macro astfel: un microrobot este caracterizat prin caracteristicile sale de programare, senzori, actuatori, i n general prin mobilitatea sa fr restricii. Ca i roboii convenionali, microroboii au n componen dou subsisteme 4
autonome care determin agilitatea global a acestora: - subsistemul pentru manipularea obiectelor (braele i minilemicrorobotului); - subsistemul pentru deplasarea platformelor microroboilor. Primul subsistem determin capacitatea de manipulare a microrobotului, iar cel de al doilea mobilitatea sa. Fiecruia din aceste dou subsisteme, le sunt caracteristice anumite tipuri de actuatori, care rspund particularitilor constructiv-funcionale determinate de reducerea dimensiunilor. Prin analogie cu locomoia biosistemelor, n funcie de modalitatea de locomoie a mini si microroboilor mobili, se disting urmtoarele posibiliti de deplasare,(Tab.1).
Tabelul 1 Modaliti de locomoie ale mini / microroboilor mobili
Locomoia ntr-un singur mediu Locomoia la limita de separare a dou medii
- locomoia n aer - locomoia n lichid - locomoia pe suprafa solid (la limita solid-aer) - locomoia pe suprafaa lichidului (la limita lichid-aer) - locomoia pe fundul apei (la limita lichid-solid )
Din punctul de vedere al elementelor de contact cu mediul de deplasare, mini/microroboii mobili pot fi clasificai n urmtoarele categorii: cu roi; cu enile; cu picioare; zburtori; nottori; cu sisteme de deplasare combinate (roi-picioare, roi-senile). n tabelul 2 sunt sistematizate cteva modaliti de locomoie utilizate n microrobotic n coresponden cu sistemele de acionare ale acestora.
Modaliti de locomoie Tabelul 2 Modaliti de locomoie i sisteme de acionare specifice Ci de rulare Acionarea - pe perii (trre) - pe picioare nclinate (fr pire) - pe picioare (pire) - fr contact - Electromecanic - Piezoelectric - Actuatori pe baz de memoria formei - Electrostatic - Pneumatic - Electrostatic - Electromecanic - Electromagnetic - motoare de curent continuu - motoare pas cu pas fr fire (de ex. prin transfer optic de energie) - micromotore ultrasonice - motoare rotative
Fr roi
- pe roi
Cu roi
- Piezoelectric - Pneumatic Cu enile Sisteme hibride - pe enile - cu roi i picioare - cu roi i enile - Electromecanic - Pneumatic
- Electromagnetic - Piezoelectric - Actuatori pe baz de memoria formei
Majoritatea acestora sunt proiectai n funcie de sarcinile specifice ce trebuie s le ndeplineasc. 5
Clasificarea microroboilor se poate face din mai multe puncte de vedere. Pe lang clasificarea din punct de vedere dimensional sau al sarcinilor specifice, se poate face i n funcie de mobilitate i funcionalitate. n figura 13 este prezentat clasificarea funcional a microroboilor.
Fig. 13 Clasificarea funcional a microroboilor
Notaiile utilizate au urmtoarele semnificaii: CU - unitate de control; PS - surs de putere (alimentare); AP - actuator pentru poziionare; AO - actuator pentru operare. n aceast clasificare, se iau n considerare patru criterii importante: - mobilitatea (da/nu), - posibilitile de manipulare, - autonomia energetic (sursa de energie ncorporat /nencorporat), - tipul de control (transmiterea semnalului prin cablu / fr cablu). Prin combinarea celor patru criterii n figura 13 sunt prezentate 15 configuratii posibile de microroboti. Sistemele de acionare pentru mini/microroboii mobili trebuie s fac fa urmtoarelor constrngeri generale: putere mic / eficien mare; control simplu; s reziste n medii ostile. n acelai timp mini/microroboii trebuie: s traverseze terenuri cu obstacole mai mari dect propriile dimensiuni; s dispun de mecanisme simple de escaladare; s fie uor de realizat. n concordonan cu cele pezentate, n figura 13 sunt prezentate cteva exemple reprezentative de mini sau microroboi mobili, avnd metode diferite de locomoie si sisteme de acionare variate.
Principiul actuatorului bimetalic (ciliar). Transportul unui placi i a unei greuti
Microrobot wireless pentru inspecia suprafeei interioare a evilor
Mecanismul de locomoie cu actuator PZT bimorf n opt straturi
Fig. 13 Exemple reprezentative de mini/microroboi mobili
Scaling and Scaling Effect
Fig. 1 Scari
Ce este efectul de scara / efectul scalarii / efectul reducerii dimensiunilor - schimbarea de cantitati fizice dominante intre scari diferite se numeste efect de scara Pentru a exprima diferite legi ale scalrii (reducerii dimensiunilor) utiliznd o notaie matricial Trimmer a prezintat o metod n care mrimea sistemului este luat n considerare printr-o singur variabil (de scalare) l, care, este o dimensiune liniar a sistemului. Pentru diferite fore posibile rezult:
l1 2 l (1) F = 3 lF l 4 l n primul caz fora se evalueaz ca l1, n al doilea caz fora se evalueaz ca l2 etc. Se poate aprecia comportarea acestei reprezentri prin urmtorul exemplu: cnd sistemul se micoreaz (fig. 2 ex.: sistemul este redus izomorf l l/10) mrimea forei determin acceleraia a, timpul de tranzit t i puterea specific (P/V) generat i disipat. Masa unui sistem nu este scalat, se calculeaz ca l3.
Fig. 2 Efectul scalrii
Pentru un caz general, n care o fora F se exprim prin lF se obine: F a= = [ l F ][ l 3 ] m

2 xm t = F P Fx = V tV unde x este deplasarea sistemului. Din ecuaiile de mai sus rezult:
1/ 2
(2)
(3) (4)
= [l 1 ][l 3 ][l F ]
1/ 2
l1 2 l F = 3 l 4 l
l 2 1 l a= 0 , l 1 l
l 1,5 1 l t = 0 ,5 , l 2 l
l 2,5 P l 1 = 0,5 . V l 2 l
(5)
Funcionarea microactuatorilor este mult influenat de miniaturizare. Pentru o estimare aproximativ a efectelor miniaturizarii n funcionarea actuatorilor se utilizeaz frecvent efectul scalrii. Influena reducerii dimensiunilor (scalarea) asupra diferitelor categorii de fore este prezentat n tabelul1. n tabelul 1 este prezentat influena reducerii dimensiunilor (scalarea) asupra diferitelor categorii de fore:
Tabel 1 Scalarea pentru diferite categorii de fore

For Fora electromagnetic Expresie
Scalare
Fmagnetica
B Sm = 2
Fora electrostatic
Felectrostatica =
S U 2
2 d
2
l0
- permeabilitate, B densitatea cmpului magnetic Sm aria seciuni bobinei dac tensiunea aplicat U = constant permitivitate S- aria suprafeelor armturilor d distana dintre armturi
Felectrostatica =
Lorentz Force
S
2
E2
l2 l2
FLorentz = I ( BxL)
Fora piezoelectric
Fpiezoelectrica = eS
L( E) L
l2
Fora de expansiune termic
Ftermica = eS
L(T ) L
l2
Fora de inerie Fora de frecare vscoas
Finertie
2 x =m 2 t
l4
F frecare vascoasa = c
S x L t
l2
dac intensitatea cmpului electric E = constant I intensitatea curentului B densitatea cmpului magnetic L lungimea e modulul de elasticitate (Young) T temperatura L lungimea L deformaia e modulul de elasticitate (Young) T temperatura L lungimea L deformaia m mas x deplasare t timp c coeficient de vscozitate S aria suprafeei x - deplasare L- lungime
Fora de elasticitate
Felasticitate = eS
L L
l2
t timp e modulul de elasticitate (Young) L lungimea L deformaia S- aria seciuni m mas g - acceleraia gravitaional - coeficient de tensiune superficial S aria suprafeei de contact d grosimea stratului superficial coeficient de frecare N - forta normala
Fora de greutate
Fgreutate = mg
Fora de tensiune superficial
Ftensiune _ sup erficiala =
S
d
Friction Force
F friction = N
l2
Aa cum s-a prezentat n tabelul 1 fiecare for are o mrime diferit (fiind exprimat n funcie de o singur variabil de scalare l, care, este o dimensiune liniar a sistemului) i este influenat de miniaturizare. De exemplu, forele de vscozitate i fortele de frecare devin dominante la micarea obiectelelor mici n comparaie cu forele de inerie. Forele generate de actuatorii pe baz de aliaje cu memoria formei, electrostatici, magnetici, piezoelectrici sunt proporionale cu l2. Excepie fac actuatorii electrostatici pentru care forele electrostatice la scar foarte redus si tensiune constanta sunt constante (proportionale cu l0) Fora electrostatic rmne neschimat odat cu miniaturizarea, astfel c actuatori electrostatici sunt indicati pentru miniaturizare. Un dezavantaj pentru generarea acestui tip de fore l constituie tensiunea mare de activare a actuatorului. Pe lng microactuatorii electrostatici, piezoelectrici sau electromagnetici care sunt n mod curent investigai, materialele magnetostrictive, electrostrictive i aliajele cu memoria formei devin tot mai utilizate. De asemenea, actuatorii hidraulici, pneumatici, termomecanici, electroreologici, chimici au tot mai multe aplicaii n acest domeniu. Aceti microactuatori deschid noi posibiliti, deoarece ei se bazeaz pe principii de funcionare complet diferite fa de actuatorii convenionali. n comparaie cu sistemele de acionare convenionale, microactuatorii folosesc, n general, acionri directe fr elemente de transmisie mecanic. Exist i alte fore de mare interes n funcie de domeniul de aplicaie. Forele biologice, dezvoltate de grupele musculare, sunt proporionale cu seciunea transversal a muchilor i, astfel, cu l2. Forele pneumatice i hidraulice determinate de presiunea pneumatic/hidraulic sunt, de asemenea proporionale cu l2. Utiliznd astfel de fore date de o presiune, pot fi obinute fore mari n condiii de gabarit redus, n particular i n domeniul micro.
Efectul reducerii dimensiunilor pentru actuatorii electrostatici i magnetici

Timpul de rspuns i puterea specific se obin din urmtoarele relaii: at 2 F 2mx x= si a = t= 2 m F Fv x Fx Pm = si v = Pm = m t mt sau Fv x Fx PV = si v = PV = V t Vt
(6)
unde s-au folosit notaiile: - a acceleraia, t timpul, m masa, V volumul, x cursa, v viteza, Pm, PV puterea specific (P/m sau P/V). n relaiile de mai sus masa/volumul este proporional cu l3.
Actuatori electrostatici
Forele electrostatice dintre armturile actuatorului au direcii perpendiculare (FESd) sau tangeniale (FESa), (fig. 3 a, b): 1 b U 2 1 1 a b U 2 1 2 FESd = 0 S E = ; = 0 = 0 b d E 2 (7) F 0 ESa 2 d2 2 2 2 d unde: a, b dimensiunile laterale ale armturilor, d - distana dintre armturi, U tensiunea aplicat, E intensitatea cmpului electric. n relaia (7) r permitivitatea relativ a dielectricului este 1 pentru vid i foarte apropiat de 1 pentru aer.
a)
b)
Fig. 3 Actuator electrostatic

Aceste fore depind de tensiunea ce poate fi aplicat ntre armturile actuatorului. Tensiunea variaz liniar cu distana dintre armturi d , ( U = Ed). La nivel macroscopic intensitatea de strpungere (E) a unui gaz se consider a fi constant (are o valoare de 30 kV/cm, pentru aer la temperatura camerei i presiune atmosferic. Cnd este redus dimensiunea actuatorului fora se va modifica proporional cu l2 (cmpul electric se presupune a fi constant: E= ct, F l 2 ). Timpul de rspuns i puterea specific sunt proporionale cu l, ( l ) respectiv cu l-1, ( Pm l 1 ). Aceasta situaie nu se pstreaz pentru interstiiile mici dintre armturi. Pentru aer la presiune atmosferic, tensiunea minim de strpungere este de 350V la 8 m. Aceasta conduce la presupunerea c exist o tensiune maxim constant, (U = ct); rezult fora electrostatic constant, (F = ct) iar timpul de rspuns i puterea specific variaz ca l2,( l 2 ) respectiv l-4, ( Pm l 4 ). 7
Actuatori magnetici
La actuatorii magnetici reluctana (rezistena magnetic) a miezului de fier este mult mai mic dect a interstiiului dintre poli, de aceea densitatea fluxului magnetic (inducia magnetic) NI poate fi calculat dup formula: Ba = 0 . la Deci, inducia magnetic n interstiiu este proporional cu curentul total NI nmagazinat de circuit i invers proporional cu dimensiunea la . Din consideraii termice se deduce c curentul maxim variaz proporional cu l, ( I l ) i n consecin inducia magnetic Ba = ct. Astfel, reducerea dimensiunilor ar trebui s nu aib consecine asupra induciei magnetice. Aceasta este n contrast cu observaia ca micromotoarele au n general densiti de flux mai mici dect motoarele mari. O mare parte din aceasta poate fi explicat de dimensiunile relativ mai mari ale interstiiului i de calitatea slab a bobinelor. De aceea dimensiunile bobinelor vor fi relativ mai mari cnd se reduc dimensiunile. De asemenea pentru circuite n care fluxul este generat de magnei permaneni, densitatea fluxului magnetic nu variaz. Actuatorii electromagnetici se mpart n dou grupe mari: actuatori reluctani i actuatori ce se bazeaz pe fora Lorentz (actuatori Lorentz). - Efectul de reducere a dimensiunilor pentru actuatorii reluctani Forele electromagnetice perpendiculare ( FEMd ) i cele din planul polilor ( FEMa ) sunt date de relaiile:
FEMd = 1 B2 ab; 2 0 FEMa = 1 B2 bd; 2 0 (8)
unde: - a, b - dimensiunile laterale ale polilor, - d - distana ntre poli, - B - densitatea fluxului magnetic. Din constngerile termice, curentul este proporional l, ( I l ), inducia magnetic B = ct. n consecin fora de respingere este proporional cu l2, ( F l 2 ).
- Efectul reducerii dimensiunii pentru actuatorii Lorentz Fora ce acioneaz asupra unui fir conductor de curent (de lungime l) este: F = I(l x B) . Cum cmpurile generate de magneii permaneni i de bobine produc o inducie magnetic constant, i deoarece curentul este proporional cu l, acest tip de actuatori genereaz fore proporionale cu l2, ( F l 2 ). Astfel, la creterea constant a temperaturii spirelor n toate tipurile de actuatori magnetici ar trebui s se genereze fore proporionale cu l2. Timpul de rspuns i puterea specific sunt proporionale cu l i l-1 ( l , Pm l 1 ).
Efectul reducerii dimensiunilor pentru actuatorii piezoelectrici
Fora generat de un element piezoelectric este proporional cu l2, ( F l 2 ) n timp ce cursa este proporional cu l, ( x l ). prin urmare lucrul mecanic este proporional cu l3, ( Lm l 3 ). Pentru un transfer energetic optim actuatorii piezoelectrici sunt utilizai la frecvena de rezonan care este proporional cu l-1.
f rez
k l 1 m
(9)
Puterea i puterea specific sunt proporionale cu l2,( P l 2 ) respectiv l-1, ( Pm l 1 ).

Efectul reducerii dimensiunilor pentru actuatori pe baza de aliaje cu memoria formei (SMA)
Pentru actuatorii pe baz de aliaje cu memoria formei viteza de operare este limitat n primul rnd de timpul de rcire. Cum suprafaa de rcire este proporional cu l2, ( S l 2 ), masa este proporional cu l3, ( m l 3 ) i coeficientul de convecie este proporional cu l-1, ( h l 1 ), este necesar un timp proporional cu l2 pentru a rci masa materialului ( m / Sh = l 2 ). Timpul de rspuns fiind proporional cu l2, ( l 2 ), frecvena maxim de operare ( f = 1 / ) este proporional cu l-2, ( f l 2 ). Lucrul mecanic ( Lm l 3 ) nmulit cu frecvena ( f l 2 ) d puterea - proporional cu l, ( P l ) i puterea specific cu l-2, ( P / V l 2 ). n concluzie: puterea specific (puterea de ieire raportat la unitatea de volum) a unui actuator pe baz de aliaje cu memoria formei va crete rapid cnd este miniaturizat. Motivul este suprafaa de rcire relativ mai mare i creterea coeficientului de convecie. Viteza de operare nu depinde de forele de inerie ci de comportamentul actuatorilor la rcire.
Legile de scalare pentru diferite tipuri de actuatori utilizai n microrobotic sunt reprezentate n tabelul de mai jos. Tipul actuatorului AMF Electrostatic Reluctant Magnet permanent Lorentz Piezoelectric Tabelul 2 Rspunsul n timp l2 l1 l2 l1 l1 l1 l1 Legile de scalri Puterea specific l-2 l-1 l-4 l-1 l-1 l-1 l-1
Limite rspuns termic E = ct U = ct J % l-1 J % l-1, B = ct J %l-1 rezonan
Fora l2 l2 ct (l0) l2 l2 l2 l2
Pentru actuatorii electrostatici i cei magnetici care genereaz fore n interstiiile de aer de aceleai dimensiuni se poate scrie relaia : B 2 = 0 0 E 2 (10)
Dac densitatea fluxului n actuatorul magnetic este 1T actuatorul electrostatic necesit o intensitate a cmpului de 0,36 GV/m, O asemenea intensitate a cmpului electric poate fi realizat numai n interstiiile submicronice.
I. Mecanisme cu conexiuni elastice (elemente elastice) n ultima perioad asistm la o dezvoltare pronunat a unor mecanisme a cror mobilitate este asigurat numai sau prin intermediul unor deformaii elastice. Deformaiile elastice sunt reversibile i se menin n limita de valabilitate a legii lui Hoke. Aceste conexiuni elastice pot modela o cupla cinematic, un lan cinematic sau chiar un mecanism. n tabelul 1 sunt prezentate exemple de cuple elastice de rotaie (1, 2, 3), translaie (4) i sferic (5) Tabelul 1 Nr 1 2 3 4 5
In continuare sunt prezentate aplicaii ce au n structur cuple elastice. n figura 1 este reprezentat una dintre lamelele unei rozete cu caractere ce erau utilizate n construcia unor imprimante cu cap de tip margaret.
Fig. 1 Rozet cu caractere a unei imprimante Suspendarea unui pendul printr-o conexiune elastic (cupla elastic) este prezentat n figura 2. Cupla cinematic echivalent care rezult pentru unghiuri relative mari de oscilaie ( 30) este de tipul centroidal (fig. 2b).
Fig. 2 Suspendarea elastic a unui pendul (a) i centroidele micrii (b) CF - centroida fix, CM centroid mobil
Mecanismul din figura 3 asigur deplasarea n translaie aproximativ circular (parabolic) a elementului mobil i se utilizeaz ca ciocnele pentru imprimante, vibratoare, etc.
Fig. 3 Modaliti de realizarea a mecanismelor de tip paralelogram n figura 4 este prezentat mecanismul unui dispozitiv manual de stngere/imprimare cu conexiuni elastice.
a) b) Fig. 4 Mecanism de imprimare Numai cupla din A este realizat n varianta convenional (cupl de rotaie) celelalte cuple de rotaie, se obin pe baz de conexiuni elastice lamelare. n figura 4b este prezentat schema structural a acestui mecanism patrulater articulat dublu balansier cu biela element de acionare. n figura 5a este prezentat un mecanism cu acionare electrostatic utilizat ca amplificator de for sau deplasare. Schema cinematic echivalent este prezentat n figura 5b. Fora dezvoltat de armtura solidar cu elementul 1 este amplificat la nivelul tampoanelor A i B, sau deplasarea acestora este amplificat la nivelul elementului mobil 1.
Fig. 5 Mecanism amplificator de for/deplasare cu conexiuni elastice (a) i schema cinematic echivalent (b) Schema cinematic a balanei cu echilibrare electromagnetic este prezentat n figura 6a. Cuplele de rotaie din componena balanei sunt realizate prin conestiuni elastice lamelare de tipul celei din figura 6b. Mecanismul paralelogram OAA`O` asigur poziionarea talerului de mas M de cntrit, iar echilibrarea acestuia se face prin intermediul forei F dezvoltate de electromagnetul EM. 2
Fig. 6 Schema cinematic a unei balane de nul cu echilibrare electromagnetic (a) Conexiunea elastic care materializeaz cuplele cinematice de rotaie (b) Un mecanism spaial ingenios cu conexiuni elastice este mecanismul capului de citire al compact-discurilor (CD). Schema de principiu a acestui mecanism este prezentat n figura 7a. Sistemul optic de citire (SO) trebuie s fie poziionat n mod corect n raport cu pista, de tip spiral arhimedic a CD-ului. Aceasta nseamn o anumit poziie pe direcia vertical focalizarea, respectiv pe direcia orizontal centrarea pe pist (tracking). Pozitionarea corect se obine prin cele dou microdeplasri reciproc perpendiculare marcate pe figur. Mecanismul schematizat n figura 7b este un paralelipiped cu conexiuni elastice, cele 4 bare deformabile avnd aceleai momente de inerie n raport cu cele dou direcii perpendiculare.
Fig. 7 Mecanismul de tip paralelipiped cu conexiuni elastice utilizat n construcia capului de citire a CD-urilor pentru focalizare i centrare In figura 8a se prezint schema de principiu a unui cap palpator activ utilizat la aparatele de msurat n coordonate. Acesta poate evidenia decuplat microdeplasarile palpatorului pe cele trei direcii reciproc perpendiculare, utiliznd 3 celule tip mecanism paralelogram cu conexiuni elastice de forma celei din figura 8b.
Fig. 8 Schema unui palpator activ pentru un aparat de msurat n coordonate (a) i una dintre celulele de tip paralelogram cu conexiuni elastice (b) 3
Deplasarea relativ plan paralel ale celor dou platforme rigide se evideniaz cu ajutorul unor traductoare de deplasare. Capul palpator activ de msurare rezult prin montarea ca n figura 8 a acestor mecanisme (cu hauri paralele cu axele s-au reprezentat conexiunile elastice). Deplasarea pe direcia x este evideniat prin micarea relativ dintre elementele 1 i 2, pe direcia y dintre elementele 2 i 3 iar pe direcia z dintre elementele 3 i 4. n figura 9a se prezint schema unui dispozitiv de prehensiune miniaturizat cu cuple elastice iar n figura 9b schema cinematic echivalent. Toate cuplele cinematice sunt realizate prin conexiuni elastice.
Fig. 9 Dispozitiv de prehensiune cu conexiuni elastice (a) i schema cinematic echivalent Se poate constat c majoritatea cuplelor elastice (conexiunilor elastice) se reduc la cuple cinematice de rotaie, sau de translatie ca urmarea unor deformaii de ncovoiere dup o direcie preferenial (fig 10).
a) b) c) Soluii de conexiuni elastice care modeleaz cuplele cinematice de rotaie
b)
d)
e)
Fig. 10 Soluii de conexiuni elastice utilizate n construcia mecanismelor cupl elastic: b - de torsiune; d - combinat (traciune i torsiune); e - liniar n figura 11 se prezint o cupl cinematic de rotaie realizat cu elemente elastice. n mod analog se pot realiza cuple cinamatice de translaie (fig. 12, fig 13).
Fig. 11 Conexiune elastic care modeleaz o cupl cinematic 4
n figura 12a sunt prezentate dou membrane gofrate cu centrele rigidizat legate (modelarea unei cuple de translatie) iar n figura 12b este evideniat faptul ca punctul central C al unei lamele elastice preformate n form de S execut o microdeplasare rectilinie.
Fig. 12 Modelarea unei cuple cinematice de translaie prin conexiuni elastice Soluia constructiv prezentat n figura 13 a asigur o translaie pur a elementului rigid 2 n raport cu elementul fix 1, dac cele patru lamele elastice conectate prin intermediul elementului rigid 3 sunt identice. n figura 13b este prezentat o soluie identic cu prima varianta dar mai compact (lamela central avnd o rigiditate dubl n raport cu lamelele laterale).
Fig. 13 Cuple elastice in structura unui mecanism care modeleaz o cupla de translaie O scul manual pentru microtanare/microsertizare realizat prin decupare dintr-un material plan este prezentat figura 14. Acionnd manual tasta T se realizeaz o amplificare de 60 de ori a forei la nivelul poansonului P. Acionarea invers de la P la T va avea ca efect amplificarea de 60 ori a deplasri. Schema mecanismului clasic echivalent cu conexiunei elastice este redat n figura 14b.
Fig. 14 Mecanism scula pentru tanare/microsertizare (a) i schema cinematic a mecanismului echivalent (b) - acionare manual -
Exist situaii n mecanica fin unde sursa de energie pentru acionare este constituit dintr-o armatur A feromagnetic/magnetic solidarizat cu elemente de tipul celor anterioare prezentate (elastice) i din bobina B a unui electromagnet solidarizat cu elementul fix (figura 15).
Fig. 15 Exemplu de acionare electromagnetic De asemenea exist i situaii cnd nsi - cupa cinematic elastic reprezint motorul pentru acionare i de aceea se consider adecvat denumirea de cupl motoare. Tubul manometric sau un sector circular bimetalic interpus ca n figura 16 va permite acestora o rotaie relativ, atunci cnd n tub se introduce fluid sub presiune sau cnd bimetalului i se schimb temperatura (la trecerea curentului prin nfurarea de nclzire / efectul Joule + coeficieni de dilatare diferii). n figura 16 b se propune un simbol pentru cupla motoare elastic de rotaie A.
Fig. 16 Conexiune elastic materializnd cupla cinematic motoare de rotaie (a) i simbolizarea propus (b) Dac deformaia\dilatarea unui tub gofrat\bar din material ce se dilat semnificativ, este bine dirigeat constructiv ca-n figura 17 a,b rezult o cupl motoare elastic de translaie. Deformaia tubului gofrat se obine introducnd fluid, n cantitatea i la presiunea necesar iar dilatarea barei\deformarea, discurilor bimetalice poate avea loc fie prin schimbarea temperaturi, fie un cmp magnetic corespunzator. O simbolizare a cuplei motoare-elastice de translatie de translatie B se propune n figura 17c.
Fig. 17 Conexiune elastic materializnd cupla cinematica motoare de translaie (a; b) i simbolizarea propus (c) 6
n figura 18 este prezentat schema cinematic a unui microrobot cu spaiul de lucru sferic. Cupla motoare A va roti elementul 2 fa de cel fix 1 n jurul unei direcii paralele cu axa x iar cupla B va roti elementul 3 fa de elementul 2 n jurul unei direcii paralele cu axa z. n acest fel direcia elementului 5 poate lua orice poziie ntr-un unghi de serviciu aproximativ conic. Micarea de pronaie-supinaie (rotaia elementului 5 n jurul axei proprii este asigurat de cupla C interpus ntre elementele 3 i 4, axa de rotaie este paralel cu axa y). Braul robotului (elementul 5) se poate extinde datorit cuplei motoare D. Axele tuturor micrilor sunt concurente n centul cuplelor A; B; C. Punctul caracteristic M poate ocupa orice poziie ntr-un spaiu de lucru sferic. Aplicaii ale microroboilor de acest tip sunt de nenlocuit n condiii de frig pronunat / vid / camer curat unde ungerea unor cuple sferice sau utilizarea unor motoare obinuite, ar pune probleme tehnice greu de depit.
Fig. 18 Schema cinematic a unui microrobot cu spaiul de lucru sferic realizat cu conexiuni elastice Mecanismul prezentat n figura 19 a este compus dintr-un element de acionare piezoelectric i are n componen cuple elastice. n figura 19 b se prezint mecanismul patrulter paralelogram cu articulaii elastice.
Articulaie elastic
Bil de oel
Element piezoelectric
b) Fig. 19 Mecanisme cu elemente elastice Cuplele elastice sunt n prezent foarte utilizate n construcia mini i micromecanismelor (fig 20).
a)
(c)
Fig. 20 Micromecanisme 7
II. Micromecanisme Este este important s se fac distincia dintre minimecanisme, micromecanisme i nanomecanisme ca i pri componente ale miniroboilor. Minimecanismele sunt n prezent realizate pe baza unor procedee tehnologice tradiionale, micromecanismele sunt n faza dintre concepte teoretice i primele prototipuri n timp ce nanomecanismele vor fi realizate n viitorul apropiat. n cadrul Institutului de Tehnologie din Tokyo, s-a nfiinat n 1978 laboratorul de cercetare n domeniul micromecanismelor. Potrivit opiniilor conturate n rndul specialitilor ce lucreaz n acest laborator, micromecanismele sunt maini utilizate pentru manipularea microobiectelor, sau maini avnd ele nsi microdimensiuni. n figura 1 este prezentat o clasificare a micromecanismelor lund n considerare mrimea acestora. Din categoria produselor ntlnite n viaa de zi cu zi ceasul de mn este cel mai mic. Spre deosebire, n cazul unui motor electrostatic realizat pe o pastil de siliciu, cel mai mic nseamn structuri de ordinul micrometrilor. n sistemele mecanice de procesare i msurare, componentele de dimensiuni submicronice pot fi realizate utiliznd procedeul STM (Scanning Tunnelling Microscope). Interpretnd micro mai mic dect dimensiunile mainilor obinuite, pot fi incluse n aceast categorie toate sistemele cu dimensiuni mai reduse dect cele ale mainilor obinuite. ns dimensiunile micromecanismelor acoper o plaj larg (de la 10-3 la 10-9 m), ceea ce determin ca principiile de funcionare i demersurile n proiectare/cercetare/dezvoltare s difere funcie de dimensiuni. innd seama de dimensiunile micromecanismelor i a componentelor din structura lor s-a conturat ideea ncadrrii acestora n trei generaii. Prima generaie include micromecanismele a cror componente au dimensiuni de 1 mm sau mai mult. Componentele din structura acestor micromecanisme se realizeaz prin tehnologii clasice. Micromecanismele care includ n componena lor elemente cu dimensiuni de ordinul a 1 mm pn la ordinul micronilor aparin generaiei a doua. Realizarea acestor micromecanisme este posibil pe baza elementelor specifice tehnologiei semiconductorilor. n generaia a treia sunt incluse micromecanismele care au n componena lor elemente cu dimensiuni submicronice sau de mrimea bacteriilor. Aceste componente pot fi realizate pe baza tehnicilor din domeniul tehnologiei moleculare. (IV) Micromecanism optim
(I) Fabricarea mainilor convenionale cu dimensiuni reduse fabricarea mainilor fabricarea componentelor procesarea mecanic| i control dimensional
-3 -6 -9
(II)Aplicaii ale tehnologiei semiconductorilor
(III)Tehnologia molecular|
(mm)
10
(mm)
10
(nm)
10 (m)
Fig. 1 Clasificarea micromecanismelor 8
Ca trsturi specifice micromecanismelor pot fi menionate urmtoarele: - au un anumit grad de dotare cu inteligen; - sunt adaptabile i ajustabile n concordan cu condiiile de mediu sau comenzile ce se transmit; - viteza de rspuns la semnalul de comand este mare; - dimensiunile reduse impun utilizarea unor materiale cu caracteristici mecanice superioare. n figura 2 a,b sunt prezentate micromecanisme realizate la Sandia National Laboratories.
a)
b)
c) Fig. 2 Exemple de micromecanisme
Laborator 2
1. MODELAREA MATEMATIC A ACTUATORILOR ELECTROSTATICI Actuatorii electrostatici utilizeaz fora de atracie electrostatic dintre dou corpuri ncrcate cu sarcini electrice diferite (Fig. 1).
Fig. 1 Aceast for se calculeaz pe baza energiei cmpului electrostatic, WE dat de relaia:
WE= 1 CU2 , 2
(1)
unde C este capacitatea condensatorului format din cei doi electrozi iar U tensiunea aplicat. Cei doi electrozi plani i paraleli de arie S aflai la distana d unul de cellalt (fig. 2) formeaz un condensator a crui capacitate este:
C=
S
d
Q Q = , U Ed
(2)
unde: este permitivitatea mediului dintre electrozi ( = r 0 , r - permitivitatea relativ a mediului, 0 permitivitatea vidului 0 = 8,8541012 F/m), Q -sarcina electric i E intensitatea cmpului electric dintre armturi. Forele dezvoltate de-a lungul celor trei direcii (Ox, Oy i Oz) sunt definite de derivatele pariale ale energiei cmpului electrostatic: W E ; Fy=- WE ; Fz= - WE . (3) Fx=x y z
Aria S +Q d U Fy Fz Fx -Q y
Fig. 2 Actuatorul electrostatic plan paralel Unii actuatori electrostatici au o comportare neliniar, fiind necesare metode numerice pentru proiectarea i simularea funcionrii lor. Metodele analitice ce ilustreaz conceptele de baz utilizate la proiectarea actuatorilor electrostatici sunt prezentate n continuare.
1.1. Cazul micrii perpendiculare pe suprafaa armturilor Tensiunea U aplicat armturilor plane ale condensatorului din figura 3 a, este constant, iar armturile nu au posibilitatea de a se deplasa de-a lungul axelor Oy i Oz ci numai pe direcia axei Ox.
Aria S +Q d y U -Q x 3 2 1
x=d x=0
a)
b)
Fig. 3 Configuraia actuatorului electrostatic n cazul micrii perpendiculare

, astfel c fora orientat pe Ox, n sensul micorrii distanei dintre d armturi conform relaiilor (1) i (3) este: Capacitatea este
1 aer S U 2 . (4) 2 2 d Analiznd expresia forei electrostatice dat de relaia (3.4), rezult c aceasta depinde de tensiunea aplicat, distana dintre electrozi, aria lor i nu este influenat de grosimea armturilor i de volum (din aceast cauz fora electrostatic se numete for de suprafa). Acest lucru favorizeaz posibilitile de miniaturizare a actuatorilor electrostatici prin aplicarea microtehnologiilor de suprafa. n contextul aplicaiilor practice, un actuator dezvolt un lucru mecanic mpotriva unei sarcini. n multe cazuri, aceasta poate fi modelat printr-un sistem format dintr-o mas i un element elastic (fig. 2 b). Fx=
1.2. Cazul micrii laterale fa de suprafaa armturilor La deplasarea lateral a electrozilor plani i paraleli, fora electrostatic n lungul axei Oy este dat de relaia (fig. 4): W E . (5) Fy=y
l y Fy U -Q +Q d y z x
Fig. 4 Configuraia actuatorului electrostatic n cazul micrii laterale

Capacitatea condensatorului format este proporional cu suprafaa comun a armturilor: A yz, (6) C = aer = d d 2
unde y i z sunt dimensiunile suprafeei comune, pe axele Oy i Oz. Se consider z = ct. i innd cont de relaiile (1) i (2), relaia (5) poate fi scris sub forma: 1 aer zU 2 = ; y <l . (7) Fy 2 d fora Fy nu depinde de y pentru y < l i pentru y > l, iar pentru y = l, Fy = 0. Ecuaia (7) sugereaz faptul c dac dou armturi plane i paralele ale unui condensator sunt deplasate n lateral una fa de alta, ia natere o for paralel cu acestea ce are tendina de a realinia armturile. Aceast for este frecvent exploatat la realizarea actuatorilor electrostatici rotativi sau liniari. Fora Fy este proporional cu z, fora dezvoltat, raportat la cota z fiind dat de relaia: 2 1 F y 1 aer U (8) = aer d E 2 , = f y= 2 z 2 d care este cu att mai mare cu ct intensitatea E a cmpului electric este mai mare. n general, la actuatorii electrostatici liniari, fora orientat dup axa Ox are tendina de a apropia rotorul (partea mobil) de stator (partea fix). Pentru a evita contactul electric dintre acestea, ntre ele se interpune fie un element de distanare obinuit fie un strat de dielectric. 1.3. Cazul micrii dielectricului Armturile paralele i plane pot fi fixate, n urma activrii obinndu-se micarea dielectricului ca i n figura 5.
l y +Q U Fy
Dielectric
-Q
d' d
z x
Fig. 5 Configuraia actuatorului electrostatic n cazul micrii dielectricului
n structura actuatorului sunt doi condensatori legai n paralel, cu capacitile C1 i C2, astfel capacitatea total este:
C = C1 + C 2 , unde C1 =
aer (l y ) z ;
d
C2 =
d yz ,
d
( 9)
d fiind permitivitatea dielectricului. Pentru d = d', energia total a cmpului electrostatic este:
1 2 aer l z ( d - aer )y z + WE= U 2 d d
(10)
Astfel, fora ce acioneaz de-a lungul axei Oy asupra dielectricului este:

1 2 ( d - aer ) z , Fy= U 2 d
(11)
fiind orientat n sensul pozitiv al axei Oy. n cazul structurii din figura 4, forele de-a lungul axei Ox se anuleaz reciproc. 1.4. Cazul micrii combinate (perpendicular i paralel) n vederea realizrii microactuatorilor electrostatici utiliznd tehnologiile specifice de prelucrare a siliciului, dielectricul poate fi nlocuit cu un element conductiv, de regul dintr-un poli-Si puternic dopat (fig. 6a). Structura corespunztoare acestor actuatori presupune existena a trei condensatori C1, C2 i C3.
C3 l y +Q d C1 d'
C2 y z x
Conductor
-Q
Conductor
-Q
a)
b)
Fig. 6 Configuraia actuatorului electrostatic n cazul micrii combinate
Elementul conductiv are permis doar micarea pe axa Oy. Pe baza celor prezentate mai sus, rezult c fora ce acioneaz asupra elementului mobil se determin cu relaia:
Fy= 1 aer d z 2 U . 2 d(d - d )
(12)
Pentru a crete valoarea acestei fore, singurul parametru care poate fi ajustat este jocul dintre armturile fixe i conductor, d - d'. Reducerea acestuia este limitat de dificultile de fabricare. Prin legarea n paralel a mai multor actuatori cu structur similar celei din figura 5 b, cu armturi nclinate, se combin micarea pe axa Ox cu cea pe axa Oy. La actuatorii electrostatici a cror funcionare se bazeaz pe schemele de acionare prezentate este important stabilirea poziiei rotorului fa de stator. n cazul structurilor simetrice (fig. 6 a), forele pe direcia axei Ox sunt egale i de sens contrar dac distanele dintre elementul mobil i cele fixe sunt 1 egale. Dac nu este asigurat construcia simetric, datorit proporionalitii cu 2 a forei de atracie x rotor-stator, asupra rotorului acioneaz o rezultant ndreptat ctre cel mai apropiat stator. Controlul poziiei elementului mobil (rotor) fa de cel fix (stator) poate fi activ sau pasiv. Metodele de control activ sunt dificil de implementat la microactuatori datorit dimensiunilor mici impuse senzorilor din structur. Una dintre metodele de control pasiv a distanei rotor-stator utilizeaz capacitatea sistemului rotor-stator, Cr-s ca i semnal de control. Pe msur ce distana rotor-stator scade, crete capacitatea Cr-s, cretere care va determina reducerea tensiunii aplicate i astfel, reducerea forei electrostatice pentru a stabiliza distana rotor-stator.
1.5. Soluii constructive de actuatori electrostatici
Sistemele microrobotice utilizeaz actuatori electrostatici pentru generarea micrii de

4
translaie (fig. 7 a, b, c) i a micrii de rotaie (8 a, b). Numeroi actuatori electrostatici rotativi fac parte din categoria actuatorilor cu capacitate variabil. Acetea sunt formai din rotor cu un numr mare de poli ce formeaz capaciti variabile cu poli statorului. Electrozii statorului sunt excitaii cu impulsuri de tensiune.
a)
b)
c)
Fig. 7 Actuatori electrostatici pentru generarea micrii de translaie
n cazul actuatorilor de translaie fora generat se determin pe baza relaiilor deduse n paragrafele precedente iar n cazul actuatorilor rotativi expresia cuplului motor este dat de relaia:
C ( ) 1 T ( ) = U 2 2 unde reprezint unghiul de rotaie.
Electrozi
(13)
a)
b) Fig. 8 Actuatori electrostatici rotativi
c) Wobble motor
Prin utilizarea levitaiei electrostatice poate fi obinut o platform mobil ca i cea prezentat n figura 9. Capacitatea total se determin cu relaia:
C ( x, z ) = C0 + C1 ( z )C2 ( x, z ) C1 ( z ) + C2 ( x, z ) (14)
unde C0 reprezint capacitatea dintre electrozi, C1(z), C2(x, z) sunt capacitile dintre electrozi i platform (prima capacitate este variabil n raport cu x iar a doua variabil n raport cu x i z).
electrozi
platform mobil
Fig. 9 Platform mobil pe baz de levitaie electrostatic a) configuraia electrozilor b) circuitul echivalent Fora tangenial care acioneaz asupra platformei mobile se determin cu relaia:
1 C ( x, z ) 1 2 L2 ( L + 2 x) = U 0 Fx ( x) = U 2 (15) 2 x 2 z ( L + x) 2 unde L reprezint lungimea electrodului. Pentru x = 0 i raportnd fora Fx (0) la aria perpendicular pe direcia de deplasare se obine presiunea electrostatic: Fx (0) 1 U 2 2 1 (16) = 0 = 0 E 2 zL 2 z 2 iar acceleraia: 1 U 2 0 L 1 V 2 0 F (0) 2 z & &= x = = x (3.17) m L2 2 zL unde cu s-a notat grosimea platformei i cu densitatea.
Alte tipuri de actuatori electrostatici
Fig. 10
Fig 11
Fig. 12
Aplicatii MEMS 7
Harta aplicatilor MEMS
Laborator 3
Sisteme de acionare cu actuatori electromagnetici Magnetostriciunea este o proprietate a materialelor magnetice i se manifest prin variaia dimensiunilor acestora n timpul proceselor de magnetizare. Aceast proprietate se explic prin alinierea domeniilor magnetice din material n direcia de aplicare a cmpului magnetic (Fig. 1).
n absena cmpului magnetic n prezena cmpului magnetic
Fig. 1 Alinierea domeniilor magnetice i modificarea dimensiunilor Dei, fenomenul este cunoscut de mai bine de 100 de ani, aplicaii majore s-au realizat numai dup obinerea unor aliaje speciale, pe baz de fier i pmnturi rare (1960). Un astfel de material este terfenolul. Frecvent se utilizeaz dou aliaje: pe baz disprosiu i terbiu. Acestea sunt Tb.27Dy.73Fe1.95 i Tb.3Dy.7Fe1.95. Magnetostriciunea este caracterizat prin alungirea relativ sub aciunea cmpului aplicat: = l / l0 , unde: l = l(H) l0 , prin l(H) se noteaz lungimea sub aciunea cmpului magnetic de intensitate H, l0 este lungimea iniial a piesei. Materialele magnetostrictive se mpart n materiale metalice i ceramice. Materialele ceramice sunt ferite preparate din pulberi de oxizi de fier, zinc, nichel, mangan, cobalt, etc, omogenizate, presate n diferite forme constructive i sinterizate la temperaturii de 1300-1400 C. Dintre materialele metalice cele mai des utilizate sunt: nichel, aliajele de nichel i aluminiu, de fier i aluminiu, de fier i nichel i aliajele de fier i cobalt. Acestea sunt fabricate sub forma unor benzi laminate la rece, precum i sub form de tuburi. Fenomenul de magnetostriciune const n modificarea dimensiunile unui element din material feromagnetic sub aciunea unui cmp magnetic extern. Este un efect par deoarece semnul deformaiei nu se schimb la variaia sensului cmpului magnetic extern. Dac un cmp magnetic este aplicat paralel cu axa unei bare din material magnetostrictiv alungirea barei l este rezultatul nsumrii tuturor deformaiilor microscopice elementare induse. O reprezentare schematic a efectului magnetostrictiv este prezentat n figura 2. Materialul cu magnetostriciune pozitiv se extinde de-a lungul cmpului magnetic aplicat i se contract n direcia perpendicular (Fig. 2 b). Materialul cu magnetostriciune negativ se contract de-a lungul cmpului magnetic aplicat i expandeaz n direcia perpendicular aa cum se prezint n figura 2 c.
l0
a) b) c) Fig. 2 Deformarea unei bare din material magnetostrictiv a) H = 0; b) magnetostriciune pozitiv; c) magnetostriciune negativ 1
Deformarea l / l depinde de inducia magnetic B0 conform legii:

l 2 = bB0 l0 unde b este o constant de material. (1)
l d l l Difereniind relaia (1) n raport cu B0, = 2bB0 i utiliznd notaiile S = d i B = dB0 , l dB0 unde S i B reprezentnd variaii foarte mici ale mrimilor de baz se obine ecuaia fundamental a deformrii magnetostrictive la tensiune constant, sub forma:
S = 2bB0 B = B (2)
unde este constanta de deformare magnetostrictiv exprimat n [m2/Wb]. Analog se definete relaia de baz ntre tensiunea mecanic T i inducia B obinndu-se o relaie de forma:
T = B
(3)
unde este constanta de tensiune magnetostrictiv. Legea lui Hooke pentru deformarea elastic a barei magnetostrictive considerate este: T = Y0 S unde Y0 este modulul lui Young specific materialului. Din relaiile (3), (4) se obine constanta de tensiune magnetostrictiv: (4)
= Y0 = 2bB0 Y0
(5)
Constanta de tensiune magnetostrictiv poate fi pozitiv sau negativ, dup cum se comport materialul la variaia cmpului magnetic. Astfel, la creterea lui B0, nichelul se comprim, nct este negativ, iar aliajul permalloy se dilat i deci este pozitiv. Corelarea mrimilor i constantelor care intr n ecuaiile specifice efectului magnetostrictiv poate fi reprezentat schematic ca i n figura 3.
S ( C B
C Y0 C C : i : rC 7
T C (
Fig. 3 Diagrama de interaciune a mrimilor mecanice: tensiune T, deformare S i a mrimilor magnetice: intensitate H i inducia B n cazul unui material magnetostrictiv
2
Proprietile dinamice ale materialelor magnetostrictive se obin din condiia c fora de magnetostriciune Fm, fora elastic intern Fi i fora inerial extern a mediului F s se echilibreze, deci: F = Fi Fm = A(Y0 S Bi ) (6)
unde A este suprafaa pe care acioneaz forele i F i = - TA = - Y 0 SA , F m = AB . Condiia de echilibru a cmpurilor magnetice interne n prezena deformrii este dat de ecuaia: Bi H= - S (7)
i 0
unde 0 - permeabilitatea magnetic a vidului, i - permitivitatea dinamic a materialului. Exprimnd inducia magnetic Bi din relaia (7):
Bi = H i 0 i 0 S
i nlocuind n relaia (6) se obine:
(8)
F = AY0 S + A i 0 H + A 2 Si 0 = A i 0 H A(Y 0 - 2 i 0 ) = AB AY1S

s-a notat cu:
2 ) Y 1 = Y 0 - 2 i 0 sau Y1 = Y 0 (1 - 2 i 0 / Y0 ) = Y 0 (1 - k c
(9)
(10)
unde
k c = 2 i 0 /Y0 = 2bB0 i 0 Y0 i i este panta curbei (B-H) n punctul de funcionare B0. Ecuaia (11) exprim faptul c magnetizarea unui material magnetostrictiv coboar valoarea modulului lui Young. Mrimea kc msoar gradul de cuplaj magnetostrictiv, fiind numit factor de cuplaj magnetomecanic. Mrimea factorului de cuplaj magnetostrictiv depinde de permeabilitatea dinamic i i de B0 deci, de punctul de funcionare de pe curba de magnetizare a materialului. Din relaiile (5) i (11) se poate constata c, constanta de tensiune magnetostrictiv i coeficientul de cuplaj kc depind de mrimea cmpului de magnetizare. n relaia (2) s-a artat c se poate obine o relaie liniar ntre deformarea elastic S i cmpul magnetic de acionare B. n mod analog exist o relaie liniar ntre tensiunea mecanic T i inducia B. Efectul liniar astfel obinut este denumit piezomagnetic, prin analogie cu cel piezolelectric. Sistemul de ecuaii care definesc efectul piezomagnetic, n cazul n care materialul magnetostrictiv magnetizat se afl ntr-un cmp magnetic de acionare de inducie B, sub aciunea unei tensiunii mecanice T, stabilete legtura dintre aceti parametrii i mrimile complementare: H intensitatea cmpului magnetic variabil n material i S - deformarea elastic datorat efectelor asociate ale tensiunii mecanice T i cmpul aplicat B, (S = S(T, B), H = H (T, B)), sub forma: S = s BT + TB H = T + T B
3
(11)
(12)
unde: sB sunt coeficienii de complian elastic la inducie magnetic constant; T permeabilitile magnetice la tensiune mecanic constant, - constant de deformare magnetostrictiv, T - matricea transpus a lui . Relaiile de mai sus sunt relaii matriciale, mrimile care intervin n aceste ecuaii sunt de natur magnetic i mecanic cuplate prin intermediul efectului magnetostrictiv. Unul din cele mai importante materiale utilizate n componena actuatorilor magnetostrictivi este terfenolul. Cteva dintre cele mai importante proprietii ale terfenolului sunt prezentate n continuare: - Coeficientul de cuplare kc (msur a eficienei conversiei energiei electrice n energie mecanic) este 0,7, comparabil cu cele mai eficiente materiale piezoceramice; - Permeabilitatea relativ r = 4,5 este foarte mic comparativ cu a fierului care este 2000. Astfel este nevoie de cmp magnetic puternic pentru a obine densitile de flux cerute de o funcionare optim. Aceast permeabilitate crete la r = 9,2 pentru materialele fixate rigid; - Cuplarea proprietilor electromecanice i mecanice se regsete i n modulul lui Young. Acest efect este cunoscut sub numele de efect E i conduce la o cretere a modulului lui Young de la 25 GPa, n absena cmpului magnetic la 70 GPa, n prezena acestuia; - Amortizarea mecanic a materialului este ridicat datorit proprietilor magnetostrictive; Pe lng aceste proprieti, pentru aplicaiile practice prezint importan i altele cum ar fi: densitatea: 9,25103 Kg / m3, temperatura Curie: 380 C, rezistivitatea: = 6010-8 m, densitatea de energie: 14000-25000 J / m3.
Aplicaiile actuatorilor magnetostrictivi
Aplicaiile actuatorilor magnetostrictivi sunt n general, aplicaii n care sunt necesare fore mari i curse mici. n prezent, terfenolul este un material magnetostrictiv disponibil comercial. Deformaiile lui n cmp magnetic sunt cu un ordin de mrime mai mari dect deformaiile elementelor piezoceramice. Actuatorii magnetostrictivi au confirmat ateptrile n aplicaiile din domeniul mecatronicii ca: generatoare de vibraii i sisteme de poziionare (actuatorii pe baz de terfenol, dezvolt fore mari i permit reglarea n limite largi a deplasrii); mecanisme de conectare / deconectare cu frecven de lucru ridicat; sisteme de deplasare pe principiul inchworm cu nalte performane privind fora dezvoltat i precizia de poziionare. n proiectarea aplicaiilor care includ astfel de actuatori trebuie s se in seama c preul terfenolului este ridicat, construcia bobinei este complex i pentru multe aplicaii este necesar un sistem mecanic de amplificare a micrii. n figura 4 se prezint schema constructiv de principiu a unui actuator magnetostrictiv liniar.
n componena
Fig. 4 Actuator magnetostrictiv liniar
acestuia se disting: tija din terfenol 1, bobina 2, tijele pentru preluarea sarcinii 3, timbrele tensometrice 4, elementele 5, 6, 7 realizate din fier moale pentru nchiderea liniilor de flux. n componena actuatorului mai sunt incluse distanierele 8, 10, arcul disc pentru pretensionare 9 i ansamblul pentru cuplarea sarcinii 11. Pentru proiectarea acestor actuatori trebuie s se aib n vedere urmtoarele: - Bobina trebuie s dezvolte un cmp magnetic de pn la 300 kA/m. Datori permeabilitii sczute a terfenolului, bobina trebuie dispus ct mai aproape de tija activ. Lungimea acesteia trebuie s fie mai mare dect a tijei, pentru a reduce efectul de capt. - Prin introducerea unui magnet permanent n structura actuatorului se poate regla poziia de start. - Pretensionarea elementului activ se poate realiza prin adugarea de greuti, cu arcuri sau pe cale hidraulic. - Pentru buna funcionare trebuie s se asigure rcirea sistemului. Aceasta se poate realiza prin cureni de aer sau circuite de rcire cu ap. - Precizia de prelucrare a elementelor active trebuie s fie ridicat pentru a avea garania c efortul de pretensionare se distribuie uniform pe lungimea acestora i pentru a evita apariia fisurilor interne Frecvena maxim la care terfenolul funcioneaz eficient este limitat de pierderile prin cureni turbionari i se obine din relaia: = 2 , d 2 (13)
unde d este diametrul tijei de terfenol. Pentru d = 6 mm frecvena critic este c=1,7 kHz. n figura 5 a i b sunt prezentate structuri bimorfe avnd n componen un film Tb-Fe i unul de Sm-Fe, fiecare cu grosimea de 1 m ntre care este dispus filmul din poliimide cu grosimi de 7,5 m, 50 m sau 125 m. La aplicarea unui cmp magnetic, datorit faptului c pelicula de Tb-Fe prezint magnetostriciune pozitiv i cea din Sm-Fe prezint magnetostriciune negativ, are loc o curbare a ntregului ansamblu.
poliimide
(c)
Fig. 5 Actuatori magnetostrictivi i microrobot realizat cu actuator magnetostrictiv

Cu ajutorul actuatorilor magnetostrictivi de acest tip s-au realizat microroboi mobili aa cum este cel din figura 6. Datorit nclinrii picioarelor, curbrii i revenirii zonei active centrale, microrobotul se deplaseaz n sensul indicat. Cu un cmp magnetic alternativ de 100 e (1 Oe (Oersted) = 1000/4 [A/m] ), la o frecven de 50 Hz i pentru dimensiunile din figur 3 s-a obinut o vitez medie de 0,5 mm/s.
5
n cazul actuatorului liniar din figura 6 bara confecionat din Tb-Fe este amplasat ntre electromagneii activai succesiv. Cmpul magnetic produs de acetia deformeaz controlat materialul magnetostrictiv astfel nct se realizeaz deplasarea conform principiului inchworm. Extensia elementului activ este de 10 m. Actuatorul este rapid, reversibil i dezvolt o for mare. Nu necesit energie pentru meninerea poziiei. Precizia de poziionare este de 1 m.
Fig. 6 Actuator magnetostrictiv liniar
Fig. 7 Microrobot mobil pentru inspecie prin evi
n figura 7 este prezentat proiectul unui microrobot mobil pentru deplasarea n evi, dezvoltat la Departamentul de Inginerie Mecanic al Universitii Nagoya i cel al Universitii de tiine din Tokyo. Microrobotul este nzestrat cu un actuator ce utilizeaz aliajul magnetostrictiv Terbiu-DisprosiuFier. n absena cmpului magnetic exterior, dipolii magnetici sunt dispersai n toate direciile, n prezena acestuia magnetizarea se realizeaz n direcia fluxului magnetic iar aliajul se alungete n aceast direcie i se contract pe direcie perpendicular. Alungirea este mult mai important dect contracia i este folosit ca efect de acionare. Microrobotul are 16 piciorue nclinate fabricate din folie de cupru i dimensiuni de 4 mm x 6 mm. Ele au rolul de a amplifica deformaiile limitate ale elementelor active (deformaia unui picior este de 14 ori mai mare dect cea a unui element magnetostrictiv). Viteza maxim de 0.8 mm/s se obine la o frecven de excitaie de 80 Hz. Picioarele sunt montate pe corpul principal, cu o nclinaie opus direciei de micare, extremitile lor fiind apsate pe peretele interior al evi. Microrobotul este propulsat prin vibraia picioarelor, micarea devenind reversibil prin schimbarea nclinrii lor.

Modelarea, Simularea Si Proiectarea Microsistemelor Electromecanice

Încărcat de

Informații document

Drepturi de autor

Formate disponibile

Partajați acest document

Partajați sau inserați document

Opțiuni de partajare

Vi se pare util acest document?

Este necorespunzător acest conținut?

Drepturi de autor:

Formate disponibile

Modelarea, Simularea Si Proiectarea Microsistemelor Electromecanice

Încărcat de

Drepturi de autor:

Formate disponibile

Modelarea, simularea si proiectarea microsistemelor electromecanice (MEMS)

Nano - i microinginerie Nano - i microtehnologii