Sunteți pe pagina 1din 83

Modelarea, simularea si proiectarea microsistemelor electromecanice (MEMS)

si proiectarea microsistemelor electromecanice (MEMS) Nano - ş i microinginerie Nano - ş i microtehnologii

Nano - şi microinginerie Nano - şi microtehnologii

Introducere

Dezvoltarea şi implementarea NEMS şi MEMS sunt critice pentru economie şi societatea, deoarece nano - şi microtehnologiile vor conduce la progrese majore în domeniul tehnologiei informaţiei şi a calculatoarelor, în medicină şi sănătate, în domeniul fabricaţiei şi a transporturilor, în dezvoltarea sistemelor energetice, a aviatiei şi a securităţii naţionale. NEMS şi MEMS şi au un impact important în medicină şi bioinginerie (analiza şi sinteza codului genetic ADN, livrări de medicamente, diagnosticare, şi imagistică), în tehnologiile bio şi informaţionale, în aviaţie, în domeniul aerospatial (nano- şi microactuatori şi senzori, aripi inteligente cu geometrie reconfigurabilă, structuri spaţiale flexibile şi microgiroscoape), în domeniul automobilistic şi al transportului (senzori şi actuatori, accelerometre), fabricare, siguranţa publică, etc. În decursul ultimilor ani, unele guverne şi industria de înaltă tehnologie au finanţat cercetări fundamentale şi aplicate în domeniul NEMS şi MEMS datorită creşterii curente şi potenţiale rapide a impactelor sociale şi economice pozitive directe şi indirecte. Nano- şi microingineria sunt teoriile fundamentale, şi tehnologiile de vârf în analiza, proiectarea, optimizarea, şi fabricarea NEMS şi MEMS, de nano- şi microstructuri, dispozitive şi subsisteme. Nano- şi microstructurile şi dispozitivele studiate au dimensiunile de ordinul nano- şi micrometrilor. Pentru a sprijini nano- şi microtehnologiile, cercetări fundamentale şi aplicate trebuie efectuate. Nanoingineria studiază materialele şi structurile de dimensiuni nano- şi micro-, precum şi dispozitivele şi sistemele ale căror structură şi părţi componente prezintă proprietăţi, fenomene şi procese fizice (electromagnetice şi electromecanice), chimice şi biologice necunoscute. Dimensiunile nanosistemelor şi a componentelor acestora sunt cuprinse între 10 -10 m (dimensiuni moleculare) şi 10 -7 m; adică între 0.1 şi 100 nanometri. Studiind nanostructurile, cercetătorul îşi concentreaza atenţia asupra nivelurilor atomice şi moleculare, asupra fabricaţiei, a dinamicii şi a controlului, asupra augmentării şi integrării structurale, a aplicării şi sintetizării sistemelor pe scară largă, etc. Reducând dimensiunile sistemelor, se ajunge la aplicaţii cu materiale noi (nanotuburi de carbon, reţele şi puncte cuantice). Problemele care trebuie rezolvate pornesc de la producţia de masă şi asamblarea nanostructurilor la scară atomică/moleculară (ex. componente electronice, actuatori şi senzori cu structuri nano-) cu proprietăţile dorite. Este esenţială proiectarea de noi nanodispozitive precum nanotranzistori şi nanodiode, nanoîntrerupătoare şi nanoporţi logice, pentru proiectarea calculatoarelor la scară nanometrică cu capacităţi de terascalare. Toate sistemele biologice trăiesc datorită interacţiunilor moleculare ale diferitelor subsisteme. Blocurile de construcţie moleculare (proteine şi acizi nucleici, lipide şi carbohidraţi, ADN şi ARN) pot fi văzute ca posibile surse de inspiraţie în ceea ce priveşte proiectarea de NEMS si MEMS de înaltă performanţă care deţin proprietăţile şi caracteristicile necesare. Metodele analitice şi numerice sunt disponibile pentru a analiza dinamica şi geometria tridimensională, conexiunea şi alte caracteristici ale atomilor şi moleculelor. Aşadar, se pot studia caracteristicile electromagnetice şi mecanice, precum şi alte proprietăţi fizice şi chimice. Nanostructurile şi nanosistemele vor fi utilizate pe scară largă în medicină şi sănătate. Printre aplicaţiile posibile ale nanotehnologiei sunt: sinteza şi livrarea de medicamente (potenţialul terapeutic va fi îmbunătăţit datorită livrării directe şi eficiente a noilor tipuri de medicamente), nanochirurgia şi nanoterapia, sinteza şi diagnosticarea genomului, senzori şi actuatori la scară nanometrică (diagnosticare şi preveniri de boli), implantarea organelor nanoartificiale nerespinse de către organism, şi proiectrea nanomaterialelor de înaltă performanţă.

nelor nanoartificiale nerespinse de c ă tre organism, ş i proiectrea nanomaterialelor de înalt ă performan
nelor nanoartificiale nerespinse de c ă tre organism, ş i proiectrea nanomaterialelor de înalt ă performan

1

Modelarea, simularea si proiectarea microsistemelor electromecanice (MEMS)

si proiectarea microsistemelor electromecanice (MEMS) Este evident c ă nano - ş i microtehnologiile schimb ă

Este evident că nano - şi microtehnologiile schimbă drastic fabricarea şi procesul de fabricaţie a materialelor, dispozitivelor, precum şi a sistemelor prin:

• proprietăţi previzibile ale nano-compozitelor şi a materialelor (de exemplu, greutate redusă

şi rezistenţă ridicată, stabilitate termică, dimensiuni şi volumul redus, putere extrem de mare, cuplu,

forţă, sarcini şi densităţi de curent, conductivitate termică şi rezistivitate specificate, etc), • crearea rapidă de prototipuri virtuale (reducerea ciclului de proiectare, a costului şi a

întreţinerii),

• îmbunătăţirea preciziei, fiabilitate şi durabilitate,

• creşerea gradului de eficienţă, a capacităţi, a integrităţii şi flexibilităţii, a accesibilităţii şi suportabilităţii, a redundanţei şi a duratei de viaţă,

• robusteţe şi stabilitate îmbunătăţită,

• grad mai ridicat de siguranţă,

• competitivitate în ceea ce priveşte mediul.

Prevăzut de Richard Feyman, termenul de "nanotehnologie" a fost folosit prima dată de către N. Taniguchi în 1974 în lucrarea “Cu privire la conceptul de bază al nanotehnologiei”. În ultimele două decenii nanofabricarea şi nanoengineria şi au fost popularizate de către Eric Drexler prin Institutul Foresight. Avansarea miniaturizării la nivel molecular cu scopul final de a proiecta şi fabrica nanocomputere şi nanomanipulatoare, folosirea pe scară largă a sistemelor inteligente NEMS şi MEMS (care contin nanocomputere ca şi componentele de bază), fac ca proiectantul să se confrunte cu un număr mare de probleme nerezolvate. Conceptele de bază posibile în dezvoltarea nanocomputerelor sunt enumerate mai jos. "Calculatoarele" mecanice au cea mai bogată istorie, ce poate fi urmărită cu mii de ani în urmă. În timp ce maşinile şi teoriile cele mai creative au fost dezvoltate şi demonstrate, fezabilitatea nanocomputerelor mecanice este contestata de către unii cercetători datorită numărului de componente mecanice (care este necesar a fi controlate), precum şi datorită problemelor nerezolvate care ţin de fabricaţie (montaj) şi de dificultăţile tehnologice. Nanocomputerele chimice pot fi proiectate pe baza informaţiilor prelucrate din legarea sau sau ruperea legaturilor chimice, precum şi prin stocarea informaţiilor în substanţa chimică rezultată. În schimb, în nanocomputerele cuantice, informaţiile pot fi prezentate printr-o stare cuantică (de exemplu, rotaţia atomului poate fi controlată de către câmpul electromagnetic). Nanocomputerele electronice pot fi proiectate folosind concepte convenţionale care au fost testate şi utilizate în ultimii treizeci de ani. În particular, tranzistori moleculari sau puncte cuantice pot fi folosite ca elemente de bază. Nanoîntrerupătoarele (elemente de procesare fără capacitate de memorare), porţile logice, şi regiştrii trebuie a fi construite la scara unei singure molecule. Aşa numitele puncte cuantice sunt ’’cutii de metal’’ care conţin un număr discret de electroni care este schimbat prin aplicarea unui câmp electromagnetic. Punctele cuantice sunt aranjate în celule de puncte cuantice. Celulele de puncte cuantice conţin fiecare câte cinci puncte cuantice, dintre care două conţin electroni. Două stări diferite ale celulelor sunt ilustrate în Figura 1.1.1 (punctele colorate conţin electroni, iar cele albe nu conţin electroni).

con ţ in electroni, iar cele albe nu con ţ in electroni). Figura 1.1.1 Puncte cuantice

Figura 1.1.1 Puncte cuantice aflate în stările “0” şi “1”, şi în configuraţia “1 1”

Este evident faptul că punctele cuantice pot fi utilizate in a sintetiza dispozitivele logice. A fost subliniat faptul că în sistemele convenţionale electromecanice, sistemele nanoelectromecanice

logice. A fost subliniat faptul c ă în sistemele conven ţ ionale electromecanice, sistemele nanoelectromecanice 2
logice. A fost subliniat faptul c ă în sistemele conven ţ ionale electromecanice, sistemele nanoelectromecanice 2

2

Modelarea, simularea si proiectarea microsistemelor electromecanice (MEMS)

si proiectarea microsistemelor electromecanice (MEMS) (actuatori ş i alte dispozitive moleculare) sunt

(actuatori şi alte dispozitive moleculare) sunt controlate prin schimbarea câmpului electromagnetic. Devine evident faptul că alte structuri şi dispozitive la scară nanometrică (nanodiode şi nanotransistori) sunt de asemenea controlaţe prin aplicarea unui câmp electromagnetic (reamintim faptul că tensiunea şi curentul sunt rezultante ale câmpului electromagnetic).

1.2. Analogii cu biologia

Comportamentul şi mişcarea coordonată, vizualizarea şi detectarea, deplasarea şi luarea deciziilor, memorarea şi învăţarea organismelor vii sunt rezultatele transmisiei electrice (electromagnetice) a informaţiei către neuroni. Un centimetru cub din creier conţine milioane de celule nervoase, iar aceste celulele comunică cu mii de neuroni creând reţele de prelucrare a datelor (reţele de comunicare). Informaţia este transmisă de la creier la muşchi în câteva milisecunde. Jucătorii de baseball, fotbal, baschet şi tenis calculează viteza mingii, analizează situaţia, iau decizii şi acţionează (de exemplu aleargă, sar, aruncă sau lovesc mingea, etc). Sistemul nervos central uman, care include creierul şi coloana vertebrală, serveşte drept legatură între senzori (receptori) şi sistemul nervos periferic motor (efectori, muşchi şi celule glandulare). Trebuie pus accent pe menţiunea că sistemul nervos prezintă următoarele funcţii principale:

senzorială, de integrare şi luare a deciziilor şi de acţionare. Creierul uman este împărţit în trei zone majore. Acestea sunt partea inferioară (controlează homeostaza şi coordonează mişcarea), partea centrală (controlează receptarea, integrarea şi procesarea informaţiei senzoriale) şi partea frontală (controlează procesarea neuronală, integrarea informaţiei, procesarea imaginilor, memoria de scurtă şi lungă durată, funcţiile de învăţare, luarea deciziilor şi dezvoltarea funcţiilor motoare). Sistemul nervos periferic constă în sistemul senzorial (neuronii senzoriali transmit informaţia din mediul intern şi extern către sistemul nervos central, iar neuronii motori transportă informaţia de la creier sau coloana vertebrală către efectori), care transmite informaţia de la receptorii senzoriali către sistemul nervos central şi sistemul nervos motor, care furnizează semnale (comenzi) de la sistemul nervos central către muşchi (efectori) şi glande. Coloana vertebrală mediază reflexele care integrează intrările senzoriale şi ieşirile/reacţiile motrice, iar prin coloana vertebrală neuronii transportă informaţia spre şi dinspre creier. Transmiterea semnalelor electrice prin neuroni reprezintă un proces foarte complex. Potenţialul membranei pentru un neuron netransmiţător se datorează distribuirii inegale a ionilor (de sodiu şi de potasiu) de-a lungul membranei. Potenţialul de repaus este menţinut datorită pereabilităţii diferenţiale a ionilor şi a aşa-numitelor pompe Na + - K + . Stimulul modifică permeabilitatea membranei, iar ionii pot depolariza sau hiperpolariza potenţialul repausului membranei. Acest potenţial (tensiune) este proporţional cu intensitatea stimulului. Stimulul este transmis ca urmare a mecanismului - axon. Sistemul nervos este ilustrat în figura 1.2.1.

- axon. Sist emul nervos este ilustrat în figura 1.2.1. Figura 1.2.1 Sistemul nervos al organismelor

Figura 1.2.1 Sistemul nervos al organismelor vertebrate: diagrama generală de funcţionare

în figura 1.2.1. Figura 1.2.1 Sistemul nervos al organismelor vertebrate: diagrama general ă de func ţ
în figura 1.2.1. Figura 1.2.1 Sistemul nervos al organismelor vertebrate: diagrama general ă de func ţ

3

Modelarea, simularea si proiectarea microsistemelor electromecanice (MEMS)

si proiectarea microsistemelor electromecanice (MEMS) Exist ă o mare diversitate de organiza ţ ii ale

Există o mare diversitate de organizaţii ale sistemului nervos. Reţeaua nervoasă cnidariană (hydra) este un sistem organizat de nervi fară un control central, iar un simplu nerv poate executa o sarcină elementară (înotul meduzelor). Echinodermele au un inel central cu nervi radiali (de exemplu, stelele de mare au nervi centrali şi radiali cu reţea de nervi). Planarianele au creieri mici, care transmit informaţii prin intermediul a două sau mai multe trunchiuri nervoase, după cum sunt prezentate în figura 1.2.2.

nervoase, dup ă cum sunt prezentate în figura 1.2.2. Fig. 1.2.2. Imagine de ansamblu asupra sistemelor

Fig. 1.2.2. Imagine de ansamblu asupra sistemelor nervoase al organismelor nevertebrate

1.3. Sisteme nano- şi microelectromecanice

Prin analogie cu biosistemele, o mare varietate de sisteme electromecanice au fost proiectate şi realizate de către om. Pentru a analiza, proiecta, dezvolta, implementa noi sisteme NEMS şi MEMS, proiectantul trebuie să sintetizeze arhitecturi avansate, să integreze cele mai recente progrese în nano- şi microactuatori/senzori (traductoare), structuri inteligente, circuite integrate (ICS) şi multiprocesoare, fabricaţie şi materiale, proiectare structurală şi optimizare, modelare şi simulare, etc. Este evident faptul că noile arhitecturi optimizate de NEMS şi MEMS (cu procesoare sau multiprocesoare, ierarhii de memorie şi parelelism multiplu pentru a garanta un calcul şi o putere de luare a deciziilor avansate), noi structuri şi actuatori, circuite integrate (IC) şi antene, precum şi alte subsisteme, joacă un rol esenţial în avansarea cercetărilor, a evoluţiei şi a punerii în aplicare a rezultatelor. Sistemele electromecanice, după cum sunt prezentate în figura 1.3.1, pot fi clasificate astfel:

sisteme electromecanice convenţionale, sisteme microelectromecanice (MEMS), sisteme nanoelectromechanice (NEMS).

(MEMS), sisteme nanoelectromechanice (NEMS). Fig. 1.3.1. Clasificarea sistemelor electromecanice

Fig. 1.3.1. Clasificarea sistemelor electromecanice

Principiile de operare şi fundaţiile de bază a sistemelor convenţionale şi electromecanice MEMS sunt aceleaşi, în timp ce sistemele NEMS sunt studiate cu ajutorul diferitelor concepte şi teorii. De fapt, proiectantul aplică principiile de mecanică implementate de către Newton şi Lagrange, precum şi principii electromagnetice (ecuaţiile lui Maxwell) pentru a studia sistemele convenţionale şi electromecanice şi sistemele MEMS. În contrast, sistemele NEMS sunt studiate cu ajutorul teoriilor cuantice şi a conceptelor de nanoelectromecanică. Figura 1.3.2 prezintă teoriile fundamentale folosite pentru a studia procesele şi fenomenele în sistemele micro şi nanoelectromecanice convenţionale.

folosite pe ntru a studia procesele ş i fenomenele în sistemele micro ş i nanoelectromecanice conven
folosite pe ntru a studia procesele ş i fenomenele în sistemele micro ş i nanoelectromecanice conven

4

Modelarea, simularea si proiectarea microsistemelor electromecanice (MEMS)

si proiectarea microsistemelor electromecanice (MEMS) Fig. 1.3.2. Teoriile fundamentale folosite pentru studiul
si proiectarea microsistemelor electromecanice (MEMS) Fig. 1.3.2. Teoriile fundamentale folosite pentru studiul

Fig. 1.3.2. Teoriile fundamentale folosite pentru studiul sistemelor electromecanice

Sistemele NEMS şi MEMS integrează diferite structuri, dispozitive, şi subsisteme. Cercetările în domeniul integrării şi a optimizării (arhitecturi optimizate şi optimizare structurală) acestor subsisteme nu au fost instituite şi efectuate, iar performanţele şi comportamentul trebuie studiate de la un capăt la altul (procesoare - reţele – subsisteme de intrare/ieşire – circuite integrate/antene - actuatori/senzori).

Sistemele MEMS şi NEMS de scară largă, care pot integra un procesor (multiprocesor) şi memorii, reţele de înaltă performanţă şi sisteme de intrare/ieşire (IO), sunt mult mai complexe decât sistemele MEMS folosite uzual în acest moment. În particular, sistemele MEMS şi NEMS de scară largă pot integra:

mii de noduri de actuatori/senzori de înaltă performanţă şi structuri inteligente controlate de circuite integrate şi antene; procesoare de înaltă performanţă sau multiprocesoare; memorii cu stagii multiple şi ierarhii de stocare cu diferiţi timpi de accesare a datelor (mii de dispozitive de stocare secundare şi terţiare încărcate cu arhive de date); baze de date heterogene interconectate şi distribuite; reţele de comunicare de înaltă performanţă (reţele robuste, adaptabile, inteligente).

Trebuie accentuat faptul că şi cele mai simple nanosisteme (de exemplu, un actuator pur), de obicei nu pot funcţiona de sine stătătoare. De exemplu, este nevoie de cel puţin o sursă internă sau externă de energie. Complexitatea sistemelor MEMS şi NEMS de scară largă cere noi cercetări şi dezvoltări fundamentale şi aplicate. De asemenea, creşte cererea de coordonare a unuei game largi de hardware şi software. De exemplu, proiectarea de nano- şi microactuatori/senzori avansaţi şi de structuri inteligente, sintetizarea arhitecturilor optimizate (balansate), dezvoltarea de noi limbaje de programare şi compilatoare, programe pentru depanare, sisteme de operare şi de management a resurselor, sisteme de vizualizare de înaltă fidelitate şi de reprezentare, proiectarea de reţele de înaltă performanţă etc. Este mare nevoie de noi algoritmi şi structuri de date, sisteme software avansate şi acces distribuit la arhive vaste de date, tehnici sofisticate de căutare a datelor şi de vizualizare, precum şi analize avansate a datelor. În plus, mai este nevoie şi de procesoare şi multiprocesoare avansate pentru a atinge capabilitatea susţinută cerută de sistemele MEMS şi NEMS de scară înaltă funcţionale, pentru a putea fi folosite. Cercetările fundamentale şi aplicate în domeniul MEMS şi NEMS au fost afectate dramatic de către apariţia calculatoarelor de înaltă performanţă. Analiza şi simularea sistemelor MEMS şi NEMS au avut rezultate semnificative. Problemele care apar în analiza, modelarea şi simularea sistemelor MEMS şi NEMS de scară largă şi care includ dinamica moleculară completă, nu pot fi rezolvate deoarece teoria cuantică clasică nu poate fi aplicată practic în molecule complexe sau nanostructuri simpliste (1 nm 3 dintr-un actuator conţine mii de molecule).

practic în molecule complexe sau nanostructuri simpliste (1 nm 3 dintr-un actuator con ţ ine mii
practic în molecule complexe sau nanostructuri simpliste (1 nm 3 dintr-un actuator con ţ ine mii

5

Modelarea, simularea si proiectarea microsistemelor electromecanice (MEMS)

si proiectarea microsistemelor electromecanice (MEMS) Exist ă câteva probleme de cercetare provocatoare în

Există câteva probleme de cercetare provocatoare în care teoriile şi puterea de calcul avansate sunt necesare pentru a progresa în ceea ce priveşte teoriile şi aplicarea acestora în practică. Fundamentele multidisciplinare ale nanoelectromecanicii trebuie dezvoltate pentru a garanta posibilitatea de a sintetiza, analiza şi realiza sisteme MEMS şi NEMS de înaltă performanţă care să deţină caracteristicile dorite (specificate). Acest lucru va scurta semnificativ timpul şi costul dezvoltării de sisteme MEMS şi NEMS utilizate în scop medical şi biomedical, în aeronautică şi automobilism, în sisteme electronice şi de fabricaţie. Importanţa dezvoltării de modele matematice şi analize numerice a fost accentuată. Simularea numerică sporeşte, dar nu înlocuieşte metodele de cercetare fundamentale. Mai mult, simulările explicite ar trebui bazate pe studii fundamentale sigure şi trebuie validate prin experimente. Totuşi, este evident faptul că simulările conduc la înţelegerea performanţelor sistemelor MEMS şi NEMS complexe (nano- şi microstructuri, dispozitive şi subsisteme), la reducerea timpului şi a costului procesului pe care trebuie să îl urmeze tehnologiile sistemelor MEMS şi NEMS de la concept la dispozitiv/sistem şi de la dispozitiv/sistem la scoaterea pe piaţă. Cercetarile fundamentale şi aplicate sunt nucleul simulării, iar eforturile trebuie concentrate asupra modelărilor complete şi asupra calculării avansate eficiente. Pentru a studia complet sistemele MEMS şi NEMS, sunt necesare instrumente avansate de modelare şi calcul în primul rând pentru simulări şi modelări intensive de tip 3D+ (dinamica geometrică tridimensională), pentru a studia comportamentul dinamic complet al actuatorilor şi a senzorilor. Modelele matematice ale sistemelor MEMS şi NEMS, împreună cu componentele acestora (structuri, dispozitive şi subsisteme), trebuie dezvoltate. Aceste modele (augmentate cu algoritmi computaţionali eficienţi, computere terascalare şi software avansat) vor juca un rol major în simularea şi proiectarea de sisteme MEMS şi NEMS din punctul de vedere al realizării rapide de prototipuri virtuale. Există trei categorii generale de probleme pentru care este critică dezvoltarea de noi algoritmi şi metode de calcul:

1.Probleme pentru care sunt dezvoltate teorii fundamentale, dar complexitatea soluţiilor este în afara razei acoperite de tehnologiile de calcul care vor aparea în viitorul apropiat. De exemplu, mecanica cuantică conceptuală clasică şi dinamica moleculară nu pot fi aplicate nici măcar pentru nanoactuatori. În contrast, este posibilă crearea de simulări predictive al comportamentului molecular al nano- şi microactuatorilor/senzorilor şi de structuri inteligente care ar putea conţine milioane de molecule. 2.Probleme pentru care teoriile fundamentale nu sunt dezvoltate complet pentru a justifica simulări directe, dar care pot fi avansate sau dezvoltate prin metode avansate de bază şi numerice. 3.Probleme pentru care metodele de modelare şi simulare dezvoltate vor conduce la avansări majore şi vor avea un impact important. De exemplu, comportamentul tranzitoriu complet 3D+ al sistemelor MEMS şi NEMS. Pentru sistemele MEMS şi NEMS, precum şi pentru dispozitivele subsistemelelor, modelarea fidelă şi simulările computaţionale masive (modele matematice proiectate cu ajutorul librăriilor şi bazelor de date/arhivelor inteligente, manipularea şi stocarea inteligentă a datelor, corelarea şi gruparea datelor, vizualizarea, căutarea şi interpretarea datelor) oferă perspectiva dezvoltării şi înţelegerii mecanismelor, fenomenelor şi a proceselor pentru îmbunătăţirea eficienţei şi a modului de proiectare a noilor sisteme de înaltă performanţă MEMS şi NEMS. Simulările predictive bazate pe modelare necesită resurse de calcul avansate şi un nivel de integrare fără precedent între inginerie şi ştiinţă. Pentru a modela şi simula sisteme MEMS şi NEMS, se augumentează mecanica cuantică modernă, electromagnetica şi electromecanica, toate la scară nano- şi micro. În particular, scopul principal este de a dezvolta teoria nanoelectromecanicii. Se poate efectua analiza dinamică steady-state/starii de echilibru. Deşi analiza starii de echilibru şi optimizarea structurală sunt importante pentru a înţelege actuatorii/senzorii şi structurile inteligente, sistemele MEMS şi NEMS trebuie analizate în domeniul timpului. Scopul de lungă durată al nanoelectromecanici este de a dezvolta o teorie fundamentală pentru analiza interacţiunilor dintre acţionare şi simţ, calcul şi comunicare, procesarea semnalelor şi stocarea ierarhică a datelor şi a altor procese şi fenomene regăsite în cadrul sistemelor MEMS şi NEMS.

stocarea ierarhic ă a datelor ş i a altor procese ş i fenomene reg ă site
stocarea ierarhic ă a datelor ş i a altor procese ş i fenomene reg ă site

6

Modelarea, simularea si proiectarea microsistemelor electromecanice (MEMS)

si proiectarea microsistemelor electromecanice (MEMS) Folosind conceptul interac ţ iunilor

Folosind conceptul interacţiunilor electromagnetice-electromecanice puternice, teoria nanoelectromecanică fundamentală va fi dezvoltată şi aplicată nanostructurilor şi nanodispozitivelor pentru a prezice performanţele prin soluţii analitice şi simulări numerice. Macromodelele dinamice al nodurilor pot fi dezvoltate, iar moleculele singure sau grupurile de molecule pot fi studiate. Efectuarea acestui studiu este decisivă în determinarea unui număr de parametrii pentru a obţine evaluări corecte ale performanţelor şi pentru a analiza fenomenul prin efectuarea de simulări şi prin compararea rezultatelor experimentale după modelare şi simulare. Progresele şi dezvoltările curente în modelarea şi simularea fenomenelor complexe din cadrul sistemelor MEMS şi NEMS sunt tot mai mult dependente de noi metode de abordare pentru a calcula, vizualiza şi valida rezultatele clarificând, corelând, definind şi descriind limitele dintre rezultatele numerice şi analiza calitativ-cantitativ analitică, în scopul de a înţelege trăsăturile de bază.

Pentru simularea sistemelor MEMS şi NEMS este nevoie de metode de calul avansate care vor fi disponibile în anii imediat următori. Limitările computaţionale şi inabilitatea de a dezvolta modele matematice clare (unele fenomene non-lineare nu pot fi înţelese), concentrează studiile avansate asupra cercetării de bază a modelării şi simulării afectate de incertitudini. Procesele de modelare, simulare şi proiectare sunt decisive în privinţa avansului şi protejării cutezanţelor teoretice şi inginereşti. Ne concentrăm cercetările asupra dezvoltării teoriei nanoelectromecanice pentru a modela şi simula sisteme MEMS şi NEMS de scară largă. De exemplu, la nivel de subsistem, nano- şi microactuatorii şi senzorii vor fi modelaţi şi analizaţi în sistem 3D+ (dinamică geometrică tridimensională în domeniul timpului) aplicând algoritmi şi metode numerice avansate. Metode riguroase de cuantificare a incertitudinilor trebuie dezvoltate. Incertitudunile rezultă datorită faptului că este imposibil de a înţelege complet procesele şi subsistemele complexe din cadrul sistemelor MEMS şi NEMS (actuatori/senzori, structuri inteligente, antene, circuite integrate digitale sau analogice, mişcarea datelor, stocarea şi managementul în cadrul ierarhiilor de memorie cu nivele multiple, arhive, reţele şi periferice), schimbările structurale şi de mediu, fenomenele nemăsurate şi nemodelate etc. Pentru a proiecta sisteme MEMS şi NEMS, vom dezvolta modele matematice analitice. Există un număr de zone unde trebuie făcute progrese pentru a realiza promisiunile şi beneficiile recente în domeniul dezvoltărilor teoretice moderne. De exemplu, pentru a realiza modelări de tip 3D+ ale actuatorilor/senzorilor şi a structurilor inteligente, se vor folosi metode numerice şi algoritmi analitici avansaţi (metode şi algoritmi noi în generarea de geometrii şi reţele, asimilare de date şi rafinare dinamică adaptivă a reţelelor) precum şi mediul computaţional eficient şi robust MATLAB. Există probleme fundamentale şi computaţionale care nu au fost abordate, formulate şi rezolvate datorită complexităţii sistemelor MEMS şi NEMS de scară largă (de exemplu, modele hibride de scară largă, abilitatea limitată de a genera şi vizualiza cantităţi masive de date etc.). Alte probleme ar fi nelinearitatea şi incertitudinile care presupun limite fundamentale pentru a formula, pregăti şi rezolva probleme de analiză şi proiectare. Prin urmare, ar trebui dezvoltate metode şi algoritmi pentru cuantificarea şi modelarea incertitudinilor, a tehnicilor de generare a reţelelor şi a geometriilor de tip 3D+, precum şi metode de modelare şi simulare adaptivă sub incidenţa incertitudinilor.

geometriilor de tip 3D+, precum ş i metode de modelare ş i simulare adaptiv ă sub
geometriilor de tip 3D+, precum ş i metode de modelare ş i simulare adaptiv ă sub

7

Modelarea, simularea si proiectarea microsistemelor electromecanice (MEMS)

si proiectarea microsistemelor electromecanice (MEMS) 1.4. APPLICATII ALE SISTEMELOR MICRO SI NANO

1.4. APPLICATII ALE SISTEMELOR MICRO SI NANO ELECTROMECANICE

NEMS şi MEMS trebuie proiectate in funcţie de specificaţii şi cerinte, obiective şi aplicaţii. In general, NEMS sunt mai rapide şi mai simple, mai eficiente şi fiabile, rezistente şi robuste în comparaţie cu MEMS. Oricum, datorită mărimii limitate şi capabilităţilor funcţionale, nu se pot atinge caracteristicile dorite. De exemplu, să consideram actuatorii nano şi micro.

Dimensiunea actuatorului este determinată de desitatea/mărimea forţei sau momentului dezvoltat. Astfel, dimensiunea este determinată de necesitatea fortei sau momentului dezvoltat şi de materialele utilizate. Utilizând NEMS sau MEMS ca şi dispozitive logice, semnalul electric de ieşire (tensiune sau curent) sau câmp electromagnetic (intensitate sau densitate) trebuie să aibă valoarea specificată.

Cu toate că MEMS şi NEMS au particularităţi comune există şi diferenţe. Cercetarile si dezvoltarile curente in domeniul NEMS si al nanotehnologiilor moleculare sunt concentrate in principal asupra proiectarii, modelarii, simularii si fabricarii de dispozitive la scara moleculara.

MEMS sunt fabricate folosind alte tehnologii, ca de exemplu semiconductoare metalice complementare (CMOS) şi litografierile. Tehnologia de atasare directa a cipurilor a fost dezvoltata si des utilizata. Asamblarea flip-chip inlocuieste structura in benzi pentru conectarea IC-urilor (IC-circuite integrate) cu actuatori şi senzori la scara micro si nano. Utilizarea tehnologiei flip-chip elimina rezistentele, capacitatile si inductantele parazite. Acest lucru conduce la creste caracteristicilor de performanţă. In plus asamblarea flip-chip ofera avantaje in implementarea impachetarilor/incapsularilor (packaging-ului) flexibile avansate, îmbunătăţind funcţionarea de lunga durata, reduce masa şi mărimea etc.

Asamblarea flip-chip include ataşarea actuatorilor şi senzorilor direct pe substratul IC-ului. Actuatorii si senzorii sunt montati cu faţa în jos prin bumpere (socluri) pe placa formând conxiunile electronice şi mecanice in substratul IC-ului. Materialul de incapsulare este adaugat intre suprafata cipului şi circuitul flex pentru a atinge fiabilitatea cerută. Figura 1 prezintă MEMS-urile de tip flip- chip.

ă . Figura 1 prezint ă MEMS-urile de tip flip- chip. Fig. 1. Ansamblu monolithic MEMS

Fig. 1. Ansamblu monolithic MEMS flip-chip cu senzori şi actuatori

MEMS-ul integrat la scară largă (un singur chip, care poate si produs in masa utilizând (CMOS Complementary Metal Oxide Semiconductor - Semiconductoare cu Oxid de Metal Complementar), fotolitografie si alte tehnologii la costuri reduse, integrează:

1

Modelarea, simularea si proiectarea microsistemelor electromecanice (MEMS)

si proiectarea microsistemelor electromecanice (MEMS) ‐ Noduri N de actuatori/senzori, structuri inteligente ,

Noduri N de actuatori/senzori, structuri inteligente ,

IC-uri si antene,

Procesoare şi memorii,

Reţele de interconectare (bus-uri de comunicatie),

Sisteme IO (intrare-iesire)

Pentru controlul sistemelor complexe, proceselor şi fenomenelor se folosesc MEMS şi NEMS.

O diagrama bloc complexă de funcţionare a MEMS-urilor de scară largă este ilustrată in fig. 2.

de scar ă larg ă este ilustrat ă in fig. 2. Fig. 2 Schema bloc de

Fig. 2 Schema bloc de functionare MEMS cu senzori si actuatori de rotatie si translatie

Actuatorii se folosesc pentru a pune in miscare sistemele dinamice. Actuatorii raspund comenzilor stimulante (semnale de control) si pentru a dezvolta forte si momente. Exista un numar mare de actuatori biologici (ex. Ochiul uman si sistemele de locomoţie) creaţi de om. Actuatorii biologici se bazeaza pe fenomene si procese electro-magneto-mecano-chimice.

Actuatorii creaţi de om (motoare electromagnetice, electrice, hidraulice, termice si acustice)

sunt dispozitive care primesc semnale sau stimuli (presiune, tensiune, termici si acustici etc.) si raspund

in moment si forta.

Sa luam in considerare avioanele. Actuatorii inteligenti bazati pe NEMS si MEMS sunt adecvati a fi utilizaţi la aparatele de zbor. Zborul la avioane, nave spaţiale, rachete, şi interceptoare este controlat prin actuatori care modifica geometria suprafeţelor aeronavei si geometriei aripei. Spre exemplu

2

Modelarea, simularea si proiectarea microsistemelor electromecanice (MEMS)

si proiectarea microsistemelor electromecanice (MEMS) elevatoarele, flapsurile, stabilizatoa rele, varfurile de

elevatoarele, flapsurile, stabilizatoarele, varfurile de aeronavelor avansate etc., pot fi controlate prin intermediul nano-micro şi mini-actuatorilor utilizand tehnologia NEMS si MEMS.

Figura 3 prezinta o aeronava in cadrul cărea actuatori rotativi si de translatie sunt utilizati pentru controlul geometriei suprafetelor si pentru a schimba si controla geometriei aripilor.

si pentru a schimba si controla geometriei aripilor. Fig. 3. Aeronave cu actuatori NEMS si MEMS

Fig. 3. Aeronave cu actuatori NEMS si MEMS de translaţie şi de rotaţie pentru zbor

Senzorii sunt dispozitivele care primesc si raspund la semnale si stimuli. Spre exemplu incarcarile (pe care le simte aeronava in timpul zborului), vibratiile, temperatura, viteza etc, pot fi masurate de catre micro si nano senzori precum se vede in figura 4.

Se poate menţiona ca exista o multitudine de senzori care pot măsura interferentele electromagnetice si deplasările, orientarea si poziţia, tensiunea electrica si curentul care trec prin dispozitivele electronice de putere etc.

care trec prin dispozitivele electronice de putere etc. Fig. 4 Aplica ţ ii ale nano ş

Fig. 4 Aplicaţii ale nano şi micro senzorilor la aeronave

Uzual câteva procese de conversie sunt incluse pentru a produce semnale senzoriale electrice, electronice, electromagnetice sau mecanice. Conversia energiei prezintă interes. Folosind analiza

3

Modelarea, simularea si proiectarea microsistemelor electromecanice (MEMS)

si proiectarea microsistemelor electromecanice (MEMS) bazata pe energie se pot studia funda mentele teoretice

bazata pe energie se pot studia fundamentele teoretice generale. Dezvoltările majore in NEMS si MEMS au fost conduse de către componenta tehnologiei de fabricatie a acestora, iar cercetarile aplicate s-au axat pe fabricarea structurilor si dispozitivelor precum si analiza caracteristicilor acestora.

Spre exemplu, structurile inteligente micro şi mini precum si IC-urile au fost studiate in detaliu iar tehnologiile fiabile de fabricaţie, materiale si procese au fost dezvoltate. Recent au fost descoperite nanotuburile de carbon si au fost construite firele si tranzistorii moleculari.

Cu toate acestea, nanostructurile şi dispozitivele NEMS, MEMS sunt încă studiate la scara nanometrică si se depun eforturi pentru a dezvolta teorii fundamentale.

1.5. SYSTEME NANO- AND MICROELECTROMECHANICE

In general, MEMS-urile monolitice sunt structuri integrate microasamblate (microsisteme electromecanice pe un singur chip) care au atat componente electrice-electronice (circuite integrate) cat si mecanice. Pentru fabricarea MEMS, sunt utilizate metode de fabricare, tehnologii si materiale in microelectronica avansata. Actionarea si sesizarea nu poate fi considerata ca o functie periferica in multe aplicatii. Actuatorii-senzorii integrati (de obicei microstructuri de miscare) cu circuite integrate compun clasa majora de MEMS.

Datorita utilizarii tehnicilor de litografie CMOS bazate pe tehnologii de fabricare a actuatorilor si senzorilor, microelectronica MEMS este o parghie in domenii suplimentare importante care revolutioneaza capabilitatile aplicatiilor. De fapt, MEMS au ajutat considerabil microelectronica in comparatie cu circuitele integrate.

Motorola TCA0372)

este un circuit integrat monolithic ce poate fi utilizat la controlul micromasinilor electrice de curent continuu este prezentat in figura 5.

Amplificatorul operational de putere (Dual power operational amplifiers

operational de putere (Dual power operational amplifiers Fig. 5 Aplica ţ ii ale circuitului integrat la

Fig. 5 Aplicaţii ale circuitului integrat la controlul

micromasinilor de current continuu

MEMS poate fi definit ca un lot de dispozitive fabricate la microscara (circuite integrate si microstructuri de miscare) care transforma parametrii fizici in semnale electrice si invers, in plus caracteristicile componentelelor electrice si mecanice la microscara, arhitecturile, structurile si parametrii acestora sunt elemente importante pentru functionarea si designul lor.

4

Modelarea, simularea si proiectarea microsistemelor electromecanice (MEMS)

si proiectarea microsistemelor electromecanice (MEMS) Fig. 6 Prezentarea generala MST(MEMS) Ex. Fig. 7 Tehnici
si proiectarea microsistemelor electromecanice (MEMS) Fig. 6 Prezentarea generala MST(MEMS) Ex. Fig. 7 Tehnici

Fig. 6 Prezentarea generala MST(MEMS)

Ex.

Fig. 7 Tehnici fundamentale MST (MEMS)

Structuri MEMS realizate la Sandia National Laboratories sunt prezentate in figura 8.

Sandia Nationa l Laboratories sunt pr ezentate in figura 8. Fig. 8 Structuri MEMS de la
Sandia Nationa l Laboratories sunt pr ezentate in figura 8. Fig. 8 Structuri MEMS de la

Fig. 8 Structuri MEMS de la Sandia National Laboratories

Fig. 9 Accelerometru MEMS

la Sandi a National Laboratories Fig. 9 Accelerometru MEMS Fig. 10 Cartu ş de imprimant ă

Fig. 10 Cartuş de imprimantă cu circuit integrat

Fig. 11 Controlul aripilor aeronavei utilizand MEMS

5

Modelarea, simularea si proiectarea microsistemelor electromecanice (MEMS)

simularea si proiectarea microsistemelor electromecanice (MEMS) Fig. 12 Micromanipulator cu trei grade de mobilitate 6
simularea si proiectarea microsistemelor electromecanice (MEMS) Fig. 12 Micromanipulator cu trei grade de mobilitate 6

Fig. 12 Micromanipulator cu trei grade de mobilitate

6

Modelarea, simularea si proiectarea microsistemelor electromecanice (MEMS)

si proiectarea microsistemelor electromecanice (MEMS) ASPECTE PRIVIND MANIPULAREA MICR OOBIECTELOR IN

ASPECTE PRIVIND MANIPULAREA MICROOBIECTELOR IN MICROROBOTICA

Una dintre sarcinile cele mai importante în TMS/microrobotică este manipularea obiectelor de mici dimensiuni. Micromanipulatoarele se utilizează în aplicaţii în care este necesară o precizie ridicată de prindere, orientare şi poziţionare. În funcţie de mediu se pot identifica micromanipulări: în aer, lichid, sau vacuum; iar în funcţie de modalităţile de contact sunt identificate: micromanipularea cu contact şi micromanipularea fără contact; O altă clasificare vizează micromanipularea serială (componentele sunt asamblate una câte una) şi micromanipularea paralelă (mai multe componente sunt asamblate simultan). În funcţie de aplicaţie, pot fi identificate următoarele clase de micromanipulare:

- micromanipulare manuală;

- micromanipulare parţial automatizată (telecomandată), în cadrul unor sisteme

comandate de la distanţă;

- micromanipulare în cadrul unor staţii computerizate, automate, multifuncţionale. Micromanipularea serială conţine:

- micromanipularea manuală;

- micromanipularea telecomandată;

- micromanipularea automată,

iar micromanipularea paralelă:

- micromanipularea deterministică;

- micromanipularea stocastică.

Micromanipularea manuală este cea mai utilizată în aplicaţiile medicale, biologice şi chiar în industrie, la microasamblare. Pe măsură ce dimensiunile componentelor scad, cerinţele de precizie devin tot mai mari şi capacităţile umane nu mai răspund acestor cerinţe.

Micromanipularea telecomandată transformă, prin intermediul unui joystick sau a mouse-lui, mişcările mâinii operatorului uman în mişcări tridimensionale mai fine ale micromanipulatorului. În acest caz este foarte importantă transmisia diferitelor tipuri de semnale din lumea micro (video, audio, semnale tactile) către operator, oferindu-i acestuia un feed-back mai bun. Problema fundamentală rămâne rezoluţia şi viteza, deoarece mişcarea dispozitivului terminal este de fapt imitarea directă a mişcării mâinii operatorului uman. Un sistem de micromanipulare telecomandat este prezentat în figura 1. Sistemul conţine cinci componente: unitatea propriu-zisă de manipulare, modulul de operare, microscopul optic cu cameră CCD (charge coupled device), unitatea de control şi modulul de transmitere a semnalelor. Unitatea de manipulare prezentata in figura 1 are în componenţă elemente de poziţionare grosieră şi fină, un senzor de forţă multiaxial şi un efector final. Elementul de poziţionare grosieră este acţionat de un motor pas cu pas cu rezoluţia 3,5 mm. Elementul de poziţionare fină utilizează un principiu electromagnetic de acţionare şi are o rezoluţie de 600 µm pe direcţiile x, y şi 800 µm pe direcţia z. Fiecare element de manipulare este echipat cu un senzor de forţă multiaxial ale cărui semnale sunt transformate după amplificare în semnale acustice corespunzătoare, care la rândul lor sunt transmise la operator. Camera CCD şi microscopul stereo sunt utilizate pentru transmiterea informaţiei vizuale şi expunerea ei pe un monitor. Sistemul de control utilizează transputere T805, fiecare element de poziţionare grosieră şi fină fiind controlat de acesta. Modulul de operare este un joystick cu trei grade de libertate, echipat cu un senzor de forţă multiaxial care detectează forţele pe care

1

Modelarea, simularea si proiectarea microsistemelor electromecanice (MEMS)

si proiectarea microsistemelor electromecanice (MEMS) operatorul uman le exercit ă . Acest sistem poate fi

operatorul uman le exercită. Acest sistem poate fi utilizat pentru a manipula piese cu dimensiuni de la câţiva micrometri la câţiva milimetri.

de la câ ţ iva micrometri la câ ţ iva milimetri. Fig. 1. Structura unui sistem

Fig. 1. Structura unui sistem de micromanipulare telecomandat

Staţiile computerizate (desktop stations) automatizate, multifuncţionale, pentru micromanipulare sunt susţinute de microroboţi flexibili, mobili şi capabili să execute manipulări

în diverse spaţii de lucru.

Spre deosebire de micromanipulările menţionate mai sus, în acest caz nu există nici o legătură directă între mâinile operatorului uman şi robot. Etapele de asamblare sunt realizate cu ajutorul algoritmilor de comandă cu buclă deschisă, sau pentru sarcini mai complexe cu buclă închisă.

Operatorul uman comandă toate sarcinile mecanismului miniaturizat de asamblare,

încercând să compenseze capacităţile sale limitate de micromanipulare. Într-o astfel de staţie de micromanipulare pot să lucreze simultan mai mulţi microroboţi.

O astfel de staţie automatizată pentru micromanipulare este prezentată în figura 2.

2

Modelarea, simularea si proiectarea microsistemelor electromecanice (MEMS)

si proiectarea microsistemelor electromecanice (MEMS) Fig. 2 Sta ţ ie computerizat ă automatizat ă University
si proiectarea microsistemelor electromecanice (MEMS) Fig. 2 Sta ţ ie computerizat ă automatizat ă University

Fig. 2 Staţie computerizată automatizată

(MEMS) Fig. 2 Sta ţ ie computerizat ă automatizat ă University of Karlsruhe, Institute fo r

University of Karlsruhe, Institute for Real-time Computer System & Robotics

Micromanipularea paralelă deterministică În cadrul acestui tip de manipulare, mai multe componente sunt asamblate simultan. Relaţia dintre o componentă şi destinaţia ei este cunoscută de la începutul operaţiei.

Micromanipularea paralelă stocastică În cadrul acestui fel de manipulare mai multe componente sunt asamblate simultan. Relaţia dintre o componentă şi destinaţia ei este necunoscută sau aleatoare. Există posibilitatea ca

3

Modelarea, simularea si proiectarea microsistemelor electromecanice (MEMS)

si proiectarea microsistemelor electromecanice (MEMS) pe baza unor for ţ e fluidice, electrostatice, electro

pe baza unor forţe fluidice, electrostatice, electromagnetice sau prin utilizarea vibraţiilor să se realizeze o anumită asamblare. În general, manipulările presupun următoarele etape: apucare, transport, poziţionare, decuplare, procesare (tăiere, decupare, lipire etc). În figura 3 se prezintă câteva metode de manipulare specifice lumii micro. Pentru a fi posibile astfel de operaţii sunt necesare unelte corespunzătoare, cum ar fi:

microcuţite, microace pentru a fixa microobiecte, duze pentru microdozarea unui adeziv, dispozitive microlaser pentru lipire, sudură şi tăiere, diferite tipuri de cleşti, unelte de ajustare etc.

Obiectele cu dimensiuni de ordinul milimetrilor pot fi prinse cu minigrippere, realizate asemănător cu gripperele clasice, dar în condiţiile unor precizii mult mai mari. Microgripperele, pentru a căror realizare se recurge la soluţii originale, diferite de gripperele clasice, sunt destinate manipulării obiectelor cu dimensiuni cuprinse între 1 mm şi 1 µm. Obiectele cu dimensiuni mai mici de 1 µm nu pot fi manipulate decât cu dispozitive speciale, din domeniul nanotehnologiei.

Prindere + transport Tăiere Strângere Zg riere + â Absortie sau m surarea for ei
Prindere +
transport
Tăiere
Strângere
Zg riere +
â
Absortie sau
m surarea for ei
ă
ţ
pulverizare
Săpare
Apucare +
asamblare

Fig. 3 Manipulări în lumea micro

Tehnicile recente de investigare utilizând microscopul cu baleiaj cu efect tunel (STM- Scanning Tunnelling Microscope) şi a microscopului de forţă atomică (AFM-Atomic Force Microscope) sunt promiţătoare. Pentru a realiza o astfel de servooperare la nivel nanometric, sunt importanţi nu numai actuatorii, ci şi tehnologiile de detecţie, materialele utilizate şi structura generală a echipamentului. S-au realizat demonstraţii de scriere a unor caractere de dimensiuni nanometrice pe suprafaţa unei plachete de siliciu prin utilizarea echipamentelor STM sau AFM. Atomii de la suprafaţa plăcuţei de siliciu sunt extraşi unul câte unul datorită câmpului electric de mare intensitate ce este concentrat în jurul atomului. În figura 4 a se prezintă modelul unui probe înainte de manipulare pe care se găsesc nanoparticule de aur cu diametrul de 15 nm, iar după nanomanipulare sunt obţinute caracterele ’’USC’’.

4

Modelarea, simularea si proiectarea microsistemelor electromecanice (MEMS)

si proiectarea microsistemelor electromecanice (MEMS) a) b) Fig. 4 Nanomanipularea particulelor de 15 nm Sistemele
si proiectarea microsistemelor electromecanice (MEMS) a) b) Fig. 4 Nanomanipularea particulelor de 15 nm Sistemele

a)

b)

Fig. 4 Nanomanipularea particulelor de 15 nm

Sistemele STM presupun utilizarea unui electrod din wolfram pentru măsurarea curentului electric de tunelare şi un actuator piezoelectric tip stivă care realizează poziţionări 3D pentru electrod, cu rezoluţie subnanometrică. Între electrod şi probă este lăsată o distanţă de câteva zecimi de nanometru; deplasarea electrodului este realizată în direcţiile –z şi z (fig. 5). Actuatori piezoelectrici conduc electrodul în mişcarea de scanare în planul x y. Cum distanţa dintre electrod şi probă este menţinută constantă cu ajutorul circuitului de feedback, electrodul va executa o mişcare într-un plan paralel cu planul probei. Rezultatul scanării este o hartă z(x,y) a suprafeţei probei. Rezoluţia este atât de mare încât pot fi detectate dimensiuni de ordinul diametrului atomic.

pot fi detectate dimensiuni de ordinul diametrului atomic. Fig. 5 Principiul STM Sistemul AFM se bazeaz

Fig. 5 Principiul STM

Sistemul AFM se bazează pe forţele interatomice. Principiul de operare este prezentat în figura 6. Forţele atomice dintre probă şi vârful pârghiei-palpator vor cauza o încovoiere a acesteia. Mărimea încovoierii este măsurată cu ajutorul unui laser. Forţele depind de distanţa dintre vârful pârghiei şi suprafaţa probei.

5

Modelarea, simularea si proiectarea microsistemelor electromecanice (MEMS)

si proiectarea microsistemelor electromecanice (MEMS) Fi g . 6 Princi p iul AFM În cazul AFM-ului
si proiectarea microsistemelor electromecanice (MEMS) Fi g . 6 Princi p iul AFM În cazul AFM-ului
si proiectarea microsistemelor electromecanice (MEMS) Fi g . 6 Princi p iul AFM În cazul AFM-ului

Fig. 6 Principiul AFM În cazul AFM-ului nu este necesar ca materialele probei şi palpatorului să fie conductoare, din această cauză acest sistem are o aplicabilitate mai mare. Dacă vârful palpatorului este adus foarte aproape de probă la câteva zecimi de nanometru, forţele de respingere împiedică vârful să penetreze proba. Sistemul AFM furnizează o rezoluţie foarte bună dar nu poate fi utilizat în cazul probelor sensibile (de exemplu unele biomateriale suferă deteriorări din cauza forţelor de contact). Alternativa constă în plasarea vârfului sondei la o distanţă de câţiva nm sau zeci de nm unde forţele atomice sunt încă active (sistem non-contact). Vârful este pus în vibraţie cu o frecvenţă de rezonanţă a pârghiei în consolă de ordinul kHz. Caracteristicile constructiv - funcţionale ale microgriperelor sunt determinate nemijlocit de faptul că fenomenele fizice ce însoţesc mini şi micromanipularea sunt diferite de cele specifice macromanipularii. Astfel, cea mai evidentă diferenţă constă în importanţa mult mai mare a forţelor de adeziune (de suprafaţă) decât a forţelor inerţiale (de masă) în lumea micro faţă de lumea macro dimensiunilor. Ca şi o consecinţă, lăsarea (desprinderea) unui micro-obiect ridică mai multe probleme decât prinderea (apucarea) lui (fig. 7).

Manipulare în lumea macro

Apucare Deschidere Eliberare Manipulare în lumea micro Apucare Deschidere Eliberare
Apucare
Deschidere
Eliberare
Manipulare în lumea micro
Apucare
Deschidere
Eliberare

Fig. 7 Manipulări în lumea macro şi micro

Micro-obiectele pot fi sensibile la particulele de praf, la umiditate, vibraţii sau variaţii de temperatură. De aceea sunt necesare camere curate speciale, cu aer condiţionat, care au filtre de aer şi amortizoare de vibraţii.

6

Modelarea, simularea si proiectarea microsistemelor electromecanice (MEMS)

si proiectarea microsistemelor electromecanice (MEMS) Greutatea micro-obiectelor este neglijabil ă iar cele mai

Greutatea micro-obiectelor este neglijabilă iar cele mai semnificative forţe de adeziune sunt forţele Van der Waals, cele electrostatice precum şi forţele de tensiune superficială. Interacţiunile “obiect - obiect” şi “obiect - gripper” sunt foarte complexe. Reducerea acestor forţe se poate realiza ca în figura 8.

acestor for ţ e se poate realiza ca în figura 8. Fig. 9 Reducerea ş i

Fig. 9 Reducerea şi controlul forţelor de adeziune

La proiectarea şi realizarea dispozitivelor de prindere miniaturizate (mini şi microgrippere) apar constrângeri suplimentare, determinate de:

- dexteritate mare impusă acestora; acurateţe ridicată; viteză mare de lucru, impusă în condiţiile unui spaţiu de lucru redus; condiţiile diferite de mediu în care operează (aer, lichide, medii biologice, camere curate, medii sterile); biocompatibilitatea materialelor; condiţia de a realiza o prindere stabilă a obiectelor de diferite forme; fragilitatea obiectelor manipulate în cadrul aplicaţiilor ne-industriale, în special, în biologie, ceea ce determină controlul fin al forţei de prindere; gabarit redus, comparabil cu cel al obiectelor manipulate; constrângeri specifice, determinate de interfaţa care asigură schimbul de energie, informaţie şi substanţă cu alte sisteme şi cu mediul. Câteva exemple reprezentative de microgrippere sunt prezentate în figura 10 a, b, c.

de microgrippere sunt prezentate în figura 10 a, b, c. a) b) c) Fig. 10 Micromanipularea

a)

b)

c)

Fig. 10 Micromanipularea unei microroţi dinţate utilizând un microgripper din polisilicon

7

Modelarea, simularea si proiectarea microsistemelor electromecanice (MEMS)

si proiectarea microsistemelor electromecanice (MEMS) În figura 11 este prezentat ă o micromanipulare celular

În figura 11 este prezentată o micromanipulare celulară, iar în figura 12 se prezintă asamblarea unei microroţi dinţate cu diametru de 500 µ m la microscopul electronic.

ţ ate cu diametru de 500 µ m la microscopul electronic. F i g . 1

Fig. 11 Micromanipularea celulelor

m a n i p u l a r e a c e l u l
m a n i p u l a r e a c e l u l

Fig. 12 Asamblarea unei roţi dinţate cu Φ 500 µm

Alte solutii constructive de microgripere sunt prezentate in figura 13.

unei ro ţ i din ţ ate cu Φ 500 µm Alte solutii constructive de microgr

Fig. 13

8

Modelarea, simularea si proiectarea microsistemelor electromecanice (MEMS)

si proiectarea microsistemelor electromecanice (MEMS) 1. Sisteme de ac ţ ionare cu actuatori electromagnetici

1. Sisteme de acţionare cu actuatori electromagnetici

1.1 Actuatori electromagnetici rotativi

Sistemele de acţionare pe bază de motoare electrice pas cu pas şi motoare de curent continuu reprezintă frecvente soluţii de acţionare cu aplicaţii în microrobotică. Construcţia clasică a acestor tipuri de motoare este marcată de tendinţele şi rezultatele deosebite în ceea ce priveşte miniaturizarea. Mai mult, sunt în plină dezvoltare motoarele ultraminiaturizate, realizate prin diferite tehnici litografice şi tehnica straturilor subţiri.

Motoare pas cu pas şi motoare de curent continuu

Motoare pas cu pas Acţionarea cu motoare pas cu pas se realizează incremental, cu paşi unghiulari sau liniari de valori date, în general reduse şi prezintă avantajul că viteza unghiulară a motorului nu este influenţată de variaţia momentului rezistent. Domeniul de variaţie al pasului de lucru este inferior celui obţinut la servomotoare. Motorul poate fi frânat uşor, fără pierderi de paşi, ceea ce permite o poziţionare rapidă a acestuia, spre deosebire de schemele de comandă în circuit închis, unde motorul este frânat treptat pentru a se realiza o poziţionare precisă. Puterea dezvoltată de aceste tipuri de motoare este inferioară celei dezvoltate de motoarele de curent continuu (pentru gabarite aproximativ egale). Din punct de vedere constructiv cele mai utilizate sunt motoarele cu reluctanţă variabilă cu magnet permanent şi cele hibride. Dacă la un motor pas cu pas se cunoaşte frecvenţa limită de pornire f 0 corespunzătoare unui

moment de inerţie redus

, iar motorul trebuie utilizat pentru un alt moment de inerţie redus I r ,

r

I 0

frecvenţa de lucru f corespunzătoare este:

f

=

r I 0 0 r I
r
I
0
0
r
I

f

(1)

Momentul static dezvoltat de motor M m se determină cu relaţia:

M

m

=

M

M

sin

Kϕ

(2)

unde M M – momentul maxim, K – constantă dependentă de tipul şi construcţia motorului, φ - deplasarea mecanică unghiulară a rotorului din poziţia de pas. Momentul rezistent maxim (M rm ) ce poate fi aplicat unui motor pas cu pas se obţine la intersecţia curbelor A, B şi C (fig. 1.1), reprezentând momentele motoare dezvoltate de rotor în raport cu poziţia câmpului statorului la activarea consecutivă a fazelor motorului.

M

ϕ ϕ m p p A B C ϕ ϕ
ϕ
ϕ
m
p
p
A
B
C
ϕ
ϕ

Fig. 1.1 Curba de variaţie a momentelor motoare

1

Modelarea, simularea si proiectarea microsistemelor electromecanice (MEMS)

si proiectarea microsistemelor electromecanice (MEMS) Matematic, func ţ ionarea motorului pas cu pas cu m faze

Matematic, funcţionarea motorului pas cu pas cu m faze impune studiul unui sistem de m+1 ecuaţii dintre care m corespund celor m înfăşurări, decalate între ele cu 2π / m şi o ecuaţie de echilibru dinamic a motorului. Astfel, aceste ecuaţii sunt:

- ecuaţiile de echilibru electric:

u

k

= R i

k

k

+

d

dt

(

L

k

,

i

k

)

- ecuaţia de echilibru mecanic

M

m

= I

r

ε + K ω + M

d

k = 1, 2,3 …. m

r

r

(3)

(4)

unde u k şi i k – reprezintă valorile instantanee ale tensiunii şi curentului înfăşurării k; L k -

inductivitatea acestor înfăşurări,

momentul de frecare),

de inerţie redus, ε - acceleraţia arborelui motor. În ecuaţia (4) trebuie ţinut cont şi de momentul rezistent al cuplului de menţinere:

– momentul

r – momentul rezistent redus (inclusiv

M

m

– momentul motor;

M

r

K

d

ω

- momentul de amortizare datorat câmpului magnetic,

I

r

M

rm

= K

r

(

ϕ

p

ϕ

p0

)

(5)

acesta ţine cont că în timpul funcţionării motorului pas cu pas există o diferenţă (mică) între poziţia

. Existenţa acestei diferenţe determină apariţia unui moment

de pas reală

de menţinere (care tinde să anuleze aceste diferenţe). La fel ca şi la servomotoarele de curent continuu cu funcţionare incrementală este posibil

controlul variaţiei vitezei motorului pas cu pas. În relaţia (4) se poate neglija termenul

ecuaţia de echilibru dinamic poate fi scrisă sub forma:

- şi

ϕ

p

şi poziţia prescrisă

ϕ

p0

K

d

ω

M

m

r

= I ε +

M

r

r

(6)

Momentul de inerţie redus la arborele motorului, în cazul în care motorul este utilizat pentru acţionarea roţii unui robot se va determina cu relaţia:

I

r

= I

m

+ I

R

(7)

unde I m este momentul de inerţie al rotorului motorului pas cu pas, I R este momentul de inerţie al roţii motoare, I R = m(r R ) 2 /2, iar m este masa şi r R raza roţii motoare Dacă între roată şi motor există şi un reductor (în general cu o treaptă de reducere (fig. 3)) momentul de inerţie redus se modifică:

I

r

= I

m

+ I

1

+

1

i

2

(

I

2

+

I

R

)

(8)

unde s-a notat cu I 1 , I 2 momentele de inerţie corespunzătoare roţilor dinţate cu numerele de dinţi z 1 şi z 2 şi cu i raportul de transmitere i = z 2 /z 1 . Dacă se impune o viteză v de deplasare a robotului, în funcţie de caracteristicile geometrice

rezultă viteza unghiulară la axul motorului

impulsului de comanda cu relaţia:

f în funcţie de care se calculează frecvenţa

2πϕ

p

=

360

ω

M

2

Modelarea, simularea si proiectarea microsistemelor electromecanice (MEMS)

si proiectarea microsistemelor electromecanice (MEMS) f = 360 ω M 2 πϕ p . (9) Se

f =

360 ω

M

2 πϕ

p

.

(9)

Se calculează M la axul motorului de antrenare considerând atât rezistenta pasivă (frecări)

, f ')

r

r

cât şi cele utile.Verificarea motoarelor constă în a verifica dacă punctul A de coordonate ( M se află sub caracteristica motorului (fig. 1.2).

r

r

r r ,
r
r
,
Senzori CPU Motoare Reductor Reductor
Senzori
CPU
Motoare
Reductor
Reductor

Fig. 1.2 Modul de verificare a unui motor pas cu pas

Fig. 1.3 Robot acţionat cu două motoare

Verificarea motorului se realizează pe baza frecvenţei recalculate cu relaţia:

f '= f

I m r I
I
m
r
I

deoarece caracteristica din figura 1.2 este ridicată pentru motoare, la mers în gol, astfel luându-se în considerare inerţia elementelor antrenate. Roboţii, utilizează pentru antrenarea roţilor motoare, în general, unul sau două motoare (fig. 1.2 şi fig. 1.3). Alegerea motorului pas cu pas începe cu calculul momentului rezistent redus la arborele de antrenare (care va include momentul de frecare dintre suprafaţa de rulare şi roată, momentul frecării de rostogolire, momentul de frecare din lagărul roţii). Momentul de frecare dintre suprafaţă şi roată şi momentul de frecării de rostogolire se calculează cu relaţiile (fig. 1.4):

M

f

= F

f

d

2

= µ F r

N

R

M

fr

=

F

N

s

(10)

unde: µ este coeficientul de frecare de alunecare, F f - forţa de frecare, F N - forţa de reacţiune care se determină distribuind greutatea totală a robotului uniform pe cele trei sau patru roţi ale robotului, s – coeficientul frecării de rostogolire, d = 2 r R – diametrul roţii.

senzor CPU baterii
senzor
CPU
baterii

Fig. 1.4 Robot acţionat cu doua motoare de curent continuu

ω r R M m F t M fr s F f F N
ω
r
R
M m
F t
M fr
s
F f
F
N

Fig. 1.5 Distribuţia forţelor şi momentelor pe roata motoare

3

Modelarea, simularea si proiectarea microsistemelor electromecanice (MEMS)

si proiectarea microsistemelor electromecanice (MEMS) Dac ă presupunem c ă motorul ales are N p pa

Dacă presupunem că motorul ales are N p paşi pe o rotaţie şi notând cu s deplasarea minimă programabilă corespunzătore unui increment al mişcării atunci:

d =

N

p

s

π

.

Motoare de curent continuu

(11)

Acţionarea roboţilor, în foarte multe cazuri, este realizată cu motoare de curent continuu. Motoarele de curent continuu utilizate în microrobotică sunt aproape în exclusivitate cu magneţi permanenţi şi permit reglarea turaţiei. Ecuaţiile electrice şi mecanice în regim tranzitoriu sunt:

u

A

M

M

=

R i

A

m

m

=

=

r

I

K

+

A

ε

m

i

+

A

L

A

M

.

di

A

dt

r

r

+

+ K

K

d

e

ω

ω

;

;

(12)

în care: u A - reprezintă tensiunea la bornele înfăşurării motorului, i A - curentul absorbit de acesta, L A - inductivitatea înfăşurării motorului, R A - rezistenţa totală a înfăşurării motorului, I r - momentul

- momentul rezistent redus care include şi momentul

de frecare din lagăre M f , K e ω = - e 0 tensiunea electromotoare, K d ω - momentul de amortizare datorat pierderilor de câmp magnetic şi frecărilor vâscoase din lagăre, є - acceleraţia unghiulară a arborelui motorului, ω - viteza unghiulară a arborelui motorului, K m - constanta momentului motor în Nm/A, K e - constanta tensiunii electromotoare în V/rad s -1