Documente Academic
Documente Profesional
Documente Cultură
MATERIALE SEMICONDUCTOARE
1.1 Clasificarea materialelor semiconductoare; Legtura covalent
Pentru a stabili proprietile pe care le implic tehnologia dispozitivelor
semiconductoare trebuie mai nti studiate proprietile i structura intern a
materialelor cu proprieti semiconductoare.
Materialele semiconductoare (MS) sunt materiale a cror conductivitate
electric se situeaz ntre conductoare i izolatoare, aa cum se prezint n
fig.1.1.
MATERIALE SEMICONDUCTOARE
MATERIALE SEMICONDUCTOARE
Fig.1.2 Atomul de Si
MATERIALE SEMICONDUCTOARE
MATERIALE SEMICONDUCTOARE
valen rupe o legtur covalent, devenind liber, poate ocupa golul lsat de
primul electron de valen. Acest fenomen este sugerat n fig.1.5.
MATERIALE SEMICONDUCTOARE
MATERIALE SEMICONDUCTOARE
MATERIALE SEMICONDUCTOARE
Fig.1.9 Niveluri permise adiionale de tip donorEd (a) sau acceptor Ea (b)
nbanda interzis Fermi
MATERIALE SEMICONDUCTOARE
MATERIALE SEMICONDUCTOARE
10
MATERIALE SEMICONDUCTOARE
E Ei
n0 ni exp F
k T
(1.3)
11
MATERIALE SEMICONDUCTOARE
E Ei
p0 ni exp F
k T
(1.4)
unde:
- EF este nivelul energetic din diagrama benzilor energetice, care se numete
nivelul Fermi la echilibrul termic i care are o valoare constant n tot volumul
materialului;
- Ei este nivelul energetic din diagrama benzilor energetice, care reprezint
nivelul Fermi pentru un semiconductor intrinsec, fiind situat la mijlocul benzii
interzise;
- k este constanta lui Boltzmann;
- T este temperatura.
Din relaiile de mai sus, rezult c, ntr-un material extrinsec, legtura
dintre concentraiile celor dou tipuri de purttori mobili de sarcin electric
este:
(1.5)
p0 n0 ni2
Aceast relaie este adevrat pentru orice tip de semiconductor, cu
condiia ca acesta s fie la echilibru termic.
n cazul materialelor semiconductoare omogene, dopate uniform cu
impuriti, legtura dintre concentraiile de purttori mobili de sarcin electric
i concentraiile de atomi de impuritate se determin din condiia de
neutralitate electric a unui material semiconductor, care indic faptul c,
ntr-un material semiconductor aflat la echilibru termic, densitatea de sarcin
electric din volumul semiconductorului este nul:
(1.6)
q 0
unde prin q s-a notat densitatea de sarcin electric din volumul materialului
semiconductor, aceasta fiind exprimat n [C/cm3].
Cunoaterea valorii densitii de sarcin electric ntr-un material
electronic este deosebit de util n analizarea fenomenelor de conducie sau
pentru determinarea concentraiei de purttori de sarcin electric din acesta.
Prin definiie, densitatea de sarcin electric ntr-un material este egal cu
produsul dintre sarcina electric elementar, notat cu +q, respectiv q, n
funcie de semnul sarcinii, pozitiv, respectiv negativ i concentraia
purttorilor de sarcin electric n volumul materialului considerat, notat
generic cu Cq:
(1.7)
q q Cq
Sarcina electric q se msoar n Coulombi [C] i este egal cu 1,6x10-19
[C], semnul depinznd de tipul sarcinii electrice: negativ pentru electroni,
pozitiv pentru goluri.
ntr-un material semiconductor dopat cu atomi de impuritate, exist
tipurile de purttori de sarcin, n concentraiile specificate n Tabelul 1.1:
12
MATERIALE SEMICONDUCTOARE
Tabelul 1.1
semnul
purttorilor de
sarcin
negativi
pozitivi
purttori mobili
purttori imobili
Electroni de
conducie:
n0
Goluri:
p0
Ioni acceptori:
NA*
Ioni donori:
ND*
N D* N D
(1.9)
N A* N A
MATERIALE SEMICONDUCTOARE
n0 N D
si
ni2
p0
ND
(1.13)
p0 N A
ni2
si n0
NA
(1.15)
14
MATERIALE SEMICONDUCTOARE
electroni : vn n E
goluri :
v p p E
15
(1.16)
MATERIALE SEMICONDUCTOARE
cm2
respectiv a golului i se msoar n
(cm = centimetru, V = volt V s
unitatea de msur a tensiunii electrice, s = secund).
MATERIALE SEMICONDUCTOARE
electroni : J Cn q n vn
goluri :
(1.18)
J Cp q p v p
electroni :
J Cn q n n E
goluri :
J Cp q p p E
(1.19)
E
,
JC
cm
(1.21)
1
q n n p p
(1.22)
cm
17
(1.23)
MATERIALE SEMICONDUCTOARE
1
q N D n
material _ semiconductor _ N ,
material _ semiconductor _ P,
1
p
q NA p
(1.24)
MATERIALE SEMICONDUCTOARE
electroni :
J Dn q Dn n
(1.25)
goluri : J Dp q Dp p
Ca atare, fluxul J de particule de impuritate care trece n unitatea de timp
prin unitatea de suprafa este proporional cu gradientul de concentraie (prima
lege a lui Fick dedus pentru difuzia gazelor n medii izotrope) i unde
coeficienii notai cu D se numesc coeficieni de difuzie pentru electroni,
2
respectiv pentru goluri i se exprim n D cm / s , reprezentnd o msur a
lejeritii difuziei purttorilor mobili de sarcin electric, iar reprezint
gradientul acestora; pentru concentraii care variaz dup o singur direcie x, se
poate considera c: d / dx .
Coeficienii de difuzie D ai impuritilor n corpul (mediul) considerat
depind de tipul atomilor ce difuzeaz, de natura materialului n care difuzez,
precum i de temperatura la care are loc procesul de difuzie.
ntre coeficienii de difuzie D i mobilitaile purttorilor mobili de sarcin
electric exist urmtoarea relaie de legtur:
Dn
Dp
k T
q
(1.26)
Ln n Dn , pentru electroni
(1.27)
Lp p Dp , pentru goluri.
(1.28)
19
MATERIALE SEMICONDUCTOARE
J J Cn J Dn J Cp J Dp J n J p
(1.29)
componeta _ de _ electroni :
J n q n n E q Dn n
componenta _ de _ goluri :
J p q p p E q Dp p
(1.30)
1
j rC0 ,
rp
(1.31)
20
MATERIALE SEMICONDUCTOARE
unde: rp
S
d
este rezistena de pierderi prin conducie, iar C0 0 este
S
d
Y I / U JS / Ed
S
S
j r 0 ,
d
d
(1.32)
0
,
1 j 0
(1.34)
n
0
p
n p e2
,
m m
1 j
p
n
(1.35)
21
MATERIALE SEMICONDUCTOARE
1
J
j 0 r E
j 0 r E (4.36)
1
0
0
fr
2 Lu Cu
2 0 r
0
1
2
0
,
0 r
(1.37)
1 j
0
0
0
0
j
1 j
1 ( )2
1 ( ) 2
1 ( ) 2
(1.38)
' j ''
(1.39)
rezult prin identificare expresiile componentelor conductivitii complexe a
materialului semiconductor n funcie de frecvena cmpului electric aplicat:
'
0
,
2
1
'' 0 r
(1.40)
0
2
1
(1.41)
MATERIALE SEMICONDUCTOARE
UH
RH BI
,
d
(1.42)
23
MATERIALE SEMICONDUCTOARE
MATERIALE SEMICONDUCTOARE
25
MATERIALE SEMICONDUCTOARE
26
MATERIALE SEMICONDUCTOARE
MATERIALE SEMICONDUCTOARE
276
MATERIALE SEMICONDUCTOARE
29
MATERIALE SEMICONDUCTOARE
MATERIALE SEMICONDUCTOARE
31
MATERIALE SEMICONDUCTOARE
MATERIALE SEMICONDUCTOARE