Sunteți pe pagina 1din 76

CAPITOLUL 2

42_______________________________________________________________________

REZONATOARE PIEZOELECTRICE CU UNDĂ


ELASTICĂ DE VOLUM

Rezonatoarele piezoelectrice sunt dispozitive electronice


caracterizate prin faptul că impedanţa de intrare este puternic dependentă de
frecvenţă într-o anumită gamă de valori. Aceste dispozitive sunt utilizate în
circuite rezonante cu factori de calitate mari şi foarte mari (10 3-106) la
frecvenţe în domeniul 104-108 Hz, înlocuind circuitele LC.
Funcţionarea rezonatoarelor piezoelectrice se bazează pe efectul
piezoelectric direct şi invers; dacă dimensiunile dispozitivului permit
stabilirea unui regim de undă staţionară are loc rezonanţa elastică
caracterizată prin oscilaţii elastice întreţinute ale punctelor materiale din
interiorul dispozitivului, având ca rezultat modificarea impedanţei de intrare
complexe. Rezultă deci că structura şi performanţele rezonatoarelor
piezoelectrice depind de tipul constructiv considerat şi materialul utilizat,
respectiv de modul de excitare elastică şi de direcţia şi tipul undei elastice
generate.

2.1 Schemele electromecanice echivalente


ale dispozitivelor piezoelectrice
Majoritatea dispozitivelor piezoelectrice prezintă ca structură o
bară paralelipipedică piezoelectrică a cărei comportare în câmpuri electrice
şi mecanice de comandă poate fi mai uşor tratată prin intermediul unor
scheme echivalente electromecanice de tip triport cu componente electrice şi
mecanice.
Există două tipuri de scheme echivalente corespunzătoare cazului
în care unda elastică are direcţia perpendiculară pe direcţia câmpului electric
CAPITOLUL 2
_______________________________________________________________________43
(modelul transversal) şi cazului în care unda elastică şi câmpul electric au
aceeaşi direcţie (modelul longitudinal).
Fie o bară paralelipipedică de cuarţ cu lungimea  (orientată în
lungul axei 0y) mult mai mare decât lăţimea b şi grosimea h (Fig. 2-1).
z

F2 I
F1 b v2
y U
v1
h
x 

Fig. 2-1. Structură de cuarţ cu undă longitudinală în lungime perpendiculară pe


câmpul electric.

Electrozii depuşi pe feţele paralele cu planul y0z permit aplicarea


câmpului electric pe direcţia 0x:
E1  0, E 2  0, E3  0 (2.1)
Deoarece lăţimea şi grosimea barei piezoelectrice sunt mici
neglijăm tensiunile mecanice pe suprafeţele respective.
T 11  T 21  T 31  0
(2.2)
T 33  T 23  T 13  0
În regim armonic, pentru cristalul piezoelectric considerat, ecuaţiile
matriceale de legătură între mărimile de natură elastică şi mărimile de natură
electrică au forma:
 S    s E T    dt  E 
 D   d T    T  E 
(2.3)

unde E şi D sunt reprezentările în complex simplificat ale câmpului


electric şi inducţiei electrice;
T şi S - reprezentările în complex simplificat ale tensiunii mecanice
şi deformaţiei relative.
CAPITOLUL 2
44_______________________________________________________________________
Ţinând seama de forma particulară a matricelor de material pentru
cuarţ precum şi de relaţiile (2.1) şi (2.2) sistemul (2.3) se explicitează astfel:
S 1  s12E T 2  d11 E1
S 2  s11E T 2  d11 E1
S 3  s13E T 2
S 4   s14E T 2  d14 E1
S5  0 (2.4)
S6  0
D1   d11 T 2  11T E1
D2  0
D3  0
Din sistemul (2.4) vom lua în considerare, în primă instanţă, numai
următoarele două ecuaţii care caracterizează deformaţiile în lungul axei 0y:
S 2  s11E T 2  d11 E1 (2.5)

D1   d11 T 2  11T E1 (2.6)


Ecuaţiilor (2.5) şi (2.6) le asociem relaţia reprezentând legea a doua
a dinamicii pentru elementul de volum de lungime dy din Fig. 2-2.
y y+dy

T 2
T2 T2  dy
d y

2  2
2  dy
y
Fig. 2-2. Deformarea elementului de volum de lungime dy al barei
piezoelectrice din cuarţ.
T 2
   2  2 (2.7)
y

unde  este densitatea cuarţului;


CAPITOLUL 2
_______________________________________________________________________45
 2 - reprezentarea în complex simplificat a abaterii din poziţia de

echilibru a suprafeţei de coordonată y;


 - pulsaţia variaţiei periodice a abaterii din poziţia de echilibru.
Explicitând tensiunea mecanică din ecuaţia (2.5) şi înlocuind în
(2.7) rezultă:
S 2  E1
 d11   2 s11E   2  0 (2.8)
y y
Întrucât deformaţia relativă este derivata spaţială în funcţia de y a
abaterii din poziţia de echilibru
 2
S2  (2.9)
y
iar suprafaţa electrozilor este echipotenţială
 E1
0
y

Ecuaţia (2.8) devine


 2 2
  2 s11E   2  0 (2.10)
y 2

Ecuaţia (2.10) este ecuaţia unei unde plane longitudinale


(propagare după axa 0y, deplasarea ionilor după axa 0y).
Întrucât densitatea cuarţului este =2651 kg/m3 rezultă valoarea
vitezei de propagare de fază:
1
v  5435m / s (2.11)
s11E

adică o viteză de propagare normală pentru undele elastice (pentru care v


1000,10000 m/s) dar o viteză foarte mică pentru undele electromagnetice
care se propagă într-un cristal.
Deci unda electromagnetică însoţitoare prin efect piezoelectric a
undei elastice va admite o variaţie foarte mică a câmpului magnetic în do-

 H 
meniul timp   0 
 t 
CAPITOLUL 2
46_______________________________________________________________________
Rezultă

 B
rot E  (2.12)
t

 H
rot E  0 0 (2.13)
t
Din acest motiv în electrotehnica modernă undele elastice de volum
sunt numite unde electrostatice (prin analogie cu undele magnetostatice).
Din motive istorice şi de ce nu, sentimentale, vom păstra prima lor
denumire „unde elastice de volum”.
Ecuaţia diferenţială (1.55) are soluţie generală
 2  B1 sin  y  B 2 cos  y (2.14)

Mărimea    s11E  (din v   ) este constanta de fază a undei

plane.
Constantele de integrare B1 şi B 2 se determină din următoarele
condiţii limită:
 2
viteza suprafeţei de coordonată y=0 este  v1 ;
t
viteza suprafeţei de coordonate y=  este

 v2
t
Impunând condiţiile la limită anterioare rezultă:
v1 cos    v 2
B1  
j sin  
v
B2  1
j

iar expresia undei plane longitudinale care se propagă în bara piezoelectrică


pe direcţia 0y devine
v1 cos    v 2 v
2   sin y  1 cos  y (2.15)
j sin  j
CAPITOLUL 2
_______________________________________________________________________47
Din relaţiile (2.5), (2.9) şi (2.15) rezultă următoarea expresie a
tensiunii mecanice
1  v1 cos   v 2 v 
T2   
E 
 cos y  1  sin y  
s11  j sin  j 
(2.16)
d U
 11E
s11 h
Relaţia (2.16) particularizată pentru y=0 şi pentru y=  permite
calculul forţelor F 1 şi F2 care acţionează la extremităţile barei
piezoelectrice:
bh j  1
F 1  T2  0  bh   v1 
s11E  tg  
(2.17)
bh j  1 bhd U
 E v 2  E 11
s11  sin   s11 h

bh j  1
F 2  T2   bh   v1 
s11E  sin  
(2.18)
bh j  1 bhd U
 E v 2  E 11
s11  tg   s11 h

Din legea conservării sarcinii electrice, pentru electrodul din planul


y0z rezultă
  
I  jQ  j  D1dA  jb  D1dy
0

În expresia anterioară se explicitează inducţia electrică folosind


relaţiile (2.6) şi (2.16) şi, prin calculul integralei, rezultă:

d11 d11 b T  d112 


I b v  b v  j    1  U (2.19)
h  s11E 11T 
1 2 11
s11E s11E
Expresiile (2.17), (2.18) şi (2.19) sunt de o deosebită importanţă,
ele stabilind relaţiile de legătură între mărimile de natură electrică şi
mărimile de natură mecanică ce acţionează asupra barei piezoelectrice în
care se propagă unda elastică longitudinală dată de ecuaţia (2.15). Aceste
CAPITOLUL 2
48_______________________________________________________________________
expresii pot fi simplificate formal, introducând notaţiile impedanţelor
caracteristice electrice şi mecanice.
Impedanţa caracteristică electrică se defineşte folosind relaţia
(2.19) pentru o bară de lungime mare, având la extremităţi viteze nule de
deplasare:
U 1
Z oe  
I b  d2  (2.20)
v1  v 2  0
j  11T 1  E 11T 
h  s1111 

Impedanţa caracteristică mecanică se defineşte folosind relaţia


(2.17) pentru o lungime infinită având tensiune nulă pe electrozi:
F1 
Z om  lim  bh (2.21)
  v
1 U 0
s11E

Folosind expresiile (2.20) şi (2.21) relaţiile (2.17), (2.18) şi (2.19)


devin:
Z om Z bd
F1  v1  om v 2  E11 U (2.22)
thj shj s11

Z om Z bd
F2  v1  om v 2  E11 U (2.23)
shj  thj  s11
d11 d 1
I v  11E v 2 
E 1
U (2.24)
s11 s11 Z oe
Pentru a ţine seama de pierderile de natură electrică sau de natură
mecanică este necesară introducerea în sistemul anterior de relaţii a
mărimilor complexe care caracterizează proprietăţile de materiale:
 permitivitatea complexă la tensiune mecanică constantă
   T  j T
T

 permitivitatea complexă la deformaţie relativă constantă


   S  j S
S

 coeficienţi de elasticitate complecşi la câmp constant


CAPITOLUL 2
_______________________________________________________________________49
s  sE  jsE , c  c E  jcE
E E

 coeficienţi de elasticitate complecşi la inducţie constantă

s  sD  js D , c  cD  jc D


D D

Folosind coeficienţii complecşi pentru proprietăţile de material,


propagarea undei va fi caracterizată de constante de propagare complexe
    j care evidenţiază atât atenuarea undei prin constanta de atenuare
 cât şi defazarea sa prin constanta de fază  (în relaţiile (2.22) ... (2.24) se
înlocuieşte j cu  ).
Deoarece pentru cuarţ ca şi pentru alte cristale piezoelectrice
pierderile atât electrice cât şi mecanice sunt mici, forma complexă a
mărimilor de material va fi folosită numai în expresiile constantei de
propagare şi a impedanţei caracteristice electrică şi mecanică. În rest
mărimile complexe vor fi aproximate prin partea lor reală. Cu aceste
observaţii expresiile (2.22) ... (2.24) devin:
Z om Z bd
F1  v1  om v 2  E11 U (2.25)
th   sh   s11

Z om Z bd
F2  v1  om v 2  E11 U (2.26)
sh  th  s11

d11 d 1
I v  11E v 2  U (2.27)
s11E 1
s11 Z oe
Relaţiile (2.25) ... (2.27) stabilesc legătura între mărimile de natură
electrică şi mecanică ce acţionează asupra barei piezoelectrice din Fig. 2-1
ţinând seama de pierderile care apar în timpul propagării undei elastice
longitudinale. Folosind aceste relaţii se sintetizează schema echivalentă cu
constante concentrate a barei piezoelectrice (Fig. 2-3). Această schemă
echivalentă, denumită uneori schema echivalentă Mason după numele celui
care a folosit-o prima dată, pune în evidenţă cele trei porţi de intrare ale
dispozitivului cu undă de volum: două porţi 11 şi 22 la care se aplică
CAPITOLUL 2
50_______________________________________________________________________
mărimi de natură mecanică şi o poartă 33 la care se aplică mărimi de natură
electrică. Părţile elastică şi electrică ale schemei echivalente sunt separate
printr-un transformator electro-mecanic ideal cu raport de transformare
dimensional.

v1 v2
1 2
 
Z omth Z omth
F1 2 2 F2
Z om
1 sh  2
1:n

 bd11
 n
s11E

I
3 3

Fig. 2-3. Schema echivalentă cu constante concentrate a barei piezoelectrice din Fig. 2-1.

Trebuie menţionată generalitatea schemei echivalente prezentate în


Fig. 2-3 care este valabilă, ca structură, pentru toate dispozitivele
piezoelectrice cu undă elastică de volum (evident expresiile impedanţelor
caracteristice, ale constantei de propagare şi ale raportului de transformare
vor diferi în funcţie de forma dispozitivului şi de tipul undei care se
propagă; în plus pentru anumite tipuri de dispozitive în partea electrică
intervine o impedanţă serie  Z oe .
Pentru acest caz se consideră o bară dintr-un material piezoelectric
PZT-5A cu lungimea 1 şi polarizaţia spontană P s pe direcţia x3, iar electrozii
depuşi pe feţele perpendiculare pe x3 (Fig. 2-4), în care câmpul electric
aplicat şi unda elastică generată sunt colineare pe direcţia x3 (modelul
longitudinal).
CAPITOLUL 2
_______________________________________________________________________51
x2
x1
(a,b,l)
F1
V1 V2
F2
I U x3

Fig. 2-4. Structură piezoelectrică cu model longitudinal.

Se pot face următoarele aproximaţii, având în vedere că a,b 1:


 T1  T2  T3  T4  T5  T6  0 atât pe suprafeţe cât şi în interior;

 D1  D2  0 , divD3  0 .
În acest caz putem scrie ecuaţiile piezoelectrice astfel:
 S3  s33DT3  g33 D3

 E3   g33T3  33 D3
T

Pentru un element de bară abdx (Fig. 2-5), elongaţia vibraţiei unui

punct este 3 , iar


3
S3 
x3
Pentru acest element se poate scrie legea deplasării astfel:
 23 T3 1  23
    (2.28)
t 2 x3 s33D x32
D3
deoarece: 0.
x3

x3 x3+dx3

T3
T3
T3  dx3
x3
3 3
3  dx3
x3
CAPITOLUL 2
52_______________________________________________________________________
Fig. 2-5. Deformarea elementului de volum dx3 al barei piezoelectrice.

Soluţia acestei ecuaţii de propagare este:


3   3  e jt

unde:
 x3 x
 3  A sin D
 B cos D3 (2.29)
v3 v3

1
iar v3 
D
este viteza de propagare a undei elastice.
 s33D
Constantele A şi B se determină din condiţiile la limită:

3  x x 
 v1  j  A sin D3  B cos D3   e jt  v1  e jt (2.30)
t x3  0  v3 v3  x 0
3

3  x x 
 v2  j  A sin D3  B cos D3   e jt  v 2  e jt
t x3    v3 v3  x 
3

Rezultă
 
 v 2  v1 cos D1
v3 v1  jt
A   
 
 j sin D1    1 1  (2.31)
v3  v  j  A sin  B cos 
  2
v3D v3D 
 v  
 B 1
 j
Deci:
1
v1 cos  v2
v3D x v x
3    sin D3  1  cos D3 (2.32)
 v3 j v3
j sin D1
v3
Forţele exterioare ce acţionează la capetele barei sunt:
CAPITOLUL 2
_______________________________________________________________________53
  
ab  v1 cos D1  v 2 
v3   g33  I
F 1   abT 3   (2.33)
x3  0  j s33D
js33D  v33D  sin D1
v3
S-a ţinut seama de legea conservării sarcinii electrice:
I  j abD 3
Analog:
  
ab  v 2 cos D1  v1 
v3   g33  I
F 2   abT 3 x 1   (2.34)
3  j s33D
js33D  v33D  sin D1
v3
Tensiunea electrică ce apare pe electrozi este:
 
g33
U   E 3 dx     g33 T 3  33T D 3  dx   v1  v 2 
0 0 j s33D
(2.35)
 g  33T  
2
 1  D T  
33
I
 s33  33  j ab
Utilizând notaţiile de:

 constantă de fază :   ;
v3D

 impedanţa caracteristică mecanică:

F1 ab  ab 3
D
zom  lim  D D  ab  D  D
 v
1 s33  v3 s33 s33  

 impedanţa caracteristică electrică:

U 33T  g332 
z 
D
  1
oe
I ab  s33D   33T 
v1  v2  0 j
1
se pot scrie mai simetric ecuaţiile ce caracterizează comportarea barei
piezoelectrice:
CAPITOLUL 2
54_______________________________________________________________________
D D
zom zom g
F1   v1   v 2  33D  I
jtg 1 j sin 1 j s33
D D
zom zom g
F3   v1   v 2  33D  I (2.36)
jtg 1 j sin 1 j s33
g33 g
U  v1  33D  v 2  zoe  I
j s33
D
j s33
Aceste ecuaţii determină configuraţia schemei funcţionale
(Fig. 2-6) şi a schemei echivalente electro-acustice (Fig. 2-7).

v1 v2 v1 jzomD tg   2 v2
I
F1 F2 F1 -zoe *
1:n
*
jzomD tg   2
I U U zoe
zomD
F2
j sin  

Fig. 2-6. Structura de triport a barei Fig. 2-7. Schema echivalentă a barei
piezoelectrice. piezoelectrice.

Aşa cum rezultă din Fig. 2-7, este necesară introducerea unui
transformator ideal electro-mecanic:
forţă mecanică g33 ab g33
n    
tensiune elastică j s33 zoe
D
1 T 
2
g33  D
v1  v 2  0
 33   1  D T  s33
 s33  33 
ab g33 ab  33
T
ab g33 ab d33
  D S   E  K 33   E T  
1 s33  33 1 s33 1 s33   33 1 s33E

Schema electrică completă (Fig. 2-8) se obţine prin înlocuirea


mărimilor reale T şi s,  prin înlocuirea mărimilor complexe:
 T   T  j T şi s E  sE  jsE
În care caz  devine:
CAPITOLUL 2
_______________________________________________________________________55
D j
  j s 33     j   j s33D   1 
Qm

 Qm2  1  Qm
 s33D   (2.37)
 2Qm
 s33D 1
 
 2Qm Qm2  1  Qm

v1 zomD th   v2
2 1:n
zomD th  
I
F1 -zoe * * 2
U zoe
zomD
sh  F2
Fig. 2-8. Schema electro-acustică completă a barei piezoelectrice.

Trebuie menţionată generalitatea schemelor echivalente prezentate


în Fig. 2-3 şi 2-8 care sunt valabile, ca structură, pentru toate dispozitivele
piezoelectrice cu undă elastică de volum; evident expresiile impedanţelor
caracteristice, ale constantei de propagare şi ale raportului de transformare
vor diferi în funcţie de forma dispozitivului şi de tipul undei care se
propagă.

2.2 Rezonatoare piezoelectrice cu cuarţ


2.2.1 Rezonatoare cu undă longitudinală pe lungime
Dacă bara piezoelectrică din Fig. 2-1 este folosită ca rezonator cu

extremităţile libere F 1  0, F 2  0  atunci schema sa echivalentă se

deduce prin particularizarea schemei din Fig. 2-3 (scurtcircuitarea porţilor


11 şi 22). În acest caz partea elastică se reduce la o singură impedanţă.
Z om 1   Z om 
Zm   Z omth  cth (2.38)
sh  2 2 2 2
CAPITOLUL 2
56_______________________________________________________________________

În expresia (2.38) considerăm pierderile neglijabile în expresia


I 1:n I 1:n
3 3
Z


  sh   
om

U 1  U
Z oe Z omth Z oe Zm
2 2

3 3

Fig. 2-9. Schema echivalentă a rezonatorului piezoelectric cu undă longitudinală cu


extremităţi libere.
impedanţei caracteristice mecanice, aceasta rezultând pur reală

Z om  bh (2.39)
E
s11
însă luăm în consideraţie pierderile în expresia constantei de propagare

 sE 
    j  j s11  j s11 E 1  j 11E  
E
(2.40)
 s11 

E
s11
Notând factorul de calitate mecanic Qm  şi dezvoltând în serie
 E
s11

radicalul, expresia (2.40) devine


 1 
    j   s11 E    j 
 2Qm 
Prin identificare
E 
 s11

2Qm (2.41)
   s  E
11

Dezvoltând funcţia hiperbolică din expresia (2.38), aceasta devine


    
ch sh  j sin cos
Z 2 2 2 2
Z m  om (2.42)
2    
sh 2  sin 2
2 2
CAPITOLUL 2
_______________________________________________________________________57
Întrucât cu aproximaţia (2.39) Zom este real din expresia (2.42)
rezultă că Z m va fi real pentru acele frecvenţe, denumite frecvenţe de
rezonanţă serie, care satisfac relaţia
 0 
m (2.43)
2 2
În relaţia anterioară sunt posibile numai soluţiile cu m impar
(m=2m+1) deoarece pentru soluţiile cu m par rezultă scăderea părţii
imaginare a impedanţei Z m la creşterea frecvenţei ceea ce nu este fizic
posibil pentru un circuit pasiv. Din relaţiile (2.41) şi (2.43) rezultă expresiile
frecvenţelor de rezonanţă serie
m 1
f s m   (2.44)
2 s11
E 
unde m având valori întregi impare reprezintă ordinul armonicii pe care
rezonează bara piezoelectrică cu extremităţi libere.
2
Întrucât  0   unde 0 este lungimea de undă la rezonanţă, din
0

relaţia (2.43) rezultă


0
 m
2
adică la frecvenţele de rezonanţă serie lungimea barei piezoelectrice este
jumătate din lungimea de undă pentru fundamentală (m=1), trei jumătăţi de
lungime de undă pentru prima armonică (m=3) etc.
În Fig. 2-10 este reprezentată grafic dependenţa de coordonata y a
valorii eficace a abaterii absolute din poziţia de echilibru a suprafeţei de
coordonată y. Se remarcă faptul că la frecvenţe de rezonanţă serie ordinul
armonicii corespunde cu numărul de noduri ale undei care se excită în rezo-
natorul piezoelectric.
CAPITOLUL 2
58_______________________________________________________________________
În jurul frecvenţelor de rezonanţă serie definite de relaţia (2.44) se
poate scrie
 
 m  (2.45)
2 2
Din relaţiile 2.43 şi 2.45 rezultă:

2

m=1 y

0
2
2

m=3 y

3
0
2
Fig. 2-10. Dependenţa de coordonata y a valorii eficace a abaterii absolute din
poziţia de echilibru a suprafeţei de coordonată y.

 o  E
 s11
       0 
2 2 2
Pentru  mic sunt valabile următoarele aproximaţii:

   1 cos    1
m m
sin
2

   1 sin     1
m m
cos
2
Ţinând seama de faptul că şi pierderile sunt mici rezultă
  
sh 
2 2

ch 1
2
CAPITOLUL 2
_______________________________________________________________________59
Cu aceste aproximaţii în jurul pulsaţiilor de rezonanţă serie

s m   2f s m  expresia (2.42) devine

 m 
Zm 
Z om
2
  j

s11 
E   s m    (2.46)
 4Qm 2 
Expresia (2.46) sugerează echivalenţa impedanţei Z m cu un circuit
rezonant serie (rezistenţa Rm, inductivitatea Lm, capacitatea Cm) pentru care
 m
în jurul pulsaţiei de rezonanţă s impedanţa mecanică este


Z m  Rm  j 2 Lm   s m   (2.47)

Prin identificarea relaţiilor (2.46) şi (2.47) rezultă următoarele


expresii pentru componentele circuitului echivalent al impedanţei Z m
(Fig. 2-11).
m
Rm  Z om
Rm 8Qm

Zm Zm (2.48)
Lm  E
 s11
Lm 8
Cm 8  s11 E
Cm 
Z om m 2 2
Fig. 2-11. Circuitul echivalent al
impedanţei . Se remarcă faptul că inductivitatea
nu depinde de ordinul armonicii, în timp ce capacitatea echivalentă variază
invers proporţional cu pătratul acestuia.
Partea electrică a schemei echivalente a rezonatorului cu undă
longitudinală (Fig. 2-9) conţine impedanţa caracteristică Z oe care, ţinând
seama de relaţia (2.20) în care se introduc pierderile de natură electrică, are
expresia
1
Z oe 
b   T
 
2
d (2.49)
j 1  E T
11
 11  j11T
h  s11 11 
CAPITOLUL 2
60_______________________________________________________________________
Din (2.49) rezultă că impedanţa caracteristică electrică are ca
schemă echivalentă o capacitate C0 în paralel cu o rezistenţă de pierderi R 0
expresiile acestora fiind

  d2  T
C0  1  E 11 T 11
h  s11 11 
Q
R0 
C 0

11T
unde Q  este factorul de calitate electric.
11T

Ţinând seama de schemele echivalente ale impedanţelor Z m şi


Z oe rezultă pentru rezonatorul piezoelectric cu undă longitudinală cu

extremităţi libere schema echivalentă finală din Fig. 2-12. Componentele


schemei echivalente au următoarele expresii rezultate, prin explicitarea în
relaţiile anterioare a expresiilor impedanţei caracteristice mecanice şi a
raportului de transformare a transformatorului ideal:

m  s11
 h  s11
E
 E
R1   
8Qm b d11
2
 s E  h
L1    11 
 d11  b

8  b  d112
C1   
m 2 2  h  s11 E
b  d2  T
C0  1  E 11 T 11 (2.50)
h  s11 11 
Q
R0 
C 0

De menţionat că schema echivalentă din Fig. 2-12 modelează


rezonatorul piezoelectric cu undă longitudinală din punct de vedere al
funcţiunilor sale de circuit. Nu este posibilă identificarea componentelor
CAPITOLUL 2
_______________________________________________________________________61
3 schemei echivalente în interiorul
R1
rezonatorului, funcţionarea sa de circuit
R0
U L1
fiind datorată excitării undei elastice de
C0
volum în cristalul piezoelectric. Schema
C1
3 echivalentă permite prin intermediul
Fig. 2-12. Schema echivalentă finală a relaţiilor (2.50) proiectarea dimen-
rezonatorului piezoelectric cu undă
longitudinală cu extremităţi libere. sională a rezonatorului atunci când sunt
cunoscuţi parametrii de material şi performanţele solicitate.
Frecvenţa de rezonanţă serie pentru un ordin dat al armonicii este
funcţie numai de lungimea barei piezoelectrice şi de parametrii de material
(relaţia 2.44):
m 1
f s m   cu m=1,3,5, ... (2.51)
2 s11
E

Pentru fundamentala (m=1) rezultă


1 1 2.717  103
fs  
2 2,651  103  12,77  1012 

Pentru un rezonator bară cu   4cm rezultă o frecvenţă de


rezonanţă serie f s  67,9kHz , iar pentru   1cm rezultă f s  271kHz .
Această relaţie justifică domeniul de frecvenţă (aproximativ
50 ... 250 kHz) pentru care sunt tehnic realizabile rezonatoarele pe cuarţ cu
undă longitudinală de volum. La frecvenţe mai mici lungimea barei
monocristaline ar trebui să fie prea mare, iar la frecvenţe mai mari ar deveni
mult prea mici lăţimea şi grosimea barei despre care la începutul acestui
paragraf s-a presupus că sunt mult mai mici decât lungimea.
De remarcat că rezonatorul cu undă longitudinală de volum nu are
o singură frecvenţă de rezonanţă serie ci un spectru discret corespunzător
valorilor permise ale parametrului m. Peste acest spectru se suprapun
frecvenţe de rezonanţă parazite corespunzătoare altor tipuri de unde elastice
CAPITOLUL 2
62_______________________________________________________________________
sau altor direcţii de programare posibile în bara piezoelectrică în
conformitate cu sistemul de relaţii (1.51). Pentru a selecta frecvenţa de
rezonanţă utilă, de obicei fundamentala sau prima armonică corespunzând
undei elastice longitudinale, sunt necesare unele măsuri constructive.

2.2.2 Rezonatoare cu undă complexă în grosime


În acest caz unda elastică de volum care se propagă într-un cristal
anizotrop este o undă complexă pentru care direcţia de propagare a undei
diferă de direcţia de deplasare a punctelor materiale.
Fie un cristal anizotrop nepiezoelectric de dimensiuni infinite în
care este definit un sistem cartezian de axe de coordonate. Să considerăm o
undă elastică de volum care se propagă în acest mediu pe o direcţie n
definită de cosinuşii directori n1 , n2 , n3 , deplasarea () a punctelor
materiale având loc pe o direcţie definită de cosinuşii directori  ,  , 
(pentru cazul particular al undei longitudinale tratat în paragraful anterior
  n1 ,   n2 ,  n3 ). Ecuaţia undei elastice este

 2  2
  q (2.52)
t 2 s 2
unde  este densitatea mediului de propagare iar q este mărimea care asigură
soluţii nebanale sistemului.
11  12  13   q (2.53)
12   22  23   q

13   23  33  q

În sistemul (2.53) ij sunt modulele Cristoffel, combinaţii neliniare


ale cosinuşilor directori ai direcţiei de propagare şi ale modulelor de elasti-
citate cij ale cristalului
11  c11 n12  c66 n22  c55 n32  2c65 n2 n3  2c51n3 n1  2c16 n1n2
22  c66 n12  c 22 n22  c 44 n32  2 c 24 n2 n3  2 c 46 n3 n1  2 c62 n1n 2
CAPITOLUL 2
_______________________________________________________________________63
33  c55 n12  c 44 n22  c33n32  2c43n2 n3  2c35 n3 n1  2c54 n1n2

23  c65 n12  c24 n22  c43n32   c23  c44  n2 n3   c45  c63  n3 n1 
  c64  c 25  n1n2

31  c51n12  c 46 n22  c35 n32   c 45  c36  n2 n3   c31  c55  n3 n1 


  c56  c 41  n1n2

12  c16 n12  c62 n22  c54 n32   c64  c52  n2 n3   c56  c14  n3 n1 
  c12  c66  n1n2

Sistemul (2.53) are soluţii nebanale pentru cosinuşii directori


 ,  ,  numai dacă determinantul principal al sistemului este nul

11  q 12 13


12 22  q 23  0 (2.54)
13 23 33  q

Cele trei soluţii ale ecuaţiei (2.44) notate q (cu a=1,2,3) substituite
în sistemul (2.53) permit calculul cosinuşilor directori  a ,  a ,  a ai celor
trei direcţii de deplasare a punctelor materiale pentru direcţia n de
propagare a undei. Se poate considera că unda complexă care se propagă pe
direcţia s a cristalului anizotrop este formată prin suprapunerea a trei unde
elementare având aceeaşi direcţie de propagare dar direcţii diferite de
vibraţie a punctelor materiale (în caz general cele trei direcţii de vibraţie
sunt perpendiculare între ele). Vitezele de propagare de fază ale celor trei
unde se obţin din ecuaţia (2.52) în care se înlocuiesc cele trei soluţii ale
mărimii qa, rezultând
qa
va 

Dacă mediul de propagare este un cristal piezoelectric
consideraţiile anterioare rămân valabile cu observaţia că mărimea qa se
substituie prin:
CAPITOLUL 2
64_______________________________________________________________________
qa*  qaE  

unde qaE este valoarea calculată pentru cristalul piezoelectric cu relaţia

z (2.53) (la câmp electric constant), iar 


este un termen de corecţie, neglijabil în
primă aproximaţie, depinzând de
b coeficienţii piezoelectrici şi
permitivităţile dielectrice ale mediului şi
0
y de cosinuşii directori ai direcţiei de
propagare.
Fie o placă piezoelectrică din

cuarţ, cu feţele mari orientate
x h
perpendicular pe axa 0y (Fig. 2-13).
Fig. 2-13. Rezonator cu cuarţ cu undă Electrozii depuşi pe aceste feţe permit
complexă în grosime.
aplicarea câmpului electric numai pe
direcţia 0y:
E1  0, E 2  0, E 3  0
Considerând celelalte două dimensiuni infinite comparativ cu
grosimea se studiază unda complexă care se propagă pe direcţia 0y
 n1  0 , n2  1, n3  0  . Pentru această direcţie de propagare a undei, ţinând
seama de forma matricei modulelor de elasticitate pentru cuarţ rezultă
următoarele expresii ale modulelor Christoffel:
11  c66 , 22  c11 , 33  c44

23  c14 , 31  0, 12  0


Pentru aceste expresii soluţiile sistemului (2.54)sunt:
q1  c66

 c11  c44    c11  c44  2  4c142


q2 , 3 
2
Cu expresiile anterioare se calculează cele trei seturi de soluţii ale
sistemului (2.53) reprezentând cosinuşii directori ai celor trei direcţii de
CAPITOLUL 2
_______________________________________________________________________65
deplasare a punctelor materiale pentru unda complexă ce se propagă în
grosime:
1  1, 1  0, 1  0
 2  0,  2  0,907,  2  0,422
 3  0,  3  0,422,  3  0,907

Fiecăreia dintre aceste trei unde elementare îi corespunde o viteză


de fază şi, pentru condiţii la limită date, o frecvenţă proprie de rezonanţă a
plăcii piezoelectrice. Pentru oscilaţii libere ale plăcii cea mai mare dintre
frecvenţele de rezonanţă, corespunzând primei soluţii din setul anterior, are
expresia
m q1 m c66
f s m    (2.55)
2h  2h 
unde m având valori întregi impare reprezintă ordinul armonicii pe care
rezonează placa piezoelectrică cu extremităţile libere.
Expresia (2.55) a frecvenţei proprii de rezonanţă corespunde
dimensiunilor foarte mari ale feţelor plăcii comparativ cu grosimea
   60h, b  60h  . Pentru lungime şi lăţime mai mică, ceea ce corespunde
situaţiei reale a rezonatoarelor pe cuarţ, influenţa marginilor devine
importantă, frecvenţele de rezonanţă determinându-se cu următoarea
formulă empirică

fs m, p , r 

1 c66 m2 p2
 k1 2  k2
 r  1 2
(2.56)
2  h 2
 b2
unde m, p, r, sunt numere întregi semnificând ordinul armonicii pe cele trei
direcţii, iar k1 şi k2 sunt constante care se determină experimental având
valori foarte apropiate de unitate.
Din expresia (2.56) rezultă valori relativ ridicate ale frecvenţelor
proprii de rezonanţă în special datorită grosimilor mici (zeci, sute de
micrometri) tehnologic realizabile pentru plăcile de cuarţ. Rezonatoarele cu
undă în grosime acoperă pe fundamentală domeniul de la 500 kHz la,
CAPITOLUL 2
66_______________________________________________________________________
40 MHz, fiind posibile pe armonici frecvenţe până la 200 MHz. De remarcat
faptul că spre deosebire de rezonatoarele cu undă longitudinală care au un
spectru discret al frecvenţelor proprii cu armonici relativ distanţate (expresia
2.51) rezonatoarele cu undă complexă în grosime au serii discrete de
frecvenţe permise foarte apropiate între ele, calculate din expresia (2.56)
pentru toate combinaţiile posibile ale numerelor întregi m, p şi r. Distribuţia

relativă a frecvenţelor în serie depinde de rapoartele b 


h şi h fiind
tabelată în funcţie de acestea. Spectrul prea bogat al rezonatoarelor cu undă
în grosime, deranjant îndeosebi în cazul filtrelor, poate fi redus prin
folosirea în locul feţelor plane ale plăcii rezonante a unor suprafeţe sub
formă de lentile ceea ce micşorează mult influenţa marginilor. Frecvenţele
proprii de rezonanţă deduse mai ales cu formule empirice depind în acest
caz şi de dimensiunile geometrice ale calotelor sferice.

2.2.3 Rezonatoare cu undă complexă pe contur


În rezonatoarele cu undă complexă pe contur punctele materiale
execută deplasări care modifică forma conturului unei plăci piezoelectrice a
cărei grosime este atât de mică comparativ cu lungimea de undă încât toate
punctele pe direcţia grosimii se deplasează în fază. Fie o placă piezo-
electrică din cuarţ cu feţele mari orientate perpendicular pe axa 0y (Fig.
2-14). Electrozii depuşi pe aceste feţe permit aplicarea câmpului electric pe
direcţia 0y:
E1  0, E 2  0, E 3  0
Electrozii având suprafeţele echipotenţiale rezultă:
z
E2 E2 (2.57)
 0; 0
x z
b

0
y

x h

Fig. 2-14. Rezonator cu cuarţ cu undă


complexă pe contur.
CAPITOLUL 2
_______________________________________________________________________67
Datorită grosimii foarte mici, placa piezoelectrică se deformează
liber pe direcţia 0y astfel încât tensiunile mecanice sunt nule pe această
direcţie:
T 2  0, T 4  0, T6  0
Ţinând seama de aceasta, ecuaţiile de legătură în regim armonic
între mărimile de natură elastică şi mărimile de natură electrică pentru placa
piezoelectrică din cuarţ devin:
T 1  c11E S 1  c13
E
S3
T 3  c13
E
S 1  c33
E
S3 (2.58)
T 5  c S3  c S2
E
44
E
25

Pentru punerea în evidenţă a undelor complexe pe conturul plăcii se


consideră deplasările punctelor materiale în planul x0z. Fie  1 şi  3
reprezentările absolute pe direcţiile 0x şi respectiv 0z. Cu aceste notaţii
reprezentările în complex semnificat ale deformaţiile relative sunt:
 1  3    
S1  , S3  , S 5   3  1  (2.59)
x z  x z 
iar legea dinamicii pentru cele două deplasări absolute devine:
T 1 T 5
    2  1
x z
T 5 T 3
    2  3
x z
Înlocuind în relaţiile anterioare expresiile (2.58) şi (2.59) şi ţinând
seama de echipotenţialitatea electrozilor (2.57) se obţine următorul sistem
de ecuaţii diferenţiale pentru deplasările absolute în planul x0z.
2 1 2 1  2 3
c E
44 c E
11  c  c
E
13
E
44  xz   
2
0
z 2
x 2 1
(2.60)
 2 3 2 3 2 1
c E
33 c E
44  c  c
E
13
E
44  xz   
2
0
z 2 x 2 3

Acest sistem care demonstrează interdependenţa deplasărilor


absolute pe direcţiile 0x şi 0z se poate studia într-o variantă simplificatoare
CAPITOLUL 2
68_______________________________________________________________________
presupunând una dintre dimensiunile plăcii (spre exemplu  ) foarte mare
comparativ cu celelalte două. În lungul acestei dimensiuni deplasările
absolute  1 şi  3 nu trebuie să varieze, adică
2 2 2 2
1  0, 1  0, 3  0, 3 0
x 2 xz x 2 xz

Cu aceste simplificări sistemul (2.60) devine

E
2
c 44 1   2   0 (2.61)
2 1
z
 2 3
cE
33   2  3  0 (2.62)
z 2
Cele două ecuaţii ale sistemului reprezintă în acest caz două unde
care se propagă independent. Ecuaţia (2.61) reprezintă o undă transversală
cu propagare în lungul axei 0z şi deplasarea punctelor materiale pe direcţia
0x. Frecvenţa proprie de rezonanţă corespunzând acestei unde pentru
oscilaţii libere ale plăcii are expresia
E
1 c44
f1 
2b 

Ecuaţia (2.62) reprezintă o undă longitudinală cu propagare pe


direcţia 0z, frecvenţa proprie de rezonanţă pentru oscilaţiile libere ale plăcii
având expresia
E
1 c33
f2 
2b 
În situaţiile reale, pentru dimensiuni finite şi comparabile ale
feţelor plăcii, cele două unde sunt interdependente (obţinute ca soluţii ale
sistemului complet 2.60) provocând o deformare a conturului plăcii (undă
complexă pe contur). Frecvenţele proprii de rezonanţă depind de doi
parametri m şi p, numere întregi semnificând ordinul armonicii pe cele două
direcţii
CAPITOLUL 2
_______________________________________________________________________69
1 c44E m 2 p 2
f s m, p  
 (2.63)
2  2 b 2
În Fig. 2-15 sunt prezentate deformările conturului pentru

m=1, p=1

m=2, p=1 m=1, p=2


Fig. 2-15. Deformaţiile conturului plăcii pentru fundamentala şi armonicile
undei complexe pe contur (punctele reprezintă noduri ale undei).
fundamentală (m=1, p=1) şi pentru primele armonici (m=2, p=1) şi respectiv
(m=1, p=2).
Relaţia (2.63) este bine verificată experimental îndeosebi pentru
armonicile de ordin superior. Pentru fundamentală şi pentru armonicile
apropiate acesteia rezultate în mai bună concordanţă cu experienţa se obţin
cu următoarea relaţie empirică:

F 1 m2 p 2
f s m, p    2 (2.64)
8 s44 
E 2
b
unde coeficientul F se calculează cu relaţia

s11E  s33E
F  1,289  0,0469 E
s44
Din relaţiile anterioare rezultă că, pentru dimensiunile tehnologic
realizabile ale plăcilor de cuarţ, rezonatoarele cu undă complexă pe contur
acoperă pe fundamentală domeniul de frecvenţă între 100 şi 800 kHz.

2.2.4 Rezonatoare cu undă transversală


Undele elastice transversale se obţin în rezonatoarele cu cuarţ în
mod indirect, prin combinarea a două unde longitudinale care se propagă
CAPITOLUL 2
70_______________________________________________________________________
defazate cu 180 în cele două jumătăţi ale unei bare paralelipipedice. Fie o
bară de cuarţ cu lungimea  (orientată în lungul axei 0y) mult mai mare
decât lăţimea b şi grosimea h (Fig. 2-16). Cele două perechi de electrozi
depuşi pe feţele paralele cu planul y0z permit aplicarea câmpului electric pe

z
h direcţia 0x cu un defazaj de
y 180 între jumătatea

 superioară şi respectiv
b
inferioară a barei de cuarţ.
În acest mod în
x
cele două jumătăţi ale barei
E
piezoelectrice se vor excita
E unde longitudinale
(paragraful 2.2.1) defazate
cu 180. Prin combinarea

Fig. 2-16. Rezonator cu cuarţ cu undă transversală.


celor două unde
longitudinale va rezulta o
undă transversală în planul y0z (direcţia de propagare fiind 0y, iar direcţia
de deplasare a punctelor materiale fiind 0z). Folosind ecuaţiile (2.5 şi 2.6)de
legătură între mărimile de natură elastică şi mărimile de natură electrică şi
legea a doua a dinamicii sub forma (2.7) pentru cele două jumătăţi ale barei
piezoelectrice rezultă următoarea ecuaţie diferenţială
4 3
  m4  3  0 (2.65)
y 4

unde  3 este reprezentarea în complex simplificat a deplasării punctelor


materiale din poziţia de echilibru în lungul axei 0z:
12 2  s11E
 m4 
b2 (2.66)
Ecuaţia diferenţială (2.65) are următoarele soluţii reprezentând
unda transversală care se propagă pe direcţia 0y:
CAPITOLUL 2
_______________________________________________________________________71
pentru un număr par de noduri (m par)
 3  Acos  m y  Bsh m y (2.67)

pentru un număr impar de noduri (m impar)


 3  C sin  m y  Dsh m y
(2.68)
Constantele de integrare A, B, C, D se determină din condiţiile la
limită. Considerând bara cu extremităţile libere, forţele transversale şi
momentele de încovoiere trebuie să fie nule la extremităţi, adică
2 3 3 3 
 0 şi  0 pentru y  
y 2
y 3
2

Din condiţiile de mai sus rezultă:


pentru un număr par de noduri (m par)
 
 A cos  m  Bch m  0
2 2
(2.69)
 
A sin  m  Bsh m  0
2 2
pentru un număr impar de noduri (m impar)
 
 C sin  m  Dsh m  0
2 2
(2.70)
 
 C cos  m  Dch m  0
2 2
Sistemele (2.69) şi (2.70) au soluţii nebanale pentru constantele de
integrare dacă cei doi determinanţi principali sunt nuli, de unde rezultă

   1 th m  0
 
tg m
m
(2.71)
2 2
Primele cinci rădăcini ale ecuaţiei (2.71) corespunzând
fundamentalei şi primelor armonici sunt:
CAPITOLUL 2
72_______________________________________________________________________

2  2  2 ,36502
2

 3  3  3,92660
2

 4  4  5 ,49780
2

 5  5  7 ,06859
2

 6  6  8 ,63938
2

Fig. 2-17. Dependenţa de coordonata y a valorii eficace a abaterii absolute din poziţia de
echilibru a punctului material de coordonată y.
Înlocuind aceste soluţii în sistemul (2.69) pentru un m par şi în
sistemul (2.70) pentru un m impar se obţin constantele de integrare care,
folosite în expresiile (2.67) şi respectiv (2.68) permit obţinerea reprezentării
analitice a undei transversale care se propagă în bara piezoelectrică. În
Fig. 2-17 este reprezentată grafic pentru fundamentală şi primele două
armonici dependenţa de coordonata y a valorii eficace a abaterii absolute din
CAPITOLUL 2
_______________________________________________________________________73
poziţia de echilibru a punctelor materiale de coordonată y. Se remarcă faptul
că ordinul armonicii corespunde cu numărul de noduri al undei care se
excită în rezonatorul piezoelectric.
Folosind relaţia (2.66) şi rădăcinile (notate cu m) ale ecuaţiei
(2.71) se obţin frecvenţele proprii de rezonanţă ale barei piezoelectrice în
care se excită unda transversală de volum
m2b 1
f s m   (2.72)
 3 s11E
2

Relaţia (2.72) este verificată experimental pentru cazurile


specificate iniţial în care lungimea  este mult mai mare decât celelalte
două dimensiuni.
Dacă raportul b  tinde însă către unitate relaţia (2.62) trebuie să
fie corectată ţinând seama de inerţia de rotaţie a barei.
Din relaţia (2.72) rezultă că, pentru dimensiunile tehnologic
realizabile ale barelor de cuarţ, rezonatoarele cu undă transversală în planul
y0z acoperă pe fundamentală domeniul 10...300 kHz. Pentru obţinerea unor
frecvenţe de rezonanţă foarte joase (în domeniul 1...60 kHz) se folosesc, pe
acelaşi principiu, unde transversale în planul x0y (direcţia de propagare a
undei fiind 0y iar cea de deplasare a punctelor materiale 0x).
Pentru a evita depunerea a două perechi de electrozi pe bara
piezoelectrică, ceea ce implică fie o depunere fie o corodare selectivă a
electrozilor, în cuarţ se pot excita unde transversale folosind rezonatoare
bimorfe obţinute prin rigidizarea a două bare din cuarţ. Spre exemplificare,
în Fig. 2-18 sunt prezentate două variante pentru excitarea undelor
transversale în planul x0y.
CAPITOLUL 2
74_______________________________________________________________________

Fig. 2-18. Rezonator cu cuarţ cu undă transversală: a) fără electrod median; b) cu electrod
median.

În Fig. 2-18,a rezonatorul nu necesită electrod median însă cele


două bare rigidizate trebuie să aibă coeficienţi piezoelectrici de semn opus
(una să fie realizată din cuarţ levogir, cealaltă din cuarţ dextrogir). Dacă nu
se dispune decât de cuarţ de un singur tip este obligatorie folosirea unui
electrod median (Fig. 2-18, b) ceea ce este evident mai complicat
tehnologic.
Unde transversale se pot obţine de asemenea în barele de cuarţ pe
principiul prezentat mai sus folosind patru electrozi depuşi ca în Fig. 2-19.
Componentele după axa 0z ale câmpului electric nu produc deformaţii în
cuarţ, iar componentele după axa 0x fiind îndreptate în sensuri opuse în cele
două jumătăţi ale barei creează unde longitudinale defazate cu 180 care,
prin compunere, formează unda transversală în planul x0y.
CAPITOLUL 2
_______________________________________________________________________75
z
y

Ex Ex
Ez
Ez
Ex Ex

Fig. 2-19. Rezonator cu cuarţ cu undă transversală

De menţionat că unde transversale se pot excita nu numai în bare ci


şi în plăci de cuarţ pe acelaşi principiu al combinării a două unde
longitudinale.

2.2.5 Parametrii schemei echivalente dinamice a


rezonatoarelor cu cuarţ
Pentru toate tipurile de unde care se propagă în rezonatoarele cu
cuarţ schema echivalentă dinamică a rezonatorului este cea dedusă în
paragraful 2.2.1 (Fig 2-20a).
Expresiile parametrilor schemei echivalente dinamice diferă însă în
funcţie de tipul undei elastice care se propagă în cristal, de orientarea
direcţiilor caracteristice ale undei faţă de direcţiile cristaline ale cuarţului.
Dacă se neglijează în primă aproximaţie pierderile de energie în
cristal, pierderi de care se va ţine seama explicit în paragraful 2.2.6, atunci
dependenţa reactanţei de intrare în funcţie de frecvenţă (Fig. 2-20b) prezintă
două frecvenţe caracteristice:
1
frecvenţa de rezonanţă serie f s  2 L C ;
1 1
CAPITOLUL 2
76_______________________________________________________________________
1
frecvenţa de rezonanţă paralel f p  2 L C C /  C  C 
1 1 0 1 0

Într-un rezonator real există un spectru discret de frecvenţe de

I X

C1
R0 fs fp f
U L1
C0

R1

a b

Fig. 2-20. a) Schema echivalentă dinamică a rezonatoarelor cu cuarţ; b) Dependenţa


reactanţei de intrare în funcţie de frecvenţă pentru un rezonator ideal, cu pierderi de
energie nule.
rezonanţă corespunzând diferitelor tipuri de unde, diferitelor direcţii de
propagare şi, în cadrul aceluiaşi tip de undă, diferitelor armonici (un
exemplu este oferit în paragrafele 2.2.2 şi 2.2.3 în care pentru acelaşi
rezonator se demonstrează posibilitatea excitării, în domenii de frecvenţă
diferite a undelor complexe în grosime şi respectiv a undelor complexe pe
contur). Dacă acest spectru bogat nu este foarte deranjant într-un oscilator
realizat pe dispozitivul respectiv (trecerea de la o frecvenţă de rezonanţă la
cealaltă putând fi limitată de circuite selective externe), în cazul utilizării
dispozitivului într-un filtru spectrul posibil de frecvenţe reprezintă un
dezavantaj principal.
Acesta este unul din motivele pentru care, prin măsuri de proiectare
constructivă (paragraful 2.2.6) se tinde la realizarea unor rezonatoare
monomod (un singur tip de undă) şi monofrecvenţă (o singură frecvenţă de
rezonanţă, fundamentala sau una dintre armonici).
CAPITOLUL 2
_______________________________________________________________________77
Valorile frecvenţelor de rezonanţă serie acoperă pe fundamentală,
în funcţie de tipul de undă şi de dimensiunile geometrice tehnic realizabile,
un domeniu cuprins între 1 kHz şi 40 MHz, după cum urmează:
între 1...300 kHz rezonatoarele cu undă transversală;
între 50...250 kHz rezonatoarele cu undă longitudinală;
între 100...800 kHz rezonatoarele cu undă complexă pe contur;
între 500 kHz ... 40 MHz rezonatoarele cu undă complexă în
grosime.
Frecvenţele de rezonanţă serie trebuie să prezinte o deosebită
stabilitate la variaţii de temperatură (paragraful 2.2.7) precum şi o deosebită
stabilitate în timp (paragraful 2.2.8).
Pe domeniile de frecvenţă menţionate mai sus inductivitatea
dinamică L1 din schema echivalentă a rezonatorului are următoarele valori:
sute ... mii de Henry pentru rezonatoarele cu undă transversală la
frecvenţe mai mici decât 50 kHz;
zeci...sute de Henry pentru rezonatoarele cu undă longitudinală la
frecvenţe între 50...250 kHz;
zeci ... sute de Henry pentru rezonatoarele cu undă complexă pe
contur la frecvenţe între 100 ... 300 kHz;
milihenry ... zeci de Henry pentru rezonatoarele cu undă
complexă în grosime la frecvenţe între 500 kHz ... 40 MHz.
Expresia inductivităţii dinamice este specifică fiecărui tip de undă
depinzând de constantele elastice şi piezoelectrice ale cuarţului şi de
dimensiunile geometrice ale rezonatorului. Pentru acelaşi tip de rezonator cu
creşterea frecvenţei de rezonanţă inductivitatea dinamică scade. De
menţionat că pentru un tip de undă valoarea inductivităţii dinamice nu
depinde de ordinul armonicii (cu excepţia undelor complexe în grosime).
Rezultă deci că valoarea capacităţii dinamice C1 este de regulă invers
CAPITOLUL 2
78_______________________________________________________________________
proporţională cu pătratul ordinului armonicii. Micşorarea valorii capacităţii
dinamice este unul dintre motivele pentru care se evită utilizarea
rezonatoarelor cu cuarţ pe armonici. În adevăr atât în circuitele de filtrare

f p  fs
cât si în oscilatoare este de dorit o valoare mai mare a raportului .
fs

Din schema echivalentă dinamică rezultă


f p  fs C1 C
 1 1  1
fs C0 2C0

Deci pentru un rezonator dat este necesară o valoare cât mai mare a
raportului C1 C0 valoare care, pe fundamentală, este cuprinsă între 10-4 ...

C1
10-2 (de exemplu pentru rezonatoarele cu undă transversală  4  10  4 .
C0

f p  fs
De menţionat că raportul este pentru fundamentală o proprietate de
fs

k2
material el fiind egal cu unde k este coeficientul piezoelectric de
1 k2
cuplaj specific tipului undei şi direcţiei sale de propagare.

2.2.6 Pierderi de energie în rezonatoarele cu cuarţ


2.2.6.1 Pierderi de natură electrică
Cuarţul prezintă polarizare de deplasare electronică şi ionică,
mecanisme de polarizare care nu sunt însoţite de pierderi. Pierderile prin
conducţie electrică sunt în general mici datorită valorilor mari ale

rezistivităţii volumetrice   x   y  0,33  10 cm;  z  0,118  10 cm  .


17 15
CAPITOLUL 2
_______________________________________________________________________79
1
Corespunzător acestor valori rezultă tg   C R de ordinul 10-
0 0

4
.

2.2.6.2 Pierderi de natură mecanică


Majoritatea rezonatoarelor pe cuarţ funcţionând în apropierea
frecvenţei de rezonanţă serie fs au factorul de calitate dictat de pierderile de
natură mecanică, echivalate în schema dinamică din Fig. 2-20a prin
rezistenţa R1 din braţul serie. Există cinci mecanisme, comentate în
continuare, care concură la apariţia unor pierderi de energie mecanică într-
un cristal rezonant.
a. Pierderi datorită energiei radiate
Rezonatorul cu cuarţ se manifestă, în aer sau în alt mediu gazos cu
care este în contact, ca o antenă de emisie radiind unde elastice pe seama
unor pierderi din energia proprie. Expresia rezistenţei echivalente de
pierderi datorită energiei radiate Rer depinde de tipul undei din rezonator şi
de tipul undei emise, de natura şi presiunea mediului ambiant. Desigur
introducerea rezonatorului într-o incintă vidată ar anula pierderile de energie
radiată prin unde elastice însă această soluţie nu este preferată deoarece
existenţa unei ambianţe gazoase, chiar presiune scăzută, facilitează
stabilizarea regimului termic în cristal. Din acest motiv pentru a micşora
pierderile prin energie radiată rezonatorul se utilizează într-o incintă
umplută cu un gaz cu masă moleculară mică (de exemplu hidrogen sau
heliu) la presiuni de 10-2...10-3 torri (rezistenţa echivalentă de pierderi este
proporţională cu M , unde M este masa moleculară a gazului). De
menţionat că micşorarea presiunii gazului din incintă asigură şi lipsa
pierderilor prin ionizare datorită câmpurilor electrice dintre electrozi sau
conexiuni.
CAPITOLUL 2
80_______________________________________________________________________
La frecvenţe care depăşesc 5 MHz pierderile datorate energiei
radiate prin unde elastice devin neesenţiale faţă de alte tipuri de pierderi,
motiv pentru care peste această frecvenţă rezonatoarele nu mai necesită
ambianţe deosebite, la presiuni coborâte.
b. Pierderi prin frecare în suport
În fiecare cristal în care se excită la frecvenţa de rezonanţă unde
staţionare există puncte sau linii în repaus (nodurile undei). În mod ideal
fixarea cristalului ar trebui să se realizeze în aceste puncte, situaţie în care
suportul nu ar influenţa existenţa undei în cristal. În realitate elementul de
fixare, un material cu mare modul de elasticitate, nu poate fi perfect
punctual suprapunându-se şi peste puncte materiale care în cristalul liber ar
fi în regim de oscilaţie. Dacă deplasarea punctelor materiale nu depăşeşte
2,510-2 m, deci la amplitudini mici ale undei şi la dimensiuni foarte reduse
ale suportului, interacţiunea suport-cristal este elastică, neapărând pierderi
din energia undei care se excită în cristal. La dimensiuni de ordinul
micrometri ... zeci de micrometri ale suportului deplasările punctelor
materiale din cristal depăşesc limita de elasticitate apărând interacţiuni
inelastice suport-cristal şi, corespunzător, pierderi din energia undei. În
schema echivalentă din Fig. 2-20 a, acest fenomen se materializează prin
apariţia unei componente Rfs în rezistenţa dinamică R1. Când cristalul
lucrează pe armonică valoarea pierderilor prin frecare în suport scade
datorită micşorării amplitudinii undei.
Prin forţa pe care o exercită asupra punctelor materiale ale
cristalului suportul influenţează, în limite reduse, chiar frecvenţa proprie de
rezonanţă a acestuia. Deosebit de deranjantă este inconstanţa acestei forţe în
timp ceea ce conduce la instabilitatea frecvenţei rezonatorului.

c. Pierderi interne
CAPITOLUL 2
_______________________________________________________________________81
Prin pierderi interne în cristalele rezonante se înţelege ansamblul
proceselor care transformă energia undelor elastice în energie termică. În
schema echivalentă din Fig.2-20a, acest fenomen conduce la apariţia unei
rezistenţe de pierderi Rfi în componenţa rezistenţei dinamice R1.
Explicarea pierderilor interne prin vâscozitatea cristalului de cuarţ,
ceea ce creează o amortizare a undei elastice, este facilă dar nu întrutotul
corectă. În adevăr tăind un număr de probe din acelaşi monocristal de cuarţ
se obţine pentru fiecare din aceste probe o altă valoare a rezistenţei de
pierderi Rfi ceea ce ar sugera faptul, infirmat de alte experienţe, că diferite
părţi ale unui monocristal au vâscozităţi diferite. Dependenţa pierderilor
interne de vâscozitatea mediului cristalin nu poate explica nici dependenţa
rezistenţei de pierderi de amplitudinea undei elastice, rezultat constatat
experimental, nici micşorarea rezistenţei de pierderi prin impurificarea în
anumite limite a cuarţului.
Rezultate calitative şi cantitative mult mai concordante cu
experienţa oferă în privinţa pierderilor interne teoria dislocaţiilor, afirmând
că pierderile interne în cristale se datorează deplasării dislocaţiilor din
cristal, care, sub forma unor bucle, au capetele fixate pe defecte zero
punctuale. Undele elastice cu amplitudini mici provoacă în cristale deplasări
ale sistemului dislocaţiilor care poate fi privit ca un sistem rezonant cu
frecvenţe proprii de ordinul câtorva sute de megaherţi (calculate ţinând
seama de lungimea medie a unei dislocaţii în cristal). Procesul de deplasare
a dislocaţiilor este un proces disipativ deoarece tranzitează reţeaua cristalină
dintr-o stare de echilibru în alta. Distribuţia aleatorie a dislocaţiilor într-un
monocristal justifică, dispersia rezistenţelor de pierderi interne pentru probe
obţinute din acelaşi monocristal.
Dacă la amplitudini mai mici ale undelor elastice dislocaţiile se
„înconvoaie” proporţional cu amplitudinea undei rămânând însă „fixate” cu
CAPITOLUL 2
82_______________________________________________________________________
capetele pe defecte zero punctuale ale reţelei, ceea ce semnifică o valoare
constantă a rezistenţei de pierderi Rfi, la amplitudini mari dislocaţiile se pot
rupe de centrele lor de fixare cu formarea altor bucle, proces care conduce la
pierderi suplimentare deci la creşterea rezistenţei de pierderi cu
amplitudinea undei. Teoria dislocaţiilor justifică de asemenea micşorarea
rezistenţei de pierderi prin introducerea, în anumite limite, de atomi străini
în reţeaua cuarţului, aceşti atomi „fixând” dislocaţiile deci împiedicându-le
deplasarea ceea ce este similar cu micşorarea pierderilor interne.

d. Pierderi în stratul superficial şi în electrozi


Stratul superficial al rezonatorului şi electrozii conductori
atenuează puternic undele elastice din cristal şi prin aceasta constituie una
dintre principalele cauze de pierderi de energie (componenţa Rse a rezistenţei
dinamice R1 din Fig. 2-20a).
Atenuarea undelor elastice în stratul superficial se datorează
neomogenităţilor şi deformaţiilor pe care acesta le conţine comparativ cu
ansamblul cristalului. De menţionat că valoarea rezistenţei de pierderi Rse
depinde direct proporţional de pătratul dimensiunii defectelor existente în
stratul superficial. Un tip de neomogenităţi provine din absorbţia de
particule din mediul ambiant sau din interacţiunea chimică cu atomi sau
molecule din acest mediu. Aceste legături pot fi uşor distruse şi atomii
străini îndepărtaţi dacă în timpul procesului tehnologic rezonatorul este
supus unui tratament termic în vid. Un alt tip de neomogenităţi şi
deformaţii, mult mai greu de înlăturat, se datorează prelucrării
rezonatoarelor. Acestea se taie din monocristal la forma dorită cu ajutorul
discurilor diamantate, în urma acestui proces formându-se un microrelief cu
adâncimea de circa 200 micrometri. Prin tăiere rezultă nu numai
neuniformităţi ci şi foarte multe deformaţii unghiulare în stratul superficial.
Pentru îndepărtarea acestui strat superficial care ar provoca o atenuare foarte
CAPITOLUL 2
_______________________________________________________________________83
puternică a undelor elastice procesul tehnologic prevede o prelucrare a
suprafeţelor rezonatorului prin şlefuire cu particule abrazive de diferite
dimensiuni şi, în continuare, o polizare cu particule foarte fine în suspensie
în apă (de exemplu: granule de oxid de fier cu dimensiuni între
0,1...0.14 m). În urma acestei prelucrări stratul superficial afectat de
neomogenităţi devine mai subţire decât 10m. Dezavantajul principal al
polisării îl reprezintă apariţia unei pelicule amorfe cu grosimea de 3...5m,
datorată lichidului cu care se realizează polisarea.
Cele mai bune rezultate în ceea ce priveşte omogenitatea suprafeţei
rezonatoarelor se obţin prin „prelucrarea asimtotică” constând din prelucrări
succesive, din ce în ce mai fine, astfel încât fiecare prelucrare să depărteze
stratul cu neomogenităţi al prelucrării anterioare. Un asemenea proces este
scump, însă el nu trebuie realizat pe toate suprafeţele rezonatorului ci numai
pe acelea, depinzând de forma rezonatorului şi de tipul de undă, pentru care
absorbţia undei este cea mai puternică. De exemplu pentru un rezonator bară
cu undă longitudinală este necesar să fie prelucrate foarte atent suprafeţele
mari pentru că acestea atenuează unda în timp ce starea suprafeţelor frontale
nu influenţează practic valoarea rezistenţei de pierderi Rse.
Electrozii conductori depuşi pe suprafaţa rezonatorului constituie
de asemenea „defecte” pentru structura sa monocristalină, fiind sursele unor
pierderi datorate atenuării undei elastice. Pentru un rezonator cu electrozii
depuşi pierderile cresc cu până la 300% faţă de acelaşi rezonator plasat între
armături cu interstiţiu. Valoarea acestor pierderi depinde de starea suprafeţei
cristalului, de natura şi procesul de obţinere a electrozilor, de presiunea
ambianţei în care funcţionează rezonatorul.
Contactarea electrozilor reprezintă o sursă suplimentară de pierderi
care pot conduce la neomogenităţi locale în structura cristalină.
CAPITOLUL 2
84_______________________________________________________________________
În afara celor menţionate electrozii metalici oxidându-se uşor şi
absorbind gaze din ambianţă reprezintă o sursă a nestabilităţii pierderilor
rezonatoarelor.

e. Pierderi în modurile cuplate


Un rezonator pe cuarţ este un sistem cu un număr de grade de
libertate egal cu numărul undelor de diverse tipuri şi pe diverse direcţii care
se pot excita. Dintre toate aceste unde una singură este utilă îndeplinirii
funcţiunii rezonatorului, toate celelalte consumând energie în mod inutil
(pierderile fiind echivalate prin componenta Rmc a rezistenţei dinamice R1
din Fig. 2-20a). Deci şi din punctul de vedere al pierderilor de energie
proiectarea constructivă trebuie să conducă, pe cât posibil, la un rezonator
„monomod” şi „monofrecvenţă”.
Calculul teoretic al tuturor modurilor posibile şi a tuturor
frecvenţelor unui rezonator „ideal” este laborios, dar posibil, spectrul
frecvenţelor de rezonanţă fiind determinist. Alegând o anumită geometrie a
rezonatorului, anumite dimensiuni precum şi anumite orientări faţă de axele
de simetrie în cristal este posibilă favorizarea excitării unui tip de undă
dintre cele menţionate în paragrafele 2.21 ... 2.24.
Pentru un tip de undă selectarea între fundamentală şi armonici se
poate realiza printr-o fixare adecvată în suport şi prin geometria electrozilor.
Spre exemplu pentru un rezonator cu undă longitudinală, din Fig. 2-1 rezultă
că pe fundamentală întreaga bară piezoelectrică oscilează în fază (

 2
S2  are un singur semn) existând un singur nod al undei, în centrul
y

barei, în timp ce pentru armonica trei există trei noduri ale barei, două treimi
ale barei fiind în fază iar cealaltă treime în antifază cu primele. Deci fixând
rezonatorul în centru şi excitându-l omogen, cu o pereche de electrozi,
fundamentala va avea amplitudinea maximă. Fixându-l în trei puncte (cele
CAPITOLUL 2
_______________________________________________________________________85
trei noduri ale armonicii m=3) fundamentala va fi interzisă. Pentru că în
această situaţie armonica a treia să aibă amplitudine maximă excitarea
trebuie făcută cu trei perechi de electrozi conectaţi corespunzător (cele două
perechi externe în fază între ele şi în antifază cu perechea centrală).
De menţionat că în afara spectrului teoretic posibil pot apare
frecvenţe de rezonanţă suplimentare determinate de defecte în structura
cristalină a cuarţului, de unele abateri de la dimensiunile geometrice ideale,
abateri de la fixarea ideală în suport etc. De obicei aceste unde suplimentare
au amplitudini mici şi se plasează, ca frecvenţe, în jurul frecvenţelor
spectrului ideal.
Evident, cu toate precauţiile constructive şi tehnologice, nu poate fi
realizat un rezonator care să aibă o singură frecvenţă proprie de rezonanţă.
Important este ca unda cu frecvenţa utilă să aibă amplitudinea maximă şi să
transfere cât mai puţină energie celorlalte unde cu frecvenţe inutile (pierderi
minime de energie din partea undei principale). Din acest punct de vedere
capătă o deosebită importanţă cuplajul între diversele tipuri de undă.
Pentru simplitate se consideră un rezonator cu două grade de
libertate (frecvenţele proprii parţiale de rezonanţă k1 şi k2). Cele două

F12
moduri se cuplează printr-un cuplaj cu coeficientul   , unde:
F1 F2

F1 şi F2 sunt energiile proprii ale modurilor 1 şi 2;


F12 este energia care se transferă prin cuplaj între două moduri.
Frecvenţele proprii de rezonanţă ale celor două moduri cuplate
sunt:

f1,22  
1 2
2
  
k1  k22  k12  k 22 1   2  (2.73)

unde
CAPITOLUL 2
86_______________________________________________________________________
2 k1k 2
 
k12  k22  (2.74)

În Fig. 2-21 este reprezentată grafic pentru sistemul cu două


moduri cuplate dependenţa de frecvenţă a amplitudinii undelor. Din figură,
ca şi din relaţia (2.73) rezultă că, pentru k1k2, întotdeauna f2k2 şi f1k1.
Cele două moduri devin din ce în ce mai puţin dependente pe măsură ce
coeficientul  tinde către zero situaţie în care f1 tinde către k1 şi f2 către k2 şi
pierderile de energie prin transfer din modul principal tind către zero.
Această situaţie se poate obţine pe două căi:
depărtarea frecvenţelor proprii parţiale k1 şi k2 (k1  k2);
micşorarea coeficientului de cuplaj  .
A
Diferenţa frecvenţelor proprii
parţiale este o proprietate a tipului
de undă care se excită. Din acest
punct de vedere sunt favorizate
f
f2 k2 k1 f1 undele „simple” transversale şi
Fig. 2-21. Dependenţa de frecvenţă a
amplitudinii undelor pentru sistemul rezonant longitudinale care au un spectru
cu moduri cuplate. discret cu armonici relativ
depărtate (paragrafele 2.2.1 şi 2.2.2).
Micşorarea coeficientului de cuplaj  vizează, în egală măsură,
micşorarea atât a cuplajului elastic cât şi a cuplajului piezoelectric. Spre
exemplu pentru rezonatoarele cu undă longitudinală în lungime, din relaţiile
(2.4) rezultă că în afara deformaţiei relative S 2 care generează unda
principală se transferă energie şi pentru deformaţiile relative S 1 , S 3 , S 4 care
vor genera unde cuplate cu prima. Pentru a anula în cazul particular
specificat aceste moduri cuplate este necesar ca să se anuleze cuplajul

elastic s
E
12
E
, s13 E
, s14  şi cuplajul piezoelectric (d11, d14). Acest mod de
CAPITOLUL 2
_______________________________________________________________________87
abordare radicală a problemei nu este nici măcar teoretic acceptabil
deoarece o parte dintre coeficienţii specificaţi (de exemplu d 11) participă la
însăşi generarea undei principale. Din exemplul anterior rezultă că trebuie să
se tindă la micşorarea sau anularea unor coeficienţi elastici sau
piezoelectrici care excită moduri cuplate în măsura în care acest lucru nu
dăunează undei principale. Această micşorare a cuplajului între moduri este
posibilă alegând anumite orientări ale rezonatorului faţă de axele de simetrie
cristalină (secţiuni caracteristice). Micşorarea cuplajului între moduri este de
asemenea posibilă prin alegerea anumitor forme ale electrozilor.
Pierderile de natură mecanică comentate anterior se cumulează
astfel încât rezistenţa dinamică R1 are expresia:
R1  Rer  R fs  R fi  Rse  Rmc ,

unde:
Rer este rezistenţa de pierderi datorită energiei radiate;
Rfs- rezistenţa de pierderi prin frecare în suport;
Rfi – rezistenţa de pierderi interne;
Rse – rezistenţa de pierderi în stratul superficial şi în electrozi;
Rmc – rezistenţa de pierderi în modurile cuplate.
Valoarea rezistenţei dinamice R1 depinde de tipul de undă din
rezonator dar, mai ales, depinde de măsurile constructive şi tehnologice care
să micşoreze pierderile prin mecanismele prezentate. Pentru rezonatoarele
cu undă longitudinală sau undă transversală pentru frecvenţe sub 200 kHz
valoarea rezistenţei dinamice este în domeniul 1...100 k, iar pentru
rezonatoarele cu undă complexă în grosime sau pe contur rezistenţa
dinamică are valori între 1...1000. Acestor valori ale rezistenţei dinamice
le corespund factori de calitate foarte mari putând atinge valori de milioane.
Valorile specificate cresc de 2...3 ori în cazul rezonatoarelor care nu sunt
etanşate în incinte cu presiune scăzută.
CAPITOLUL 2
88_______________________________________________________________________
Ca tendinţă, pentru rezonatoarele folosite în oscilatoare se preferă o
valoare cât mai mică a rezistenţei dinamice, iar pentru rezonatoare folosite
în filtre se preferă rezonatoarele „monofrecvenţă” chiar dacă în acest caz
rezistenţa dinamică este puţin mai mare.
Prin creşterea temperaturii rezistenţa dinamică creşte de regulă
datorită interacţiunilor ionilor reţelei cu ionii impuritate şi datorită
accentuării imperfecţiunilor în realizarea şi montajul rezonatorului.
Trebuie menţionat faptul că rezistenţa dinamică este constantă cu
câmpul electric aplicat numai la semnale mici. Creşterea semnalului poate
conduce la apariţia unor efecte neliniare prin formarea şi creşterea unor
dislocaţii în cristal sau prin apariţia unor gradienţi de temperatură care
conduc la creşterea rezistenţei dinamice. Din acest motiv rezonatoarele de
precizie sunt utilizate numai la puteri disipate sub 10W în cazul unor
precizii mai mici putându-se ajunge la puteri disipate în domeniul 1...4mW.

2.2.7 Caracteristica frecvenţă-temperatură a


rezonatoarelor cu cuarţ
Folosirea rezonatoarelor cu cuarţ în oscilatoare şi filtre se datorează
atât factorilor de calitate foarte mari ai acestora cât şi posibilităţilor de a
asigura stabilitatea frecvenţei de rezonanţă cu temperatura, definită prin
coeficientul de temperatură al frecvenţei de rezonanţă
1 df s
f 
f s dT
Fie un rezonator bară cu undă longitudinală în lungime lucrând pe
fundamentală (relaţia 2.44)
1 1
fs 
2 E
s11

Logaritmând şi derivând în funcţie de temperatură relaţia anterioară


rezultă
CAPITOLUL 2
_______________________________________________________________________89
1 df s 1 d 1 1 d 1 1 ds11E
   ,
f s dT  E dT
 dT 2  dT 2 s11

adică
1 1
 f         s  E ,
2 2 11
unde:
  este coeficientul de temperatură al lungimii barei;
  - coeficientul de temperatură al densităţii cuarţului;

 s  E - coeficientul de temperatură al coeficientului de elasticitate


11

E .
s11

Pentru ca frecvenţa de rezonanţă serie să nu depindă de temperatură


 f  0  este necesar ca

2       s  E (2.75)
11

Relaţia (2.75) nu este satisfăcută pentru orientarea barei


piezoelectrice în lungul axei 0y (paragraful 2.1, Fig. 2-1). Modificând însă
poziţia barei faţă de sistemul de axe de coordonate din cuarţ se modifică atât
coeficientul de temperatură al lungimii (deoarece  x   y   z ) cât şi
coeficientul de temperatură al coeficientului de elasticitate, existând anumite
orientări pentru care relaţia (2.75) este satisfăcută. Aceste orientări se
numesc secţiuni cu coeficientul de temperatură nul şi sunt notate cu iniţiale
caracteristice (deşi f, nu este egal cu zero în mod strict decât la o anumită
temperatură, diferind mai mult sau mai puţin de zero în jurul acesteia). De
menţionat că o parte dintre aceste orientări satisfac şi condiţiile de micşorare
a pierderilor prin modurile cuplate (paragraful 2.2.6,e).
Pentru a nu complica procesul tehnologic sunt de regulă preferate
orientări cât mai simple faţă de axele de simetrie ale cuarţului. Secţiunile X
şi Y (Fig. 2-22, plăci perpendiculare pe axele 0x şi respectiv 0y) au
coeficienţi de temperatură relativ mari. Secţiunile Y rotite în jurul axei 0x
CAPITOLUL 2
90_______________________________________________________________________
z (Fig. 2-23a) îndeplinesc condiţia
secţiune y secţiune x (2.75) pentru anumite unghiuri de
rotaţie. În Fig. 2-23b şi 2-23c sunt
reprezentate grafic dependenţele de
y
unghiul de rotaţie ale coeficienţilor de
temperatură ai frecvenţelor de
x
rezonanţă pentru rezonatoarele cu
Fig. 2-22. Secţiunile X şi Y în cuarţ.
undă complexă în grosime şi respectiv
cu undă complexă pe contur. Din graficele respective rezultă pentru
rezonatoarele cu undă complexă în grosime două secţiuni cu coeficient de
temperatură nul (secţiunile notate cu AT şi BT), iar pentru rezonatoarele cu
undă complexă pe contur de asemenea două secţiuni (notate CT şi DT) cu
coeficient de temperatură nul.

z f f
+ - + 0
y  
BT 0 AT DT CT

x
a b c
Fig. 2-23. a-Secţiune Y rotită; b-Dependenţa coeficientului de temperatură al frecvenţei
de rezonanţă pentru rezonatoare cu undă complexă în grosime; c-Dependenţa
coeficientului de temperatură al frecvenţei de rezonanţă pentru rezonatoare cu undă
complexă pe contur.

z z
+3430 Rezonatoarele cu undă
longitudinală sau undă
transversală cu coeficienţi de
0 y temperatură nuli în cazul unor
x secţiuni mai complicat orientate.
-1906
x Rezonatoarele cu undă complexă
Fig. 2-24. Secţiune IT în cuarţ.
CAPITOLUL 2
_______________________________________________________________________91
în grosime pot avea de asemenea coeficienţi de temperatură nuli în secţiuni
mai complicate (spre exemplu secţiunea IT prezentată în Fig.2-24).

Tabelul 2-1
Principalele tăieturi utilizate în rezonatoarele cu cuarţ
Denumirea şi Tipul undei Forma Coeficientul
orientarea rezonatorului de frecvenţă
tăieturii N (kHzmm)
AT undă complexă placă cu feţele mari 1680...2060
secţiune rotită Y în grosime sub formă de
3435,5 lentilă
AT undă complexă placă cu feţe plane 1670
secţiune rotită Y în grosime
3435,5
AT undă complexă placă cu feţe plane 5010
secţiune rotită Y în grosime pe
3435,5 armonica a 3-a
AT undă complexă placă cu feţe plane 8350
secţiune rotită Y în grosime pe
3435,5 armonica a 5-a
BT undă complexă placă cu feţele mari 2560...2660
secţiune rotită Y în grosime sub formă de
-50-47 lentile
BT undă complexă placă cu feţe plane 2550
secţiune rotită Y în grosime
-50-47
IT undă complexă placă cu feţele mari 1770...2100
(Fig. 1-21) în grosime sub formă de
lentile
IT undă complexă placă cu feţe plane 1770
(Fig. 1-21) în grosime
CT undă complexă placă cu feţele mari 3080...3100
secţiune rotită Y pe contur pătrate
3638
CT undă complexă placă cu feţele mari 6150
secţiune rotită Y pe contur dreptunghiulare
3638 (b/l=0,46)
CT undă complexă placă cu feţele mari 10.280
CAPITOLUL 2
92_______________________________________________________________________
Denumirea şi Tipul undei Forma Coeficientul
orientarea rezonatorului de frecvenţă
tăieturii N (kHzmm)
secţiune rotită Y pe contur dreptunghiulare
3638 (b/l=0,25)
DT undă complexă placă cu feţele mari 2070...2080
secţiune rotită Y pe contur pătrate
-53-51
DT undă complexă placă cu feţele mari 4540...4560
secţiune rotită Y pe contur dreptunghiulare
-53-51 (b/l=0,4)
DT undă complexă placă cu feţele mari 7460...7480
secţiune rotită Y pe contur dreptunghiulare
-53-51 (b/l=0,23)
DT undă complexă placă cu feţele mari 4800
secţiune rotită Y pe contur dreptunghiulare
-53-51 (b/l=0,38)
GT undă placă cu feţele mari 3283...3297
longitudinală dreptunghiulare
(b/l=0,86)
MT undă placă cu feţele mari 2650...2850
longitudinală dreptunghiulare
NT undă placă cu feţele mari 400...2200
transversală în dreptunghiulare
planul YZ

X undă bară sau placă cu 2720...2900


(Fig. 1-23) longitudinală feţele mari
dreptunghiulare

În tabelul 2-1 sunt sistematizate principalele orientări ale tăieturii


cu coeficient de temperatură nul utilizate în cuarţ indicându-se forma
rezonatorului şi tipul de undă care se excită. Unghiurile tăieturii faţă de
axele de coordonate sunt indicate sub forma unui domeniu admisibil,
valoarea exactă stabilizându-se cu mare precizie în funcţie de temperatură 0
în jurul căreia se doreşte să se obţină coeficientul de temperatură nul.
Tabelul 2-1 conţine de asemenea pentru fiecare tăietură valorile
orientative ale coeficientului de frecvenţă N (produsul dintre frecvenţa de
CAPITOLUL 2
_______________________________________________________________________93
rezonanţă şi dimensiunea geometrică a rezonatorului pe direcţia de
propagare a undei; în cazul undelor complexe pe contur se echivalează
direcţia de propagare cu dimensiunea cea mai mare a feţei rezonatorului). În
jurul temperaturilor 0 pentru care coeficientul de temperatură al frecvenţei
de rezonanţă este nul abaterea relativă de la frecvenţa de rezonanţă f so poate
fi dezvoltată în serie
f s  f so
 b    0   c     0   d     0 
2 3
(2.76)
f so
Pentru toate tăieturile prezentate în tabelul 2-1 termenul de gradul 1
din dezvoltarea în serie (2.76) este neglijabil ( b  0 ). Pentru tăieturile BT,
CT, DT, MT şi NT este neglijabil şi termenul de gradul 3 astfel încât
abaterea relativă a frecvenţei de rezonanţă depinde de diferenţa -0
f s  f so
 c    0 
2

fs0

Pentru secţiunile BT această dependenţă este reprezentată grafic în


Fig. 2-25.
Pentru secţiunile AT şi IT este necesar să se ia în consideraţie în
dezvoltarea în serie şi termenul de gradul 3
f s  f so
 c    0   d     0 
2 3

f so
Această dependenţă este reprezentată grafic pentru secţiunea AT în
Fig.2-26.
Una dintre cele mai bune tăieturi din punctul de vedere al
stabilităţii frecvenţei de rezonanţă cu temperatura este secţiunea GT pentru
care se reprezintă în Fig. 2-27 dependenţa de temperatură a abaterii relative
a frecvenţei de rezonanţă.
Din consideraţiile anterioare rezultă că, pentru a obţine o variaţie
cât mai mică a frecvenţei de rezonanţă, este necesar ca rezonatorul să fie
CAPITOLUL 2
94_______________________________________________________________________
termostatat la temperatura 0. De regulă această temperatură se alege în jur
de +70C pentru a rezulta o termostatare cât mai comodă.
CAPITOLUL 2
_______________________________________________________________________95
=-4950 =-4910
0
=-4830

-40
=-4750
f s  f s0 -80
f s0
10  6

-120

-160

-200
-60 -40 -20 0 20 40 60 80 C

Fig. 2-25. Dependenţa de temperatură a abaterii relative a frecvenţei de
rezonanţă pentru tăieturile BT.

100
=3505
80
60 =3510
40
f s  f s0 20 =3515
 6
10 0 
f s0 =3520
-20
-40 =3525
-60
-80 =3530
-100
-60 -40 -20 0 20 40 60 80 C

Fig. 2-26. Dependenţa de temperatură a abaterii relative a frecvenţei de
rezonanţă pentru tăieturile AT.

30
20
10
f s  f s0
f s0

10 6 0

-10
-20
-30 C
-30 -10 0 10 30 50 70 90

Fig. 2-27. Dependenţa de temperatură a abaterii relative a frecvenţei de
rezonanţă pentru tăieturile GT.
CAPITOLUL 2
96_______________________________________________________________________
Ca ordine de mărime coeficienţii de temperatură ai frecvenţei de
rezonanţă pot atinge valori, pentru tăieturile prezentate, de la 10-8...10-9K-1 pe
domeniul de temperatură -7 ... +45C, valori care pot scădea prin
termostatare la 10-10K-1 sau chiar mai puţin. Din acest punct de vedere
rezonatoarele cu cuarţ sunt rezonatoarele cele mai stabile termic care se
realizează în prezent.

2.2.8 Stabilitatea în timp a frecvenţei de rezonanţă


Datorită modificărilor în timp ale proprietăţilor fizice ale cuarţului,
modificărilor elementelor constructive sau influenţei ambianţei, în
rezonatoarele cu cuarţ se produc modificări sistematice şi ireversibile ale
frecvenţei de rezonanţă (îmbătrânirea rezonatorului).
Proprietăţile fizice ale cuarţului variază în timp fie datorită unor
modificări structurale, fie datorită unor modificări în stratul superficial.
Difuzia unor atomi interstiţiali, formarea şi captarea unor cavităţi prin
„condensarea” unor vacanţe, schimbări în orientarea unor domenii
torsionate care tind spre stări de echilibru provoacă modificări în însăşi
structura rezonatorului. Stratul superficial poate fi afectat prin formarea în
timp a unor micro sau macrofisuri ca urmare a tensiunilor mecanice rămase
de la prelucrarea suprafeţelor sau, invers, dispariţia unor microfisuri, ca
rezultat al acţiunii forţelor dintre ioni. Aceste procese modifică lent valorile
coeficienţilor elastici şi piezoelectrici şi, ca rezultat, modifică frecvenţa de
rezonanţă proprie. Asemenea procese tinzând spre o stare de energie minimă
în cuarţ au loc într-un timp foarte îndelungat (spre exemplu, cuarţul natural
a ajuns la starea actuală de echilibru în milioane de ani).
Frecvenţa proprie de rezonanţă se poate modifica în timp şi prin
modificări în tensiunile mecanice ale dispozitivului de prindere sau prin
modificări ale proprietăţilor fizice ale electrozilor metalici obţinuţi prin
evaporare în vid (spre exemplu, evaporarea unor particule din electrozi sau
CAPITOLUL 2
_______________________________________________________________________97
oxidarea electrozilor).
Ambianţa influenţează frecvenţa de rezonanţă favorizând absorbţia
în cuarţ a gazelor sau moleculelor de apă, migraţia în cuarţ a ionilor de pe
sticla balonului în care este etanşat rezonatorul sau modificarea presiunii în
balonul insuficient de etanş.
În general cele mai mari modificări ale frecvenţei rezonatoarelor au
loc în primii 2...3 ani de funcţionare după care se ajunge la o stare de
echilibru în cristal şi o stare de echilibru cu mediul. Printr-o tehnologie
îngrijită şi printr-un tratament final (îmbătrânire artificială) variaţia relativă
a frecvenţei de rezonanţă poate rămâne de regulă sub 10 -8/an (chiar sub
510-9 /an pentru rezonatoarele de precizie).

2.2.9 Tehnologia rezonatoarelor discrete cu cuarţ


Proiectarea constructivă a rezonatoarelor cu cuarţ constă în
determinarea, în funcţie de frecvenţa proprie de rezonanţă, coeficientul de
temperatură al acesteia, rezistenţa dinamică de pierderi etc, a formei
rezonatorului şi a orientării faţă de axele cristaline, a tipului de undă care se
excită şi, în ultimă instanţă a dimensiunilor geometrice ale rezonatorului.
Acestea fiind cunoscute, prima operaţie tehnologică este tăierea cu discuri
diamantate a formei dintr-un monocristal de cuarţ orientat în prealabil.
Operaţiunea următoare este prelucrarea suprafeţelor rezonatorului
prin şlefuire şi polisare în funcţie de importanţa pe care suprafeţele
respective o au în îndeplinirea funcţiilor viitoare. Spre exemplu suprafeţele
care prin distanţa dintre ele determină frecvenţa proprie utilă de rezonanţă
trebuie să fie prelucrate astfel încât această distanţă să fie cât mai exactă
posibil. Acele suprafeţe care prin atenuarea produsă undei cresc valoarea
rezistenţei dinamice trebuie să fie prelucrate „asimptotic” (paragraful
2.2.6.,e). De menţionat că o prelucrare atentă a suprafeţelor care să elimine
defectele din stratul superficial îmbunătăţeşte şi stabilitatea în timp a
CAPITOLUL 2
98_______________________________________________________________________
rezonatoarelor (paragraful 2.2.8). Prelucrarea mecanică a suprafeţelor este
mult îngreunată datorită fragilităţii plachetelor atunci când se doresc
frecvenţe proprii pe fundamentală mai mari decât 40 MHz (astfel
rezonatoarele cu undă complexă în grosime au la 45 MHz o grosime de
40 m, iar la 100 MHz o grosime de numai 18 m). Asemenea dimensiuni
se obţin prin corodare în jet de ioni de argon acceleraţi la tensiuni peste
7 kV. Fasciculul de ioni colimat, cu diametrul de circa 12 cm, are o
traiectorie perpendiculară pe suprafaţa prelucrată a plachetelor de cuarţ
montate pe un suport ce se roteşte cu aproximativ 1 rotaţie/minut. Viteza de
corodare este de circa 1 m/h obţinându-se, prin controlul timpului, o foarte
bună precizie a dimensiunilor.
După prelucrarea suprafeţelor se depun electrozii rezonatorului prin
evaporare în vid sau pulverizare catodică. Omogenitatea şi aderenţa acestora
au influenţă puternică asupra stabilităţii în timp a frecvenţei de rezonanţă şi
asupra coeficientului de temperatură a rezistenţei dinamice. Cele mai bune
performanţe se realizează cu electrozi din nichel care, prin aderenţa foarte
bună pe cuarţ, nu necesită tratament termic suplimentar ca în cazul
argintului sau aurului. Pentru frecvenţe sub 1 MHz grosimea electrozilor nu
depăşeşte 0,6...0,8 m. Dezavantajul principal al electrozilor din nichel îl
constituie rezistenţa lor serie prea mare (circa 10) ceea ce limitează
utilizarea acestor electrozi numai pentru rezonatoarele cu rezistenţă
dinamică mai mare decât 100 . Pentru celelalte rezonatoare, de exemplu
pentru rezonatoarele cu undă complexă în grosime la frecvenţe mai mari
decât 1 MHz, se utilizează electrozi din argint, aur sau aluminiu cu grosimi
sub 0,1 m. De menţionat că în timpul depunerii electrozilor se ajustează
final, în limite relativ mici, frecvenţa proprie de rezonanţă. Pentru aceasta,
după ce s-a depus o grosime foarte mică a electrozilor, rezonatorul se
contactează provizoriu prin presare şi se introduce într-un circuit exterior în
CAPITOLUL 2
_______________________________________________________________________99
vederea determinării cu foarte mare precizie a frecvenţei proprii de
rezonanţă. Apoi depunerea electrozilor continuă citind permanent frecvenţa
de rezonanţă până când se obţine rezonatorul cu frecvenţa proprie dorită
(evident creşterea grosimii electrozilor produce întotdeauna micşorarea
frecvenţei proprii de rezonanţă).
După depunerea electrozilor rezonatorul se fixează şi se
contactează în nodurile undei elastice care se va excita în timpul
funcţionării. Cel mai adesea contactarea se realizează prin conductoare de
bronz fosforos cu diametru foarte mic (de exemplu pentru rezonatoare cu
unde transversale conductorul trebuie să aibă diametrul sub 0,2 mm, doza
aliajului de lipit trebuind să fie sub 0,4 mg. Urmează încapsularea
rezonatoarelor în capsule de metal, sticlă sau ceramică cu eventuala
introducere în capsulă a unui gaz de presiune scăzută (paragraful 2.2.6, a).
Pentru stabilizarea performanţelor în timp rezonatorul încapsulat
este supus unui tratament termic final la temperaturi în gama 100...300C
(„îmbătrânire artificială”).
Rezonatoarele discrete cu cuarţ se utilizează fie pentru realizarea
oscilatoarelor cu mare stabilitate a frecvenţei cu temperatura, fie pentru
filtre trece bandă cu benzi foarte înguste şi atenuări mari în banda de oprire.
Pentru oscilatoarele de mare stabilitate rezonatoarele se livrează
împreună cu termostatul corespunzător sau, în varianta rezonator compensat
cu temperatura TCXO împreună cu o reţea de rezistoare care, alimentate de
la o tensiune constantă, să aibă la ieşire o tensiune funcţie de temperatura
ambianţei, tensiune aplicată unui varactor în serie cu rezonatorul astfel încât
ansamblul varactor-rezonator să aibă un coeficient de temperatură al
frecvenţei de rezonanţă sub 10-8K-1. În situaţia în care se doreşte modificarea
frecvenţei oscilatorului în limite mici (sub 0,3% din frecvenţa proprie a
rezonatorului), eventual modularea sa directă în frecvenţă, rezonatorul se
CAPITOLUL 2
100______________________________________________________________________
livrează împreună cu o diodă varactor în serie, diodă căreia i se aplică
tensiunea de comandă a frecvenţei („rezonator comandat în tensiune
VCXO”). Stabilitatea cu temperatura şi factorul de calitate al ansamblului
rezonator, varactor, eventual bobină de compensare, sunt evident mai mici
decât ale rezonatorului însăşi.
Rezonatoarele discrete sunt utilizate în filtrele trece bandă
realizându-se cuadripoli în X sau în scară. În multe cazuri se livrează direct
filtrele trece bandă introducând într-o singură capsulă cablajul imprimat de
interconectare şi rezonatoarele discrete necesare.

2.3 Rezonatoare piezoceramice


Ceramica feroelectrică utilizată pentru realizarea de rezonatoare
piezoelectrice prezintă la temperaturi inferioare temperaturi Curie un centru
macroscopic de simetrie datorat atât structurii ceramice cât şi structurii de
domenii (deşi celula elementară a cristalelor feroelectrice creează o stare de
polarizaţie remanentă pe o direcţie identificată în continuare ca axă 0z),
ceramica feroelectrică posedând astfel o simetrie indusă de tip  m (axă de
simetrie de ordinul  şi o infinitate de plane de simetrie conţinând axa)
indiferent de simetria celulei elementare a cristalului de bază. Deci pentru
toate tipurile de ceramică feroelectrică utilizate în dispozitivele
piezoelectrice matricele permitivităţilor, ale coeficienţilor piezoelectrici şi
ale coeficienţilor elastici au următoarele forme particulare:
matricea permitivităţilor (formal identice matricele  S  ,  T  ,
   şi    )
S T

 11 0 0
    0 11 0 
 0 0  33 
CAPITOLUL 2
______________________________________________________________________101
matricea coeficienţilor piezoelectrici (formal identice matricele
 d  ,  e ,  g  ,  h )
0 0 0 0 d15 0
 d    0 0 0 d15 0 0
d31 d 31 d33 0 0 0

matricea coeficienţilor de elasticitate (formal identice matricele


 s  ,  s  , c  , c  )
E D E D

 c11 c12 c13 0 0 0 


c 0 
 12 c11 c13 0 0
c13 c13 c33 0 0 0 
 c   0 0 0 c44 0 0 


0 0 0 0 c44 0 
 c11  c12 
0 0 0 0 0 
 2 
Funcţie de simetria ceramicei piezoelectrice principalii coeficienţi
de cuplaj piezoelectric sunt următorii:
k31 definit pentru un câmp electric în lungul axei de polarizare
E 3  0  şi tensiuni mecanice în lungul axei 0x  T 1  0 

d 31
k31  ;
 33
T E
s11

kp definit pentru un câmp electric în lungul axei de polarizare


E 3  0  şi tensiuni mecanice izotrope în planul x0y  T 1  T 2  0 

2 d 31
kp  ;
1 E  33
T E
s11

s12E
unde  
E
este coeficientul Poisson la câmp constant;
s11E

k33 definit pentru câmp electric în lungul axei de polarizare


CAPITOLUL 2
102______________________________________________________________________
E 3  0  şi tensiuni mecanice paralele cu câmpul  T 3  0 

d 33
k33  ;
 33
T E
s33

k15=k24 definiţi pentru câmp electric în lungul axei ox  E 1  0 şi

tensiuni mecanice tangenţiale în planul x0z  T 5  0  sau câmp electric în

lungul axei 0y E 2  0  şi tensiuni mecanice tangenţiale în planul y0z

T 4  0

d15
k15 
11T s44
E

Valorile coeficienţilor nenuli din matricele proprietăţilor de


material, valorile coeficienţilor de cuplaj precum şi temperaturile Curie sunt
prezentate în tabelul 2-2 pentru câteva compoziţii din cele trei mari familii
de ceramică piezoelectrică cu utilizări practice: titanat de bariu, titanat-
zirconat de plumb, niobat de sodiu şi potasiu.
Tabelul 2-2
Proprietăţi de material ale ceramicelor piezoelectrice.
BaTiO3 Pb(Ti0,48 (Pb0,94Zr0,06) (Ka0,5Na0,5)
(ceramică) Zr0,52)O3 (Ti0,47Zr0,53)O3 NbO3
Temperatura 120 386 328 420
Curie (C)
 11
T
r
1620 1180 1475
 33r
T
1900 730 1300 290


d 31 10 12 C
N
 -79 -93,5 -123 -32

d 33 10 12 C 
N
191 223 289 80

d15 1012 C 
N
270 494 496

g 31 10 3 Vm
N
 -4,7 -14,5 -11,1 -12,6
CAPITOLUL 2
______________________________________________________________________103
BaTiO3 Pb(Ti0,48 (Pb0,94Zr0,06) (Ka0,5Na0,5)
(ceramică) Zr0,52)O3 (Ti0,47Zr0,53)O3 NbO3
g 33 103 Vm  N
 11,4 34,5 26,1 31,5

g15 103 Vm  N  18,8 47,2 39,4

kp 0,354 0,52 0,58 0,36


k31 0,208 0,31 0,33 0,22
k33 0,493 0,67 0,70 0,51
k15 0,476 0,69 0,71

12
s11 10 m 2 / N
E
 8,55 13,8 12,3 9,6
s12E 10 12
m2 / N -2,61 -4,07 -4,05
E
s 10
13  12
m /N2
 -2,85 -5,8 -5,31
E
s33 1012 m2 / N  8,93 17,1 15,5
E
s44 
10 12 m 2 / N  23,3 38,2 39,0
E
s66 1012 m 2 / N  22,3 38,4 32,7

c11E 109 N / m 2  166 13,9
c12E 10 9
N /m  2 76,6 7,78

c13E 109 N / m 2  77,5 7,43
E
c33 10 9
N / m2  162 11,5
E
c44 
109 N / m 2  42,9 2,56
E
c66 109 N / m 2  44,8 3,06

Principalele proprietăţi care recomandă ceramicele feroelectrice


pentru aplicaţii în dispozitivele piezoelectrice sunt:
valori mari ale coeficienţilor piezoelectrici şi ale coeficienţilor de
cuplaj piezoelectric (cu unu, două ordine de mărime mai mari decât la
cuarţ);
elasticitate ridicată (valorile coeficienţilor cu circa un ordin de
mărime mai mici decât la cuarţ);
stabilitate termică acceptabilă (inferioară stabilităţii termice a
cuarţului);
CAPITOLUL 2
104______________________________________________________________________
posibilitatea de realizare a oricărei forme constructive a
dispozitivului prin tehnologia ceramică.
Limitările în utilizarea ceramicelor feroelectrice se referă la
următoarele:
pierderi interne mult mai mari decât la monocristalele de cuarţ,
deci factori de calitate mai mici (sute, cel mult mii) pentru dispozitive
rezonante;
stabilitatea frecvenţei de rezonanţă cu temperatura (de ordinul
10-5K-1) mult inferioară dispozitivelor cu cuarţ, datorită dependenţei
coeficienţilor piezoelectrici de temperatură prin intermediul dependenţei de
temperatură a polarizaţiei remanente;
stabilitatea frecvenţei de rezonanţă în timp (de ordinul 210-4/an)
inferioară dispozitivelor cu cuarţ, datorită variaţiei în timp a coeficienţilor
piezoelectrici prin dezorientarea în timp a domeniilor ceea ce conduce la
scăderea polarizaţiei remanente.

2.3.1 Formele constructive şi frecvenţele de rezonanţă ale


principalelor tipuri de rezonatoare piezoceramice
Tehnologia ceramică permite în principiu, realizarea oricărei forme
constructive a rezonatorului. Se obţin astfel o multitudine de tipuri de
rezonatoare prin combinările posibile de forme constructive, direcţii de
polarizare remanentă şi tipuri de undă elastică în cristal. Dintre acestea în
continuare sunt prezentate numai acelea cu utilizare frecventă.

a. Rezonator bară cu undă longitudinală şi polarizaţie remanentă


perpendiculară pe direcţia de propagare a undei
CAPITOLUL 2
______________________________________________________________________105
Fie o bară paralelipipedică de piezoceramică cu lungimea 
(orientată în lungul axei 0x) mult mai mare decât lăţimea b şi grosimea h
(Fig. 2-28).
z y

F2
F1 h v2
 U
P
v1 x
b I

Fig. 2-28. Rezonator piezoelectric ceramic cu undă longitudinală şi polarizaţie
remanentă perpendiculară pe direcţia de propagare a undei.


Direcţia polarizaţiei remanente P prin convenţie este axa 0z.
Electrozii depuşi pe feţele paralele cu planul x0y permit aplicarea câmpului
electric pe direcţia 0z:
E1  0, E 2  0, E3  0 (2.77)
Deoarece lăţimea şi grosimea barei, sunt mici, neglijăm tensiunile
mecanice pe suprafeţele respective.
T 22  T 12  T 32  0
(2.78)
T 33  T 23  T 13  0

În regim armonic, pentru cristalul piezoelectric considerat, ecuaţiile


matriciale de legătură între mărimile de natură elastică şi mărimile de natură
electrică au forma
 S    s E T    dt  E 
 D    d T    T  E 
(2.79)

Ţinând seama de forma particulară a matricelor de material pentru


piezoceramică şi de relaţiile (2.77) şi (2.78), din sistemul (2.79) rezultă două
ecuaţii care caracterizează deformaţiile în lungul axei 0x.
E
S 1  s11 T 1  d 31 E 3 (2.80)
CAPITOLUL 2
106______________________________________________________________________
D 3  d 31T 1   33 E 3
T
(2.81)
Aceste ecuaţii sunt identice formal cu ecuaţiile (2.5) şi (2.6) care
caracterizau, în paragraful 2.2.1, efectul piezoelectric în cuarţ (diferenţele
intervin numai la unii indici inferiori datorită matricelor de material diferite
şi datorită aplicării pe alte axe a câmpurilor electrice în cuarţ şi în
piezoceramică). Procedând ca în paragraful 2.2.1 va rezulta că ecuaţiile
piezoelectrice (2.80) şi (2.81) vor deveni în bara piezoceramică o undă plană
longitudinală care se propagă pe direcţia 0x cu constanta de propagare
  j s11
E

unde  este densitatea materialului piezoceramic.


Schema echivalentă cu constante concentrate a barei piezoceramice
cu polarizaţie remanentă perpendiculară pe direcţia de propagare a undei
longitudinale este prezentată în Fig. 2-29, această schemă fiind formal
identică cu cea obţinută pentru bara de cuarţ în paragraful 2.2.1.

Dacă bara piezoelectrică din Fig. 2-29 este folosită ca rezonator cu


v1 v2
1 2
 
Z om th Z om th
F1 2 2 F2
Z om
1 sh  2
1:n

 bd 31
 n
s11 E

I Z oe
3 3

Fig. 2-29. Schema echivalentă cu constante concentrate a barei piezoelectrice din


Fig. 2-28.

extremităţile libere  F 1  0, F 2  0 atunci schema sa echivalentă obţinută


CAPITOLUL 2
______________________________________________________________________107
prin particularizarea schemei din
I
Fig. 2-29 este prezentată în Fig. 2-30.
3
R1 Frecvenţele de rezonanţă serie au
R0
U L1
expresia
C0 m 1
f s m   ,
C1 2 s11
E
3
unde m având valori întregi impare
Fig. 2-30. Schema echivalentă a
rezonatorului piezoelectric cu undă reprezintă ordinul armonicii pe care
longitudinală cu extremităţi libere.
rezonează bara piezoceramică cu
extremităţi libere.

b. Rezonator placă cu undă longitudinală şi polarizaţie remanentă


paralelă cu direcţia de propagare a undei
Fie o placă de piezoceramică cu lungimea  şi lăţimea b mult mai
mari decât grosimea h (Fig. 2-31).

y
z

h
F2 v2

b
 U
P
I
0 x

F1 v1
Fig. 2-31. Rezonator placă cu undă longitudinală şi polarizaţie remanentă paralelă
cu direcţia de propagare a undei.

Direcţia polarizaţiei remanente P este axa 0z. Electrozii depuşi pe
feţele paralele cu planul x0y permit aplicarea câmpului electric pe direcţia
0z:
CAPITOLUL 2
108______________________________________________________________________
E1  0, E 2  0, E3  0

Ţinând seama de matricea permitivităţilor rezultă:


D1  0, D 2  0, D3  0 (2.82)
În regim armonic, pentru cristalul piezoceramic considerat,
ecuaţiile matriceale de legătură între mărimile de natură elastică şi mărimile
de natură electrică au forma
T   c D  S    ht  D 
 E    h S     S  D 
(2.83)

Ţinând seama de forma particulară a matricelor de material pentru


piezoceramică precum şi de relaţiile (2.82), din sistemul (2.83) rezultă
următoarele două ecuaţii care caracterizează tensiunile elastice în lungul
axei 0z
D
T 3  c 33 S 3  h33 D 3 (2.84)
E 3   h33 S 3   33 D 3
E
(2.85)
Procedând ca în paragraful 2.2.1 (folosind ecuaţiile (2.84) şi (2.85)
în locul ecuaţiilor (2.5) şi (2.6)) va rezulta că relaţiile anterioare definesc în
placa piezoceramică o undă plană longitudinală care se propagă pe direcţia
0z cu constanta de propagare

  j D
c 33

unde  este densitatea materialului piezoceramic.


Schema echivalentă cu concentrate a plăcii piezoceramice cu
polarizaţie remanentă paralelă cu direcţia de propagare a undei longitudinale
este prezentată în Fig. 2-32. Această schemă diferă de cea din Fig. 2-29
(polarizaţia remanentă este perpendiculară pe direcţia de propagare a undei
longitudinale) numai în secţiunea electrică în care intervine impedanţa serie
 Z oe .
CAPITOLUL 2
______________________________________________________________________109
Dacă placa piezoceramică din Fig. 2-31 este folosită ca rezonator

cu extremităţi libere F 1  0, F 2  0  atunci schema sa echivalentă


obţinută prin particularizarea schemei din Fig. 1-45 este identică cu cea
prezentată în Fig. 2-8 (de menţionat că impedanţa serie Z oe modifică
expresiile mărimilor din braţul serie L1C1R1). Frecvenţele de rezonanţă serie
au
expresia

v1 v2
1 2
 
Z omth Z omth
F1 2 2
F2
Z om
1 sh  2
1:n

 bh31
 n
11 E
 Z oe

I Z oe
3 3

U
Fig. 2-32. Schema echivalentă cu constante concentrate a plăcii piezoceramice din
Fig. 2-31.

D
m c33
f s m   (2.86)
2h 

unde m având valori întregi impare reprezintă ordinul armonicei pe care


rezonează placa piezoceramică cu extremităţi libere.
Rezultatele anterioare (schema echivalentă cu constante
concentrate şi frecvenţele proprii de rezonanţă serie) sunt valabile şi pentru
CAPITOLUL 2
110______________________________________________________________________
un rezonator bară (Fig. 2-33) cu lungimea h mult mai mare decât celelalte
două dimensiuni în care se excită unda longitudinală pe direcţia lungimii,
polarizaţia remanentă fiind paralelă cu direcţia de propagare a undei.

I U
y x

F1  F2
 v2
P
v1 z
b
h
Fig. 2-33. Rezonator bară cu undă longitudinală şi polarizaţie remanentă paralelă cu
direcţia de propagare a undei.

c. Rezonator disc şi rezonator inel cu undă longitudinală în


grosime
În Fig. 2-34 sunt prezentate formele constructive ale rezonatoarelor
disc şi inel în care se excită unde longitudinale în grosime (direcţia de
propagare 0z).
z z

h  h
P 0 x U 0 x U
I I

y y

0 x 0 x

a b

Fig. 2-34. Rezonator disc (a) şi inel (b) cu undă longitudinală în grosime şi
polarizaţie remanentă paralelă cu direcţia de propagare a undei.

Dacă direcţia polarizaţiei este de asemenea axa 0z (paralelă cu


direcţia de propagare a undei) pentru rază mult mai mare decât grosimea,
toate consideraţiile din paragraful 2.3,b rămân valabile. Astfel schema
CAPITOLUL 2
______________________________________________________________________111
echivalentă cu constante concentrate a rezonatoarelor disc şi inel este cea
din Fig. 2-31, iar pentru extremităţi libere frecvenţele de rezonanţă serie au
expresia
D
m c33
f s m   (2.87)
2h 

unde m având valori întregi impare reprezintă ordinul armonicei.

z d. Rezonatorul disc cu undă


h  radială
P 0 x U
I În rezonatorul disc din Fig. 2-35,
y
având direcţia polarizaţiei remanente în
lungul axei 0z se pot excita unde radiale
0 x
(direcţia de deplasare a punctelor
materiale şi direcţia de propagare a undei
Fig. 2-35. Rezonator disc cu undă
radială şi polarizaţie remanentă în
coincid cu raza cercului; conturul discului
lungul axei 0z. păstrează în fiecare moment forma sa
circulară).
Transformând în coordonate cilindrice ecuaţiile piezoelectrice
(2.73) şi ecuaţia dinamicii (1.57) şi luând în consideraţie numai tensiunile
elastice şi deformaţiile specifice în lungul razei se pune în evidenţă unda
radială care se propagă în rezonatorul disc. Pentru extremităţi libere
frecvenţele de rezonanţă serie au expresia

m D
c33
f s m   (2.88)
2a  1   D 2 
unde a este raza discului,
D – coeficientul Poisson al materialului la inducţie constantă, (pentru
o forţă aplicată longitudinal coeficientul Poisson este raportul dintre
deformarea relativă transversală şi deformarea relativă longitudinală), iar
m sunt soluţiile ecuaţiei
CAPITOLUL 2
112______________________________________________________________________
1    J     J    0
D
1 m m 0 m (2.89)

în care J0(m) şi J1(m) sunt funcţiile Bessel de speţa 1-a (ordinul 0 respectiv
ordinul 1) cu argumentul m.
Pentru D=0,27 valoare caracteristică pentru majoritatea
piezoceramicelor rezultă 1=2,03 iar frecvenţa fundamentală de rezonanţă
serie are expresia
1 D
c33
f s 1  (2.90)
0,965a 

Deoarece întotdeauna ah într-un rezonator disc modul radial va


avea frecvenţele proprii de rezonanţă serie mai mici decât frecvenţele
proprii de rezonanţă serie ale modului longitudinal în grosime.

e. Rezonator bimorf cu undă transversală


Undele elastice transversale se obţin în rezonatoarele
piezoceramice în mod indirect, prin combinarea a două unde longitudinale
care se propagă defazate cu 180. Pentru a excita unde longitudinale
defazate se foloseşte un rezonator bimorf (Fig. 1-49) obţinut prin rigidizarea
a două bare piezoceramice cu polarizaţii remanente egale şi de sens opus
orientate în lungul axei 0z.
Cei trei electrozi depuşi pe feţele paralele cu planul x0y sunt
conectaţi astfel încât câmpurile aplicate pe direcţia 0z să aibă un defazaj de
180 între cele două jumătăţi ale rezonatorului bimorf.
Astfel se excită două unde longitudinale în lungul axei 0x care, prin
combinare, dau o undă transversală în planul x0z (direcţia de propagare
fiind 0x, iar direcţia de deplasare a punctelor materiale 0z).
Metoda folosită este similară celei prezentate în paragraful 2.2.4
CAPITOLUL 2
______________________________________________________________________113
pentru rezonatoare bimorfe cu cuarţ. De aceea şi tratarea matematică şi
rezultatele obţinute vor fi similare. Pentru rezonatorul cu extremităţile libere
frecvenţele proprii de rezonanţă serie au expresia

 m 2m2 h 1
fs  (2.91)
 3 2 s11E

unde m2 are, în funcţie de ordinul armonicii, valorile din paragraful 2.2.4.

f. Rezonatoare piezoceramice monolit


În varianta monolit rezonatoarele piezoceramice pot fi realizate în
interiorul unui bloc ceramic prin
rezonator
ceramic
legături de acest bloc (Fig. 2-36).
legături Forma şi distribuţia legăturilor trebuie
rezonator
corp
să asigure o influenţă minimă a
corp corpului şi a legăturilor asupra frec-
ceramic
venţelor proprii de rezonanţă,
Fig. 2-36. Rezonator piezoceramic în
varianta monolit. capacităţi parazite minime, construcţie
rigidă mecanic, tehnologie de realizare uşoară. Influenţa minimă a
legăturilor rezultă în cazul dispunerii acestora în noduri ale undei (de

electrozi exemplu în cazul undelor


longitudinale în grosime
legăturile distribuite la
jumătatea rezonatorului, Fig.
corp rezonator legături rezonator-corp
ceramic 2-37). Această soluţie nu
Fig. 2-37. Legătură distribuită în nodul undei
longitudinale în grosime. poate fi folosită practic din
următoarele motive:
 insuficientă rigiditate a structurii (legăturile trebuie să fie cât mai
subţiri);
 complicaţii în depunerea electrozilor;
CAPITOLUL 2
114______________________________________________________________________
apariţia unor frecvenţe de rezonanţă suplimentare datorită
rezonatorului din cauza electrozilor laterali.
Dacă pentru acelaşi tip de undă în rezonator, undă longitudinală în
grosime, legăturile se distribuie pe generatoare (două sau patru legături cu
grosimea 50 ... 100m distribuite simetric) este necesar, pentru separarea
rezonatorului de corp, ca lungimea b a legăturilor să fie un număr impar de
sferturi de undă

b   2m  1
4
Separaţia perfectă nu este posibilă prin metoda anterioară deoarece
în legătură nu apare numai un tip de undă ci sunt posibile mai multe tipuri
cărora le corespund lungimi de undă diferite. Experimental se constată că în
legătură predomină undele transversale, lungimea legăturilor, pentru
separaţie cât mai bună, fiind
b  0,252mh

unde h este grosimea rezonatorului, iar m este un întreg pozitiv.


Practic legăturile cu lungimea de mai sus distribuite pe generatoare
asigură, un spectru al frecvenţelor proprii de rezonanţă identic cu spectrul
rezonatorului liber. Singura cerinţă critică este ca legăturile şi corpul
ceramic să nu posede polarizaţie remanentă ceea ce ar introduce frecvenţe
proprii apropiate de cele ale rezonatorului (în acest scop cei doi electrozi se
scot pe părţi opuse ei nefiind suprapuşi nici peste legătură, nici peste corpul
ceramic). Asemenea rezonatoare monolit se pot folosi cu unde longitudinale
în grosime până la 3...4 MHz având
factori de calitate în domeniul 400...700.
Pentru frecvenţe în domeniul
4...25 MHz se folosesc rezonatoare
Fig. 2-38. Rezonator monolit definit
prin suprapunerea electrozilor.
definite în corpul ceramic prin
suprapunerea unor electrozi de suprafaţă
CAPITOLUL 2
______________________________________________________________________115
foarte mică (Fig. 2-38). Suprafaţa rezonatorului este limitată superior de
valoarea admisibilă a capacităţii proprii (distanţa dintre electrozi, jumătate
din lungimea de undă, este la aceste frecvenţe foarte mică). Pentru ca
marginile plăcii să nu influenţeze spectrul propriu al rezonatorului astfel
definit este necesar ca distanţa rezonator-margine să depăşească cu cel puţin
un ordin de mărime lungimea de undă a undelor transversale în placă. În
cazul rezonatorilor monolit definiţi prin suprapunerea electrozilor factorii de
calitate sunt numai de ordinul zecilor datorită îndeosebi amortizării
introdusă de corpul cu care rezonatorul este în contact.

2.3.2 Tehnologia rezonatoarelor piezoceramice


Tehnologia rezonatoarelor piezoceramice urmează etapele
obişnuite ale tehnologiei ceramice cu pretenţii deosebite privind exactitatea
conducerii proceselor şi stoechiometria structurii finale.
Prima etapă constă în realizarea structurii piezoceramice pornind de
la compuşi ai elementelor de bază (oxizi, carbohidraţi etc.); foarte
importante sunt temperatura de palier şi duratele procesului termic, mărimi
care trebuie să fie respectate cu stricteţe. Materialul piezoceramic obţinut
este măcinat, urmând o selectare a granulelor după dimensiuni. Cu ajutorul
unui liant, din granulele respective, se realizează prin presare în matriţe
rezonatoarele de forma dorită. Presarea poate avea loc la temperatura
ambiantă rezultând cristalite cu dimensiuni mai mari decât 2 m, deci
densitate mică a materialului şi performanţe piezoelectrice relativ modeste,
sau la temperaturi ridicate („presare la cald”) rezultând dimensiuni ale
cristalitelor sub 2 m şi corespunzător densitate mare şi performanţe
piezoelectrice superioare. Alegerea formei constructive, de obicei dintre cele
indicate în paragraful 2.3.1 este condiţionată îndeosebi de frecvenţa de
rezonanţă serie necesară. Pentru frecvenţe joase, sub 10 kHz, se folosesc
rezonatoare bimorfe cu undă transversală. Domeniul frecvenţelor medii
CAPITOLUL 2
116______________________________________________________________________
(10...500 kHz) este acoperit, în ordine, de rezonatoare bară cu undă
longitudinală şi de rezonatoarele disc cu undă radială. Pentru frecvenţe între
500 kHz...10 MHz se recomandă undele longitudinale în grosime în
rezonatoarele placă, disc sau inel şi în variante monolit. Peste 10 MHz de
obicei se folosesc rezonatoare disc discrete funcţionând pe armonici sau
rezonatoare inel în variante monolit.
Forma obţinută prin presarea este supusă unui tratament termic
final care reprezintă atât etapa finală a formării structurii piezoceramice cât
şi, prin evaporarea liantului, etapa de rigidizare mecanică a rezonatorului.
Electrozii se depun pe feţele rezonatorului fie din pastă supusă unui
tratament termic de reducere (electrozii din argint), fie prin evaporare în vid
(electrozii din argint sau aur).
Procesul următor este tratamentul de polarizare care creează în
piezoceramică starea de polarizaţie remanentă necesară punerii în evidenţă a
proprietăţilor piezoelectrice. Este preferabil ca starea de polarizaţie
remanentă să se obţină prin aplicarea unor tensiuni continue pe aceeaşi
electrozi pe care în timpul utilizării dispozitivului se vor aplica tensiunile
alternative de lucru (toate formele constructive din paragraful 2.3.1
îndeplinesc această condiţie). În cazul în care funcţional sunt necesare
polarizări remanente pe alte direcţii atunci se depun electrozi suplimentari
care, după realizarea tratamentului de polarizare, se îndepărtează.
Tratamentul de polarizare se poate realiza la câmpuri de 2...4
kV/mm aplicate timp de 0,5...2 h dispozitivul încălzit în dielectric lichid la
temperaturi de 70...180C. Dielectricul lichid, de obicei uleiuri
silicoorganice, asigură o răcire mai bună a dispozitivului preîntâmpinând
atât străpungerea termică în volumul său cât şi străpungerea de margine.
Alegerea regimului de polarizare (valoarea câmpului, durata aplicării,
CAPITOLUL 2
______________________________________________________________________117
temperatura) influenţează atât coeficientul de temperatură al frecvenţei de
rezonanţă cât şi stabilitatea sa în timp.
Pentru a evita străpungerile în piezoceramică, tratamentul de
polarizare poate fi efectuat la o valoare mai mică a câmpului încălzind
dispozitivul până la 400-500C, temperatură la care datorită marii
conductivităţi a materialului se neutralizează sarcinile de volum apărute la
graniţele dintre domenii şi dintre cristalite. Apoi dispozitivul se răceşte lent
până la o temperatură superioară cu circa 10C temperaturii Curie după care
se aplică un câmp de polarizare de 0,15...0,25 kV/mm. În prezenţa câmpului
temperatura scade în timp de 15...60 minute până la temperaturi inferioare
temperaturii Curie obţinând în acest fel o stare de polarizaţie remanentă de
valori satisfăcătoare. În procesul prezentat este esenţială trecerea
piezoceramicei prin temperatura Curie în prezenţa câmpului electric. Durata
procesului şi chiar valoarea câmpului au o mai mică influenţă asupra valorii
polarizaţiei remanente. Deşi intensităţile câmpului electric aplicat sunt mici,
datorită temperaturilor ridicate la care are loc tratamentul de polarizare
pericolul străpungerii termice a dispozitivului se menţine în special pentru
piezoceramicele cu pierderi dielectrice mari.
Tratamentul de polarizare se poate realiza de asemenea la
temperaturi ambiante fiind necesare în acest caz câmpuri electrice de valori
ridicate (5...10 kV/mm) la care pericolul de străpungere termică este ridicat.
Pentru a evita străpungerea de obicei câmpurile se aplică în impulsuri cu
durata de maximum 200 ms.
După polarizare rezonatorul se protejează printr-un strat protector
cu mari coeficienţi de elasticitate, eventual se încapsulează în capsule de
metal, plastic sau ceramică. Pentru stabilizarea performanţelor în timp
rezonatorul încapsulat este supus unui tratament termic final („îmbătrânire
artificială”).

S-ar putea să vă placă și