Lucrare NPM

1. Explicați tehnicile STM și AFM.

Microscopul electronic de baleiaj cu efect tunel (STM) și microscopul de forţă atomică (AFM)
sunt cunoscute sub denumire generală de microscoape cu sondă locală. Un microscop cu sondă
de scanare folosește o sondă cu vârful extrem de fin (uneori terminându-se în doar câţiva
atomi), care trece peste o suprafaţă atingându-i contururile și formele.

*rincipiul metodei constă

intr-o sondă microscopică
mişcată cu precizie pe
suprafaţa
membranei de eaminat de
către un element
piezoelectric, sub control
electronic n timpul
baleierii se realizează,
practic, condiţii pentru o
interacţiune sau o separare
constantă "ntre
atomi terminali ai sondei şi
cei ai suprafeţei eaminate
?nformaţia principală este
profilul
tridimensional de
interacţiune constantă
Microscopia de baleia' prin
efect tunel furnizează
imagini tridimensionale de
"naltă
rezoluţie ale suprafeţei unei
probe conductoare, prin
măsurarea curentului apărut
prin efect
tunel "ntre probă şi sondă,
când (ârful acesteia baleiază
eponenţial cu distanţa
dintre (ârf şi
probă
*rincipiul metodei constă
intr-o sondă microscopică
mişcată cu precizie pe
suprafaţa
membranei de eaminat de
către un element
piezoelectric, sub control
electronic n timpul
baleierii se realizează,
practic, condiţii pentru o
interacţiune sau o separare
constantă "ntre
atomi terminali ai sondei şi
cei ai suprafeţei eaminate
?nformaţia principală este
profilul
tridimensional de
interacţiune constantă
Microscopia de baleia' prin
efect tunel furnizează
imagini tridimensionale de
"naltă
rezoluţie ale suprafeţei unei
probe conductoare, prin
măsurarea curentului apărut
prin efect
tunel "ntre probă şi sondă,
când (ârful acesteia baleiază
eponenţial cu distanţa
dintre (ârf şi
probă
STM- principiul metodei constă intr-o sondă microscopică mişcată cu precizie pe suprafaţa
membranei de examinat de către un element piezoelectric, sub control electronic. În timpul
baleierii se realizează, practic, condiţii pentru o interacţiune sau o separare constantă între
atomii terminali ai sondei şi cei ai suprafeţei examinate. Informaţia principală este profilul
tridimensional de interacţiune constantă. Microscopia de baleiaj prin efect tunel furnizează
imagini tridimensionale de înaltă rezoluţie ale suprafeţei unei probe conductoare, prin
măsurarea curentului apărut prin efectul tunel între probă şi sondă, când vârful acesteia
baleiază exponenţial cu distanţa dintre vârf şi probă. Procedeul este caracterizat de o înaltă
rezoluţie, imaginile obţinute fiind la o scară subnanometrică, dar este limitat de conductivitatea probei,
ceea ce restrânge aplicaţiile considerabil, având în vedere faptul că cele mai multe membrane sunt
realizate din materiale polimerice neconductive. Totuşi pot fi uizualizate structurile unor materiale
precum polietilena, atunci când sunt depuse pe un strat conductiv (grafit pirolitic înalt orientat sau aur).
Metoda este folosit la analiza membranelor impermeabile , membrane de solubilitate sau folii.

AFM- microscopul cu Forța Atomică a devenit cea mai folosită tehnică a SPM-ului
( Scanning Probe Microscopy),servind doar pentru analiza topografica a suprafetelor. Cu ajutorul AFM-
ului se pot obține imagini tridimensionale ale suprafețelor (izolatoare sau conductoare) cu o
rezoluție nano lateral si subangstrom – vertical. Marele avantaj al AFMului este ca poate opera in
aer, vid si lichide la diferite temperaturi. Acest aparat este utilizat atat in cercetarea fundamental, cât
și la scală mai mare, în industrie AFMul având un rol deosebit de important în dezvoltarea
nanotehnologiei.

2. Tehnici de litografie utilizate în NPM

Litografia – tehnică de transfer a copiei unei configurații geometrice pe o suprafață.

Fotolitorafia – transferul copiei unei configurații geometrice pe suprafața unui material

fotosensibil (fotorezist), prin expunere la radiație UV.

Tehnica Lift-off - realizază configurații în straturi metalice

• Etape:

1. Se configurează prin fotolitografie un strat rezist pe suprafața plachetei

2. Se depune un strat de metal, prin evaporare, peste stratul configurat de rezist

3. Se îndepartează rezistul (chimic sau in plasma), îndepărtându-se astfel și metalul de deasupra

Vitroceramicile fluorescente fotosensibile pentru stocarea optică 3D a informației.

Litografia cu fascicul de electron :

a) Litografia scrierii directe, pentru care se foloseşte un singur fascicul de electroni care este
scanat după o matrice pe suprafaţa unui material.

b) Litografia optică, pentru care se foloseşte proiecţia optică a fasciculului pe suprafaţa de

prelucrat, fie prin lentile obişnuite, fie prin lentile speciale sub forma unei plăci conductive
realizând o expunere de mare precizie şi de mare productivitate.