BUZEA SILVIU;

NR 2

Algoritmul TEM (Transmission Electron Microscopy)

START

PREGATIRE
ECHIPAMENT

PREGATIRE PROBE
DE ANALIZAT

SCANARE PROBE DE
ANALIZAT

NU
VERIFICARE REZULTATE

DA

ANALIZARE
REZULTATE

STOP
BUZEA SILVIU
NR. 2

Caracterizare algoritm:

1. Start – primul pas, aici se ia decizia ca proba sa fie analizata folosind metoda TEM.
2. Pregatire echipament – in acest pas microscopul este verificat (conexiuni electrice, ne asiguram ca
nu sunt particule de praf etc), il pornim (ne asiguram ca este in stare buna de functionare, fara
erori).
3. Pregatirea probei de analizat – proba se manipuleaza cu grija, se aseaza in echipament.
4. Scanarea probei de analizat – o raza de electroni trece prin proba, iar o imagine se formeaza ca
rezultat al interactiunii dintre electroni si proba. Imaginea este marita si afisata pe un echipament
de afisat.
5. Verificare rezultate – verificarea rezultatelor are loc, si anume gradul de claritate al acestora, daca
se constata neconformitati procesul se reia conform algoritmului prezentat.
6. Analizare rezultate – rezultatele sunt analizate de catre specialisti, iar datele furnizate de aceasta
metoda de analiza sunt trecute intr-un registru.
7. Stop – procesul se incheie.
BUZEA SILVIU
MSFNs-002
TEMA 2

Masurare a structurilor functionalizate cu TEM

INTRODUCERE

Observarea obiectelor si fenomenelor din natura este unul din principalele

procese care au contribuit la realizarea de noi descoperiri, din cele mai vechi timpuri.
Interesul pentru investigarea obiectelor de dimensiuni foarte mici a condus la
construirea primelor microscoape optice, in secolul al XVII-lea. Dupa mai bine de doua
secole, se incepea caracterizarea sistematica a materialelor din punct de vedere
microstructural, prin microscopie optica [1]. De-a lungul secolului trecut, progresul foarte
rapid in stiinta si tehnologie s-a datorat in mare masura si dezvoltarii tehnicilor de
analiza a materialelor la scara micro- si nanometrica.

Microscopia electronica a fost prima tehnica ce a permis observarea atomilor

individuali ai materialelor. Bazele teoretice ale microscopiei electronice au fost puse de
catre Hans Busch in 1926, la mai putin de doi ani de cand fizicianul Luis de Broglie a
formulat, in lucrarea sa de doctorat, faimoasa ipoteza a dualitatii unda-corpuscul a
materiei [2]. Implementarea practica a microscopiei electronice a fost realizata la
Universitatea Tehnica din Berlin de catre Max Knoll si Ernst Ruska in 1931. Cu toate ca
rezolutia primelor microscoape electronice era mult mai slaba decat cea prevazuta
teoretic, tehnica a fost imbunatatita treptat, ajungand in primii ani sa depaseasca
rezolutia microscoapelor optice, iar in prezent sa coboare sub 1Å [3,4]. Microscopia
electronica a avut de-a lungul timpului o contributie deosebit de importanta intr-o
varietate de domenii, atat in cercetare cat si in industrie: stiinta materialelor,
cristalografie, metalurgie, constructii, medicina, biologie etc. Poate mai putin cunoscuta
pentru fizicieni si chimisti este contributia microscopiei electronice la dezvoltarea unei
noi ramuri a biologiei – biologia celulara. De exemplu, toate organitele celulare au fost
caracterizate initial sau chiar descoperite prin microscopie electronica [5]. Mai mult,
biologul roman George Emil Palade a primit Premiul Nobel pentru Fiziologie si Medicina
in 1974, pentru cercetari realizate prin microscopie electronica, in domeniul biologiei
celulare [6].
Microscopia electronica prin transmisie

Primele experimente care au condus la ideea folosirii electronilor in sisteme de

microscopie au fost realizate de fizicianul german Hans Busch in 1926. Acesta a stabilit
si fundamentele teoretice ale microscopiei electronice. In urma studiilor sale asupra
traiectoriei particulelor incarcate electric in campuri electrice si magnetice avand
simetrie axiala, a aratat ca respectivele campuri ar putea actiona asupra fasciculelor de
particule precum lentilele optice actioneaza asupra fasciculelor luminoase [2].

Figura 1: Reprezentare schematica a elementelor de baza ale unui TEM

Primul sistem de microscopie electronica prin transmisie a fost realizat in anul

1931 de catre Max Knoll si Ernst Ruska la Universitatea Tehnica din Berlin. In 1933,
grupul acestora a construit primul sistem avand rezolutie mai buna decat cea a
microscoapelor optice [3]. Lui Ernst Ruska i-a fost acordat Premiul Nobel pentru Fizica
in 1986, „pentru activitatea sa fundamentala in optica fasciculelor electronice si pentru
proiectarea primului microscop de electroni”.

Principiul functionarii microscoapelor electronice prin transmisie (TEM,

Transmission Electron Microscope) este foarte asemanator cu cel al microscoapelor
optice, folosindu-se lentile magnetice in locul celor optice, iar locul fotonilor este luat de
electroni. Electronii sunt accelerati in vid, la viteze la care lungimea de unda asociata
este egala cu pana la a suta mia parte din lungimea de unda a luminii vizibile. Imaginile
sunt create de fasciculul de electroni care traverseaza proba si care interactioneaza
apoi cu un sistem de detectie (film fotografic, ecran fluorescent, element CCD –charge-
coupled device etc.) [4].
Fasciculul de electroni, ce provine de la un tun de electroni, este focalizat de
ansamblul de lentile-condensoare pana la un diametru de 2-3 μm si, dupa ce
traverseaza proba, este preluat de ansamblul format din lentila-obiectiv, lentila
intermediara si lentila de proiectie pentru a proiecta imaginea pe un ecran si/sau mediu
de inregistrare (Figura 1).

Tunul de electroni poate fi de doua feluri: cu emisie termoelectronica sau cu

emisie de camp. In cazul emisiei termoelectronice catodul este un filament incalzit
electric la peste 2500 K. In cazul emisiei de camp catodul este un varf extrem de
ascutit, avand raza de curbura de ordinul zecilor de nanometri, iar electronii sunt emisi
prin efectul de tunelare datorat campului electric foarte puternic din imediata vecinatate
a varfului respectiv.

Lentilele electromagnetice folosesc campuri magnetice foarte puternice pentru a

devia fasciculul de electroni. Ele au in componenta un solenoid invelit intr-un material
magnetic, cu doua piese polare (N si S) intre care se afla o mica deschidere de forma
inelara (Figura 2). Campul magnetic generat de curentul electric care trece prin solenoid
este concentrat in spatiul (deschiderea) dintre cele doua piese polare. „Marirea” unei
lentile electromagnetice se poate controla simplu prin modificarea intensitatii curentului
electric din solenoid.

Figura 2: Reprezentarea schematica a unei lentile electromagnetice

Ansamblul de lentile-condensor controleaza diametrul si convergenta fasciculului

de electroni incident pe proba. Atat aria suprafetei „iluminate” de fasciculul incident, cat
si intensitatea acestuia, sunt controlate prin varierea intensitatii curentului electric din
ansamblul de lentile-condensor.

Cu ajutorul lentilei intermediare se poate selecta modul de operare al

microscopului (Figura 3): difractie sau imagistica. Pentru modul de difractie (Figura 3 a),
lentila intermediara este focalizata pe planul focal posterior al lentilei obiectiv, acolo
unde se formeaza figura de difractie. Apertura pentru difractie de electroni pe arie
selectata (selected area diffraction –SAD) se pozitioneaza astfel incat sa lase sa treaca
numai acea componenta a fasciculului de electroni care provine de pe aria de interes a
probei. Pentru modul de 16

imagistica (Figura 3 b), lentila intermediara este focalizata pe planul-imagine al lentilei-

obiectiv. Cu ajutorul aperturii obiectivului se poate selecta unul dintre maximele figurii
de difractie, corespunzator fie fasciculului transmis, fie unuia dintre fasciculele
difractate, pentru imagistica in camp luminos, respectiv in camp intunecat (Figurile 4–6).
Lentila-proiector mareste in continuare imaginea rezultata (a doua imagine
intermediara) atat in modul de difractie, cat si in modul de imagistica si o proiecteaza pe
ecran.

a) b)

Figura 3: Reprezentarea schematica a drumului „optic” pentru: a) modul de

difractie (SAD este diafragma pentru difractie de electroni pe arie selectata –
Selected Area Diffraction); b) modul de imagistica
 Datorita adancimii de pantrundere relativ mici a electronilor in solide, grosimea
probelor trebuie sa fie foarte mica: 100-1000 Å pentru microscoapele conventionale, cu
tensiuni de accelerare de 50-200 kV, respectiv cateva mii de Å pentru microscoapele cu
tensiuni de accelerare de pana la 3 MV. Desigur, grosimea optima a probei depinde de
material: cu cat este mai mare numarul atomic, cu atat este mai puternica imprastierea
electronilor, deci grosimea trebuie sa fie mai mica. Probele pot fi subtiate prin mijloace
mecanice (slefuire) pana la o grosime de ~0,1 mm. Pentru a atinge grosimea finala se
pot folosi tehnici precum: ultra-microtomia (pentru polimeri, probe biologice), subtierea
electrolitica (pentru probe din materiale conductoare), subtierea prin bombardament
ionic (ion milling), clivarea, sau, mai recent, utilizarea unui sistem de tip dual beam (un
SEM care are doua sau mai multe tunuri ionice cu ajutorul carora se decupeaza folii
subtiri prin taiere cu fascicule ionice –Ga, Ar, Pt etc. –dintr-un corp solid).
Suportul probelor este, de obicei, o retea de material conductor, cu ochiurile suficient de
mici pentru a permite fixarea probelor fragile, de dimensiuni mici.
Experimentele TEM se desfasoara in atmosfera de vid pentru a reduce cat mai mult
coliziunile dintre electronii accelerati si moleculele de gaz remanent, coliziuni care duc
la pierderi semnificative de energie din partea electronilor.

Aparitia contrastului in imaginile TEM poate fi explicata astfel [7]: la trecerea prin
material, fluxul de electroni pierde o parte din intensitate datorita imprastierilor;
pierderea este mai mare pentru zonele mai groase sau pentru zonele cu specii avand
numere atomice mai mari. Daca apertura obiectivului elimina efectiv electronii
imprastiati, zonele mai groase si cele cu specii cu numere atomice mai mari vor aparea
mai intunecate. Acest tip de contrast se numeste contrast de densitate. In cristale
imprastierea elastica a electronilor duce la aparitia asa-numitului contrast de difractie. 1
 Contrastul de densitate apare pentru orice fel de material si este principalul
mecanism de formare a imaginilor TEM pentru probele din materiale amorfe. Pentru a
imbunatati acest tip de contrast in cazul probelor biologice, acestea pot fi tratate cu
solutii care contin oxizi de metale grele. Ionii metalelor respective pot patrunde in mod
selectiv in anumite structuri ale probelor, crescand astfel contrastul. Pe langa aceasta
metoda, contrastul poate fi imbunatatit prin scaderea dimensiunii aperturii obiectivului
sau prin folosirea unei tensiuni de accelerare mai mici. Aceste metode prezinta in
schimb dezavantajul scaderii luminozitatii totale a imaginilor.
Contrastul de difractie apare in cazul probelor cristaline sau policristaline,
electronii fiind imprastiati, in mod similar radiatiilor X, de familii de plane cristaline
paralele. Figura de difractie se formeaza in planul focal posterior al lentilei-obiectiv
(Figura 4).

Figura 4: Figura de difractie tipica pentru o proba monocristalina

Prin obturarea selectiva a anumitor maxime din figura de difractie se pot obtine
imagini in camp luminos sau in camp intunecat. In cazul imagisticii in camp luminos este
lasat sa treaca numai maximul central –care corespunde fasciculului de electroni
nedeviati. In aceste imagini poate sa apara atat contrast de densitate, cat si contrast de
difractie. Imagistica in camp luminos este folosita pentru inspectarea aspectului general
al probelor, pentru determinarea dimensiunilor si morfologiei nanostructurilor etc. In
cazul imagisticii in camp intunecat (Figurile 5 b,c, 6 b) este lasat sa treaca unul din
maximele de difractie. Astfel, contributia la formarea imaginilor este data in principal de
cristalitele care indeplinesc conditia de difractie data de maximul respectiv. Defectele
retelei precum dislocatiile, incluziunile avand alta cristalinitate apar ca zone intunecate.

Figura 5: Mersul fasciculelor pentru: a) imagine in camp luminos; b) si c) imagine

in camp intunecat. I0, Id, It reprezinta intensitatile fasciculelor incident, difractat
si, respectiv, transmis. Se observa in b) si c) ca un maxim de difractie poate fi
selectat fie prin pozitionarea corespunzatoare a aperturii, fie prin modificarea
directiei fasciculului incident
 Figura 6: Selectarea unui maxim de difractie, pentru imagine in camp luminos a)
si intunecat b)

Contrastul de faza poate oferi detalii semnificative asupra naturii periodice a

cristalelor, in microscopia de inalta rezolutie (HRTEM –high resolution transmission
electron microscopy). Analizele HRTEM permit determinarea structurii atomice a
probelor. Totusi, contrastul observat direct (Figura 7) in aceste imagini nu corespunde
intotdeauna cu structura atomica propriu-zisa, fiind necesare simulari numerice pentru
interpretarea caracteristicilor imaginilor in termeni de structura atomica.
 Figura 7: Imagine de contrast de faza (HRTEM) a unui nanofir de siliciu

In experimentele clasice TEM pentru studiul fenomelelor de suprafata se

foloseau foarte des probe preparate dupa cum urmeaza [17]. Pe suprafata unui cristal
de halogenura alcalina, clivata in vid, este depus un strat metalic cu o grosime de ~10
Å. Datorita grosimii extrem de mici, metalul nu formeaza un strat continuu, ci mai
degraba se distribuie intr-un numar mare de insule mici. Peste acestea se depune apoi
un strat subtire de carbon, pentru fixare. Stratul respectiv este apoi detasat usor prin
scufundarea cristalului de halogenura in apa si poate fi folosit in experimentele TEM.
Aceste experimente urmareau doua aspecte importante: mecanismele nucleatiei,
cresterii si fuzionarii insulelor metalice si structura treptelor de pe suprafetele de
halogenuri alcaline (prin studiul nucleatiei preferentiale de-a lungul marginilor treptelor).
Trebuie mentionat ca in prezent se folosesc cu precadere tehnicile SEM, STM si AFM
pentru studiul acestor fenomene si proprietati.

Aceasta tehnica este extrem de utila pentru analiza structurii cristaline a

probelor, similar cu difractia de raze X.
La trecerea fasciculului de electroni printr-o proba cristalina (Figura 8), o familie de
plane (hkl) foarte putin inclinate fata de directia fasciculului incident (< 1–2°) poate sa
genereze un maxim de difractie.
 Figura 8: Formarea figurii de difractie pentru difractia de electroni in TEM

Prin manevrarea aperturii pentru SAD se poate selecta o anumita parte a probei
(din imaginea TEM) pentru care sa se inregistreze figura de difractie. Aceasta
particularitate este deosebit de importanta in cazul probelor policristaline si permite
analiza zonelor de dimensiuni foarte mici (~100nm). Prin comparatie, utilizand difractia
de raze X se pot analiza zone ale probelor avand dimensiuni de ordinul milimetrilor.
 BIBLIOGRAFIE

[1] T. Pradeep, Nano: The Essentials. Understanding nanoscience and nanotechnology, Tata
McGrawHill Publishing Company Ltd., New Delhi, 2007.

[2] C.W. Oatley, The early history of the scanning electron microscope, in Journal of Applied
Physics, vol. 53, no. 2, 1982.

[3] Nobel Lectures, Physics 1981-1990, Editor-in-Charge Tore Frängsmyr, Editor Gösta Ekspång,
World Scientific Publishing Co., Singapore, 1993.

[4] Y. Leng, Materials Characterization – Introduction to Microscopic and Spectroscopic

Methods, John Wiley and Sons (Asia), Singapore, 2008.

[5] What is interesting about the history of electron microscopy? online article, Basic Science
Partnership, Harvard Medical School, http://bsp.med.harvard.edu/node/220.

[6] Tribute to Professor George E. Palade, in Journal of Cellular and Molecular Medicine, vol. 11,
no. 1, January/February 2007, pp. 2-3.

[7] K. Oura, V.G. Lifshits, A.A. Saranin, A.V. Zotov, M. Katayama, Surface Science – An
Introduction, Springer-Verlag Berlin Heidelberg, 2003.