Metode de microscopie electronică de cercetare

a materialelor Tema 4
1. Microscopul electronic - produce o imagine marita electronic a unui specimen
pentru o observare in detaliu.
2. Microscopul electronic foloseste electronul pentru a ilumina specimenul si pentru a
crea o imagine marita a acestuia.
3. Microscopul are o rezolutie superioara in comparatie cu microscoapele
optice deoarece foloseste electroni care au o lungime de unda de aproximativ 100.000
mai scurta decat lumina vizibila si poate obtine o imagine marita de pana la 2.000.000.
Microscoapele obisnuite obtin o imagine marita de pana la 2000.
5. Microscopul electronic utilizeaza lentile electrostatice si electromagnetice pentru a
controla fasciculul de electroni astfel incat sa fie focusat pe formarea unei imagini
clare. Aceste lentile sunt analoage, de asemenea, dar diferite de lentilele din sticle ale
unui microscop optic, care formeaza imaginea marita prin focusarea luminii catre si
prin specimen.
Fenomenele interacțiunii electronilor cu suprafața materialului
Interacțiuni:
 - elastice, interacțiunea electronilor din fasciculul primar cu nucleele atomilor.
 - neelastice, interacțiunea electronilor din fasciculul primar cu electronii.
Interacțiunea generează: particule și unde electromagnetice:
- electroni Auger, ionizare interna a atomilor probei are loc reanjarea electronilor din
învelișul electronic, cu expulzarea unui electron de energie caracteristică speciei atomice
care l-a emis.
- electronic secundari,
- electroni retroîmprăștiați,
- radiație X caracteristică, emiși de atomii probei.
- electroni absorbiți,
- Electroni transmiși,
- Catodoluminiscență,
PRINCIPIUL FIZIC AL MICROSCOPULUI ELECTRONIC

 In transmisie, fasciculul de electron este mai intîi difractat de către

specimen, iar apoi – lentilele refocusează fasciculul intr-o imagine
transformata de tip Fourier a sablonului de difracție pentru aria
selectata de investigație.
 Imaginea reala formata astfel este o imagine extrem de marită – de
ordinul milioanelor de ori, care poate fi mai apoi inregistrată pe un
disc fotografic special sau poate fi vizionata pe un ecran.
 Microscopia electronică de baleiaj (SEM)
 Microscopia electronica de baleiaj (SEM) constituie o metoda de
investigatțe care poate oferi informații relevante in legatură cu structura şi
starea suprafeţelor materialelor.
 Metoda prezinta avantajul unor măriri care le depasesc cu mult pe cele
permise de microscoapele optice (2.000.000x fata de 2000x) si se
caracterizează printr-o adăncime de cămp mult mai mare.
 Tehnicile uzuale de SEM permit obținerea unor informații referitoare la:
- topografia suprafeței probei sau la
- natura atomilor (prin intermediul detectorului de electroni secundari,
 Microscoapele moderne sunt completate cu dispozitive care permit
identificarea elementelor chimice (de la Be la U) folosind spectroscopia de
radiație X emisa de proba (EDX).
Capacitățile fizice a metodei
 Electronul / particulă și undă electromagnetică, L. de Broglie,
1924.
 Lungimea de undă - variabilă, crește viteza electronilor - crește
lungimea de undă.
 La U= 100 000 V, lungimea de undă=0,004 nm.
 Rezoluția teoretică/calculată = 0,002 nm. Limitată de aberațiile
lentilelor electromagnetice.
 Probe biologice pot fi observate la o rezoluție de 2 nm (20 A).
 Există ME cu rezoluții de 2-3 A, și 1,2-1,4 A, cu putere de mărire
de 800 000 ori. Deci rezoluția apropiată de dimensiunea Atomului
de hidrogen, 1 A.
 Microscopia electronică de baleiaj (SEM)

AVANTAJELE:
 - probele nu necesita o pregătire specială.
 - pot fi examinate fără a fi prelucrate.
Microscoapele electronice dual beam permit si folosirea
unui fascicul de ioni, alături de fascicolul de electroni.
 Microscoapele electronice prin baleiaj pot analiza atăt
probe conductoare cat si probe neconductoare, in vid
înaintat sau in vid slab.
 Microscopia electronică de baleiaj (SEM)
Domeniile specifice de utilizare:
 - Analiza stării suprafeței (inclusiv a suprafețelor de rupere);
 - Evidențierea structurii microscopice fine (rezoluții de pana la 2 nm).
 - caracterizarea calitativă şi cantitativă a pulberilor şi particulelor rezultate
ca urmare a sintezei chimice.
 - identificarea şi caracterizarea straturilor epitaxiale
 - analiza calitativă şi cantitativă a stării celulelor biologice într-o stare cât
mai apropiată
 - Analiza compozitionala calitativa si cantitativa (punctiforma, pe o directie
sau pe o anumita suprafata)
 - Masurarea precisă a caracteristicilor foarte mici şi obiecte (până la 5 nm)
 - Prelucrarea cu fascicul de ioni (tăiere, sudare) si vizualizarea cu fascicul de
electroni (inclusiv prelucrarea probelor pentru microscopia electronica prin
transmisie).
 Microscopia electronică de transmisie (TEM)

 Tehnica de obţinere a probelor TEM prin metoda FIB este

deosebit de importantă pentru caracterizarea materialelor şi
tehnologiilor întrucât permite obţinerea unor probe TEM de
dimensiuni 10 x 20 µm ridicate exact din locul de interes.
 Această tehnică modernă de prelevarea a lamelelor TEM este
indispensabilă atât în domeniul tehnologiilor informaţiei si
comunicaţiilor, biotehnologiilor cât şi în cel al produselor,
proceselor şi materialelor inovative sau domenii conexe
acestora.
Ce se obține prin cercetare cu SEM? (MEB)

 - Cunoştinţele de bază privitoare la structura și proprietățile unor

materiale avansate și inginerești.
 - Cunoștințe necesare înţelegerii proceselor de transformare la fabricarea
și procesarea materialelor avansate.
 - Cunoștințe de natură fizico-chimică referitoare la funcționarea
echipamentelor avansate de investigație a structurii materialelor avansate
prin microscopie electronică cu baleiaj (SEM) (MEB).
Microscop electronic de baleiaj cu dispozitiv EDAX
– HITACHI S2600N
 Caracteristici:
 Analiza imaginii cu electroni secundari (SEI)
rezoluţie până la 4.0 nm (la 25kV în vid
înaintat), domeniul de mărire 15x…300.000x,
tensiunea de accelerare 0,5kV…30kV;
 Analiza imaginii cu electroni
retroîmprăştiaţi (BSE) rezoluţie până la 5.0
nm (la 25kV în presiune variabilă), domeniul
de presiune 1…270 Pa, domeniul de mărire
15x…300.000x;
 Microanaliza calitativa si cantitativa prin
spectrometrie de raze X (EDS).
 Thermo Scientific Prisma E SEM este primul
SEM cu tehnologie unică ColorSEM
 Microscop electronic cu baleiaj (SEM).Model: QUANTA 450 FEG
Anul de productie: 2015
- Rezolutia minima in imagistica cu electroni secundari la
30 kV:
•1 nm sau mai buna in modul de lucru la vid inalt
•5 nm sau mai buna in modul de lucru la vid scazut.
- Controlul temperaturii cu precizie pe un domeniu de
temperatura intre -20 C si +60 C

- Mixarea color a imaginilor direct achizitionate de la 2

sau 3 detectori independenti pentru obtinerea unei imagini
in pseudoculori pentru evidentierea semnalului de
imprastiere unghiulara sau energetiica.

- Achizitia simultana, la o singura scanare, a 4 imagini cu

surse diferite (detectori sau segmentele aceluiasi detector)
pentru scaderea timpului de scanare.
 Microscop electronic cu baleiaj (SEM).Model: QUANTA 450 FEG
 1) Detector convenţional Everhart-Thornley (SED) pentru detecţia semnalului de electroni secundari (SE), poate functiona
in doua moduri – SE si BSE- functie de polarizare.
 2) Detector de electroni secundari în mediul gazos cu câmp larg de vizionare Large Field Detector-Gaseous Secondary
Electrons Detector (LF-GSED) pentru imagistică în vid scăzut, atât la tensiuni înalte cât şi joase.
 3) Detectorul Gaseous Secondary Electrons Detector (GSED) optimizat pentru imagistica de electroni secundari in vid ultra-
scazut (ESEM) şi mediu gazos.
 4) Detectorul direcţional de electroni retro-împrăştiaţi Solid State – Directional Back-Scattered Detector (DBS) optimizat
pentru lucrul în High Vacuum şi Low Vacuum pentru imagistică de compoziţie si topografie a suprafeţei studiate prin
detecţia electronilor retroîmprăştiaţi de probă sub unghiuri diferite, de la 0º până la 90º.
 5) Detector de electroni secundari (SE) montat în coloană In-Column Detector (ICD) este un detector cu scintilaţie care are
posibilitatea ca în modul de lucru cu decelerare de fascicol în vid înalt să detecteze semnalul SE cu o rezoluţie de 1.0 nm.
 6) Detector STEM cu semiconductori pentru imagistică de înaltă rezoluţie în câmp luminos (bright field) şi în câmp
întunecat (dark field) pentru probele de densitate joasă preparate pentru TEM (ex. secţionate transversal cu fascicul
focalizat de ioni) şi măsurarea dimensiunilor critice.
 7) Detector WetSTEM şi controlerul de temperatură Peltier/Heating Stage Control Kit care oferă posibilitatea analizelor
probelor subtiri sau groase (bulk) complet hidratate, oferind posibilitatea controlului atât al temperaturii cât şi al
presiunii pe timpul vizualizării şi analizării probelor studiate.
 8) Detectorul EDS cu tehnologia Silicon Drift (SDD) –EDAX Octane Plus
 9) Cameră IR-CCD pentru vizualizarea şi poziţionarea în siguranţă a probei.
 10) Cameră optica CCD color, denumită Nav-Cam 450, pentru vizualizarea globala a probei în vederea realizării unei
navigări usoare şi intuitive.
Tipuri de microscoape electronice

 2008. Transmission electron aberration-corrected microscope,

prescurtat "TEAM" atinge rezoluția de 0,5 Ångström, in jur de 1
milion de ori mai mic decât diametrul unui fir de păr.
 Microscopul electronic cu transmisie (TEM)

Lungimea de undă a electronului = h/p= 7,08 pm

Relatia lui de Broglie - lungimea de unda pentru electroni accelerati la o
diferenta potential de 30 kV (des intalnita in cazul unui SEM).

 Un electron de masă m= 9.11 × 10 −31 kg se mișcă cu aproape viteza luminii.

 viteza luminii =3,00 × 10 8 m / s,
 masa ( m ) = 9,11 × 10 −31 kg
 Constanta lui Planck ( h ) = 6,6262 10 −34 × J · s
lungime de undă ( λ )
 Ecuația undei de Broglie λ=h/mv - lungimea de undă a electronului în mișcare.
 λ=h/mv=)=2.42×10 -12 m (PICOMETRI)
Capacități actuale ale microscoapelor

Tipuri de microscoape electronice:

 Microscoape electronice cu transmisie (TEM)
 Microscoape electronice cu baleiaj (SEM)
 Microscoape electronice cu scanare
 Microscoape electronice cu reflexie
 Microscoape electronice cu scanare si transmisie
 Evidenția atomi de carbon în diamante, aflați la distanțe de doar
0.89 ångströmi (89 picometri) unii de alții și atomi din siliciu la distanțe
de 0.78 ångströmi (78 picometri) , mărind de 50 de milioane de ori.
Capacitatea de a determina pozițiile atomilor în cadrul materialelor a
făcut din acest tip de microscop o unealtă importantă pentru cercetarea
și dezvoltarea din domeniul nanotehnologiilor.
Tipuri de microscoape electronice

Microscopul electronic cu scanare

 Microscop electronic cu scanare la Institutul de Geologie al Universității din Kiel, Germania, în
1980. Coloana din mijloc produce fluxul de electroni, iar specimenul este plasat la bază
 Spre deosebire de MET (TRANSMISIE), unde raza de electroni la tensiune înaltă formează
imaginea specimenului, microscopul electronic cu scanare produce imagini prin detecția
electronilor secundari, cu energie scăzută, emisi de pe suprafața specimenului datorită excitării
acestuia de către raza principală de electroni. În MES, raza de electroni parcurge întreg
specimenul, detectorii construind o imagine prin maparea semnalelor detectate la poziția razei.
 În general, rezoluția MET este de regulă cu un ordin de mărime mai mare decât cea a
MES, dar, datorită faptului ca imaginea produsă de microscoapele cu scanare se
bazează pe procese de suprafață și nu pe transmisie, este capabil să vizualizeze probe
mai mari, și are o adâncime de penetrare mult mai mare, producând astfel imagini
care sunt o bună reprezentare tridimensională a probei.
 Tipuri de microscoape electronice
Microscopul electronic cu reflexie
 În plus, există și microscoape electronice
cu reflexie (MER). Ca și MET, această tehnică
implică raze de electroni incidente pe o
suprafață, dar în loc să folosească electronii
transmiși, sau cei secundari, se detectează raza
reflectată.
Microscopul electronic cu scanare și
transmisie.
 MEST combină înalta rezoluție a MET cu
funcționalitățile MES, permițând folosirea unei
game de tehnici de analiză imposibil de atins cu
MET convenționale.
 Microscopul electronic de transmisie (MET)
 Microscop electronic prin transmisie cu ultra inaltă
rezoluție – TECNAI G2 F30 S-Twin
 Microscop electronic de transmisie la 300 kV cu tun de electroni cu
emisie prin efect de câmp (FEG). Este un instrument multi-scop şi
multi-user. Ca moduri de operare are: TEM, EFTEM & STEM cu
ușurința în operare, pentru domeniul cercetării
nanomaterialelor. Instrumentul oferă un balans optim între
contrastul la unghiuri de înclinare mari ale specimenului introdus
la analiză și o rezoluție excelentă.
 - rezoluție punctuală - , 1,6 2 A. (1 Å = 100 pm = 10−1 nm
= 10−4 μm = 10−7 mm = 10−8 cm = 10−10 m).
 1 m= 10000000000 A
 TENSIUNE ÎNALTĂ =- 50- 300 KV.
 Mărire STEM = 150X-230 000 000x
 Mărire TEM=60-1 000 000x
Microscopul electronic de transmisie
Construcția MEB

Schema constructivă a unui tun electronic cu

filament de wolfram în formă de V
Reprezentarea schematică a microscopului electronic de baleiaj (SEM)
Semnalele rezultate în urma interacţiunii dintre fasciculul de
electroni şi corpul solid
Microscop electronic cu scanare

Microscop electronic cu scanare și schema de funcţionare

Analiza microstructurală 2 şi 3 D a unui aliaj cu memoria formei
pe bază de cupru

Aliaj cu memoria formei CuZnAl deformat plastic cu evidenţierea variantelor

primare şi secundare de martensită: a) microstructură 2D şi
b) microstructură 3D
Analize asuprafeței

Analiza 3D a suprafeţei obţinute prin microscopie electronică:

a) reprezentare 2D şi b) reprezentare 3D
Imagini 3D

Analiza 3D în profunzimea stratului superficial investigat

Imagini SEM ale ţesuturilor din corpul uman (TESCAN MIRA3)

Structuri celulare și a țesuturilor cu rezoluție ridicată

TESCAN SEM combină cele mai noi concepte de medicină, biotehnologie și inginerie pentru
proiectarea unei varietăți de tehnologii, cum ar fi matricele de suport pentru creșterea
celulelor, țesuturile artificiale și dispozitivul biomedical implantabil.
 Metode de prepare in domeniul biomedical
 Deoarece probele biologice sunt extreme de fine si au rezistenta mecanica scazuta,
obtinerea preparatelor biologice necesita utilizarea unor metode specifice de
pregatire. In functie de natura preparatelor biologice:
 suspensii continand virusuri sau bacterii,
 sectiuni ultrafine de tesuturi,
 replici ale unor probe biologice
Se adopta diverse tehnici de preparare, avand in vedere faptul ca grosimea probei nu
trebuie sa depaseasca 100 nm la o tensiune acceleratoare de 100 kV.
In foarte putine cazuri ( virusuri, organite subcelulare izolate) grosimea este suficient de
mica pentru observare directa.
Suspensiile pot fi depuse pe grilele suport:
- discuri de retea metalica acoperite cu un strat subtire organic lipsit de structura)
prin pipetare, adsorbtie, intindere sau pulverizare.