"Un vis este un microscop prin care privim la manifestrile ascunse n

sufletul nostru."
(Eric Fromm)

CUPRINS
1. Scurt Istoric

2. Premiul Nobel

3. Generalitati

4. Principiul Fizic

5. Semnalele rezultate n urma interaciei dintre fasciculul

de electroni i corpul solid

6. Tipuri de semnale
7. Microscopul eletronic cu transmisie
8. Microscopul electronic cu scanare sau cu baleiaj

1. Scurt istoric
Primul microscop electronic a fost construit in 1931 de ctre inginerii germani Ernst
Ruska i Max Knoll. Acesta era bazat pe ideile i descoperirile fizicianului francez Louis de
Broglie. Desi primitiv si nepotrivit utilizrilor practice, instrumentul era capabil s mreasc
obiectele de patru sute de ori.
Reinhold Rudenberg, directorul de cercetri al companiei Siemens, a patentat
microscopul electronic in 1931, desi Siemens nu fcea cercetri in domeniul microscoapelor
electronice la acea vreme. In 1937 Siemens a inceput s-i finanteze pe Ruska si pe Bodo von
Borries pentru dezvoltarea unui microscop electronic. Siemens l-a angajat si pe fratele lui Ruska,
Helmut s lucreze la aplicaii, in particular cu specimen biologice.

2. Premiul Nobel
Ecuaia lui Louis de Broglie pentru identificarea
lungimii de unde a electronilor n micare :
=h/mv
unde:
= lungimea de und
h = constanta lui Planck
m = masa particulei considerate
v = viteza de propagare a oscilaiei particulei
Premiul Nobel in Fizica din anul 1986 a fost impartit astfel: jumatate pentru Ernst Ruska
atat pentru cercetarile sale in optica electronica, cat si pentru proiectarea designului primului
microscop electronic iar cealalta jumatate a fost acordata echipei formate din Gerd Binnig si
Heinrich Rohrer pentru realizarea designului microscopului electronic prin efect tunel.

3. Generaliti
Un microscop electronic este un tip de microscop care utilizeaza un fascicul de electroni
pentru a ilumina specimenul si produce o imagine marita. Microscoapele electronice au o putere
mai mare decat un microscop optic, deoarece electronii au o lungime de unda in jur de 100.000
de ori mai mica decat lumina vizibila ( fotoni ) si pot realiza mai mult de 50 pm rezolutie si o
marire de pana la aproximatic 10.000.000x, pe cand un microscop optic este limitat la o rezolutie
de aproximativ 200nm si o putere de 2000x. Microscopul electronic foloseste lentile
electrostatice si electromagnetice pentru a controla fasciculul de electroni pe care il concentreaza
pentru a forma o imagine.Aceste lentile sunt analoage, dar diferite de lentilele de sticla a unui
microscop optic care formeaza o imagine marita, concentrandu-se pe lumina sau prin
specimen.Microscoapele electronice sunt folosite pentru a observa o gama larga de probe
biologice si anorganice, inclusive microorganisme, celule, molecule mari, probe de biopsie,
metale si cristale.Industrial, microscopul electronic este adesea folosit pentru controlul calitatii si
analizarea defectelor de fabricatie de marimi foarte mici/microscopice.

Stanga ( schema de principiu a microscopului optic).

Dreapta schema de principiu a microscopului electronic.

4. Principiul fizic
O seciune transversal printr-un microscop electronic modern relev urmtoarele elemente
constructive: coloana electrono-optic, sistemul de vidare, sistemele de detecie (prelucrarea
procesarea i redarea informaiei) i blocul de alimentare cu energie a tuturor componentelor.
Principial, construcia unui microscop electronic este intr-o oarecare msur analog
construciei microscopului optic obinuit. Prile principale, comune celor dou instrumente, sunt
urmtoarele: sursa (de iluminare la microscopul optic, de electroni la microscopul electronic),
lentila condensoare (sau condensorul), obiectul de studiat, lentila proiectoare i sistemul de
vizualizare i inregistrare a informaiei.

Mod de functionare :
1. Condensorul are rolul de a focaliza fasciculul de electroni pe prob, asigurand un paralelism
cat mai bun al radiaiilor cu axa optic. Obiectivul formeaz imaginea primar, mrit, a
obiectului; aceasta este preluat de lentila proiector care o mrete mai mult, pentru observarea
pe ecranul instrumentului.
2. Tunul de electroni are rolul de a genera fasciculul de electroni. In interiorul tunului de
electroni un camp electrostatic dirijeaz electronii emii de o poriune foarte mic a suprafeei
unui filament, printr-o apertur foarte ingust. Dup aceea, tunul accelereaz electronii prin
coloan spre prob, cu energii cuprinse intre cteva zeci i zeci de mii de electronvoli.
3. Fasciculul de electroni, emis de tunul electronic, care bombardeaz suprafaa probei, este
compus din electroni monocinetici i poart numele de fascicul incident sau primar. El poate fi
supus unei tensiuni de accelerare de la 100V pan la 40.000V, in funcie de tipul de microscop
folosit.

4. Electronii parcurg tunul ca un fascicul divergent. O serie de lentil electromagnetice i de

diafragme din coloan reconverg i focalizeaz fasciculul intr-o imagine micorat. Aproape de
zona de jos a coloanei exist cateva bobine de scanare in rastere, care deflecteaz fasciculul de
electroni intr-o gril de baleiere pe suprafaa probei. Lentila final focalizeaz fasciculul intr-o
arie cu o dimensiune cat mai mic pe suprafaa probei.
5. Dup parcurgerea coloanei de electroni, fasciculul ajunge in camera probei. Aceasta
incorporeaz dispozitivul de manevrare a probei, o u pentru introducerea sau extragerea
eantionului analizat i cateva dispozitive pentru montarea detectorilor de semnale sau a altor
accesorii. In momentul interaciei fasciculului de electroni cu suprafaa probei rezult o serie de
semnale, care dup ce sunt detectate, amplificate i procesate permit obinerea unor informaii
privind morfologia, structura i compoziia probelor.

5. Semnalele rezultate in urma interaciei dintre fasciculul

de electroni i corpul solid

Interactiunile la nivelul probei, semnalele corespunzatoare si tipuri de microscopie

electronica in functie de semnalul utilizat in crearea de imagini.

6. Tipuri de semnale
a) Electronii secundari
Electronii secundari (SE) sunt electronii atomilor din prob care sunt ejectai in mediu
datorit interaciei cu electronii primari din fascicul. In general, ei au energii foarte mici (prin
convenie mai mici de 50 eV). Datorit faptului c au energii foarte mici, acest tip de electroni
poate scpa din suprafaa probei doar dintr-o regiune de foarte mic adancime. Prin urmare,
electronii secundari ofer imagini de cea mai bun rezoluie. Imaginile date de electronii
secundari sunt oferite in principal de toporafia suprafeei probei. Cu cat volumul de interacie
este mai aproape de suprafaa probei, cu atat mai muli electroni secundari pot fi emii din prob,
5

acest fenomen producandu-se atat in zonele cu varfuri, cat i in cele mai joase. Astfel se obin
imagini in care vrfurile vor fi mai luminoase, iar vile mai intunecate. Datorit acestui fapt,
interpretarea imaginilor de electroni secundari devine foarte intuitiv.
b) Electronii retrodifuzai
Electronii retrodifuzai (BSE backscattered electrons), sunt electronii primari care au fost
imprtiai in afara suprafeei probei, datorit ciocnirilor elastice cu nucleele din atomii probei.
Aceti electroni posed energii mari, cuprinse (prin convenie intre 50eV i tensiunea de
accelerare a fasciculului). Acest tip de electroni provin dintr-un volum mai mare de interacie cu
substana, ceea ce contribuie la pierderea rezoluiei in imaginile de electroni retrodifuzai. In
aceste imagini, contrastul este determinat de diferena numerelor atomice din fiecare punct
bombardat cu fasciculul de electroni, de media numerelor atomice ale elementelor din
compoziia probei. Din zonele ce conin elementele cu numere atomice mai mari vor fi reflectai
mai muli electroni, ceea ce conduce la obinerea unei arii mai luminoase in imagine. Imaginile
de electroni retrodifuzai nu sunt atat de uor de interpretat dar, evaluate corect, pot oferi
informaii importante privind compoziia probei.
In general, intensitatea curentului de electroni retroimprtiai crete cu creterea unghiului
de imprtiere, nu variaz sensibil cu energia fasciculului primar i crete cu numrul atomic al
probei.
Semnalul oferit de electronii retrodifuzai este detectat de doi detectori cu corp solid, care,
lucrand in regim de substituie-adiie permit obinerea unor imagini privind topografia sau
compoziia suprafeelor analizate.
c) Recombinarea i catodoluminiscena
Prin interaciunea unui fascicul incident cu o prob, muli electroni secundari produi nu pot
prsi proba i sunt anihilai, in urma imprtierilor, prin procese de recombinare electron-gol.
Dac procesul de recombinare este insoit de emisia de fotoni optici, apare fenomenul de
catodoluminiscen. Mecanismul acestei fotoemisii este similar cu luminiscena in sensul c este
stimulat de o serie de elemente active, aflate in cantiti foarte mici in aria probei bombardate
cu fasciculul de electroni. Exact la fel ca in cazul luminiscenei normale, catodoluminiscena
poate indica distribuia in prob a acestor elemente cu concentraii mici, completand astfel
informaia privind compoziia chimic a ariei bombardate, obinute prin emisie de radiaii X sau
electroni Auger.
Catodoluminiscena in probele semiconductoare este dependent de tensiunea electric
aplicat i, in consecin, strile de suprafa in unele materiale semiconductoare pot fi studiate
prin acest efect care furnizeaz date privind timpul de via al purttorilor de sarcin majoritari,
lungimi de difuzie, etc. Fenomenul de catodoluminiscen este afectat de asemenea de topografia
superficial i de prezena unor defecte interne (dislocaii, precipitate, limite intercristaline).
Acest fenomen de excitare a luminiscenei prin bombardament electronic a fost observat i in
unele materiale plastice, organice i in unele probe minerale.
d) Emisia de radiaii X i electroni Auger
Emisia de radiaii X se produce dac un electron de pe un nivel energetic inferior este excitat
de fasciculul primar de electroni i trece pe un nivel energetic superior, sau prsete complet
atomul (fotoelectron). Locul vacant este ulterior ocupat de un alt electron care cade de pe un

nivel energetic superior i emite un foton de radiaie X, de energie h egal cu diferena D E

dintre energiile corespunztoare celor dou niveluri energetice intre care a avut loc tranziia.
Este posibil ca anumii electroni s fie reflectai din prob, dup ce in prealabil au
interacionat neelastic cu atomii din prob. Ceilali electroni, care sunt imprtiai la unghiuri mai
mici spre interiorul probei, ii pierd din ce in ce mai mult din energie, dup fiecare coliziune,
pan cand nu mai pot participa la un proces de ionizare prin impact (de obicei energia de ionizare
este cuprins intre 3 i 8 eV).
Energia rezultat in urma franrii acestor electroni este emis sub forma unor fotoni de
radiaii X ce alctuiesc spectrul continuu de emisie a probei. Intensitatea maxim a spectrului
continuu crete cu tensiunea de accelerare, cu intensitatea fasciculului i cu numrul atomic al
probei.

7. Microscopul electronic cu transmisie (MET)

Forma original a microscopiei electronice, microscopia electronic cu transmisie implica
o raz de electroni la tensiune inalt emis de un catod, de regul filament de tungsten, i
localizat de lentile electrostatice i electromagnetice. Raza de electroni care a fost transmis
printr-un specimen par ial transparent pentru electroni transport informaie despre structura
intern a specimenului in raza care ajunge la sistemul de formare a imaginii. Variaia spaial a
acestei informaii ("imaginea") este apoi mrit de o serie de lentile electromagnetice pan cand
este inregistrat la coliziunea cu un ecran fluorescent, plac fotografic, sau senzor de lumin
cum ar fi un senzor CCD. Imaginea detectat de CCD poate fi afiat in timp real pe un monitor
sau transmis pe loc unui calculator.
Rezoluia unui microscop electronic cu transmisie este limitat in principal de aberaia de
sfericitate, dar o nou generaie de sisteme de corecie a aberaiilor a avut ca efect depirea
parial a aberaiilor sferice i creterea rezoluiilor. Coreciile din software ale aberaiei de
sfericitate pentru microscoapele electronice cu transmisie de inalt rezoluie a permis producerea
unor imagini cu rezoluie suficient de bun pentru a evidenia atomii de carbon in diamante,
aflai la distane de doar 0.89 angstromi (89 picometri) unii de alii i atomi din silicon la distane
de 0.78 angstromi (78 picometri).

8. Microscopul electronic cu scanare ( sau cu baleiaj MES)

Spre deosebire de MET, unde semnalele electronilor transmisi formeaza imaginea,
microscopul electronic cu scanare produce imagini prin detecia electronilor secundari, cu
energie sczut, emisi de pe suprafaa specimenului datorit excitrii acestuia de ctre raza
principal de electroni. In MES, raza de electroni parcurge intreg specimenul, detectorii
construind o imagine prin maparea semnalelor detectate la poziia razei.
In general, rezoluia MET este de regul cu un ordin de mrime mai mare decat cea a MES.
Datorit faptului ca imaginea produs de microscoapele cu scanare se bazeaz pe procese de
suprafa i nu pe transmisie, acesta este capabil s vizualizeze probe mai mari, i are o adancime
de penetrare mult mai mare, producand astfel imagini care sunt o bun reprezentare
tridimensional a probei.
7

Bibliografie:
http://ro.wikipedia.org/wiki/Microscop_electronic
www.calificativ.ro/referate/referat-Microscop_electronic-rid5344.html
referat.clopotel.ro/Microscopul_electronic-12991.html