Stiinta materialelor oxidice Lucrarea practica nr.

MICROSCOPIA ELECTRONIC
Metod modern de studiere a aspectului structurii foarte fine de ordinul 10 -5 10-7 cm i cu mriri uzuale cuprinse ntre 50000 i 100000 x (exist microscoape electronice care pot mri pn la 300000 x). Microscopul electronic are o putere de separare de ordinul 10 -8 cm, minim care permite distingerea a dou repere alturate, putndu-se, astfel individualizarea atomului punct cu punct. Se pot studia direct planele reticulare, diferite tipuri de defecte n reeaua cristalin, interaciuni ale defectelor, se pot urmri transformri de faz, deformri plastice, reacii de suprafa, etc. Sistemul de focalizare al fluxului de electroni divergent funcioneaz pe acelai principiu ca la microscopia optic, adic focalizarea se face cu ajutorul unor lentile, de data aceasta magnetice sau electrostatice. Lentila electrostatic este format din trei electrozi sub form de diafragme circulare precis centrate. Electrozii marginali sunt legai la nul iar cel din mijlocul lentilei are un potenial cu o valoare mai mic dect potenialul de accelerare a particulelor de la sursa de electroni. Micarea electronilor este frnat doar pn la mijlocul lentilei, dup care sunt din nou accelerai pn la viteza iniial de ptrundere n lentil. Sistemul acioneaz, de asemenea, ca un filtru, nepermind trecerea electronilor cu energii prea mici i deci cu viteze iniiale insuficiente pentru strbaterea lentilei. Lentilele magnetice sunt constituite din bobine parcurse de cureni (cu miez sau fr miez feromagnetic) sau din sisteme de magnei permaneni care produc cmpuri magnetice axial simetrice necesare funciei electrono-optice. Pentru a centra i a ntri cmpul magnetic, bobinele sunt nchise ntr-o armtur de fier. Reproducerea unei suprafee cu ajutorul radiaiilor de emisie este posibil dac ntreaga suprafaa este excitat pentru emiterea unor radiaii cu care se realizeaz reproducerea obiectului. n figura 1 sunt redate schematic sursele informaionale care rezult din interaciunea unui fascicul de electroni cu proba pe care acesta este proiectat.

Raze X caracteristice

Electroni primari

Luminiscen catodic Electroni retromprtiai Electroni Auger

Electroni secundari

Figura 1. Surse de informaii din interaciunea Cldur unui fascicol de electroni cu o prob

Electroni absorbii

Electroni transmii

Razele electronice reflectate se deosebesc de cele secundare (emise) prin energia lor (electronii primari au o energie mai mare de 50 eV iar cei secundari au energia mai mic dect 50 eV). Luminiscena catodic este folosit pentru localizarea fasciculului de electronii primari n microsonda electronic, care valorific razele X caracteristice emise de fiecare punct din prob. Sursa excitant pentru emisia de electroni de pe o suprafa de material poate fi i un fascicul puternic de lumin, un cmp electric intens, un flux de ioni sau poate fi rezultatul unei nclziri a probei.

MICROSCOPIE ELECTRONIC DE BALEAJ

Radiaia emis de fiecare punct al probei este colectat prin intermediul unui detector i utilizat pentru reglarea intensitii unui fascicul de electroni dintr-un tub catodic, care mtur sincron cu fasciculul de electroni primari ecranul fluorescent al tubului
1

Toate microscoapele electronice de baleaj (SEM) au o coloan n care se creeaz un flux de electroni (tun), o camer a probei unde fluxul de electroni interacioneaz cu proba, detectori care monitorizeaz o varietate de semnale rezultate de la interacia prob flux de electroni, un sistem de vizualizare de creare a unei imagini din semnalele captate.
Camera tunului Sursa de electroni Carcas Anod Lentile condensatoare Apertura obiectivului Bobin Lentilele obiectivului Prob Pomp de vid naintat Camera probei Pomp mecanic Control magnificare Semnal scanare Detector Semnal imagine Imagine

Figura 1. Reprezentare schematic a microscopului electronic de baleaj (SEM) n tun, dup generarea fluxului de electroni, exist in cmp electrostatic care direcioneaz electronii emii. Acest cmp electrostatic este emis ntr-o suprafa foarte mic de electrozi. Electronii sunt apoi accelerai ctre prob, cu energii care pot varia ntre de la cteva sute la zeci de mii de voli. Electronii prsesc tunul ca o und divergent. O serie de lentile magnetice i aperturi (dispozitiv care permite meninerea electronilor ntr-un fascicul ordonat i direcionat) din coloan reconvertesc i focalizeaz fascicolul ntr-o und demagnetizat. La baza coloanei exist un set de lentile de scanare care direcioneaz unda pe suprafaa de scanare (proba). Lentilele finale focalizeaz unda n cel mai mic, posibil, spot pe suprafaa probei. Spre deosebire de lumina din microscopia optic, electronii din microscopia SEM nu dau o imagine real, ci creeaz o imagine virtual din semnalele emise de prob (electroni secundari, electroni retromrtiai, emisii de raze X) figura 2. Aceast imagine virtual este influenat de: intensitatea i diametrul fasciculului de electroni, de energia fasciculului de electroni, de volumul de prob care interacioneaz cu fasciculul de electroni, de compoziia probei.

Figura 2. Tipuri de semnal generat la interaciunea probei cu fasciculul primar de electroni Compoziia probei analizate afecteaz, att profunzimea n care fasciculul iniial de electroni intr n prob ct i forma volumului de interacie. Probele mai dense reduc capacitatea de ptrundere i reduce distana parcurs de semnalul emis de prob, nainte ca acesta s fie resorbit. Se poate asocia tipului de semnal emis, regiuni specifice. Astfel exist o zon n care sunt emii electronii secundari i o alta alocat electronilor retromprtiai. Electronii secundari (SE) sunt electroni din prob, emii n urma interaciei acesteia cu fasciculul primar de electroni. n general, au o energie joas (n general mai mic de 50 eV), iar datorit acestei energii joase ei sunt emii de o poriune foarte apropiat de suprafaa probei. Ca urmare, aceti electroni ofer o bun rezoluie imaginii. Contrastul ntr-o imagine dat de electronii secundari este dat de topografia materialului. Interacii mai puternice au loc n zonele mai nalte, emindu-se astfel un numr
2

mai mare de electroni secundari, ceea ce asigur o imagine mai luminoas n vrfurile suprafeei probei. Acest lucru uureaz interpretarea unei imagini date de electronii secundari. Electronii retromprtiai (BSE) reprezint electroni din fascicului primar de electroni care au fost trimii napoi datorit coliziunii elastice cu nuclul atomilor probei. Electronii retromprtiai au energii mari (peste 50 eV), i deci volumul probei care provoac apariia acestora este mai mare. Contrastul ntr-o imagine dat de electronii retromprtiai este dat de diferenele dintre numerele atomice ale atomilor componeni ai probei, un atom cu un numr atomic mare mprtie mai muli electroni i n consecin creeaz o zon mai luminoas n imagine. Interpretarea unei imagini date de electronii retromprtiai nu este uoar dar poate da informaii importante despre compoziia probei. Imaginea SE din figura, prezint mai ales constrastul topographic prezent pe suprafaa probei (granulele straine de pe suprafa sunt clar evideniate) iar n imaginea BSE se observ diferenele compoziionale dintre atomi (datorate numrului atomic)

Figura 3. Imagini de microscopie obinute cu ajutorul electronilor secundari (a) i cu ajutorul electronilor retromprtiai (a) pentru o prob de carbur de wolfram Dezavantajele microscopiei electronice de baleaj sunt legate: de nivelul de vid, toate tunurile de electroni fiind sensibile. Gazul din tun poate interaciona sau interfera cu fascicolul de electroni. de prob - probele trebuie sa fie tolerante la vid nu trebuie sa fie modificate - chimic sau structural, de vidul naintat. De asemenea, probele trebuie sa fie vacuum friendly nu trebuie sa afecteze sau altereze starea vidului sau a instrumentelor (detectoare sau tunul de electroni). Este foarte important ca probele sa fie conductoare (din punct de vedere electric). Probele izolatoare necesit un proces de acoperire cu un material conductor (de obicei carbon sau aur), pentru prevenirea ionizrii suprafeei Microscopul electroni de baleaj se dovedete a fi inutil dac trebuie studiate probe ude, impurificate, uleioase, neconductoare, fr a modifica starea lor sau dac se dorete analiza unor transformri dinamice cum ar fi mcinarea, topirea, rcirea, hidratarea sau determinrile de rezisten mecanic. Soluia st n eliminarea vidului din camera probei. Primul pas n aceast direcie este separarea coloanei (tunului) de electroni (spaiu vidat) de camera probei n care se dorete un mediu nevidat. Al doilea pas, este introducerea unui al doilea detector de electroni secundari care s poat funciona n mediul nevidat al probei, pe baz de gaz ionizat (acesta poate reduce i gradul de ionizare al probei la contactul cu fasciculul primar de electroni). Rezultatul se numete microscopul electroni de baleaj cu camer nevidat (ESEM). Tunul de electroni rmne vidat, n timp ce cameraprobei poate susine presiuni pn la 50 Torr. ESEM necesit un sistem complicat de pompe i valve, precum i dou sau mai multe camere ambientale ntre camera probei i tun. MICROSONDA ELECTRONIC EDAX Unul din mijloacele cele mai moderne pentru determinarea calitativ i cantitativ a compoziiei chimice este microsonda electronic, care funcioneaz pe principiul emisiei de radiaie X la bombardarea unui material cu un fascicul de electroni. Microsonda electronic, ca i microscopul SEM, folosete un fascicul de elctroni focalizat, cu un diametru mic, care mtur suprafaa probei, determinnd emiterea din fiecare punct al probei a razelor
3

X caracteristice, analizate mai apoi de un spectrograf. Pe lng spectrul caracteristic de difracie a razelor X se poate obine i imaginea cartografic a probei. Pe baza energiei sau a lungimii de und a radiaiei X i a distribuiei de intensitate a acesteia, se poate determina cu o precizie (rezoluie) mare compoziia elementar a probei. Cnd microsonda este ataat unui microscop SEM, eroarea de determinare a compoziiei elementare este 1-2% pe o arie de analiz de 0,5 3 m. n figura 4 se prezint distribuia elementar (au fost detectate ca elemente oxigenul, aluminiul, aurul, clorul, potasiul i cuprul) pentru o prob a crei imagine SEM este redat n aceeai figur. Imaginile de distribuie elementar sunt rezultatul unei prelucrri matematice de integrare ntre un spectru de energii al radiaiilor X emise i intensitatea acestora la detectare.

Figura 4. Reprezentarea compoziiei elementare a unei probe, pe baza studiului cu microsonda electronic Testarea materialelor cu ajutorul microsondei electronice i gsete aplicaii n varii domenii, ncepnd cu cele fundamentale (ex. urmrirea cineticii reaciilor n faz solid) i continund cu analiza incluziunilor i a impuritilor, a interfeelor, dar i cu controlul fenomenului de coroziune.

1250C

1300C

1350C