MICROSENZORI

Marin Raluca-Valentina
SMA anul I
Space for individual information 2023 Confidential
1
Internal
 Introducere

Zona cercetarii microsenzorilor acopera discipline diverse precum

studiul materialelor, microfabricarea, electronica si mecanica.

Microsenzorii integrati se refera la senzori sau sisteme senzoriale

a caror dezvoltare s-a facut utilizand tehnologia microfabricarii.
Lungimea caracteristica a unui microsenzor este cuprinsa intre 1
µm si 1 mm.

Senzorii sunt dispozitive care ofera o interfata intre echipamente

si lumea fizica. Acestia ajuta electronica sa avada, sa auda, sa
miroase, sa guste si sa atinga.

Space for individual information Confidential

2
Internal
 Domenii de aplicare

• Industria automobilelor ->Masuri ecologice si de siguranta;

• Aplicatii medicale-> Masuratori continue a parametrilor chimici/fizici,
electrocasnice, microchirurgie de la distanta, terapie cu ingerari minime;
• Electronice de consum, automatizare casnica-> Ex: accelerometre din
Hard Disk-uri, sensori din camere video, controlere pt jocuri, senzori de
calitate al aerului;
• Protectia mediului inconjurator ->Masuri de concentrare diferite;
• Industria de proces;
• Robotica.

Space for individual information Confidential

3
Internal
 Clasificarea microsenzorilor

• MICROSENZORI CHIMICI
SAW-Based Chemical Sensors
Dispozitivele sunt dezvoltate sa detecteze zonele in care sunt degajate
in aer chimicale. Dispozitivul SAW este un detector gravimetric foarte
sensibil care poate sa fie acoperit cu un film specific pentru a detecta o
anumita specie chimica. Bazat pe aceste dispozitive, s-au dezvoltat
sistemele ce pot sa detecteze urme sau nivele de impuritati din aer.

Cand dispozitivul SAW este acoperit cu o pelicula foarte subtire de film

chimic cu absorbtie selectiva reactioneaza cu mare precizie la chimicalele
care interactioneaza cu filmul

Fig. 1 SAW-Based Chemical Sensors

Space for individual information Confidential
4
Internal
 Clasificarea microsenzorilor
• MICROSENZORI CHIMICI
Senzori de monitorizare a fluidelor pe baza de cuart rezonator
Microsenzorii bazati pe rezonatoarele de cuart sunt dezvoltate pentru a
urmari proprietetile fluidelor cum ar fi densitatea si vascozitatea si
pentru a servi drept microsenzori in senzori chimici pentru lichide.
Dispozitivul este electric excitat in urma vibratiilor mecanice ale unui
fluid. Fiind un mic dispozitiv el poate sa functioneze inauntrul
motoarelor sau conductelor, la accesoriile de monitorizare a lichidelelor
lubrifiante, de exemplu lubrifiantii.

Fig. 2 Microsenzori de monitorizare a fluidelor pe baza de cuart

rezonator

Space for individual information Confidential

5
Internal
 Clasificarea microsenzorilor
• MICROSENZORI CHIMICI
Microsenzori electrochimici
Microsenzorii electrochimici sunt dispozitive sensibile la reactiile
electrochimice dezvoltate sa detecteze chimicalele deversate in apa.
Aceste dispozitive pentru generarea semnalelor se compun din matrici
nanometrice foarte ordonate, cu electrozi aranjati dupa marime care
detecteaza urmele sau nivele de contaminanti din apa.
Matricile sunt proiectate avand pe suprafata lor zeci de milioane de
electrozi foarte fini si au avantajul fenomenelor de difuzie la suprafata
datorita distibutiei fine acestor microelectrozi, proprietate inexistenta
la matricile cu electrozi de dimensiuni mari.
Aplicatiile includ monitorizarea mediilor ambientale, industriale si
a instalatiilor casnice pentru siguranta surselor de apa.

Fig.3 Microsenzorii electrochimici

Space for individual information Confidential
6
Internal
 Clasificarea microsenzorilor

• MICROSENZORI BIOLOGICI
Electro-ace
Electro-acele sunt utilizate in diagnoza medicala, rapida, exacta
Sunt utilizate pentru analiza: glucozei din sange, enzimelor,
protetinelor, anticorpilor, a tuturor celulelor organismului uman si a
toxinelor 

Fig.4 Electro-ace

Space for individual information Confidential

7
Internal
 Clasificarea microsenzorilor

• MICROSENZORI BIOLOGICI
Biosenzori fotonici
Biosenzorii fotonici sunt microsenzori care combina tehnologia bioprobelor
cu tehnologia fotonica, pentru a dezvolta un sistem compact, plan, matriceal .
Dispozitivele microsenzoriale de acest tip implica structuri de ghidare
imbunatatite cu rezonatoare tip sonerie.  Sensibilitatea lor este accentuata prin
folosirea nanoparticulelor de aur pentru a amplifica raspunsul optic.

Fig.5 Biosenzori fotonici

Space for individual information Confidential
8
Internal
 Clasificarea microsenzorilor
• MICROSENZORI FIZICI
Senzori tactili cu margine de camp
Acesti microsenzori folosesc campurile electrice generate intre electrozii de
suprafata pentru a examina atent accesoriile unei piese de prelucrat. Scanand
dispozitivul pentru generarea semnalelor se creeaza o imagine a suprafetei
bazata pe variatiile de topografie, conductibilitate, sau permitivitate ale
suprafetei. Aceasta imagine poate sa fi intrebuintata pentru inspectia de
suprafata sau pentru a controla masinile automatizate sau sudura .

Fig. 6 Senzori tactili cu margine de camp

Space for individual information Confidential

9
Internal
 Clasificarea microsenzorilor
• MICROSENZORI FIZICI
FET- Microsenzor bazat pe radiatii
Campul de radiatie sensibil are efect de tranzistor (RadFET) si
utilizeaza un strat de nitrura de oxid pentru a capta in permanenta
radiatiile ionizate. Acesta are drept rezultat o schimbare in voltajul
pragului de sensibilitate care indica doza de radiatii primita. Un
spectrometru de radiatie este construit pornind de la dispozitive
matriciale tip (RadFET) cu filtre de metal care permit trecerea diferitelor
tipuri de energie. Aplicatiile includ monitoarele pentru materiale
speciale nucleare, dozimetria personala si terapia cu radiatie in cancer.

Fig. 7 FET- microsenzor bazat pe radiatii

Space for individual information Confidential
10
Internal
 Tehnici de microprelucrare
Tehnologiile de microprelucrare pot fi clasificate in :
• microprelucrare de volum,
• microprelucrare de suprafata.

Microprelucrarea de volum - se bazeaza pe corodarea siliciului

monocristalin si structurile micromecanice dezvoltate cu aceasta
tehnologie si sunt realizate din siliciu microcristalin sau depus sau prin
cresterea de structuri pe siliciu

Microprelucrarea de suprafata – utilizeaza straturi depuse sau crescute

pe substrat pentru a fabrica dispositive micromecanice . Astfel, procesele
de microprelucrare de suprafata necesita un strat de sacrificiu care este
inlaturat intr-o etapa ulterioara pentru a elibera structura mecanica

Space for individual information Confidential

11
Internal
 Bibliografie!
• Microsenzori chimici, biologici, fizici (rasfoiesc.co
m)
• Microsenzori integrati - procesul fabricarii senzori
lor integrati (qdidactic.com)
• (PDF) Micro Senzori - DOKUMEN.TIPS

Space for individual information Confidential

12
Internal
 Va multumesc! !

Space for individual information Confidential

13
Internal