MICROSENZORI CHIMICI, BIOLOGICI, FIZICI

Sunt dispozitive în miniatură utilizate pentru generarea

semnalelor care transforma informaţia din mediul înconjurător în
formatul electronic ce poate să fie citită cu ajutorul instrumentelor.
Microsenzorii sunt utilizaţi că interfaţa pentru un calculator, ei
îndeplinind rolul de simţ auditv, vizual, olfactiv şi tactil pentru
acesta.
Firmele specializate în Tehnologia şi Ştiinţa microsenzorilor au
realizat diferite tipuri de senzori discreţi cum ar fi: miscrosenzori
piezoelectrici, cu fibre optice, cu fibre micro-optice, electrochimici,
biochimici şi de microimpedanță.

1. Clasificarea microsenzorilor

Microsensori Microsensori Microsensori

Chimici Biologici Fizici
SAW ElectroNeedles FringeField
FET-Based
Quartz Resonator Cell-Based
Radiation
Chemiresistor Photonic
Fiber Optic SH-SAW
FET-Based
Hydrogen
Combustible Gas
Polychrometer
Diffraction Grating
1
 Integrated SAW
FPW
Ion Mobility
Spectrometry (IMS)
Nano Electrode
Arrays
Micro Chem Lab
1.1. Microsenzori chimici
SAW-Based Chemical Sensors ( Microsenzori chimici)
Dispozitivele senzoriale ce au la bază o undă acustică de
suprafaţă, dispozitivele sunt dezvoltate să detecteze zonele în care
sunt degajate în aer chimicale. Dispozitivul SAW este un detector
gravimetric foarte sensibil care poate să fie acoperit cu un film
specific pentru a detecta o anumită specie chimică. Bazat pe aceste
dispozitive, s-au dezvoltat sistemele ce pot să detecteze urma sau
nivele de impurităţi din aer.

Fig. Microsenzor chimic

SAW microsenzor se bazează pe analizele pe grupuri
dimensionale, având capacitatea de a identifica şi cuantifica
modificările chimice din producţie. Folosind matricile noastre Six-
saw, algoritmii de recunoaştere PR au demonstrat identificarea a 14
compuşi organici diferiţi şi 21 amestecuri chimice cu o concentie
diversă şi o acurateţe de 95.

2
 Concept operaţional
Dispozitivul este foarte sensibil la schimbările multiple şi
imperceptibile de masă, detectând straturi cu 100 pg/cm2 mai puţin
decât 1% a unui strat monomolecular de atomi de carbon.
Dispozitivele noastre folosesc cuarțul microfonului piezoelectric ca
substrate; funcţionează în regim de 100-MHz, bazanduse pe două
traductoarele interdigitale pentru a lansa şi detecta o undă care
traversează dispozitiul de la un capăt la altul. Fiecare traductor este
cuprins de multe perechi de degete fine photolithografice, fiecare
deget având o lărgime numai de câţiva micrometri.
Când dispozitivul SAW este acoperit cu o peliculă foarte
subţire de film chimic cu absorbţie selectivă, dispozitivul
reacţionează cu mare precizie la chimicalele care interacţionează cu
filmul. Figura arată schematic interacţiunea între filmul senzorului şi
substanţă chimică diisopropil-metil-fosfonat ( DIMP), care este unul
dintre cei mai comuni agenţi de simulare.

În general, sinteza sau selectarea unui perfect start de acoperire

cu absorbţie selectivă pentru fiecare analizat de interes este
nepractic, în special dacă sunt implicate un mare număr de
chimicale zilnic. Matricile Saw, fiecare poartă un film diferit de
precizie, care în combinaţie cu analizele pe grupuri de substanțe a
determinat recunoaşterea formelor chimice specifice.

Fig. Interacţiunea ireversibilă dintre monofilmul senzorului și

substanţă chimică de simulare DIMP

3
 Senzori de monitorizare a fluidelor pe bază de cuarţ
rezonator
Microsenzorii bazaţi pe rezonatoarele de cuarţ en gros sunt
dezvoltate pentru a urmări proprietățile fluidelor cum ar fi densitatea
şi vâscozitatea şi pentru a servi drept microsenzori în situ senzori
chimici pentru lichide. Dispozitivul este electric excitat în urma
vibraţiilor mecanice ale unui fluid. Fiind un mic dispozitiv el poate
să funcţioneze înăuntrul motoarelor sau conductelor, la accesoriile
de monitorizare a lichidelelor lubrifiante, de exemplu lubrifianţii.

Fig. Microsenzori de monitorizare a fluidelor pe bază de cuarţ

rezonator
Aceste dispozitive senzoriale iniţial au fost construite numai
pentru detecţia modificărilor din aer acum şi-au crescut
performanţele ele putând detecta modificările chimice din lichidele
cu care vin în contact. O alternativă mult mai versatila a acestui tip
de senzor este utilizarea unei suprafeţe cu diferite straturi cu
selectivitate parţială şi pentru a răspunde la un număr cât mai mare
de compuşi.
Senzori de gaz chemirezistivi
O mare diversitate de dispozitive senzoriale ale căror
răspunsuri sunt interpretate folosind un model de algoritm de
recunoaştere care să poată să discrimineze o varietate mare de
chimicale. Chemiresistorii, care îşi modifica resistenta când e expus
la gaz sau abur, sunt dispozitive ieftine care pot să fie puse cu
uşurinţă în aplicare într-o matrice a microsenzorului. Aceste
dispozitive sunt compuse dintr-un strat pe care sunt dispuşi
electrozi interdigitati metalici acoperiţi prin litografiere cu un film
polimeric conductiv. Înalta lor sensibilitate este o consecinţă a
4
uşurinţei cu care se adaptează structura chemirezistivă. Aceste
structuri sunt capabile să măsoare filme de fluid atât de fine de
ordinul ohmmetrilor. Capacitatea înalt rezistiva presupune utilizarea
de filme fine ce au o grosime de de 10 nm aceasta minimizând
totodată și timpul de răspuns. Aceste filme sunt de natură polimerică
o multitudine de tipuri polimerice fiind caracterizate de afinitatea lor
crescută pentru diferite clase de materiale. Filmele polimerice sunt
depuse prin întinderea pe suprafaţa electrozilor adăugând la
amestecul polimeric câteva procente de particule de argint coloidal
sau grafit care se vor distribui în mod uniform crescând astfel
rezistanta filmului.

Fig. Microsenzori de gaz

Senzori chimici bazaţi pe fibre optice
Sunt microsenzori “micromirror” dispozitive construite prin
acoperirea capătului unei fibre optice cu un film chimic pur-
sensibil care să-şi schimbe reflexia la contactul cu substanţă
chimică de interes. Acest dispozitiv activează telecontrolul de
concentrare chimică, funcţionează în medii electrice, şi nu prezintă
nici un risc de aprindere. Aplicaţiile includ monitorizarea nivelelor
hidrogenului în uleiul pentru transformatoare pentru a indica pană în
funcţionare şi detectând compuşii oxidanţi în solul şi atmosfera
Marţiană.

Fig. Microsenzor chimici bazaţi pe fibre optice

FET-Senzor de hidrogen

5
 Senzorul de hidrogen constă dintr-un FET şi un chemiresistor,
ambii folosind metalizarea cu Pd-Ni, care măsoară împreună
concentrările de hidrogen de la 1 la 100% în condiţii de
temperatură cuprinse într-un interval de (-100 grade C la 140
grade C) și lucrând în diferite medii cum ar fi: vacuum, spaţii
neoxigenate, în condiţii ostile cu vibraţii şi radiaţii mari. Aceşti
microsenzori sunt caracterizaţi de o mare reproductibilitate îs
reversibilitate, au o bună stabilitate pe termen lung. Aceste
dispozitivele sunt integrate în circuite electronice pentru
procesarea semnalelor prelucrând şi controlând variaţiile de
temperatură. Aplicaţiile includ detecţia scăpărilor de hidrogen
prin microfiurile motoarelor de rachetă şi la rafinării, şi
monitorizarea coroziunii echipamentului de valoare.

Fig. FET-Microsenzor de hidrogen

Micromașina filament pentru combustibili gazoşi
Dispozitivul pentru detectarea semnalelor combustibililor
gazoşi se compune dintr-un filament conductiv, acoperit cu un strat
catalitic, care este încălzit cu electric curent. Tehnologia maşinii
permite filamentului să fie foarte mic şi suspendat mai sus de
substratul pentru izolare termică, având drept rezultat funcţionarea
la putere joasă. Combustibilii gazoşi acţionează asupra suprafeţei
catalitice, eliberând căldura care schimbă rezistenta filamentului.
Acest dispozitiv este propus pentru folosirea în analizele gazelor de
eşapament şi pentru a indica nocivitatea combustibililor gazoşi.

6
 Fig. Micromasina filament pentru combustibili gazoşi
Policrometru programabil cu reţea de difracţie
(Polychrometer Programmable Diffraction Grating)
Speciile chimice pot fi detectate din punct de vedere optic
folosind spectroscopia de corelare optică:o bandă luminoasă extinsă
traversează o mostră de gaz necunoscut înregistrând un simplu pick
spectral care corelat cu spectrul luminos standard poate identifica
specia necunoscută a mostrei.Acest policrometru cu rețele de
difracţie poate să sintetizeze spectrele moleculare pentru folosire
într-un spectrometrul de corelare optic. Acesta este compus din
elementele de difracţie ale unei mașini cu greutate variabilă. Când
spectrul de banda luminoasă este incident pe matrice, lumina
reflectată de la elementele individuale interferează producând
spectrul dorit.

Fig. Policrometru programabil cu reţea de difracţie

Microsenzor cu SAW integrat ce utilizează GaAs
Pornind de la ideea de a realiza un sistem senzorial miniaturizat
cu cost redus s-a realizat un senzor acustic sub formă de microcip
care presupune o înaltă sensibilitate gravimetrică şi combină această
sensibilitate cu un cip electronic de control. Proprietăţile
piezoelectrice şi semiconductive ale substratului de fosfoarseniură
de galiu (GaAs) activează dispozitivele pentru generarea semnalelor
7
undei acustice de suprafaţa senzorului pentru a fi construite cu cip
electronic de control. Dispozitivele construite funcţionează între
100 şi 450 Mhz.

Fig. Microsenzor cu SAW integrat ce utilizează GaAs

Microsenzor acustico-chimic
O maşină cu platforma flexibilă( FPW) şi un film senzitiv
chimic serveşte ca idee de platforma chimico-sensibila. De uz
general chimic aceste dispozitive sunt analoge cu dispozitivul SAW,
dar poate fi fabricat din silicon şi integrat într-un sistem
microelectronic. Aplicaţiile potenţiale include detectarea compuşilor
organici volatili, explozivi, droguri şi agenţi chimici nocivi omului.

Fig. Microsenzor acustico-chimic

Spectrometria cu ioni mobili
Ion Mobility Spectrometry( IMS) au la baza construcţiei lor
tuburi plutitoare pentru joasă temperatura, materiale ceramice arse
(LTCC) şi structuri de control LIGA, materiale ieftine care fac
aceşti microsenzori mai puţin scumpi. A creat un microsistem, ce
poate fi ţinut în mână, de detectare a explozivililor bazat pe aceste
tuburi plutitoare de miniatură.

8
 Fig. Spectrometria cu ioni mobili
Microsenzori electrochimici
Microsenzorii electrochimici sunt dispozitive sensibile la
reacţiile electrochimice dezvoltate să detecteze chimicalele
deversate în apă. Aceste dispozitive pentru generarea semnalelor se
compun din mătrici nanometrice foarte ordonate, cu electroziaranjati
după mărime care detectează urmele sau nivele de contaminanţi din
apă. Mătricile sunt proiectate având pe suprafaţa lor zeci de
milioane de electrozi foarte fini şi au avantajul fenomenelor de
difuzie la suprafaţă datorită distibutiei fine a cestor microelectrozi,
proprietate inaxistenta la mătricile cu electrozi de dimensiuni mari.
Aplicaţiile includ monitorizarea mediilor ambientale, industriale, şi
a instalaţiilor casnice pentru siguranţa surselor de apă.

Fig. Microsenzorii electrochimici

Microsenzori-laborator chimic pe un cip
Puterea de discriminare a tehnicilor chimiei analitice era mai de
mult realizată cu sisteme micro-analitice, sisteme care combina
senzorii cu medii pentru strângere mostre şi separând specia
9
constitutivă pentru identificare şi cuantificarea speciilor.
Actualmente aceste sisteme includ pompe, supape, coloane de
concentrare, benzine-chromatograph, şi senzori.

Fig. Microsenzori-laborator chimici pe un cip

1.2 Microsenzori Biologici
Electro-ace
Electro-acele sunt utilizate în diagnoză medicală, rapidă,
exactă, şi cu acurateţea rezultatelor sunt utilizate pentru serilitatea
investigaţiilor. Sandia Naţional Laboratories' Electroneedles( R) a
realizat o platformă capabilă să detecteze până la 50 analize
individuale în timp real şi in-vivo, fără percepţia durerii de către
pacient.

Fig. Electro-ace
Sunt utilizate pentru analiza: glucozei din sânge, enzimelor,
protetinelor, anticorpilor, a tuturor celulelor organismului uman şi a
toxinelor .
Microsenzori pe bază de celule
Scopul de acest proiect este dezvoltarea în mod genetic a unor
grupuri celulare bio-compatibile cu ţesuturile din jur , microsenzori
celularisensibile la modificări celulare biologice şi chimice.
10
Combinând genetică şi tehnicile de biologie moleculare, s-au
proiectat : un promotor direct în cromozomul drojdiei care produce
proteine verzi, mov şi roşu fluarescent prin expunerea la toxina
holerică.

Fluorescenta celulelor modificate genetic (proteine verde

fluaorescent, GFP) ca răspuns la cotactul cu toxina holerică

Adiţional s-a obţinut o imagine hiperspectrala care a fost utilizată

pentru a determina dacă putem cuantifica spectral răspunsul
fluorescent pentru mai multe dintre aceste linii celulare. Trei
fracţiuni din din aceste linii celulare modificate genetic au fost
mixate şi au exprima proteine verzi,violet, şi galben fluarescent.
Aceste imagini arată abilitatea analizei cu mai multe variante de date
de a autogenera imagini fluorescente a celulelor vii şi să interogheze
specia de proteină după fluorescenta multicoloră utilizată ca probă,
putând identifica o seamă de inscripţionări chemo, bio sau nucleare.

Fig. Microsenzori pe bază de celule

Biosenzori fotonici
Microsenzori care combina tehnologia bioprobelor cu
tehnologia fotonică, pentru a dezvolta un sistem compact, plan,
matriceal, din punct de vedere optic senzorul are o sensibilitate fără
precedent. Dispozitivele microsenzoriale de acest tip implica
structuri de ghidare îmbunătăţite cu rezonatoare tip sonerie.
Sensibilitatea lor este accentuată prin folosirea nanoparticulelor de
aur că ataşaţi optici pentru a amplifica răspunsul optic, cu scopul de
a detecta structuri la fel de mici precum un fragment de DNA.
11
 Fig. Biosenzori fotonici
SH-SAW Biosensors
Aceşti microsenzori sunt o clasă specială de dispozitive
acustice orizontale şi sunt utilizaţi pentru detectarea agenţilor
biologici în mediile lichide. Aceste dispozitive au avantajul dublu de
sensibilitatea înaltă, mai mică de un picogram/cm2, şi înaltă
specificitate, conferită de receptoarele biologice ca de exemplu
anticorpii, peptidele şi acizii nucleici. S-a demonstrat detectarea de
bacterii, particule virale şi proteine cu aceşti microsenzori.
1.3 Microsenzori fizici
Senzori tactili cu margine de câmp
Aceşti microsenzori foloseasc câmpurile electrice generate
între electrozii de suprafaţă pentru a examina atent accesoriile unei
piese de prelucrat alăturată. Scanând dispozitivul pentru generarea
semnalelor se creează o imagine a suprafeţei bazată pe variaţiile de
topografie, conductibilitate, sau permitivitate ale suprafeţei. Această
imagine poate să fi întrebuinţată pentru inspecţia de suprafaţă sau
pentru a controla maşinile automatizate sau sudură .

Fig. Senzori tactili cu margine de câmp

12
 FET- Microsenzor bazat pe radiaţii
Câmpul de radiaţie sensibilă are efect de tranzistor (RadFET)
şi utilizează un strat de nitrura de oxid pentru a capta în permanenţă.
Radiaţiile ionizate. Acest are drept rezultat o schimbare în voltajul
pragului de sensibilitate care indică doză de radiaţii primită. Un
spectrometru de radiaţie este construit pornind de la dispozitive
matriciale tip (RadFET) cu filtre de metal care permite trecerea
diferitelor tipuri de energie. Aplicaţiile includ monitoarele pentru
materiale speciale nucleare, dozimetria personală, şi terapia cu
radiaţie în cancer.

Fig. FET- microsenzor bazat pe radiaţii

Senzorul semiconductor pentru gaz

1. Descrierea dispozitivului
Senzorii semiconductori pentru gaz inventați de Naoyoshi Taguchi
sunt produși și comercializați de firma Figaro incepând din anul
1968. Din 1968 până in 1990 numai în Japonia sau utilizat 50
milioane de senzori.
Senzorul semiconductor conține un filament de incălzire care aduce
la temperatura de functionare (100 ¸ 400 oC) materialul
semiconductor aflat pe tubul ceramic ce înconjoara acest filament.

13
Figura 1. Sructura unui senzor semiconductor cu bioxid de staniu.
În prezenta unui gaz reducător rezistența electrică a substanței
semiconductoare se modifică drastic chiar pentru concentrații mici
de gaz. Cel mai utilizat material semiconductor sensibil la gaze este
bioxidul de staniu (SnO2), o substanta relativ comună, mult utilizată
pentru glazurarea de culoare alba a porțelanurilor. Mulți alți oxizi
sunt sensibili față de gaze ca oxizii de fier, oxidul de zinc, oxizii de
crom, etc. precum și compușii oxidici.
Materialul semiconductor este depus pe tubul ceramic din alumină
(Al2O3) fie ca o pastă ce este ulterior sinterizată, fie ca film subțire
obținut prin evaporarea termică sau pulverizarea catodică in incinte
vidate a substanței dorite. Pasta folosită pentru senzori se obține prin
amestecarea pulberii cu granulație foarte fină (diametrul granulelor
< 1m m) din bioxid de staniu cu un lichid care să mențină pulberea
în suspensie. Lichidul poate fi apă, dar mult mai bine este dacă se
folosește un lichid de tipul uleiurilor volatile precum uleiul de
lavandă si terbentină sau alcooli grei de tipul alcoolului propilic,
glicerinei, etc. La uscare pasta nu trebuie să crape, comportarea ei
trebuind sa fie asemănătoare cu cea a vopselelor din comerț.

14
Figura 2. Aspectul unui senzor semiconductor cu strat gros din
SnO2.

2. Principiul de functionare
Materialul semiconductor al senzorului de gaz este de obicei
bioxidul de staniu (SnO2) sub forma unei ceramici poroase. Staniul
se află în stare de oxidare maxima în bioxidul de staniu (Sn4+),
existând și oxidul de staniu (SnO) unde staniul este in stare
inferioară de oxidare (Sn2+). Ca regulă generală oxizii superiori au
deficit de atomi de oxigen, din această cauză răman electroni liberi
în bandă de conducție de la atomii de staniu de langă care lipsesc
atomii de oxigen. In acest fel SnO2 este un semiconductor de tip "n"
cu o zonă interzisă mare (3,6 eV).
Pe suprafața granulelor de bioxid de staniu se adsorb
moleculele de oxigen care preiau electroni din banda de conducție și
din această cauză conductivitatea electrică la suprafața granulelor
scade foarte mult. În plus suprafața se încarcă negativ față de restul
semiconductorului ingreunând adsorbția in continuare a oxigenului.
Din punct de vedere energetic benzile de energie ale electronilor se
curbeaza în sus , către energii mai mari, astfel ca poziția nivelului
Fermi din interiorul semiconductorului sa coincidă cu cea de la
suprafață. Energia de extracție devine mai mare în prezența
oxigenului adsorbit. In acest mod se formează la zona de contact
dintre 2 granule de SnO2 o barieră de potențial ce impiedică trecerea
electronilor de la o granulă la alta.
15
Figura 3. Efectul oxigenului adsorbit asupra structurii de benzi a
semiconductorului este de a sărăci suprafața senzorului în electroni
de conducție (formeaza o bariera de potențial).
Bioxidul de staniu sub forma de film gros ceramic este materialul de
baza în senzorii pentru gaze din sistemele de alarmare folosite
pentru monitorizarea concentrației gazelor inflamabile sau toxice.
Conductanța acestui material de tip "n" in funcție de temperatura
este:
G = G0 × e-e× Vs / (k× T) (1)
unde:
 eVS –este energia barierei de potential de suprafața dintre
granulele de SnO2, iar
 G0 –este un factor care include geometria materialului și
conductivitatea în volum din interiorul granulei.
În ecuatia (1) s-a presupus o cădere de potențial pe fiecare contact
intergranular mai mică decat kT/e astfel încat dependența dintre
curent și tensiune sa fie liniara (ohmică).
Nivelele donoare aflate la 0,03¸ 0,034 eV si 0,14¸ 0,15 V sub
bandă de conducție, datorate ionizarii simple sau duble a vacantelor
de oxigen se presupune că sunt complet ionizate la temperatura de
lucru (sute de grade Celsius). Acest fapt face G0 practic independent
de temperatura comparativ cu termenul exponential. Pe baza acestui
16
model influența diferitelor gaze se manifestă asupra barierei de
energie eVS. Înalțimea barierei de potențial eVS la suprafața
semiconductorului este descrisă de ecuația Schottky [1] :
e·VS = Nt2·e2 /(2·er·eo·Nd) (2)
unde:
 Nt – densitatea pe suprafata a oxigenului ionosorbit (O2-, O- ) ;
 er×e o – permitivitatea de volum a materialului ;
 Nd – densitatea de volum a donorilor ;
 Et – nivelul de energie al oxigenului ionosorbit
Conform statisticii Fermi - Dirac avem:
Nt = NS(pO2,T)·e - (Et - F)/(kT)
NS(pO2,T) @ NO ·(a·pO2 )kT/Eo
unde:
 NO - numarul moleculelor de O2 adsorbite pe unitatea de
suprafață;
 E0 @ 0,2 eV - energie caracteristică suprafeței.
În general astfel de materiale au o comportare neohmică,
dependența curent - tensiune nu este liniara. Dependența de
presiunea de oxigen a rezistenței electrice este:
R = R0 · e Ea /(kT) · p1/h (O2)
La temperatura de functionare a senzorului de 300 ¸ 4000C,
prezența unei anumite cantități de gaz reducator in atmosfera
declansează reacția de oxidare a gazului pe suprafața
semiconductorului. Îndepartând o parte din oxigenul adsorbit,
gazul reducator reduce bariera de potențial și scade drastic
rezistența electrică a materialului.

17
 Dependența conductanței materialului de concentrația gazului
reducător este de tipul:
G = G0 + g ·p S
unde:
 "S" –este un indice subunitar în general aproape de 0,5,
 "p" –presiunea parțială a gazului reducător,
 "G0", "g " –constante.
Cum conductanța în aer curat (G0) este mică se poate scrie ca:
G ~ p S sau R ~ p-S
Graficul logaritmului rezistenței electrice în funcție de logaritmul
concentrației de gaz reducător este o linie dreaptă cu panta "- S".

Figura 4. Graficul logaritmului rezistenței electrice in funcție de

logaritmul concentrației de gaz reducător.
Gazele detectabile cu senzori semiconductori sunt reducătoare
(metan, propan, butan, hidrogen, alcool, acetona, benzine), toxice
(CO, SO2, H2S), tehnice (freoni, NH3 ).
3. Răspunsul senzorului
Pe suprafața materialului oxidic de tip"n" (SnO2 ,WO3 ,Fe2O3 ,ZnO)
se adsoarbe oxigen, care imobilizeaza un electron din banda de
18
conducție. Un gaz reducator (H2 ,CO, hidrocarburi) prezent in aer se
poate combina cu oxigenul adsorbit (ardere catalitică). Fiecare atom
de oxigen ce parasește suprafața senzorului eliberează un electron în
banda de conducție a semiconductorului, marindu-i conductivitatea.
Purtătorii de sarcină generați termic sunt neglijabili fată de cei
datorați impuritaților, care in acest caz sunt vacantele de oxigen de
la suprafața senzorului.
Viteza de generare a vacantelor este proporționala cu numărul
ciocnirilor atomilor reducatori în unitatea de timp, pe unitatea de
suprafață a semiconductorului, adică cu concentrația gazului
reducător "c", dar și cu numărul pozițiilor ocupate de oxigen "nOx"
pe unitatea de suprafață a oxidului semiconductor [2].
Viteza de anulare a vacantelor de oxigen va fi proporțională cu
concentrația de oxigen "cOx", dar și cu numărul vacantelor pe
unitatea de suprafață "n". Combinand cele două tendințe găsim
urmatoarea relație pentru numărul vacantelor de oxigen de la
suprafața semiconductorului :
dn/dt = A·nOx·c - B·n·cOx
unde A si B sunt constante fenomenologice. Numărul total de poziții
N ocupabile de oxigen pe unitatea de suprafață a semiconductorului
ramâne constant, adică:
nOx + n = N
La echilibru dn/dt = 0 de unde rezultă :
n = c·A·nOx / (B·cOx)
adică conductanța senzorului va fi proporțională cu concentrația
gazului reducator "c" dacă c<<cO deci n<<N si nO @ N.
Solutia generala a ecuației este [3] :
n(t) = [c·A·N /(A·c+B·cOx)]·[1- e - (A·c+B·Cox)· t ]

19
care cu aproximația precedentă la timpi mici are forma :
n(t) = c·A·N·t
Din cele expuse rezultă următoarele concluzii:
 conductivitatea de echilibru este proportională cu concentrația
gazului reducător;
 creșterea conductivitații la timpi mici este proporțională cu
concentrația;
 timpul de revenire (cand c=0) este mai mare decat timpul de
creștere (cand c? 0) fiindcă :
B·cOx <B·cOx+A·c

4. Circuitul electric
Sensibilitatea mare la gaz a senzorului semiconductor face posibilă
utilizarea unor circuite simple pentru interfațarea lui.

Figura 5. Circuit simplu de alarmare la prezența gazului periculos.

Alimentarea senzorului se face de la o sursă de tensiune stabilizată,
de obicei de 5V (tip 7805 sau 7905). Circuitul de sesizare este
realizat prin înserierea unei rezistențe R de valoare corespunzatoare
cu senzorul și supravegherea tensiunii în punctul comun al
rezistenței senzorului Rs si rezistenței R. Valoarea rezistenței trebuie
aleasă astfel ca:

20
  in aer curat tensiunea la borna de masura B să fie sub 0,6V,
tensiunea de deschidere a tranzistorului,
 iar la concentratia periculoasă de gaz să fie mai mare decât
0,6V.
Exemplu:
Rezistența electrică a senzorului în aer curat este 20kW .
Rezistența electrică a senzorului în aer cu 0,5% metan este 5kW .
Curentul prin rezistența senzorului va fi :
5V = (RS + R) × I => I = 5V/ (RS + R)
care impreună cu condiția impusă pentru alarmare :
R× I = 1V (tensiunea de alarmare) => I = 1V/R
fixeaza valoarea rezistenței R :
I = 1V/R = 5V/ (RS + R) => R = RS /4 = 1,2 kW .
În varianta a doua amplificatorul operațional AO1 aplică pe
rezistența senzorului RS o tensiune constantă, cea de deschidere a
diodei D, UD » 0,65 V prin intermediul curentului I1 injectat cu
tranzistorul T1.

21
Figura 6. Circuit cu amplificatoare operaționale cu tensiunea de
ieșire proportionalăcu conductanța senzorului (inversul rezistenței
electrice).
Acest curent este preluat ca o cădere de tensiune pe rezistență
R de intrarea "+" a operaționalului AO2. Curentul prin tranzistorul
T2 este comandat de AO2 astfel că potențialele pe intrările "+" si "-"
să fie egale:
R·I1 = R1·I2 .
Căderea de tensiune pe rezistența R2 va fi:
U2 = R2·I2 = UD·(R2/R1)·(R/RS)
Proporțională cu inversul rezisțentei senzorului. Se asigură în acest
fel un răspuns al circuitului mult mai aproape de liniaritate și un
domeniu de măsurare mai larg.

22
 Aplicație practică.
Senzor de gaz cu Arduino Uno și MQ2
Senzor de gaz MQ2.

Caracteristici tehnice:
Tensiune: 5V;
Curent: 150mA;
Rezistență heater: 33R;
Temperatură de lucru: -20°C - 50°C;
Output digital sau analogic.
Dimensiuni: 33 x 14 x 1.6mm;

23
Modulul este folosit pentru a detecta scurgerile de gaze în încăperi
mici sau mari și reprezintă o metodă de precauție pentru incendii sau
pentru intoxicații.
Senzorul are o sensibilitate ridicată și principalele gaze pe care le
vizează sunt GPL-ul, izobutan, propan, metan, alcool, hidrogen și
fum.
Senzorul dispune de un comparator, astfel că puteți citi date
analogice în timp real sau puteți afla dacă concentrația de gaz a
depășit o anumita limită.

Placă de dezvoltare UNO R3 MCU MEGA328P-

ATMEGA16U2

Arduino este este o platforma de procesare open-source.

24
Placa de dezvoltare Uno R3 este 0 versiune de Uno, cu o interfață
USB noua și îmbunătățită. Ca și Uno are slot de expansiune cu
suport pentru 3,3 V, pin de RESET și un sistem de selecție automat
pentru sursa de alimentare USB sau DC. Uno este compatibil din
perspectiva codului și a formatului cu Duemilanove, Diecimilla și
alte versiuni mai vechi de Arduino, deci toate librăriile și modulele
pe care le ai vor funcționa fără nici o problema. Uno R3 oferă în
plus o concesiune usb îmbunătățită, pini în plus pentru suportul I2C
și IORef.

Microcontroler ATmega328
Voltaj de operare 5V
Voltaj de intrare 7-10 V
14 pini de intrare/ieșire digitali (cu suport pentru PWM)
6 intrări analogice
Curent per pin 40 mA
Memorie Flash 32 KB
SRAM 2 KB
EEPROM 1 KB
Ceas 16 MHz

25
În programul Arduino se va încărca următorul cod:

26
La apariția gazului în contact cu senzorul modulul Arduino uno va
primi un semnal analog de la sensor care îl va converti într-un
semnal digital.
Acest semnal va putea :
-aprinde un led;
-alimenta un buzzer care ne atentioneaza ca în încăpere există o
concentrație ridicată de fum, gaz.

5. Bibliografie
1. V. Lantto, P. Romppainen, S. Leppavuori, "A study of the
temperature dependence of the barrier energy in porous tin
dioxide", Sensors & Actuators, 14, (1988), 149-163
2. S.E. Fredericks, R.S. Scott, "Design for a combustible gas
measuring circuit", Rev. Scientific Instruments, 46 (6), 657,
(1975)
3. N.M. Barlea, M.L. Barlea, "Model de functionare a senzorilor
semiconductori pentru gaze", Sesiunea de comunicari stiintifice
"Tineretul - valorile stiintifice si tehnice actuale si de
perspectiva", Bistrita 11 - 13 octombrie 1988, program lucrarea
30.
4. Internet

27