Cap 4: Metode, procedee si dispozitive uzuale de depunere a straturilor subtiri in vid. 4.1.

Metode si dispozitive de depunere prin evaporare termica in vid si condensare din faza de vapori. 4.1.1. Evaporarea termica rezistiva 4.1.2. Evaporarea termica cu fascicul de electroni 4.1.3. Alte metode de evaporare termica 4.2. Metode, procedee si dispositive de depunere prin pulverizare 4.2.1. Pulverizarea catodica (nereactiva si reactiva) 4.2.1. A Pulverizarea catodica tip dioda in curent continuu 4.2.1. D Pulverizarea catodica tip magnetron (generalitati, magnetroane, sisteme de pulverizare magnetron) 300 4.2.2. Pulverizarea cu fascicule de ioni 4.3. Metode de depunere prin placare ionica 4.3.1. Metode de placare ionica cu generarea particulelor ionizate in spatial tehnologic 4.3.1. A Placarea ionica prin procese tip P.V.D., asistate de plasma 326 323 283 283 261 277 282

4.3.1. B Placarea ionica prin procese intense de evaporare in arc electric sau placare ionica reactiva activate 328 4.4. Metode de depunere chimica din vapori la presiune scazuta 4.4.1. Depunerea chimica din vapori la presiune normala (TCVD) sau scazuta (TLPCVD), asistata termic 338 4.4.2. Depunerea chimica din vapori la presiune scazuta, asistata (imbogatita) de plasma (PECVD) 341 4.4.3. Depunerea chimica din vapori la presiune scazuta, asistata de fascicule de electroni 4.4.4. Depunerea chimica din vapori la presiune scazuta, asistata de fotoni 349 347

Cap 5: Monitorizarea si controlul depunerii de straturi subtiri in vid 5.2. Metode de control si monitorizare a depunerilor 5.2.1. Metoda rezonatorului cu cuart 5.2.2. Metoda traductorului de presiune cu ionizare 5.2.3. Metoda rezistentei medii de suprafata 5.2.4. Metoda fotometrica 5.2.4.1. Notiuni fundamentale privind fenomenele optice 5.2.4.2. Monitoare optice Cap 6: Metode si mijloace de caracterizare a straturilor subtiri depuse in vid 364 376 361 352 358

6.1. Metode si mijloace de analiza a suprafetei pentru determinarea compozitiei straturilor subtiri depuse in vid. Clasificarea si sistematizarea metodelor de analiza a suprafetei 380 6.1.1. Metode de analiza a suprafetei prin excitare termica si detectie de particule neutre 6.1.2. Metode de analiza a suprafetei prin bombardare cu electroni 6.1.3. Metode de analiza a suprafetei prin bombardare cu ioni 6.2. Metode si mijloace de determinare a structurii straturilor subtiri depuse in vid 6.2.1. Metoda difractiei (A,B,C) 6.2.2. Metode spectroscopice 6.2.3. Metoda microscopiei electronice, de raze X, sau optice 6.2.4. Metoda rezonantei magnetice nucleare, RMN 6.3. Metode si mijloace de determinare a grosimii straturilor subtiri depuse in vid 6.3.1. Metoda gravimetrica 6.3.2. Metode electrice (A, B) 6.3.3. Metode magnetice 6.3.4. Metode optice (A,B,C,D,E) 6.4. Metode si mijloace de determinare a aderentei straturilor subtiridepuse in vid 6.4.1. Testul de decojire cu banda adeziva 6.4.2. Testul de decojire prin tragere directa 6.4.3. Testul de aderenta cu laser 6.4.4. Testul de aderenta prin deformare plastica 6.4.5. Testul de aderenta prin zgariere 6.5. Metode si mijloace de determinare a microduritatii straturilor subtiri depuse in vid 6.5.1. Metodele Vickers si Knopp 6.5.2. Metoda ultrasonica 6.6. Metode si mijloace de determinare a rezistentei la coroziune 6.6.1. Bazele fizico-chimice ale coroziunii (A,B,C,D) 6.6.2. Indicii de apreciere a coroziunii. Grupe de rezistenta la coroziune 6.6.3. Metode de determinare a rezistentei la coroziune 436..441 443 444 431 434 423 424 425 426 423 411..416 407.408 408 407 405 406 401..403 404 382 389 381