CAPITOLUL 5

ANTENE FABRICATE PRIN MICROPRELUCRARE

5.1 Introducere

Antenele planare de microunde realizate pe membrane dielectrice subtiri fabricate prin

microprelucrare ofera avantaje importante comparativ cu antenele realizate pe substrate dielectrice
groase. Printre acestea se numara reducerea pierderilor dielectrice, reducerea dispersiei, suprimarea
modurilor superioare in substrat. Mai exista un avantaj important inca insuficient exploatat pana acum:
posibilitatea de a utiliza antenele in arhitecturi noi, neconventionale, dificil de realizat prin tehnologii
conventionale.
Prima antena microprelucrata a fost raportata de Rebeiz in 1990 in [5.1]. Aceasta antena este o
antena dipol realizata pe o membrana dielectrica SiO2/Si3N4 cu o grosime de 1 µm plasata intr-o
cavitate microprelucrata in siliciu.
Microprelucrarea a fost utilizata intensiv pentru ameliorarea performantelor antenelor
microstrip, afectate de cerintele contradictorii pentru permitivitatea substratului din punct de vedere al
eficientei de radiatie si al excitatatiei optime. In [5.2] substratul este inlaturat de sub antena microstrip
pentru a asigura indeplinirea ambelor cerinte. In toate aceste cazuri, desi antena este planara, intreaga
structura este in esenta tridimensionala necesitand microprelucrarea mai multor plachete, urmata de
alinierea si lipirea lor.

Figura 5.1 Antena dipol fabricata prin microprelucrare [5.1]

Din punctul de vedere al principalei directii de radiatie, antenele planare pot fi impartite in
doua mari categorii:
(i) antene cu o caracteristica de radiatie tip “broadside”, la care directia de radiatie este
perpendiculara pe planul metalizarii (figura 5.2)
(ii) antene cu caracteristica de radiatie de tip “endfire”, la care directia de radiatie este paralela
cu planul de metalizare al antenei (figura 5.3).

Figura 5.2 Antena planara cu caracteristica de radiatie “broadside”

CAPITOLUL 5

Figura 5.3 Antena planara cu caracteristica de radiatie “endfire”

Primele antene planare cu caracteristica de radiatie “endfire” au fost prezentate in [5.3].

Acestea sunt antene bazate pe linii slotline neuniforme, fabricate pe membrane SiO2/Si3N4 cu grosimea
1.7 µm (figura 5.4). Deoarece lungimea liniei slotline este de cateva ori mai mare decat lungimea de
unda si dimensiunile membranelor dielectrice au dimensiuni limitate din punct de vedere tehnologic,
aceste antene pot fi fabricate numai pentru frecvente de sute de GHz.

Figura 5.4 Antena linie slotline neuniforma pe membrana [5.3]

Antenele care vor fi prezentate in acest capitol sunt antene planare din ambele categorii. Ele au
frecvente de functionare in domeniul undelor milimetrice si au drept avantaje simplitatea fabricarii lor
(sunt realizate prin microprelucrarea unei singure plachete de siliciu sau GaAs) concomitent cu
caracteristici de radiatie (castig, directivitate) foarte bune. In plus, aceste antene pot fi usor integrate cu
dispozitive active de microunde, pentru a realiza microsisteme de receptie si emisie performante.
Pentru facilitarea integrarii, antenele sunt alimentate prin linii de transmisie CPW.

5.2 Antene dublu slot foldat

Antenele dublu slot foldat constituie o solutie interesanta pentru obtinerea de antene planare
compacte cu performante bune, pentru aplicatii de emisie/receptie pentru unde milimetrice. Un
exemplu de antena este prezentat in figura 5.5 [5.4]. Antena este de fapt o retea de doua antene slot
foldat fabricate pe substrat de siliciu de mare rezistivitate. Directia principala de radiatie este inspre
substrat, deci distanta dintre cele doua sloturi foldate (cu un layout asemanator cu cel al unui stub
CPW simetric terminat in gol) este jumatate de lungime de unda in substrat. Deoarece aceasta lungime
de unda difera de lungimea de unda pe linia CPW care alimentaza reteaua, linia CPW trebuie foldata
pantru a asigura o excitatie corecta. Deoarece orice discontinuitate pe linia CPW introduce si alte
moduri de propagare decat CPW, pentru eliminarea acestora este necesara utilizarea puntilor in aer
pentru egalizarea potentialului planelor de masa ale liniei CPW (figura 5.5)

102
 ANTENE FABRICATE PRIN MICROPRELUCRARE

Figura 5.5 Antena dublu slot foldat pe substrat de siliciu [5.4]

In [5.5] sunt prezentate doua antene dublu slot foldat realizate pe membrane dielectrice subtiri,
fabricate prin microprelucrarea siliciului de mare rezistivitate, pentru frecventele de 77 si 94 GHz.
Aceste frecvente sunt utilizate de radarele auto anti-coliziune. Proiectarea antenelor, al caror layout
este prezentat in figura 5.6, urmareste procedura standard pentru proiectarea microstructurilor RF
MEMS pe membrane subtiri din figura 3.24. Mai intai, prin simulari EM, se determina parametrii
liniilor CPW.
Urmeaza estimarea analitica a valorilor pentru lungimea sloturilor foldate S si a distantei dintre
ele D. Deoarece antenele sunt fabricate pe membrane dielectrice subtiri, ele functioneaza ca si cum ar
fi suspendate in spatiul liber. Amandoi parametrii sunt estimati la jumatate de lungime de unda in
spatiul liber la frecventa de functionare (1948 µm pentru 77 GHz si 1596 µm pentru 94 GHz).
Deoarece lungimea de unda a liniei CPW centrale este practic egala cu lungimea de unda in spatiul
liber, nu este necesara foldarea acesteia pentru a avea excitatia corecta a celor doua sloturi foldate.
Datorita simetriei structurii layout-ului, pentru aceasta antena nu este necesara utilizarea puntilor in aer
intre planele de masa (aceasta reprezinta o simplificare tehnologica importanta).
Datorita cuplajului electromagnetic intre cele doua sloturi foldate, nu este posibila optimizarea
circuitului utilizand un circuit echivalent cu linii de transmisie si analiza de circuit de microunde.
Rezulta necesitatea optimizarii layout-ului intregii antene utilizand simulari electromagnetice. A fost
utilizat pachetul de programe Zeland IE3D, prezentat pe scurt in capitolul 3. Dimensiunile geometrice
ale liniilor CPW sunt prezentate in figura 5.6. Pentru antena care functioneaza la 77 GHz, D = 1600
µm si S = 1600 µm, iar pentru cea de 94 GHz valorile sunt D = 1300 µm si S = 1300 µm.

Marginea membranei Plan referinta

50/50/50
25/100/25
25/50/25

D
Port intrare

Figura 5.6 Layout-ul antenei dublu slot foldat realizata pe membrana

Figura 5.7 prezinta diagramele de radiatie 2D pentru cele doua antene, obtinute prin simulare
EM. Marimea reprezentata este castigul antenei in dBi (dB fata de puterea radiata de antena ideala cu
caracteristica de radiatie izotropa). Curba phi = 0 (deg) corespunde unui plan perpendicular pe linia
CPW de excitatie (planul H) iar curba phi = 90 (deg) corespunde unui plan paralel cu linia CPW de
excitatie (planul E). Latimea spotului de radiatie in planul E este ingustat datorita efectului de retea de
antene.

103
CAPITOLUL 5

Figura 5.7 Diagramele de radiatie 2D pentru antena de 77 GHz (stanga) si

94 GHz (dreapta)

Figura 5.8 prezinta diagrama de radiatie 3D a antenei dublu slot foldat de 77 GHz. Se remarca
caracteristica de radiatie “broadside” si faptul ca in absenta substratului diagrama de radiatie este
simetrica fata de planul metalizarii antenei. Aceasta caracteristica de radiatie poate fi utilizata in noi
arhitecturi de microsisteme de emisie/receptie, sau al doilea lob al antenei poate fi suprimat prin
plasarea unui reflector. Plasarea unui reflector la o distanta adecvata permite cresterea castigului
antenei cu circa 3 dB in directia principala de radiatie (castigul ajungand astfel la 8 … 9 dBi).

Figura 5.8 Caracteristica de radiatie 3D simulata pentru antena de 77 GHz

Desi are performante bune in domeniul undelor milimetrice, antena dublu slot foldat din figura
5.6 are si un mare dezavantaj: ea nu poate fi usor integrata, in tehnologie monolitica sau hibrida, cu
dispozitivele active de microunde, daca acestea sunt plasate in serie pe linia CPW de alimentare.
Dispozitivele semiconductoare trebuiesc alimentate in curent continuu, iar conductorul central al liniei
CPW se termina in gol. Acest dezavantaj este eliminat de configuratia de antena dublu slot foldat din
figura 5.11 prezentata in [5.6].
Fata de antena din figura 5.6, noul layout are un stub CPW terminat in scurtcircuit plasat
simetric cu linia CPW care alimenteaza antena. Acest stub are mai multe functii in circuit:
ƒ asigura o cale de curent continuu pentru conductorul central al liniei CPW
ƒ asigura conditii de gol in planul de referinta al antenei slot din dreapta, neafectand functionarea ei
la inalta frecventa
ƒ asigura o caracteristica de radiatie simetrica pentru reteaua de antene, balansand efectul radiatiei
liniei de alimentare.
Proiectarea antenei urmeaza aceeasi procedura utilizata pentru proiectarea antenelor
precedente. Metodologia poate fi descrisa prin urmatorii pasi:

104
 ANTENE FABRICATE PRIN MICROPRELUCRARE
1. Estimarea analitica a celor mai importante dimensiuni ale layout-ului antenei la frecventa centrala
de functionare. Deoarece antena functioneaza practic suspendata in aer, aceste dimensiuni sunt
exprimate in functie de lungimea de unda in spatiul liber.
2. Optimizarea performantelor antenei din punct de vedere al caracteristicilor de radiatie, castigul
antenei, pierderile prin reflexie utilizand intensiv simularea electromagnetica.
3. Fabricarea si testarea demonstratoarelor de antene.
4. Proiectarea si optimizarea antenelor care urmeaza sa fie integrate impreuna cu alte circuite in
microsisteme de emisie/receptie.

L
S

Figura 5.11 Layout-ul antenei dublu slot foldat

Distanta dintre cele doua sloturi foldate D se alege initial ca fiind jumatate din lungimea de
unda in spatiul liber la frecventa de lucru a antenei. Aceasta conditie este in buna concordanta cu
conditia de faza pe care trebuie sa o satisfaca linia CPW centrala care alimenteaza cele doua antene
(datorita unei constante dielectrice efective practic unitare).
Lungimea L a slotului foldat este aleasa initial ca fiind tot jumatate din lungimea de unda.
Astfel se asigura rezonanta antenei slot la frecventa de lucru. Pentru ca stubul CPW sa nu afecteze
functionarea antenei slot din stanga, lungimea S este aleasa un sfert de lungime de unda.
Proiectarea continua pe baza simularilor EM urmarind optimizarea caracteristicii de radiatie a
retelei de antene simultan cu indeplinirea conditiilor de adaptare la frecventa centrala de lucru. In [5.6]
frecventa de lucru a fost aleasa 45 GHz (banda utilizata pentru comunicatii prin satelit sau pentru
sisteme de radionavigatie).
Este dificila, daca nu imposibila, adaptarea directa a antenei dublu slot foldat fabricate pe o
membrana dielectrica subtire direct la impedanta caracteristica de 50 Ω. De aceea, se urmareste in
proiectare ca diagrama impedantei de intrare sa faca o bucla cat mai stransa pe diagrama Smith in jurul
frecventei centrale de lucru (figura 5.12). Astfel se asigura o banda de frecvente de functionare cat mai
larga pentru antena. Impedanta de intrare la frecventa de lucru este de 165 + j 134 Ω.
Daca se doreste utilizarea antenei ca circuit de sine statator, adaptat la Zo = 50 Ω, reteaua de
adaptare poate fi proiectata utilizand tehnicile standard [3.4] si poate fi realizata partial pe substrat si
partial pe membrana. In general antena este integrata cu dispozitive active. In acest caz, reteaua de
adaptare este proiectata pentru a asigura transferul maxim de putere intre impedanta antenei si
impedanta echivalenta a dispozitivului activ.

105
CAPITOLUL 5

Figura 5.12 Impedanta de intrare a antenei dublu slot foldat

Pentru analiza benzii de frecvente a antenei, se urmareste parametrul VSWR la interfata dintre
antena si reteaua de adaptare. Rezultatul este prezentat in figura 5.13 si se observa o banda de
aproximativ 25 % pentru un VSWR mai mic de 2.

Figura 5.13 VSWR la intrarea antenei dublu slot foldat

Rezultatele obtinute prin simulare electromagnetica pentru impedanta de intrare trebuiesc

corelate cu rezultatele obtinute pentru caracteristicile de radiatie ale antenei. Caracteristica de radiatie
3D simulata la frecventa de 45 GHz este prezentata in figura 5.14 (in conditii de adaptare pentru
antena). Se remarca simetria caracteristicii fata de planul metalizarii antenei, precum si un castig de
circa 6 dBi in principala directie de radiatie.

Figura 5.14 Caracteristica de radiatie 3D simulata pentru antena dublu slot foldat la frecventa
de 45 GHz

106
 ANTENE FABRICATE PRIN MICROPRELUCRARE
In urma optimizarii, dimensiunile principale ale layout-ului sunt: L = 3.000 µm, D = 3.600 µm
and S = 1.550 µm. Demonstratorul de antena a fost fabricat utilizand fluxul tehnologic bazat pe
corodarea uscata a plachetei de siliciu de mare rezistivitate (sectiunea 2.6.2). Fotografia optica a
antenei astfel realizate este prezentata in figura 5.15.

membrana bulk

Figura 5.15 Fotografia structurii de antena dublu slot foldat pentru 45 GHz

Au fost fabricate mai multe structuri identice de antene, pe plachete diferite. Pierderile de
reflexie au fost masurate direct pe placheta, iar rezultatele experimentale impreuna cu rezultatele
obtinute prin simulare EM sunt prezentate in figura 5.16. Concordanta simulare-experiment este foarte
buna, lucru care poate fi exploatat in proiectarea unor microsisteme complexe care sa integreze
structurile unor astfel de antene. Aparenta deplasare a frecventei centrale de functionare se datoreaza
faptului ca nu a fost utilizata nici o retea de adaptare pentru structura de antena demonstrator.

Figura 5.16 Pierderile de reflexie simulate (patrate) si masurate pentru antena

dublu slot foldat

5.3 Antene Yagi-Uda fabricate pe membrane subtiri

Antena Yagi-Uda a fost inventata in Japonia de catre Yagi si Uda in 1926. Ea a devenit antena
standard pentru comunicatii in benzile de HF (“high frequency”) si UHF (“ultra high frequency”) –
frecvente de zeci … sute de MHz, devenind foarte populara pentru receptia TV.
Antena Yagi-Uda este o retea de antene cu unda calatoare la care directivitatea si raportul
fata/spate pot fi imbunatatite prin cresterea numarului de elemente. Ea se bazeaza pe un numar de
elemente parazite care nu sunt direct alimentate cu semnal de inalta frecventa dar care sunt plasate in
vecinatatea unei antene dipol active. In aceste elemente este indus un curent de catre elementul
(dipolul) activ si participa la concentrarea energiei radiate pe o anumita directie. In functie de lungimea
lor si de distanta de la dipolul activ, elementele parazite pot fi directoare sau reflectoare. Elementele
directoare sunt mai scurte decat dipolul activ si au rolul de a directiona emisia radiatiei
electromagnetice. Elementele reflector sunt mai lungi decat dipolul activ si reflecta radiatia. Rezultatul

107
CAPITOLUL 5
final il constituie o caracteristica de radiatie de tip “endfire”. Structura de baza a antenei este formata
dintr-un reflector, un dipol activ si mai multe elemente directoare.
Inca de la inventarea lor, structurile de antene Yagi-Uda au fost intens studiate atat teoretic cat
si experimental pentru frecvente de zeci-sute de MHz. Lucrarea [5.7] prezinta o sinteza a informatiilor
acumulate de-a lungul timpului despre proiectarea optima a acestor antene. Deoarece se refera la
structurile de antene Yagi-Uda suspendate in spatiul liber, datele din [5.7] pot fi utilizate, prin scalare,
pentru proiectarea antenelor care functioneaza la frecvente de GHz ... zeci GHz. Desigur, utilizarea
tehnologiilor clasice face practic imposibila fabricarea antenelor pentru aceste frecvente
(conductoarele din care ar trebui realizate au lungimi de zeci de milimetri si diametre de sute de
microni).
Pentru realizarea de antene Yagi-Uda pentru frecvente de microunde in tehnologie planara, un
nou concept, acela de antene “cvasi-Yagi”, a fost propus si testat practic cu succes in [5.8]. Aceast
concept se bazeaza pe propagarea undelor de suprafata in substratul dielectric al circuitului planar si
utilizeaza planul de masa trunchiat al unei linii CPW pentru obtinerea elementului reflector. Antena
este compacta si are performante bune pana la frecventa de 10...20 GHz, dar scalarea ei pentru
frecvente mai inalte necesita si reducerea grosimii substratului. Astfel ea devine dificil de fabricat
pentru domeniul undelor milimetrice.
Utilizand tehnologiile de microprelucrare ale substratelor semiconductoare a devenit posibila
suspendarea structurilor de antene Yagi-Uda pe membrane dielectrice subtiri. Membrana asigura
suportul mecanic pentru elementele antenei iar ea este practic suspendata in aer. Deoarece
dimensiunile de gabarit ale intregii antene sunt comparabile cu lungimea de unda in spatiul liber,
antenele planare Yagi-Uda realizate pe membrane subtiri sunt foarte utile pentru aplicatii in domeniile
undelor milimetrice si sub-milimetrice.
Figura 5.17 prezinta configuratia unei antene planare Yagi-Uda [5.9]. Antena are doi directori
iar in rolul de reflector este utilizat planul de masa trunchiat al liniei CPW de alimentare. Pentru
alimentarea dipolului activ al antenei cu o linie CPW, este necesara utilizarea unei tranzitii CPW –
slotline – stripuri coplanare (CPS). Tranzitia este prezentata in detaliu in figura 5.18. Ea se bazeaza pe
conversia modului de propagare de tip CPW in modul de propagare fundamental pe o linie slotline.
Pentru aceasta este utilizat un defazor cu 180o (la frecventa centrala de lucru).

Figura 5.17 Configuratia antenei planare Yagi-Uda

Realizarea antenelor Yagi-Uda pe membrane dielectrice subtiri are marele avantaj de a putea
exploata bogata experienta practica prezentata in literatura pentru antene TV din benzile de FIF si UIF.
Optimizarea in continuare a acestor configuratii nu aduce decat imbunatatiri nesemnificative ale
parametrilor acestor antene. Deoarece antena lucreaza practic in spatiu liber, proiectarea antenei incepe
cu scalarea unui proiect clasic de antene Yagi din literatura (de exemplu lucrarea [5.7] astfel incat
108
 ANTENE FABRICATE PRIN MICROPRELUCRARE
frecventa de functionare sa fie 45 GHz. Pentru defazorul de 180o realizat cu o linie slotline, lungimea
acesteia se alege ca jumatate din lungimea de unda la 45 GHz (aproximatic 3.3 mm).
Etapa finala de proiectare consta in optimizarea layout-ului intregii structuri de antena aflata pe
membrana dielectrica subtire. Optimizarea a fost efectuata utilizand simulatorul electromagnetic
Zeland IE3D, descris pe scurt in capitolele anterioare. Parametrii care au fost optimizati sunt
dimensiunile geometrice ale dipolului activ, reflectorului si directorilor (lungime, latime si distanta).
Performantele de circuit care au fost incluse in functia de eroare (functia obiectiv) sunt pierderile de
reflexie (adaptarea la Zo), castigul antenei si caracteristica de radiatie. Toti acesti parametri de circuit
trebuie sa aiba valori rezonabile pentru intreaga banda de frecvente de functionare. In optimizarea
finala a layout-ului trebuiesc incluse si dimensiunile geometrice ale tranzitiei CPW – slotline.
Dimensiunile geometrice ale layout-ului tranzitiei sunt prezentate in figura 5.18 (toate dimensiunile
sunt in microni). Dimensiunile finale ale antenei sunt prezentate in figura 5.19. Latimea elementelor
antenei este de 100 µm.

Figura 5.18 Tranzitia CPW la slotline si stripuri coplanare

Figura 5.19 Dimensiunile geometrice ale layout-ului antenei Yagi-Uda

Structura astfel proiectata a fost simulata cu Zeland IE3D. Figura 5.20 prezinta reprezentarea
3D a caracteristicii de radiatie a antenei. Datorita prezentei membranei, caracteristica de radiatie

109
CAPITOLUL 5
prezinta o discontinuitate in planul antenei. Castigul maxim al antenei, care include si efectul
pierderilor prin reflexie, este de aproximativ 7 dBi. Simularea nu include efectul substratului de siliciu
de inalta rezistivitate cu o grosime de 400 µm, care inconjoara si sustine mecanic membrana
dielectrica.

Figura 5.20 Caracteristica de radiatie 3D simulata pentru antena Yagi-Uda

Figura 5.21 prezinta impedanta de intrare in structura (simulata intre 40 GHz si 50 GHz).
Adaptarea nu este perfecta, dar acest lucru este remediat in cazul integrarii antenei intr-un microsistem
de emisie/receptie. Figura 5.22 prezinta castigul antenei in directia principala de radiatie. La fel ca
pentru antenele Yagi-Uda clasice, castigul creste lent cu frecventa, atinge punctul de maxim si apoi
scade brusc.

Figura 5.21 Impedanta de intrare simulata pentru antena Yagi-Uda

Figura 5.22 Castigul simulat al antenei Yagi-Uda in functie de frecventa

110
 ANTENE FABRICATE PRIN MICROPRELUCRARE
Demonstratoarele de antene Yagi-Uda au fost fabricate pe membrane dielectrice bi-strat
obtinute prin microprelucrarea siliciului de mare rezistivitate utilizand fluxul tehnologic prezentat in
sectiunea 2.6.2 (microprelucrarea uscata a siliciului prin DRIE).
Figura 5.23 prezinta fotografiile structurii de antena astfel obtinute (vedere din fata – stanga - si
vedere din spatele plachetei - dreapta). Se remarca transparenta membranei, dar si prezenta unui perete
de siliciu gros de 400 µm (grosimea plachetei de siliciu) si lat de 50 µm in principala directie de
radiatie a antenei.

Figura 5.23 Fotografii ale structurii de antena Yagi-Uda

Antenele au fost masurate in microunde direct pe placheta iar pierderile de reflexie masurate
sunt comparate cu cele simulate in figura 5.24. Concordata este buna, dar se remarca o deplasare a
punctului de minim catre frecvente mai inalte. Aceasta deplasare a fost atribuita peretelui de siliciu
prezent in principala directie de radiatie. Aceasta situatie este schitata in figura 5.25, iar rezolvarea
acestei probleme isi gaseste solutia in dezvoltarea de noi fluxuri tehnologice, asa cum este cel
prezentat in sectiunea 2.6.3.
0

-5

-10

-15 simulated
measured
measured
-20
40 45 50 55
Frequency (GHz)

Figura 5.24 Pierderile de reflexie simulate (patrate) si masurate pentru antena

Yagi-Uda suspendata pe membrana dielectric

Directia principala de radiatie

Figura 5.25 Vedere schematica 3D a antenei Yagi-Uda pe membrana

Datorita caracteristicii de radiatie de tip “endfire”, masuratorile de microunde direct pe

placheta pot furniza informatii despre castigul antenei in functie de frecventa [5.10]. Principiul
metodei de masura a castigului antenei este ilustrat in figura 5.26: doua antene identice sunt plasate
111
CAPITOLUL 5
fata-in-fata la distanta R intre capetele de proba ale sistemului de masura in microunde. Structurile de
antene sunt plasate pe o cutie de plastic cu peretii subtiri umpluta cu aer, cu o inaltime suficient de
mare astfel incat caracteristicile de radiatie ale antenei Yagi-Uda sa nu fie afectate. Distanta dintre
planele de referinta ale antenelor este R + x (unde x < 0). Distanta este suficient de mare astfel incat
antenele sa fie plasate in conditii de “far field” (camp indepartat – semnifica faptul ca propagarea
campului electromagnetic radiat de antena este aproximativ o unda plana). In conditii de “far field”
antena poate fi reprezentata cu un punct plasat in planul ei de referinta. Daca se masoara transmisia
intre cele doua antene pentru diferite valori ale lui R, in cazul a doua antene identice, castigul antenei
G poate fi determinat cu relatia:

2 ⎛ 4 π (R + x ) ⎞
2
G = S21 ⎜⎜
2 ⎟⎟ (5.1)
⎝ λ o ⎠
unde: λo este lungimea de unda in spatiul liber
S21 este parametrul de transmisie determinat experimental.

Masuratorile prin transmisie au fost facute pentru 3 valori ale lui R. Utilizand relatia (5.1) se
poate extrage atat castigul antenei, cat si pozitia planelor de referinta pentru “far field”. Figura 5.27
prezinta prezinta castigul antenei simulat si rezultatele experimentale. Cele trei curbe experimentale
corespund celor trei distante. Concordanta este buna, iar diferentele apar datorita interactiunii dintre
antene si montajul experimental.

R + x

P la n e d e re fe rin ta p e n tru “fa r fie ld ”

Figura 5.26 Montajul experimental pentru masurarea castigului

antenei Yagi-Uda

……. ……. ………

Bibliografie

[5.1] G.M. Rebeiz, D.P. Kasilingam, Y. Guo, P.A. Stimson, D.B. Rutledge, “Monilithic Millimeter-
Wave Two-Dimensional Horn Imaging Arrays”, IEEE Trans. on AP, Vol. 38, No.9, pp 1473 -
1482,1990
[5.2] G.P. Gauthier, J.P. Raskin, L.P.B. Katehi, G.M. Rebeiz, “A 94-GHz Aperture-Coupled
Micromachined Microstrip Antenna”, IEEE Trans. on AP, Vol. 47, No.12, pp 1761 - 1766,1999

112
 ANTENE FABRICATE PRIN MICROPRELUCRARE
[5.3] H. Ekstrom, S. Gearhart, P.R. Acharya, G.M. Rebeiz, E.L. Kollberg, S. Jacobsson, “348-GHz
Endfire Slotline Antennas on Thin Dielectric Membranes”, IEEE Microwave and Guided Letters,
vol.2, no. 9, pp. 357 - 358, 1992
[5.4] G.P.Gauthier, S. Raman, G.M.Rebeiz, “A 90-100 GHz Double-Folded Slot Antenna”, IEEE
Trans. on MTT, vol.48, No.8, Aug. 2000, pp.1416-1419
[5.5] D.Neculoiu, P.Pons, R.Plana, P.Blondy, A.Muller, D.Vasilache “MEMS antennas for millimeter
wave applications” Proceeding of SPIE, San Francisco, Vol 4559, 2001, pp 66-73
[5.6] D. Neculoiu, A. Müller, P.Pons, L. Bary, M. Saadaoui, C.Buiculescu, O. Andrei, R. Enachescu,
D. Dubuc, K. Grenier, D. Vasilache, I.Petrini, and R. Plana, “The design of membrane supported
millimeter-wave antennas”, Proc of International Conf. CAS 2003, September 2003, Sinaia, Romania,
pp. 65-68
[5.7] P.Viezbicke, “Yagi Antenna Design”, NBS Technichal Note 688, US Printing Office,
Washington, 1976
[5.8] J.Sor, Y.Qian and T.Itoh, “Coplanar waveguide fed quasi-Yagi antenna”, Electronics Letters,
Vol.36, pp.1-2, 2000
[5.9] D.Neculoiu, P.Pons, D.Vasilache, L.Bary, A.Müller, R.Plana, “Membrane-supported Yagi-Uda
Antennas for Millimeter-Wave Applications” Proc. Of 3rd ESA Workshop,, Espoo, Finland, May 2003,
pp.603-608
[5.10] D. Neculoiu, P. Pons, L. Bary, M. Saadaoui,P P D. Vasilache, K. Grenier, D. Dubuc, A.
MüllerP P and R. Plana “Membrane Supported Yagi-Uda Antennae for Millimeter-Wave
Applications”, IEE Microwave, Antennas and Propagation, Vol 151, No. 4, pp.311-314, August 2004,
[5.11] M. Saadaoui, A. Müller, P. Pons, D. Neculoiu, L. Bary, D. Dubuc, K. Grenier, L. Rabbia, C.
Buiculescu, I. Petrini and R. Plana, “New technologies based on dry and dry followed by wet backside
etching processes for endfire membrane supported millimeter wave antennae manufacturing” Proc of
Micromechanics Europe Workshop, Delft, pp 143-146, Nov. 2003
[5.12] M. Saadaoui, P. Pons, A. Boukabache, D. Dubuc, K. Grenier, R. Plana, L. Bary, P. Dubreuil, A.
Muller, D. Neculoiu, “Dry plus wet etching for micromachined in plane radiation antennas”, Proc of
15-th MicroMechanics Europe Workshop,Leuven, Belgium, pp 123-126, 5-7 Sept 2004
[5.13] A. Müller, M Saadaoui, P. Pons, D. Neculoiu, L. Bary, D. Dubuc, K. Grenier, D. Vasilache, C.
Buiculescu, I. Petrini and R. Plana, “Membrane supported endfire antennas manufactured using silicon
micromachining”, Proc. of IEEE International Workshop on Antenna Technology IWAT2005,
Singapore, pp.113-116, March 2005
[5.14] D. Neculoiu, G. Konstantinidis, L. Bary, D. Vasilache, A. Stavrinidis, Z.Hazopulos, A. Pantazis,
R. Plana and A. Müller, “Yagi-Uda antennas fabricated on thin GaAs membrane for millimeter wave
applications”, Proc. of IEEE International Workshop on Antenna Technology IWAT2005, Singapore,
pp.418-421, March 2005

113