MICROSENZORI DE ACCELERATIE

Microsenzori de acceleratie

Senzorii miniaturizati de acceleratie isi vor gasi locul mai ales in industria
automomobilului.Ei sunt, de asemenea, de interes pentru industria aeronautica si
spatiala si pentru multe alte aplicatii.Microsenzorii pentru acceleratie vor ajuta la
imbunatatirea confortului, sigurantei si calitatii conducerii automobilelor. Totodata,
ca ele sa devina un produs de interes general, costurile lor de productie trebuie sa fie
drastic scazute.

Ca si in cazul presiunii, acceleratia este, de obicei, detectata prin metoda

piezorezistive sau capacitive. Cel mai adesea este folosita o consola elastica la
careeste atasata o masa. Atunci cand senzorul este accelerat, masa deplaseaza
consola si deplasarea este inregistrata de senzor.

Un astfel de sezor este prezentat mai jos. Se foloseste metoda de masurare

capacitiva pentru a inregista deviatia. Din deviatie poate fi calculata acceleratia.
 Principiul piezorezistiv

Pentru a masura efectiv acceleratia cu acest principiu, piezorezistorii sunt

plasati in puncte ale consolei unde se produce deplasarea maxima.

Cu cresterea numarului de piezoelemente, se imbunatatesc precizia si

stabilitatea senzorului.Daca o masa se misca accelerat, aceasta determina
deformarea piezorezistorilor, in felul acesta modificandu-se rezisenta lor.

Acceleratia este determinata din variatia rezistentei.

Prin cresterea masei mobile de va imbunatati sensibilitatea

senzorului.Centrul de greutate al masei trebuie sa fie cat mai aproape de capatul
consolei. Microsenzorii piezorezistivi pentru acceleratie sunt, de obicei, fabricati prin
tehnologia siliciului integrata pe cip-ul senzor, facand sistemul compact si robust.

Accelerometrul capacitiv complet integrat

Acest sezor pentru acceleratie gata pentru productia in masa a fost deja
prezentat in anul 1991. Cu un diametru de aproximativ 9mm a fost facut din polisiliciu
prin microprelucrare de suprafata. Circuitele microelectronica pentru preamplificarea
semnalului, compensarea temperaturii si scopuri de autoterstare a sistemului au fost
integrate in senzor. Ca parte sensibila serveste un conducator diferential. El consta
din placi fixe independente si o microstructura mobila in forma de pieptene: cea din
urma isi modifica pozitia ca raspuns la o schimbare a miscarii relative.

Acest senzor a fost unul din primele exemple de transfer cu succes al unui
dispozitiv MST din cercetare in industrie, dupa cum el a fost si primul accelerometru
complet integrat, produs in masa. Asa pot fi masurate acceleratii de pana la +- 50g cu
o precizie de 19mV/g. Dispozitivul este curent folosit pentru sistemele airbag la
automobile.

Domeniul de masura al celui mai nou senzor este +- 5g, el poate detecta
schimbari foarte mici ale acceleratiei cu o precizie de 0,005g.

Microsenzorul capacitiv cu consola

Senzorul const din una sau mai multe console care actioneaza ca un electrod,
ele sunt suspendate liber seasupra unui electrod opus si a unei benzi de contact. Intre
electrod si consola exista un spatiu foarte mic pentru a maximiza fortele
electrostatice si pentru a metine tensiunile mecanice cat mai mici.
 Spre deaosebire de ce se intampla in senzorii capacitivi conventionali, o asa
numita tensiune de prag este aplicata pentru a compensa fortele provocate de
acceleratie, iar aceasta va da o indicatie asupra acceleratie curente.

Desenul unui accelerometru Conform cu Fricke93

In acest dispozitiv, o tensiune dinte de ferastrau este aplicata in pasi definiti

intre consola. Cand este atinsa tensiunea critica, sistemul devine instabil si consola se
curbeaza spre contacte pe care in final le atinge. Tensiunea scade la zero si procesul
este reluat din nou prin aplicarea tensiunii dintre de ferastrau. Valoare efectiva a
tensiunii de prag care trebuie aplicata depinde de marimea acceleratiei.

Nivelul tensiunii de prag este folosit pentru a calcula acceleratia, aceasta este
indirect determinata prin masurarea timpului dintre momentul aplicarii tensiunii
dintre de ferastrau si momentul
contactului.

Microstructura senzorului

Microsenzorul piezorezistiv cu
amortizare cu ulei

Cip-ul senzor a fost fabricat dintr-un substrat de siliciu (100) si contine o masa
seismica suspendata pe o consola subtire si, de asemenea, un circuit integrat pentru
procesarea semnalului.

Circuitul consta dintr-o punte piezorezistoare si amplificatoare. Uleiul este

folosit pentru amortizarea rezonantei masei suspendate. In comparatie cu un
mecanism cu amortizare cu aer, acest proiect nu reclama o etapa suplimentara de
fabricatie. Totusi, amortizarea este influentata de viscozitatea uleiului, de
deminsiunile senzorului si de temperatura dispozitivului.

Pentru a fabrica acest senzor au fost folosite diferite tehnici pe siliciu. Partile
mircomecanice ale senzorului, care sunt masa mobila si consolele, au fost fabricate
prin corodare in solutie a substratului de siliciu. Consola are 480qm lungime, 200qm
latime si 12qm grosime, greutatea masei seismice este de 2mg. Intervalul de masura
al dispozitivului este intre 20 si 50g, ceea ce il face foarte folositor pentru multe
aplicatii industriale de automatizare.
 Sistemul multisenzor pentur masurarea acceleratiei

Dezvoltarea se bazeaza pe sistemul multisenzor folosind tehnica LIGA. Acest

dispozitiv se bazeaza pe principiul masurarii capacitatii, el are o matrice senzor
constand din mai multi senzori ieftini integrati intr-un singur cip. Cu aceasta
conceptie, fiabilitatea si precizia sistemului de masura au putut fi
imbunatatite.Componentele centrale ale acestui sistem sunt senzorii micromecanici
capacitivi fabricati din nichel prin tehnica SLIGA. Senzorul este un condensator
diferential, acesta consta din doi electrozi ficsi intre care exista o masa mobila atasata
la o consola flexibila.

O dezvoltare mai noua este masurarea pe trei dimensiuni a acceleratiei.

Sistemul poate masura un vector acceleratie tridimensional. Pe langa microsenzorii
LIGA care sunt responsabili pentru masuratori pe directiile x si y, a fost integrat si un
Senzor de acceleratie pentru directia z.
 Un accelerometru este un dispozitiv care măsoara acceleratia fizica. Acest
lucru nu este neapărat aceeaşi ca acceleraţia de coordonate (schimbarea de viteza a
dispozitivului în spaţiu), ci este mai degrabă tipul de acceleraţie asociata cu
fenomenul de experienţarea greutatii de către o masă de testare care se află în cadrul
de referinţă al dispozitivului. Un
exemplu pentru cazul în care aceste
tipuri de acceleratie diferă: un
accelerometru va masura o valoare
atunci când stă pe loc, pentru că
corpurile au greutati, chiar dacă nu isi
schimba viteza. Cu toate acestea, un
accelerometru în cădere liberă
gravitaţional spre centrul Pamantului
va măsura valoarea zero, deoarece, chiar dacă viteza sa este în creştere, aceasta este
într-un cadru fata de care nu are greutate. Deci un accelerometru măsoara greutatea
pe unitate de masă, o asemenea cantitate este cunoscut sub numele de forţă
specifică, sau G-Force.

Cele mai multe accelerometre nu afişează valoarea pe care o măsoară, dar

furnizeaza datele la alte dispozitive. Accelerometrele au limitări în practică, cât de
repede pot saraspunda la schimbări în acceleraţie, la schimbari mai mari decat o
anumită frecvenţă nu pot răspunde.

Exista modele cu un singur axa si cu mai multe. Accelerometrele pot detecta

mărimi şi direcţii, a acceleraţie fizia (sau G-Force), ca o mărime vectorială, şi pot fi
utilizate pentru a sesiza orientarea (din modificarea greutăţii), acceleraţia de
coordonate (atât timp cât se produce g-Force sau o schimbare în g-Force), vibraţii,
şocuri şi cadere. Accelerometrele microprelucrate sunt din ce în ce mai raspandeite în
dispozitive electronice portabile şi jocuri video, pentru a detecta poziţia dispozitivului
sau să ofere input pentru joc.
 Perechi de accelerometre pot fi utilizate pentru a detecta diferenţe de
acceleratie in doua puncte diferite ca apoi aceestea sa fie introduse intr-un sistem de
referinta. Aceste dispozitive sunt numite gradiometre de gravitaţie, acestea măssoara
gradienţi din câmpul gravitaţional.Astfel de perechi de accelerometre, în teorie, ar
putea fi folosite pentru a detecta unde gravitaţionale.

Principiile fizice

Un accelerometru
măsoara acceleratia fizica,
acceleraţia care se simte relativ
de căderea liberă şi este
acceleraţia simtita de oameni şi
obiecte. Altfel zis, în orice
punct în spaţiu-timp principiul
echivalenţei garantează
existenţa unui cadru inerţial
local, un accelerometru
masoara accelerarea relativ la
acest cadru. Aceste acceleraţii
sunt de cele mai multe ori masurate în termeni de G-Force.

Un accelerometru în repaus relativ la suprafaţa Pământului va indica

aproximativ 1 g în sus, pentru că orice punct de pe suprafaţa Pământului se
accelerează în sus faţă de inerţia locala (cadrul unui obiect în cădere liberă aproape
de suprafaţă). Pentru a obţine acceleraţia din cauza miscarii cu privire la Pământ,
această "offset de gravitatie" trebuie să fie scăzuta şi corecţiile pentru efectele
cauzate de rotaţia relativa a Pământului.

Motivul pentru apariţia unui diferenţa gravitaţional este principiul

echivalenţei al lui Einstein, care prevede că efectul gravitaţiei asupra unui obiect nu
poate fi distins de acceleraţie. Atunci când este tinut fix într-un câmp gravitaţional, de
exemplu, aplicarea unei forţe de reacţie la sol sau tracţiune echivalenta în sus,
sistemul de referinţă pentru un accelerometru (carcasa proprie) accelerează în
sus. Efectele acestei accelerari sunt imposibil de distinse de orice fel de accelerare,
astfel că un accelerometru nu poate detecta diferenţa dintre fiind într-o rachetă pe
rampa de lansare, şi fiind în aceeasi rachete în spaţiul îndepărtat în timp ce utilizează
motoarele de sarcina pentru a accelera la 1 g. Din motive similare, un accelerometru
va citi zero în timpul oricărui tip de cadere libera. Aceasta include utilizarea într-o
navă spaţială decelerare în spaţiu adânc departe de orice masă, o navă spaţială în
orbita Pământului, un avion într-un parabolic "zero-g", arc, sau orice cădere liberă-în
vid. Un alt exemplu de cădere liberă ar fi la o altitudine suficient de mare ca efectele
atmosferice sa poata fi neglijate.

Totuşi, acest lucru nu includ o scădere, în care rezistenţa aerului produce

forţele care reduc acceleraţia, până la viteza constanta unde viteza terminala este
atins. La viteza terminala accelerometrul va indica 1g. Pentru acelaşi motiv
paraşutistul, ajungând la viteza terminale, nu se simte ca şi cum el sau ea fost în
"cădere liberă", ci mai degrabă un sentiment de experienţe similare cu a fi susţinut
(de la 1 g) pe un "pat" de vant.

Acceleraţia este masurata în metri pe secundă (m/s2), sau popular cunoscut

în G-Force (g).Pentru a găsi accelerarea obiectelor cu privire la Pământ, cum ar fi
pentru a masura acceleratiei într-un sistem de navigaţie inerţială, o cunoaştere de
gravitatiei locale este necesară. Aceasta poate fi obţinută fie prin calibrarea
aparatului la repaus, sau de la un model cunoscut de greutate la poziţia curentă
aproximativa.