Oxidarea este o reacție chimică prin care se adaugă un atom
de oxigen la molecula unei substanțe, care poate fi atât organică, cât și un compus anorganic. Practic orice ardere este o oxidare.
Exista mai multe tehnici de obținere a oxidului :
- oxidarea termică în prezența de oxigen, numită oxidare uscată;
- oxidarea termică în prezența oxigenului și a vaporilor de apă, numită oxidare umedă;
- oxidarea termică în prezența numai a vaporilor de apă, numită oxidare în vapori;
- oxidarea pe cale electrochimică, numită oxidare anodică;
- oxidarea cu ajutorul plasmei de oxigen, numită oxidare în plasmă.
Pentru a obtine un oxid cu calitate electronica satisfacatoare se prefera oxidarea
termica, fie cu oxigen, fie in prezenta vaporilor de apa. In general, oxidarea folosind oxigenul pur da o crestere mai lenta a stratului de oxid, care ii confera bune calitati electronice (numar mic de defecte electric active). Oxidarea cu vapori de apa da o crestere mai rapida, dar stratul de oxid va contine mai multe defecte electrice.Aceasta metoda va fi preferata pentru realizarea straturilor groase de oxid (cateva mii de Angström), folosite pentru izolare sau mascare.
De altfel, siliciul se oxideaza si la temperatura ambianta, in atmosfera ambianta (care
contine oxigen); dar de indata ce stratul de oxid ajunge la adancimea de 2..3 straturi atomice, fenomenul se blocheaza. Se spune ca stratul format este pasivizant (protejeaza siliciul contra oxidarii in continuare). Pentru a obtine oxidarea la "mare adancime" se cere activat fenomenul, prin cresterea temperaturii.
Operatiile de oxidare se realizeaza in general in cuptoare similare celor folosite pentru
difuzie, in care se face sa circule oxigen, uscat sau umed, sau vapori de apa. Se pot crea vapori de apa in cuptor efectuind sinteza pornind de la un flux de hidrogen si un flux de oxigen. Aceasta reactie este puternic exotermica, deci este periculoasa. Dispozitivul va contine in acest caz un numar mare de elemente de siguranta (detector de flacără, reglaje de debit, etc...) astfel incat sa evite explozia. Acest tip de reactor este utilizat cu preponderenta in industrie. Este de notat ca puritatea chimica a gazelor folosite trebuie sa fie foarte buna (puritate de 5.0 minim, ceea ce inseamna o concentratie de impuritati admisa de 10 ppm).