UNIVERSITATEA TEHNICA “Gheorghe Asachi” IASI

FACULTATEA de MECANICA

MICROSENZORI

Romaniuc Dan

Anul II Master

Sisteme Robotizate

An univeritar 2013 - 2014

 Microsenzori
Prefata
 Istoric
 Senzori de presiune
 Senzori de accelerare
 Giroscoape
 Senzori chimici
 Biosenzori

Miniaturizarea. De ce ?

 Apreciere, Dimensiune, Greutate

 Utilizare eficienta a tehnologiei circuitelor integrate
 Matrici de senzori
 Masuratori online in loc de masuratori din laborator

…ce este un microsenzor?...

Domenii de aplicare

 Industria automobilelor
 Masuri ecologice si de siguranta
 Aplicatii medicale
 Masuratori continue a parametrilor
chimici/fizici, electrocasnice, microchirurgie
de la distanta, terapie cu ingerari minime
 Electronice de consum, automatizare casnica
 Ex: accelerometre din Hard Disk-uri, sensori
din camere video, controlere pt jocuri,
senzori de calitate al aerului.
 Protectia mediului inconjurator
 Masuri de concentrare diferite
 Industria de proces
 Robotica
 Piete de senzori

 Pietele MST in 1996:

 ~14 miliarde $ SUA Pietele MST(milioane de dolari) pentru
(prognoza pt 2002: ~38 tipuri de produse stabilite
miliarde $ SUA) 1996 si 2002(prognoza)
 …. In comparatie cu cele
$ 300 miliarde pentru Cap de Citire HDD
1% %0%
10%
2%2%
pietele mondiale de 4% Cap de scriere Imprimanta
semiconductoare 6% 2%
2%
10%
2%0%
%
Stimulatoare cardiace
 Crestere de piata (prognoza 5%
36% Diagnoza In Vitro
2002…2004) cu aproximativ 9% 34%
8% Aparate Auditive
20%
3%
 Microsenzori vanduti (1996): Senzori de presiune
 44% senzori de presiune (115 8% Senzori chimici
milioane bucati, 600 11%
Camere infrarosu
milioane dolari)
 38% senzori chimici Accelerometre
34%
 9% accelerometre (24 Giroscoape
milioane bucati, 240 29%
Senzori magnetorezistivi
milioane dolari)
 2% giroscoape (6 milioane
bucati, 150 milioane dolari)
 5% magnetorezistivi
 Debit, forta, temperatura

Clasificarea Senzorilor

Tip de Semnal Masuranzi

Termic Temperatura, caldura, flux de caldura, entropie, capacitate termica etc

Radiatie Raze Gamma, Raze X, Raze ultra-violete, lumina vizibila si lumina infrarosie, micro-
unde, unde radio etc
Mecanic Dislocare, viteza, acceleratie, forta, presiune, debit de masa, amplitudine si lungime de
unda acustica
Magnetic Camp magnetic, flux, moment magnetic, magnetizare, permeabilitate magnetica, etc

Chimic Umiditate, nivel pH si ionic, concentratie gazoasa, material toxice si inflamabile,

concentratie de vapori si mirosuri, poluanti, etc
Biologic Zaharuri, proteine, hormoni, antigeni etc
 Termeni specifici senzorilor
 Senzor integrat
 Senzor inteligent
 Neliniaritate
 Histerezis
 Infiltrare
 Deviatie aleatoare unghiulara
 Factor de scalare
 Sens de inclinare
 Cota zero de compensare
 Sensitivitate

Senzori de presiune piezorezistivi

 Masoara apasarea materialului

 Caracteristici:
- Dimensiune redusa
- Linearitate buna pe o distanta dinamica intinsa
- Sensitivitate moderata la presiune mare
- Relativ independenti fata de histerezis si in filtrare
 Rezistori aranjati intr-o punte Wheatstone =>
coeficientii de temperatura se anuleaza.
 Diferite tipuri de senzori: standard, diferential si
absolut

 Performanta senzorilor variaza simultan in functie de temperatura si presiune

 Sensibilitatea piezorezistorului scade odata cu cresterea

temperaturii.

 Nelinearitatea raspunsului la presiunea aplicata depinde de

locatia rezistorilor in zona solicitata si abaterea membrane.

 Pe masura ce abaterea creste cu pana la 10% din grosimea

diafragmei, neliniaritatea zonei solicitate rezultante creste.
  Dispozitivele proiectate corespunzator sunt capabile sa obtina
neliniaritate mai mica de 0.01% din marimea initiala.

Senzori de presiune piezorezistivi

Amplasamentul rezistorului:

 Diafragma de silicon patrata ->

devierea rezulta sub forma de zone
de solicitare simetrica cu valori
maxime in centrul fiecarei margini
-> piezorezistorii s-au imprastiat in
acele regiuni (sensitivitate pe
intreaga punte).
 Diafragma rectangulara -> zona de
solicitare variaza de la elastic la
compresiv de-a lungul unei cai de
la marginile indepartate spre
centru -> rezistorii plasati
perpendicular pe zona solicitata
(amplasamentul rezistorilor in
acest tip de sensor este mai putin
decisiv fata de dispozitivele cu
diafragma patrata).
 Senzori de presiune piezorezistivi
Exemplu:
 Diafragma 40 x 40 µm
 Si3N4 gros de 200nm + plasma-
SiN de 1 µm grosime

 Gravura de sacrificiu folosing

metoda KOH – gauri de gravaj
(diametru de 8µm) la margini sau
colturi -> stratul de polisilicon de
sacrificiu este indepartat iar sub
startul de silicon aflat sub diafragma
este gravat anisotropic prin gauri ->
cavitate piramidala ce serveste
drept camera vidata de referinta

Senzori de presiune piezorezistivi

 4 piezorezistori de polisilicon sunt formati in diafragma

 Strat de 1 µm grosime de SiN depus deasupra suprafatei

pt a izola gaurile de gravura folosind CVD plasma

 7 straturi folosite pentru fabricarea senzorului

 Presiunea din interiorul cavitatii mai mica de 0.3 torr

 Sensitivitate presiune de ~ 2 µV/V/kPa

 Nelinearitate mai mica de 1% din dimensiunea totala

Senzor de presiune piezorezistiv – a) sectiune  Coeficientul de temperatura al sensitivitatii presiunii -

schematica transversal, b) microfotografie 0.13% /Celsius
microscop de scanarare a electronilor (T: -50…+150 Celsius)
 Senzori de presiune capacitivi

 Masoara deformarea medie

 Proprietati (comparativ cu omologii
piezorezistivi):
 Sensibilitate la presiune mai mare
 Sensibilitate de temperature mai
mica
 Linearitate mai mare
 Necesita zona de stingere mai mare
si circuite de detectie mai sofisticate
 Nu au histerezis
 Stabilitate pe termen lung mai buna
 Costuri de fabricare mai mari

Senzori de presiune capacitivi

 Modificarea capacitantei nu este lineara in raport cu deformarea sau presiunea (dar relatia este
reproductibila)

 Structura senzorului este oarecum simpla si fabricarea se poate face folosind tehnici de microprelucrare
conventionale

 Dezavantaj: capacitanta mica (in general 1..3 pF) => circuitul de masurare trebuie sa fie integrat in cip sau
proiectat special astfel incat sa anuleze capacitanta reziduala

 Pentru a obtine sensibilitate mare si o raza de operare mare => utilizarea unei diagrame ultrafine cu
protuberanta in centru.
 Senzori de presiune rezonanti

 Masoara frecventele de rezonanta

 Rezonatorul are multiple terminatii ex: termic,

electromagnetic sau electrostatic

 Frecventa sau diferenta de frecventa este

masurata

 Elementul rezonant poate fi izolat in vid pentru

precizie ridicata

Alte tipuri de senzori de presiune

 Senzori de presiune

Cateva tendinte de viitor:

 Reducere a costului
 Reducere a dimensiunii matritei
 Integrare marita
 Producerea senzorilor care opereaza la temperature mai mari
 Extinderea diversitatii de operare a senzorilor actuali
 Precizie si rezolutie imbunatatita
 Ambalare imbunatatita

Senzori de acceleratie

 Majoritatea (toate) accelerometrele actuale sunt

compuse dintr-o masa de rezistenta sau seismica
suportate de un cadru suspensie.

 Sub influenta accelerarii, masa de rezistenta genereaza

o forta -> deplasare sau solicitare a elementului de
suspensie.

 Metodele de masurare a fortei variaza, depinzand de

factori ca performanta si cost.

 Senzorii produsi in masa sunt

de obicei din silicon
 Accelerometre capacitive

 Se utilizeaza un condensator intr-o punte

capacitiva pentru a transduce caderea de
tensiune

 Nu depinde de temperatura

 Accelerometrele de inalta precizie pe baza de

silicon cel mai probabil vor fi capacitive
 Unul din cei doi electrozi reprezinta masa de
rezistenta suspendata, si se deviaza
echidistant fata de electrodul fix cand este  Microsenzor marginal capacitiv

accelerat

Fabricatie:

 O capsula de silicon este imprimata pe partea din spate (sau ambele parti) pentru a constitui
masa de rezistenta si suspensie.
 Marea majoritate a acclerometrelor microprelucrate au dimensiuni de cativa milimetri pe fiecare
parte – lipirea anodica poate fi folosita pentru a forma electrozii fixi si a proteja impotriva
depasirilor
 La senzorii microprelucrati la suprafata se utilizeaza o depunere de vapori chimici la presiune
mica sau galvanizare pentru a intari si defini masa de rezistenta si suspensiile ei pe partea
frontala a capsulei de silicon.
 Un strat protector de spatiere, de obicei oxid LPCVD, este indepartat dupa ce membrana
organica este instalata pentru a elibera structura de pe substrat – nu este necesara lipire anodica.
 Senzorii au de obicei cateva sute de microni pe partile laterale, iar grosimea straturilor mecanice
si de spatiere fiind determinata de timpii de fixare a acestora.
 Performanta dispozitivului depinde in mare parte de proprietatile uniforme si mecanice a
straturilor depuse.
 Elementele de conexiune electronica sunt de obicei integrate pe acelasi cip.
 Accelerometre capacitive

 Deoarece acclerometrele microprelucrate

sunt utilizate intr-o gama variata de aplicatii,
specificatiile necesare sunt dependente de
aceste aplicatii si acopera un spectru larg, ex:
 Micromasurari de gravitatie: gama
de operare mai mare de ±0.1g,
rezolutie mai mica de 1µg, gama de
frecvente 0…1 Hz
Tabel: Specificatiile tipice ale accelerometrelor pentru  Aplicatii de masurare a
automotive si aplicatii de navigare inertiale impactului/balistice: gama de peste
10000g, rezolutie mai mica de 1g la
lungime de banda de 50Hz este

Accelerometre piezorezistive

 Avantaje principale: simplicitatea structurii si procesului

de fabricatie precum si a circuitului de citire

 Dezavantaje: sensibilitate la temperaturi mari,

sensibilitate mica per total (in comparatie cu senzorii
 Imbibare cu ulei..... capacitivi).

 Primul µ accelerometru microprelucrat si  Fabricarea in masa prin microprelucrare si fixare prin

comercializat a fost piezorezistiv saibe poate fi foarte asemanatoare cu cea de la senzorii
capacitivi.
 Accelerometre tip balanta de forte

 Masa de rezistenta suspendata se deviaza  Aceeasi fabricatie a elementului senzorial ca la

ca raspuns la acceleratie.
 Semnalul este receptionat si emis inapoi
pentru a contracara deviatia.
 Structura efectiv stationara.
 Gama larga dinamica, ultrasensibila.
 Utilizat cu precadere in dispozitive de navi-
gatie.
 Sensibilitate capacitiva.
accelerometrele cu repetitie continua.
 Sistemul de semnalizare necesita electronica
sofisticata.
 Reducerea costului prin integrarea in partii
electronice in acelasi chip cu elementul
senzorial.
 Dispozitive analogice : 2.5 X 2.5 mm (fara
electronica de citire).

Accelerometre tip tunel

 Se utilizeaza sensibilitatea ridicata a electronilor obtinuti prin efectul tunel.

 Folositi de exemplu ca senzori acustici sensibili
 Masa de rezistenta se deplaseaza datorita acceleratiei, circuitul de citire reactioneaza la schimbarea
curentului, ajusteaza voltajul inferior de deviere astfel incat sa mute masa de rezistenta inapoi in
pozitia initiala, mentinand curentul de tip tunel constant.
 Acceleratia se masoara citind voltajul inferior de deviere.
 Introdus prima data la Laboratorul de Motoare cu Reactie, Pasadena.

Alte tipuri de accelerometre

 Dispozitive termice:
 Transducere termica:
- Fluxul de temperatura de la o sursa de caldura la un radiator este invers
proportional cu distanta dintre acestea.
- Se masoara modificarea distantei dintre sursa de caldura si placile radiatorului
 Transfer liber a caldurii prin convective
- Bule de aer fierbinti modificate de distributia caldurii in prezenta acceleratiei
- Este identificat tipul de incalzire
 Dispozitive rezonante
 Optice
 Electromagnetice
 Piezoelectrice
 Accelerometre

Tendinte de viitor:

 Reducerea costurilor
 Stabilitate pe termen lung
 Sensitivitate la temperaturi mai buna
 Ambalare
 Circuit de interfata cu deviere scazuta a circuitului de citire/control si sensibilitate mare, nivel
scazut al zgomotului si gama larga dinamica

Giroscoape

 Elemente mecanice vibrante pentru detectia rotatiei

 Lipsa partii rotative => usor de miniaturizat si fabricat folosind tehnici de microprelucrare
 Procesul de microprelucrare a siliconului pentru fabricarea giroscoapelor cu vibratii se imparte in
patru categorii:
1. Microprelucrare in masa cu silicon si incapsulare
2. Microprelucrare la suprafata cu polisiliciu
3. Modelare eletrica a metalului si LIGA
4. Microprelucrare in masa/la suprafata combinata

 Toate giroscoapele cu vibratie se bazeaza

pe transferul de energie dintre doua
moduri de vibrare a structurii cauzata de
acceleratia Coriolis

Principiul de functionare al giroscopului

 Giroscoape

 Giroscoapele pot fi clasficate in 3 categorii

diferite:
- Dispozitive grad-inertial (giroscoape
optice, giroscoape cu inel laser)
- Dispozitive grad-tactic (giroscoape cu
fibra optica)
- Dispozitive grad-evaluare
 Cercetarile s-au axat pe senzori cu grad de
evaluare microprelucrati din silicon (industria
automobilelor)

Giroscoape

Giroscoape cu vibratie:

 Diapazoane
- Doi dinti conectati la o bara de jonctiune rezoneaza diferential la o anumita amplitudine
- Cand sunt rotiti => Efect Coriolis => forta diferentiala sinusoidala se creeaza pe fiecare
dinte.
- Forta este detectata ca incovoierea diferentiala a dintilor diapazonului sau vibratia
torsionala a tijei diapazonului.
 Raze vibrante
- Partea vibranta este raza (sau membrana)
 Valve vibrante (inel vibrant)
 Aparatele care induc rezonanta pe structurile vibrante sunt in general:
- Electrostatice
- Electromagnetice
- Piezoelectrice
 Aparatele de detectie folosite pentru a simti vibratia indusa de tip Coriolis sunt pentru acest caz
- Capacitive
- Piezorezistive
- Piezoelectrice
 Giroscoape

Exemplul I:
 Doua moduri identice de incovoiere
Giroscoape cu inel vibrant avand frecvente native egale
 Inelul este vibrat electrostatic
 Rotatie => Coriolis => energie trasferata
din modul principal in modul secundar
de incovoiere
 Rotatia monitorizata capacitiv

 Sensibil si la temperaturi scazute

 Gama de temperaturi de la -40 la +85
grade Celsius
 Variatie nula a polarizarii < 10 grade/s
 Rezolutie ~ 0.5grade/s

Exemplul II:

Giroscop Diapazon

 Zimtii sunt dispusi lateral astfel incat se

genereaza forte electrostatice ce nu
depind de pozitia laterala a masei
 Fabricatie simplista
 Integrare usoara cu electronica de pe
chip
 Dimensiune giroscop 0.7 x 0.7 mm
 Senzor ieftin

Desen schematic al giroscopului diapazon cu actionare prin zimti

 Microsenzori Mecanici

Producatori de microsenzori:

 NovaSensor
 VTI Technologies
 Analog Devices
 Triton Technologies
 EG&G
 Delco
 CSEM
 TEMIC (Daimler-Benz)
 Bosch
 Motorola
 Honeywell
 Sensonor
 Samsung
 General Motors

Microsenzori Chimici
 Identifica concentratia  Strutura:
 Masurari calitative sau cantitative - Reactie chimica in stratul sensibil
 ~ 60% din senzori sunt senzori de gaz si transformare in semnal electric

Structura unui microsenzor chimic

 Microsenzori chimici
Domenii de aplicabilitate:
 Mediul inconjurator
 Automobile
 Medicina
 Nutritie
 Reglare de proces
 Masurari de laborator

Metode coventionale:

- Obtinere de rezultate bune

- Metode de masurare complicate si scumpe
- Cantitatea de reactivi necesara
- Masurari efectuate in laborator
- Lent

Scopul este de a crea microsenzori (microsisteme) care:

- Sunt usor de fabricat

- Sunt precisi si robusti
- Folosesc o cantitate mica de reactivi
- Au timpi de raspuns mici
- Pot procesa semnalele inteligent
- Se pot grupa in matrici/retele
- Pot efectua masuratori in timp real
- Sunt biocompatibili si fara sensibilitate incrucisata

Traductoare Interdigitale

 Rezistenta electrica sau variatie constanta

dielectrica a sarcinilor stratului senzorial la
interactiunea cu anumite substante

 Masurare capacitiva

 Raspuns (sensitivitate, selectivitate, timp de

raspuns) optimizat prin alegerea temperaturii de
lucru
 Traductoare Interdigitale

 Dimensiuni cip: 14x10mm²

 Zona senzitiva: 4x7mm²
 Material substrat: sticla de cuartz
 Temperatura de functionare: 380
grade Celsius
 Temperatura de deviatie maxima:
mai putin de 2.8%
 Puterea de incalzire: 3.5W
 Strat senzitiv: NiCr/Au

Senzor cu incalzire pe cip

Pelistoare

 Granula de alumina poroasa ce

contine catalizatorul
corespunzator incapsuleaza un fir
subtire de platina ce actioneaza
atat ca element incalzitor cat si ca
membrana termometrica
rezistiva ( tehnologie peliculara)
Principiulpelistorului
 Cresterea temperaturii este
masurata (schimbarea rezistentei,
in montaj in punte
corespunzator)
 In momentul arderii gazului ,
energie de activare specifica este
eliberata
 Selectivitate redusa

Retea de senzori – membrane peliculare subtiri, membrana de

dimensiunea 1.25x1.25 mm², 250 grade celsius obtinute cu 100
mW putere de incalzire
 Senzori optici

 Structura de cuplaj prin grila

 Pelicula sau fibra realizata din material
cu indice de refractie mare inserat
intre/in materialele cu index mai scazut
 Reteaua optica uneste razele de lumina
(He-Ne,laser) in sistemul de
transmitere a undelor
 Substanta care este analizata schimba
indicele de refractie a sistemului de
transmitere a undelor
 Cantitatea de lumina care loveste
detectorul (de ex. fotodioda) este
proportionala cu densitatea substantei. Sistem optic de transmisieunde

 Fibre optice (interferometre)

Material ghid unda (SOL-GEL)

Si xTi(1-x)O2 , (x~0.25±0.05)

Pelicula ghid unda

Index de refractie (nF)=1.77±0.03
Linie de aluncare a substratului
L=48 mm, w=16 mm, H=0.5 mm
Index de refractie (nS)~1.53
Grilaj
Zona de 2x16mm, adancime ~20nm,
periodicitate grilaj 2400linii/mm(0.4166
µm)

 Intensitatea luminii este masurata

cu foto detectoarele iar unghiul de
incidenta a luminii laser variaza de
la -6...+6 grade. Din spectrul
masurat, se determina parametrii
fizici (grosime, indice optic de
refractie, densitate) ai mediului de
acoperire.
 Senzori ISFET

MOSFET Normal vs. IFSET

 Substanta de masurat  ISFET = Tranzistor cu Efect de Câmp Selector de

schimba Vgs => schimbare a Ioni
Ids=>Ids se mentine constant  MOSFET = Tranzistor cu Efect de Camp tip Metal-
(voltajul electrodului Oxid-Semiconductor
referential reglat) => Vgs  IMEC (Siemens), IFT, MESA (Sentron), TIMA
proportional cu pH
 Zona libera in afara stratului
senzitiv de cativa µm²
 Strat senzitiv: Al2O3, Si3N4,
Ta2O5 si SIO2
 Procesul de fabricare
compatibil cu liniile de
productie CMOS industriale

Microsenzori chimici

Senzor cu cuartz rezonator Senzor din bimetal:

 Reactie chimica => caldura =>

indoirea consolei de bimetal
 Miscarea este masurata

 Reactia chimica in stratul

sensibil schimba masa
rezonatorului => schimbare a
frecventei rezonatorului
 Frecventa masurata
 Senzori SAW

 SAW = Unde sonore de suprafata

 Mecanismul de detectie al senzorului este o unda mecanica (sonora)
- Voltaj alternative aplicat unui traductor interdigital este transformat electromagnetic
intr-o unda sonora
- In traductor receptor semnalul sonor este transformat inapoi in semnal electric
- Substanta analizata reactioneaza la invelisul senzitiv => transmisia undelor se modifica
(viteza si/sau amplitudinea undei)
- Opereaza de la 25 la 500Mhz
 Sensibilitate mare, linearitate buna, stabilitate, versatilitate

 Fabricare pe substraturi cum ar fi SIO2, LiTaO 3, LiNbO3, (ZnO, GaAs, SiC, LGS, AIN, PZT, PVdF)
 Fabricare folosind proces fotolitografic
- Curatare si slefuire a substratului piezoelectric
- Metal (aluminiu) placat uniform pe substrat
- Dispozitiv imbracat in fotorezistor
- Dispozitiv expus la lumina UV printr-o masca (iar zonele expuse inlaturate cu o solutie de
developare)
- Materialul fotorezistor ramas este inlaturat => IDT
 Performanta senzorului este optimizata prin selectarea lungimii, latimii, pozitiei si grosimii IDT-
ului.
 Biosenzori

Domeniile principale de aplicare:

 Medicina Domeniu General Exemple

 Diagnoza mediu-inconjurator
 Industria alimentara
 Industria de procesare
 Militar
 Cercetari biologice
Industria Sanatatii
Diagnosticare In Vitro
Diagnosticare in Vevo
Monitorizare Mediu Inconjura-
tor
Industria Alimentara
Monitorizare acasa a glucozei din
sange
Monitorizare riscuri renale
Cererea biochimica de oxigen
Prospetime peste & zaharoza

Monitorizare Bioproces Monitorizarea si controlul

fermentatiei
Agricultura si Industriile aferente Pesticide
Cercetare si Dezvoltare Interactiuni bimoleculare
Militar Razboi biochimic

 Acelasi principiu de masurare ca la microsenzorii chimici

 Structura:
- Elemente sensibile bilogic (enzime, receptori si anticorpi) integrate cu senzorul (de
asemenea acizii nucleici, bacterii, organisme celulare sau chiar tesuturi intregi a
organismelor mai dezvoltate)
- Interactiune intre straturile sensibile si molecule substantei => modularea parametrilor
fizici sau chimici
- Modularea este convertita intr-un semnal electric (electrochimic, optic, schimbari ale
temperaturii sau masei sunt cele mai intalnite)
 Biosenzorii sunt de doua tipuri:
1. Senzori de metabolism
2. Imuno senzori
 Biosenzori

 Masurari posibile variate selectiv si sensitiv.

 Simplitate, viteza
- Receptorul si traductorul sunt integrati intr-un singur senzor
- Masurarea analitilor tinta fara utilizarea reactivilor (comparativ cu metodele
conventionale unde multi pasi sunt necesari si fiecare pas poate necesita un reactiv
pentru tratarea mostrei)
 Capabilitate de monitorizare continua
- Senzorii pot regenera si reutiliza elementul biologic de recunoastere imobilizat

Senzori de metabolism

 Utilizati pentru detectia moleculelor

active chimic
 Enzime biosensibile ca biocatalizatori
pentru a detecta moleculele intr-o
substanta si cataliza o reactie
chimica
- Substanta analizata
transformata chimic
- Sursa reactiei detectata si
evaluata (senzor chimic)
Masurare fosfati cu sensor metabolic.
 Imuno Senzori

 Principiul cheii si incuietoarei ca metoda

de detectie
- Moleculele antigen interactioneaza
cu substanta analizata =>
moleculele anticorpi imobilizate
(incuietoare) de pe suprafata
senzorului se lipesc de molecula
antigen (cheie) din substanta
- Numai un tip de antigen se poate
 Detecteaza moleculele inactive lipi de un anumit tip de anticorp
chimic  Procesul de unire se poate inregistra direct
 Anticorpii deserversc ca elemente
(traductor) sau indirect (repere antigen).
biosenzitive.