Sunteți pe pagina 1din 183

Editura Tehnica ~tiintifica ~

i Dldactica CERMI
'i<!C

lasi - 2005

.~:~.'15t!I

Gheorghe I. Rusu
George - Mihail G. Rusu

Referentl ~tiintifici:
Prof. dr. Nicolae Rezlescu, lnstitutul National de Cercetare i
Dezvoltare pentru Fizica Tehnica, lasl
Prof. dr. Gheorghe Zet, Universitatea Tehnica "Gh. Asachi", lasi

'

Descrierea CIP a Bibliotecii Nationale a Romaniei


RUSU,GHEORGHE
Bazele fizicii semiconductorilor I Gheorghe I. Rusu,
George-Mihail G. Rusu. - Iasi : Cenni, 2005
vol.
ISBN 973-667-111-9
Vol. 1. - 2005. - Bibliogr. - ISBN 973-667-112-7
p.366; cm 24
Gheorghe I. Rusu, George Mihail G. Rusu

VOLUMULl
Structura

Cristalina

53 7 .311.322

Tipar Digital realizat la Tipografia plm


Soseaua Stefan eel Mare m. 11
Iasi - 700498
Tel./fax: 0232-212740
e-mail: editurapim(ii),pimcopv.ro
www.pimcopy.ro

Edltura Tehnlca ~tiintifica


i Didactica CERMI
lai . . 2005

Prefa/a

In

ultimele decenii, cercetarile teoretice si experimentale

domeniul fizicii semiconductorilor


Rezultatele

acestor

cercetdri

din

au cdpdtat o amploare deosebitd.

au contribuit

la dezvoltarea

bazelor

teoretice ale fizicii stdrii solide, la elaborarea de tehnologii performante


de preparare a unor materiale noi cu structuri si proprietdti de mare
interes, precum i la realizarea unor echipamente si dispozitive utilizate
cu succes in domeniile de vdrf ale stiintei si tehnicii moderne.
Fiind un domeniu de mare intindere, cu implicatii in foarte multe
alte domenii (automaticd, microelectronicd,

tehnica de calcul etc), de-a

lungul anilor, a aparut un numdr mare de monografii, cursuri, manuale,


autorii !or fiind atdt fizicieni recunoscuti cat si specialisti in domeniile
puternic influentate de progresele realizate in fizica semiconductorilor.
Multe dintre aceste monografii se re/era la teme speciale de fizica
semiconductorilor si se adreseazd in special cercetdtorilor cu experient a
in domeniul respectiv.
Autorii lucrarii de fafa si-au propus sii elaboreze o carte, in trei
volume,

care sd cuprinda

o prezentare

sistematicd

si unitard

problemelor de bazd din fizica semiconductorilor. Primul volum, pe care


fl propunem

atentiei cititorilor, se re/era la structura

cristalind a

materialelor semiconductoare. in celelalte doud volume, vor fi studiate


fenomenele

de transport in semiconductori

si, respectiv, proprietatile

optice si fotoelectrice ale materialelor semiconductoare.

BAZELE FIZICII

inf elegerea corecta a problemelor

SEMICONDUCTORILOR

Cuprins

CUPRINS

din fizica semiconductorilor

implied cunostinte temeinice de fizica corpului solid, ceea ce ar impune


ca cititorul sa lectureze in prealabil unele cdrti din acest domeniu. in
prezentul volum, in mdsura in care a Jost posibil, s-a cdutat sa se evite
trimiterile la lucrari monografice de fizica stdrii solide, prezentdndu-se
aceste probleme, in Jonna si la nivelul care sunt necesare pentru scopul
cdrtii de fatd. Prin aceasta, s-a ldrgit mult si cercul celor interesati de
acest volum.
Problemele tratate sunt prezentate
posibil

utilizarea

unor probleme,

in detaliu, evitdndu-se pe cat

unor formule nedemonstrate. Pentru

cititorul poate apela la bibliografia

aproJundarea

vastd si variatd

indicatd la sfdrsitul cdrtii.

Capitolul I. Structura cristalina a materialelor semiconductoare


1.1. Consideratii generale
1.2. Principalele caracteristici ale corpurilor cristaline

13

1.3. Retea spatiala. Baza. Structura cristalina

16

1.4. Caracteristicile retelelor spatiale. Celula elernentara

20

1.4.1. Refea urndtmensionete (dreapta reticulere, sir reticular)


1.4.2. Refea bidimensionele (retee plene, plan reticular)
1.4.3. Refele tridimensionale (spafiale)

1.5. Retele Bravais

Prin continutul ei si modul de prezentare a problemelor, cartea se

1.6. Cifra (nurnar) de coordinatie

20
23
32

36
.48

adreseazd unui cerc Joarte larg de cititori. Cartea poate Ji de un real


Jolos studentilor si masteranzilor de la diferite facultdti care audiaza

1. 7. Celulele primitive pentru retelele complexe

50

1.8. lndicii Miller

53

cursuri

1.9. Coordonate atomice

66

1.10. Raze atomice (ionice).


Coeficient (factor) de compactitate (impachetare )

68

1.11 Celula Wigner-Seitz

76

1.12 Reteaua reciproca (inversa)

79

de fizica

semiconductorilor,

fizica

stdrii

solide,

stiinta

materialelor, fizica dispozitivelor cu corp solid s.a., proJesorilor care


predau

anumite

discipline

din

acest

domeniu,

cercetdtorilor,

doctoranzilor, etc.
in timpul elabordri cdrtii ne-am bucurat de sfaturile competente

1. 12. 1. Considerafii genera le


1. 12. 2. Refele reciproce pentru diferite tipuri de refele Bravais

ale unor colegi, cdrora le multumim pe aceastd cale.


De asemenea, exprimdm sincere multumiri recenzentilor cartii.
Autorii sunt deosebit de recunoscdtori

Editurii CERMI si

Tipografiei PJMpentru interesul depus in vederea aparitiei volumului in


bune conditii.

In vederea

imbundtatirii in viitor a continutului acestei carti,

apreciem ca binevenite orice observatie .)i sugestie.


Autorii

79
82

1.13. Celula Wigner-~eitz in reteaua reciproca. Zone Brillouin

88

1.14. Plane atom ice. Distanta interplanara

92

1.15. Structuri cu aranjament compact (impachetare cornpacta)

101

1.16. Criterii de clasificare a cristalelor

106

1.17. Structura cristalina a metalelor

108

1. 17. 1. Considerafii generale . . . . . . . .. . . .. .. .. . . .. . .. .. .. . .. .. .. . . .. . .. . .. . .. .. . .. .. . .. . .. . 108


1 '. 17. 2. Principalele tipuri de structuri cristaline caracteristice
elementelor meta/ice
109

1.18. Structura cristalelor ion ice (polare)

115

1. 18. 1. Conskieretii generate

115

1. 18.2. Principalele tipuri de structuri


caracteristice cristalelor ionice
1. 18. 3 Unele observafii cu privire la structura cristalelor ionice

Cuprins

BAZELE FIZICH SEMICONDUCTORILOR

2.7. Microscopia de
116
122

1.19. Structura cristalelor covalente (atomice)

127

1. 20 Structura crlstalma a unor cornpusi semiconductori

133

forta atornica

221

Capitolul III. Legatura cristalina


3.1. Fortele de leqatura dintre atomi (ioni)

229

3.2. Caracteristicile interactiunilor dintre atomi (ioni)

234

3.3. Tipurile principale de legaturi chimice In corpurile solide

240

3.4. Leqatura van der Waals

242

3.5. l.eqatura ionica

255

3.6. l.eqatura de hidrogen

267

142
144

3. 7. Leqatura covalenta

269

2.2 Microscopia electronica

144

3.8. Leqatura metallca ~267

2.3. Microscopia electronica de baleiaj


2. 3. 1. Schema constructlve
2.3.2. Mecanismul de formare a imaginii
2. 3. 3. Formarea imaginilor In microscoapele cu baleiaj.
2. 3. 4. Unele aplicafii ale microscopiei electronice de baleiaj
2. 3. 5. Microanaliza cu radiafii X In
microscopia etectronice de baleiaj
2. 3. 6. Spectroscopia de electroni Auger

150
150
151
154
156

2.4. Microscopia electronlca de transmisie


2.4. 1. Principiul de constructie i funcfionare
2.4.2. Mecanisme de contrast
2.4.3. Metode de cercetare a probe/or
tn microscopia electronice

160
160
162
167

2.5 Studiul structurii cristaline prin difractie de radiatii X


2.5.1. Considerafii generale
2. 5. 2. Producerea radiafiilor X
2.5.3. Spectrul radiafiilor X
2.5.4. lnteracfiunea radiafiilor X cu substanfa
2. 5. 5. Ecuafiile Jui Laue. Relafia Bragg
2.5.6. Utilizarea zone/or Brillouin
2. 5. 7. Construcfia Ewald
2. 5. 8. Formarea maximelor de difracfie
2. 5. 9. Metode de studiu a cristalelor prin difracfie de radiafii X

171
171
172
174
181
185
192
196
198
204

2.6. Microscopia cu efect tunel


2. 6. 1. Efectul tune/
2.6.2. Microscopul cu efect tune/

212
212
218

Capitolul II. Studiul experimental al structurii materialelor


semiconductoare
2.1 Microscopia metaloqrafica
2. 1. 1. Considerafii generale
2. 1. 2. Principiul de construcfie i funcfionare a microscopului
metalografic
2. 1. 3. Metode de preparare a probe/or

141
141

157
159

3.9. Leqatura cristalina, Consideratii finale

279

Capitolul IV. Vibratiile retelei cristaline


4.1. Vibratiile retelei unidimensionale (liniare)
cu un singur tip (sort) de atomi pe celula elernentara

283

4.2. lpoteza cristalului ciclic.


Conditille de ciclicitate Born - von Karmann

297

4.3. Densitatea de moduri de vibratie (oscilatie)

300

4.4. Viteza de faza i viteza de grup

304

4.5. Vibratiile ( oscilatiile) retelei unidimensionale


cu doua tipuri de atomi pe celula elernentara

308

4.6. Coordonate normale pentru o retea unidirnensionala slmpla

323

4.7. Oscilatiile retelei tridimensionale

335

Anexa IV.1. Coordonate normale.


Viteze (impulsuri) generalizate

339

Bibliografie

345

CAPITOLULI
STRUCTURA CRISTAL/NA A MATERIALELOR
SEMICONDUCTOARE
Consfderatll generale
Existenta uneia sau alteia dintre cele trei stiiri

(faze) de

agregare (gazoasa, lichida, solida), in care poate exista o substanta


oarecare, depinde de anurniti factori interni (natura si rnarimea fortelor
interatomice), precum si de factori externi (ternperatura,
carnpuri electromagnetice etc.). Trebuie rnentionat

presiune,

ca plasma este

considerata a patra stare de agregare a substantei, in care atomii neutri,

atomii excitati, electronii, ionii i fotonii forrneaza un "gaz" compresibil,


asernanator starf gazoase, deosebindu-se lnsa fundamental de aceasta
din urrna prin cornpozitie si natura fortelor de interactiune dintre
cornponentii ei [149].

Se stie ca in starea gazoasa, interactiunile dintre particule


(atomi, molecule) sunt slabe, lntrucat aceste particule se qasesc la
distante mari unele fata de altele. Din aceasta cauza, in aceasta stare
de agregare, atomii (moleculele) capata independenta in rniscare
(gazele prezinta o serie de proprletati specifice: expansibilitate, densitate
mica in

conditii fizice

compresibilitate

normale de presiune i
mare

temperature,
etc.).

BAZELE FIZICII SEMICONDUCTORILOR

Starile lichida

$i solida sunt numite stiiri

condensate.

Capitolul I - Structura cristalina a materialelor semiconductoare

In

timp mai indelungat. Ca urmare, startle metastabile au tendinta de a

aceste stan interactiunea dintre particule (atomi, molecule, ioni) este

trece cu o .viteza" mai mare sau mai mica in starea crlstalina stabila,

mult mai putemlca si, ca rezultat, se formeaza sisteme mai stabile de

Pentru ,,viteze de tranzitie"

particule la care se pot delimita anumite structuri spetiele.

considerat amorf in

Startle condensate pot fi grupate in cinci tipuri de steri (faze)

mai mici, corpul solid poate fi

intervale de timp suficient de mari, lncat

caracteristicile lui structurale pot fi presupuse constante In timp i sunt

structurale:

lnfluentate numai de actiunea unor factori exteriori [28, 73, 85].

a - starea emorte,
b - starea nemetice,

b)

c-

starea cotestericii,

(de cele mai multe ori molecule organice alungite de dimensiuni mari)

d -

starea smectics i

prezinta o tendinta de asociere In sisteme cu aranjari regulate dupa o

e-

starea cristeline.

- Starea (faza) nemetics este starea In care particulele constitutive

sinqura directie, dar fara periodicitate.


Denumirea acestei start (atribuita lui Friedel") provine de la

a)

- Starea (faza) amorfa (necristeline) se considera starea in care

cuvantul grecesc nema ( vsa) care lnseamna fir. Privite la microscop,

particulele constitutive prezinta o distributie spatiala, fara nici un fel de

substantele care se qasesc In aceasta stare se asearnana

ordine sl periodicitate.

rnanunchi de fire de ata, de aceea aceasta structura se spune ca este

In

conformitate cu aceasta definitie (vom reveni cu unele

fibroasa.

precizari asupra acestei definltii in Vol. 11), starea arnorfa ar presupune

In

Fig. 1.1, se prezinta schematic

cu un

aranjamentul particulelor

lipsa oricarei ordini, atat in apropiere, cat si la distanta, stare care poate

pentru starea nernatica, moleculele alungite fiind reprezentate prin niste

fi reatizata numai in cazul in care energia de legatura dintre particule

elipsoizi. Axele mari ale moleculelor tind sa se alinieze de-a lungul unei

este mai mica decat energia de aqitatie terrnica.

Insa aceasta situatie se

dlrectll (axe) preferentiale (ordonare preterentiete) [127, 224, 225].

intalneste numai in cazul gazelor i partial la unele lichide.

In
indeplinite

cazul in care conditiile de presiune i temperatura sunt


pentru existents

starii solide, atunci starea cristalina

corespunde staril stabile de echilibru (starea in care energia libera


prezinta un minim absolut). Startle care corespund unor minime relative
ale energiei libere se numesc stiirt de echilibru metastabile.
corpurile solide ele corespund stsrilor

amorfe.

In

Conditiile pentru
Fig. 1.1. Aranjamentul schematic al moleculelor tn starea nernatlca.

realizarea starilor metastabile sunt mai greu de realizat i de mentinut un

L este vectorul director.


1

G. Friedel, Ann. Phys., 18 (1922) 273

BAZELE FIZICH SEMICONDUCTORILOR

10

Orientarea locala a axelor moleculelor este descrisa de un vector

[ (1),

numit vector director. Vectorul [

(1)

indica directia orientarii

moleculei care se qaseste In punctul al carui vector de pozi,1e es e

(definit de requla tntr-un sistem de axe cartezian In care axa Oz este


paralela cu [ ).

In

cazul moleculelor cu extremitati (capete) identice

(molecule nepolare), semnul (sensul) vectorului

nu are semnificatie

fizica. Insa, In cazul moleculelor cu momente dipolare permanente


trebuie sa se ia In considerare i acest semn. Intrucat In studiul starii
nematice prezinta important, a numai direct, iile vectorului
Orientarea axelor moleculelor poate fi moditicata prin actiunea
unor factori externi (ternperatura, carnpuri electrice, carnpuri magnetice,
mteracnuni cu moleculele perefilor incintei In care se afla substanta

nernatica etc.). Pentru anumite intensitat' i ale factorilor externi.' fluctuat' iile

colesterol, Intrucat a fast observata pentru prima data la unii esteri ai


structura colesterica particulele sunt dispuse In straturi (plane) paralele
i echidistante, normale la o anurnita directie (axa Oz, Fig 1.2) [127,
224]. Tntr-un anumit strat (plan) axele mari ale particulelor sunt aliniate In
lungul unei directii preferentiale caracterizata de vectorul director,

i.

Tntre doua plane vecine dlrectiile preferentiale fac un unghi, <AJ. Un


parametru important a structurii II constituie distanta, rnasurata In lungul
axei Oz (nurnita si axa de rotatie) pe parcursul careia vectorul director se

pentru foarte multe substante, care au acest tip de structure (nurnita i


structure stretiticetii elicoidala), este cornparabila cu lungimea de
unda a luminii vizibile, depinzand puternic de ternperatura, directia i
intensitatea campului electric aplicat etc.

',"

paralela a axelor lungi ale moleculelor (se spune ca se realizeaza un


camp director paralel). Aceasta confiquratie deterrnina i proprietatile

fizice specifice starii nematice (de exemplu, transmisia este foarte

/.

ridicata pentru radiatiile electromagnetice din domeniul vizibil).


Tntr-o substanta nernatica, centrele de masa ale moleculelor nu
sunt dispuse ordonat la distante mari. Moleculele se pot roti In jurul
axelor mari si, de asemenea, prezinta i o mobilitate In spatiu, ceea ce

-,
I

confera proprietatea de fluiditate substantelor nematice.


Starea (faza)

In

colesterolului (colesterolul Insasi nu are o asemenea structure).

termice pot fi neglijate, si, In consecinta, poate avea loc o aranjare

c) -

11

roteste cu 2n. Aceasta distanta se nurneste pasul colestericului care,

rnarimea (modulul) acestuia se considera eqala cu unitatea.

Capitolul I - Structura cristalina a materialelor semiconductoare

coiesterlce este starea In

care

particulele constituitive au tendinta de a se uni In sisteme cu axe


paralele, cu aranjament unidimensional.
Din punct de vedere istoric, denumirea starii provine de la

Fig. 1.2. Aranjamentul schematic al moleculelor Tn starea colesterica.


P reprezinta pasul colestericului.

BAZELE FIZICII SEMICONDUCTORILOR

12

d) -

Starea (faza) smectice consta dintr-o aranjare bi

Capitolul I - Structura cristalina a materialelor semiconductoare

Starea nernatica,

colesterica ~i

smectica, numite ~i

13

stiirl

dirnensionala a particulelor, cu aparitia unor fete tubulare paralele, ale

mezomorfe sau "cristale lichide", sunt considerate stari intermediare

carer plane sunt dispuse periodic.

Tntre starea amorfa i cea cristalina,

Denumirea atribuita acestei stari (de catre Herrmann i

Desi unele proprietaf ale cristalelelor lichide au fast studiate Tn

Krummacher" Tn 1932) provine de la cuvantul grecesc srnectos (care

urrna cu mai mult de un secol, cercetarile din acest domeniu capata o

tnsearnna sepun) si a fast propusa tinand seama de structura stratiflcata

amploare deosebita Tn perioada 1965-1975 cand se sernnaleaza si

(asemanatoare solutiei de sapun) a acestor substante.

foarte importante aplicatil ale cristalelor lichide ln numeroase domenii,

Prezentarea schernatica a acestei structuri este avidentiata ln


Fig. 1.3 [127, 225]. Axele lungi ale particulelor (rnoleculelor).

sunt

cum ar fi afisaju' numeric, stocarea inforrnatiei, detectarea i vizualizarea


carnpurilor electromagnetice etc.

paralele cu o directie preferentiala care poate fi norrnala (Fig. 1.3 a). sau
e) - Starea (faza) cristalina este caracterizata printr-o aranjare

tncllnata cu un unghi rp ( rp:::;; 90) (Fig. 1.3 b) fata de planul .straturilor.


Dispunerea moleculelor In interiorul unui strat poate fi ordonata

ordonata (periodica) a particulelor dupa cele trei directii spatiale. Acest


tip de stare (faza) va fi prezentat pe larg Tn cele ce urmeaza.

( straturi structurate) sau dezordonata (straturi nestructurate).


f,Z

1.2. Principalele caracteristici ale corpurilor cristaline


Structura cnstallna (cristalele) se forrneaza prin repetarea
requlata, dupa cele trei directii spatiale, a unor unitati structurale
distincte (atomi, molecule, ioni, grupuri de atomi, grupuri de molecule
sau grupuri de ioni).
Tn corpurile cristaline, particulele constituive sunt distribuite lntr-o
ordine bine determinata, extinsa la distante mari In cornparatie cu
(a)

(b)

distantele dintre aceste particule. 0 astfel de aranjare interna da nastere


la forme geometrice exterioare rnarqinite de fete plane, muchii drepte ~i

Fig. 1.3. Modul de aranjare al moleculelor In starea srnectica [127]:


(a) - directia preferentiala (lndicata de vectorul L) este norm~la
cu planul straturilor; (b)- directia preferentiala face unqhiul (() ((()~90 )
cu planul straturilor.

colturi, cu o simetrie rernarcabila.


Principalele caracteristici ale corpurilor solide cristaline sunt
urmatoarele:
1. Corpurile cristaline ( cristalele) se caracterizeaza printr-o simetrie
interne (numita i simetrie cristalina), care se refera la

K. Herrmann, A.A. Krummacher, Z. Krist. Miner, Petrogr., A81 (1932) 317.

BAZELE FIZICII

14

Capitolul I - Structura cristalina a materialelor semiconductoare

SEMICONDUCTORILOR

aranjarea ordonata a particulelor componente dupa cele trei


directii din spatiu,
2. Cristalele prezinta, de asemenea, o simetrieexterioara (nurnita

15

proprtetatile .sunt diferite dupa directii diferite se numesc


anizotrope.

In

general, corpurile amorfe sunt izotrope, iar cele

cristaline sunt anizotrope. Anizotropia este conditionata fie de

geometrica sau singonie) care se refera la forma polledrica

anumite particularitati ale grupurilor de particule constituitive

oxterioara requlata, determinata de procesele de cristalizare.

(care ele insele pot fi sisteme anizotrope), fie de modul de

Dupa gradul de simetrie corpurile cristaline se clasifica in

aranjare, diferit dupa diferite directii din spatiu, a particulelor

sisteme, clase, familii sl grupe de simetrie [50, 99, 200].

constituitive.

crestere

3. Cristalele se formeaza prin procese de germinare si

Anizotropia .- poate fi

neiurete

sau

artificiala

(provocata de anurniti factori externi, cum ar fi tensiuni mecanice,


carripuri electrice sau magnetice s.a.),

(din faza qazoasa, din topitura, din solutie etc.)[65, 66, 157].
4. Supuse unor solicitari externe, corpurile cristaline se pot deforma

7. Starea cristalina este o stare de echilibru termodinamic a

sau rupe, de-a lungul unor plane bine determinate numite plane

corpurilor solide. Fiecare faza solida care are o anumita

de alunecare

cornpozitie chimica, in conditii termodinamice date, poseda un

sau

plane

de

clivaj.

Aceste

plane

se

anumit tip de structura cristalina.

caracterizeaza de obicei prin densitate atomica maxima.


5. Cristalele difracta coerent radiatiile X, precum i fasciculele de

Majoritatea cristalelor naturale sau sintetice ale substantelor

electroni sau neutroni, planele reticulare comportandu-se ca

solide cu diferite cornpozitf

retele de difractie pentru domeniul acestor lungimi de unda, Pe

policristale (au structura policristallna), adlca reprezinta in sine

'

chimice (metale, aliaje

etc.) sunt

baza acestor proprietati au fest elaborate metode de studiu a

agregate de cristale mici (care au diferite forme si diferite orientari) care

structurii

se numesc cristalite, (granule, graunti cristalini etc.). In unele cazuri

cristalelor

(analiza

r6engenostructurala,

analiza

electronografica sau neutronografica) (v. Capitolul 11).


6. Dupa cristalizare, substantele capata proprietati fizice specifice.

cristalitele pot avea o orientare privileqiata si atunci se vorbeste despre


aparitia unor texturi.

Acestea pot fi sea/are (care sunt invariabile fata de schimbarea

Evident, ca proprietatile policristalelor sau a texturilor depind de

directiei) i vectoriale (care variaza cu directia ~i uneori chiar cu

proprietatile cristalitelor din care sunt formate, dar ~i de dimensiunile

sensul considerat in cristal). La randul lor proprietatile vectoriale

acestor cristalite, dispunerea lor reciproca i

sunt fie continue, a carer rnarirne variaza in mod continuu odata

interactiunilor dintre cristalitele respective.

de caracteristicile

cu schimbarea directiei, fie discontinue, care prezinta valori

Un cristal separat, de dimensiuni mai mari, se numeste

minime sau maxime pentru o anumita directie, iar pentru alta

monocristal.Dupa cum vom vedea, monocristalele pot avea unele

directie, foarte apropiata, ia valori mult diferite.

irnperfectiun)

atat in ceea ce priveste structura, numite defecte

Substantele pentru care proprietatile sunt aceleasi in

structurale (lipsa unor atomi din noduri, prezenta unor atomi suplimentari

toate directiile se numesc izotrope, iar cele pentru care

intre noduri etc) cat si prezenta unor atomi strain! De multe ori, aceste

BAZELE FIZICII SEMICONDUCTORILOR

16

Capitolul I - Structura cristalina a materialelor semiconductoare

Structura cristeline se obtine numai atunci clnd flecarul punct

abateri de la structura cristalina ideal a pot fi neglijate (fiind.}n cantitati


foarte mici) lncat monocristalul, poate fi considerat ca un rnediy gmogen.

17

(nod) al retelei i se ataseaza in mod identic o baza de atomi (Fig. 1.5).


in Fig 1.5.a se prezinta intuitiv modul de formare a unei structuri
cristaline prin atasarea flecarui nod al retelei a unei baze formate din doi

Reteaspatlala. Baza. Structura crtstallna.

1.3.

atomi diferiti (aici s-a considerat o retea bidimenslonala),

Structura cristalelor ideale poate fi descrisa consigerapc:ju-se ca


se forrneaza prin repetarea regulata, iniinitii

In spatiui.a(Ljnpr unitafi

structurale identice. 0 astfel de unitate (nurnita baza) poate .c;pptine.s . In


cazul eel mai simplu,

un singur atom.

Insa, In

marea(.JlJ(:ijpfitate a

cazurilor, unitatile structurale pot fi formate din ioni, molecule; grl1puri de


atomi

(ioni)

sau

de

molecule.

Nurnarul

atomilor,

iqnilp[ .. sau

oo

(In cazul substantelor

compusi

organici

acest

anorganice ), tnsa In cazul cristalelor


nurnar

poate

depasi

chiar.

unor

10.000 .. (cazul

cristalelor proteinelor).
Marea

cristaline,

baza trebuie sa-i pastreze

care forrneaza

baza) si

compozitie (nurnarul ~i natura atomilor care

forrneaza baza). Numai In acest caz se forrneaza o structura cristalina


real a.
Daca, s-ar modifica orientarea bazei (de exemplu, cei doi atomi
ar fi situaf pe orizontala) (Fig. 1.5.b), aranjamentul (de exemplu, distanta
Intre cei doi atomi) (Fig. 1.5.c) sau compozitia (atomii ar fi, de exemplu,
identici),

atunci

s-ar

obtine

alte

tipuri

de

structuri

cristaline

bidimensionale care difera de cea prezentata In Fig. 1.5.a.

majoritate

descrise, plecandu-se

structurii

nemodificata orientarea, aranjamentul (dispunerea reciproca a atomilor

al

moleculelor din aceste unitati structurale este de requla mai n]iC decat
1

La formarea

structurilor

cristaline

de la o rete spafiala

cunoscute . pot . f.i

in schimb,

dupa cum se poate UOr constata,

nu prezinte

(nurnita rnaL.p.e. ?.c;urt,

importenie modul de dispunere a bazei in raport cu nodurile refelei. De

"refea") si atasand fiecarui punct (nod) al acestei retele o baza.(bazade

exemplu, daca In cazul considerat In Fig. 1.5.a, atomul A al bazei nu ar

etomii.

fi asezat In nodurile retelei,


Prin urmare, putem scrie simbolic:

distanta

dintre

lnsa s-ar pastra nemodificata orientarea i

atomi (aranjamentul),

atunci s-ar obtine o structure

cristalina (Fig. 1.5.d) identica cu aceea prezentata In Fig. 1.5.a.


Retea
spatlala

Baza
(de atomi)

Structura

Mentionarn ca la formarea structurii cristaline nu este obligatoriu

crlstallna

ca unul dintre atomii bazei sa fie asezat In unul din nodurile retelei

Fig. 1.4. Reprezentarea sirnbolica a modului de formare a structurii cristaline

spatiale (Fig. 1.5.d), dar este mai comod sa se procedeze In acest mod,

Reteeue este definita ca un aranjament de puncte (noduri) In


spatiu ( o structura periodica
este o abstractie rnaternatica.

infinita, forrnata din puncte discrete).

Ea

deoarece este mai UOr de indicat pozitia unor atomi ai bazei.


in acord cu cele prezentate,
structurii

cristaline,

referitor la modul de formare a

vom studia succesiv,

teristici ale reteletor spatiale,

pe larg, principalele

carac

modul In care se indica compozltia

~i

BAZELE FIZICH SEMICONDUCTORILOR

18

aranjamentul

bazei in retea, precum l?i cele mai importante tipuri de

structuri cristaline reale

1l.

19

de atomi de un numit tip. De asemenea, trebuie indicate l?i dispunerea


reciproca a acestor atomi prin indicarea vectorilor de pozitie, respectiv a

coordonatelor atomilor care formeaza baza intr-un sistem de coordonate


legat de reteaua spatiala (v. 1.9). Totodata trebuie rnentionata l?i

+c!B

natura legaturii chimice dintre atomi.

Pentru unele cristale (de exemplu, cele de natriu) baza este


Baza

Retea (bldlmensionala)

Structure cristalina

formats dintr-un singur atom. La altele baza este formats din doi atomi
fie identici (cazul diamantului,

(a)

siliciului,

germaniului

etc.), fie diferiti

(sulfura de cadmiu, clorura de natriu etc.).

e e e e
e e e e
e e e e

Un anumit tip de structura

cristalina poate fi obtinuta aleqand

convenabil fie reteaua spatiala, fie baza. Astfel, structura cristalina din
Fig. 1.6.a poate fi obtinuta fie conslderand reteaua l?i baza din Fig. 1.6.b,
(cl

(b)

(d)

Fig. 1.5. Modul de formare a unei structuri cristaline, plecandu-se de la o retea


bldlrnensionala si o baza forrnata din doi atomi:
(a) - formarea structurii cristaline; (b) - modificarea orientari! bazei;
(c) - modificarea aranjamentului (distantei dintre atom1);_
.
(d) - modificarea modului de dispunere a bazei in raport cu nodunle retelei,
Cu sunt reprezentate nodurile retelei.

Din cele prezentate se poate constata ca reteaua (spatiala) in


sine nu descrie modul de aranjare a atomilor (ionilor, moleculelor) intr-un
cristal. Pentru descrierea

Capitolul I - Structura cristalina a materialelor semiconductoare

structurii cristaline, in afara de tipul retelei,

este necesar sa se indice l?i o baza caracterizata printr-un anumit nurnar

1 in acest capitol noi nu vom lua in considerare faptul ca atomii din cristal executa oscil~tii
(vibratii) in jurul unor pozitii de echilibm ~i nici faptul ca dimensiunile cristalelor reale sunt fimte
(fiind limitate de suprafetele acestora).

fie reteaua l?i baza din Fig. 1.6.c.

(a)

cf

' ' ' ' '

' ' ' ' '


' ' ' ' '

(b)

cJ-d

'-c! '-c! <#-08-c! '-cf <#-'-cf '-cf <#--

(c)

Fig. 1.6. Formarea unei structuri cristaline (in acest caz, bldlmenstonala) (a),
aleqand in mod convenabil reteaua ~i baza de atomi ((b) ~i (c)).
Cu sunt reprezentate nodurile retelei.

BAZELE FIZICII SEMICONDUCTORILOR

20

Capitolul I - Structura cristalina a materialelor semiconductoare

Alte aspecte legate de modul de formare a structurii cristaline vor


fi prezentate in paragrafele urmatoare.

21

A0A1 = A1A2 = ... =a


si se nurneste parametrul (perioada) sirului reticular sau constanta
retelei unidimensionale.
Printr-o translatie dupa dtrectia slrulul de rnarirne n-a (n, fiind un

1.4. Caracteristicile retelelor spatlale. Celula elernentara,

nurnar intreg oarecare pozitiv sau negativ), nodul Ao va ocupa pozitia

Desi cristalele reale sunt tridimensionale, pentru definirea unor

unui alt nod analog de pe dreapta respective. Pentru toate valorile lui n1

marirni caracteristice sau pentru studiul unor fenomene; rn'afara de

(n, EZ) dreapta reticulara se transforma in ea insasi. Se spune ca sirul

reteaua spatiala, se mai folosesc alte doua tipuri de re{ea. Astfel, sunt

prezinta proprietatea de invarianta la o operatie de translatie discreta.

posibile urrnatoarele tipuri de aranjare a nodurilor:


aranjarea

lntr-o

sinqura

directie

Considerand Ao ca origine, dreapta reticulara ca o axa de


riurnlta

retea

coordonate Ox, iar parametrul sirutui ca un vector avand sensul acelai

unkilmenslonete ( dreapta reticutere sau ffr reticl11ar)1 );

ca si eel al axei i modulul egal cu distanta dintre noduri, putem scrie

aranjarea nodurilor in spatiu dupa doua directH,numita refea

pentru vectorul de pozitie al unui nod oarecare al sirului reticular, relatia

bidimensionala tretee plana sau plan reticular);

(1.1)

aranjarea nodurilor in spatiu dupa trei directil necoplanare,


constituind o ret, ea tridimensionelii sau o ret, ea spat, iala.

Relatia (1.1) se mai nurneste si ecuetie sirului reticular, iar


se nurneste vector fundamental sau vector de baza al sirului,

1.4.1. Retea unidimensionala (dreapta reticulara. sir reticular)

Ao

o:

Ducand o dreapta lntr-o anurnita directie in reteaua spatiala,

Ii(
I

aceasta va tntalnl o serie de noduri (puncte) echidistante, care nu se


deosebesc intre ele prin nici o proprietate.
reticulerii ($ir reticularsau retee unidtmenslonstei.
......

An nodurile dreptei respective (Fig.

1.7). Distanta dintre doua noduri consecutive este aceeasi


1

Retelele uni- si bidimensionale cu anumite caracteristici sunt folosite pentru studiul


teoretic al unor probleme de fizica cristalelor, permitand sa se deduca mai simplu unele
relatii, care pot fi apoi generalizate pentru cazul retel~lor tridimensio~ale. Pe d~ alta
parte, intr-o retea tridimensionala, de foarte multe on, este nece~ar s~ ~e refen~ ~a
unele directii sau plane, care au un anumit mod de aranjare a nodunlor ~1, in consecmta,
"imprima retelei cristaline anumite proprietati.

a
a

...

A1

A2

A3

I
I

I
I

;) Ii(
I

;) IE(
I

An
;/<

;)

'Tr---7
x

I
I

Fig. 1.7. $irul reticular (dreapta reticulara) sau retea unidtrnensionala.


Cu sunt reprezentate nodurile retelei.

Nodurile care se gasesc pe aceasta dreapta vor forma o dreapta


Notam cu A0, A1, A2,

Evident, din multimea vectorilor

Rn

a carer rnarime este distanta

dintre doua noduri oarecare ale sirului, nurnai

poate fi considerat un

vector fundamental (de baza), tntrucat nurnai acesta este vectorul cu


lungimea minima cu ajutorul caruia putem construi siru' reticular
respectiv. Daca, de exemplu, s-ar alege un alt vector

ja 'I

a'

astfel lncat

= 2a, atunci utilizand un vector de forma Rn = n1a' cu originea in

BAZELE FIZICH SEMICONDUCTORILOR

22

a'

nodul A0, nu putem gasi pozitia nodurilor A1, A3,

Prin urmare,

nu

poate fi considerat un vector fundamental (i aici

n- este un nurnar intreg

Capitolul I - Structura cristalina a materialelor semiconductoare

constituie centre de inversie fata de care nodurile cu vector de pozitie

Rn

defini

celula

etementers

ca

portiune

retelei

discreta,

putem

-Rn , adica,

coincid cu noduri cu vectori de pozitie

oarecare).
Vom

23

putem scrie

-Rn= R_n
Tn Fig. 1.8 este prezentat schematic modul de formare a unei

unidimensionale
construi
pentru

cu ajutorul

intreaga
reteaua

careia,

prin translatie

retea unidirnensionala
reprezentata

in

Fig.

(sir reticular).
1.7,

celula

De exemplu,

elernentara

este

structuri cristaline liniare pornindu-se de la o retea unidimensionala

(Fig.

1.8.a), baza fiind forrnata dintr-un singur atom (Fig. 1.8.b ), din doi atomi
identici (Fig. 1.8.c) sau din doi atomi de natura diferita (Fig. 1.8.d).

segmentul dintre doua noduri vecine alese arbitrar ( A0A1 sau A1A2 etc).
Observarn

UOr ca nodurile

de la capetele

unor

asemenea

segmente (din extrernitatile celulei elementare) .apartin" in eqala masura


celor doua celule vecine. Astfel, nodul A2 .apartine"
celulei

A2A3

celulei ~A2

:<
I

)i:<
I

)i:<

)i:<
I

)i:

(a)

si

(b)

Se poate deci considera ca 1 /2 din nod apartine celulei


(c)

A1A2 i 1 /2 celulei A2A3

Prin urmare, fiecarei celule ii corespunde un

nod (cate 1/2 nod de la cele doua extrernltati).

(d)

Daca o celula elernentara confine un singur nod, ea se nurneste

celule primitive.
Putem construi reteaua unidimensionala
alta celula elernentara.

AoA2

segmentul

De exemplu,

din Fig. 1.7 aleqand o

putem alege ca astfel de celula

Fig. 1.8. Prezentarea modului de formare a unei structuri cristaline unidimensionale:


a - reteaua bidirnensionala (cu sunt reprezentate nodurile retelei),
b - baza formata dintr-un singur atom;
c - baza formata din doi atomi atomi identici;
d - baza formate din doi atomi de natura dlterita.

Dar aceasta nu mai este o celula primitiva lntrucat


Tn cazul acestui tip de retea, pozitia dreptei fiind deterrninata,

contine doua noduri (cate 1/2 nod in extrernitatile Ao si A2 i 1 nod in A1).


Prin urmare, putem scrie: [ ~

+; +

1) noduri

= 2 noduri. 0 astfel de

este necesar sa se indice numai distanta dintre noduri. Tn capitolele care


urmeaza se vor folosi mult astfel de retele unidimensionale

pentru a

deduce mai simplu unele relatii, care mai apoi vor fi generalizate pentru
celula elernentara (cu mai multe noduri) se nurneste celula elernentara

neprimitivii sau celula elernentara complexii.


Reteaua unidirnensionala, In afara simetriei de translatie, poseda
'

'

cazul retelelor tridimensionale (reale).


1.4.2. Retea bidimensionala (retea plana, plan reticular)

i centre de inversie. Tn adevar, fiecare nod al retelei, precum si fiecare


punct

care se gasete

la jumatatea

distantei

dintre

doua

Daca se considers o alta directe prin reteaua spatiala care trece

noduri
prin

nodul

Ao i care

face

un

unghi

nenul

cu

directia

retelei

BAZELE FIZICH SEMICONDUCTORILOR

24

unidimensionale,

A0, A1,

A2, aceasta va lntalni

Capitolul I - Structura cristalina a materialelor semiconductoare

25

unele noduri identice

AJ, A5, Ag, ......

situate la distante egale (Fig. 1.9). Putem scrie i


pentru aceasta directie o relatie de forma:

A0AJ =

AJA5 = ... = b

(1.2)

b fiind parametrul (constanta) sirului reticular respectiv.


O dreapta paralela cu
reticular identic s.a.rn.d.

AoAJ ...

care trece prin A1 va forma un sir

Obtinern, In acest mod, o aranjare


nodurilor, acestea alcatuind

bidimensionala

requlata

un plan reticular (refea plana sau retee

btatmensionetii; cu parametrii a i b. Considerand i aici pe

ca un
Fig. 1.9. Elementele unei retele bidimensionale (plan reticular, retea plana).
9i E sunt vectorii de baza (tundamentali) ai retelei bidimensionale.
Cu sunt reprezentate nodurile retelei.

vector a carui sens coincide cu eel al unei axe Oy, ecuatia planului

reticular se va scrie
(1.3)

Celula elernentara pentru o retea bidimensionala


unde n1 sl n2 sunt numere lntregi, pozitive, negativ sau zero.
De asemenea, vectorul

E este

(ca i In cazul sirului reticular) In diferite moduri (Fig. 1.10). Celulele I, II,

un vector fundamental (de baza)

al planului reticular.

si

sunt diterite, iar unghiul, a,

dintre ei este diferit de 90. 0 astfel de retea se nurneste


O translatie

oarecare

cu vectorul

Rn

retee obnc.

= n 1a + n2E

transforma

A0A1AJA~

neprirnitiva

este numit paralelogram (po/igon)

(complexa)

celulelor bidimensionale,

lntrucat

confine

doua

noduri. in cazul

nodurile din varfurile celulei elementare apartin

la patru (sau trei) celule alaturate (cu varful comun) si deci doar 1/4 (sau
1/3) dintr-un nod apartine unei celulei considerate.
Reteaua

reteaua plana In ea tnsasi.


Paralelogramul

IV i V sunt primitive, Intrucat contin cate un singur nod, lnsa celula Ill
este

in general, marimile vectorilor

poate fi aleasa

bidimenslonala

oblica are urrnatoarele

elemente

de

simetrie: trensletie discrete i rotetie cu un unghi n in jurul unor axe

normale la planul figurii care tree prin nodurile celulelor, prin centrul
primitiv sau paralelogram generator. Prin deplasarea acestui paralelo
gram dupa directiile a doua axe de coordonate
baza,

constituie
considerata.

E'

paralele cu vectorii de

se forrneaza planul reticular respectiv. Acest paralelogram

celula

elementerii

pentru

reteaua

bidimenslonala

celulei primitive i prin mijloacele laturilor (Fig. 1.11 ). Se poate constata


usor ca, pentru retelele bidimensionale,

o rotatie cu un unghi re este

echivalenta cu o inversie. Axele de simetrie de rotatie cu un unghi 2rc/n


(n fiind un nurnar lntreg), se numesc axe de rotetie de ordinul n i se
noteaza cu Cn. in cazul retelelor bidimensionale oblice, rotatia cu unghiul

26

BAZELE FIZICII SEMICONDUCTORILOR

= 2 ~i

n, corespunde lui n

deci aceste axe de rotatie sunt de ordinul 2,

fiind notate cu C2 (Fig. 1.11 ).

Capitolul I - Structura cristalina a materialelor semiconductoare

celula

elementara

(care

poate

fi prirnitiva

sau

27

neprimit'va),

Toate

elementele de simetrie rnentionate la reteaua oblica, rarnan valabile ~i


pentru reteaua dreptunghiulara.

Insa reteaua

dreptunghiulara

prezinta in

plus ~i axe de simtrie de reflexie de ordinul 2, notate cu m. Acestea sunt


orientate dupa directiile vectorilor

a ~i

jj ~i dupa directiile mediatoarelor

acestor vectori.

Fig. 1.10. Diferite moduri de alegere a celulei elementare


in cazul unei retele bidimensionale.
Cu saqeti punctate sunt reprezentate directiile de translatie
a poligoanelor generatoare pentru formarea retelei.

Daca formam

o structura

cristalina

plana (btdimenslonala)

~i

atasarn fiecarui nod o baza formats dintr-un singur atom (ion), atunci o
astfel

de structure

(nurnita

de requla

forrnata din mai multe particule


structura

cristalma

cornplexa,

Cand

(atomi, ioni, molecule


care,

de requla,

lnsa baza este


1>)

se obtine o

prezinta

mai putine

elemente de simetrie in cornparatie cu structurile cristaline simple.


in cazul in care

/a/ jEI,
=1:-

lnsa

Fig. 1.11. Elemente de simetrie intr-o retea bidirnensionala oblica.


Cu 0 s-au notat axele de simetrie de ordinul 2, perpendiculare pe planul figurii.

structure simpla), pastreaza

elementele de simetrie ale retelei bidimensionale.

90, reteaua se nurneste

dreptunghiulara.
Ca ~i in cazul retelelor oblice, putem alege

in Fig. 1.12 sunt prezentate elementele de simetrie pentru retele


bidimensionale

moduri

dreptunghiulare.

Trebuie

sa

mentionarn ca elementele de simetrie ale unei retele

de acest tip se observa numai pentru cazul in care celula prirnitiva, cu


care se descrie formarea retelei bidimensionale,

de baza

a'

~i

a 1- b. Celula
b'

Atomii, ionii si moleculele se considera particule punctifonne

are vectorii de baza

elementara care are, de exemplu, vectorii

(Fig. 1.12) nu reflects toate elementele de simetrie ale

retelei dreptunghiulare.
1

Axele de simetrie de rotatie sunt situate

perpendicular pe planul figurii.

perpendiculari,
in diferite

28

BAZELE FIZICH SEMICONDUCTORILOR

Capitolul I - Structura cristalina a materialelor semiconductoare


y

0 alta retea bidirnensionala este reteeue patratica(Fig. 1.13). In


acest caz,

/al = )Ej, si a = go

29

in cornparatie cu refeaua dreptunqhiulara,

reteaua patratica are in plus axe de simetrie de ordinul patru care tree
prin centrul celulei !?i prin nodurile din varfurile acesteia.
y

o a

Fig. 1:13. El~m~n!e de simetrie tn reteaua plana patratica,


Cu C2 I C4 ~e 1nd1ca axele de rotatls de ordinul 2, respectiv 4,
iar cu m se noteaza axele de simetrie

a'

Fig. 1.12. Elemente de simetrie Tn reteaua plana dreptunghiulara.


Cu C2 se indica axele de rotatie de ordinul 2, iar cu m se noteaza axele de simetrie

!al

Daca
= jEj i a=60, celula elernetara se nurneste
hexagonala (Fig. 1.14). Aceasta refea are urmatoarele elemente de
simetrie: translatia discreta, axe de ordinul sase (care tree prin varfurile
celulei si sunt normale la planul acesteia), axe de ordinul trei (care tree
prin centrele triunghiurilor formate din trei noduri vecine) i axe de

o a

ordinul doi (care au aceleasi pozitii ca !?i in cazul refelei obiice).

fn cazul in care

lal = jEj lnsa a 7:- 60 !?i a 7:- go

refeaua se spune
Fig. 1.14. Reteaua plana hexaqonala. Elemente de simetrie.

ca este rombicii. Pentru descrierea acestei refele bidimensionale se


poate alege celula elernentara dreptunghiularcentretii (Fig. 1.15) care
este neprimitiva. Vectorii de baza sunt

a !?i

E ( lal = jEj) i

a' 7:-

go

Reteaua rombica are acelea!?ielemente de simetrie ca !?i reteaua


obnca, lnsa diagonalele rombului sunt !?i axe de reflexie.

Pentru axele de simetrie de diferite ordine se folosesc de obicei

BAZELE

30

FIZICII SEMICONDUCTORILOR

Capitolul I - Structura cristalina a materialelor semiconductoare

31

exemplu, daca In centrul celulei primitive dreptunghiulare

se adauqa un

urrnatoarele notatii:
() - axa de ordinul al doilea, 6 - axa de ordinul al Ill-lea,
ordinul al IV-lea i

0-

D-

axa de

nod, se poate forma, printr-o alegere convenabila a vectorilor

E,

retea rombica (Fig. 1.16).

axa de ordinul al VI-lea.

Fig. 1.16. Transformarea unei retele plane dreptunghiular centrata Intr-o retea rornbica

Fig. 1.15. Reteaua plans rornbica sau dreptunghiular centrata.


Elemente de simetrie.

Dupa cum rezulta din cele prezentate


orice structura cristalina bidimensionala,
cinci tipuri de retele bidimensionale

mai sus, putem construi

Tabelul 1.1. Caracteristicile celor cinci tipuri de retele bidimensionale.

plecand de la una dintre cele

i atasand flecarui nod al retelei o

Tipul celulei
conventionale

Relatii dintre
marimea
vectorilor de

OBLICA
DREPTUNGHIULARA
PATRATICA

Paralelogram
Dreptunghi
Patrat

baza
a ;i:: b
a ;i:: b
a=b

HEXAGONALA

Hexagon
(Romb)

ROM BICA
(dreptunghiular
centrata)

Romb
(Dreptunghi)

Tipul retelei

baza.
Cele cinci tipuri de retele (oblica, dreptunghiulara,
hexaqonala

patratica,

i rornbica) se numesc retele fundamentale sau retele

Breveis". Tn Tabelul 1.1 au fost incluse caracteristicile principale ale


acestor retele fundamentale.
Se poate constata, din cele de mai sus, ca singurele axe de simetrie
care pot sa apara In cazul retelelor bidimensionale sunt axele de ordin 2,
3, 4 si 6. De asemenea, se poate demonstra ca cele cinci tipuri de retele
mention ate sunt singurele

retele Bravais bidimensionale

(plane). De

Fizicianul francez Auguste BRAVAIS (1811 - 1863) elaboreaza teoria retelelor cristaline si a
claselor de simetrie.
1

Principalele
bidimensionale sunt:

marimi

care

a=b
a=b
(a ;i:: b)

caracterizeaza

Unghiul
dintre vectorii
de baza
a 7: go0
a - go0
a - go0
a= 120
(a - go0)
a 7: 60;a ;i::

goo
(a - go0)

retelele

Bravais

BAZELE FIZICII SEMICONDUCTORILOR

32

constantete retelei:

Capitolul I - Structura cristalina a materialelor semiconductoare

a, E;

33

triolmenslonata.

aria celulei elementare: So =I a

. b I;

Vectorii

a, E

se numesc vectorii de baza (fundamentali)


1),
ai retelei tridimensionale
pozitia oricarui nod al retelei putand fi

numsrul de noduri pe celula etementers;


numsrul de coordinafie (nurnarul de noduri vecine de
ordinul intai situate la aceeasi distanta de un nod dat).

deterrninata de un vector de pozitie de forma

Rn

Se poate constata UOr ca nurnarul (cifra) de coordinatie este:

=n1a+n2b+n3

c ,

(1.4)

unde n-, n2, i n, sunt numere intregi pozitive, negative sau zero.

doi la retelele oblica, dreptunqhiulara si rombica: patru la reteaua


patratica i sase la reteaua hexaqonala.

1.4.3.Retele tridimensionale (spatiale)


Ducand prin punctul A0 al retelei din Fig.1.9 o a treia dlrectie,
necoplanara

cu primele doua, aceasta va lntalni la randul ei noduri

echidistante din retaua tridirnensionala. Se va forma astfel un nou sir


reticular (retea unldimensionala) al carui parametru poate fi diferit fata
de parametrii sirurilor care forrneaza reteaua bidimensionala (Fig. 1.17).
Directiile

paralele cu directla considerata

punctele Ao, A1, A2, ...... ,

Ari,

At,

initial, care tree prin

Ag, ...... A{, Af, A~ ......

var forma

Fig._ 1: 17. Ca_racteristic!I~. retelelor tridimensionale ( spatiale ).

noi retele unidimensionale, avand acelasi parametru, pe care ii vom nota

Paralelipipedul

cu c.

In

Se poate forma in acest mod o rete trkiimensionete (spafiala).


Aceasta retea poate fi obtinuta i

directie necontinuta in planul initial, cu un vector de forma

conformitate cu relatia (1.4), pozitia oricarui nod al retelei

spatiale se obtine ca o cornbinatie liniara a vectorilor

prin deplasarea unei retele

bidimensionale ( caracterizata prin vectorii fundamentali

f1gurat cu lln11 continue reprezlna celula elementara


(paralelipipedul vectorilor de baza),

a, E

c.

Paralelipipedul (in general, poliedrul) cu varful in Ao cu ajutorul

E ), dupa o
n3c (n, fiind

si

caruia, pri~ translatii discrete (in lungul a trei directf independente),


putem construi intreaga retea spatiala se numeste celula elementers

un nurnar Tntreg).

Intrucat structurile cristaline reale se obtin pornindu-se de la o

itridtmenstonete; sau paralelipipedul vectorilor de baza.

astfel de

celula este evidentiata prin linii continue in Fig. 1.17.

retea spatiala, atasand fiecarui nod o baza, cand se foloseste termenul

Parametrul (constanta) retelei reprezinta unitatea de translatie

de reiee, de obicei se sublnteleqe ca aceasta se refera la o retea

In

unele carti acesti vectori sunt numiti vectori de translatie.

'

BAZELE FIZICII

34

Capitolul I - Structura cristalina a materialelor semiconductoare

SEMICONDUCTORILOR

Celula tridirnensionala

in lungul unei directli. Lungimile muchiilor celulei elementare, a, b, i c

(!al = a, !El = b, !cl = c)

constituie

tocmai

parametrii

celulei elementare

opt varfuri (cele opt colturi ale paralelipipedului).


Nurnarul de atomi dintr-o celula prirnitiva este egal cu nurnarul

Trebuie mentionat ca lungimile muchiilor celulei elementare


intotdeauna

cu

dlstanta

dintre

atomii

vecini

nu

a, b

Vectorii de baza
(numite

de requla,

c,

formeaza

atomilor care formeaza baza (tntrucat celula primltiva are un singur nod).

(distanta

interatomica) in structurile cristaline reale ( 1.17 - 1.20).

coordonate

care are un singur nod se numeste celule

primitive. Evident, o astfel de celula are ,,noduri de retea" numai in cele

respective.

corespund

35

Celula elementara este caracterizata


baza a ,

un sistem de axe de

axe cristalografice), numit sistem

si

prin marirnile vectorilor de

i prin unghiurile a, ~ i y dintre acesti vectori (Fig.

1.19). Se poate arata UOr ca volumul unei celule elementare este dat
de relatia

cristalografic.
Tipurile fundamentale

de celule elementare tridimensionale

(1.6)

pot

confine noduri in varfuri (colturi), pe fete sau in interiorul (in volumul)

adica, de valoarea absoluta a produsului mixt dintre vectorii de baza,

celulei (Fig. 1.18). Se poate constata UOr, ca numarul total de noduri,

N; dintr-o celula elernentara tridirnensionala este dat de relatia:


N = N- + Nr + Nv
t

nod al carui vector de pozitie este


(1.5)

0 retea spatiala arata cu totul identic daca este privita dintr-un


sau dintr-un alt nod al carui vector

de pozitie, R2 , este determinat de relatia

'R2 =R1 +Rn =R1

unde Ni este numarui de noduri din interiorul celulei (nodurile din interior
apartin numai celulei respective), N, este nurnarul de noduri de pe fetele

R1

n1J

+n1a+n26+n3

(1.7)

n2 i n3 fiind numere intregi arbitrate.

celulei (un nod de pe o fata apartine ,,in eqala rnasura" celor doua celule

vecine care au fata cornuna), N; reprezinta nurnarul de noduri din varfuri


(un nod dintr-un varf apartine ,,in eqala masura" celor opt celule care au
varful comun).
1

x
Fig. 1.19. Celula elernentara pentru o retea tridimenslonala.

-7-

Fig. 1.18. Pozitia unor noduri tntr-o celula slementara:


8 - noduri situate In varfuri: 9 -7- 14 - noduri situate pe tetele celulei;
15 - nod situat In interiorul celulei.

$i in cazul retelelor spatiale, pentru a descrie un anumit tip de

BAZELE FIZICH

36

retea, alegerea vectorilor

a, E

si

Capitolul I - Structura cristalina a materialelor semiconductoare

SEMICONDUCTORILOR

Insa, marea

(deci a celulei elementare) nu este

majoritate a structurilor

37

cristaline cunoscute

descrise cu ajutorul a 14 tipuri de retele tridimensionale,

intotdeauna univoca. Aceasta se poate observa din Fig. 1.20.

pot fi

numite retele

fundamentale sau retele Bravais.


Acestea

sunt celule elementare

conventionale,

stabilite

din

considerente de simetrie, dintre care numai sapte sunt celule primitive.


Aceste retele sunt grupate in septe sisteme cristalografice

(sisteme cristalinesau singonii),lmpartire care are la baza relatiile


dintre rnarunile vectorilor

de baza i valoarea unghiurilor

dintre acesti

vectori. (Plansa 1.1, Tabelui' 1.2).

1. -

Sistemul cubic se formeaza

pornindu-se

jaj =IE! =lei

blctmensionala patratica. Pentru acest sistem avem

Fig. 1.20. Diferite moduri de alegere a celulei elementare in cazul unei retele
tridimensionale.
'

=y =

de la reteaua

i a=

90. Sistemul cuprinde trei tipuri de retele Bravais: cubica simpla

(CS), cubica cu volum centrat (CVC) i cubica cu fete centrate (CFC).


Reteaua

1.5. Retele Bravais


'

reteaua

Pe baza celor cinci tipuri de retele Bravais bidimensionale se pot

cubicii

plana patratica,

simpla se construieste
asezand

pornindu-se

nodurile din planele

de la

succesive

pe

aceeiasi verticals cu cele ale retelei patratice, la distanta egala cu latura


patratulul respectiv.

construi retele Bravais tridimensionale,

cu ajutorul carora, prin asocierea

unei anumite baze, se pot obtine, dupa cum se va vedea in cele ce


urrneaza, tipurile de structuri cristaline reale.
pot fi obtinute prin

S-a aratat deja, ca retelele tridimensionale

Reteaua cubics cu volum centrateste construita de la o retea


plana patratica, nodurile dintr-un plan fiind situate deasupra centrelor
patratelor din planul precedent.
Reteaua cublcii cu iete centrate are noduri in varfurile cubului

deplasarea dupa directiile vectorilor de baza a unei celule elementare de

ii pe centrele fetelor.

tipul celei din Fig. 1.19.


Din punct de vedere matematic

asemenea celule, deoarece nu sxlsta nici un fel de restrtctii referitoare la


modul de alegere a rnarirnilor vectorilor de baza

a, E

alegerea valorilor muchiilor celulei) i a unghiurilor a,


vectori.

Celulele elementare cubica cu volum centrat i cubica cu fete

exista un nurnar nelimitat de

p,

si

c ( deci

centrate

sunt complexe,

continand

2, respectiv

4 noduri

(calculate

conform relatie, (1.5)).


la

i y dintre acesti

Unele caracteristici ale retelelor din sistemul cubic sunt indicate


in

Tabelul

1.3,

in

care

cu

s-a

notat

latura

cubului.

BAZELE FIZICII

38

SEMICONDUCTORILOR

39

Capitolul I - Structura cristalina a materialelor serniconductoare

I Plansa

1.1 Retele Bravais tridimensionale f

Tabelul 1.2

Nr
crt

1.

2.

Sistemul

Nr.
retelelor
din
sistern

Cubic

Tetragonal

SISTEMUL
CUBIC

Relatii
intre
marlmile
vectorilor
de baza

a=b=c

a= b

:;t:C

Unghiuri
le dintre
vectorii
de baza

a= 13 = y
= go0

a= 13 = y
= go0

Tipul ratelei
spatiale
Cubica sirnpla
(P)
Cubica cu fete
centrate (F)
Cubics cu
volum centrat
(I)
Tetragonala
simola (P)
Tetragonala cu
volum centrat
(I)

Notatii

cs
CFC
( c.f.c.)

SISTEMUL
TETRAGONAL

I
I
I

...

--

eve
(c.v.c.)
SISTEMUL
ROMBIC

TS
TVC

Rornblca
simpla (P)

3.

Rombic
(ortorombic,
ortogonal)

a* b:;.:: c

4.

Romboedric
(trigonal)

a=b=c

5.

Monoclinic

a* b:;.:: c

6.

Triclinic

a* b=1:- c

7.

Hexagonal

a- = a2 = a3
:;t:

a= 13 = y
= go0

a=j3=y

*goo
a =

13 =

go0

::j:.

a* 13 * y

- so"

a1 = a2 =
a3 = go0
'Y1 = 'Y2 =
'Y3 = 120

Rornbica cu
baze centrate
Rombica cu
fete centrate
(F)
Rornbica cu
volum centrat
(I)
Romboedrica
sirnpla (P)
Monoclinica
sirnpla (P)
Monoclinica cu
baze centrate
Triclinica
sirnpla (P)

Hexaqonala
sirnpla (P)

SISTEMUL
ROMBOEDRIC

SISTEMUL
MONOCLINIC

SISTEMUL
TRICLINIC

In tabel au fost folosite notatiile: P - celula primitiva, F - celula cu tete centrate,

I
I

--

I - celula centrata in interior (cu volum centrat).


Pentru indicarea
notatiile din Fig. 1.1 g.

muchiilor

celulelor ~i a unghiurilor

dintre

muchii s-au folosit

I
_ ....

SISTEMUL
HEXAGOLNAL

40

BAZELE FIZICH SEMICONDUCTORILOR

Tabelul 1.3. Unele caracteristici ale retelelor din sistemul cubic (cu as-a
notat latura cubului).

Capitolul I - Structura cristalina a materialelor semiconductoare

41

din planele vecine ). Aceasta din urma celula este neprimitiva, dar i
pentru acest caz se poate gasi o celula elernentara primitiva (care are

Tipul
celulei

Nurnarul nodurilor
vecine

Distanta pana la
nodurile vecine
de
de
ordinu/
ordinul I
II

Nr. de
noduri

Volumul
celulei
conventionale

de
ordinul I

de
ordinul II

a3

12

a3

--

a3

12

--

cubica
simpla
cubica
cu volum
centrat
cubica
cu fete
cent rate

forma

unui romboedru)

cu care se poate forma

reteaua

(Fig. 1.22).

2a

aJ3

ah
2

Retelele cubica cu volum centrat i cubica cu fete centrate nu


sunt primitive,

lnsa pentru acestea pot fi gasite celule primitive cu un

grad de simetrie mai redus. Tn Fig. 1.21a [97] se indica modul de alegere
a vectorilor de baza In cazul unei celule cubice cu volum centrat. Se

Fig. 1.21a. Modul de alegere a vectorilor de baza pentru formarea unei


celule primitive in cazul unei retele cubice cu volum centrat.

observa ca pentru aceasta constructie se folosesc unele noduri de la trei


celule vecine.
Modul de alegere a unei celule elementare

primitive In cazul

retelei cubice cu fete centrate este prezentat In Fig. 1.21 b [97]. Pentru
usurinta constructiei

nodurile care devin varfuri ale celulei primitive au

fast numerotate.
2 - Sistemul tetragonal sau patratic, are celula elernentarao
prisrna dreapta cu baza un patrat (prisrna patratica

dreapta).

Pentru

acest sistem care se Iormeaza de la o retea patrata plana, avem: a


c i a

=~=y =

=b*

Fig. 1.21 b. Modul de constructls a unei celule primitive in cazul


unei retele Bravais cubica cu fete centrate.

90. Exista doua tipuri de celule elementare In acest

sistem: reteaua tetragonala simpla (cu nodurile din planele succesive

3 - Sistemul ortorombic Crombiesau ortogonal), are celula

situate unele sub altele) si reteaua tetragonaJa cu volum centrat (In

elernentara

un paralelipiped drept cu baza un dreptunghi (se forrneaza

care nodurile dintr-un anumit plan se afla deasupra centrelor patratelor

pornindu-se

de la o retea plana dreptunqhiulara).

Pentru acest sistem,

BAZELE FIZICU SEMICONDUCTORILOR

42
8

;e b

* c, iar a = ~ = y = go

43

Capitolul I - Structura cristalina a materialelor semiconductoare

Fig 1.23. Pentru retelele ortorornbica cu volum centrat ~i ortorornbica cu

Sistemul cuprinde patru tipuri de retele Bravais: ortorombice

fete centrate modul de alegere a acestor vectori este analog cu cu eel

simpla (construita pornindu-se de la o retea plana dreptunqhiulara,

din cazul retelelor cubice cu volum centrat si respectiv cubice cu fete

asezand nodurile pe aceeasi verticala); onorombice cu volum centrat

centrate.

(care provine de la o retea plana droptunqhiulara, nodurile dintr-un


z

anumit plan fiind situate deasupra centrelor dreptunghiurilor din planele


vecine), ortorombicii cu tete centrate (poate fi construita plecandu-se
de la o retea rornbica plana, nodurile din primul plan sunt situate pe
aceeasi verticala cu nodurile din planul al treilea) ~i ortorombicii cu
baze centrate (se construieste pornind de la o retea plana rornbica,
nodurile din planele succesive fiind situate unele deasupra altora).
Se pot construi celule elementare primitive pentru cele trei celule
elementare complexe din sistemul ortorombic.

Fig. 1.23. Modul de alegere a celulei primitive pentru


o retea ortorornbica cu baze centrate.

4 - Sistemul romboedric (trigonal), cuprinde o sinqura retea


Bravais: reteaua romboedrice (trigonala) simplii.
elernentara din acest sistem, avem:

Pentru celula

c, iar a

= ~ =

go0

Reteaua triqonala se construieste plecandu-se de la o retea plana


rombica, nodurile dintr-un anumit plan fiind situate deasupra nodurilor
din planul precedent. Celula elernentara triqonala primitiva poate fi
obtinuta prin deformarea unei celule cubice simple dupa diagonala
principala a cubului respectiv.
Fig. 1.22. Modul de alegere a vectorilor de baza pentru constructia
unei celule primitive In cazul unei retele tetraqonala cu velum centrat.

Modul de alegere a vectorilor de baza pentru a construi o celula


primitiva pentru o retea ortorombica cu baze centrate este prezentat In

5 - Sistemul hexagonal are o sinqura retea Bravais: reteaua


hexagona/a simple. Celula elementara din acest sistem este o prisrna
hexaqonala dreapta. Astfel putem scrie: 81 = 82 'f. 83 = c;

a1

a2

a3

= go

BAZELE FIZICII SEMICONDUCTORILOR

44

Se poate demonstra ca cele 14 tipuri de retele sunt singurele

si y1 = y2 = y3 = 120 (Fig. 1.24). Sistemul se construieste plecand de la o


retea plana hexaqonala,

nodurile dintr-un anumit plan fiind plasate

45

Capitolul I - Structura cristalina a rnaterialelor serniconductoare

retele Bravais tridimensionale. Daca, de exemplu, incercam sa


modificarn una din aceste retele prin adauqarea de noduri pe centrele

deasupra nodurilor din planele precedente.


Modul de alegere a axelor cristalografice pentru o celula

fetelor, pe centrele bazelor sau In centrul celulei respective, vom obtine

hexaqonala este prezentat In Fig. 1.24. in acest caz este mai comod sa

o alta retea Bravais din cele 14 descrise mai sus, prin realegerea

se foloseasca un sistem format din patru axe de coordonate Oxyuz.

convenabila a vectorilor de baza (Fig. 1.20 - 1.23). Astfel, de exemplu,


daca la o retea rnonoclmica sirnpla adauqarn noduri pe centrele celor

doua baze, se obtine o alta retea rnonoclinlca sirnpla, aleqand


convenabil celula elementara.
De asemenea, se poate demonstra ca retelele Bravais
tridimensionale pot fi generate una din a/ta prin deformari dupa anumite
directii (modificarea lungimilor laturilor celulelor elementare si/sau a
unghiurilor dintre acestea). in Fig. 1.25 se prezinta schematic modul de
generare a sistemelor cristalografice unele din altele. Sistemul cubic

poseda simetria cea mai lnalta, iar sistemul triclinic are cea mai joasa
x

simetrie.
Mentionarn cateva caracteristici foarte importante ale retelelor

Fig. 1.24. Reteaua Bravais din sistemul hexagonal. Se indica doua


moduri de alegere a sistemului de axe cristalografice.

Bravais:

6 - Sistemul monoclinic confine doua tipuri de retele Bravais:


reteeue monocllnice simpla

si reteeue monoclinicii

cu baze

centrate. Cele doua retele sunt construite plecandu-se de la reteaua


plana oblica. Celula elernentara este un paralelipiped drept avand baza
un paralelogram: a ;e b ;e c, iar a

=y =

90 i::. ~ La ambele celule

a - Reteaua Bravais reprezinta o structure periodica infinlta,


formats din puncte (noduri) discrete, care au absolut sceeesi ordine
spafiala indiferent care dintre aceste puncte este considerat ca origine;
b - Reteaua Bravais tridimensionala este forrnata din totalitatea
punctelor determinate de vectori de pozitie de forma:
(1.8)

monoclinice nodurile din planele vecine se afla pe aceeasi verticala.


7 - Sistemul triclinic

confine un singur tip de retea Bravais:

reteaua triclinicii simpla. Celula elernentara din acest sistem este un


paralelipiped oblic cu baza un paralelogram: a ;e b ;e c, iar a
90.

i::.- ~

*y*

unde 81,

82,

83 sunt vectorii de baza (fundamentali) ai

retelel (care sunt necoplanari) iar n-, n2, i n3 sunt numere lntregi
oarecare (pozitive, negative sau zero).

BAZELE FIZICII SEMICONDUCTORILOR

46

Capitolul I - Structura cristalina a materialelor semiconductoare

47

exemplu, din punctele M sau N) !?i In alt mod (rotita cu 180) daca este
privita din alte puncte (de exemplu, din punctele P sau R).

MONOCLINIC

TRICLINIC

(nodurile)
vectorilor

acestei

i jj (Fig. 1.26).
retele

RM =a+ 2b; RN =-a+

conformitate

pot fi descrise

Rn

~i jj, adica

In

cu (1.8),

ca o cornbinatie

a !i)i E, coefic'entii acestor cornbinatu


numere lntregi (RM = a+ 2E ; RN = -a+ E ).

combinatu liniare ale vectorilor de baza,

Sa considerarn o retea Bravais bidirnensionala caracterizata

Fig. 1.26. Retea Bravais bidimenslonala. Vectorii de pozitie a nodurilor retelei sunt

Fig. 1.25. Prezentarea schernatica a modului de generare a


unor sisteme cristalografice din alte sisteme, prin deformare.

vectorii de baza

fiind

prin

punctele
liniara

= n1a + n2b . Varn putea scrie, de exemplu:

jj s.a.rn.d .. Valorile negative ale nurnerelor n, i

t indica deplasari In sens contrar sensului vectorilor respectivi.


Pornind din 0, ajungem in M, facand un "pas" In directia lui
doi "pasi" In directia lui

si

(indiferent In ce ordine sunt facuti acestia).

Din oricare punct ar fi privita reteaua Bravais, aceasta "apare"


("se vede") In acelasi mod. Acest fapt se poate constata UOr din Fig.
1.26. Aceasta este o caracteristica irnportanta a unei retele Bravais.

In

Fig.

1.27

este

reprezentata

de

asemenea

Fig. 1.27. Reteaua bidirnensionala forrnata din hexagoane regulate (retea sub
forrna de fagure) nu forrneaza o retea Bravais [7].
0 astfel de retea ,,apare"In acelasi mod daca este privita din
punctele M sau N, tnsa ,,apare"In mod diferit daca
este privita din punctele P sau R).

retea

bldirnensionala, dar aceasta nu este o retea Bravais, tntrucat reteaua se

Pentru a confirma cele rnentionate, sa considerarn i o retea

lntr-un anumit mod daca este privita din unele puncte (de

tridirnensionala, de exemplu reteaua cubica cu volum centrat (Fig. 1.28).

observa

Capitolul I - Structura cristalina a materialelor semiconductoare

BAZELE FIZICII SEMICONDUCTORILOR

48

La prima vedere s-ar parea ca punctul B1 din centrul cubului s-ar qasi
tntr-o alta situatie, Tn cornparatie cu punctele Ai (i=1, ... , 8) din varfurile
acestuia.

81,

Insa

daca construim si alte puncte din retea (puncte notate cu

82 ... 88) observarn ca si un punct din varf (de exemplu, A1) se

49

In cazul unei retele cubice simple cifra de coordinatie este sase.


Pentru reteaua cubica cu volum centrat, nurnarul de coordinatie este opt
(Fig. 1.29), iar pentru reteaua cubica cu fete centrate cifra de coordinatie
este doisprezece (Fig. 1.30) (v. si Tabelul 1.3)

gase!?te "Tn aceeasl situatie" ca i B1. Deci acest tip de retea spatiala are
caracteristicile unei retele Bravais

Fig. 1.29. Nurnarul (cifra) de coordmatie In cazul unei retele


cubice cu volum centrat. Nodul A din centrul cubului are 8 vecini de ordinul tntai,
deci pentru acest nod cifra de coordinatie este 8. Tn mod analog,
nodurile B, C, Dau aceiasi citra de coordinatie.
$i nodurile din varfuri au cifra de coordinatie 8 (v. Fig. 1.28)

Fig. 1.28. Reteaua cubica cu volum centrat are caracteristicile unei r~tele Bravais.
Se observa ca un punct 81 din centrul cubului ~i un punct A1 dintr-un
varf al acestuia au aceiasi confiquratie spatiala.

1.6. Cifra (nurnar) de coordlnatie


Nodurile unei retele Bravais care sunt eel mai apropiate de un

11

nod dat (situate la aceea!?i distanta de acesta) se numesc vecini (noduri


vecine) cei mai apropiafi sau vecini de ordinul

tntsi.

Fig. 1.30. Cifra de coordinatie pentru retele cubice cu fete centrate.


Sunt indicaf vecinii de ordinul Tntai pentru nodul A

0 proprietate

importanta a retelelor Bravais consta Tn faptul ca orice nod al retelei are


acelasi

nurnar

caracteristica

de vecini

eel mai aproplati.

Acest

nurnar

este

a retelei !?i se nurneste numiir (cifra) de coordineile a

ref elei respective.

Cifra de coordinatie se poate defini chiar si pentru retele spatiale


care nu satisfac conditiile pentru a fi retele Bravais.
Evident, vecinii cei mai apropiaf (de ordinul Tntai) pentru un nod
dat se gasesc pe suprafata unei ,,sfere" avand raza eqala cu distanta

BAZELE FIZICII SEMICONDUCTORILOR

50

Capitolul I - Structura cristalina a materialelor semiconductoare

51

dintre nodul considerat i nodurile vecine de ordinul lntai. Aceasta sfera


se nurneste prima

sfera

de coordlnetie iar distanta respective

constituie raza primei sfere de coordinetie. In mod analog se pot defini


nodurile vecine de ordinul al doilea, situate la distante egale, dar mai
mari decat primele, si sfera a doua de coordinatie corespunzatoare
s.a.rn.d ..

1.7. Celulele primitive pentru retelele complexe


(a)

(b)

Am aratat In 1.5 ca pentru re\elele Bravais neprimitive (cu fete


Fig.1.31. Modul de alegere a vectorilor de baza pentru constructia
unei celule primitive tn cazul unei retele cubice cu fete centrate.

sau baze centrate sau cu velum centrat) se pot gasi celule primitive,
care au tnsa o simetrie mai joasa. Varn stabili expresiile vectorilor de

Noi putem scrie vectorul de pozitie pentru fiecare nod In reteaua

baza pentru celulele primitive In functie de dimensiunile celulelor


neprimitive i de versorii axelor de coordonate ale unui sistem ales In

CFC ca o cornbinatie liniara a vectorilor

mod convenabil.

usor ca

Sa considerarn cazul celulei cubice cu fete centrate. In acest caz,


pornind de la anumite noduri ale re\elei complexe (numerotate de la 1 la
8 In Fig. 1.31 a pentru ca cititorul sa poata urrnari mai UOr constructia
celulei primitive), se poate construi o celula elernentara (Fig. 1.31 a)
pentru care vectorii fundamentali

a' E i

(Fig. 1.31 b) pot fi exprirnati

In functie de versorii unui sistem de coordonate rectangular cu ajutorul


relatiilor

a =2a (-j

+k-)

b- =2a (k- +i -)

- = a(-:I + J-:)

a fiind aici latura cubului, iar T, ], k versorii axelor de coordonate.

(1.9)

R6

=a+E+c,

R7

R5

=a+E,

a, E

=a+c

c.

Se poate constata

s.a.rn.d..

Pentru celula cublca cu velum centrat, exista mai multe


posibilitati de a alege o celula elernentara prirnitiva. De exemplu, o
celula cu vectorii de baza

a = aT , E = bk

c = ~ (T + J + k)

si o alta

celula cu vectorii de baza

a =2a ( -i-

+ j- +k-)

b- =2a (-i-j+k-

-)

c=2a (-i+j-k-

-)

(1.9')

Modul de deducere a acestor expresii reiese UOr din Fig. 1.32.

BAZELE FIZICH SEMICONDUCTORILOR

52

Astfel,
vectorului

cu

notand

OA I= ax, OB= ay,OC = az'

Capitolul I - Structura cristalina a materialelor semiconductoare

Se poate arata UOr, geometric sau analitic, ca retelele astfel

prolectiile

obtinute sunt retele Bravais.

pe cele trei axe de coordonate, putem scrie


(1.9")

a = ax + ay + az.

Insa se observa

1.8.

usor ca

indicarea diferitelor plane i drepte (directii) lntr-o retea spatiala. Acetia

a-:
a- y =-J
2

T, J

sl

=-

lndiciiMiller
lndicii Miller" constituie un set de numere care ne permit

a ( -/--:-)
a-x= 2

a- z

53

sunt de mare utilitate in cazul in care dorim sa descriem structura sau


proprietatile unor tipuri de structuri cristaline reale.

ak-

Fundamentarea teoretica a indicilor Miller va fi prezentata in


1.12. Aici vom prezenta doar modul de calcul al acestora.

fiind versorii axelor de coordonate.

Pentru determinarea indicilor Miller pentru un anumit plan

Tnlocuindin (1.9") valorile lui ax, ar i az, obtinern pentru vectorul

reticular se poate folosi urrnatoru' procedeu:


a expresia din (1.9'). Tn mod analog se deduc i expresiile pentru
vectorii

se considera un sistem de axe de coordonate determinate de

din (1.9').

muchiile celulei elementare (evident, acesta poate fi rectangular sau


oblic);
z

luandu-se apoi ca unitate de rnasura pe fiecare axa parametrul


retelei pe directia respectiva, se determina distanta de la originea
axei pana la intersectia ei cu planul considerat;
pentru exprimarea nurnerica se iau valorile inverse marimilor

i
--

distantelor respective ~i se aduc fractiile la acelasi numitor (daca

este cazul);

--,L-- -

I
I

in acest caz, nurnaratorii

I
I

'

var constitui indicii Miller ai planului

respectiv.
lndicii Miller se noteaza lncadrati in paranteze rotunde pentru
plane ~i In paranteze patrate pentru drepte. Astfel, avem notatia (h k I)
pentru plane i [h k I] pentru drepte (directii), lndicii nu se separa prin

Fig.1.32. Modul de alegere a vectorilor de baza pentru constructia


unei celule primitive In cazul unei retele cubice cu volum centrat.
1

Mineralogul ~i chimistul englez William Hallows MILLER (1801 - 1880) enunta legea conform
careia pozitia fiecarei fete a unui cristal poate fi caracterizata prin trei numere intregi (indicii
Miller).

BAZELE FIZICU SEMICONDUCTORILOR

54

Capitolul I - Structura cristalina a materialelor semiconductoare

virgule ! in cazul in care intersectia fata de una sau mai multe axe da o
valoare

numerica

neqativa,

aceasta

se indica

printr-o

h=~=8=1

bara (liniuta)

X1

deasupra cifrei respective.

a*

cele de mai sus vom considera


b

* c ~i

a= j3

= r = 90). Sistemul

indicii

Miller

pentru

!
z

=a

y1 =OB= b .
Z1

=QC=

Deci planul respectiv are indicii Miller (111 ).

ABC care

1.33). Evident,
= OA

z1

Planul A1B1C1 (Fig. 1.34) intersecteaza axele la distantele:


planul

intersecteaza axele de coordonate la distantele x., Y1 si respectiv z1 (Fig.

X1

(1.11)

1=.=E.=1

de axe de

Fie a, b, c rnarimile muchiilor celulei respective.


acum

Y1

sistemul

coordonate este triedrul rectangular format de muchiile celulei primitive.

Sa calcularn

k=_E_=E_=1

Pentru a exemplifica
rombic (in acest sistem,

55

x2 = OA1 =a

y2 = 081=2b
Z2

( 1.12)

= OC1 = c

(1.10)

Planul (212)

Planul (111)

Fig. 1.34. Determinarea indicilor Miller pentru plane.


Cazul unui plan care lntersecteaza axele de
coordonate la distantele: x = a, y = 2b, z = c.
Fig. 1.33. Modul de determinare a indicilor Miller pentru planul (111).

Valorile indicilor Miller, determinate


sus, vor fi:

dupa metoda descrisa mai

Deci indicii Miller vor avea valorile:

BAZELE FIZICII SEMICONDUCTORILOR

56

Capitolul I - Structura cristalina a materialelor semiconductoare

57

h=~=8=1
X2

h=~=!!_=1
(1.13)

k=_!}_=b=1
Y3 b

/=__=.=1
Z2

z3

'

Numaratorii

fractiile

la

acelasi

(1.14)

1=__=~=2

Pentru acest plan, unul dintre indici este fractionar. fn acest caz
aducand

X3

k=_!}_=_E_=2
y2
2b 2

numitor,

putem

. 2
scne:-,
2

1
-,
2

'

2
-.
2

acestor fractii var reprezenta indicii Miller pentru planul

Deci planul are indicii (112).


Pentru planul A'38'3C'3 (Fig. 1.35b) se qasesc In mod analog
indicii Miller (212).
Cand planul nu intersectaza una din axe (fiind paralel cu

respectiv. Adica, planul va avea indicii Miller (212).


Daca intersectiile planului cu axele sunt: X3

= a, y3 = b,

z3

(Fig. 1.35a), indicii Miller se var calcula conform relatiilor:

c/2

aceasta), indicele Miller respectiv va fi egal cu zero (punctul de


mtersectie fiind la infinit). Astfel, planul (100) (Fig. 1.36a) intersecteaza

= a i va fi paralel cu axele Oy i Oz (se considera,


prin urmare, Y4 = oo si Z4 = oo). Deci vom avea, respectiv:
axa Ox la distanta X4

Planul (112)

Planul (212)

h=~=!!_=1
x4

k=.!}_=!!_=0
Y4

(1.15)

00

1=__=~=0
z4 oo
Planul A2B2C2 (Fig. 1.37) care intersecteaza axele la distantele x5

= 2a, y5 = 2b, Z5 = 2c are indicii Miller:


(a)

'

(b)

h=~=2
x5 2
Fig. 1.35. Determinarea indicilor Miller pentru plane.
Cazul unor plane care intersecteaza axele de coordonate la
distantele: x =a, y = b, z = c/2 (planul A3B3C3), respectiv x =
a/2, y = b, z = c/2 (planul A'3B'3C'3).

k=_E_=2
Ys

1=__=2
Z5

(1.16)

BAZELE FIZICII SEMICONDUCTORILOR

58

Planul (110)

59

Capitolul I - Structura cristalina a materialelor semiconductoare

planul A383C3 care intersecteaza

axele la distantele

3a, 3b, 3c, are

indicii Miller (111) si este paralel cu planele A1B1C1 si A2B2C2. Se poate


consatata usor ca aceste plane sunt si echidistante.
Prin urmare, indicii Miller intilcii familii de plane paralele $i

echidistante. Vom mai reveni in 1.14 asupra acestei probleme.


Sa calcularn, in sfarsit, indicii Miller pentru planul ABC din Fig.

1.38.
(a)

(b)

Fig. 1.36. Determinarea indicilor Miller pentru plane


paralele cu una axele de coordonate

Fig.1.38. Determinarea indicilor Miller pentru plane.


Cazul indicilor Miller cu valori negative.

Conform celor rnentionate, acesta va avea acelasl indici Miller ca i


planul A'B'C' cu care este paralel.
X5

= a, Y6 = -b,

de intersectie
Fig. 1.37. Planele cu aceiasi indici Miller sunt paralele i echidistante.

Prin urmare indicii Miller se vor scrie (111 ). in acest caz, rapoartele sunt
fractii, dar ele au deja acelai numitor. Deci planele A1B1C1 i A2B2C2 au
aceiasi indici Miller. Se observa ca ele sunt paralele. in mod analog,

Z5

Insa

pentru acesta din urma, avem

= c, unde am notat cu X5, y6, Z5 coordonatele

ale planului cu axele de coordonate

urmare, indicii Miller ai planului respectiv, var fi:

punctelor

respective.

Prin

BAZELE FIZICH SEMICONDUCTORILOR

60

61

Capitolul I - Structura cristalina a materialelor semiconductoare

Planele cu indici Miller mai mici sunt cele mai interesante din

h=~=1

punct de vedere fizic. in studiile teoretice si experimentale ale structurii

x6

( 1.17)

k=_E =-1
Y6

~i proprietatilor cristalelor, plane cu indici Miller mai mari decat 3 se


intalnesc de obicei destul de rar.
in Fig. 1.40 sunt prezentate unele familii de plane cu anurniti

/=__=1

z6

indici Miller pentru retele tetragonale.

si, conform conventiei, vom scrie (1 1 1 ).

Cu cat indicii Miller au valori mai mici, cu atat planele respective


sunt mai departate tntre ele i cuprind mai multe noduri ale reieie! pe
unitatea de suprafafa. Acest lucru se poate observa U!?Or din Fig. 1.39 in
care, pentru sistemul cubic, se prezinta intersectia diverselor plane cu
planul z=O, care are indicii Miller (001). Deci planul xOy este planul

x
x

figurii.

Plane (010)

Plane (100)
z

3c

Plane (110)

plane (010)

plane (110)

plane (120)

plane (130)

Plane ( 110)

Fig. 1.39. Familii de plane. Pentru sistemul cubic sau tetragonal,


dreptele paralele raprezina tntersectia familiilor de
plane cu un plan paralel cu planul xOy.

x
Fig. 1.40. Diferite familii de plane in sistemul tetragonal.

BAZELE FIZICII SEMICONDUCTORILOR

62

Capitolul I - Structura cristalina a materialelor semiconductoare

63

lndicii Miller pentru directii se noteaza, In general, cu u, v, si w,


z, Ll3

dar de foarte multe ori se utilizeaza aceleai notatii ca si pentru plane


(adica h, k, i /). Pentru directii, dupa cum s-a mai aratat, indicii Miller se

M
.-~-

- -----....+--..

scriu In paranteze drepte. in acest caz, indicii h, k, i I reprezinta cele

I
I

(a}

mai mici numere lntregi care se gasesc In acelasl raport ca si marimlle

I
I
I

~,

Yi ,

zi respectiv, xi, yj,

z, reprezentand proiectiile pe cele trei axe

I
I
I;;

de coordonate (exprimate In unitati egale cu parametrii retelel dupa

axele respective) ale unei drepte paralela cu directia considerata, care

[011]

trece prin originea axelor si are extremitatea pe o fata, o muchie sau varf
a celulei elementare respective.
Varn descrie modul de calcul al indicilor Miller pentru unele
directii In cazul mai general al unei retele rombice. Directia ~1 (Fig.

[010]

(b)

-:

1.41 a) trece prin origine i prin varful A al celulei elementare. Proiectiile


pe cele trei axe a punctului A sunt: x1=a, y1=b, zr=c, in acest caz indicii
Miller vor fi respectiv:

[1

T11

h=~=8=1

[100]

k=li=_e.=1
b
b

(1.18)
Fig. 1.41. lndicii Miller pentru drepte (directii): (a)- modul de calcul al indicilor Miller
(b) indicii Miller pentru unele drepte (directii) din sistemul tetragonal.
'

/=~=E.=1

deci vom scrie, pentru dreapta respective, indicii Miller sub forma [111].
Sa consideram acum dreapta

~2

care intersecteaza In punctul P

fata din dreapta a celulei elementare. Daca P este situat In mijlocul


acestei fete, proiectiile lui pe cele trei axe de coordonate vor fi: x2

Y2 = b, z2

= c/2. Calcularn acum indicii Miller:

= a/2,

h=

X2

a
k

= 2 = _1
a 2

= Y2 = b = 1
b

c
I=

Z2

= 2 = _1
c

(1.19)

BAZELE FIZICH SEMICONDUCTORILOR

64

Capitolul I - Structura cristalina a materialelor semiconductoare

65

Intrucat avem si numere fractionate, aducem fractiile la acelasi numitor

sunt situate in planul bazei, facand intre ele unghiuri de 120. lndicii

i nurnarartorf vor constitui indicii Miller pentru dreapta respectiva, adica

Miller-Bravais

acestia vor fi [121].

[h k i ~. pentru drepte.

se noteaza sub forma (h k

In mod analog, dreapta Ll3 care coincide cu Oz, are indicii Miller
[001], lntrucat

coordonatele

i /), pentru plane, i respectiv

punctului M sunt X3=0, y3=0, z2=c i deci

h=O, k=O si /=1.


In Fig. 1.41 b sunt prezentati indicii Miller pentru cateva directii
dintr-o celula rornblca sirnpla. Daca o directie este normala pe una dintre
axele cristalografice

ea va avea indicele Miller corespunzator

egal cu

zero.
Din modul In care au fast definif

indicii Miller pentru directii

( drepte ), rezulta ca orice directie cristaloqraflca

paralela cu o directie

considerata va avea aceeasi indici Miller ca i aceasta din urrna.


Daca dorim sa indicam toate familiile de plane dintr-un sistem
cristalografic,

indiferent

de orientarea

lor, se foloseste

notatia

Fig.1.42. Determinarea indicilor Miller - Bravais


in cazul retelelor hexagonale.

prin

incadrarea in acolada {h k f}. De exemplu, notatia {111} include planele:


In mod analog cu procedeul descris pentru celelalte tipuri de

(111), (111), (111), (111), (111), (111), (111), (111).

celule elemen,tare, vom scrie in cazul planelor din sistemul hexagonal:


In cristalele cu simetrie cubica, directiile au aceeai indici Miller
ca i planele pe care sunt perpendiculare.

este perpendiculara pe planul (111) etc. (v. si 1.14)

Intr-un anumit

sistem cristalografic,

h = a/xi, k = a:z/'ri. i = a,Yuj, I = c/z; unde xi, Yi. u., si z reprezinta

De exemplu, dreapta [111]

familia tuturor dreptelor,

indiferent de orientarea lor, se noteaza sub forma <h k I>. De exemplu,


familia de drepte <111 > va indica dreptele [111 ], [111], [111]

etc.

In cazul retelelor hexagonale, indicarea planelor si a dreptelor se

distantele

de la originea

intersectie

a planului considerat

perpendiculara

patru axe de coordonate

(Fig. 1.42): axa Oz este

pe planul bazei celulei elementare, iar celelalte trei axe

de axe pana

cu axele respective,

la punctele

de

luandu-se

ca

unitate de rnasura pe fiecare axa parametrul retelei dupa aceasta axa,


Se observa ca s-au notat cu a1 i a2 laturile hexagonului (a1 = a2),
a3 este parametrul dupa directia Ou (a3 = a1 = a2), iar c este lnaltimea
prismei hexagonale.

face utilizand sistemul de notare (indexare) Miller-Bravais. In acest


caz, se folosesc

sistemului

Intre indicii Miller-Bravais din sistemul hexagonal, exista relatia:


i

= -(h

+ k). Din acest motiv, de cele mai multe ori indicele

i nu se mai

indica (daca se stie precis ca este vorba de un sistem hexagonal) sau se

66

BAZELE FIZICH

inlocuieste

67

Capitolul I - Structura cristalina a materialelor semiconductoare

SEMICONDUCTORILOR

printr-un punct sau cu litera H dupa paranteza. Adica vom

scrie (h k . I) sau (h k /)H pentru plane i respectiv [h k . I] sau [h k ~H

reprezinta fractiuni din valorile muchiilor a, b, c ale celulei elementare in


directia axelor respective.

Coordonatele atomice (numere fntregi sau fracfionare) se scriu in

pentru drepte (directii),

paranteze rotunde, fara a fi separate prin virgule.


Operafia de ca/cu/are a indicilor Miller (sau Miller-Bravais) pentru
diferite plane si/sau directii ale unei structuri cristaline se numesie de

regula indexare.

In

Fig. 1.43 sunt indicate

elernentara,

cu vectorii de baza

rectangular.

Sa determinarn

pozittile

a, E,

unor atomi

lntr-o cetula

care forrneaza

coordonatele

atomice

un triedru

ale unora dintre

acesti atomi. Pozltia atomului A1, care se qaseste pe diagonala mare a


celulei la 1 /4 de varful Ao, este data de vectorul ~, care conform relatiei

Coordonate atomice

1.9.

(1.20) se poate scrie ca:


Dupa cum s-a aratat in 1.3, o anurnita structura cristalina se
obtine prin

1-

1-

1-

r1=-a+-b+-c

atasarea unei baze (de atomi) fiecarui nod al retelei, In

procesul de formare este necesar ca baza sa-i pastreze nemodificata

Cornparand

orientarea, natura ( cornpozitia) i aranjamentul (dispunerea reciproca a

coordonatele atomice

aceasta

(1.22)

relatie cu (1.20) constatarn

x, =

1/4,

ca atomul A1 are

y1 = 1/4, z1 = 1/4. Vom scrie coordonatele

atomilor). Prin urmare, trebuie sa mdicam pozitia in celula elernentara a


ficarui atom care forrneaza

baza. Aceasta

se face cu ajutorul

asa

respective, sub forma (:

: : ) .

numitelor coordonate atomice.


Daca se presupune ca baza este forrnata din N atomi, pozitiile
centrelor atomilor vor fi determinate de un grup de

N vectori de pozitie

( 222)
222

dati de:
(1.20)
unde i

N, iar

1, 2, 3,

a, E, c

(000)

sunt vectorii fundamentali ai retelei

Bravais respective.

Intrucat

atomii a carer pozitie se indica se afla in interiorul sau pe

fetele celulei elementare, vom avea:

0 ::;
Marirnile

X; '

adimensionale

Y; '

( 1.21)

Z; ::::; 1

Fig. 1.43. Coordonatele atomice. Modul de determinare.

xi, Yi! z,

se numesc

coordonate

atomice i dupa cum se poate deduce din (1.20) i (1.21 ), acestea

BAZELE FIZICII SEMICONDUCTORILOR

68

Pentru vectorul de pozitie al atomului A2 situat la mijlocul fetei din


dreapta a celulei putem scrie:

distanta

de echilibru

dintre

atomi,

d0 corespunde

69
minimului

curbei

energiei potentials de interactiune dintre atomii respectivi ( 3.1 ).

1b- 1_
r2=1a++-c

Deci coordonatele

Capitolul I - Structura cristalina a materialelor semiconductoare

Fiecare

(1.23)

atom

se caracterizeaza

spatiala a norului electronic,

atomice ale acestui atom vor fi (1 ; ;) . in mod

chiar

si pentru

electronii

printr-o

anurnita

distributie

dlstributie care se modifica relativ putin,


exteriori,

la formarea

leqaturilor

chimice

puternice, fara a mai vorbi de leqaturile slabe de tip van der Waals
analog, atomul A3 din centrul celulei are coordonatele atomic.e (1 11) ,
2

( 3.4 ).

iar atomul A4 va avea coordonatele

lntre care exista un tip sau altul de legaturi chimice, sa fie consideraf

22

(111 ). Evident, un atom care se

Aceasta constatare a permis ca, In prlrna aproxirnatie, atomii,


ca

gasete In originea axelor (In punctul Ao) va avea coordonatele atomice

avand "dimensiuni" determinate, adica ca fiind sfere de anumite "raze"

(000).

constante.

In

acest caz, distanta interatornica dintre diferitele perechi de

Pentru a descrie modul de formare a unui anumit tip de structura

atomi se presupune a fi egala cu suma acestor raze, numite i raze

cristalina trebuie sa se indice: tipul retelei Bravais. numarul si natura

atomice (sau raze ionice daca reteaua cristalina este formats din ioni)

atomilor (ionilor) care formeaza baza. precum si coordonatele atomice

sau uneori raze cristalo-chimice(denumire mai suqestiva, pentru ca

ale fiecaruia dintre acesti atomi Ooni).

intr-adevar, marimea razelor atomice depinde atat de tipul de structura


cristallna, cat i de tipul leqaturii chimice dintre atomi).
Notiunea de raza atornica a fost introdusa de V.L. Bragg, care In

1.10. Raze atomice (ionice).


Coeficient (factor) de compactitate (impachetare)

In

1920 [199] prezinta i primul sistem al razelor cristalochimice.


dezvoltata apoi de catre Goldschmidt
tabele

reteaua cristalina

a unui corp, atomii (ionii) sunt situati la

anumite distante unul fata de altul. Evident, atomii (ionii) din retea pot fi
de aceeai natura (atomi sau ioni identici) dar pot fi si de natura diferita,
Tntre doi atomi vecini de natura diferita, A sl B, pot exista diferite tipuri de
leqaturi chimice (v. Capitolul 111).

Insa

cercetarile referitoare la structura

cristalelor au evidentiat faptul ca distanta dAs dintre perechea respectiva


de atomi, depinde putin de tipul concret de structura cristalma. Pentru
toate tipurile de structuri cristaline care ar putea fi construite cu atomii A
si B, aceste distante nu difera cu mai mult de 0,05-0, 1 O

A.

Tntr-un cristal,

cu valorile

acestor

Ea a fost

[199] i de altll, care au intocmlt

raze pentru

un nurnar foarte

mare de

elemente.

In

cazul cristalelor cu atomi identici, raza atomica rA a unui atom

A va fi jumatate din cea mai mica distanta interatornica. Tn substantele


simple (Li, Be, Na etc.) ieqatura chirnica dintre atomi este fie metalica,
fie covelente. Vom nota cu rM ire razele atomice corespunzatoare celor
doua tipuri de leqaturi, Experienta conflrma aditivitatea acestor raze i
pentru structura cornpusllor cu leqaturi chimice de tipul respectiv. De
exemplu, distanta C-C In cristalul de diamant este de 1,54
covalenta a carbonului este rc(C)

A, adica raza

0, 77 A. Distanta Si-Si In cristalul de

BAZELE FIZICII SEMICONDUCTORILOR

70

71

Capitolul I - Structura cristalina a materialelor semiconductoare

siliciu este 2,34 A, de unde rezulta ca rc(Si)=1,17 A (Fig. 1.44). Pentru

cristalina),

carbura de siliciu (SiC), s-a qasit experimental ca distanta Si-C este de

cubica a halogenurilor metalelor alcaline care cristalizeaza intr-o retea

1,98 A, valoare care concorda bine cu suma rc(C) + rc(Si)= 0, 77A +

de tip NaCl (exceptie fac cornpusii CsCI, CsBr ~i Csl care cristalizeaza

1, 17A = 1,94 A. Rezultate asernanatoare se obtin in cazul leqaturf

intr-o retea de tip CsCI (v. 1.18)).

metalice. De exemplu, rM(Nb) = 1,45 A, rM(Pt) = 1,45 A ~i deci

NaCl reteaua spatiala este cubica cu fete centrate, iar baza este formats

rM(Nb) +rM(Pt) = 2,83 A.

din doi ioni: un ion de Na+ si un ion de Cl", coordonatele lor atomice fiind

Pentru compusul respectiv se qaseste

experimental valoarea de 2,85 A [199].

Un exemplu clasic de asemenea serie ii constituie structura

(000) si respectiv

(222J.

In

cazul structurii cristaline de tip

Tn Fig. 1.45 se prezinta modul de aranjare a

In cazul cornpusilor cu leqaturi chimice ionice se introduce


notiunea de raza lonicii, fi. In acest caz, metoda de determinare a

ionilor cu razele r1 pe fata (100) a celulei elementare cubice pentru

acestor

halogenurile metalelor alcaline. Pentru structurile CsCI, CsBr, Csl este

raze

pe

baza

distantelor

interatomice

prezinta

unele

particularitati.

222

mdicata distributia ionilor in

planul (110) a celulei elementare.

Dimensiunile ionilor pot fi evaluate cornparand diametrul lor cu scara din


figura.

.2.,rc(C.~..
I

_ --

J_. rc(C)

cristal de diamant

= 0,77

Li

Na

Rb

Cs

F
2rc(Si)

Cl

cristal de siliciu

~rc(Si-C)
I

= 1,94A

Br

i.--+:
I
I

cristal de carbura
de siliciu
Fig. 1.44. Raze atomice In cristalele de diamant, siliciu si carbura de siliciu

1,,,,1,,.,1

o
Pentru definirea razei ionice trebuie sa folosim distanta anion
cation in serii de structuri izomorfe (prin izomorfism se inteleqe
proprietatea unor substante de a prezenta acelasl tip de structura

10A

Fig. 1.45. Modul de aranjare a ionilor pe fata (100) a cristalelor halogenurilor metal el or
alcaline. Pentru compusil CsCI, CsBr si Csl (care cristalizeaza tntr-o retea de tip CsCI
( 1.18.2)) se indica modul de aranjare a ionilor In planele diagonale (110) [199]

BAZELE FIZICII SEMICONDUCTORILOR

72

Se poate

observa

ca pentru

o perioada

data

a sistemului

periodic, anionii au raze ionice mai mari decat cationii: de exemplu,


n(Li+) = 0,86

A, n(Ci-) = 1,81 A

s.a.rn.d.

In

vom inteleqe

volumul tuturor atomilor (ionilor) din celula respectiva,

fiecare sort de atomi (ioni) avand o anumita raza.

A, r1(F-) = 1,33 A. Daca nurnarul de ordine al elementului

creste, razele ionului cresc. De exemplu, n(Na+) = 0,98

73

Capitolul I - Structura cristalina a materialelor semiconductoare

Prin urmare, coeficientud


l e compactitate se mai poate defini i
ca raporlul dintre volumul ocupat de atomii din celula elementara si
volumul geometric total al celulei.

structurile

de mai mare complexitate

determinarea

razelor
Sa calcularn

ionice constituie o problerna mai dificila [125, 138, 143, 199].


Prin introducerea
consideram

notiunf

de raza atomics

atomii (ionii) care alcatuiesc

(ionica)

putem sa

cristalul ca fiind niste sfere

de compactitate

pentru

cazul

unei

structuri cristaline In care reteaua este cubica sirnpla (Fig.1.46a),

iar

baza este formata dintr-un singur atom. Considerand atomii ca sfere cu


raze egale, tangente lntre ele, dispunerea lor In celula elernentara este

tangente Intre ele.


Notiunea de raza atomics (ionics) permite evaluarea graduluide

compactitate (impachetare) al

agregatului

compactitate

caracterizeaza

al

coeficientul

unui

cristal

se

cristalin.
prin

Gradul

de

coeficientul

(factorul) de compactitate(impachetare), 17, definit ca raportul dintre


volumul ocupat de atomii (ionii) cristalului

(consideraf

sfere rigide In

prezentata In Fig. 1.46b.

In

Fig. 1.46c au fast "retinute" numai portiunile

din sfera care apartin celulei respective, adica 1/8 din fiecare sfera.
cele 8 varfuri sunt cate 1/8 sfera cu raza R=a/2,

a fiind

latura cubului.

In
In

celula se qaseste o sinqura sfera (cate 1/8 In fiecare varf (Fig.1.46c)),


deci volumul ocupat de aceasta sfera, va fi

;(~r

contact) i volumul geometric total al cristalului respectiv.

VA =1

Volumul geometric al cristalului, Ve, se poate scrie ca Ve = Nflo,

flo fiind volumul geometric al unei celule elementare, iar N - numarut de

In

celule elementare care alcatuiesc cristalul respectiv. Daca In celula ar fi

compactitate va fi

acest caz, volumul celulei este evident flo = a3, deci factorul de

atomi (ioni) identici, atunci volumul ocupat de acesti atomi (ioni) In celula
elernentara este VA= SVi, S fiind nurnarul de atomi (ioni) din celula, iar

= ~ a3

17=

VA

TC 3
a
6

TC
no =7=6=0,524

V1 volumul ocupat de un singur atom. Atunci volumul total ocupat de toti


atomii din cristal va fi: Vr = NVA = NSV1. Conform definitiei, coeficientul

Sa considerarn acum cazul unei retele cubice cu volum centrat


cu atomi identici. Dispunerea sferelor i modul cum se calculeaza In

de compactitate va fi

NVA
17=--=Nno

VA

n0

Relatia de mai sus a fast dedusa presupunand

acest caz raza sferelor se deduc din Fig. 1.47. Volumul celulei este
(1.24)

flo = a3. Raza sferelor va fi


ca atomii sunt

identici, dar ea ramane valabila si pentru cazul In care celula elernentara


confine atomi sau ioni de sorturi diferite. Tn acest din urma caz, prin VA

aJ3
4

(Fig.1.47d).

In

celula elernentara sunt

doua sfere (una In centrul cubului i cate 1 /8 In cele 8 varfuri), Deci

BAZELE FIZICH SEMICONDUCTORILOR

74

4;"

volumul ocupat de aceste sfere va fi: VA = 2.

l a~r

17

VA

no

75

respective. De asemenea, razele atomice depind de cifra de coordinatie


?i coeficientul

'

a retelei, Odata cu scaderea compactitatii

cristalului,

razele atomice

cresc.

de compactitate corespunzator va fi:


2. 4JZ" (

Capitolul I - Structura cristalina a materialelor semiconductoare

aJ3J3
=

a3

JC./3 = 0 680
'

(b)

(a)

(b)
I
I

--------

I
I

B
(a)

c
(c)

(c)

BO =a.J3 =4R
(d)

Fig. 1.47. Medul de determinare a ceeficientului (factorului) de cempactitate


in cazul unei retele cubice cu velum centrat.
(a) reteaua Bravais cubica cu velum centrat;
(b) medul de dispunere a sfereler in nodurile retelel:
(c) sferele (portiunile de sfera) din interierul velumului celulei elementare;
(d) determinarea razei sferelor in functie de latura cubului.

Fig. 1.46. Medul de determinare a ceeficientului (facterului) de cempactitate


pentru o retea cubica sirnpla: (a) celula elernentara cubica simpla:
(b) rnodul de aranjare a sferelor in nodurile retelei;
(c) portiunile de sfera din interierul velumuli celulei elementare.

In
centrate,

mod similar,

se gase~te

cu baza forrnata

compactitate 77

= 0, 7 40

Razele atomice

pentru

tot dintr-un

reteaua

singur

atom,

cubica

cu fete

coficientul

de

decat razele acelorasi atomi In cristale metalice. Astfel, ionul de sodiu

lntr-o sare are raza atornlca de 0,98 A, In timp ce In stare metalica raza

(v. 1.15).
ale diferitelor

fortele de legatura interatomice,

Atomii ionizatl din cristalele ionice au razele atomice mai mici

elemente

In cristale depind

care deterrnina coeziunea

de

cristalelor

atornica a sodiului este de 1,85

A.

BAZELE FIZICII SEMICONDUCTORILOR

76

Capitolul I - Structura cristalina a materialelor semiconductoare

Raportul razelor atom ice (ion ice) ale particulelor constituente ale

77

Celula Wigner-Seitz are centrul intr-un nod oarecare al retelei i

unui cristal i caracterul leqaturilor interatomice ce determina structura

este o portiune din spatiu situata in vecinatatea acestui nod i a oricarul

cristalina

cea mai probabila,

alt punct al retelei".

echilibru

termodinamic,

atomilor

sau ionilor. Aceasta

deci si cea mai stabila, in conditii de

corespund

celei mai compacte

structura

se realizeaza

aranjari

ale

Considerarn un punct (nod) oarecare, 0, al retelei plane din Fig

in cazul cane

1.48. Nodurile care constituie vecinii de ordinul intai sunt 1, 2, 3, 4, 5 si

spatiul care rarnane liber intre particule are eel mai mic volum posibil.

f1,

r2

......

originea in punctul 0. Ducem apoi mediatoarele

Li1,

Li2,

6. Ducem vectorii de pozitie a acestor noduri

Acest caz este analizat in 1.15.

segmentele

Celula Wigner-Seitz

Wigner-Seitz

Am aratat ca pentru retelele Bravais neprimitive

care constituie

pentru reteaua plana considerata.

este o celula prirnitiva

se pot gasi

Li6 pe

respective. Rezulta un poligon, (in cazul nostru ABCDEF)

care are o anumita arie (hasurata in fiqura],

1.11

{6, care au

celula

Celula Wigner-Seitz

lntrucat are un singur nod (eel din centrul celulei).

Din proprletatile de simetrie ale retelelor Bravais, rezulta ca se

retele primitive tnsa cu o simetrie mai joasa, Ar fi important daca s-ar


putea sa se constuiasca o astfel de retea care sa pastreze proprietatile

poate deplasa celula cu centrul in nodul 0 al retelel intr-un alt nod

de simetrie ale retelei mitiale. 0 astfel de celula elernentara este celula

oarecare

Wigner-Seitz. Pentru a descrie modul de constructie a celulei Wigner

P, caracterizat

prin vectorul

Rp

= n1

+ n 2b

(a

si

fiind

vectorii fundamentali ai retelei plane respective), vectorul Rp unind cele

Seitz sa considerarn o retea bidimensionala (Fig. 1.48).


doua noduri 0 i P ale retelei.
in acest mod, reteaua plana poate fi "lmpartita" in astfel de celule

Ll5

primitive (Fig. 1.49).


Se poate constata LIOr ca celula Wigner-Seitz

are, in general

aceleai elemente de simetrie ca i reteaua Bravais pentru care a fost


construita. Se poate arata insa ca celula Wigner-Seitz poate sa posede
i elemente

de simetrie

suplimentare

(de rotatie

i de reflexie)

in

cornparatie cu celula prirnitiva. De asemenea, se constata user ca celula

Wigner-Seitz cuprinde toate punctele din spatiu situate eel mai aproape
de un nod dat al retelei In comparatie cu celelalte noduri. Celulele

Fig. 1.48. Celula Wigner - Seitz pentru o retea plana.


il1, L'l2, ..... Ll6 sunt mediatoarele pentru vectorii de pozitie Fi'

r2 ' ..... r5 .

De altfel, o astfel de constructie se poate realiza pentru orice ansamblu de puncte discrete, care
nu constituie numai decat o retea Bravais, dar in acest caz fonna acesteia depinde de pozitia
punctului ~i nu are caracteristicile unei retele Bravais. (0 astfel de retea se numeste retea Voronii
[3]).

BAZELE FIZICH SEMICONDUCTORILOR

78

Capitolul I

Structura cristalina a materialelor semiconductoare

79

Wigner-Seitz pentru retelele Bravais plane sunt fie dreptunghiuri (In caz
particular patrate), fie hexagoane.

Fig. 1.50. Celula Wigner - Seitz pentru reteaua cubica cu volum centrat [7].
Fig. 1.49. Celule Wigner - Seitz pentru o retea bidirnenslonala.

in mod analog se pot construi celule Wigner-Seitz pentru retelele


tridimensionale. in acest caz, din nodul considerat se due vectorii de
pozitie ai nodurilor vecine de ordinul lntai: se due planele mediatoare pe

1.12

Reteaua reclprcca (inverse)

1.12.1. Consideratig
i enerale

acesti vectori i se obtine un poliedru Inchis de planele cele mai


apropiate. Aceasta constituie celula Wigner-Seitz pentru reteaua
respectiva i este o celula prirnitiva de un anumit volum.

Conceptul de retee reciproce sau retee inverse joaca un rol


important In studiul teoretic al proprietatilor retelelor cristaline. Astfel,

Daca reteaua este cubica sirnpla, latura cubului fiind a, celula

teoria difractiei In cristale a radiatiilor X (a fasciculelor de electroni sau

Wigner-Seitz este tot un cub cu latura a avand un nod In centru. Fig.

neutroni), studiul oscilatiilor (vibratiilor ) retelei cristaline (tnteleqand prin

1.50 ilustreaza celula Wigner-Seitz pentru o retea Bravais cublca cu

aceasta oscilatirle Tn jurul pozitiilor de echilibru a particulelor din nodurile

volum centrat. Aceasta are forma unui octaedru sectionat de planele

retelei cristaline), studiul miscarii electronilor ln

mediatoare.

periodica s.a, pot fi tratate cu mai rnulta profunzime luind In considerare

reteaua cristalina

caracteristicile retelelor reciproce.


in cazul In care, intr-un anumit rationament trebuie sa ne referim
la cele doua tipuri de retele, retelele Bravais i retelele reciproce, pe

80

BAZELE FIZICH SEMICONDUCTORILOR

primele le vom numi

retete directe".

81

Relatia (1.29) se deduce direct din (1.25) - (1.27) tinand seama

in acest paragraf vom nota cu 81, 82 i


retelei directe (deci

Capitolul I - Structura cristalina a materialelor semiconductoare

83 vectorii de baza ai

8 devine 81, b devine 82 si

devine

de urrnatoarele relatii pentru produsul mixt a trei vectori:


(1.30)

83 ). Prin

aceasta vom deduce mai UOr unele expresii, iar relatiile finale obtinute
le vom putea scrie cat mai simetric i concis. Vom reveni la notatiile

Relatiile

8i bj = 0 pentru i

nalitate 8 vectorilor 8i i jjj

j, exprima condifia de ortogo

7:-

8i . jjj

iar

=1

exprirna

condltla

de

folosite pana acum, atunci cand vom descrie diferite tipuri de structuri

normare.

cristaline.
Daca

81, 82

Expresia,

i 83 sunt vectorii fund8ment8/i 8i retelei directe,

(1.31)

atunci vom defini vectorii de baza ai retelei reciproce, prin relatiile

indica volumul celulei elementare pentru reteaua inversa (notat de multe


ori i cu

n ).

Se poate arata UOr ca

(1.25-1.27)

(2rc)3

.0=-Vectorul

unde
(1.28)

Ei,

Kg ,

(1.32)

no

scris sub forma unei combinatll liniare a vectorilor

adica sub forma

reprezinta volumul celulei elementare2l in reteaua directa.


intre
reciproce

vectorii

E1, b2

retelei

E3

directe

81,

82

(1.33)

i 83 i cei ai retelei

unde

g1, g2, g3 sunt numere intregi oarecare, poarta denumirea de

vectoru/ retelet reciproce.

exista relatia
(1.29)

Multirnea

punctelor

definite

de

(1.33)

forrneaza

reteeue

reciprocs (refeaua inverse;


unde 8ii este simbolul lui Kroneker (8ii =O, pentru i 7:- j i 8u = 1 pentru i = j).

Vectorul retelei directe se scrie sub forma (v. 1.4)


(1.34)

in cazul general, prin retea vom intelege reteaua Bravais si numai daca este necesar
vom face precizarea ca este vorba de reteaua directa sau reteaua reciproca.
2
Dupa cum se stie, produsul mixt a trei vectori 81 , 82 si 83 este un scalar care in
marime absoluta este egal cu volumul paralelipipedului construit pe vectorii respectivi
camuchii.
1

n-, n2, n3 fiind i aici numere intregi oarecare.


Din (1.33), (1.34) i (1.29) qasirn UOr pentru produsul scalar
dintre vectorii

Rn

Kg , expresia

82

BAZELE FIZICII SEMICONDUCTORILOR

Rn K9

2;r ( n1g1 + n292 + n393) = 2;rN

Capitolul I - Structura cristalina a materialelor semiconductoare

83

(1.35)

N fiind evident un nurnar intreg.


Prin urmare,
(1.36)
lntrucat, daca Neste un nurnar intreg, putem scrie
e

iK -K9 = e i(2nN) =COS 2.Jr N - I. Si. n 2 Jr N = 1

Relatia (1.36) este foarte des folosita in studiul rniscarii electronilor in


corpurile cristaline.
Evident, punand conditia (1.36), rezulta ca vectorul K9 trebuie
sa poata fi scris sub forma (1.33), adlca sa fie o combinatie liniara a
vectorilor

bi,

iar coeficientii 91, 92, g3

Fig:_1.51. D~ducerea expresiilor pentru vectorii retelel reciproce


rn cazul rn care reteaua directa este ortorornbica sirnpla.

numere intreqi.

In

acest caz,

o = 81 ( 82 x 83 ) = 8182 83 [T . ( J x k) = 8182 83

1.12.2. Retele reciprocepentrudiferitetipuride retele Bravais

Intrucat

vectorii

fundamentali

ai retelei reciproce

depind de vectorii fundamentali ai retelei directe

b1, b2 i b3 ,

si inlocuind (1.37) i (1.38) in (1.25) - (1.27), gasim:


-

reciproce.

2Jr

Prin urmare,
fundamentali

j81 I * j82 j * 183 I

i a =

/3 = r = 90

unui sistem de coordonate

. Daca

In

acest tip de retea (v. 1.5),

T,

J,

sunt versorii axelor

ales ca in Fig. 1.51, (care coincide

cu

81, 82 i 83

= 8/,

82

= 82],

83

2Jr -:
82

reteaua reciproca

b1, b2 i b3,

ai acesteia,

respectivi ai retelei directe,

81, 82

2Jr -

b3=-k

(1.39)

83

este tot ortorombica,

vectorii

avand aceeai forma ca i vectorii

83 (adica pot fi scrisi ca produse

lntre niste parametri (2rr/8j, i = 1, 2, 3) i aceiasi versori

T,

J i k ).

Pentru cazul in care reteaua cirecta este cubica sirnpla (CS),


avem evident 81 = 82 = 83 = 8 (8 fiind latura cubului) i respectiv, pentru

sistemul de axe cristalografice ), putem scrie

81

81

Sa construim reteaua reciproca in cazul in care reteaua directs


este ortoromblcii simpla (Fig. 1.51).

b1=-_-1; b2=-1;

81, 82 i 83, rezulta ca

tieciirui tip de retee Bravais ii corespundeun anumit tip de retee

(1.38)

= 83

fiind lungimile muchiilor celulei elementare.

(1.37)

vectorii retelei reciproce, vom gasi:


-

2Jr

b1=-1;

2Jr -:

b2=-1
8

2Jr -

b3=-k

(1.40)

BAZELE FIZICH SEMICONDUCTORILOR

84

Prin urmare, reteaua reciproca este de asemena cubica sirnpla ib,

= b2 =

Efectuand calculele1l , gasim:

= 2n/8).

b,

In

b1

cazul general insa, reteaua reciproca nu este de acelasi tip cu

In

reteua directa. Daca reteaua directa nu este prirnitiva, trebuie mai intai
'

85

Capitolul I - Structura cristalina a materialelor semiconductoare

'

sa qasirn, pentru reteaua directa respectiva, o retea prirnltiva cu anurniti

2Jr (
=a--/+

-:

-)

J +k

mod analog se calculeaza expresiile vectorilor

b2

b3 .

In final, putem scrie expresiile vectorilor de baza ai retelei

vectori fundamentali, dupa care, cu ajutorul relatiilor (1.25) - (1.27) sa

b1

determinarn vectorii retelei reciproce. Astfel, pentru reteaua cubics cu

2Jr ( - - -)
=a-i + j +k

(1.45)

fete centrate (CFC), celula prirnitiva corespunzatoare va avea vectorii


(1.46)

fundamentali, respectiv (v. 1.7):

82
83

=28 (-j

+k-) '

(1.42)

8 (7
-:) '
=2
I+ J

(1.43)

2Jr (7 -: -)
=a
+j-k

b3

(1.41)

(1.47)

Comparand relatiile (1.45) - (1.47) cu (1.9'), rezulta ca reteaua


reciproca a unei retele (directe) cubice cu fete centrate este o retea
cubica cu volum centrat.
Pentru a stabili forma retelei reciproce in cazul in care reteaua

iar volumul acesteia va fi:

Bravais directa este cubics cu volum centrat (CVC), scriem vectorii de


83

Q=-

baza pentru reteaua prirnitiva a retelei eve sub forma (v. 1. 7):

(1.44)

81 = 28 ( -i- + j- + k-)

Expresiile pentru vectorii fundamentali ai retelei reciproce pot fi


calculate UOr folosind de asemenea (1.25) - (1.27). Astfel, pentru
stabilirea expresiei vectorului

b1,

putem scrie

b-1 = 2Jr _ 82:::x 8..3::.


81. (82 x 83)
sau, tinand seama de (1.41) - (1.43), avem

_
b1 =

2ir[W +k)]x[W n]
[W +k)}[~(T +k)Jx[f{T n]
+

82

=28 (-j

83

28 (-j

(1.48)

j- +k-)

(1.49)

+ j- -k-)

(1.50)

Amintim cititorului urmatoarele relatii de calcul vectorial pentru versorii axelor de


coordonate considerate rectangulare:

f.T=J]=kk=1;

f.J=]f=O;

(Jxk)=-(kxJ)=T

]k=k]=O;

(TxkJ=-(kxf)=J

f.k=k]=O;

(TxJ)=-(JxT)=k;

86

BAZELE FIZICH SEMICONDUCTORILOR

no=-

83

Dupa

vectorului

a2

cum se poate

b1 = 2Jr

n0

2Jr

-8 (-i-j+k

-)

x-8 (-i+j-k
2

-)J

UOr din Fig. 1.52b, versorul

1- ./3i cos60 + j cos30 = -i +-j


2
2

reciproce (1.25) - (1.27), obtinern:

82 x 83

deduce

este

Tnlocuind aceste relatii in expresiile pentru vectorii fundamentali ai retelei

87

Capitolul I - Structura cristalina a materialelor semiconductoare

Prin urmare,

2
sau, efectuind calculele, qasirn

b1

2Jr (-j + k-)


=a

(1.51)

-4:

you= 30

-4:X0U

si in mod analog

b2

2Jr (k
=a

-;)

(1.52)

2Jr (-; -;)


b3=-;-t+j

(1.53)

+I

eve

este
---.>

avand aceeai forma ca

(b)

(1.41) - (1.43).

In

y
---.>

Prin urmare, reteaua reciproca a unei retele Bravais


cubica cu fete centrate, relatiile (1.51 )-(1.53)

= 60

cazul in care reteaua directa este haxaqonala simpla, se aleg

(a)

vectorii pentru celula primitiva a acestei retele sub forma (Fig. 1.52):
(1.54)

Fig. 1.52. Modul de alegere a vectorilor de baza pentru reteaua hexaqonala sirnpla,
(a) pozitia sistemului de axe de coordonate rectangular in raport cu celula elementara:
(b) modul de determinare a versorului vectorului 2

(1.55)
(1.56)
Se considera ca

ja1 I= ja2 j = 8

celula elernentara) si

j83 j = c

(8

fiind latura hexagonului care formeaza

Volumul celulei primitive este

n0
sau, tinand seama de (1.54)-

181 ( 82 x 83 )I

(1.56), putem scrie

(c este inaltimea prismei hexagonale).


00 =

(aT){~ (T + J3J)x ck J

BAZELE FIZICH SEMICONDUCTORILOR

88

~i efectuand calculele gasim

Capitolul I - Structura cristalina a materialelor semiconductoare

89

reciproca este asernanator cu eel descris In 1.11 pentru reteaua

J3

0.0=-a c .

(1.57)

directa.

Vom considera pentru lnceput o retea plana patratica, parametrul

Vectorii fundamentali ai retelei reciproce pentru reteaua directa

retelei fiind egal cu b (Fig. 1.53). Se alege ca origine un nod arbitrar, 0,

hexaqonala vor fi:

al retelei reciproce de la care vom duce vectorii


- =- 2tr (b1
82

- )

KA, K8, Kc, K0

la

cele patru noduri vecine de ordinul lntai (indicate cu A1, 81, C1 si 01 In

X83

no
Fig. 1.53a). Se due mediatoarele pe segmentele OA1, 081,

sau, lnlocuind 82 ~i 83 daf de (1.55) si (1.56),

c [ ~ (T + ~

E1 = ;,;

J)]

OC1, 001.

intersectia acestora detimiteaza In reteaua reciproca un poligon de o


x

(ck)

anumlta forma (In cazul nostru un patrat) cu o anurnita arie, numit prima

zone Brillouin[27, 90].

2
sau Inca:
b-1 = 2r;; ( -vt3; :i - j-)

(1.58)

b2 =

aJ31

(1.59)

2 -

e-rs
4

-:

b3 =-k

(1.60)

Expresiile vectorilor

E; b2

b3

definesc de asemenea o retea

hexaqonala.

(a)

Fig. 1.53. Celule Wigner-Seitz pentru reteaua reciproca plana patratica.


(a)- constructia primei zone Brillouin; (b) - constructia primei si
celei de-a doua zone Brillouin. Reducerea la prima zona Brillouin.

1.13. Celula Wigner-Seitz in reteaua reclproca, Zone Brillouin


Celula elernentara Wigner-Seitz (v. 1.11) pentru reteaua
reciproca se nurneste prima zone Brillouin".

Modul de constructie a celulei primitive Wigner-Seitz In reteaua

(b)

f n mod analog se construiesc celelalte zone. Se iau nodurile


vecine de ordinul al doilea A2, 82, C2 si 02 (Fig. 1.53b). Se due vectorii

K 'A, K '8, K 'c, K '0

cu originile In 0 ~i extrernitatile In cele patru

noduri. Se construiesc mediatoarele pe segmentele OA2


1
Fizicianul francez Louis Marcel BRILLOUIN (1854 - 1948) a elaborat in 1930 modelul zonelor
energetice in cristale

002

082

OC2

Portiunile de retea dehmitata de aceste mediatoare, care nu fac

90

BAZELE FIZICII SEMICONDUCTORILOR

parte din prima zona Brillouin, forrneaza cea de a doua zona Brillouin
(Fig. 1.53) [90].

Capitolul I - Structura cristalina a materialelor semiconductoare

In

91

cazul tridimensional, zonele Brillouin au acelasi volum.

Aceasta ne permite sa suprapunem oricare dintre zone peste prima

Se poate constata UOr (Fig. 1.53b) ca ariile celor doua zone

zona, deplasand cu un anumit vector al retelei reciproce domeniile

sunt egale. [ntr-adevar, deplasand portiunile 1 ', 2', 3', 4', 5', 6', 7' i 8'

corespunzatoare zonelor de ordinul al doilea, al treilea s.a.rn.d. Deci i

ale zonei a doua cu distanta a, adlca cu parametrul retelei, acestea se

In cazul tridimensional putem suprapune oricare dintre zone, peste

vor suprapune peste portiunile 1, 2, 3, 4, 5, 6, 7 i 8 ale primei zone.

prima zona Brillouin sau, cu alte cuvinte, putem face reducerea la prima

Tn Fig. 1.54 se arata si a treia, a patra s.a.rn.d. zona Brillouin.

zona Brillouin.

Oricare din aceste zone de ordin superior se pot suprapune peste prima
zona, operatie nurnita de obicei reducerea la prima zone Brillouin.

In

cazul retelelor tridimensionale, prima zona Brillouin are forma

unui poliedru.

In

Fig. 1.55 este mdicata prima zona Brillouin pentru o

retea reciproca cubica cu volum centrat i cubica cu fete centrate.


Acestea se construiesc In mod analog constructiei celulelor Wigner
Seitz In reteaua directa care a fost descrisa In 1.10.

CJ
D

2
7

...)

fiTiil'l) 4

Iii
lITITJ 6
5

;o
0

(a)

(b)

r
N

0
z
m

Fig. 1.55. Prima zona Brillouin pentru retetele reciproce cubice


cu volum centrat (a) ~i cubics cu fete centrate (b) [?].
Tn cazul retelei cubice cu fete centrate un anumit nod
este inconjurat de 12 noduri vecine de ordinul intai (v. ~i Fig. 1.30).

Cu toate ca termenii de "celula Wigner-Seitz" i "prima zona


Brillouin" se refera la acelasi tip de constructie qeometrica, ultimul
Fig. 1.54. Zone Brillouin de diferite ordine
pentru o retea reciproca plana patratica [41].

termen se foloseste numai In cazul retelei reciproce.

Intrucat vom utiliza zonele Brillouin la studiul vibratiilor retelei


cristaline si a altar caracteristici ale acestora, vom mentiona In capitolele
respective i alte caracteristici ale acestor zone.

92

BAZELE FIZICH SEMICONDUCTORILOR

Capitolul I - Structura cristalina a materialelor semiconductoare

93

Pentru indicarea acestor plane se folosesc indicii Miller ( 1.8).


S-a aratat

1.14. Plane atomice. Distanta interplanara

f n general, un plan atomic lntr-o retea Bravais oarecare este

ca pl8nele

cu

8cei8si

indici

Miller

(numite ~i plane

echivalente) sunt p8r8/ele si echidist8nte (Fig. 1.57).

definit ca un plan care confine eel putin trei atomi (trei noduri) care
nu

sunt

situett in lungul

unei

eceleesi

drepte

din

reteeue

respective.
Datorita simetriei de translatie discreta a retelelor Bravais ( 1.5),

un asemenea plan contine In realitate un nurnar infinit de noduri ale


retelei,

Modul de dispunere a nodurilor din aceste plane respecta

caracteristicile retelelor Bravais plane. In Fig. 1.56 sunt indicate cateva


asemenea plane In cazul unei retele cubice simple ~i a unei retele
cubice cu fete centrate.
Fig. 1.57. Planele cu aceeasi indici Miller sunt paralele si echidistante.

Distente interplanara se defineste ca distente dintre planele


succesive cu eceeesi indici Miller. Aceasta distanta se noteaza de
requla cu dhkf, reprezentand distanta dintre planele cu indici Miller (hkl).

Sa considerarn un plan ABC care are indicii Miller (hkl) (Fig.


1.58a). Sa stabilim expresia distantei dintre acest plan ~i un alt plan
paralel cu el care trece prin originea axelor de coordonate. Conform
(b)

(a)

definitiei indicilor Miller ( 1.8), putem scrie,


h=~

X1 '

unde 81,

82, 83

k = 82

Y1 '

I = 83

sunt marimlle muchiilor celulei elementare, iar x1, Y1, z1

coordonatele punctelor de intersectie


(c)

(1.61)

Y1

ale planului cu axele de

coordonate (Fig. 1.58a).


Din (1.61), se deduc relatiile

Fig. 1.56. Diferite moduri de a diviza retelele spatiale In familii de plane atomice:
(a) ~i (b)- cazul retelelor cubice simple; (c) cazul retelelor cubice cu fete centrate.

(1.62)

BAZELE FIZICU SEMICONDUCTORILOR

94

care pot fi scrise si sub forma vectoriala


-

a1.

X1=h,
unde vectorii

x1 ,

91

a2.

Y1=k,

Capitolul I - Structura cristalina a materialelor semiconductoare

Varn arata ca vectorul


a3
Z1=-,-

(1.63)

e;

este perpendicular pe planul (hkl) din

reteaua directa. Pentru aceasta, conform unei teoreme din geometrie,


trebuie sa dernonstrarn ca vectorul respectiv este perpendicular pe doua

21 au directiile i sensul vectorilor 81,

si

a2 si a3 ,

drepte concurente din planul (hkl). Putem

iar marlmile date de relatiile (1.62).

sa considerarn aceste drepte

J, (; - ~ J sl ( ~

concurente, doi dintre vectorii ( ~ - ;


z

95

3 - ~

J, care

planul (hkl)

sunt situaf in planul (hkl) (in planul ABC din Fig. 1.58b ). Pe de alta
parte, doi vectori sunt perpendiculari, daca produsul scalar dintre acestia
este egal cu zero.
lntr-adevar, sa consideram produsul scalar
(1.65)
y

Efectuand
x

(~ -: J

calculele

81 b1 = 82 b2 = 2Jr

si luind
i

in

considerare

faptul

ca

81 b2 = 81 b3 = 82 b1 = 82 b3 = 0 ,

(v. (1.29))

obtmern UOr

(a)

(1.66)
(c)

si, prin urmare, vectorii consideraf sunt perpendiculari.

In

mod analog, gasim


(1.67)

Fig. 1.58. Deducerea expresiei distantei interplanare: (a) - pozitia planului (hkl);
(b) - demonstrarea faptului ca vectorul ; este perpendicular pe planul (hkl);
(c) - deducerea expresiei distantei interplanare, dhkl

adica si acesti vectori sunt perpendiculari.


Prin

Sa considerarn

coordonate

sub forma
(1.64)
Evident relatia (1.64) este un caz particular al relatiei (1.33), in
care in locul numerelor intregi g1, g2, g3 am scris indicii Miller (care sunt
tot niste numere intregi).

urmare,

vectorul

Khkt

trece

prin

originea

axelor

de

un vector al retelei reciproce pe care ii scriem


i este normal la planul ABC cu indicii Miller (hkl) (Fig.

1.58b ). Evident, versorul vectorului

<; va fi dat de expresia

n- =--Khkt
/.Rhkt/

(1.68)

BAZELE FIZICH SEMICONDUCTORILOR

96

Capitolul I - Structura cristalina a materialelor semiconductoare

in ~OPA (Fig. 1.58c), unghiul APO are 90 ~i putem scrie produsul

97

2tr

dhkl

scalar

=-1--1
Khkt

(1.76)

Din relatia (1.76), rezulta ca distanta dintre doua plane succesive

(1.69)

a fiind unghiul dintre vectorii 81 ~i ii.

cu aceea~i indici Miller depinde,

Pe de alta parte, din L10PA, avem (Fig. 1.58)

Miller respectivi.

prin intermediul

lui /Rhkt / , de indicii

in cazul in care o familie de plane are indicii Miller (mh mk ml), m


cos a= dhkt
a1

(1. 70)

fiind un numar intreg, putem scrie, in conformitate cu (1.63),

Kmh,mk,mt

= mhb + mkb
1

= m ( hb + kb

+ mlb3

+lb)

= mKhkt

inlocuind (1.70) in (1.69), obtinern


Deci
81 d

- - a1 d
d hkl h
hkt n - h hkt a1

IRmh,mk,ml / =

jmj IRhkl /

d
mh,mk,ml -1

I/- I
m Khkt

(1. 77)

de unde, gasim
a1

dhkt =-n
h

(1.71)

in mod analog, se poate arata ca

dhkt

2tr

(1. 78)

sau, din (1.76) ~i (1.78), qasim:

a2 =-n
k

a3

dhkt =-n
I

(1.72)

IR

~i prin urmare, din ultimele doua relatil, gasim

ooue plane succesive ale familiei de plane

(mh mk ml) este de m ori mai mica decaf distanfa dintre doue plane

Sa
(1.74)

Bravais.
trebuie

= 2trh

(1. 79)

succesive ale familiei de plane (hkl).

Dar, se poate deduce usor ca

81 Khkt

- dhkl
mh,mk,ml - /m/

Deci, distanfa dintre


(1.73)

Tinand sema de (1.68), (1.71) se scrie sub forma

d
_ 81 . Rhkt
hkl - h
I
hkl

(1.75)

deducem distantele interplanare pentru diferite tipuri de retele

Din relatia (1.76), rezulta ca pentru a gasi aceste distante

sa calcularn jRhkt / pentru cazurile respective. in acest scop se

foloseste formula:

/Rhkl = ~ Khkl .

Tinand seama de (1.63), putem scrie (1.80) sub forma

(1.80)

BAZELE FIZICH SEMICONDUCTORILOR

98

d100 =
Efectuand calculele produsului scalar de sub radical, obtinern
h

22

hkb

b2 +

b3 +

hlb;

khb

+k

22
2

klb

lhb

lkb

a13

unghiurile <r: (

i; b

<r: ( b2,

2),

b3)

si, <r: ( b3, b1),

~12 + 02 + 02

=a

22

Tinand seama ca produsul scalar este comutativ si notand cu


a23

Deci distanta dintre doua familii de plane succesive din aceasta


+I

(1.81)

u12,

99

Capitolul I - Structura cristalina a materialelor semiconductoare

familie esta a.
A

In mod analog, se gasete d111

a
a
= r;;; d200 = -v3

s.a.m.d.

putem scrie

Observiim ca d200 = d~o , fapt care rezulta direct ~i din (1.79).

(1.81) sub forma

IRhkl

I= ( h bf + k b'1_ + 1 bt) + 2hkb b


2

1 2

cos a12 + 2klb2b3 cos a23 + 2hlb1b3 cos a13


(1.82)

Deci, In principiu, cunoscand vectorii fundamentali


se determina - folosind relatiile (1.25)-(1.27)

b2

din reteaua directa,

- expresiile vectorilor

E1,

b - Reteaua cubica cu volum centrat(CVC)


in acest caz, folosind pentru

si

b3

relatile (1.25) - (1.27)

i repetand rationarnentul descris mai sus gasim


a

ib3, care se lnlocuiesc In (1.81) sau (1.82) i se gasetejKhktl iar

In final, cu ajutorul relatiei (1. 76) se deterrnina

E1, b2

(1.84)

dhkl = -;===========~( h + k )2 + ( h + 1)2 + ( k + 1)2

dhkl

a fiind i aici latura cubului.


Sa dam cateva exemple:

Din (1.84 ), obtinern UOr

a - Reteaua cubica simpla

in acest caz

d100 =

ja1 I = la2 I= la3 I= a

(a fiind latura cubului) i a= fJ =

.J2 '

d111

2J3 '

d200 =

2.J2

r
d100
if ~
id t '
tia d
Re I an
200 = -2- seven tea, evi en, I in acest caz.
A

= go0 in conformitate cu relatiile (1.40), avem b, = b2 = b3 = 2n/a i


a12

= fh3 = y13 = go0 Din (1.82), obtinern In acest caz

I Khkt =

c - Reteaua cubica cu fete centrate (CFC)

Zr: I 2
2
2
+k +I
'i:"

in acest caz, folosind relatiile (1.25)-(1.27)

si lnlocuind aceasta expresie In (1. 76), qasirn

d hkl = --;:::::====

~h2+k2+12

E1, b2, E3

se

gasete
(1.83)

De exemplu, pentru familia de plane (100), avem h=1, k=O i


l=O
si, din (1.83), rezulta

pentru

dhkt = I

-v(-h + k + 1)2 + ( h- k + 1)2 + ( h + k-1)2


Deci

(1.85)

BAZELE FIZICH SEMICONDUCTORILOR

100

Capitolul I - Structura cristalina a materialelor semiconductoare

101

1.15. Structuri cu aranjament compact

(impachetare compacta)
Daca se considers ca atomii unui cristal pot fi reprezentati prin

d - Reteaua hexagonala (H)

sfere rigide, tangente intre ele, atunci un cristal format din atomi de

Pentru reteaua Bravais hexaqonala,

expresiile vectorilor

reciproce sunt exprimate prin relatiile (1.58) - (1.60).

In

retelel

acest tip

de retea pentru distanta interplanara, obtlnern [16, 131, 147]


dhkl

-J3

= 2

h2 +k2 +hk+(t

a;;J

cum s-a

aratat, razele acestor sfere depind de caracteristicile interactiunilor dintre

(1.86)

consecinta,

cristalul

trebuie

sa alba

o astfel

de structura,

tncat

interactiunea unui atom oarecare cu ceilalti atorni, dar in primul rand cu


'

'

atomii vecini, sa prezinte o astfel de simetrie lncat sa nu poata exista


tipuri de mteractiuni (forte) care sa conduca la ,,distrugerea" agregatului
cristalin.

c este inaltirnea acestei prisme.

Daca ne referim la un ,,strat" de asemenea sfere dispuse pe o

In

Insa, dupa

atomi, dar ~i de modul de dispunere reciproca a atomilor respectivi. Tn

a fiind aici latura hexagonului regulat al bazei prismei hexagonale,


iar

acelasl tip va fi alcatuit din sfere cu raze egale.

* *
cazul in care indicii Miller sunt negativi, la inlocuirea acestora

suprafata plana, atunci o aranjare cat mai compacts a acestora (adica o


aranjare a sferelor in asa fel, lncat acestea sa fie tangente iar spatiile

in relatiile (1.84) - (1.86) trebuie sa tinern seama ~i de semn. Astfel


libere dintre ele sa ocupe un volum cat mai mic) se poate obtine in cazul
rezulta

in care in jurul unei sfere date sunt dispuse (tangent la aceasta sfera)
pentru reteaua

eve

alte sase sfere identice cu centrul in varfurile unui hexagon regulat, in


centrul

~i
d-

111

=-

Ji1

caruia

se

gase~te

sfera

considerata

(Fig.

pentru reteaua CFC.

*
* *
Din cele prezentate mai sus, se poate constata ca fiecarui plan
(hkl) din reteaua directa ii corespunde, conform relatiei (1. 76), un vector
Khkt din reteaua reciproca, acestuia corespunzandu-i la randut sau un
(a)

nod din aceasta retea reciproca.

(b)

Fig. 1.59. Sisteme de sfere cu aranjament compact:


(a) - sfere situate In centrul ~i varfurile unui hexagon regulat;
(b) - obtinerea unui ,,strat de sfere" cu aranjament compact.

1.59a).

BAZELE FIZICH SEMICONDUCTORILOR

102

Capitolu_} J - Structura cristalina a materialelor semiconductoare

103

Evident, latura hexagonului este 2R, R fiind raza sferelor.

8unt doua tipuri de retele pe baza carora se obtin aranjamente

Constructia .hexaqonala" din Fig. 1.59a se poate completa cu alte sfere

compacte: retesue hexagonal compectii si reteeue cubics cu iete

81, 82,

centrate.

....

asezate In asa fel Incat o anurnita sfera sa fie In contact

(tanqenta) cu alte sase (Fig. 1.59b). De exemplu, sfera 2 (Fig. 1.59b)

Celula de la care se obtine reteaua hexagonal cornpacta (Fig.

este Inconjurata de sase sfere (1, 0, 3, 83, 84, 85) la fel ca si sfera 0 (Fig.

1.61 a) este o prisrna hexaqonala dreapta cu noduri In varfuri, In centrele

1.59a).

bazelor si trei noduri, M, N, P (Fig. 1.61 b), situate In interiorul celulei,


Urmatorul strat de sfere s-ar putea aseza peste primul strat, In

intr-un plan paralel cu bazele la mijlocul distantei dintre acestea. Tn Fig.

asa fel tncat centrele sferelor din cele doua straturi sa fie situate doua

1.61 c se indica modul de aranjare a sferelor In structura hexagonal

cate doua pe aceeasi verticala. Dar In acest caz, se poate constata ca

cornpacta. 8tructura se spune ca este de tipul ABABAB...

nu se obtine o lmpachetare compacts. Aceasta se obtine In cazul In

Aceasta Insearnna ca sferele din al treilea strat au centrele

care centrele sferelor din stratul al doilea se gasesc deasupra punctelor

deasupra centrelor sferelor din primul strat (evident, pe aceeasi

B care se qasesc In mijlocul a trei din cele sase interstitii formate In

verticala), cele din stratul al 4-lea au centrele deasupra celor din stratul

primul strat de sfere (Fig. 1.60b) sau, ceea ce este echivalent, deasupra

al 2-lea s.a.rn.d.

punctelor marcate cu C, situate In mijlocul celorlalte interstltl: (Fig.


1.60c).

In

ambele cazuri, pornindu-se de la cele trei sfere, se poate

forma un al doilea strat de sfere, aranjate ca si sferele din primul strat.


(b)

Evident, centrele sferelor din primul strat se qasesc lntr-un plan care
este paralel cu planul In care se qasesc centrele sferelor din stratul al
doilea.

A
B

A
B
A
(a)

(a)

(b)

Fig. 1.60. Structuri cu aranjament compact.


Modul de suprapunere a sferelor In al doilea strat

(c)

(c)

Fig. 1.61. Structura hexagonal cornpacta: (a) - celula hexaqonala:


(b) - pozitia nodurilor din planul median; (c) - modul de aranjare a sferelor.

104

BAZELE FIZICII SEMICONDUCTU

~~~~~~~~~~~~~~~~.

RILOR

105

Capitolul I - Structura cristalina a materialelor semiconductoare

Se lnteleqe ca intr-un astfel de aranjament, inaltimea c a prisrnei

Daca anatizarn acest strat de sfere, se poate observa user ca

hexagonale este mai mica decat 4R sau mai mica decat 2a, R fiind raza

asezarea lor este sirnilara cu aceea prezentata in Fig. 1.59, adica o

sferelor si a latura hexagonului.

sfera (de exemplu, sfera 4) asezata in centrul unui hexagon regulat (cu

Se poate arata (v. Fig. 1.63) ca pentru a avea o impachetare


compectii idea/a este necesar sa avem: c = 1,633a.

latura 2R) este tanqenta cu alte sase sfere (2, 3, S1, S2, 5 i 6) care se
gasesc in varfurile acestui hexagon (Fig. 1.62b).

Considerand reteaua spatiala ca fiind formats cu ajutorul unei


celule elementare hexaqonala (sirnpla) care are vectorii de baza

(cu a= b, c = 1,633a,

a,

E i

<r(a,E) = 120) (Fig. 1.61a), structura compacts

ideala s-ar obtine, atasand fiecarui nod al retelei o baza formats din doi
atomi identici avand coordonatele atomice (000) si

(~22J.
332

In

structura hexagonal compacts cifra de coordinatie este 12 (de

exemplu, sfera din centrul hexagonului care formeaza baza prismei este
tangenta cu cele 6 sfere din varfunle hexagonului, cu 3 sfere din stratul

x
(a)

de deasupra si cu 3 sfere din stratul dedesubt).


Un alt tip de retea cu aranjament compact se poate obtine

plecandu-se de la o retea cubica cu fete centrate. Celula elementara

(reteaua Bravais) este prezentata in Fig. 1.62a. Intersectia cubului cu

a.J2

(a fiind latura

cubului) care are noduri in varfuri (nodurile 1, 3 i 5) i la mijlocul laturilor

planul (111) este un triunghi echilateral cu latura

(nodurile 2, 4 i 6) (Fig. 1.62a). Daca in . nodurile 1, 2, 3, 4, 5 i 6,


asezarn sfere de raze egale (evident, R

=a:),

constata UOr ca se pot gasi o serie de sfere (cu aceeasi raza), S1, S2,
,

(d)

atunci se ob\ine un

strat de sfere tangente cu centrele in planul (111) (Fig. 1.62b). Se poate


S3, 84 ....

(b)

la celulele vecine care sunt tangente la unele din cele sase

sfere considerate initial i care au centrele tot in planul (111 ).

Fig. 1.62. Structura cu aranjament compact cubica cu fete centrate:


(a) - celula cubica cu fete centrate (se indica planul (111));
(b) - aranjarea sferelor in primul strat;
(c) - familii de plane paralele;
(d) - modul de aranjare a sferelor in structura cubica cu fete centrate.

Planul MNP (Fig. 1.62c) este paralel cu planul (111) si cuprinde


centre ale unor sfere tangente cu o aranjare slrnitara cu cele situate in

106

BAZELE FIZICII SEMICONDUCTORILOR

107

Capitolul I - Structura cristalina a materialelor semiconductoare

primul strat. $i In urmatorul strat vom avea o aranjare a sferelor identica

AB indica cristalele cornpusilor NaCl, CsCI, ZnS, CdTe s.a.rn.d., formate

cu aceea observata In primele doua straturi. Numai ca, daca privim

din cate un atom (ion) a celor doi cornponenti, cristalele de tip AB2 indica

straturile de sfere dintr-o directie perpendlculara pe planul (111) (adlca

cristalele cornpusilor de tipul GeS2,GeSe2,SnSe2etc.

dupa o directie paralela cu [111]), vom observa o dispunere a centrelor


diferita de aceea prezentata In cazul structurii hexagonal cornpacta.
Daca asezarn straturile In aa fel lncat sa fie paralele cu planul

Un alt criteriu de clasificare ia In considerare forma qeornetrica a


retelei cristaline (de exemplu, cristale cu structura cubica, cu structure
hexaqonala, tetraqonala s.a.rn.d.)".

orizontal, atunci In primele doua straturi avem o aranjare identica In cele

Cristalele pot fi de asemenea clasificate dupa tipul leqaturii

doua tipuri de structuri cu aranjament compact. Stratul al treilea Insa,

chimice (v. Capitolul Ill) care exista lntre particulele constituiente

poate fi asezat In doua moduri diferite:

(cristale covalente, ionice etc). Sunt unele clasificari care iau In

fie centrele sferelor din acest strat sunt pe aceeasi verticala cu


centrele sferelor din primul strat (In cazul structurii hexagonal

dintre particulele constituiente este, din multe puncte de vedere, mai

fie centrele sferelor din eel de-al treilea strat sunt asezate In

avantajoasa decat aceea bazata pe caracteristicile geometrice ale

dreptul interstitiilor din primul strat rarnase neocupate de centrele

retelei lntrucat se poate constata ca proprietatile fizice si chimice ale

sferelor din stratul al doilea (adica In punctele C din Fig. 1.60a).

cristalelor depind accentuat de tipul leqaturilor chimice dintre particulele

Prin urmare, In cazul retelel hexagonal compacte se obtine pe

constitutive.

centrate pe verticala vom avea succesiunea ABCABC.....

( 17 =

Clasificarea care ia In considerare natura fortelor de leqatura

compacte, HC);

verticals succesiunea ABABAB .... iar In cazul retelei cubice cu fete

12),

considerare caracteristicile de simetrie ale retelei cristaline.

De requla, studiul structurilor cristaline lncepe

cu studiul

cristalelor substantelor simple, a elementelor (de exemplu, metalele Cu,

Tn ambele cazuri lnsa cifra de coordinatie este aceeasi (adica

Ni, Ag,

iar

maxima

caracteristicile interactiunilor dintre atomii respectivi. Tipul de structura

0, 740) care poate fi obtinuta prin aranjarea unor sfere rigide

cristalina a unui element este determinat i de pozitia elementului

Jr~

3~2

coeficientul
=

de

compactitate

are

valoarea

'

de dimensiuni egale.

Au, s.a.), lntrucat acestea scot mai clar In evidenta

respectiv In sistemul periodic.


Astfel, deosebim doua grupe mari de elemente: metalele i
nemetalele.

1.16. Criterii de clasificarea cristalelor

Structura cristalina a metalelor este de requla o structura cu


aranjament compact, iar leqatura chimica este de tip metalic. Pe rnasura

Exista mai multe moduri de clasificare a structurilor cristaline ale

ce ne .deplasarn" In partea dreapta a sistemului periodic i In josul

unor cornpusi: dupa nurnarul atomilor componentelor (elementelor) In


formula chirnica a substantei respective. De exemplu, cristalele de tip

I Aceasta clasificare se refera latipul celor sapte retele Bravais primitive si nu ia in considerare
baza (cu toate caracteristicile acesteia: compozitie, aranjamentul atomilor).

'I
BAZELE FIZICII SEMICONDUCTORILOR

108

acestuia
atomi

incepe

sa creasca componenta

covalenta

a leqaturf

dintre

si, in consecinta, structura cristalina a elementelor respective se

complies

(leqaturile

covalente

avand,

dupa cum se stie, un puternic

109

Capitolul I - Structura cristalina a materialelor semiconductoare

Un nurnar foarte mare de metale cristalizeaza in doua sau mai


multe tipuri
(alotropie).

de structuri
Trecerea

cristaline,

proprietate

de la un tip de structure

caracter directional). in partea dreapta a sistemului periodic sunt situate

transformare polimorfa, aceasta

~i elemente a carer structura cristalina are leqaturi tipic covalente (C, Si,

factori externi (ternperatura,

Ge, Sn). in sfarsit, tot in aceasta parte sunt situate gazele nobile, care in

libera a cristalului.

stare solida cristalina au leqaturi de tip van der Waals.

polirnorfa

nurnita polimorfism
la altul se nurneste

realizandu-se

sub influenta

presiune etc.) care pot modifica energia

Din punct de vedere termodinamic,

transformarea

este o transformare de ordinul intai, avand

ternperatura

determinate

unor

si necesitand

o anurnita

loc la o

caldura

letente

specitice,

1.17. Structura crtstalma a metalelor

Diferitele tipuri de structuri in care cristalizeaza un anumit metal


1. 17. 1. Consideratii generale

se numesc de obicei faze (polimorfe) ~i se noteaza cu a,

Marea majoritate a metalelor reprezinta elemente din sistemul

p, y, 8 etc.

Metalul cu eel mai mare nurnar de modificatii alotropice

este

periodic, foarte putini compusi chimici prezentand caracteristici metalice.

plutoniul.

in cristalele metalice ionii pozitivi sunt "scufundati" ("cimentati") intr-un

temperatura

"nor" de electroni liberi (electroni "colectivizati"),

peratura de topire (640C), acesta trece prin sase transforrnari polimorfe

Interactiunea dintre un

anumit ion si ionii vecini de ordinul intai se realizeaza prin intermediul


electronilor liberi. Caracteristic

acestei interactiuni o constituie simetria

(simetrie centrata) pentru toate directiile din cristal, neexistand o directle


preferentiala de mteractiune.

Astfel,

daca

plutoniului

la

presiune

cristalin

intre

norrnala,

se

temperatura

variaza

continuu

camerei

~i tem

( caracterizate prin retele monoclinice, tetragonale, ortorombice etc.).


Un numar foarte mare de metale (aproape 3/4 din numarul total
al acestora) crlstalizeaza in structuri cristaline cu aranjament compact.
Metalele care au acelasi tip de structura crtstalina (deosebindu

Aceasta caracteristlca face ca modelul sferelor rigide, descris in

se numai prin natura atomilor care formeaza

baza) sunt asociate in

1.1 O sa poata fi folosit cu succes pentru descrierea structurii cristalelor

grupe cristaline sau tipuri de structuri cristaline. Denumirea grupelor

metalice. Caracteristicile

(sau a tipurilor de structura)

simetrice ale fortelor de mteractiune dintre ioni

face ca aranjarea in cristal a ionilor (sferelor rigide) sa fie in asa fel

lncat

volumul total rarnas fiber intre sfere sa fie minim. Astfel de structura se

provine de la metalul mai cunoscut din

grupa respective (pentru a nu crea confuzii accest metal nu trebuie sa


prezinte polimorfism).

nurneste cu aranjament compact sau cu ansamblare compacta ( 1.15).


Exista ~i unele metale care prezinta ,,abateri" de la aceasta
simetrie centrata, deterrninata de modul de aranjare al electronilor
paturile

interioare

ale

ionilor.

Aceasta

face

ca structura

pe

cristalina

respectiva sa nu mai posede un coeficient de compactitate maxim.

1.17.2 Principalele tipuri de structuri cristaline


caracteristice elementelor meta/ice
a. - Structura (qrupa) cuprului

in

acest tip de structura reteaua Bravais este cubica cu fete

BAZELE FIZICII SEMICONDUCTORILOR

110

centrate, iar baza este formata dintr-un atom de cupru. Aranjamentul


(v. Fig. 1.62), factorul de com

compact este de tipul ABCABC......


pactitate fiind
in

r; =

Capitolul I - Structura cristalina a materialelor semiconductoare

Punctul C este centrul (ortocentrul) triunghiului echilateral A1MN care are


latura 81 (latura hexagonului regulat care constituie baza prismei).

0, 74, iar cifra de coordinatie este 12.

sistemul

CFC

(numit

uneori

si

cubic

Din triunghiul dreptunghic A1A2C, avem


cu

lmpachetare

AA2 =d=~AC2 +AC2

cornpacta) cristalizeaza urrnatoarele metale: cupru, aluminiu, argint, aur,


a-calciu,

a-cobalt,

{3-crom, y-fier,

iridiu,

111

f3-lantan, a-nichel,

(1.87)

Intrucat sferele cu centrele In A1 i A2 sunt tangente, distanta

paladiu,

dintre ele este

platina, plumb, 8-plutoniu, -strontiu s.a,

AA = d = 2R = 81

Deci cristalele de aluminiu au aceeasi structura ca si cele de


cupru, fiind formate dintr-o retea CFC, iar baza este formats

dintr-un

R fiind raza sferelor, iar

81,

(1.88)

latura hexagonului (v. Fig.1.61 ).

atom de aluminiu.
Evident, In aceasta structura, baza fiind formats dintr-un singur
atom, nu mai este necesar

sa se indice coordonatele

atomice

ale

tip de structure,

au

acestuia, atomul respectiv asezandu-se In nodurile retelei,


Elementele
configur8fii

eiomice

care

cristalizeaza

In acest

diferite si, prin urmare, si raze atomice diferite.

Intrucat raza atornica este

.J2
4

(8

fiind latura cubului) (v. Fig. 1.62)

rezulta ca fiecare metal va avea parametrii de retea diferiti (lungimea


muchiei cubului va fi diferita). Astfel, aceasta este 8

4,05

pentru
(a)

aluminiu,
8

= 4,95 A pentru

plumb, 8

= 6,08 A pentru

strontiu s.a.rn.d,

(b)

Fig. 1.63. Determinarea distantei dintre doi atomi vecini


din straturi adiacente In reteaua hexagonal compacta,

Din triunghiul dreptunghic A1PN (Fig. 1.63b), putem scrie

b - Structur8 (grup8) m8qneziului


Acesta

structura

este

hexagonal

compacts

Bravais este hexaqonala (o prisrna hexaqonala)

(HC).

Reteaua

din doi atomi identici avand coordonatele atomice (000) i(3-L!_J .


332
Distanta,
structura

d, dintre

se deterrnina

centrele

(1.89)

iar baza este formata


Evident,

(1.90)

a doi atomi A1 i A2 din aceasta

considerandu-se

triunghiul A1A2C (Fig. 1.63).

c fiind lnaltlmea prismei hexagonale.

112

BAZELE FIZICII SEMICONDUCTORJLOR

Capitolul I - Structura cristalina a materialelor semiconductoare

Tinand seama de (1.88) - (1.90), putem scrie (1.87) sub forma

VA
27r
77=-=-Vc
3J3

113

a1
c

(1.93)

in cazul in care raportul cle, are valoarea ideala data de relatia (1.91 ),
atunci

De aici, deducem

__ =

a1

IE= 1,633
V3

(1.91)

Aceasta valoare este valabila pentru cazul ideal al structurii HC.


Pentru acest caz, putem calcula factorul de compactitate

dupa cum se

7J
ii

deci

In cazul
N

M=

(1.92)

3 (trei noduri din interiorul celulei), N,

centrele bazelor hexagonale) ii N;

2 (cei doi atomi din

12 (atomii din varfurile celor doua

hexagoane care formeaza bazele prismei, fiecare atom fiind comun la


cele iase celule vecine cu varful comun). Prin urmare N,

. -

1- = 0 74

1, 633

de impachetare

In care raportul cle,

Pentru magneziu,

N =N. +-r+-v
t

3.J3

'

corespunde

unui

aranjament

1,633, coeficientul de compactitate

-:1=

se rnicsoreaza, indiferent daca cle, < 1,633 sau cle, > 1,633 [102, 198].

Nurnarul de noduri este dat de relatia (v. (1.5)):

27[

compact asa cum a fost descris acesta in 1.15.

arata in continuare.

in care

coeficientul

cle,

elementul

care da denumirea

acestei grupe

1,623, structura cristalina a acestuia apropiindu-se

foarte mult de

structura HC ldeala. Pentru beriliu valoarea acestui raport este cu mult


mai mica tcle,

1,56), iar cea mai mare valoare a acestui raport este

pentru cadmiu tcle,

1,89) (Tabelul 1.4).

= 6.
Tabelul 1.4. Elemente cu structure cristanna hexagonal compaeta

in fiecare nod al retelel se qasests o sfera cu raza r = 5- sl


s
2 ~
volumul Vs =

47r a1

Elementul

3 ( 2 J . Volumul
A

c
(A)
3,58
5,62
5,96
4,07
5,78

1,56
1,89
1,63
1,62
1,59

la T=2K

3,57

5,83

1,63

Hf
La
Mg

3,20
3,75
3,21

5,06
6,07
5,21

1,58
1,62
1,62

Zn
Zr

Be
Cd
Ce
a-Co
Gd
He

ocupat de cele sase sfere va fi:

V = 6. 47r (a1J3 = 7ra3

a
(A)
2,29
2,98
3,65
2,51
3,64

'

iar volumul prismei hexagonale este

inlocuind
Prin urmare, factorul de compactitate va fi

7J

valoarea

c/a

raportului

a
(A)
2,74
2,76
2,70
3,31
2,95
3,46
3,65
2,66
3,23

c
(A)
4,32
4,46
4,28
5,27
4,69
5,53
5,73
4,95
5, 15
Ideal: c/a 1,63

Elemen tu I

Os
Re
Ru
Sc
Ti
Tl

c!a
1,58
1,62
1,59
1,59
1,59
1,60
1,57
1,86
1,59

cle,

1,89 in (1.93), obtinern

0,64, ceea ce lnsearnna ca In cazul cadmiului nici nu mai putem

BAZELE FIZICII SEMICONDUCTORILOR

114

115

Capitolul I - Structura cristalina a materialelor semiconductoare

vorbi de o structura cu aranjament compact, 77 fiind chiar mai mic decat


In cazul structurii CVC, pentru cares-a calculat 77

Tn

1,681 (1.10).

1.18. Structura cristalelor ionice (polare)

sistemul hexagonal compact cristalizeaza metalele: beriliu, f3-

calciu, cadmiu, f3-strontiu, zinc, magneziu, scandiu, ytriu, lantan, a-taliu,

1. 18. 1. Consideratii clenerale

a-titan, a- zirconiu, a-hafniu, y-crom, tehnetiu, reniu, f3-cobalt, f3-nichel,


osmiu

s.a,

Reteaua crlstalina a cristalelor ion ice (polare) este formata din


ioni cu sarcini electrice opuse (anioni i cationi). Atractia electrostatica
dintre

c- Structura (qrupa) wolframului

Tn

puternica

acest tip de structura reteaua Bravais este cubica cu velum

centrat (CVC), iar baza este formata dintr-un atom (Fig. 1.4 7).
Pentru
coeficientul

aceasta

structura

de compactitate

cifra

de

coordinatie

(care a fast calculat

este

ioni

realizeaza

se stabileste

grupei, cristalizeaza

retelei.

legatura

ionica

lntre ioni proveniti de la atomi cu .structura

electronica antaqonista" (de exemplu, ionii proveniti de la atomi de Na,

8,

iar

In 1.10) este

la atomii de Cl, care au pe patura exterioara

care da i denumirea

metalele alcaline (Li, Na, K, Rb, Cs) precum i

metalele: bariu, vanadiu, niobiu, tantal, molibden, y-calciu, y-strontiu, f3-

sapte electroni).

Prin

urmare, leqatura ionica tipica se va manifesta In cazul unor compusi


binari In care cornponentii

acest sistem, In afara de wolfram,

coeziunea

care au pe patura exterioara cate un singur electron, si cei provenif de

77 = 0,681.

Tn

acesti

fac parte din grupe extreme

(,,diametral

opuse") ale sistemului periodic (eel mai des din grupa a 1-a i grupa a
VII-a). Dupa cum se stie, ionii poseda confiquratil electronice stabile cu
invelisuri electronice exterioare ocupate.

taliu, (3-titan, f3-zirconiu, f3-hafniu, a-cram, -fier, y-uraniu, s-plutoniu.

Sunt trei tipuri principale de structuri cristaline considerate

ca

apartinand cristalelor ionice: structura de tip clorura de cesiu, structura


d - Alte tipuri de structuri cristaline caracteristice metalelor
Foarte putine metale cristalizeaza

de tip clorura de natriu i structura de tip tluorine.

In structuri diferite de cele

prezentate mai sus.

numesc

Astfel, In reteaua cubice simpt cristalizeaza a-poloniul.

In

reteaua

ortorombics

cristalizeaza:

reteaua

ca In realitate

toate

au si o components
care intr-adevar

In unele cazuri este foarte slaba, dar In alte cazuri (pentru explicarea
unor proprietati) trebuie luata obligatoriu In considerare.

galiu,

a-neptuniu,

plutoniu, a-uraniu.

In

,,ionice", pentru

covalenta a leqaturi' lor chimice (v. 3.9), components

reteaua tetreqonele cristalizeaza: indiu, y-mangan, f3-neptuniu,

f3-staniu, 8-plutoniu, f3-uraniu, protactiniu.

In

Trebuie rnentionat ca toate aceste cristale numai prin traditie se

Pentru un anumit cristal cu leqaturi ionice se poate calcula gradul


de ionicitate ( exprimat de obicei In procente si care indica cat la suta din

romboedrice

cristalizeaza:

arseniu,

mercurul (In stare solida), f3-poloniu.


a-plutoniul crlstalizeaza

lntr-o retea monoclinice.

bismut,

stibiu,

leqatura

cristalina

totala

este

ionica

3.9)).

BAZELE FIZICII SEMICONDUCTORILOR

116

117

Capitolul I - Structura cristalina a materialelor semiconductoare

1.18.2Principalele tipuri de structuri caracteristice cristalelor ionice

dupa

a. - Structura de tip clorura de cesiu (CsCI)

cunoscute daca se indica coordonatele atomice ale celor doi ioni.

diagonala

mare

a cubului).

Aranjamentul

i orientarea

sunt

in structura clorurii de cesiu (CsCI) componenta ionica a leqaturii

Asezand baza In fiecare nod al retelei cubice vom constata ca o

este foarte puternica. Cesiul este, dupa cum se stie, metalul care are o

parte dintre ionii de clor (sapte din cei opt) apartin unor celule vecine. in

electronegativitate

acest caz, sunt reprezentati numai acei ioni care .apartin" celulei initiale

foarte mare si, din acest motiv, gradul de polarizare

cubice.

In acest tip de structura cristalina este foarte ridicat.


Reteaua spatiala a clorurii de cesiu este cublca slrnpla. Baza
este formata din doi ioni: un ion pozitiv monovalent,

Cs+, care are

coordonatele

atomice (000), i un ion negativ monovalent , Cl", avand

coordonatele

atomice

(ii;)

(Fig. 1.64 ). Prin urmare, baza si, in

consecinta, lntreg cristalul sunt neutre din punct de vedere electric.

in celula elementara, ionii respectivi sunt situati In nodurile unei


retele cubice cu volum centrat. lonul de clor, aflat In centrul cubului fiind
inconjurat

de opt ioni de cesiu care se gasesc In varfurile

cubului

respectiv (cifra de coordinatie este deci 8). Distanta dintre doi ioni vecini
de semn contrar este a.J3 , a fiind latura cubului. Se poate constata
2
UOr ca reteaua cristalina de tip clorura de cesiu se poate obtine prin
lntrepatrunderea

a doua retele cubice simple, formate de ionil de cesiu

si, respectiv de clor, deplasate In directia diagonalei mari a cubului cu o


lungime eqala cu jurnatatea acestei diagonale.
+

Se poate demonstra ca momentul electric dipolar total al ionilor


este nul (In cazul In care nu se ia In considerare aqitatia termica [3, 29]).

Astfel,

elementare

se poate considera

Am aratat ca la formarea structurii cristaline, baza trebuie sa-i


pastreze nemodificata cornpozitia (In acest caz, union Cs+ i un ion Cl"),
aranjamentul
orientarea

(distanta dintre ioni este .J3a I 2, a fiind latura cubului) i

(dreapta care unete centrele celor doi ioni este orientata

dipolar

total al celulei

ca fiind egal cu suma geometrica a momentelor celor opt

dipoli orientati dupa diagonalele


Fig. 1.64. Modul de formare a structurii de tip clorura de cesiu (CsCI):
(a)- reteaua cubics simple: (b)- modul de dispunere a bazei forrnata
dintr-un ion Cs+ ~i un ion Cl : (c) ~ structura crtstalina a clorurii de cesiu
(au fost retunuti numai ionii care apartin celulei elementare)

momentul

dipoli are o sarcina

pozitiva

mari ale cubului. Fiecare dintre acesti

+e/8 (fiecare ion monovalent

de cesiu

apartinand la 8 celule care au un varf comun) i o sarcina neqativa -e/8


(ionul monovalent de clor participa la formarea a 8 momente dipolare)
situate la distanta

'

aJ3
2

una de cealalta.

BAZELE FIZICII SEMICONDUCTORILOR

118

Structura
caracterizaf

de tip CsCI

nu este lntalnita

numai

la cornpusf

printr-o components tonica puternlca a legaturii chimice, dar

119

Capitolul I - Structura cristalina a materialelor semiconductoare

situat la o distanta eqala cu jurnatatea diagonalei mari a cubului. Raza


ionului de sodiu este mai mica decat cea a ionului de clor (Tabelul 1.7).

si la unele faze ale catorva aliaje metalice.


in Tabelul 1.5 sunt prezentaf

cr(222J

principalii cornpusi i unele aliaje

cu structura cristalina de tip CsCI si sunt indicate de asemenea valorile

222

laturii a a celulei elementare cubice.

Substanta (aliajul)

I
I

4, 11

NH4CI

3,87

Tl Br

3,97

Cu-Zn (alarna f3)

2,94

Tll

4,20

Ag-Mg

3,28

Cs Br

4,29

Al-Ni

2,88

Csl

4,57

Be-Cu

2,70

a (A)

Cs Cl

--'-----

aliaje care cristalizeaza In structuri de tip CsCI

I
l

l
I
I
I

'""

,','1

'
\

'

.C. - .1 - - ~ -

Tabelul 1.5. Dimensiunile celulei elementare pentru unii compusi si

a (A)

,'1 \
I
I

I
I

Substanta

r----------.;r

1 .... '....,
I
I

7',

r- -- -~- -

: ,'

I
I
I
I
I
I

I
.I
I
I
I

""_""'+

'""
\

I
4I

'\:,., ,'
----------"'
(b)

(a)

(c)

b ~ Structura de tip clorura de natriu (NaCl)


Structura cristalelor de clorura de sodiu este formata din cationi

(e)
(d)

de sodiu (Na+) i anioni de clor (Cl"), fiecare ion de un anumit tip fiind
legat de sase ioni de semn contrar (vecini de ordinul lntai) printr-o
leqatura puternica de tip electrostatic. Cifra de coordinatie este 6. Gradul
de ionicitate este mai mic In comparatie cu reteaua de tip CsCI (v. relatia
(3.92)).
Retaua Bravais a structurii

Fig. 1.65. Modul de formare a structurii de tip clorura de natriu (NaCl):


(a) - reteaua cubica cu tete centrate; (b) - modul de asezare a bazei;
(c) - structura de tip NaCl; (d) - Celula structurii de tip NaCl.
Se indica cu mici segmente de dreapta dirsctia In care se qaseste eel de al doilea atom
al bazei; (e)- cubul ABCDA1B1C1D1 cu care se poate obtine structura, daca se
deplaseaza cu o distanta a (latura cubului) dupa directia axelor cristalografice.

de tip NaCl este cubica cu fete

Intrucat distanta dintre cei doi ioni care forrneaza baza este mare
si nurnarul de noduri este de asemenea mare, celula structurii de tip
centrate.

Baza

coordonatele

este formata

(000)

si

din doi

ioni:

une ion de Na+ avand

un ion Cl avand coordonat le

atomice

(222J
222

NaCl cuprinde

si ioni de clor de la celulele vecine. in acelasi timp,

asezand ionii de natriu In nodurile celulei cubice cu fete centrate, ionii de


clor corespunzatori

var apartine unor celule vecine. Pentru a scoate In

f1

BAZELE FIZICII SEMICONDUCTORILOR

120

evidenta acest fapt, in Fig. 1.65d, pentru fiecare ion s-a indicat, prin mici

Capitolul I -Structura cristalina a materialelor semiconductoare

Tabelul 1.6. Parametrul celulei elementare (latura cubului) pentru unii


cornpusi care cristalizeaza in structura de tip NaCL

segmente de dreapta, directia in care se gasete eel de-al doilea ion cu


care primul ion forrneaza baza.
Au fost de asemenea trasate unele directii in celula elernentara
(Fig. 1.65c si 1.65d) pentru a putea indica mai UOr pozitia unor ioni.
Structura
distanta

de tip NaCl

poate fi obtinuta

prin deplasarea

cu

(a fiind latura cubului) dupa cele trei dlrectli a unei celule

cubice cu varful in A, care confine patru ioni de Na+, avand coordonatele


atomice (Fig. 1.65e):

(ooo) (22oJ (2o2J (o-11J


'

22

'

2 '

22

si patru ioni Cl" avand coordonatele atomice

( 2) (oo (o ) (2oo)
222'

2'

'

121

Cristalul
LiF
LiCI
Li Br
Lil
NaF
NaCl
Na Br
Nal
KF
KCI
KBr
Kl

a (A)
4,02
5,13
5,50
6,00
4,62
5,64
5,97
6,47
5,35
6,29
6,60
7,07

Cristalul
RbF
Rb Cl
Rb Br
Rbl
CsF
AqF
AqCI
AqBr
MgO
MqS
MqSe
Cao

a (A)
5,64
6,58
6,85
7,34
6,01
4,92
5,55
5,77
4,21
5,20
5,45
4,81

Cristalul
CaS
Case
Ca Te
SrO
SrS
SrSe
SrTe
Bao
Bas
Ba Se
BaTe

a (A)
5,69
5,91
6,34
5,16
6,02
6,23
6,47
5,52
6,39
6,60
6,99

c - Structura de tip fluorina (CaF21

Fluorina este denumirea mineralogica a florurii de calciu (CaF2).


Latura unui cub elementar este a . Distanta dintre doi ioni vecini cu
'
2
'
sarcini diferite este de asemenea

!!.. .
2

(Ca2+) sunt situaf in varfurile si centrele fetelor unui cub, iar ionii negativi
de fluor (F-) sunt situati pe diagonalele

suprapunerea a doua retele cubice cu fete centrate, una formats din ioni
se intrepatrund

cubului la distanta de 1 /4 de

varfuri (Fig. 1.66). Se observa ca in acesta structura doi ioni negativi de

Structura de tip NaCl poate fi considerata ca fiind forrnata prin

er, care

a structurii de tip fluorina, ionii pozitivi de calciu

lonii negativi de clor i cei pozitivi

de natriu se succed periodic dupa cele trei directii principale.

de Na+ si cealalta din ioni

in celula elernentara

F- sunt corelati cu un ion pozitiv de Ga2+, ceea corespunde


generale A2+B2-.

una in alta pana la

jumatatea muchiei cubului, care constituie celula elernentara.


in structura de tip NaCl cristalizeaza,
nurnar

mare

de

semiconductoare:
mare

parte

substante,

care

foarte

multe

un

au Insusiri

~F-

hidrurile alcaline, majoritatea halogenurilor alcaline, o

dintre

alcallno-pamantoase
in Tabelul 1.6.

dintre

in conditi' obisnuite,

oxizi,

sulfurile,

seleniurile

i telururile

metalelor

s.a. Cateva dintre aceste substante sunt cuprinse


Fig. 1.66. Structura de tip ftuorina

formulei

BAZELE FIZICII SEMICONDUCTORILOR

122

Capitolul I -Structura cristalina a materialelor semiconductoare

Tn structurile

1. 18.3 Unele observatii cu privire la structura cristalelor ionice

mentionate,

Dupa cum am aratat in 1.10, prin definirea razei atomice si a


o anurnita structura

cristalina

tanqenti

unul la

celalalt,
Sa considerarn

razei ionice, putem considera

ionii se considera

123

ca fiind

alcatuita din sfere rigide (cu raze determinate) tangente intre ele.

ca unul dintre ioni are raza mai mare, rM, si

celalalt are raza mai mica,

rm.

Tn acest caz, un mod de aranjare a ionilor

poate fi eel reprezentat in Fig. 1.67. Se poate observa ca toti ion ii sunt
tanqenti.

Tn cazul cristalelor ionice, distanta dAc dintre dintre doi ioni A i B

Insa aceasta

are loc numai daca este satisfacuta conditia

2(rm + rM )2

2d2 = (2rM )2

de semn contrar, cei mai apropiati, este eqala cu suma razelor ionilor
sau

respectivi, adica

(1.96)

(1.95)

care rezulta direct din triunghiul dreptunghic isoscel ABC din Fig. 1.67.

relatie verificata cu suflcienta precizie.


Astfel, pentru marea majoritate a halogenurilor

alcaline dAc nu

difera cu mai mult de 2 % de suma razelor anionului


respectiv.

Fae exceptie

i cationului

cornpusii LiCI, LiBr i Lil, pentru care suma

Din (1.96), gasim

r.
rm

_M_=--="\12

~ -1

t:

+1=2 41

(1.97)

'

razelor este mai mica decat distanta dAc cu 6%, 7% i respectiv 8% si,

Exista deci o valoare "critica" a acestui raport care ar permite

de asemenea, cornpusii NaBr i Nal pentru care suma razelor este mai

realizarea unei structuri de tipul celei prezentate in Fig. 1.67. Astfel de

mica decat distanta dAc cu 3%, respectiv 4%.

aranjament al ionilor ii lntalnirn in cazul structurii de tip NaCl, in Fig. 1.67

Prin urmare, printr-o impachetare

"cornpacta" a unor astfel de

fiind reprezentati ionii din planul (100).

sfere s-ar putea forma cristale de tip NaCl sau CsCI. Cunoscand valorile
razelor ionice se pot calcula, cu precizie de

pana la cateva procente,

parametrii celulelor elementare .respective. Totusi, intrucat relatia (1.95)


este verificata

cu o anumita

aproxirnatie,

atribuirea

anumitor

valori

pentru razele ionice nu este univoca. Intr-adevar, prin .distanta dintre doi
ioni vecini cei mai apropiati" noi inteleqem
dintre centrele ionilor respectivi.

intotdeauna

Insa marimea

distanta minima

rA + re nu se modifica

daca, de exemplu, se rnaresc razele anionilor cu o cantitate constants 11r


si, in acelasi timp, se rnicsoreaza razele cationilor cu aceeasi cantitate

11r, adica rA --+ rA + 11r i 'e --+ r8 -11r .

Fig. 1.67. Aranjarea In cristal a ionilor cu raze diferite. Cazul


cand raportul rezelor are valoarea critica rM I rm= J2+1. Aici d
este distanta dintre centrele a doi ioni tanqenti diferlti,
iar rM si rm sunt razele celor doi ioni.

BAZELE FIZICII SEMICONDUCTORILOR

124

Capitolul I -Structura cristalina a materialelor semiconductoare

125

In acest caz, distanta


dintre doi ioni vecini de natura diferita este
'
Daca rM!rm este mai mic decat 2,41, ceea ce lnseamna ca rm are
valoare mai apropiata de

ru,

d = J2.rM, tnsa este dtferita de suma rm+ rM a razelor ionilor respectivi.

atunci poate exista cazul din Fig. 1.68a,

cand ionii cu raze mai mari nu mai sunt tanqenti intre ei ci numai cu ionii
cu raza mai mica (tnsa distanta dintre doi ioni vecini eel mai apropiati

0 discutie sirnilara se poate face i pentru structura de tip CsCI.

Insa In acest caz trebuie sa tinern seama ca fiecare ion de

er

are opt

vecini cei mai apropiati.

este eqala cu suma razelor ionilor respectivi).

Pentru valoarea critica a raportului dintre raze, In cazul structurii


NaCl, se gasete
rM = ~ ( F3 + 1) = 1, 3 7
rm 2

(a)

care este mai mica decat cea gasita pentru structura de tip NaCl.
Valorile unor parametri caracteristici pentru cristalele ionice ale
halogenurilor alcaline sunt prezentate in Tabelul 1.7.
Se poate observa ca numai pentru constantele LiCI, LiBr i Lil,
raportul razelor ionice rMlrm depaseste valoarea critics egala cu 2,41.
Pentru aceste cristale Insa, valorile lui d sunt foarte apropiate de valorile
rnarirnilor J2.r M pentru cazul respectiv (indicate intre paranteze drepte

(b)

in Tabelul 1.7).
Raportul razelor ionice reprezinta o importanta deoseblta in
,,prezicerea" tipului de structura crlstauna In care ar putea cristaliza un
a

campus binar. In cazul In care rMlrm ~ 1,37 este probabila formarea unor
structuri de tip CsCI, iar daca 1,37 ~ rM/rm ~ 2,41 se forrneaza o structura

Fig. 1.68. Aranjarea ionilor tn planul (100) pentru o structura cristalina de t!p Nac.1
(a este latura cubului): (a) - cazul In care i.onii cu raza mai. mar~ sunt tangen~1_numa1. cu
cei cu raze mai mici; (b)- cazul In care 1on11 cu raze rnai man sunt tanqenti rntre e1.
(d este distanta dintre doi ioni diferiti vecini)

de tip NaCl.
Raportul razelor ionice determina de asemenea cifra de
coordinatle a cristalelor ionice, fiind cu atat mai mare cu cat diferenta

Daca din contra, rM este prea mare, atunci ionii cu raza mare
devin tanqenf cu alti ioni de raza mare, iar ionii cu raza mica ,,pierd
contactul" cu primii, ocupand poziti, interstitiale (Fig. 1.68b).

dintre dimensiunile ionilor este mai mica. La dimensiuni egale ale ionilor,
cifra de coordinatie maxima este 12.
Cifra de coordinatie depinde insa si de gradul de polarizare a
leqaturii

cristaline.

BAZELE FIZICII SEMICONDUCTORILOR

126

Tabelul 1.7. Valorile razelor ionice sunt indicate, Tn A, ln paranteze


imediat dupa
(in A) dintre
suma razelor
In paranteze

simbolurile ionilor respectivi; d este distanta


doi ioni vecini de ordinul intai; r: + r" este
ionice (in A); rM!rm este raportul razelor ionice.
drepte sunt indicate valorile teoretice ale

.J2.rM

(de asemenea, in A). Datele din tabel sunt

rnarirnii

Capitolul I -Stmctura cristalina a materialelor semiconductoare

1.19. Structura cristalelor covalente (atomice)


Caracteristicile legaturilor covalente (atomice) vor fi prezentate Tn

3.7.

r-+ t
TM/rm

cr(1,81)
d
r- + r+

rM!rm
Br- (1,95)
d
r- + r+

rM!rm

(2,16)

r t
rM!rm

In

acest capitol

vom descrie

doar principalele tipuri de structuri

cristaline in care predornina acest tip de legatura chimlca.


Leqatura

luate [138, 139].

F- (1,36)
d

127

covalenta Tntre un anumit atom i atomii vecini se

realizeaza prin forte de interactiune de schimb intre electronii cu spini

Lt (0,60)

Na+ (0,95)

K+ (1,33)

Rb+ (1,48)

Cs+ (1,69)

2,01
1,96
2,27

2,31
2,31
1,43

2,67
2,69
1,02

2,82
2,84
1,09

3,00
3,05
1,24

2,57
2,41
3,02
[2,56]

2,82
2,76

3, 15
3,14

3,29
3,29

3,57
3,50

structura de tip diamant;

structura grafitului;

1,91

1,36

1,22

1,07

structura seleniului i telurului.

2,75
2,55
3,25
[2,76]

2,99
2,90

3,30
3,28

3,43
3,43

3,71
3,64

2,05

1,47

1,32

1, 15

3,24
3, 11

3,53
3,49

3,67
3,64

3,95
3,85

2,27

1,62

1,46

1,28

opusi ai atomilor respectivi ( 3. 7).

3,00
2,76
3,60
[3,05]

Principalele

tipuri

de structuri

cristaline

in

care

predomina

leqatura covalenta sunt:

a - Structura de tip diamant


Diamantul este o modificatie alotropica a carbonului. Se gasete
foarte rar Tn natura.

In

stare pura, diamantul este incolor, transparent

avand cea mai mare duritate dintre toate substantele

i un punct de

topire foarte ridicat.


Aceste

proprietati

ale diamantului

sunt determinate,

in foarte

mare rnasura de structura lui cristalma i de caracteristicile fortelor care


Analizand structurile cristaline a peste 1000 de cornpusi (oxizi,
fluoruri s.a.), Shannon i Prewitt" au intocmit un tabel cu valorile razelor
ion ice pentru principalii ioni ai elementelor sistemului periodic.
Determinarea cu cat mai mare precizie a razelor ionice constituie

determina coeziunea acestei structuri.


Structura cristalina de tip diamant se formeaza, pornindu-se de la

(~~~J

o retea cubica cu fete centrate, asociind fiecarui nod al retelei o baza


formats din doi atomi de carbon avand coordonatele (000) i

o problems deosebit de irnportanta i de mare actualitate.


(Fig. 1.69). Atomii

444

1 i 2 (Fig. 1.69) forrneaza baza care este apoi

asezata in fiecare nod al retelei cubice cu fete centrate. Dupa cum se


observe in Fig. 1.69, sunt fiqurati numai atomii de carbon care apartin
celulei cubice cu fete centrate. De asemenea, se indica si modul de
1

R.D. Shannon, C.T. Prewitt, Acta Crystallographica, B25 (1969) 929.


R.D. Shannon, Acta Crystallographica, A32 (1969) 925.

BAZELE FIZICII SEMICONDUCTORILOR

128

realizare a leqaturilor covalente dintre atomi.

In

acest tip de structura, fiecare atom are patru atomi vecini cei

Capitolul I -Structura cristalina a materialelor semiconductoare

129

Se poate arata usor, ca celula elementara se poate imparti in 8


celule cubice identice (Fig. 1. 70).

mai apropiati, cu care se leaqa covalent. De exemplu, atomul 2 (Fig.

Celula elernentara a structurii de tip diamant are opt atomi: opt in

1.69) se leaqa covalent cu atomii 1, 3, 4 i 5. Se poate constata UOr ca

varfuri (colturi), sase pe fete i patru in interior. Calculul nurnarului de

atomii 1, 3, 4 si 5 se qasesc in varfurile unui tetraedru regulat, in centrul

atomi se face folosind relatia (1.5).

caruia se qaseste atomul 2. Din acest motiv, o astfel de structura se


spune ca este tetraedrica sau ca in structura cristalina a diamantului
leqaturile (cristaline) sunt tetraedrice.

l
Fig. 1.69. Structura cristalina a diamantului.
Se poate observa caracterul tetraedric al leqaturilor,

In

majoritatea monografiilor de fizica semiconductorilor structura

cristalina de tip diamant este reprezentata sub forma din Fig. 1.70, fiind

Fig. 1.70. Structura cristalina de tip diamant [168].


Baza este AB. Atomii B, B', C si C' sunt in centrele unor tetraedre regulate.
Atomii din varfuriie acestor tetraedre fac parte din celula.

In

structura

de

tip

diamant

cristallzeaza

elementele

semiconductoare din grupa a IV-a a sistemului periodic: Si, Ge i a-Sn.

preluata din cartea lui SHOCKLEY1 publicata in 1950 [168]. In Fig. 1. 70

Deci un cristal de siliciu va avea celula sirnilara cu aceea

originea axelor cristalografice se alege in punctul A, baza fiind formata

prezentata in Fig. 1.69 cu deosebirea ca in locul atomilor de carbon vom

din atomii A si B. Pentru atomii din varfurile cubului i de pe fetele


acestuia sunt indicate i directiile leqaturilor covalente.

avea atomi de siliciu, iar latura cubului va fi mai mare (a


pentru diamant, a

0,543 nm pentru siliciu i a

0,356 nm

0,566 nm pentru

germaniu).
1

W.B. SHOCKLEY (premiul Nobel pentru Fizica in 1956) descopera in 1948, impreuna cu J.
Bardeen ~i W.H. Bratain, tranzistorul ~i explica modul de functionare al acestuia.

Reteaua de tip diamant are un grad de compactitate mai redus,

130

17

BAZELE FIZICII SEMICONDUCTORILOR

= 0,34,

ceea ce reprezinta aproximativ 46% din factorul de

compactitate a unei structuri cu aranjament compact.


Tendinta atomilor de a forma ieqaturt directionate In spatiu
asiqura o coeziune maxima cristalelor de tip diamant.

Capitolul I -Structura cristalina a materialelor semiconductoare

131

cenusie, este opac, are luciu metalic, lasa urrna pe hartie. Prin lncalzire
la temperaturi ridicate, In absenta aerului, diamantul se transforms In
grafit.
Grafitul are o structura cristallna hexaqonala stratificata (Fig.
1. 72). Distanta dintre doi atomi din acetasl strat este de 1,42 A, iar
distanta dintre doua straturi succesive este 3,35 A.
1,42 A

Fig. 1.71. Structura cristalma de tip diamant


privita perpendicular pe planul (111)

Privita dintr-o dlrectie norrnala la planul (111 ), structura de tip

Fig. 1. 72. Structura cristalina a grafitului

diamant are forma prezentata In Fig. 1.71. Se observa ca In acest tip de


structure, are loc o grupare a volumelor libere care determina formarea
unor canale dupa anumite dlrectil. Acest fapt prezinta o deosebita
irnportanta

In procesele de impurificare controlata a materialelor

semiconductoare. Canalele respective usureaza difuzia unor atomi


straini (de anumite dimensiuni) In cristalele de acest tip.

In structura cristatina a grafitului, fiecare atom de carbon este


legat de alti trei atomi din acelasi strat (de doi atomi din stratul respectiv
prin legaturi covalente simple i de al treilea printr-o leqatura dubla,
astfel ca tetravalenta atomului de carbon este satisfacuta), Coeziunea

intre straturi este slaba realizandu-se prin forte van der Waals (v. 3.4).
Cifra de coordinatie a retelei grafitului este 6.

b - Structura cristalina a qrafitului


Grafitul este o alta rnodificatie alotropica a carbonului. Se
gasete In natura In cantitati mari. Cateva caracteristici: are culoare

Aceasta structura specifics explica si puternica anizotropie a


proprietatilor mecanice i electrice ale grafitului. Exista si o rnodificatie
rornboedrica

grafitului.

BAZELE FIZICII SEMICONDUCTORILOR

132

Capitolul I -Structura cristalina a materialelor semiconductoare

133

c - Structura cristalina a seleniului si telurului


Structura cristalina a seleniului ~i telurului derlva de la o retea
hexaqonala cornpacta. Cele doua elemente fac parte din grupa a VI-a
principala a sistemului periodic.
Seleniul prezinta mai multe rnodificatti alotropice: seleniul amorf,
seleniul rosu (cu structura rnonoclinica) si seleniul cenusiu (gri) (care are
structura cristalina hexaqonala).
Seleniul cenusiu (numit de multe ori ~i ,,seleniu metalic'') este
modificatia

cea

semiconductoare.

mai

stablla,

avand

interesante

proprietatl

Seleniul amorf (obtinut de regula prin racirea rapida a


(a)

topiturii sau, sub forrna de straturi subtiri, prin evaporare terrnica in vid)
se transforms,

chiar la temperatura

camerei, in seleniu hexagonal

(b)

(la

temperatura de 150C aceasta transformare are loc foarte rapid).


Fig. 1.73. Structura cristalina a seleniului ~i telurului.
(a)- celula elernentara a structurii;
(b) - proiectiile atomilor din catene pe un plan
paralel cu baza prismei hexagonale.

Telurul are o sinqura rnodificatie alotropica, ~i anume telurul cu


structura cristalina hexaqonala.
Reteaua cristalma a seleniului ~i telurului este formata din lanturi
(catene) alungite si spiralate de atomi, care se qrupeaza in jurul unor
canale

interne,

dispuse

paralel

cu

axa

celulei

elementare

Prezinta
proprietatile

interes faptul

ca cele doua elemente

semiconductoare

semiconductoare,

i~i pastreaza

~i dupa topire (in general, materialele

prin topire, capata caracteristici metal ice) [22,85, 159].

hexagonale (Fig. 1.73).


Se poate arata, ca aceasta

structura

provine de la o retea

hexaqonala cu o baza forrnata din trei atomi [57, 65, 152].

1. 20 Structura crlstallna a unor cornpusl semiconductori

Tntre atomii din lungul catenelor leqaturile chimice sunt covalente,

Cornpusii

semiconductori

binari

(cornbinatii

semiconductoare

lnsa intre catene leqatura este slaba, realizandu-se prin forte van der

binare) sunt cornpusi chimici (nu aliaje, amestecuri etc.) care au doua

Waals.

componente in formula lor chimica. Acestia sunt imparMi de regula in


Proprietatile

mecanice,

electrice

etc. ale Se si Te prezinta o

puternica anizotropie, determinata de structura lor cristalina specifica.

,,grupe" sau ,,tipuri" de cornpusi in functie de pozitia componentelor


sistemul

periodic

al elementelor.

Se folosesc

diferite

in

notatiii pentru

aceste grupe de cornpusi, De exemplu, A11Bv1 indica cornpusi formati prin


interactlunea elementelor din grupa a II-a (Cd, Zn, Hg) ~i a VI-a (S, Se,

134

BAZELE FIZICII SEMICONDUCTORILOR

135

Capitolul I -Structura cristalina a materialelor semiconductoare

Te) a sistemului periodic (de exemplu, sulfura de cadmiu (CdS), sulfura

care ii pot pune in comun formand o legatura covalenta, asernanator cu

de zinc (ZnS), seleniura de cadmiu (CdSe) etc.)

formarea legaturilor covalente tetraedrice in cristalele de tip diamant.

Grupa, din sistemul periodic, din care


face parte componentul respectiv

Numai ca spre deosebire de structura de tip diamant, unde leqatura se

I I

A11B~1
Alte
notatii
Exemple

II-VI
2-6
CdS
ZnS
Cd Se
Zn Se

I I
A111B~
111-V
3-5
Al Sb
In Sb
Ga Sb
GaAs

I I

realizeaza intre atomi de aceeasi natura, si neutri din punct de vedere


electric, in cornpusii de tipul A111Bv participa la formarea acestor leqaturi

I I

doi ioni rnonovalenti de semn contrar. Evident, intre cei doi ioni va exista

A/1B3ti1
t t

Nurnarul de atomi din


element in compus

;;i o components ionica a ieqaturii si, prin urmare se va forma o legatura


mixta (covalenta ;;i ionica) in care cernponenta covalenta este mai

ln2Se3
ln2Te3
Ga2Se3
Ga2Te3

puternica decat cea ionica (v. 3.9).


Cornpusil A11Bv' au in cornpozitie elemente din doua grupe mai
.Indepartate" de grupa a IV-a. Vom exemplifica modul de formare al
leqaturilor in acest tip de compusi prin explicarea leqaturii cristaline in

Fig.1.74. Schema pentru notatia generala a cornpusilor binari

sulfura de zinc, (compus a carui structura cristalina este ti pica pentru


foarte multi cornpusi binari) luand deocamdata in considerare in special

Leqatura cristalina in acesti cornpusl este rnixta: ionica ;;i


covalenta. Se pot stabili unele caracteristici generale (reguli) referitoare
la natura leqaturii cristaline in cornpusii binari.

In

cristalele elementelor

din grupa a VIII-a (He, Ne, Ar etc.) predomina leqatura van der Waals
( 3.4). Structurile cristaline ale elementelor semiconductoare din grupa

a IV-a (Si, Ge, f3-Sn), o grupa .centrala" a sistemului periodic, au leqaturi


covalente.
Cornpusf binari de tipul A111Bv sunt formati din elemente din doua
grupe ,,adiacente" (,,simetrice")grupei a IV-a. Cristalele acestor cornpusi
au ;;i o components covalenta a leqaturii dar ;;i o components ionica. In
acest caz, elementul din grupa a V-a (As. Sb, P etc) cedeaza un
electron elementului din grupa a Ill-a (In, Ga, Al etc). Ca urmare a
acestui schimb, se forrneaza ioni pozitivi rnonovalenti ai elementului din
grupa a V-a ;;i ioni negativi monovalenf ai elementelor din grupa a 111-a.
Ambele tipuri de ioni au lnsa cate patru electroni pe invelisul exterior pe

aspectele care se refera la structura cristalina a acestui campus.


Se ;;tie ca zincul face parte din grupa a II-a a sistemului periodic
al elementelor, avand pe lnvelisul exterior doi electroni, iar sulful
apartine grupei a VI-a ;;i are pe invelisul exterior ;;ase electroni. S-ar
putea crede ca atomul de zinc va ceda doi electroni celui de sulf si, in
consecinta, se vor forma ionii bivalenf Zn2+ ;;i

s",

fiecare ion avand

lnvelisurile exterioare ,,complete".

In

realitate, atomul de zinc prirneste doi electroni de la eel de

sulf, devenind ion negativ bivalent, Zn2-, iar sulful, in urma acestui
schimb devine ion pozitiv bivalent S2+.

Insa

in acest mod, cei doi ioni

formaf au cate patru electroni pe lnvelisurile exterioare si ii pot folosi


pentru formarea unor leqaturi covalente, in acelasi mod in care se
forrneaza leqaturile covalente intre atomii de carbon in structura de tip
diamant ( 1.19). Numai ca, ;;i in acest caz, spre deosebire de structura
de tip diamant, in care leqaturile se realizeaza intre atomi (neutri), in

BAZELE FIZICII SEMICONDUCTORILOR

136

structura de tip Zn8 leqaturile


urmare, In afara componentei

se realizeaza lntre ioni bivalenti.

cazul cornpusilor
interactioneaza

A111Bv,

ion zn2-

Prin

covalente a Ieqaturi', In structura de tip

sulfurs de de zinc exista i o components


pentru

sunt rnonovalenti

avand coordonatele

coordonatele atomice

ionlca mai puternica decat In

ca In acestia

(222J
444

atomice (000) si un ion de 82+ avand


(Fig. 1.75).

din urrna, ionii care

(nu bivalent' ca In cazul cornpusilor

-~---:
:

Gradul de ionicitate (v. 3.9) poate fi calculat folosind formula lui

A11Bv1).

/_....-

>

Pauling, (3.92).

Acest tip de legatura

cristalina

137

Capitolul I -Structura cristalina a materialelor semiconductoare

rnixta, covalenta

I
1.
I

I roruca, o

I
I

I
I
I

intalnlrn la cornpusil binari care se supun ,,regulii 8 - N' (cu 2::; N::; 7 ).

I
I
I

Aici N indica grupa din sistemul periodic din care face parte unul (de
requla, primul) dintre componentii

compusului

I
I

binar respectiv. Astfel de

cornpusi au formula generala ANss-N, adica sunt compusi de tipul A"Bv'


sau de tipul A111Bv.
Fig. 1.75. Structura cristalina de tip blenda (de zinc)

8-a aratat deja ca legatura chimica In cornpusii de tipul A'Bv"


(NaCl, CsCI, etc) este preponderent ionica.

Ca i In cazul structurii de tip diamant, structura de tip blenda

Am prezentat aici, lntr-o forrna mult sirnpliflcata, caracteristicile


ieqaturi'

mixte ionlca i covalenta,

Vom reveni cu o prezentare

mai

poate fi obtinuta

prin lntrepatrunderea

a doua retele cubice cu fete

centrate (una fiind formata din ioni de zinc, iar cealalta din ioni de sulf)

detaliata (i mai riquroasa) In capitolele urrnatoare.

deplasate una fata de cealalta cu un sfert din diagonala mare (spatiala)

a - Structura cristalina de tip blenda de zinc (blenda sau sfalerit)

a cubului. $i structura de tip blenda

In

structura crlstalina de tip blenda (blenda de zinc) cristalizeaza

un nurnar foarte

mare

de cornpusi

semiconductori

binari

(sulfuri,

acestia din urma fiind situatl In varfurile unui tetraedru regulat (Fig.1.76).
Distanta dintre doi ioni diferiti, vecini de ordinul tntai este

aJ3 I 4.

0 celula cubica a structurii de tip blenda cuprinde 8 ioni (4 ioni de

8tructura cristatina de tip blenda de zinc (sulfura de zinc cubics)

Reteaua spatiala este cubica cu fete centrate, ca si In cazul

este o structura tetraedrica, fiecare

ion de o anurnita specie fiind lnconjurat de patru ioni din cealalta specie,

seleniuri, telururi etc.).

este asernanatoare cu structura cristalina de tip diamant.

1J

Zn2- i 4 ioni de 82+) fiind neutra din punct de vedere electric. Calculul
numarului de ioni din celula se face tinand seama ca aceasta celula are

refelei de tip diamant, lnsa baza este forrnata din doi ioni bivalenti: un

Blenda (blenda de zinc) este denumirea mineralogies a unei modificatii alotropice a sulfurii de
zinc (a-ZnS) a carei structura cristalina se formeaza de la o retea spatiala cubica,

BAZELE FIZICII SEMICONDUCTORILOR

138

Capitolul I -Structura cristalina a materialelor semiconductoare

139

8 ioni in varfurile cubului, 6 ioni pe centrele fetelor !?i 4 ioni in interiorul

exista deosebiri in modul de aranjare !?i orientare a tetraedrelor

acestuia. Prin urmare, in conformitate cu (1.5), putem scrie

adiacente in structura de tip wurtzit in ccrnparatie cu cea a blendei de


Zn

4+62+82=8

(Fig.

1.79).

(b)

(a)

Fig. 1.76. Structura cristalina de tip blends de zinc (cublca).


Sunt scoase In evidents leqaturile tetraedrice.
(a) - celula elernentara a structurii de tip blends de zinc;
(b) - unul din cele opt cuburi tn care poate fi lmpartita celula elernentara.

Fig. 1.77. Structura de tip blenda de zinc (cubica) privita din drrectia [111].

Privlta in directia [111] (adica dupa o diaqonala a cubului)


aranjarea ionilor in structura de tip blends arata ca in Fig. 1. 77. Se
observa existenta unor plane formate din ioni de aceeasi specie care
sunt normale la dlrectia [111]. Ca si in cazul structurii de tip diamant,
Fig. 1.77 scoate in evidenta existents unor canale paralele cu directia
[111 ], care pot facilita difuzia atomilor strain! in cristalele cu acest tip de
structura,
b - Structura cristalina de tip wOrtzit
Fig. 1.78. Structura cristalina de tip wOrtzit.

Wurtzitul (wurtzita) este o alta rnodificatie alotropica a sulfurii de


zinc (~-ZnS). Structura cristalina a wurtzitului deriva de la o retea
hexaqonala si are cifra de coordinatie 4 (Fig. 1. 78). Structura cristalina a
wurtzitului este de asemenea tetraedrica . Se poate constata Insa ca

In

cazul structurii de tip blends de zinc triunghiul care forrneaza

baza tetraedrului este rotit cu 60 in raport cu triunghiul de baza a


tetraedrului

vecin.

140

BAZELE FIZICII SEMICONDUCTORILOR

CAPITOLUL II
(a)

STUD/UL EXPERIMENTAL AL STRUCTURII


MATERIALELOR SEMICONDUCTOARE

(b)

Fig. 1.79. Aranjamentul atomic In structura de tip wOrtzit(a)


si In structura de tip blenda de zinc (b ).

Asezarea atomilor in structura de tip diamant este similara cu


aceea a structurii de tip blenda de zinc, deosebindu-se de aceasta din
urma prin faptul ca atomii care formeaza sistemul sunt identici.

2.1 Microscopia metalografica


2.1.1. Consideratii generale

Microscopia metaloqrafica este una dintre cele mai raspandite


metode de studiu a structurii cristaline. Aceasta metoda este folosita cu
succes pentru studiul unor detalii structurale de la suprafata cristalelor
sau din interiorul acestora. Tn acest din urrna caz, din esantioanele
masive se detaseaza anumite portiuni de mici dimensiuni (denumite
slifuri)

care sa reflecte cat mai fidel caracteristicile structurale ale

esanionului respectiv.
Microscopia metaloqrafica este nelipsita in laboratoarele uzinale
fiind utllizata cu succes pentru efectuarea unor testari care sa contribuie
la urrnarirea ii controlul unor procese tehnologice (prepararea diferitelor
tipuri de aliaje, sisteme multifazice sau materiale compozite; verificarea
unor piese obtinute prin turnare, forjare, prelucrare la rece etc.), controlul
efectelor tratamentului termic, stabilirea cauzelor aparitiei unor defecte
structurale

s.a,

BAZELE FIZICII SEMICONDUCTORILOR

142

Tn

Capitolul II - Studiul experimental al structurii materialelor semiconductoare

143

diverse variante modernizate, microscoapele metalografice

reflexie totals 7'. Microscoapele metalografice fabricate in ultimul timp

sunt utilizate in laboratoarele de cercetari de fizica (fizica metalelor,

sunt prevazute cu ambele dispozitive de deviere, folosindu-se dupa

fizica semiconductorilor, straturi subtiri etc.), cristalografie, mineralogie ~i

dorinta una sau alta dintre variante.

altele. Dintre alte utilizari ale microscopiei metalografice, amintim:


~Obs.

punerea in evidenta a litnitelor (domeniilor) dintre cristalite intr-un


material

policristalin

(strat

subtire),

determinarea

dimensiunilor

cristalitelor, recunoasterea structurii i a texturii probelor, determinarea


raportului dintre faze in cazul compusilor multifazici, punerea in evidenta
a domeniilor de magnetizare a esantloanelor feromagnetice sau

I II
I II

ferimagnetice s.a.

7'

3 2

2.1.2 Principiulde constructiesi functionare


a microscopulum
i etalografic
(a)

Microscoapele optice nu pot fi utilizate pentru tipul de cercetan

(b)

mentionate mai sus, deoarece probele respective, fiind opace (chiar in


Fig. 2.1. Schema de constructie a microscopului metalografic:
(a) - cu lama sernitransparenta; (b) - utilizarea unei prisme cu reflexie totala.
1 - sursa de lurnina: 2 - lentila colimator; 3 - filtru monocromatic;
4 - polarizor; 5, 6 - sistem de diafragme; 7 - lama sernitransparenta:
7' - prisma cu reflexie totala: 8 - lentila obiectiv;
9 - analizor; E - esantionui de studiat.

cazul grosimilor mici), nu pot fi studiate prin transmisie. Din acest motiv,
cu microscoapele metalografice se obtin inforrnatii despre structura
probelor din analiza luminii reflectate. Se foloseste de requla lumina
polarizata, unele domenii de pe suprafata probei putandu-se comporta

Utilizarea lamei din sticla are avantajul ca Iasa deschiderea

diferit in ceea ce priveste reflexia luminii polarizate.


Principiul constructiv al unui microscop metalografic este
prezentat in Fig. 2.1 [61, 118, 147, 148]. Fasciculul de radlatii luminoase

obiectivului complet libera, lnsa introduce unele reflexii suplimentare ale


razelor care vin de la proba.

In

de la sursa 1, trece printr-o lentila condenser 2, un filtru de lurnina 3 (cu

continuare, razele tree prin obiectivul 8 si, dupa reflexia pe

care se obtine lurnina rnonocrornatica), un polarizer 4 (polarizorul se

esantionul E, traverseaza analizorul 9 si ocularul 10, ajunqand, in final,

poate monta inaintea lentilei condensoare), cu care se obtine lurnina

in ochiul observatorului. In unele variante imaginea poate fi captata pe o

liniar polarizata, i o serie de diafragme 5,6. Devierea fasciculului spre

placa

proba se face fie cu ajutorul unei lame semitransparente cu fete plan


paralele (inclinata la 45 fata de fasciculul incident), 7, fie cu o prisrna cu

fotoqrafica.

BAZELE FIZICII SEMICONDUCTORILOR

144

2.1.3. Metode de preparare a probe/or


Probele folosite au dimensiuni
esantioane

mai mari se folosesc,

145

Capitolul II - Studiul experimental al structurii materialelor semiconductoare

Datorita puterii foarte mari de rezolutie (de requla, aprox. 1A),

mici, iar in cazul analizei unor

microscopul electronic permite sa se studieze in mod direct sisteme de

slifuri [24, 25]. Ele se

dimensiuni foarte mici (agregate de atomi sau molecule). Microscopul

in general,

separa cu mare grija din materialul de studiat prin procedee mecani~e

electronic permite studiul direct al planelor reticulare, a diferitelor tipuri

( dalti speciale,

de defecte structurale, urrnarirea in direct (in situ) a diverselor procese

structura

materialului

reflectanta
reactivi.

dispozitive

speciale

respectiv.

prin slefuire,

Prin corodare

de taiat etc.) care nu rnooifica

Se realizeaza

lustruire,

corodare

apoi suprafata

(atac chimic)

plana

cu diversi

(in urma unor reactii chimice intre materialul

care au loc in fizica semiconductorilor

de faza, procese de magnetizare etc.), procese biologice la nivel celular

~.a.

esantionului i reactivul chimic folosit, se dizolva un strat de la supraf~ta


esantionului)

se inlatura stratul superficial care in urma operatiilor

de

slefuire (lustruire etc.) poate avea defecte de structura suplimentare,


tensiuni mecanice s.a.

Performantele

[61, 66, 107]: formarea, in urma unor reactii chimice, a unor cornpusi

cu microscopul.

Colorarea

constituientilor

structurali

dintr-un

esantion se poate face, in afara de atacul chimic, i prin tncalzire. Se pot


utiliza de semenea
Incalzire.

Reactivii

microstructurale

i ambele
utilizati

procedee:

pentru

atac chimic cu reactiv i

punerea

in evidenta

a detaliilor

sunt nurnerosi, depinzand de natura materialului studiat

sunt determinate

de

cu microscopul respectiv. Puterea de separatie a unui

microscop este finita (lirnitata), fapt datorat fenomenelor de difractle ale


fasciculelor care participa la formarea imaginilor.
Cu cat distanta d dintre cele doua puncte care pot fi puse in
evidenta distinct este mai mica, se spune ca microscopul are o putere
de separatie (putere separatoare) mai mare. Daca 2a este deschiderea
obiectivului ( considerata din punctul de pe axa optics in care este situat
obiectul), atunci, in conformitate

cu relatia lui Abbe, putem scrie [86,

150, 227]

si de scopul special al atacului chimic [25, 43, 72, 118].


d
unde

2.2 Microscopiaelectronlcii

electronic

optic) reprezlnta distanta minima dintre doua puncte vecine care Inca se

(oxizi, sulfuri etc.) care pot fi pusl UOr in evidenta (de exemplu, dupa
culoare)

unui microscop

puterea /ui de rezolutie (separatie), care (analog cazului microscopului

mai vad separat

Atacul chimic urrnareste i alte scopuri, dintre care rnentlonarn

( deformatll plastice, transforrnari

n este

= 0,61A
nsina

(2.1)

indicele de refractie a spatiului obiect, iar A este lungimea

de unda a radiatiei folosite la iluminarea obiectului.


Microscopia electronica

a devenit un mijloc deosebit de eficace

in investigarea structurii corpurilor solide. La baza acestei rnetode stau


proprietatile
proprietati

de propagare
asernanatoare

sl focalizare

a fasciculelor

cu cele ale radiatiei

microscopul optic [15, 43, 59].

luminoase

de electroni,
folosite

In

Din (2.1 ), se observa ca distanta d este cu atat mai mica, cu cat


,,t este mai mic. Utilizarea fasciculelor

de electroni permite realizarea

acestei cerinte,
Intr-adevar,

daca un fascicul de electroni este accelerat,

aplicarea unei tensiuni de accelerare U, impulsul electronilor,

p, va fi

prin

BAZELE FIZICH SEMICONDUCTORILOR

146

p=.J2meU
2

(relatie obtinuta din m;

(2.2)

Capitolul II - Studiul experimental al structurii materialelor semiconductoare

respective pot fi create fie de catre electrornaqneti,

Dupa tipurile de lentile folosite, microscoapele electronice pot fi:


electrostatice, magnetice sl mixte.

A-=!!_=
h
p .J2meU

(2.3)

m si e fiind aici masa (de repaus) i respectiv sarcina electronului, iar h -

0 alta clasificare a microscoapelor electronice tine seama de


modul de formare

imaginilor. Din acest punct de vedere,

microscoapele electronice, pot fi [61, 147, 148]:


microscoape cu reflexie (de baleiaj) (SEM -

constanta lui Planck.

Scanning

Electron Microscope) In care imaginea se produce prin

Din (2.3) rezulta ca, In principiu, lungimea de unda, A-, asociata

reflexia electronilor de catre obiectul de studiat;

electronilor poate fi facuta oricat de mica, prin cresterea tensiunii de

Insa,

fie de rnaqnef

perrnanenti.

= ;m = eU ), iar lungimea de unda asociata

electronului va fi

accelerare U.

147

microscoape de (cu) transmisie (TEM -

In realitate, puterea de separatie a unui microscop

Transmission

electronic este mai mica decat cea teoretica, fiind deterrninata de

Electron Microscope), In care fasciculul de electroni strabate

posibilitatile de corectare a aberatiilor lentilelor care focalizeaza fasciclul

obiectul de studiat;

de electroni.

microscoape cu emisie, In care tnsusi obiectul de studiat


emite electroni;

Perfectionarea sistemelor de focalizare i al opticii electronice,


au condus la cresterea puterii de rnarire a microscopului electronic,

microscoape

autoelectronice,

care

folosesc

emisia

ajunqandu-se la puteri de rnarire de 107 - 108 ori i puteri de rezolutie de

electronica proprie (a obiectului) determinata de prezenta

aproximativ 1 A.

unui camp electric puternic;

T n microscoapele electronice se folosesc In calitate de sisteme

microscoape cu explorare de camp, In care formarea imaginii

de focalizare a fasciculului de electroni lentile magnetice, electrostatice

obiectului se realizeaza cu ajutorul electronilor secundari

sau mixte. In principiu, lentilele electrostatice sunt realizate cu ajutorul

ernisi de obiect, fasciculul de electroni primari de mica

unor diafragme metalice, care, prin aplicarea unor diferente de potential

intensitate

electric, permit obtinerea unor carnpuri electrice ale carer suprafete

respectiv;

echipotentiale (asernanatoare cu suprafetele unei lentile din sticla

microscoape cu umbra, In care imaginea finala de pe ecran

obisnuite) var actions asupra fasciculului de electroni In mod similar cu

reprezinta umbra obiectului de la o serie de surse de

actiunea unei lentile din sticla asupra unui fascicul de lumina.

electroni de dimensiuni foarte mici.

Focalizarea fasciculelor de electroni poate fi realizata i cu

In

exploreaza

("matura")

suprafata

obiectului

cele mai numeroase investiqatii se folosesc Insa doua dintre

ajutorul unor lentile magnetice, care creaza carnpuri magnetice

aceste tipuri: microscopul electronic de transmisie (TEM) i microscopul

constante care poseda o simetrie axiala. Carnpurile magnetice

electronic de baleiaj (SEM), care au ajuns astazi la perforrnante

BAZELE FIZICH SEMICONDUCTORILOR

148

deosebite,

care, In anumite

directii,

se apropie

mult de limita

ultima

performante

Microscoapele electronice de diferite tipuri au In cornponenta lor


elemente

comune,

cum ar fi: tunul

de electroni,

electrostatice sau magnetice, sistemul de obtinere a vidului

s.a [61, 148,

wolfram In forma de V, cu dimensiunea vafului de aproximativ

situata

fast

realizate

tunuri

electronice

cu

din La85 sau care functioneaza

cu

Principalele caracteristici ale unui tun electronic sunt: stralucirea,

f] ( defmita ca fiind densitatea

de cu rent In fasciculul

de electroni

unitatii de unghi solid) si diametrul fasciculului de

electroni la iesirea din tunul electronic, d0.

100 m),

un anod (polarizat pozitiv la tensiunea de lucru a microscopului,

au

ridicate confectionate

corespunzatoare

Tunul electroniceste alcatuit dintr-un catod (un filament din

vreme

149

emisie In camp [61, 148].

lentilele

157, 195].

a.

In

lor

tsoretica.

anumite

Capitolul II - Studiul experimental al structurii materialelor semiconductoare

sa alba perforrnante ridicate, f] trebuie sa

Pentru ca microscopul

fie cat mai mare sl do cat mai mic. Pentru cazul tunurilor electronice cu

de obicei lntre 1 si 50 keV) i un cilindru Wehnelt (care este dispus In

filament din wolfram, f]

jurul filamentului si este polarizat pozitiv la un potential de pana la 500 V,

pentru tunurile electron ice mai performante, f] poate avea valori de 107

avand rolul de a opri electronii

108 A.cm-2 .steradiari ' si do ::; 10 A [148].

de joasa energie ernisi de filament,

deviindu-i spre perefii cilindrului) (Fig. 2.2.) [15, 59, 75, 148].

b.

104

106 A.cm-2 .steradian ' i d0 > 50

A, Insa,
-

Sistemele de lentile (lentila condensor, lentila obiectivsi

lentilade proiectie) sunt eel mai frecvent lentile magnetice (sisteme de


bobine avand In interior piese polare magnetizate la saturatie) i produc
o focalizare
actiunea

aceste

(reducerea

diametrului)

a fasciculului

unor torte Lorentz cu orientari

i marirn' adecvate.

lentile, distanta focala poate fi variabila

mtensitatile

curentilor

utilizati

de electroni,

pentru alimentarea

sub

Pentru

fiind determinata

de

lor. Ca i lentilele

optice, lentilele magnetice prezinta aberatil care trebuie, pe cat posibil,


corectate.

c.

Sistemul de vid, din coloana (tubul) microscopului (prin care

se propaqa fasciculul de electroni) are o mare irnportanta In functionarea


microscopului.

Realizarea unui vid tnalt (< 10-5 Torr) (la microscoapele

de ultima generatie, cu pompe turbomoleculare


Fig. 2.2. Schema de constructie a unui tun electronic
cu filament de wofram sub forma de ,,v'':
1 - filament; 2 - cilindru Wehnelt; 3 - anod; 4 - fascicul de electroni
(d0 - diametrul fasciculului de electroni); 5 - linii echipotentiale,

pana

la 10-10 Torr)

reduce lmprastierea

se realizeaza un vid de

electronilor

pe atomii din

atmosfera coloanei si, ca urmare, puterea de rezolutie a microscopului


crests.

BAZELE FIZICII SEMICONDUCTORILOR

150

Capitolul II - Studiul experimental al structurii materialelor semiconductoare

151

2.3. Microscopia electronica de baleiaj


2.3.2. Mecanismud
l e formare a imaginii
2.3.1. Schema constructiva

Mecanismul de formare a imaginii in microscopul electronic cu

Tn Fig. 2.3 este prezentata schema constructiva a unui microscop

baleiaj este fundamental diferit de modul cum are loc acest proces in

electronic de baleiaj. Principalele parti componente au fost deja

microscopul optic (inclusiv in microscopul metalografic) ~i

descrise. Acestea pot fi grupate in urrnatoarele [61, 75, 148, 169]:

chiar in

microscopul electronic de tranmisie.

sistemul care produce ~i focalizeaza pe proba fasciculul de electroni

Pentru a interpreta corect o imagine obtinuta cu microscopul

( sistemul iluminarelimagine);

electronic de baleiaj, trebuie sa avem cat mai multe lnforrnatii referitoare

sistemul care culege si arnplifica semnalele fizice care apar la

la fenomenele care pot avea lac la lnteractiunea fasciculului de electroni

interactiunea fasciculului de electroni cu proba de studiat (sistemul

cu materialul din care este confectionat esantionul de studiat.

de cu/egere a informatiilor);

In

sistemul care produce pe cale electronica o imagine conventionala a

urma acestor interactiuni se pot genera urrnatoarele particule

~i unde electromagnetice1):

probei (sistemul de formare a imaginii);

Electroni Auger2), care iau nastere ca urmare a unor procese de

sistemul care realizeaza vidul din tubul microscopului (sistemul de

ionizare interna a atomilor materialului probei, urmata de o rearanjare a

vid).

electronilor pe invellsurile electronice, lnsotita de emisia unui electron a


carui energie este caracteristica tipului de atom care I-a emis. Electronii
Auger au energii mici ~i din acest motiv sunt rapid absorbiti In volumul
probei ~i numai electronii qeneraf lntr-un strat superficial cu grosimea
de 2 - 1 O A pot sa paraseasca proba. Analiza acestor electroni (cu
spectrometrul Auger) ofera numeroase informati' despre structura ~i
caracteristicile atomilor din stratul superficial al probei.
Electronii secundari sunt emisi de atomii de la suprafata probei In
urma mteractiunii acestora cu electronii (nurniti primari) din fasciculul
......- ..
E

1---1 Sistem electronicde

formare a ima inii

incident. Ei au energii de pana la 50 eV ~i pot parasi suprafata probei


numai daca sunt qenerati la o adancirne mai mica de 500 A. Prin studiul

~ Spre pompade vid


1

Fig. 2.3. Schema consfructiva a unui microscop electronic cu baleiaj:


1 - tun electronic; 2 - sistem de diafragme; 3 - lentila condensor;
4 - lentile obiectiv; 5 - bobine de deflexie (baleiaj); 6 - astigmator;
7 - detector de radiatii: 8 - detector pentru electronii secundari
li)i retrolrnprastiati: E - esantion,

Cititorul poate gasi informatii pretioase detaliate despre caracteristicile acestor interactiuni in
monografiile care se refera la.aceasta tema [15, 59, 75, 148, 169, 184].
2
In anul 1925, fizicianul francez Pierre Victor AUGER descopera fenomenul de autoionizare a
unui atom excitat prin emisia unui electron de pe un invelis electronic apropiat de nucleu (efectul
Auger) [26, 37, 157, 169]. In fizica semiconductorilor se intalneste fenomenul de recombinare
Auger, in care energia rezultata prin recombinarea unei perechi electron-go! este tranmisa unui alt
purtator de sarcina, care efectueaza o tranzitie pe un nivel energetic superior [45, 52, 121].

BAZELE FIZICII SEMICONDUCTORILOR

152

acestor electroni se pot obtine inforrnatii

referitoare la topografia

Capitolul II - Studiul experimental al structurii materialelor semiconductoare

153

interactiunii neelastice a acestora cu electronii din fasciculul folosit

suprafetei probei, confiquratia unor campuri electrice de la suprafata,

pentru investigare. Depinzand

structura domeniilor de magnetizare s.a.

radiatia ernisa se prezinta fie sub forma unui spectru continuu (rezultat

de caracteristicile acestei lnteractini,

Electronii retrolmprastiati provin din fascicuful primar de efectroni

In urma proceselor de franare a electronilor incidenf In campurile

care, In urma unor ciocniri cu atomii probei, li rnodiflca In asa fel

coulumbiene din proba), fie sub forma unui spectru de linii (caracteristic)

traiectoria i energia, lncat reusesc sa paraseasca proba prin aceeasi

(cane electronii fasciculului pot scoate electroni de pe paturile interioare

suprafata pe care a cazut fasciculul de electroni incident. Electronii

ale atomilor probei, iar revenirea atomului In stare fundarnentala se face

retrotrnprastlatl au energii mai mari, putand ajunge chiar la energii egale

cu emisia unui foton X) (v. 2.5). Analiza radiatiei X caracteristice (care

cu cele ale electronilor lncidenti. Din acest motiv, ei pot sa provina de fa

poate fi obtinuta de la adancirni de maximum 5 m de suprafata probei)

distante de pana la aproximativ 1000

A de suprafata probei. Prin analiza

poate furniza informatii despre compozltia chirnica a probei studiate.

lor se pot obtine inforrnatf privind topografia suprafetei i mai ales


cornpozitia chirnica a diferitelor domenii ale probei.

Electronii absorbiti reprezinta fractiunea din fluxul de electroni


incidenti care In urma unor ciocniri neelastice succesive li micsoreaza
''

'

foarte mult energia. Daca proba este leqata la rnasa, prin intermediul
unui instrument de masura (Fig. 2.4), poate fi evatuata intensitatea
curentului de electroni absorbitl. Valoarea acestui curent depinde de
puritatea ~i perfectiunea structurala a probei, grosimea acesteia si, mai
ales, In cazul probelor monocristaline (sau policristaline cu orientare
preferenttala

a cristalitelor), de unghiul de incidenta a fasciculului de

electroni. lntensitatea curentufui poate oferi informatii despre compozftia


chimlca a probei, natura si concentratia defectelor structurale s.a.

Electronii transmisi prin proba sunt acei electroni care strabat


proba (In special cane aceasta are grosime mica) si pot fi apoi detectaf
In ceea ce priveste nurnarul i energia lor. Acestia pot furniza unele
mforrnatn referitoare la tipul de structura cristalina, cornpozitta chimica a

probei etc, dar sunt mai putin utilizati In microscopia electronica de


baleiaj.
Radiatia X poate fi ernisa de catre atomii din proba In urma

Fig. 2.4. Prezentarea schematica a lnteractiurrii unui fascicul de electroni cu substanta:


1 - fasciculul de electroni incident; 2- electroni Auger; 3 - electroni secundari;
4 - electroni retrolmprastiati: 5 - radiatie X caracteristica: 6 - electroni transrnisi;
7 - catodolurniniscenta: A - amplificator pentru rnasurarea electronilor absorbiti;
dE - grosimea esantionului: dA, ds, dR - adancimile de ernerqenta a electronilor Auger,
secundari ~i respectiv a electronilor retrolrnprastiati.

Catodoluminiscenta

consta

electromagnetice din domeniul vizibil

In

emisia

unei

radiatii

In urma unor procese de

BAZELE FIZICII SEMICONDUCTORILOR

154

recombinare1),
turniniscentei

Capitolul II - Studiul experimental al structurii materialelor semiconductoare

155

catodo

mai mare decat timpul necesar interactiunli ,,complete" a fasciculului de

permite obtinerea de inforrnatii privind pozitia unor stari

electroni primari cu proba i deci mai mare decat timpul necesar

In

materiale

semiconductoare.

Studiul

energetice aditionale In banda mterzisa a unui semiconductor, distributia

qenerarii tipului de particule i unde enumerate In . 2.3.2).

In volumul probei a unor atomi de impuritare s.a,

2.3.3. Formarea imaginilorin microscoapelecu baleiaj


Formarea imaginii In acest tip de microscop este un proces
complex. lmaginea nu este formats de catre electronii care provin din
12

tunul electronic i nici a celor care sunt transrnisi prin proba, Aceasta
este o imagine conventionala, o "harta" a probei construlta electronic pe
ecranul unui monitor TV.
In Fig. 2.5 [61, 75, 148] se prezinta schematic modul de formare
a imaginii (sunt implicate componentele din partea inferioara din schema
constructive a microscopului prezentata In Fig. 2.3).

Particulele i

radiatiile generate In urma lnteractiunii fasciculului initial de electroni cu


materialul probei de studiat sunt puse In evidenta utilizandu-se diferite
tipuri de detectori [9, 61] (contori cu scintilatir, detectoare de radiatri cu
corp solid s.a.) In functie de inforrnatiile pe care dorim sa le obtinern
despre caracteristicile probei.
Fasciculul de electroni ajunqand la prima bobina de baleiaj este
deflectat fata de axa optica. Cea de-a doua bobina de baleiaj produce o
noua deflexie, In urma careia fasciculul traverseaza axa optica ajungand
la proba, Cele doua deflexii determina o baleiere a probei cu o anurnita
viteza (cornandata de catre un generator de baleiaj).

In

functie de

aceasta viteza, timpul de "stationare" a fasciculului de electroni pe o


anurnita portiune a suprafetei probei are o anurnlta valoare
1

(care este

Recombinarea reprezinta procesul de "anihilare" a perechilor de purtatori liberi electron-go! sau


a unui purtator liber ~i a unuia localizat etc. In aceste procese in care purtatorii de sarcina liberi
devin localizati are loc o disipare de energie. Dupa modul de disipare a energiei procesele de

Fig. 2.5. Formarea imaginii in microscoapele electronice cu baleiaj (SEM) [61, 148, 184]:
1 - lentila obiectiv; 2 - bobine de deflexie (baleiaj); 3 - diafraqrna de aperture;
4 - fascicul de electroni; 5 - detector pentru electronii secundari :;;i retrolmprastiatl:
6 - detector de radiatii X; 7 - detector pentru radiatia optica (catodcluminiscenta),
8 - detector pentru punerea in evidenta a electronilor absorbiti: 9 - detector pentru
electronii tranrnisi: 10- generator de baleiaj; 11 - amplificator; 12 - monitor TV;
E - esantionul de studiat.

Semnalul primit de la detectori, dupa amplificare, este utilizat


pentru a modula In intensitate fasciculul de electroni emis de tubul
catodic al unui monitor TV i care baleiaza (sincron cu baleierea
suprafetei probei) suprafata ecranului acestuia. Tn conseclnta, mteractiunea
fasciculului de electroni primari cu diferite domenii ale suprafetei
probei va fi reprodusa pe ecran. Intrucat fasciculul de electroni
interactioneaza

diferit

cu

diferite

regiuni

ale

probei

(datorita

caracteristicilor specifice ale acestor regiuni, cum ar fi: defecte


recombinare pot fi: radiante (fotonice), neradiante (fononice), Auger (in care energia este tranmisa
unui al treilea purtator).

BAZELE FIZICII SEMICONDUCTORILOR

156

Capitolul II - Studiul experimental al structurii materialelor semiconductoare

157

structurale, prezenta unor atomi de lmpuritati, etc.), "rezultatul" acestor

Pentru analiza suprafetelor de rupere a materialelor, perrnitand

interactiuni

Auger,

obtinerea unor informatii referitoare la mecanismul de rupere, In

retrolmprastiati, intensitatea radiatiei X emise s.a.) va fi diferit [75, 131,

scopul evitarii In viitor a cauzelor care determina acest proces.

145, 171].

lmaginile obtinute In acest caz (numite fractoqrame) ofera informatf

(nurnarul

de

electroni

secundari,

lnterpretarea imaginilor este facuta

electroni

luandu-se In considerare

'

'

despre modul de rupere (fragil, ductil) determinat de factori externi

fenomenele care determina semnalele de la diferite regiuni ale probei

(suprasarcina de lntindere, forfecare sau lncovoiere).

[ 15' 147' 157].

De asemenea, microscopul electronic de baleiaj este folosit cu


succes In metalurgia pulberilor, punandu-se In evidenta structura

2.3.4. Unele aplicatiiale microscopiee


i lectronicede baleiaj
in functie de tipul microscopului electronic, dimensiunile probelor

suprafetelor acestora, prezenta unor oxizi, fisuri etc.


Caracterizandu-se prin puteri de rnarire ridicate, rezolutii lnalte,

studiate pot fi de pana la 15 - 25 mm. Aceste probe trebuie sa aiba o

valori mari ale adancirnii carnpului, microscopul electronic cu baleiaj se

conductivitate electrics mare. in caz contrar, electronii absorbitl

foloseste, In prezent, pe scara larga In cele mai diverse i importante

deterrnina o tncarcare electrostatica a probei, care poate produce unele

domenii ale stiintei si tehnicii: fizica, chimie, stllnta materialelor, biologie,

descarcari electrice lntre proba i suport si, ca rezultat, calitatea imaginii

rnedicina, aqricultura s.a.

este influentata puternic. Din acest motiv, probelor confectionate din

in fizica starf solide este folosit de asemenea intens acest mijloc

materiale neconductoare ( ceramice, mase plastice etc.) trebuie sa Ii se

de investigare pentru obtinerea unor informatii utile referitoare la:

metalizeze suprafata care urmeaza sa fie studiata. in general, aceasta

orientarea cristalitelor In esantioanele policristaline, studiul proceselor de

operatie se reallzeaza prin depunerea (eel mai frecvent prin pulverizare

recombinare In semiconductori, studiul defectelor structurale In cristale,

catodica In vid) a unui strat subtire (cu grosimea de cateva sute de A)

studiul mecanismelor de formare a straturilor subtiri s.a,

dintr-un material conductor cu coeficient de emisie secundara mare (Au,


Ag, etc). Grosimea i natura stratului conductor precum i modul de
depunere a acestuia trebuie riguros analizate pentru a lnfluenta cat mai
putin procesele care au loc ca urmare a interactiunii electronilor primari
cu suprafata probei si, prin aceasta, sa se obtina inforrnatii cat mai
corecte despre suprafata studiata,
Microscopul electronic de baleiaj este utilizat:
Pentru studiul structurilor metalice, perrnitand punerea In evidenta a
structurilor fine (incluziuni, faze etc.) care nu pot fi observate cu
ajutorul microscopului metalografic.

2.3.5. Microanaliza cu radiatiiX in


microscopiaelectronica de baleiaj
Microanaliza

cu radiatii

X este o analiza chirnica care s-a

dezvoltat In cadrul microscopiei electronice de baleiaj. Principiul de


functionare al acestor echipamente, numite spectrometre, se bazeaza
pe faptul ca radiatia X ernisa (caracterizata fie prin lungimea sa de unda,
fie prin energia cuantei respective) depinde de natura atomilor probei
(de nurnarul de ordine a acestor atomi) si de procesele de autoabsorbtie
din proba (determinate atat de atomii care emit radiatia X, cat i de catre

BAZELE FIZICII SEMICONDUCTORILOR

158

Capitolul II - Studiul experimental al structurii materialelor semiconductoare

159

ceilalti atomi). Astfel, intensitatea radiatiei X de o anumita lungime de

mare nurnar de probe etalon i folosesc programe complexe pentru

unda da informatii asupra naturii atomilor care emit si asupra

prelucrarea spectrelor obtinute.

concentratiei

lor in proba. Metoda permite determinarea concentratlei in

care un anumit tip de atomi se afla tntr-un anumit volum investigat. Cu

2.3.6. Spectroscopia de electroni Auger

alte cuvinte, putem efectua o analiza elernentala calitativa i cantitativa,

Mecanismul emisiei electronilor Auger a fast descris in 2.3.2.

Numai ca, spre deosebire de metodele clasice de analiza chimica, aici

Numai electronii Auger ernisi de atomii dintr-un strat cu grosimea foarte

obtinern informatli despre un domeniu foarte mic (se efectueaza o

mica (de cativa A) de la suprafata probei pot fi analizati. Ceilalti electroni

analiza pe microarii).

de acest tip, emisi de domeniile situate mai in adancimea probei sunt

Pentru detectarea radiatiei X emise de proba se folosesc, de


requla, doua tipuri de spectrometre:

absorbiti (datorita energiei lor foarte mici) i prin urmare nu parasesc

proba. Spectroscopia de electroni Auger (AES -

Auger Electron

Spectrometre cu dispersie dupa lunqimea de unda a radiatiei (WDS

Spectroscopy) permite obtinerea unor inforrnatii despre stratul de la

suprafata

Wavelength Dispersive Spectrometer), in care radiatia

din

probei

pe baza analizei

energiei electronilor Auger.

fasciculul incident este descompusa dupa lungimea de unda cu

Echipamentele respective (spectrometre Auger) permit analiza dispersiei

ajutorul unui cristal (radiatia de diverse lungimi de unda este

dupa energie a electronilor Auger cu detectoare speciale [38, 75, 92].

difractata sub anumite unghiuri);

Spectrele tipice obtinute prezlnta maxime (peak-uri) pentru

Spectrometre cu dispersie dupa enerqie (EDS - Energy Dispersive

anumite energii caracteristice anumitor elemente (identificate prin

Spectrometer), in care detectia dupa energie se realizeaza cu

compararea cu spectre standard). in general, elementele produc mai

ajutorul unui detector de radiatii X (in general o dioda din siliciu

multe peak-uri, tnsa unul sau cateva sunt predominante. Un spectru

dopat cu litiu) i un analizor multicanal.

Auger tipic este prezentat in Fig. 2.6. 0 atentie deosebita trebuie sa se

Cu ajutorul celor doua tipuri de spectrometre poate fi determinate

acorde starii suprafetei analizate, aceasta putand fi UOr contarninata de

cornpozitla chirnica a unei probe, modurile de distributie in proba a unui

diferiti factori (gaze absorbite sau adsorbite, reactii chimice, actiunea

anumit element, variatia concentratiei unui element dupa anumite directii

unor particule cu energii mari etc.). Curatarea suprafetei analizate se

.a.

poate face prin atac chimic sau prin pulverizare catodica (in care are lac
in

principiu, spectrele obtinute cu cele doua tipuri de

Incepartarea stratului de la suprafata care poate avea si defecte

spectrometre prezinta maxime (peak-uri) pentru radiatii X cu anumite

structurale), prin actiunea unor fascicule de atomi (ioni) cu rnasa mare

lungimi de unda, respectiv energii. Acestea sunt comparate cu spectrele

(de cele mai multe ori atomi de argon). Stabilirea concentratiei

standard ale unor esantioane confectlonate din monocristale (de lnalta

elementelor in probele studiate se realizeaza cunoscand intensitatea

puritate i perfectiune structurala) ale unor elemente cunoscute.

peak-urilor pentru anumite valori ale parametrilor care caracterizeaza

Microscoapele electronice moderne au baze de date pentru un

functlonarea spectrometrului. Se pot folosi probe de referinta (de

BAZELE FIZICII SEMICONDUCTORILOR

160

exemplu, din argint de foarte inalta puritate). Domeniile de energii in

Capitolul II - Studiul experimental al structurii materialelor semiconductoare

161

mult cu eel al unui microscop optic.

care sunt observate peak-urile diferitelor elemente este 0 - 1000 eV.

in Fig. 2.7 se arata schematic modul de formare a imaginii Intr-un


microscop electronic de transmisie, prin analogie cu un microscop optic.
Partile componente

1\J\j~ ~-1

\ II

electronic

de tranmisie

(tunul

electronic, lentilele, sistemul de realizare a vidului) au fast deja descrise


in

2.3.

~.i

ale unui microscop

Iv/
2~1~0... ~23-0-'---2~S0-1- ._27 a-,L._?~9C-,-'--J~10

sursa de lurnina
0

tun electronic

Energia cinetica (eV)

(b)

(a)

Fig. 2.6. Spectru Auger. In figura (b) este rnarita


portiunea Incadrada a spectrului din figura (a)
(dupa R.K. Wild, Vacuum, 31 (1981) 183)

Spectrometria

de electroni Auger este utilizata pe scara larga in

materialelor

pentru

stiinta
interfetel

unor jonctluni

studiul

domeniilor

sau heterojonctiuni,

intercristalite,

studiul

studiul mecanismelor

de

oxidare s.a,

2.4. Microscopia electronlca de transmisie


2.4.1.Principiul de constructie si functionare
Microscoapele

prin transmisie

utilizare. in principiu, functionarea

au in prezent o arie mare de

microscoapelor

de acest tip are la

baza efectul unui fascicul de electroni accelerati asupra caracteristicilor


l

'

Fig. 2.7. Formarea imaginii In cazul unui microscop optic (a)


~i In cazul microscopului electronic prin transmisie (TEM) (b)

structurale ale materialului de studiat. Pentru a putea fi pus in evidenta


fasciculul

de electroni transrnisi, trebuie ca grosimea esantionului

de

Fasciculul

de

electroni

rapizi

de

la tunul

electronic"

este

concentrat de o lentila condenser pe obiectul (esantionul) de studiat.

studiat sa fie mica.


Principiul de functionare a unui microscop de transmisie (TEM Transmission

Electron Microscope) este simplu, asernanandu-se

foarte

1
In mcroscoapele moderne fasciculul de electroni este accelerat in spatiul dintre catod si anod de
o diferenta de potential ce poate depasi 1000 kV.

162

BAZELE FIZICH

SEMICONDUCTORILOR

Lentila obiectiv produce o imagine intermediara rnarita a obiectului, care

Capitolul II - Studiul experimental al strncturii materialelor semiconductoare

163

grosimea acestuia. Efectul este caracteristic In special esantioanelor cu

este apoi rnarita de lentila proiector (de proiectie) (pentru microscopul

structure arnorfa.

optic, aceasta este lentila ocular). Pentru ca sa devina .vizibila",

In

Fig. 2.8 se prezinta schematic modul de obtinere a contrastului

imaginea electronica flnala a obiectului se forrneaza pe un ecran

prin imprastiere. Electronii Irnprastiati (sub unghiuri mai mari) de catre

fluorescent sau pe un tub captor de imagine cuplat la un calculator, fiind

esantion sunt absorbif de catre

astfel transformata lntr-o imagine Iurninoasa.

micrometri) situata In planul focal imagine a lentilei obiectiv.

Mecanismele de formare a imaginii In microscopul optic i In


microscopul electronic sunt diferite.

In

diafraqrna (cu deschiderea de cativa

Tn Fig. 2.8 se considera doua regiuni M i N din proba care (din

microscopia optica contrastul

cauza ca au grosimi diferite sau densitati diferite) lrnprastie in mod diferit

imaginii este determinat fie de dtferenta dintre coeficientli de absorbtie

fasciculul de electroni incident distribuit omogen pe suprafata acesteia.

pentru diferite domenii ale obiectului (In cazul microscopiei de

Daca lmprastierea este mai puternica in regiunea M, fasciculul de

transmisie), fie de diferenta dmtre coeficientii de reflexie a diferitelor

electroni emergent va avea un unghi de incidenta mai mare i atunci

domenii ale probei (cazul microscopiei optice prin reflexie).

In

cazul

diafragma poate opri (absoarbe) o parte din acesti electroni Imprastiaf

microscoapelor electronice, prezenta unor absorbtu (chiar foarte mici) ar

(Fig. 2.8), in timp ce fasciculul de electroni trnprastiati de regiunea N

duce la distrugerea obiectului, datorita energiei foarte mari a electronilor

trece in intregime prin diafraqrna. Pe ecranul receptor, imaginea PL a

din fasciculul principal. Din acest motiv, se alege In asa fel diferenta de

regiunii N va avea o luminozitate mai mare decat imaginea P1 a regiunii

potential de accelerare (deci viteza electronilor) i grosimea probei, Incat

M. Prin aceasta se pot obtine informatii referitoare la topografia

electronii sa traverseze proba aproape fara absorbtie. Pe de alta parte,

suprafetei probei.

pentru obtinerea imaginii, densitatea de electroni pe diferite sectoare ale

In

suprafetei receptorului trebuie sa fie diferita.

In

cazul in care, din anumite motive (grosime mare a obiectului,

caz contrar, evident,

modificarea caracteristicilor obiectului sub actiunea fasciculului de

lntreaga suprafata va fi iluminata uniform si deci nu va apare nici un fel

electroni s.a.) nu se poate evidentia topografia suprafetei, se foloseste

de imagine a obiectului.

metoda replicilor (un fel de mulaje a suprafetei sub forma unor straturi

Sunt trei mecanisme de realizare a contrastului in microscopia

subtiri).(. 2.4.3).

electronica prin transmisie: prin lmprastierea electronilor, prin difractia


electronilor i prin contrast de faza.

b - Contrastul obtinut prin difractie


Acest

mecanism

este

specific

esantioanelor

cristaline

2.4.2. Mecanisme de contrast

(policristaline) si are la baza fenomenul de difractie a electronilor pe

a - Contrastul obtinut prin Tmprastierea e/ectronilor

reteaua cristalina a acestor esantloane,

Electronii fasciculului pot suferi o lmprastiere in urma ciocnirii cu


atomii probei. Aceasta depinde atat de densitatea obiectului, cat i de

Exista doua variante tehnice pentru realizarea contrastului prin


difractie:

BAZELE FIZICU SEMICONDUCTORILOR

164

Contrastul In camp luminos (BFI - Bright Field Image

1));

148], ceea ce indica faptul ca fasciculele de electroni difractate ar putea

Tn conformitate cu legea lui Bragg, pentru difractia pe o familie de


dhkl

putem scrie

fi absorbite

dhkl

sin 2B

= nA-

(2.4)

unde A, este lungimea de unda asociata fascicului de electroni,

aproape

deschidere
imaginea

(v. (2.43))
2

165

gasesc din (2.4) unghiuri de difractie de aproximativ 5.10-3 radiani [61,

Contrastul In camp lntunecat (DFI - Dark Field Image).

plane cristaline lntre care distanta interplanara este

Capitolul II - Studiul experimental al structurii materialelor semiconductoare

In lntregime

de catre

o diafraqma

(a carei

este de cateva zeci de micrometri) (Fig.2.9). Tn acest mod,


In camp

luminos

(BFI) este obtinuta

numai cu fasciculul

nedifractat.

n (un

nu mar lntreg) este ordinul de difractie, iar Beste unghiul de difractie.

~
3
3
Fig. 2.9. Obtinerea contrastului prin difractie In camp luminos
(BFI - Bright Field Image): 1 - fascicul incident de electroni;
2 - fascicul de electroni difractat; E - esantion de studiat;
D - diafragma de apertura (ecran cu o fanta circulara),

Fig. 2.8. [rnprastierea diferentiata a unui fascicul de electroni In cazul


unui esantion care prezinta domenii (M, N) cu densitati diferite:
1 - fascicul de electroni incident; 2 - apertura: 3 - ecran;
E - esantlon.Pi - punct luminos; P1 - punct lntunecat.

Tn cazul contrastului In camp lntunecat (DFI), imaginea este data


Daca se considera difractia pe familia de plane
tensiuni de accelerare

dhkl

A, pentru

utilizate cu rent In TEM (800 - 1000 KV2)), se

de fasciculele
prin deplasarea

difractate. Aceasta se poate realiza In doua moduri: fie


diafragmei circulare pentru a putea transmite fasciculul

difractat, fie prin utilizarea unei diafragme


1

In ultima vreme aceste mecanisme sunt denumite de catre specialisti in limba engleza,
2 Din relatia (2.3) se pot calcula valorile lungimilor de unda corespunzatoare acestor tensiuni.

contrastului

In camp intunecat

inelare (Fig. 2.10). Varianta

este frecvent utilizata In TEM, tntrucat

BAZELE FIZICU

166

Capitolul II - Studiul experimental al structurii materialelor semiconductoare

SEMICONDUCTORILOR

167

permite obtinerea unor imagini cu contrast ridicat prin rnarirea timpului

2.4.3. Metode de cercetare a probe/orin microscopiaelectronica

de expunere.

Utilizarea cu succes a microscopiei electronice (SEM si

c - Contrastul de faza

TEM) in diferitele domenii ale fizicii corpului solid depinde in foarte mare

in acest caz, undele difractate de esantion interfera, obtinandu

rnasura de modul de preparare a probelor. Au fast elaborate numeroase

se Tn planul imagine un tablou de interferenta sub forma unor franje.

tehnici in vederea realizarii acestui scop i sunt numeroase monografii i

lnterfranja, i poate fi determinata din relatia [9, 75, 92, 184]

reviste (period ice) internationale de mare prestigiu in care sunt descrise

i=M-~-=Mdhkt
2smB

unde A, este lungimea de unda asociata electronilor,


difractie,

dhkl

tehnicile respective.

(2.5)

Aceste

B - unghiul de

in:

metode directe ~i metode

in cazul metodelor directe, preparatul

de studiat este introdus

direct in fasciculul de electroni al microscopului.


in

acest

transparent

----2

se clasifica

indirecte.

distanta dintre planele cu indici Miller (hkl), iar M marirea

liniara a microscopului respectiv [148].

metode

in straturi

sens,

fie

proba

se aseaza pe un suport

pentru fasciculul de electroni, fie este Incapsulata


foarte

subtiri, fie se confectioneaza

subtire
(inclusa)

din proba respectiva

straturi ultrasubtiri (subtierea probei).


Ultimul procedeu,

realizarea

de straturi ultrasubtlri

care pot fi

traversate de fasciculul de electroni, se face, in cazul corpurilor solide,


prin efectuarea

urmatoarelor

operatiuni succesive: confectionarea

unor

discuri cu grosimi de ordinul catorva zecimi de milimetru (in general, 0,2


-

0,3 mm);

grosimea

polizarea

devine

bombardament
~
4

....:.....,-:-;
4

rnecanica

0, 1 - 0,2 mm; polizarea

speciali)

pana cand

electrochimica

sau prin

ionic pentru a ajunge la o grosime de cateva sute de

A;

curatirea probei in bai cu ultrasunete .


Astfel

preqatite,

probele

speciale in calea fasciculului


Fig. 2.10 Obtinerea contrastului prin difractie. Formarea imaginii In camp lntunecat:
1 - fasciculul de electroni incident; 2 - diafraqrna: 3 - fascicul de electroni
nedifractat; 4 - fascicul difractat; E - esantion: D - diafraqma de aperture inelara.

(cu abrazivi

se aseaza

apoi pe nlste suporturi

de electroni. Aceste suporturi sunt sub

form a unor site metal ice (din nichel, bronz fosforos etc.) sau materiale
plastice (polivinil, polistirol s.a.) cu diametre de 2 - 3 mm i cu ochiuri de

0, 1 - 0,05 mm.

BAZELE FIZICII SEMICONDUCTORILOR

168

Metodele directe au dezavantajul

ca sunt metode distructive i

necesita operatii complexe, dificil de efectuat.

Capitolul II - Studiul experimental al structurii materialelor semiconductoare

straturilor subtiri prin aceasta rnetoda consta tn evaporarea terrnica" In


vid Tnalt a materialului

Metodele indirecte se mai numesc metode ale replici/or. Replicile


sunt straturi subtiri, dintr-un material avand caracteristici speciale, care

169

din care se doreste

sa se obtina stratul i

condensarea ulterioara a acestuia pe suprafata probei de studiat.


c) Replici cu strat subtire de oxid. in cazul Tn care se studiaza cu

se depun pe suprafata probei, capatand astfel relieful acestei suprafete,

microscopul

Cu ajutorul replicilor se realizeaza un fel de "mulaj" al suprafetei, relieful

temperaturi nu prea ridicate (Al, In, Sn etc.), atunci se poate obtine mai

replicii fiind un fel de "negativ" al reliefului suprafetei. Stratul subtire (cu

Tntai un strat de oxid la suprafata probei (In general prin incalzire Tn

grosimi de 500 - 1000 A) se desprinde de pe suprafata probei i este

atrnosfera de oxigen). Grosimea necesara a stratului oxidat se obtine

studiat

prin varierea temperaturii

cu ajutorul

microscopului

electronic

de transmisie.

Metoda

electronic suprafete metalice care se oxideaza In aer la

replicilor este frecvent utilizata pentru a investiga suprafete polizate cu

materialului

diferite

corespunzator,

materiale

abrazive

(cu

granulatii

de

diferite

dimensiuni),

suprafetele corodate chimic In anumite scopuri, suprafetele de ruptura


.a.

rarnas

si/sau a timpului de oxidare. Desprinderea

neoxidat

se

fie prin electrollza

face

fie

utilizand

un

solvent

[15, 61, 148]. Stratul de oxid se

analizeaza apoi cu microscopul electronic.


Se poate face o clasificare a replicilor i dupa numarul de etape

Diferitele tipuri de replici se clasifica tn functie de mai multe


criterii. Astfel, dupa natura materialului

din care sunt confectionate,

deosebim:

(trepte) care sunt parcurse In vederea realizarf acestor replici. Din acest
punct de vedere, avem:
a) Replici cu o sinqura treapta (monotreapta) sunt acele replici

a) Rep/ici din mase plastice. in acest caz, materialul

plastic se

obtinute direct de pe suprafata probei fie sub forma unui strat subtire

dizolva Tntr-un solvent organic dupa care solutia obtinuta se depune sub

(Fig. 2.11 a) fie sub forma unui strat cu grosime mai mare (Fig. 2.11 b ). in

forma

ambele cazuri, desprinderea

unui strat subtire,

solventul

se evapora,

pe suprafata

probei de studiat.

rarnane pe suprafata

un strat subtire

Dupa ce
solid a

replicii se realizeaza prin metode chimice

sau prin procedee mecanice [15, 61, 14 7].

materialului plastic respectiv. Stratul se desprinde de suprafata fie prin

b) Replici cu doua trepte. in acest caz, peste stratul cu grosime

procedee mecanice, fie prin metode chimice, folosind un solvent care

mare (replica rnonotreapta) se depune un strat subtire, dupa care stratul

dizolva proba a caret suprafata se studiaza si In care materialul plastic

initial se dizolva chimic (Fig. 2.12). Replicile cu doua trepte se folosesc

respectiv este insolubil.

Tn cazul In care replica rnonotreapta nu se poate desprinde decat prin

b) Replici sub forma de straturi subtiri depuse prin evaporare

termica rn vid. Aceste replici se caracterizeaza prin Tnalta rezolutie si au


un foarte

bun contrast.

materiale:

carbon,

Se folosesc

aur, platina,

crom

pentru
s.a.

depunere

Procesul

urrnatoarele

de obtinere

distrugerea probei sau cane proba are un relief cu adancirni mari.


Replicile nu trebuie sa prezinte o structura lnterna caracteristica
(eel mai convenabil

sunt cazurile In care materialele

din care sunt

a
1
Pentru evaporarea termica, substanta este incalzita direct sau indirect prin efect Joule, curenti de
inalta
frecventa,
bombardament
electronic
etc.

BAZELE FIZICII SEMICONDUCTORILOR

170

Capitolul II - Studiul experimental al structurii materialelor semiconductoare

171

confectionate au o structura arnorfa) si sa nu reactioneze chimic cu

Contrastul imaginii poate fi rnarit mult folosind metoda umbririi.

proba. De asemenea, trebuie sa perrnita redarea cat mai fidela a

Aceasta consta in depunerea in vid sub un anumit unghi a unor straturi

reliefului suprafetei probei.

subtiri din metale grele (Cr, Pt, Au etc.) pe replici (sau chiar pe proba),
Fetele umbrite au grosimi mai mari si, prin urmare, in imaginile TEM var
aparea mai intunecate. Prin umbrire se pot determina lnaltimile unor
detalii structurale ale suprafetei probe.

.:J
~

Strat subtire

Esantion /

Strat cu grosime mare

JMan

Metoda replicilor se foloseste pentru obtinerea de informatii


privind structura corpului solid, cum ar fi: determinarea dimensiunilor
cristalitelor in probe policristaline, caracteristicile domeniilor (limitelor)
dintre cristalite, structura domeniilor de magnetizare a substantelor

..An..

feromagnetice s. a. [15, 61, 148, 157].

~Replica/
(a)

(b)

2.5 Studiulstructuriicristalineprin dlfractle de radlatil X


Fig. 2.11. Procedee de obti nere a unor replici monotreapta:
(a) - sub forma unui strat subtire: (b) - strat cu grosime mai mare

2.5.1. Consideratig
i enerale
Aceste metode permit determinarea unor rnarimi importante care
caracterizeaza structura cristalina, printre care rnentionarn [9, 61, 68,

Esantion

111 ' 141 ' 147]:


tipul structurii cristaline i elementele de simetrie;
prezenta unor modiflcatf (faze) cristaline;

~simemare

parametrii (constantele) retelei;


distantele interplanare;
orientarea cristalitelor (granulelor) in esantioane policristaline;
lea

gradul de cristalinitate (in esantioanele care poseda i o


cornponenta arnorfa):

dimensiunea cristalitelor in esantioane policristaline;


compozitia
Fig. 2.12. Prepararea replicilor In doua trepte

esantionului

(prezenta

anumitor

elemente,

cornpusi) s.a.

S-a aratat deja (v. 1.1 ), ca monocristalele (in care atomii sunt

BAZELE FIZICH SEMICONDUCTORILOR

172

Capitolul II - Studiul experimental al structurii materialelor semiconductoare

173

dispusi periodic) se cornporta ca retele de difractie pentru radiatia X, iar

planele atomice au proprietatea de a reflecta aceste radiatii. Studiul

10-100

kV

cristalelor bazata pe dlfractia radiatiilor X (XRD - X - Ray Diffraction) se


nurneste difractometrie.

inainte de a descrie bazele teoretice si tehnica experirnentala


pentru metoda difractiei de radiatii X, considerarn important sa
prezentarn succint modul de producere a radiatiilor X, caracteristicile
spectrelor de radiatii

x1J

8-12
E(

v3)

i procesele care au lac tn cazul interactiunii

acestor radiatii cu corpul solid.


Fig. 2.13. Schema de principiu a unui tub de radiatii X:
K - catodul; A- anodul (anticatodul)

2.5.2. Producerea radiatiilor X

Dupa valorile lungimii de unda (Tntre aproximativ 0, 1 i 1 O A)2l,

Principalele parti componente ale unui tub de radiatii X sunt [9, 68, 148]:

radiatiile X sunt situate Tntre domeniul radiatiilor ultraviolete si eel al

Catodul (sursa de electroni) constituit dintr-un filament din


wolfram care, incalzit (prin efect Joule) pana la incendescenta (peste

radiatiilor y.

2000 C), emite electroni. Acestia, focalizati cu ajutorul unui cilindru

Radiatiile X utilizate In difractometrie pot fi obtinute prin franarea


brusca a unor particule lncarcate (electroni, protoni, ioni etc.) de mare

Wehnelt (Fig. 2.2) sunt acceleraf

energie (radiatie de franare) sau prin revenirea In starea fundarnentala a

(de ordinul zecilor sau chiar sutelor de kV) i sunt apoi dirijati spre anod.

atomilor unei tinte a carer electroni de pe paturile K, L, M, N, 0 (ln

Anodul este format dintr-o piesa rnetalica rnasiva (de obicei din

notatia din spectroscopie) au fast initial excitati (prin ciocniri cu particule

cupru) prevazuta cu o cavitate In care se gasete tinta fasciculului de

incarcate, cu fotoni y de mare energie etc.) 3) (radiatie caracteristica)

electroni (anticatodul).

Radiattile

Anticatodul

X se produc ln tuburi (generatoare) de radlatil X.

Acestea sunt de obicei sub forma unor cilindri, confectionati dintr-o


portiune rnetalica si alta din sticla, In care se reallzeaza o presiune de

aproximativ 10-5 Torr (Fig. 2.13).

1J

cu ajutorul unei tensiuni de accelerare

este confectionat dintr-un metal de o foarte lnalta

puritate (Cu, Cr, Co, Mo, Ag etc) i este prevazut cu sapte orificii: unul
prin care intra In cavitate fasciculul de electroni, patru (asezate pe
directii reciproc perpendiculare) prin care ies din cavitate radiatiile X
(acestea se mai numesc ferestre i sunt confectionate de requla din

Fizicianul german Wilhem Conrad ROENTGEN (1845 - 1923) a descoperit, in anul 1895
radiatia care ii poarta nurnele (radiatia Roentgen sau radiatia X), demontrand ca ea este de natura
electromagnetica. I se decerneaza Prerniul Nobel pentru fizica in anul 1901.
2
In unele rnetode de difractie se folosesc radiatii cu lungirni de unda rnult rnai rnari (pana la
200 A).
3Radiatiile
X generate prin alte rnecanisrne (dezintegrarea nucleelor radioactive prin captura K,
dezintegrarea prin conversie interns [220, 230 - 232]) nu sunt utilizate in difractornetrie.

beriliu, care absorb radiatiile X moi si electronii produsi prin efecte


secundare), doua orificii sunt folosite pentru a asigura racirea anodului

In ultirna vrerne, se pare ca s-a renuntat la denurnirea de "anticatod", folosindu-se denurnirea de


"anod" pentru ansarnblul anod-anticatod.
1

Capitolul II - Studiul experimental al structurii materialelor semiconductoare

BAZELE FIZICU SEMICONDUCTORJLOR

174

(ciocniri) succesive cu atomii anticatodului, ernitandu-se radiatf cu

(de requla cu ajutorul unui flux de apa),


1 O -20

175

Randamentul tuburilor de radiatli X este foarte mic (In general,

frecvente mai mici decat

% ), aproape lntreaga energie a electronilor incidenf pe anticatod

radiatii X (numit ~i speetru alb). Acest spectru se prezinta de requla sub

transformandu-se In caldura.

Vmax

Se obtine astfel un speetru eontinuu de

forma dependentei densitatii spectrale /(A,) n In functie de lungimea de


unda a radiatiilor pentru tensiuni date aplicate tubului de radiatii X (Fig.
2.14).

2.5.3. SpectrulradiatiilorX

a - Speetrul eontinuu

10

I
I

Electronii accelerati care provin de la catod pot pierde energie


cinetica prin mecanismul de franare a acestora In carnpul coulumbian al

atomilor anticatodului. Se obtine In acest mod o radiatie X (radiatie de


franare), caracterizata printr-un speetru eontinuu.
Daca lntreaga energie a electronului este pierduta In urma unei

singure ciocniri, atunci putem scrie

he

(2.6)

hvmax =--=eV

Amin

unde h este constanta lui Planck,


emise,

Amin -

Vmax

frecventa maxima a radiatiei X

lungimea de unda minima caracteristica acestor radiatii,

Fig. 2.14 Distributia spectrala a intensitatii radiatiei X.

e - viteza luminii, e - sarcina electronului, iar V - tensiunea de

Spectrul continuu de radiatie X.


Se indica tensiunile de accelerare pentru fiecare spectru

accelerare foloslta.
Din Fig. 2.14 se pot observa cateva caracteristici importante ale

Din (2.6), obtlnern

Amin

he
= eV

acestui spectru:
(2.7)

Cu cresterea tensiunii de accelerare, spectrul se deplaseaza


In domeniul lungimilor de unda mai mici;

de unde rezulta ca lungimea de unda minima a radiatiilor X emise prin


acest mecanism nu depinde de natura anticatodului, ci numai de
tensiunea de accelerare.
Din (2. 7) se poate gasi user, ca pentru obtinerea unei radiatii X
cu lungimi de unda de 0,2 - 1 A (folosite frecvent In difractometrie) este
necesar ca tensiunile de accelerare sa fie de 10 - 50 kV.

Insa

franarea electronilor are lac In urma unor interactiuni

Fonna curbelor I= I ( /L) este data de relatia [61, 68, 231, 232]

1(/L)=A{Jc-An,in)
A,

f8Z

(2.8)

Amin

unde !0 reprezinta intensitatea curentului prin tub, Z - numarul atomic al anticatodului, iar A un
parametru caracteristic,

BAZELE FIZICU SEMICONDUCTORILOR

176

Capitolul II - Studiul experimental al structurii materialelor semiconductoare

Spectrele au o lirnlta foarte pronuntata in domeniul lungimilor

177

CuKa1,2

de unda mici;
Cu cresterea

tensiunii

de accelerare,

crests i densitatea

spectrala, si intensitatea inteqrala (intensitatea radiatiei totale


emise) redata de aria delirnltata de curba i axa absciselor.

Intrucat intensitatea

radiatiei

nurnarul atomic al elementului

emise

este

proportionala

cu

(v. (2.8)), pentru constructia .anticatodului

trebuie alese materiale cu numar atomic mare (Mo, Cu, Co, W s.a.) care
produc spectre continue intense.
0,1

b - Spectrul caracteristic (discret)

In

cazul in care tensiunea

de accelerare

depaseste

valoare de prag (nurnita tensiune critica, Ve), caracteristica


anticatod

dintr-un

anumit

material,

electronii

acceleraf

o anurnita

0,2

0,3

Fig. 2.15. Spectru caracteristic al radiatlei X

pentru un

In

au energii

Fig. 2.16 sunt indicate tranzitiile electronice

suficient de mari pentru ca, prin ciocnire, sa scoata electronii de pe

spectrul

paturile inferioare (nivelele electron ice inferioare) ale atomului (paturile

(Z

K, L, M etc), iar locurile rarnase libere pe aceste nivele sa fie ocupate,

straturile, nurnarut cuantic secundar (orbital) /, care defineste nivelele

prin tranzitii electronice

energetice (/

(de pe nivelele energetice superioare pe cele

inferioare) cu emisie de radiatii X. Se obtine astfel spectrul caracteristic

continua a spectrului),

tensiuni mai mari apar unele maxime pronuntate

iar pentru

pe fondul spectrului

= 0, nivele

(lungimile

i pot fi determinate

pe

de cupru

n care defineste

nurnarut cuantic intern

%, pe un nivel energetic se gasesc maxim 2j + 1 electroni).

In

spectroscopia

numerelor cuantice

de

= 1,

radiatii

X,

straturile

corespunzatoare

2, 3, 4, 5, 6, ... se noteaza de obicei cu literele

K, L, M, N, 0, P, ... , iar nivelele consecutive se indica cu cifre romane

Trebuie

de unda) a radiatiltor emise depind de

energiile nivelelor intre care au lac tranzitiile

nurnarul cuantic principal

s, I= 1, nivele p s.a.rn.d.),

sub forrna de indici (adica,

continuu.
Frecventele

al radiatiei X pentru cazul atomului

29). Sunt indicate:

U = I

(discret) de radiatii X (Fig. 2.15). Pentru tensiuni mai mici, se observa


doar spectrul continuu (componenta

caracteristic

care deterrnina

K,; L,, L11, L111; Mr, ..... (v. Fig. 2.16).

sa rnentionarn

faptul ca emisia fotonului

urmare a tranzitiei electronului de pe un strat mai indepartat

are lac ca
de nucleu

baza legii lui Moseley [231, 232] (pe care cititorul o cunoaste deja de la

unde poseda o energie mai mare, pe un strat mai apropiat de nucleu,

cursul de fizica atomului).

unde are o energie mai mica. Cele mai intense sunt, in fiecare serie,
liniile
M--+

corespunzatoare
L,

etc)

tranzitiilor
[148,

dintre

straturile

vecine
131,

(L --+

K,

132].

BAZELE FIZICII SEMICONDUCTORILOR

178

Capitolul II - Studiul experimental al structurii materialelor semiconductoare

179

prezenta" tntrucat nivelul 4p nu este ocupat.

t)

a;
c:>

a;
.2::
c

N1

4s

Mv
Miv

---;;:;:;;:;:

M111
Mu

LP3.4

{L"'

I
L111

Ly

}3d

sunt foarte apropiate, Incat cele doua radiatii nu pot fi detectate separat.
0
2
2

}3p
3s

t ,., ""----

1/2
5/2
312

2
6
4

1/2

4
2

1/2

312

1/2

1/2

312

Astfel, In cazul atomului de Cu, radlatnle K131 i K133 sunt detectate sub
forma unei radiatii K131,3 cu o lungime de unda "interrnediara'' (Tabelul
2.1) [48, 61, 148].

Tabelul 2.1. Valorile lungimilor de unda i a energiilor tranzitiilor


electronice pentru atomul de Cu

L a1,2

--

Lu

--..-...-. }2p

'IV

L1
KP1KP2
K

--- -

LP1

M1

- - -- -

--- - ------

De multe ori, lungimile de unda corespunzatoare unor tranzitu

+
N'

2s

1s

1/2

Liniile
caracteristice

Fig. 2.16. Tranzitiile electronice care determine spectrul


caracteristic al radiatiei X pentru atomul de cupru [148].

'A

Linii le

'A

(A)

(keV)

caracteristice

(A)

(keV)

Kf31

1,392218 8,90529

Lf33.4

12, 112 1,0228

Kf33

1,3926

Lf31

13,053 0,9498

Ka1

1,540562 8,04778

La1.2

13,336 0,9297

Ka2

1,54439

8,9029

8,02783

L11

14,90

0,832

Ly

15,286 0,8111

Structura de multiplet a nivelelor energetice L, M, N, ...


genereaza structura de multiplet a seriilor spectrale. Acestea sunt
denumite luand In considerare nivelul pe care are loc tranzitla finala. De
exemplu, seria K, indica tranzitiile de pe nivelele L pe K (L ---+ K), de pe
nivelele M pe nivelul K (M ---+ K) etc. In cazul In care au loc tranzitli pe
nivelul L (M ---+ L, N ---+ L etc.), atunci seria se nurneste L s.a.rn.d.

In

cazul unei serii date, liniile spectrale se noteaza cu a, f3, y, 8 etc. ca


indici. Astfel, Ka indlca tranzltii de pe nivelele L pe nivelul K, K13 indica
tranzitii de pe nivelele M pe nivelul K s.a.rn.d.

In

cazul In care nivelele

In

Tabelul 2.1 sunt indicate lungimile de unda a radiatiilor

corespunzatoare liniilor caracteristice atomului de Cu din care se pot


calcula tensiunile de accelerare (v. (2.7)) necesare pentru a scoate un
electron de pe nivelul pe care are loc tranzitla.

In

Tabelul 2.2 [148], pentru diferite materiale din care sunt

confectionati anticatozii, se mdica lungimile de unda pentru radiatllle


corespunzatoare tranzitiilor

Ka1, Ka2. K13

si valorile tensiunii critice,

Ve.

Deoarece, dupa cum s-a aratat, spectrul caracteristic se suprapune

initiale au structura de multiplet, tranzitiile respective se noteaza cu Ka1,

peste un spectru continuu, In cazul In care se utilizeaza spectrul

Ka2 sau K131, K132, .... In exemplul din Fig 2.16, tranzltia K132 nu este

caracteristic este necesar ca tensiunea de accelerare, V, sa depaseasca

'

'

1
Mentionam ca tranzitiile respecta ~i unele reguli se selectie pentru numerele cuantice respective
[220, 231, 232].

180

BAZELE FIZICII SEMICONDUCTORILOR

tensiunea crltica, Ve.

In

practica, daca V!Vc ~ 4, intensitatea liniilor din

spectrul caracteristic este suficient de mare pentru a putea fi utilizate

Capitolul II - Studiul experimental al structurii materialelor semiconductoare

181

electrice de accelerare pe portiunile liniare ale inelului.


Fasciculul de radiatii X emis este tangent la traiectoria circulara a
fasciculului de particule. Randamentul de producere a radlatlilor este

pentru studii de difractometrie [48, 61, 148].

foarte mic.
Tabelul 2.2. Valorile lungimilor de unda i a tensiunilor critice pentru
anticatozi (anozi) confectionati din diferite materiale.
Materialul

anodului

Ka1

Ka2

Kp

Ve

(A)

(A)

(A)

(kV)

Cr

24

2,28970

2,293606

2,08487

5,99

Fe

26

1,936042

1,939980

1,75661

7, 11

Co

27

1,788965

1,792850

1,62079

7,71

Cu

29

1,540562

1,544390

1,392218

8,98

Mo

42

0,709300

0,713590

0,632288

20,00

Ag

47

0,5594075

0,563798

0,497685

22,51

Radiatia sincrotron se foloseste

mai rar pentru studiul prin

difractometrie a corpului solid.

2.5.4. lnteractiunea radiatiilorX cu substanta

In

urma interactiunii radiattilor X cu substanta poate avea lac un

fenomen de irnprastiere (modificare a traiectoriei) care poate fi:


1mprastiere coerenta, care are lac fara pierdere de energie (deci fara
modificarea lungimii de unda a radiatiei respective) sau 1mprastiere
incoerenta (numita i efect Compton), care are lac cu pierdere de
energie (deci lungimea de unda a radiatiei va crests).
De asemenea, In urma lnteractlunii cu substanta, intensitatea
radiatiei X poate sa scada, adica radiatia sa fie absorbita de catre atomi,
care tree In stari excitate. Revenirea acestor atomi In stare normala se

c - Radiatia (de) sincrotron

face fie prin emisia unei radiatii X caracteristlca atomilor excitati (nurnlta

Radiatia d,e sincrotron este o radiatie electromagnetica ernisa de


o particula avand o sarcina electrics (de exemplu, un electron) si care se
misca cu o viteza foarte mare (energia cinetica este de cativa GeV) pe o
traiectorie circulara (mentinuta cu ajutorul unor carnpuri magnetice
orientate corespunzator), Miscarea are lac lntr-o incinta inelara
orizontala (inel de stocaj) alcatuita din arce de cerc care alterneaza cu

radiatie de fluorescenta sau spectru secundar de radiatii X [9, 48, 231,


232]), fie prin emisia de electroni Auger (v. 2.3.2). Desi au intensitati

mult mai mici In cornparatie cu radiatiile primare (aproximativ 10% din


intensitatea acestora), radiatiile de fluorescenta au o lrnportanta
deosebita In determinarea structurii corpurilor cristaline cu ajutorul
radiatiilor X.

regiuni rectilinii si In care se realizeaza un vid Inalt (~ 10-10 Torr) pentru


a elimina ciocnirile particulelor incarcate

care le-ar putea modifica

traiectoriile si/sau energia. Emisia de radiatie X se datoreste rnodificarii


directiei vitezei particulelor, iar energia pierduta prin radiatie este
"retransrnisa" fasciculului de particule prin aplicarea unor tensiuni

a - Detectia radiatiilor X
Proprietatea radiatiilor X de a excita sau de a ioniza atomii
substantei prin care se propaqa, a fast folosita pentru constructia
detectorilor

de

radlatli

X.

BAZELE FIZICII SEMICONDUCTORILOR

182

Detectorul de radiatii X eel mai simplu este o p/aca fotografica.


acest caz, se foloseste
electromagnetice,

efectul fotochimic

(proprietatea

Capitolul II - Studiul experimental al structurii materialelor semiconductoare

In

Detectoare cu semiconductori in care prin absorbtia radiatiilor

unor radiatii

X are loc generarea de perechi electron-gal.

dintr-un anumit domeniu spectral, de a produce reactii

chi mice) al radiatiilor

X. Gradul

de "innegrire"

183

Purtatoril de

sarcina qeneraf ( a carer concentratie este proportionala cu

a placii este direct

intensitatea radlatlilor X) deterrnina o crestere a conductivitatn

proportional cu intensitatea radiatiei X detectate.

electrice a materialului semiconductor respectiv.

Detectorul cu qaz se compune dintr-un tub metalic (avand rol de


catod) a carui extrernitati sunt inchise ermetic cu plac' izolatoare i pe

b - imprastierea coerenta si difractia radiatiilor X

axa caruia este asezat un fir metalic subtire (de requla din wolfram) care
joaca rol de anod. Cilindrul este prevazut cu o fereastra din beriliu prin
care pot patrunde radiatiile X.

In

interiorul cilindrului se introduce un gaz

Fenomenele

de lrnprastiere

studiate in detaliu intr-o serie de monografii [9, 61, 111, 141]. De aceea
vom prezenta aici doar principalele caracteristici ale acestor fenomene

la o presiune scazuta, lntre anod si catod se aplica o tensiune lnatta.

pentru

Astfel, ionii gazului, forrnaf

cristaline prin difractia radiatiilor X.

de radiatia X, nu se recombina in spatrul

a lnteleqe

dintre anod i catod ci, dau nastere unui curent a caret intensitate este
proportionals cu intensitatea radiatiilor X detectate.
cu gaz.

Acestea sunt folosite i in prezent fiind mult modernizate prin conectarea


la dispozitive de amplificare si inregistrare performante [48, 148].

se bazeaza pe absorbtia (aproape totala) a

radiatiilor X. Sunt doua tipuri de detectoare de acest tip:

cristal absorbant
Radiatia
'

de

fotomultiplicator

ca urmare

fluorescenta
'

1l

emisa de catre un

a interactiunii
cade

de studiu a structurii

pe

in care ne tntereseaza

numai interactiunile

care pot fi explicate prin

inducerea in sistemele atomice, sub actiunea carnpului electromagnetic

secundare

dipolare

( electrice)

i emisia unor unde

de catre aceste momente dipolare, se pot folosi metodele

electrodinamicii clasice [61, 231, 232].


Din acest punct de vedere, interactiunea radiatiilor X cu atomii

detectoare cu scintilatii a carer functionare se bazeaza pe


radiatiei de fluorescenta

metodelor

Interactiunea radiatiilor X, considerate ca unde electromagnetice,

al undei, a unor momente

In ultima vreme se folosesc pe scara larga detectoare cu corp

inregistrarea

corect principiul

poate fi explicata numai prin metodele mecanicii cuantice. Tnsa, in cazul

Contarele Geiger-Muller au fast primele detectoare

solid a carer functionare

!?i de dfractie a radiatiiior X sunt

cu radiatia

fotocatodul

X.

unui

extraqand un fascicul de electroni. Are apoi

unui corp solid, are ca rezultat (induce) aparitia unor miscari oscilatorii a
electronilor

atomilor

respectivi

cu anumite

frecvente

proprii. Fiecare

electron care oscileaza, emite in toate directllle unde electromagnetice


secundare cu aceeasl frecventa ca a undei incidente. Acest fenomen se
nurneste

fmprastiere elastica (fara schimbarea frecventei sau a lungimii

loc o amplificare a acestuia in interiorul fotomultiplicatorului.


de unda a radiatiei initiate) sau fmprastiere coerenta (in unele carti se
mai foloseste

denumirea

de fmprastiere difractiva). Aceasta

radiatie

coerenta joaca un rol esential in fenomenul de difractie a radiatiilor X.


1

Radiatia emisa de corpul solid dupa incetarea radiatiei excitatoare.

Nucleele, datorita masei lor mari, nu participa la acest proces (daca

Capitolul II - Studiul experimental al structurii materialelor semiconductoare

BAZELE FIZICII SEMICONDUCTORILOR

184

data. Mai rnentionam ca retelele de difractie cu modulare In amplitudine


pot fi prin transmisie sau prin reflexie 1>.

energia cuantelor de radiatii X nu este prea mare, adica avem radiatii X


moi).
Fiecare
secundare

dintre cei Z electroni

coerente.

185

a unui atom va emite radiath

Radiatiile lrnprastiate

2.5.5. Ecuatiile Jui Leue". Relatia Bragg3>

de diferiti electroni ai unui

atom nu sunt In faza, lntrucat electronii respectivi ocupa In atom .pozitii"

Vom prezenta aici cateva principii de baza referitoare la difractia

diferite. Radiatia tmprastiata de catre un atom va fi o rezultanta a tuturor

pe retele cristaline. Acestea sunt valabile atat In cazul difractiei radiatiilor

amplitudinilor undelor emise de catre electronii atomului respectiv.

X, cat si In cazul difractiei fasciculelor de electroni sau neutroni.

Amplitudinile

cont de diferentele de faza respective.


reprezinta
vectorilor

Sa presupunem

acestor unde se aduna geometric (vectorial) tinand

suma a doi vectori


care se tnsurneaza,

radiatie rnonocrornatica cu lungimea de unda A-, ia nastere un sistem de

Intrucat modulul vectorului care

este mai mic decat suma


tnsearnna

ca amplitudinea

maxime i minime ale intensittaii radiatiei difractate.

modulelor

rezultanta

ca, In urma iradierii unei retele cristaline cu o

Considerarn doua siruri reticulare din reteaua cristalina formate

undelor lmprastiate de catre electronii unui atom, A, nu va fi ZAe (Ae fiind

din atomi identici. Vectorul fundamental al retelei dupa o anurnita directie

amplitudinea undei emise de un singur electron a atomului respectiv), ci

a axei Ox este

va fi lntotdeauna mai mica, adica

(Fig. 2, 17).

Diferenta de drum Intre razele difractate este


(7.9)

unde f se numeste

a1

factor de forma (atomic) sau amplitudine de

11=AB+BC .

(2.10)

Intrucat
AB= Bf sine= a1 sine

structure.
Din cele rnentionate rezulta ca f < Z.

in cazul In care pe un cristal cade un fascicul monocromatic

de

BC= /Bsine = a1 sine ,

radiatii X, undele secundare (sferice) emise de atomii cristalului, dispusi


periodic, vor interfera lntre ele. Va avea loc o interferenta distructiva In
tot spatiul, cu exceptia anumitor directil numite directii de difractie In care
inteferenta este constructive,

dupa aceste directii obtinandu-se maxime

de difractie.
Fenomenul de difractie a radiatiilor X pe retelele cristaline este
asernanator

cu difractia

rnodulatie In amplitudine

luminii

pe retelele

de dlfractie

plane

cu

[150, 227], care reprezinta, In principiu,

un

ecran plan opac cu fante liniare identice dispuse periodic dupa o directie

De exemplu, o retea de difractie prin transmisie poate fi construita prin trasarea cu un varf din
diamant a unor zgarieturi paralele si echidistante pe suprafata unei lame transparente cu fete plan
paralele (zgarieturile constituie intervalele opace), iar cele prin reflexie se realizeaza prin
zgarierea in modul de mai sus a unei suprafete metalice (aluminiu, alama, etc) foarte bine slefuita,
2
Max Theodor Felix von LAUE (1879 - 1960) fizician gennan. A studiat teoria relativitatii ~i
teoria cuantelor, difractia radiatiei X in cristale. A elaborat metode de analiza cu radiatii X a
strncturii cristaline a materialelor. in anul 1914, i se acorda Premiul Nobel pentru fizica (pentru
studiul difractiei radiatiei X in cristale).
3
Fizicienii englezi, William Henry BRAGG (1862 - 1942) si fiul acestuia, William Laurence
BRAGG (1890 - 1971) au intreprins cercetari sistematice asupra strncturii cristalelor cu ajutorul
radiatiei X, punand in evidents asezarea periodica a atomilor si a ionilor in reteaua cristalina. in
anul 1915, celor doi fizicieni Ii s-a acordat Premiul Nobel pentru fizica. Relatia (2.43), numita
relatia (legea) Bragg, era denumita in urma cu cateva decenii, relatia Bragg-Bragg.

BAZELE FIZICII SEMICONDUCTORILOR

186

187

Deci diferenta de drum poate fi scrisa sub forma:

obtinern

~ = AB+Bc = -n .a,+ n' a1 = a1 (n'-n)

(2.11)

~ = 2a1 sine

e fiind

Capitolul II - Studiul experimental al structurii materialelor semiconductoare

Conditia de maxim pentru aceasta directie cristaloqrafica va fi

aici unghiul de incidenta In raport cu sirul reticular.

(2.13)
Prin

urmare,

pentru

cele

trei

directii

cristalografice,

avem

urrnatoarele relatli

(2.14)

a1,

a2,

a3

fiind

considerata, iar

vectorii

fundamentali

pentru

reteaua

directa

gi ( i =1, 2, 3) numere lntregi oarecare.

Relatiile (2.14) se numesc ecuatiile lui Laue.


Daca notarn cu
Fig. 2.17. Difractia radiatiilor X pe retele cristaline.

(acesta

k,

vectorul de unda pentru radiatia incidenta

indica, dupa cum se stie, directia de propagare

a acestei

radiatii), avem pentru modulul acestui vector relatia


Conditla

de maxim

a intensitatii

radiatiei

difractate

este

ca
(2.15)

aceasta dlferenta sa fie eqala cu un nurnar lntreg de lungimi de unda a


radiatiei incidente, adica

iar versorul,
(2.12)

ii ,

a directiei de propagare a fascicululi incident, se poate

scrie, evident

91 fiind un nurnar lntreg.


Daca notarn cu

n'

razelor incidente (1 i 2) i difractate (1' i 2') (


(Fig.2.17)

AB i BC sub

lnl =In 'I= 1 ),

forma unor produse scalare:

AB = ii a1

n= k

versorii pentru directiile de propagare a

j"k/

k =-3: k
2tr

(2.16)

2tr

,,t

putem scrie
in mod analog,
difractat,

I '

pentru versorul

directiei

de propagare

a fascicului

avem

= a1 cos ( 90 - B) = a1 sin B

(2.17)

i
unde k' este vectorul de unda pentru fasciculul difractat.

BAZELE FIZICH SEMICONDUCTORILOR

188

Capitolul II - Studiul experimental al structurii materialelor semiconductoare

Difractia se considera un proces elastic i In acest caz energia

hv' a fotonilor difractaf va fi aceeasi cu energia hv a fotonilor incidenti,


adica

hv'

= hv

(2.18)

(2.24)

i;

b2, b3

De asemenea,
(2.19)

ai retelei reciproce, iar 91, 92, 93

fiind vectorii fundamentali

numere lntregi.

sau, mai putem scrie

h_=h~
A
A

189

directa i vectorii

Ej

s-a demonstrat

ca lntre vectorii

8i din reteaua

din cea reciproca, exista relatia (v. (1.29))

( v i

(2.25)

v' fiind frecventele radiatiitor respective, h - consatanta lui Planck,


unde ~j

iar c - viteza luminii). Din (2.19), qasirn

de unde rezulta ca lungimea de unda a radiatiilor difractate este eqala


cu cea a radiatiilor incidente.
Prin urmare,
difractata

de unda pentru radiatia incidenta

81

rnarlrne (k

k'), modificandu-si

Kg

= 81 ( 91E1 + 92E2 + 93b3)

81 E1 = 27r , 81 . E2 = 81 . E3 =

In urma

(2.26)

(2.27)

Deci putem scrie (2.26) sub forma

acestui proces numai directia,

f nlocuind

= j si ~j = o daca i * j.

sl, tinand cont de (2.25), avem

si vectorul

va avea aceeasi

daca i

Evident,

(2.20)

A,'=A,'

= 1,

(2.16) i (2.17) In (2.13), obtinem


(2.21)

fn

(2.28)

82 Kg = 2Jr92

(2.29)

83 . Kg

2Jr93

(2.30)

2Jrgi

(2.31)

mod analog putem gasi ca

sau, tinand seama de (2.20), putem scrie

81. ( k'-k) = 27r91

81 Kg = 2Jr91

(2.22)
Deci In general, putem scrie

i prin urmare, In acest caz ecuatiiie lui Laue, (2.14), pot fi scrise sub

8i Kg

form a

81. ( t-:

cu i

k) = 27r91
=

forma (v. (1.33))

(2.23)

gasim

k'-k = Kg

27r93

S-a aratat ( 1.12) ca vectorul retelei reciproce,

2, 3.

Cornparand relatille (2.28) - (2.30) (sau (2.31 )) cu relatiite (2.23),

82 (k'-k)=27r92
83. ( k'-k)

= 1,

Kg ,

se scrie sub

(2.32)

ceea ce lnseamna ca ecuatiile (2.23) sunt satisfacute de conditia (2.32).


Ecuatia (2.32) este echivalenta cu ecuatille lui Laue i reprezinta

BAZELE FIZICH SEMICONDUCTORILOR

190

Capitolul II - Studiul experimental al structurii materialelor semiconductoare

de asemenea conditia de difractie.

191

k'=k

Din (2.32) rezulta ca vectorii de unda

;;i k'

sunt vectori In

si, tinand seama de aceasta relatie, putem scrie (2,35) sub forma

reteaua reciproca, tnsa ei In general nu unesc noduri ale acestei retele.


in schimb, Kg trebuie sa alba si originea si extremitatea In noduri ale

(2.36)

2k2 - 2k2 cos 2() = Kg2


sau

retelei reciproce.
Putem scrie, tinand seama de (2.32), urmatorul produs scalar:
sau, mai putem scrie

(k'-k) (k'-k)

=Kg. Kg

4k2 sin2 () = K2g

sau, desfacand parantezele, avem


k '2 + k2 -

Putem exprima pe Kg In functie de distanta interplanara

k '. k - k. k

I=

K2g

(2.33)

(2.37)
dhkt

(care

reprezina distanta dintre planele paralele ;;i echidistante cu indici Miller


(hkl) (v. 1.14)), adica

Din Fig. 2.18 rezulta ca

k k k 'k
1

I=

k k COS 2()

(2.34)

(2.38)

() fiind unghiul de incidenta In raport cu sirul reticular pe care are loc


difractia

i care este egal cu unghiul de difractie In raport cu sirul

unde Khkt este un vector al retelei reciproce care are forma (v. (1.64))

respectiv.

(2.38')
Daca

n este un nurnar lntreg, putem scrie

n Khkt = nhb1 + nkb2 + nlb3

= 91b1+92b2 + g3b3 =Kg

(2.39)

(evident, Intrucat n, h, k, I sunt numere intregi, i produsele nh, nk, nl vor


fi de asemenea nu mere lntregi notate cu 91, 92 ;;i respectiv 93).
Din (2.39), gasim
Kg= /Kg/= n/Khkt/
Fig 2.18. Dlfracfia radiatiilor X pe retele unidimensionale.
Directiile vectorilor de unda pentru raza incidenta si cea ditractata.

Din (2.38) ;;i (2.40), deducem

K =n

Din (2.33) i (2.34 ), obtinern

k'2+ k2 -2kk'cos2()

= Kg2

(2.35)

S-a mentionat tnsa ca interactiunea radiatiei cu reteaua cristalina


'

este elastica (A'

= l,

'

(v. 2.20)), deci

'

'

(2.40)

2Jr
dhkl

Introducand aceasta expresie In (2.37), gasim

(2.41)

BAZELE FIZICH

192

seama

(2.42)

'

dhkl

care, tinand

Capitolul II - Studiul experimental al structurii materialelor semiconductoare

ca rnarirnea vectorului

hk
de unda este

Insa p = tzk i p' = tzk'

k = 27r I A, , se mai scrie


2dhkt

(2.43)

sin B = nA,

incloenta si cea difractata, iar

(2.43)

se

mai

reprezinta ordinul de difractie (n

0, 1, 2, 3, ... ). De asemenea,

relatia

1, A, ~ 2dhkt ( deci radiatia utilizata trebuie sa aibe lungimi de unda

Pc = tzKg

este impulsul cristalului.

sau
k'2

Pe de alta parte, In experientele de difractie, pentru valori foarte


diferitelor ordine de difractie

unele de altele, fapt ce creaza

(2.46)

k' k' = (k +Kg). (k +Kg)

comparabile cu distantele interplanare sau cu distantele interatomice ).

sunt foarte mici i foarte apropiate

reprezinta impulsurile fotonilor In radiat,ia

Ridicand (2.44) la patrat, obtinern

Intrucat sinB ~ 1, din (2.43) rezulta ca, pentru

mici ale lui ,,t, unghiurile B corespunzatoare

(2.45)

relatie care exprima legea de consetvare a impulsului fotonului.

Bragg ne permite sa stabilim i lungimile de unda a radiatiilor utilizate In


fenomenul de difractie.

p' = P +Pc

conditia de difractie iar n

nurneste

hk + tzKg

I=

Tn consecinta (2.45), poate fi scrisa sub forma

relatie foarte irnportanta, care se nurneste legea (reafia) Bragg1).


Relatia

= k2 + k. Kg + Kg . k + K2g

(2.47)

si, tinand seama ca avem k' = k (prin dlfractie vectorul de unda nu-si
schirnba rnarirnea (v. (2.36))), avem
(2.48)

dificultati In separarea diferitelor fascicule difractat~.--Mai mentionam

i legea conform

193

sau, mai put em scrie

( 21[)2
4k2 sin2 B = n2 -- 2
expresie

SEMICONDUCTORILOR

careia raza incidenta,

raza

relatie care este valabila si pentru un vector

-Kg

al retelei reciproce.

difractata i normala la planul de difractie In punctul de incidenta sunt In


acelasi

plan i ca fenomenul

de refractie

Pentru acest din urma vector, (2.48) se scrie sub forma

a radiatiilor X In cristalul

2"k . (-Kg) + (-Kg) . (-Kg) = o

respectiv se poate neglija, indicele de refractie a radiatiilor X fiind foarte


apropiat de unitate (acesta este aproximativ 0,99999).

sau
-

-2k
2.5.6. Utilizarea zone/orBrillouin

-2
Kg
+ Kg = 0

(2.49)

De aici, putem deduce expresia

Din (2.32) putem deduce urmatoarea expresie pentru vectorul de


unda a radiatiei difractate
(2.44)

k_--Kg
2

-(Kg-

Dupa cum rezulta din (2.50), radiatla cu vectorul de unda


1

(2.50)

k,

care

satisface conditia de difractie este reflectata pe planele mediatoare ale


Relatia (2.43) este cunoscuta si sub denumirea de legea Wulf-Bragg.

BAZELE FIZICII SEMICONDUCTORILOR

194

vectorului

Kg . Aceste plane constituie suprafetele primei zone Brillouin.

Capitolul II - Studiul experimental al structurii materialelor semiconductoare

relatle Identica cu (2.50).

-[K- ~J
2

k---K~
2

Intersectia planelor mediatoare pe acesti vectori deterrnina zonele


de ordinul lntai, zona a doua pentru vecinii de ordinul al II-lea s.a.rn.d.).

(Fig.2.19), se poate

demonstra ca este verificata relatia

retelei, de la care se due vectorii Kg la vecinii de diferite ordine.

Brilloiun respective (prima zona pentru cazul In care se considers vecinii

K~

in mod analog, pentru vectorul

Intr-adevar, In 1.13 s-a aratat ca pentru a construi zonele


Brillouin In reteaua reciproca se alege ca origine un nod arbitrar al

195

fiind aici un vector de unda cu originea In nodul 0 si cu extremitatea

Pentru a exemplifica modul de aplicare a relatiei (2.50), vom

intr-un punct oarecare de pe mediatoarea NN' la vectorul K~ . Insa In

considera o retea reciproca plana (Fig. 2.19). Aici s-a considerat ca

acest din urma exemplu, mediatoarea NN' nu delimiteaza prima zona

origine un punct 0 al retelei (ales arbitrar), s-a dus vectorul Kg pana la

Brillouin, ci o zona de ordin mai mare.

un nod vecin de ordinul lntai, s-a dus apoi mediatoarea pentru vectorul

Kg

(perpendiculara pe mijlocul segmentului respectiv) i s-a reprezentat

K
apoi vectorul _JJ_ Orice vector k, care are originea In punctul 0 i
2
extremitatea pe mediatoarea MM' satisface relatia (2.50). in Fig 2.19 s-a

luat un vector de unda cu extremitatea In punctul B. Putem scrie

produsul scalar
- Kg

kKg

(2.51)

k-=--cosy
2

y fiind unghiul dintre vectorii

Kg I 2.

lnsa din ~OAB, avem

(2.52)

inlocuind (2.52) In relatia (2.51), obtinern

k- ~

=[K; J

Kg

cosy=_l_

Kg
2

M'
Fig. 2.19. Relatia intre vectorii

K9

pentru cazul unei retele reciprocee bidimensionale

(2.53)

Prin urmare, relatia (2.50) reprezinta ecuatia de deflnltle a

BAZELE FIZICH

196

planelor mediatoare ale vectorilor

Kg ,

SEMICONDUCTORILOR

care in spatiu forrneaza marginile

Capitolul II - Studiul experimental al structurii materialelor semiconductoare

procesul de difractie.
Tlnanc seama de aceste doua conditii, P.P. Ewald .descopera" o

(fetele) zonelor Brillouin. Astfel, marginile zonei Brillouin reprezinta

constructie qeornetrica foarte utila pentru studiul difractie: radiatiilor X in

planele pe care are loc reflexia, cu respectarea relatiei Bragg.


Se observa ca prin constructia zonelor Brillouin se pot gasi
vectrorii de unda incidenti

197

cristale, care poarta denumirea de constructia Ewald sau sfera Ewald.


in Fig. 2.20 este prezentata aceasta constructie.

pentru undele care pot suferi difractie in

cristal. Prin urmare, putem stabili o leqatura intre forma zonei Brillouin ~i

aspectul figurii de difractie,


2.5.7. Constructia Ewald

directia fasciculului incident

Fasciculul difractat trebuie sa satisfaca doua conditii:


1 - Fotonii radiatiilor X, in urma difractiei, nu-si modifica energia
(frecventa), intrucat s-a presupus ca lrnprastierea este elastica, Prin
urmare, vom putea scrie

..

....... .......

(2.54)

hv' = hv

Fig. 2.20. Constructia Ewald pentru o retea reciproca bidirnensionala.

unde hv este energia fotonilor din fasciculul incident, iar hv' - energia
Se considera o retea reciproca bfdimensionala

fotonilor din fasciculul difractat.


Aplicand relatiile de dispersie pentru undele electromagnetice in

corespunde retelei directe pentru care dorim sa studiem difractia de


radiatii X. Fie un vector de unda

vid, obtinern
2nv =

OJ

= ck ; 2nv ' =

OJ'

= ck '

(plana) care

k,

care are directia fasciculului incident,

rnarirnea deterrninata de lungimea de unda a fasciculului incident


(k

de unde qasim

Zr: I 1) ~i a caru: extremitate coincide cu un nod A al retelei

(2.55)

reciproce. Originea acestui vector este intr-un punct oarecare 0. Nu

ceea ce Insearnna ca in urma difractiei modulul vectorului de unda nu se

este obligatoriu ca punctul 0 sa coinclda cu un nod al retelei reciproce.

rnodifica.

Este tnsa obligatoriu ca acest vector de unda sa fie paralel cu directia

k=k'

fasciculului de radiatii X incident pe cristal si sa aiba extremitatea 1ntr-un


2 - Vectorii de unda pentru radiatia dlfractata,

k' ,

!?i incidenta, k ,

nod al retelei reciproce (nurnita ~i spatiul vectorilor de unda sau spatiul k

sau spatiul Fourier).

trebuie sa verifice relatia (2.32), adica


(2.56)
care poate fi considerata o requla de selectie pentru vectorul de unda in

Se traseaza un cerc cu raza k = 2tr I A., care are centrul in


originea vectorului

(in punctul 0). Pentru un fascicul de radiatii X care

BAZELE FIZICII SEMICONDUCTORILOR

198

Capitolul II - Studiul experimental al structurii materialelor semiconductoare

199

are o anurnita dtrectie, cu o anurnita lungime de unda (cu un anumit

respective sunt determinate de patratul modulului amplitudinilor

undelor

vector de unda) va exista un fascicul

difractate, care, la randu' lor, depind de distributia electronilor In cristal i

care lndeplineste

conditia

de

difractie, numai daca acest cerc intersecteaza un alt nod oarecare B din

de valorile

reteaua reciproca considerata.

conditiile experimentale stabilite.

Intr-adevar,
vectorului

vectorul

OB= k'

are modulul

egal

parametri

care

caracterizeaza

metoda

folosita

In

Pentru a simplifica tratarea fenomenului de difractie, vom utiliza o

cu modulul

(cei doi vectori reprezinta In sine doua raze ale cercului cu

unor

serie de aproxirnatii, si anume:


Nu vom lua In considerare vibratiile retelei cristaline, adica vom

centrul In 0).

Insa vectorul AB=

Kg

este un vector al retelei reciproce,

considera cristalul ideal, cu atomii In pozitlile lor de echilibru;

Intrucat

Vom
are extrernitati,le In doua dintre nodurile acestei ret,ele, iar din Fig. 2.20
se observa ca putem scrie:

k '- k =Kg,

considera

ca razele

incidente

pe cristal

forrneaza

un

fascicul perfect paralel;

relatie care reprezinta conditia

Vom presupune ca fenomenul

de dlfractie (v. i (2.32)).

de absorbtie (In urma caruia ar

avea loc o rnlcsorare a intensitatii radiatiei) se neqlijeaza:

in cazul In care cercul dus prin extremitatea lui k nu lntalneste

Vom considera de asemenea ca radiatiile difractate (prin reflexie

nici unul dintre nodurile retelei reciproce, atunci conditia de difractie nu

sau transmisie)

este lndepllnita i deci reteaua cristalina considerata nu poate fi studiata

atomii pe care Ii lntalnesc In drumul lor.

cu radiatia X respective.

Sa ne lmaqinarn ca putem separa un sir reticular, orientat In

Metoda descrisa aici reprezinta metod8 gr8fica de determinare a


directiilor In care se qasesc maximele de difractie i este cunoscuta sub

sfera (nurnita sfera Ewald), lnsa procedeul de constructie descris mai

incidenta

(ionilor)

cristalului

unor informatii

i a modului

a fasciculului

AB-AC=
unde

Pentru obtinerea

cu 81 perioada

sirulu'

de radiatie

reticular
X cu siru'

i cu a0 unghiul
reticular

de

(Fig. 2.21 ).

Maximele de difractie se formeaza dupa directitle care satisfac relatia

sus este analog si pentru cazul tridimensional.

2.5.8. Formarea maximelorde difractie

nici cu

difractie a unor radlatit X In acest caz.


Notarn

In locul cercului vom avea o

cu cele incidente,

directia axei Ox, format din atomi identici i sa studiem fenomenul de

denumirea de constructie Ewald.


Evident, In cazul tridimensional,

nu interactioneaza

n,

81

cosa0

-81

cos

a=

este un nu mar lntreg oarecare

81 (

cos, -cos a)= n1A,

tn, =

(2.56)

0, 1, 2, ... ) care indica

ordinul maximului de difractie (Fig. 2.22).


referitoare

de asezare

la natura atomilor

a acestora

In celula

in cazul incidentei normale, conditia (2.56) este indepllnita


toate generatoarele

de

unor familii de conuri care au ca axa (lnaltime) sirul

elernentara, este necesar sa cunoastern intensitatiie maximelor (liniilor)

reticular respectiv iar unghiurile la varf sunt egale cu 2 a. Deschiderea

de

acestor conuri coaxiale (unghiul 2a) scade pe masura ce crests ordinul

difractie

care

respecta

legea

Bragg.

Intensitatile

maximelor

200

BAZELE FIZICH SEMICONDUCTORILOR

de difractie (adica valoarea lui n1) (Fig. 2.23a). Pentru n,

Capitolul II - Studiul experimental al structurii materialelor semiconductoare

201

0,

lungimi de unda) atunci unghiurile de difractie vor depinde de lungimea

generatoarele conurilor devin razele unui cerc. Prin intersectia acestor

de unda, fiind cu atat mai mari cu cat este mai mare lungimea de unda,

conuri cu plane paralele cu sirul reticular, se obtin niste hiperbole

Franja centrals este alba intrucat pentru n,

echilatiere (Fig. 2.23b) iar prin intersectia lor cu plane normale la siru]

satisfacuta indiferent de lungimea de unda a radiatiei,

0, ecuatia (2.56) este

reticular, se obtin niste cercuri concentrice (cresterea ordinului de


difractie este lnsotita de o scadere a razei acestor cercuri) (Fig. 2.23c).
'

'

(a)

-2

n=O
n=-1

n=-1

(CJ

(b)

n=O

n=O
n=1

[)JI

Fig. 2.21. Difractia radiatiilor X pe un sir reticular

n=-1

-1

(c)

n=1

Fig. 2.23. Difractia radiathlor X pe un slr reticular. (a) - conurile coaxiale de diferite
ordine; (b) - hiperbolele echilatere obtinute prin
lntersectia conurilor cu planul n, paralel cu siru' reticular;
(c) cercurile concentrice obtinute prin
intersectia conurilor cu planul n' perpendicular pe sirul reticular.

Fiecarei valori a lui n, ii vor corespunde cate doua franje, situate


n=-1 n=O

n=-1 n=O

n=1

n=-1 n=O

n=1

Fig. 2.22. Obtlnerea maximelor de difractie de diferite ordine in


cazul incidentei normale. Sunt reprezentate maximele obtinute
prin reflexie si prin transmisie.

simetric fata de franja centrala, fiecare franja alcatuind un spectru de


difractie avand radiatiile cu lungimi de unda mai mici situate mai aproape
de franja centrala. in acest mod, sirul reticular considerat joaca rolul unui
dispozitiv dispersiv, analog unei prisme din sticla pentru radiatia

in cazul in care radiatia X utilizata nu este rnonocromatica, ci


este radiatie "alba" (nernonocrornatica sau formats din radiatii de diferite

luminoasa.

Insa

in cazul prismei, radiatiile cu lungimi de unda mai mici

202

BAZELf FIZICH SEMICONDUCTORILOR

sunt deviate mai puternic (se spune ca dispersia este anormala),

pe

cand In cazul retelei de difractie se obtine un spectru normal.


Sa considerarn

Capitolul II - Studiul experimental al structurii materialelor semiconductoare


hiperbole echilatere,

a1)

iar rntersectiile cu plane normale la axa Oy sunt

cercuri concentrice.

cazul difractiei radiatiei X pe un plan reticular

format dintr-o serie de siruri reticulare (cu pararnetrul

203

paralele cu Ox,

Figurile de interferenta pentru planul reticular considerat se vor


forma

la intersectia

celor doua familii de conuri. in Fig. 2.24a se

(situate Tn planul xOy) distanta dintre ele fiind a2 (a2 este deci perioada

reprezinta doua dintre conuri (cate unul din fiecare familie) !?i punctele

retelei dupa Oy) (Fig. 2.24). $i Tn acest caz, pentru sirurile reticulare

pentru care sunt satisfacute

paralele cu Oy, se pot obtine maxime de difractie, daca este lndeplinita

(2.57).

conditia

lntersectia
(2.57)

simultan

conditiile

de difractie

(2.56) !?i

celor doua familii de conuri cu un plan paralel cu

planul xOy (deci paralel !?i cu planul reticular considerat), va reprezenta

unde f30 !?i f3 sunt unghiurile de incidenta, respectiv de difractie pentru

doua familii de hiperbole cu axe reciproc perpendiculare

sirurile reticulare situate dupa directia Oy, iar n2 este un nurnar Tntreg (n2

Punctele de intersectie a hiperbolelor respective satisfac conditiile de

= 0' 1 ' 2'

difractie !?i deci ln aceste puncte se obtin maxime de difractie.

... ) .

(Fig. 2.24b ).

Cele mentionate aici pentru sirul reticular !?i planul reticular, pot fi
generalizate

U!?Or pentru o retea tridimensionala

(spatlala). in acest caz,

directiile pentru care se obtin maxime de interferenta se determina din


urmatoarele relatii:

directia
fascicu'lului
incident

unde

a):

n1/t
a2 (cos /30 - cos /3) - n21
a3 (cosr0 -cosr) = n31
a, (cosa0 -cos

(2.58)

a3 este constanta retelei dupa directia Oz, iar n3 este un nurnar

Tntreg. Aceste conditii, numite si ecuatiile lui Laue, trebuie respectate


simultan.
Fig. 2.24. Dlfractia radiatlei X pe o retea bidimensionala.
(a) - conuri de difractie dupa axele Ox ~i Oy;
(b) - intersectia conurilor cu un plan paralel cu planul reticular
(care coincide cu planul xOy).

in acest caz se obtin trei familii de conuri dispuse Tn lungul celor


trei axe de coodonate (Ox, Oy si Oz) (Fig.2.25). Daca dorim

sa punem

Tn evidents figura de difractie pe o placa fotoqrafica plana, atunci este


Evident, !?i conditia (2.57) este satisfacuta de radiatiile difractate,
care au dlrectia generatoarelor
egale cu
lntersectia

2/3

unor familii de conuri cu deschiderile

!?i care au tnaltimlte situate dupa axa Oy. $i Tn acest caz,

acestor

conuri cu plane paralele

cu Oy reprezinta

niste

recomandabil ca ea sa fie situata normal la una din axele de coordonate


!?i atunci intersectia conurilor care au axele comune cu axa respective
(cu placa fotoqrafica)

reprezinta niste cercuri (v. Fig.2.25b). Daca, de

exemplu, placa fotoqrafica (sau, Tn general, alt dispozitiv de Tnregistrare)

BAZELE FIZICU SEMICONDUCTORILOR

204

Capitolul II - Studiul experimental al structurii materialelor semiconductoare

este asezata normal la axa Oz, atunci figura de difractie va fi formats din

205

Asa Incat, In cazul In care parametrii ao, J]o, ro i A- sunt stabiliti

cele doua familii de hiperbole obtinute In cazul unui plan reticular si, In

(deci au valori constante), cele trei mariml variabile, a, J],

plus, o familie de cercuri concentrice pentru difractia pe sirurile reticulare

marlmile necunoscute din sistem), trebuie sa satisfaca un sistem de

paralele cu axa Oz. Conditlile de difractie sunt Tndeplinite de directiile

patru ecuatii, Cu alte cuvinte, pentru un unghi de incidenta dat ( a0, j30 i

care intersecteaza planul considerat (placa) intr-un punct In care se

ro

lntalnesc simultan cele trei familii de curbe (doua de hiperbole i una de


cercuri) (Fig.2.25b).

(deci

constante), pentru o radiatie X cu o lungime de unda determinata,

trebuie neaparat sa avem un maxim de difractie Intr-o directie care face


cu axele de coordonate unghiurile a, j3 i

r Acest lucru este Insa foarte

greu de realizat (un sistem de patru ecuatii cu trei necunoscute nu este

Tntotdeaunacompatibil).
Daca unul sau mai multi parametri din ecuatiile (2.58) sunt
variabili, atunci se pot obtine maxime de difractie pentru acele valori ale
x

parametrilor variabili care satisfac ecuatiile (2.58) i (2.59).


In consecinta, putem stabili de aici, principiile celor mai
importante metode care pot fi utilizate pentru studiul structurii cristaline
prin difractie de radiatii X.
a. Daca parametrul A- (lungimea de unda a radiatiilor X incidente)

-y

(a)

este variabil, adica fasciculul incident de radiatii X prezina un

(b)

Fig. 2.25. Difractia radiatiei X pe o retea tridlrnensionala. (a) - conurile de difractie: (b)
Intersectiile conurilor cu axele de coordonate (privite din directia axei Oz)

spectru continuu, atunci pentru un unghi de incidenta determinat


( ao,

/30

si t constante), va fi reflectata acea components

spectrala a radiatiei pentru care sunt satisfacute conditiile (2.58).


2.5.9.Metode de studiu a cristalelor prin difractie de radiatii X
Trebuie sa mentionarn ca lntre variabilele a, J],

Aceasta rnetoda se nurneste metoda Laue i foloseste pentru

din (2.58) (care

In fond reprezinta unghiurile pe care o dreapta care trece prin originea

lnvestiqatie radiatiile X care prezinta un spectru continuu (radiatia

x "alba").

unui sistem de axe de coordonate le face cu axele sistemului respectiv)

b. Daca unghiul de incidenta i lungimea de unda a radiatiei X

exista o relatie de interdependenta. De exemplu, pentru un sistem de

folosite sunt parametrii determinati (deci se foloseste radiatie X

coordonate rectangular, putem scrie

rnonocrornatica), atunci fie se roteste sursa de radiatii X In jurul

cos2 a + cos2 j3 + cos2 r = 1

(2.59)

unei axe de referinta pentru anumite valori ale unghiului de


incidenta, fie se mentine sursa In pozitie fixa i se roteste
cristalul pentru a se obtine anumite valori ale unghiurilor de

206

BAZELE FIZICU SEMICONDUCTORILOR

Capitolul II - Studiul experimental al structurii materialelor semiconductoare

207

incidenta pentru care se forrneaza maxime de difractie. Ultima

corespunde unei familii de plane care, pentru unghiul de incidenta

varianta este mult mai avantajoasa din punct de vedere a

stabilit, selecteaza, din spectrul continuu al radiatiilor X, radiatlile cu

reallzarii practice i In acest caz metoda se numeste metoda

anumite lungimi de unda care satisfac conditia Bragg.

cristalului rotitor.

Prin metoda Laue se poate determina orientarea planelor


cristaline i simetria celulei elementare [61, 97, 147, 148], intrucat figura

a - Metoda Laue

de difractie obtinuta pastreaza simetria retelei cristaline. Daca, de

Este folosita pentru studiul monocristalelor cu radiatii X care au

exemplu, figura de difractie prezina o axa de simetrie de ordinul 6,

spectru continuu (radiatie alba sau policromatica), Sunt mai multe

reteaua este hexaqonala, In cazul In care exista o axa de simetrie de

variante ale metodei, insa principiul metodei este acelasi,

ordinul 4, reteaua este tetraqonala, iar daca pe langa aceasta axa de

Un monocristal de dimensiuni mici (cativa milimetri) este fixat pe

ordinul 4 mai poseda i o axa de ordinul 3, reteaua are simetrie cubica.

un suport (de obicei pe platforma unui goniometru) care permite sa-I


orientam sub diferite unghiuri fata de fasciculul incident (Fig.2.26).

a' - Metoda celor patru cercuri (rotatii)

Monocristalul va difracta radiatiile X care, pentru unghiul de incidenta


considerat, au o lungime de unda care satisface conditia Bragg (2.43).
tub de
radiatiii X

In altele o rnetoda diferita (independents) [48, 61, 148].


Dispozitivul experimental folosit este tot un tip de goniometru

monocristal

---.g..--------

-s-

goniometru
fante
colimatoare

in multe carti aceasta se considera o variana a metodei Laue, iar

(sistem giroscopic) care permite rotirea cristalului (cu unghiurile


<p3)

(fh

<p2,

In jurul a trei axe de rotatle necoplanare (Fig.2.27) i rotirea

lndependenta a detectorului de radiatie X pentru a putea scana unghiul


de difractle 2B. Analiza figurii de difractie In acest caz permite sa se
determine i indicii Miller pentru planele pe care are loc difractia.

film fotografic

Fig. 2.26. Aranjamentul experimental folosit pentru


metoda Laue de studiu a structurii cristaline

b - Metoda cristalului rotitor


in aceasta rnetoda se foloseste radiatia X monocrornatica i un

Radiatiile difractate pot fi lnregistrate de un film fotografic sub

esantion sub forrna de monocristal. Unghiul de incidenta poate fi variat

forma plana (se poate utiliza Inca un film pentru lnregistrarea radiatiilor

prin rotirea (modificarea orientaril) cristalului In raport cu fasciculul

reflectate [61, 97]).

incident. in acest scop, cristalul se fixeaza pe un suport, care se gasete

Figura de difractie (laueqrarna) se prezinta sub forma unor pete


(puncte) situate pe niste elipse cu axa mare cornuna. Fiecare pata

208

BAZELE FIZICII SEMICONDUCTORILOR

Metoda cristalului
monocristal

209

Capitolul II - Studiul experimental al structurii materialelor semiconductoare


rotitor permite determinarea

elementelor

de

simetrie a monocristalului studiat, parametrii celulei elementare s.a. [48].


raza difractata

c - Metoda de difractie pe pu/beri (metoda pulberilor)


Aceste metode sunt utilizate pe scara larqa, lntrucat majoritatea
esantioanelor analizate au o structure policristalma (strat subtire, pulberi
de cristalite fine etc.).

~tajie28

Sa explicam principiul acestei metode. Considerarn ca difractia


are lac pe planele cu indici Miller (hkl) a unui cristal care forrneaza un
unghi de incidenta
Fig. 2.27. Prezentarea schematics a difractometrului cu patru cercuri

in

interiorul

unei

camere

de

difractie

cilindrice

(Fig.2.28),

e cu

fasciculul de radiatie X rnonocrornatica.

pentru unghiul respectiv, conditia Bragg (2.43) este lndeplinlta,


rotirea

OB a radiatiei difractate

face un unghi 2() cu fasciculul

Daca
directia

incident. Se

pe directia fasciculului

obtine pe o pelicula fotoqrafica, pe care se studiaza difractia, o pata (un

pe un film fixat

pe

punct). in cazul in care se roteste continuu planul de reflexie in jurul

rotatie numai

fasciculului incident ( B ramanand constant) raza difractata va forma un

pentru anumite valori ale unghiului de incidents este satifacuta relatia

con (cu un unghi de deschidere 4B) (Fig. 2.29a) a carul intersectie cu

Bragg (2.43), figura de difractle va fi formats din pete dispuse pe niste

pelicula

efectuandu-se
incident.
suprafata

in jurul unei axe perpendiculare

Radiatiile

difractate

interioara

sunt inregistrate

a peretilor cilindrului.

Intrucat, prin

fotoqrafica

reprezinta

arce

de

cerc

(Fig.

2.29b

cercuri. Pentru o rotatie completa a cristalului se formeaza patru pete de


difractie [48, 61, 97].
monocristal
radiatil X
incidente

radiatii X
transmise

film fotografic

(a)

(b)
Fig. 2.29. Principiul metodei pulberilor

in cazul unei pulberi policristaline,


Fig. 2.28. Metoda cristalului rotitor pentru studiul monocristalelor
prin difractie de radiati' X.

cristalitelor,
conditia

var exista

Bragg

(adica

intoteauna
relatia

datorita orientaril haotice a

plane reticulare

despre

care

care indeplinesc

vorbeam

mai

sus

"se

).

BAZELE FIZICII SEMICONDUCTORILOR

210

Capitolul II - Studiul experimental al structurii materialelor semiconductoare

211

realizeaza de la sine"). De exemplu, daca analizarn 1 mm3 de pulbare

forrna rnasiva (suprafata de analiza fiind plana), Sursa de radiatii este

policristalina

fixa iar esantionul si detectorul se rotesc cu unghiurile B i respectiv 2B.

forrnata

din cristalite

cu dimensiuni

aceasta pulbere va contine aproximativ


structura

cristalina

medii de 10 m,

106 cristalite, care au aceeai

dar care sunt orientate

Aceste

dispozitive

se

numesc

difractometre

(Fig.2.30).

Semnalul

diferit fata de fasciculul

lnregistrat de detector este lnregistrat sub forma de maxime (peak-uri)

incident. Tntre aceste cristalite se va qasi, fara Indolala, un mare numar

de difractie lnguste situate la anumite valori ale unghiului 2B i poarta

de cristalite cu planele (hkl) care fac un unghi B cu fasciculul incident si

numele de difractograme (Fig. 2.31 ).

care satisfac conditia Bragg i care vor da o raoiatle difractata,


urmare, fenomenul

este asernanator

Prin

cu eel de rotire a planului

~---

de

reflexie In jurul fasciculului incident.

--

Tub de

Metoda descrisa de studiu a structurii cristaline poarta denumirea

\
\
\
\

de metoda Debye-Scherrer.

In

\
\

forrna

de

pulbere are de obicei forma unui cilindru cu diametrul de aproximativ

dispozitivele

experimentale

utilizate,

proba sub

/\

deplasarea
goniometrului

mm (pulberea fie se introduce lntr-un tub cu diametrul foarte mic i cu


pereti foarte subtiri, fie este depusa

esantionul
de studiat

uniform pe un suport cilindric

filiform) i se aseaza In centrul casetei cilindrice, pe peretele interior al


careia este fixat filmul pe care se Inreqistreaza
lntersectia

conurilor cu pelicula fotoqrafica

Fig. 2.30. Schema unui difractometru [148].

maximele de difractie.

forrneaza liniile de difractie

Difractometrele

moderne

asiqura controlul

experimentelor

din a carer pozitie se determina unghiurile de difractie, Pe film se obtin

interpretarea

atat radiatiile difractate "inainte'', cat i cele difractate "inapoi".

crestere accentuata a preciziei echipamentelor respective.

Metoda Debye-Scherrer

permite determinarea simetriei structurii

cristaline (tipul celulei elementare,

parametrii celulei elementare,

fazele

cristaline, defectele structurale .a ..

rezultatelor cu ajutorul calculatoarelor,

fapt ce determina o

Pentru un nurnar foarte mare de substante (elemente, cornpusi,


fazele diferite ale unor substante etc.) cu diferite structuri cristaline se
cunosc unghiurile pentru care se obtin maximele de difractie pe diferite
plane reticulare pentru diferite radiatii X monocromatice

c' - Metoda difractometrului


Scherrer,

care,

detectoare

locul

de radiatii

semiconductori
eantioanele

In

s.a.),

este In fond o varianta a metodei Debye


lnreqistrarii

X (contori
radiatia

fotografice,

Geiger-Muller,

folosita

este

foloseste

diferite

cu scintilatii,
monocrornatica,

folosite. Astfel,

prin compararea figurii de difractie obtinuta In urma studiului unui anumit


esantion

cu fiele ASTM

1),

se poate identifica

tipul de structure

cu
iar

folosite sunt fie sub forma de pulbere compacts fie sub

1
in fisele ASTM (American Standard for Testing Materials) sunt catalogate fazele cristaline
cunoscute pana in prezent. 0 anumita fi~a cuprinde, in afara de datele cristalografice despre o
anumita faza cristalina ~i informatii referitoare la conditiile experimentale in care a fost trasata
difractograma
respectiva.

212

BAZELE FIZICII SEMICONDUCTORILOR

Capitolul II - Studiul experimental al structurii materialelor semiconductoare

cristatina.

213

unei probabilitati nenule de a gasi particula de cealalta parte a barierei in

Studiile intreprinse cu difractometrele moderne permit obtinerea

cazul in care larqimea barierei este de acelasi ordin de rnarirne cu

unor inforrnatii referitoare la: tipul de structura cristalina, analiza

lungimea de unda asociata particulei respective.

calitativa si cantitativa a fazelor, prezenta unor texturi cristalografice,

Primul care a sugerat posibilitatea tunelarii electronilor din

studiul unor tensiuni interne etc.

groapa de potential coulumbian a unui atom izolat, a fost Oppenheimer


(1928)1) care a aratat ca intr-un camp electric intens, peretii gropii de
potential atomic se distorsioneaza (se micsoreaza ~i se inqusteaza)

lncat electronul poate tunela prin bariera astfel deformata (Fig. 2. 32).
cu
Q)

Efectul tunel a fost folosit pentru prima data in 1928, de catre

u;

Fowler ~i Nordheim pentru explicarea emisiei electronilor din metale (la

Q)

rece) in campuri electrice intense, ~i de catre Frenkel, in 1930, pentru a


explica faptul ca rezistenta de contact dintre doua metale nu depinde de
ternperatura.
28

Fig. 2.31. Exemplu de difractoqrarna pentru un material cristalin

Echipamentele permit efectuarea de rnasuratori la temperaturi


joase sau la temperaturi inalte sau se poate studia difractia la unghiuri

nivel
enerqetic

mici pe esantioane sub forrna de straturi subtiri, tablete (obtinute prin


presarea pulberilor cristaline) etc.
(a)

(b)

Fig. 2. 20. Forma gropii de potential din atom ~i a probabilitatii


pentru un atom aflat tntr-un camp electric nul (a)
~i tntr-un camp electric intens (b ).

2. 6. Microscopia cu efect tune/


2.6.1. Efectul tune/

Acest fenomen sta la baza explicarii functionarii microscopului cu

Dupa cum se stie, efectul tunel consta in "trecerea" unei particule


printr-o bariera de energie potentiala avand o lnaltime mai mare decat
energia

particulei.

Spre

deosebire

de

mecanica

clasica,

efect tunel.
in

unde

traversarea unei bariere de potential se poate face doar prin escaladare,

corpurile

solide fenomenul

de tunelare are

caracter

unidimensional. Pentru electroni care au energii mai mici decat inaltimea

in mecanica cuantica, natura ondulatorie a particulelor duce la aparitia


1

J.R. Oppenheimer, Phys. Rev., 31 (1928) 66.

BAZELE FIZICU SEMICONDUCTORILOR

214

Capitolul II - Studiul experimental al structurii materialelor semiconductoare

barierei se definete, In mecanica cuantica, coeficientul de transmisie

215

rezolvarea ecuatiilor lui Schrodinger In regim stat'onar.

(sau probabi/itate de tune/are) ca fiind raportul dintre densitatea fluxului

Rata de transfer a unui electron de la un electrod la altul este

de probabilitate din unda transrnisa si densitatea fluxului de probabilitate

calculate folosind teoria perturbatiilor dependents

din cea incidenta sau dintre curentul transmis ( curentul de tunelare) :;;i

Bardeen gasete amplitudinea

eel incident.

elementul matricii de tunelare Msr prin suprapunerea functiilor de unda

deosebita importanta pentru procesele de tunelare pentru diverse forme

ale celor doua subsisteme, pe o suprafata oarecare (un plan situat lntre

ale barierei de potential [226].

cei doi electrozi (de exemplu pentru

Calculul

Microscopul

densitatii

de curent

de tunelare

cu efect tunel constituie

prezinta

un mijloc deosebit

de

care se deplaseaza

la o distanta foarte mica (de ordinul

angstromilor)

de suprafata probei, electronii putand tunela spatiul liber

= z0 (v.

f [ 's--8-'r--

Msr =- Ii

este un varf metalic ( confectionat de requla

din wolfram)

electronic, sau, altfel spus,

Fig. 2. 33))) sub forma

[226]

important In studiul suprafetelor solide. Dupa cum se va vedea, partea


principala a microscopului

transferului

de timp. Ca rezultat,

2m

Z=Zo

&

8'S

&

dS

(2.60)

unde Ts i "'Pr sunt functiile de unda ale celor doi electrozi (suprafata
probei i varful metalic).

dintre suprafata

:;;i varf, Acest proces este In fond o tunelare intr-o

structura de tipul metal - izolator - metal sau o tunelare tntre suprafetele

(a)
s

a doi electrozi metalici situati la o distanta foarte mica.

Pentru deducerea expresiei curentului de tunelare vom urrnari un


rationarnent pro pus de Bardeen ( 1961) care ia In considerare tranzitiile
lntre doua stari electronice

apartinand

calcul

perturbatiilor

se foloseste

teoria

la doi electrozi.
In aproxirnatia

Pentru acest
de ordin

dependenta de timp.
0 diaqrarna schernatica

pentru formalismul

folosit de Bardeen

este data In Fig. 2. 33 [60, 226]. Astfel In locul rezolvarf

ecuatiei lui

Schrodinger pentru sistemul cuplat (Fig. 2.21 a), Bardeen porneste de la

Fig. 2.33. Reprezentarea schematics a formalismului electrozilor independenti [60].


Functia de unda a celor doi electrozi cuplati (notati cu S si T) (a) se obtine prin
suprapunerea functiilor de unda a electrozilor separaf (b) ~i (c).

cele doua subsisteme separate (Fig. 2.21 (b) :;;i (c)) calculand curentul
de tunelare

prin suprapunerea

functiilor

de unda

a subsistemelor

Probabilitatea de tranzitie este data, cum am mai spus, de regula


de aur a lui Fermi, adica: probabilitatea

w ca un electron In starea Ts

independente folosind regula de aur din mecanica cu anti ca ( enuntata de


Fermi)

(v. 2.61 ). Din acest

motiv, formalismul

este cunoscut

sub

denumirea de aproximafia electrozilor independenfi.


Startle electronice

a subsistemelor

separate sunt obtinute prin

avand o energie
E\f'T

E\f's

sa treaca (tuneleze) In starea "'Pr avand energia

este data de [60, 226, 233]

BAZELE FIZICU SEMICONDUCTORILOR

216

Capitolul II - Studiul experimental al structurii materialelor semiconductoare

Pe langa acestea,

(2.61)

Bardeen

a presupus

217

ca in intervalul

de

energie de interes, elementul matricii de tunelare, Msr, este aproximativ


Functia c5 care da densitatea de stari, este astfel aleasa incat

constant, curentul de tunelare depinzand in principal de densitatile de

doar starile cu aceeasi energie in ambii electrozi sa contribuie apreciabil


la procesul de tunelare.

start din cei doi electrozi, adica

Cu alte cuvinte, este vorba de conservarea

eV

I~

energiei sau, altfel spus, de tunelari "orizontale".

Sa particularizarn

startle. Adica, pentru o diferenta de potential, V, intre cei doi electrozi,

I=

lucrul

J [t(EF

-eV +&)-t(EF

+c)]x

= ---1+ e

1
E-EF

mecanic

densitatea

de extractie
de

barierei iar

kT

din (2.62) iau in considerare

se poate face doar de pe stari energetice

electronilor

care tuneleaza

ocupate

de la dreapta

tunel:

una datorata

la stanqa

e-2Kos

ale curentului disparand. in acest caz, curentul de

f Ps(EF-eV+c)PT(EF

1)

(2.65)

s este latimea

n2

j =

(2.67)

in care

C:V 1'2 exp(-C2s1'2) '

c 1 = 4 ' 74 Av-1A-1ev-112
Principala

concluzie

c::i

'S'

care

c2 =

1 ' 025

rezulta

A-1ev-112
din

(4.61)
.

relatia

(2.68)

este

tiescresteree exponenfia/a a curentului odata cu cresteree distentei


dintre cei doi electrozi.

+c)/MsT/2dc

(2.66)

iar (2.65) devine

eV

forma

sl una

tunelare are expresia

sub

conditi.

inlocuind constantele in expresia de mai sus, gasim

pe stari

distributie Fermi-Dirac devin de tip treapta, una dintre cele doua

V Ka

4nn

ca tunelarea

in cazul particular al temperaturilor joase (eV <<kT), functiile de

l=_!!_e

J = 3e2

Ka [A-1] = 0,50125([ev])112
ale curentului

scrie

fiind

Ka este o constants de atenuare pana la nivelul Fermi a

datorata electronilor care traverseaza bariera in sens invers;

componente

putea

aceste

K = (2m, J112

energetice libere;
componente

va

in

aplicata celor doi electrozi,

Trebuiesc facute cateva observatli cu privire la relatia (2.62):

doua

se

barierei).

<< EF,

functiei de unda in bariera, data de

i Pr(E) sunt densitatile de stari din cei doi electrozi.

Exista

(Inaltirnea

curent

in care V este tensiunea

este functia de distributie Fermi-Dirac, iar Ps(E)

Functiile Fermi-Dirac

i eV

ca

(2.62)

-00

in care f (E)

mai departe acest rezultat presupunand

tensiunea de polarizare este mica, adica eV <<

curentul de tunelare total este [60, 233]:


+oo

(2.64)

Curentul de tunelare poate fi evaluat prin integrarea pentru toate

J Ps ( EF - e V + E) PT ( EF + E) d E

(2.63)
1

J.G. Simons, J. Appl. Phys., 34(1963) 1793; 35(1964 2655.

BAZELE FIZICH SEMICONDUCTORILOR

218

De exemplu, pentru o inaltirne a barierei de 5 eV, o crestere a


distantei cu 1 A, duce la o scadere a curentului de 10 ori!

Capitolul II - Studiul experimental al structurii materialelor semiconductoare

tensiunii aplicate).

In

219

acest fel, curentul tune! variaza (exponential

conform cu (2.68)) cu distanta varf - proba fiind in final tocmai semnalul


folosit pentru generarea imaginii tridimensionale a suprafefei.

2.6.2. Microscopul cu efect tune/

Exista doua moduri de functionare pentru baleierea (scanarea)

Pornind de la cele prezentate, a aparut idea construirii unui


microscop cu efect tune/. Acesta a fost inventat in 1981 de catre Gerd

unei probe: modul de inaltirne constants (IC) i modul de current


constant (CC).

Binning si Heinrich Rohrer. Microscopul cu efect tune! cu baleiaj (STM -

In

modul de lnaltime constanta, varful este deplasat intr-un plan

Scanning Tunneling Microscope) a fost primul instrument capabil sa

paralel cu suprafata probei (Fig. 2.35). Curentul tune! depinde de

genereze imagini tridimensionale la o rezolutie de nivel atomic.

topografia i de proprfetatile electronice superficiale ale probei.

Schema de principiu a unui microscop cu efect tunel este data in Fig.


2.34.

traseul varrulul

Fig. 2.35. Reprezentarea


dispozitiv de
masura a
curentului tunel

sistem de generare
a imaginii
tridimensionale

sistem de control al
deplasarilor varfului
~i probei

In

schernatica a functionarii in modul de inal1ime constanta.

modul de curent constant, microscopul foloseste o bucla de

reactie (feedback) pentru a rnentine constant curentul prin ajustarea


distantei dintre varf si proba in fiecare punct (Fig. 2.36).

~
~

vizuallzarea irnaqinii
tridimensionale a suprafetel

Fig. 2.34. Schema de principiu a unui microscop cu efect tune!

Evident imaginile generate in cele doua moduri de functionare


vor fi identice. Dar fiecare dintre aceste moduri prezinta anumite
avantaje ~i dezavantaje. Astfel, modul de lnaltime constants este mai

Microscopul tunel cu baleiaj foloseste un varf foarte ascutit ("tip"

rapid deoarece nu mai este necesara reactia de ajustare a Inaltirnii.

In

in limba enqleza) confectionat dintr-un material conductor. Tntre acesta

schimb, acest mod poate fi folosit numai pentru suprafete putin rugoase,

si proba de studiat se aplica tensiunea de polarizare. Cand varfu' este

fara asperitati. Pe de alta parte, modul de curent constant poate

adus la cca. 10 A de proba, electronii din proba incep sa tuneleze

"rnasura" suprafete mai neregulate cu mai mare precizie dar necesita un

intervalul de la proba la varf (sau invers, in functie de polaritatea

timp

mai

lung.

BAZELE FIZICII SEMICONDUCTORILOR

220

Capitolul II - Studiul experimental al structurii materialelor semiconductoare

221

poate fi un avantaj. Celelalte tehnici ~i metode utilizate pentru obtinerea


de lnforrnatii despre proprietatue electronice ale suprafetei detecteaza
doar o valoare medie a acestor proprietati corespunzator unei zone mult

varr

mai intinse (de la cativa m2 la cativa rnrrr) ~i nu la o rezolutie la nivel

traseul vartulul

atomic ca in cazul microscopului tunel.

2.7. Microscopia de forta atomica


Fig. 2.36. Reprezentarea schernatica a functionarf In modul de curent constant.

Microscopul cu forta atomics (AFM - Atomic Force Microscope)


Trebuiesc facute unele observatii cu privire la microscopul cu

este o varianta a microscopului cu efect tunel. Microscopul cu forta

efect tuneI. f n prima aproxirnatie, "imaginea" curentului tuneI corespunde

atomica beleiaza (scaneaza) suprafata probei cu un varf ascutit de

cu topografia suprafetei probei. Mai precis insa,

curentul tunel

cativa m lungime si cu mai putin de 100 A in diametru. Varful este

corespunde densitati: de stari electronice de la suprafata probei. Astfel,

plasat la extremitatea libera a unui suport (cantilever - qrinda, consola in

microscopul cu efect tunel sesizeaza de fapt numarul de stari ocupate

limba enqleza) a carui lungime este de 100 - 200 m. Fortele care apar

sau libere din vecinatatea suprafetei Fermi, dintr-un interval determinat

intre varf ~i proba determina indoirea si/sau torsionarea suportului

de tensiunea de polarizare (v. (2.64)). Cu alte cuvinte, microscopul

(cantileveru-lui). Un detector specializat mascara deflexia (indoire si/sau

masoara supreiete de probabi/itate de tune/are Constanta.

torsiune) cantilever-ului in timp ce varful baleiaza suprafata probei.

Avand in vedere cele de mai sus, pot apare doua puncte de


vedere: unul pesimist conform caruia sensibilitatea microscopului cu
efect tunel la structura electronica a suprafetei poate cauza "probleme"
daca suntem interesati de fapt de topografia suprafetei. De exemplu,
daca o zona a probei este oxidata, curentul tunel va descreste puternic
cand varful ajunge in respectiva zona. In modul de functionare in curent

Odata rnasurate aceste deflexii, cu ajutorul unui calculator se poate


genera imaginea tridirnensionala a suprafetei probei.
Spre deosebire de microscopul cu efect tunel, microscopul cu
forta atomica se poate folosi ~i pentru studiul suprafetelor izolatorilor.
Principalele forte care deterrnina deflexia cantileverului sunt
fortele interatomice, respectiv fortele van der Waals.

constant, bucla de reactie va obliga varful sa se apropie de suprafata

Descrierea detauata a acestui tip de forte va fi facuta in 3.4.

probei pentru a rnentine curentul constant. Aceasta este de fapt

Aici doar vom rnentiona ca in functie de distanta dintre varf si suprafata

echivalent cu existenta unei false "gropi" pe suprafata probei.

probei, se deosebesc doua regimuri (moduri) de lucru pentru

Celalalt punct de vedere, eel optimist, apreciaza sensibilitatea

microscopul cu forta atornica: modul contact cand varful este rnentinut

mare a microscopului cu efect tunel la structura electronica a probei care

la o distanta de cativa A de suprafata probei, iar fortele de interactlurie

222

BAZELE FIZICH SEMICONDUCTORILOR

Capitolul II - Studiul experimental al structurii materialelor semiconductoare

223

dintre acestea sunt de natura repulsiva (Fig. 2.37) i modul (regimul)

apropierea varfului de suprafata probei, cantileverul se va lndoi datorita

non-contact cand varful se afla la distante de ordinul zecilor sau sutelor

imposibilitatii apropierii atomilor varfului de cei ai probei. Chiar daca

de A de suprafata, fortele de interactiune fiind de tip atractiv (Fig. 2.37).

incercam sa folosim un cantilever cu o constants de elasticitate mai


mare, este putin probabil ca varful sa se apropie mai mult de proba, f n

lac de aceasta are lac mai deqraba o deformare a suprafetei probei.


Regim contact
intermitent

repulsie

Practic, este posibila smulgerea de atomi din proba i deplasarea


acestora pe suprafata acesteia In pozitii dorite (tehnica se numeste
nanolitografie).

f n afara

fortelor repulsive van der Waals, mai exista alte doua

tipuri de forte care sunt prezente In cazul operarf In modul contact:


forta capilara exercitata de stratul subtire de apa prezent la

regim non-contact

atractie

suprafata probei In mediul lnconjurator, Acest tip de

forta apare

cane moleculele de apa se qrupeaza In jurul varfului apllcand o


puternica forta atractiva (~ 1

Fig. 2. 37. Dependents fortelor de lnteractiune (F) de distanta dintre varf ~i proba (R).
Sunt figurate cele doua regimuri de lucru.

o-8

N) asupra acestuia, rnentinandu-l

astfel In "contact" cu proba. Evident, rnarimea acestei forte


capilare depinde de distanta dintre varf si suprafata probei.

Varn explica mai arnanuntit aceste doua regimuri de functionare.

Forts exercitata de cantilever-ul lnsui care este asimilata unei


forte de natura elastics. Manrnea i sensul acestei forte (atractiva

a - Madu/ contact

sau repulsive) depinde de Indoirea cantilever-ului si de constanta

f n modul contact (mod repulsiv), varful face un "contact fizic" UOr cu

sa elastlca.

suprafata probei. Constanta elastica a cantilever-ului trebuie sa fie mai

Spre deosebire de fortele

mica decat constanta elastica efectiva corespunzatoare Ieqaturilor


interatomice din proba. Pe rnasura ce varful trece peste suprafata
probei, fortele interatomice "obliqa" cantileverul sa se Indoaie pentru a

constante (presupunand pelicula de apa ornoqena), forta elastica a


cantilever-ului este variabila,

f n cazul regimului (modului) contact,

se adapta la rnodificarile din relieful suprafetei,

f n zona corespunzatoare modului contact, panta curbei F

capilare (de adeziune), care sunt

= f(r)

totala exercitata

asupra probei, variaza de la 1 o-8 N pana la valori uzuale In practica de


10-5 N. Aceasta forta este compensata de fortele de respingere

este foarte abrupta (v. Fig. 2.37). Ca urmare, fortele van der Waals

10-7

cornpenseaza orice alta forta care ar determina apropierea atomilor. f n

van der Waals.

cazul concret al microscopului cu forta atornica, aceasta Insearnna ca, la

forta

BAZELE FIZICH SEMICONDUCTORILOR

224

b - Madu/ non-contact

In

Capitolul II - Studiul experimental al structurii materialelor semiconductoare

225

constanta elastica variaza cu gradientul fortei "sirntite" de

acest regim de lucru se foloseste tehnica cantilever-ului

cantilever;

vibrant. Acesta, aflat in rniscare de vibratie, este adus la o distanta de

gradientul fortei (care este de fapt derivata functiei F

sute de angstromi de suprafata probei. Tn Fig. 2.37 acest regim este

modifies cu distanta dintre varf si suprafata probei (v. Fig. 2.37)).

marcat in zona corespunzatoare fortelor de atractie.

Astfel, se poate pune in leqatura distanta varf - proba cu

Regimul non-contact este de dorit deoarece permite evidentierea

f(R) se

rnodificarile in frecventa
de rezonanta
a cantilever-ului.
'
'

topografiei suprafetei probei fara un contact direct cu aceasta. Forta


totala exerclteta de varf pe suprafata probei este cu mult mai mica

Modul de lucru non-contact prezinta cateva avntaje si anume: In

(~ 10-12 N) decaf in modul contact. Valoarea mica a acestei forte

modul non-contact, nu apare degradarea varfului ca in cazul regimului

prezinta un avantaj in cazul studierii probelor moi sau cu o mare

contact; regimul non-contact este preferat in cazul investiqarii probelor

elasticitate. Mai mult, datorita distantei mari dintre varf i proba este

moi (putin dure).

lmpiedicata contaminarea suprafetei acesteia din urma.


Pe de alta parte, datorita valorii mici a fortei de interactiune,
rnasurarea acesteia devine dificila.

In

In

cazul unor probe dure, cele doua regimuri de lucru dau

rezultate identice. Oricum, daca un strat subtire de apa (condensate pe

plus, rigiditatea relativ mare a

suprafata probei din mediul inconjurator) se afla pe suprafata unei probe

cantilever-ului contribuie si ea la intensitatea mica a semnalului ce

rigide, imaginea poate sa apara diferit in cele doua cazuri: in cazul

trebuie detectat.

regimului non-contact varful va produce sl imaginea suprafetei stratului

Din acest motiv, in practica se folosesc o serie de scheme de


detectie in curent alternativ. Astefel, sistemul de control al cantilever-ului

de lichid (Fig.2. 38a), pe cand, in modul contact varful va penetra stratul


de lichid pentu a atinge suprafata probei (Fig.2. 38b).

ii aduce pe acesta in vibratie la o frecventa apropiata de frecventa de

Trebuie sa mai rnentionarn ca in cazul unor suprafete foarte

rezonanta (de obicei intre 100 i 400 kHz) i cu o amplitudine de cativa

elastice, care ar putea fi distruse de trecerea varfului peste ele, se poate

zeci de angstromi. Ulterior sunt detectate schirnbarile frecventei de

folosi un regim de lucru intermediar intre cele doua prezentate numit cu

rezonanta (sau a amplitudinii) care au loc In timpul scanarii suprafetei

contact intermitent. Acesta este asemanator cu modul non-contact cu

probei. Sensibilitatea acestui procedeu duce la rezolutif verticale sub 1A

diferenta ca varfu' aflat in rnlscare de vibratie este adus mai aproape de

ca i in cazul regimului contact.

suprafata, lncat la capatul inferior al cursei acesta atinge suprafata

Dependenta frecventei de rezonanta de topografia suprafetel


poate fi explicata in felul urmator:
frecventa de rezonanta a cantilever-ului este proportionala cu
puterea % a constantei sale elastice;

probei. Acest mod (regim) de lucru se nurneste mod pipalre (tapping


mode in limba enqleza) si este de asemenea figurat in Fig. 2.37.
Avantajul acestui mod este ca elirnina fortele laterale (de frecare)
dintre varf i suprafata probei, ellrnlnand in acest fel si unele
dezavantaje

ale

modurilor

contact

sau

non-contact.

226

BAZELE FIZICII SEMICONDUCTORILOR

Capitolul II - Studiul experimental al structurii materialelor semiconductoare

227

non-contact

(a)

proba
Fig. 2.39. Detectarea rniscarilor verticale ale cantilever-ului
folosind un fotodetector sensibil la pozitia razei laser
pe suprafata sa (PSPD).

contact

*
(b)

Dupa descoperirea microscopului cu efect tunel, pe lanqa


microscopia de forta atomlca, au mai fast dezvoltate i alte tehnici
inrudite de studiu a proprietatilor

suprafetelor. Noi doar vom rnentiona

unele dintre acestea, prezentarea lor in arnanunt


Fig. 2.38. Evidentierea imaginii obtinute a unei suprafete
pe care se gase~te o picatura de apa
in modul de lucru non-contact (a) ~i contact (b).

f n final, trebuie sa mai mentionam ca pentru detectarea


rnodificarilor de pozitie ale cantilever-uiui se folosesc in practica curenta
tehnici de fotodetectie (Fig. 2.39). Astfel, o raza laser este reflectata de o
oqlinda plasata pe spatele cantilever-ului ajunqand apoi la un
fotodetector sensibil la pozitia fasciculului (PSPD - Position Sensitive
Photo-Detector). Acestea pot detecta deplasari ale fasciculului de pana

nefacand obiectul

cursului de fata:
Microscopia de forta rnaqnetica (MFM -

Magnetic Force

Microscopy);
Microscopia de forta rnooulatlonala (FMM - Force Modulation
Microscopy);
Microscopia cu detectie de faza (PDM -

Phase Detection

Microscopy);
Microscopia de forta electrostatica (EFM - Electrostatic Force

la 10 A. Datorita raportului mare intre drumul razei laser de la cantilever

Microscopy);

la detector, are lac o "amplificare" rnecanica. Ca urmare, sistemul poate

Microscopia capacitiva cu baleiaj (SCM - Scnning Capacitance

detecta deplasari verticale mai mici de 1 A, avand deci rezolutii de nivel

Microscopy);

atomic.

Microscopia termala cu baleiaj (SThM - Scanning Thermal


Microscopy);

228

BAZELE FIZICII SEMICONDUCTORILOR

Micro analiza termica (ThM - Micro-Thermal Analysis);


Nanolitografia s.a.

CAPITOLUL III

LEGATURA CRISTAL/NA
3.1. Fortele de legatura dintre atomi (ioni)
Proprietatea atomilor (ionilor) de a putea forma, in conditii
determinate, molecule sau cristale stabile este o dovada mcontestabila a
faptului ca intre acestia se exercita atat forte de etreciie, cat si forte de
respingere (repulsie).

Stabilitatea corpurilor este realizata numai in

cazul in care intre atomii care se qasesc la distante mari actioneaza


preponderent forte de atractie, iar in cazul in care acestia se gasesc la
distante foarte mici (mai mici decat aproximativ 1 o-B cm) trebuie sa
predomine fortele de respingere. Evident, daca intre atomii aflati la
distante mari unul de celalalt ar actiona forte de respingere, atunci atomii
respectivi s-ar ,,impra~tia" (dispersa) in spatiu, iar in cazul in care la
distante mici intre atomi ar predomina fortele de atractie, atomii s-ar
,,ingramadi"lntr-un singur punct.
In general, este mai comod sa studiem mteractiunea dintre atomi
luand in considerare nu fortele de interactiune, ci energia potenfia/a de

interectiune dintre atomi,

U(R). Aceasta energie potentiala o vom

considera ca depinzand numai de distanta R dintre nucleele atomilor.

In

Fig.3.1, prin curbele 1

sl 2, s-au reprezentat energiile

potentials de interactiune dintre doi atomi, unul considerat fix, situat in

Capitolul III - Legatura cristalina

BAZELE FIZICII SEMICONDUCTORILOR

230

originea O a axelor de coordonate,

deplasa in lungul axei R. Energia potentrala


valorile

ei fiind determinate

in

i un alt atom A care se poate

cu precizia

este o manrne relative,

unui termen

constant,

ales

Forta de interactiune dintre atomii care se qasesc la distanta R

unde

R =QA

potentials i deci corespunde


(indiferent

de distanta

reprezinta

partea

cazului in care cei doi atomi se resping

dintre acestia), iar curba 2 reprezinta

'

au

dU
dR

=----=- =--aR

(3.2)
unde

A in raport cu originea

Fa

este forta de atractie,

Fr - forta

de respingere, iar

FR

este forta

rezultanta de interactlune dintre atomi.


Exista o anurnita distanta Ro intre atomii care formeaza cristalul
pentru care energia potentiala are un minim, distanta care se deterrnina
'

in cazul in care d U > 0, forta


dR
'

are sens contrar cu

R ( F este

cu R) si In acest caz predominii atractla. Dacii :~

< 0,

....

R ( F este

partea

'

(3.1)

este vectorul de pozitie al atomului

are acelasi sens cu

a energiei

Conditia de echilibru dintre forte este

sistemului , iar R este un verser in directi, a axei OR.

antiparalelii

repulsiva

rezuitanta 3 are o forma mai cornplexa.

se poate scrie sub forma

Fig. 3.1, curba

atractiva a energiei potentiale si corespunde atractiei dintre atomi. Curba

conventional. in general, se considera ca pentru R--+ co, U--+ 0.

F =-gradU(R)

231

'

din conditia

auJ
( 8R

=O
R=Ro

(3.3)
.

Relatia (3.3) permite definirea distanfeide echilibru


, R0, dintre

paralel cu R) sl prin urmare predornina


atomi.

respingerea.

Echilibrul este stabil daca in punctul Ro energia potentials este


minima, adica trebuie sa avem

a uJ > 0
( 8R2
R=Ro

(3.4)

Evident, cane atomii se gasesc la distanta

R > R0 intre ei se

exercita forte de atractie iar cand aceasta distanta este

R < R0 , atomii

se resping.
Pentru abateri mici a atomului A fata de pozitia de echilibru,
putem dezvolta in serie Taylor functia U(R), i obtinern
Fig. 3.1. Oependenta de distanta a energiei potentiale rep~lsiva (c~rba 1).
atractiva (curba 2) i a celei totale (rezultante) (curba 3) dintre doi atomi

BAZELE FIZICII SEMICONDUCTORILOR

232

U(R)=U(R0)+

( dU)
-

(R-R0)+-

dR R=R0

-33

3. dR

(R-Ro) 3

(R-R0) 2

2! dR

1 (d UJ

+--,

1 (d-UJ
R-R
- 0

233

Capitolul III - Legatura cristalina

dU
1
F=--=-f3x+rx
dx

+
. (3.5)

(3.11)

Se poate observa ca, in prirna aproxirnatie, forta de interactiune


poate fi conslderata ca fiind elastica (aproximatia

F = -f3x se numeste

R=Ro

cvasielestica),

Intrucat in punctul Ro curba U(R) are un minim (derivata a doua a lui U


este diferita de zero ~i pozitiva), putem scrie
8
(

2~J

8R

evidenta
(3.6)

/3 > 0

R=Ro

R din apropierea punctului

R = R0 , dupa cum rezulta din Fig. 3.1, fortele de respingere dintre atomi
!iU
cresc mai repede decat scad fortele de atractie ~i deci < 0. Vom
!iR

33

faptul ca in cazul in care dependenta

energiei

potentiale

de

interactiune in functie de distanta dintre atomi este de forma curbei 3

efectueaza

oscilatii in jurul pozitiei lor de echilibru. Din acest motiv,

forma alqebrica concreta a dependentei de distanta a energiei potentiale


de interactiune, U

U(R), prezinta o irnportanta deosebita in explicarea

diferitelor tipuri de interactiuni.


in consecinta,

~J

8R

concluzie este foarte irnportanta, deoarece scoate in

(Fig. 3.1 ), atunci se poate considera ca, in prima aproxirnatie, atomii

Pe de alta parte, pentru valori ale lui

nota

Aceasta

pentru ca un agregat de atomi sau ioni sa poata

forma molecule stabile sau cristale este necesar ca interactiunea dintre


= -2r <

o .

(3.7)

acestia sa poata fi descrisa de o curba de forma curbei 3 din Fig. 3.1.

R=Ro

Acest tip de lnteractiune poate fi descris scriind energia potentiala totala


Pentru distanta de echilibru putem scrie

sub forma
(3.8)

U(R0)=-U0

(3.12)
si, daca introducem notatia
(3.9)

R-R0 =X

unde parametrii A, B,

m si n reprezmta rnarirni pozitive care pot fi

atunci, tinand seama de (3.3), ~i (3.6) - (3.9), putem scrie (3.5) sub

determinate fie teoretic, fie prin cornparatie cu datele experimentale [41,

forma

76, 142, 218, 220].

u ( x ) = -U0 + 2.1 f3x2 - 31 r x 3

Valorile

(3.10)

daca ne lirnitarn la termenul de ordinul al treilea.


Forta care actioneaza asupra atomului A, atunci cand acesta se
qaseste in apropierea pozitiei de echilibru, pozitie in care U(x) poate fi
scris sub forma (3.10), va fi

acestor

parametri

depind

de

natura

atomilor

care

interactioneaza si de caracteristicile leqaturi' chimice dintre acestia,


in (3.12), termenul ~

Rm

descrie respingerea, (semnul pozitiv al

acestui termen lndica faptul ca fortele de respingere au acelasi sens cu

BAZELE FIZICII SEMICONDUCTORILOR

234

R'

deci au sensul axei absciselor),

iar termenul

_ _!!

Rn

descrie atractia

R ).

Pentru ca la distante mici sa predomine termenul care

descrie respingerea, este necesar ca


Pe baza rationarnentelor

235

lnteractiunea dintre nucleele acestora.

(semnul negativ al termenului indica faptul ca fortele de atractie au sens


opus axei

Capitolul III - Legatura cristalina

Sa explicarn
atomi, excluzand

mai riguros natura fortelor

aftrmatia

simplista

conform

de respingere

dintre

careia aceste forte se

datoreaza respingerii coulumbiene dintre doi ioni cu acelasi semn.

m > n.

Aceasta se poate face aplicand conceptele mecanicii cuantice.

mecanicii cuantice, energia potentiala

Intrucat masa nucleelor

in cazul respingerii dintre doi atomi (ioni) este data de o expresie de

electronilor

forma [113, 212, 213].

electronilor),
(3.13)

atomilor

(M/m0

considerabil

mai mare

decat

103, M fiind aici masa nucleelor

putem

sunt

este

considera,

imobile

in

(aproxirnatia

prirna

i m0 cea a

aproximatie,

adiabatica)

cea a

ca

iar energia

nucleele
totala

electronilor depinde parametric de pozitiile nucleelor respective. Variatia


parametrii A i

a fiind

i aici rnarirni pozitive.


R

Expresia A e a difera foarte putin de ~

mari ale lui

Rm

in domeniul valorilor

R=Ro =

De aici se qaseste

expresie

dintre

se datoreste

atomi,

variatiei

odata

cu variatia

energiei

totale

ale

electronilor i a energiei de repulsie coulumbiana a nucleelor. Evident, la

(3.14)
pentru distente de

cu principiul lui Pauli, doi electroni nu pot ocupa simultan aceeasi stare
cuantica.
La apropierea celor doi atomi, ca urmare a suprapunerii starilor

echilibru dintre cei doi atomi (ioni):

electronice

Ro

acestia,

dintre

partiala a Invelisurilor electronice ale atomilor (Fig. 3.2). in conformitate

AmRmo;-1 + BnRn
o -1 =O
R~m
R~n
urmatoarea

distantei

de interactiune

acelasi semn) este repulsiva tnsa la distante mici are lac o suprapunere

Din (3.12), obtinem conform conditiei (3.3)

(dR

potentiale

distante mari interactiunea coulurnbiana dintre nuclee (avand sarcina de

m (in general valori cuprinse intre 9 i 11 ).

dUJ

energiei

=(~:t"

(3.15)

din domeniul

leqaturi cristaline.

coulumblana

dintre electroni (sarcini electrice negative), mai ia nastere o interactiune


repulsiva determinate

Relatiile (3.12) i (3.15) var fi aplicate pentru anumite tipuri de

hasurat, pe langa respingerea

adevar,

de cresterea energiei sistemului respectiv. Tntr

startle electronice

fundamentale

ocupa in sistem numai stari energetice

fiind ocupate,
superioare,

electronii

pot

ceea ce duce la

creterea energiei sistemului.


Pentru explicarea

3.2 Caracteristicile interactiunilor dintre atomi (ioni)


'

Teoria interactiunii dintre atomi (ioni) trebuie sa ia in considerare


interactiunea

electronilor

atomilor

(ionilor)

respectivi

precum

si

caracteristicilor

acestor interactiuni electronii

atomilor (ionilor) se pot considera ca un gaz Fermi degenerat la 0 K.

BAZELE FIZICU SEMICONDUCTORILOR

236

Densitatea

de energie

cinetica

totala

a electronilor

(pentru

AE k -_

Ll

unitatea de volum si pentru un interval energetic egal cu unitatea) va fi

3513

n este

concentratia

2TCfz =

h este

TC

413tz2
. n5!3

(3.16)

10m

considerat),

5/3

4/3 2
TC
fz [(

10m

5/3]
nA + na )5/3 - nA5/3 - na

Se observa de aici (lntrucat in general ( a, + a2

[3, 219, 220]:

unde

237

Capitolul III - Legatura cristalina

(3.18)

>a~ +a;)

ca

energia cinetlca a sistemului crests (cu atat mai mult cu cat atomii sunt
mai apropiati i inveliurile electronice se suprapun mai mult) ceea ce

electronilor

constanta

lui

(In

vaclnatatea

Planck,

iar

punctului
este

masa

electronului.

indica aparitia unei repulsii intre atomi. La aceasta mai trebuie sa mai
adunam i actiunea fortelor de respingere pur coulumbiene dintre nuclee
atomilor respectivi.
Energia (eV)

1--------

Nivelul de vid

3s

-10
-20

Fig.3.2. Reprezentarea schernatica a doi atomi a carer


tnvelisuri electronice se interpatrund.
Pentru simplitate, cei doi atomi identici sunt considerati
sfere avand raza r.

-30
-40

Presupunem ca valorile concentratiilor electronilor pentru cei doi

2s

r ..

2s

r - "''-'". . .

atomi liberi A i B, nA i respectiv n8, nu se rnodifica in cazul in care

1s

tnvellsurile electronice se suprapun. Atunci, variatia densitatii de energie


clnetlca

in

domeniul

In

care

invelisunle

electronice

se

suprapun

Fig. 3.3. Nivelele energetice (in eV) 1 s, 2s, 2p ~i 3s


ale electronilor pentru un atom de natriu izolat [88].

(domeniul hasurat din Fig. 3.2), va fi


Sa consideram,

5/3
35/3 TC4/3n2
=
10m
(nA +na)
-

~Ee =(Ee), -(Ee)i

structura electronica 1s22s22p63s1


(3.17)

ft
3 5/3 TC 4/3r,.2
- (
10m

.
5/3
nA

3513 TC4/3r,.2
ft

10m

n5!3
8

indicii ,,i" si ,,f' corespunzand starilor initiala i respectiv finala.

de exemplu,
1l

un atom liber de Na, care are

(Fig. 3.3). Pozitiile nivelelor (starilor)

electronice respective sunt indicate in electronvolti (1 eV =1,602 10-19 J).


Energiile sunt negative, indicand start energetice legate ale electronilor
si reprezinta energia necesara pentru a scoate in vid (pe nivelul de vid)
un electron care se qaseste pe nivelul respectiv. Cu exceptia starii 3s,

Ultima expresie se mai poate scrie sub forma


1 Aceasta structura este descrisa prin indicarea numarului cuantic principal n (n = 1,2,3, ... ) si a
numarului cuantic secundar (! = 0 indica starile s, l = 1 indica starile p, l = 2 starile d s.a.m.d.),

BAZELE FIZICII SEMICONDUCTORILOR

238

Capitolul III - Legatura cristalina

239

care este ocupata numai de catre un singur electron, toate celelalte start

exista electroni care sa ecraneze nucleul, aceasta energie este mult mai

cuantice sunt paturi complete (ocupate). Electronii de pe orbitele

mare (energia de ionizare a atomului de hidrogen este de 13,6 eV)).

interioare sunt foarte apropiati de nucleu in cornparatie cu electronul de

Tn cazul in care atomii de Na sunt apropiati pana la distanta la

valenta a carui orbita este mult mai extinsa. Din acest motiv, electronii

care acestia se gasesc in reteaua cristalina a natriului, functiile de unda

de valenta reprezinta un interes particular deosebit.

a electronilor de valenta ai atomilor vecini se suprapun puternic1). Insa

Cu ajutorul ecuatiei lui Schrodinger pot fi determinate pozitiile

electronii de pe paturile interioare i!?i pastreaza caracteristicile lor

nivelelor energetice ale electronului !?i functiile lor de unda, Tn aceasta

atomice chiar in

ecuatie noi trebuie sa introducem energia potentiala de atractie dintre

semnificativ multe din proprietatile fizice ale acestor cristale. Din acest

nucleu !?i acest electron, precum !?i energia potentiala de respingere

motiv, de foarte multe ori actiunea acestor electroni interiori poate fi

datorata lnteractiunii electron-electron. Energia totala a electronului de

neglijata. Tn consecinta, densitatea totala de sarcina deterrnlnata de

valenta considerat la distanta mare de "miezul ionic" (format de nucleu si

electronii de valenta se poate considera o forma a contributiilor atomilor,

ceilalf Z - 1 electroni) va fi [41, 45, 76, 96]

asa cum sunt acestia reprezentati in insertul din Fig. 3.4 [88].

'

'

V=

e2 Z

(3.19)

unde Eo este permitivitatea (electrica) a vidului,

Er -

interiorul solidului cristalin !?i

nu influenteaza

Energia
potentiala

permitivitatea relativa

a mediului, e - sarcina electronului, r - distanta dintre electron !?i nucleu

distanta pana
la nucleu

(considerat punctiform).
Pentru atomul de Na (in vid

Er

1 ), dependenta acestei energii

potentiale de distanta dintre electronul 3s si nucleu este reprezentata


schematic in Fig. 3.4. Aici re este raza "miezului ionic" (adica raza care
indica sfera din jurul nucleului in care se poate considera ca sunt
localizati electronii de pe nivelele 1 s, 2s !?i 2p). Tn insert se prezinta o
schita reprezentand electronul de valenta 3s care se roteste (orbiteaza)
in jurul nucleului ecranat de electronii 1 s, 2s !?i 2p.

Fig. 3.4. Energia potentiala a electronului de valenta al sodiului In functie de distanta


dintre acesta ~i nucleu; re reprezinta raza miezului ionic, indicand volumul
din apropierea nucleului In care sunt localizati electronii 1 s, 2s ~i 2p.
In inset s-a indicat electronul de valenta care se roteste In jurul miezului ionic

Tn vecinatatea nucleului, potentialul care actioneaza asupra


electronului 3s nu este similar cu acela datorat unei sarcini punctiforme
indicat prin curba punctata din Fig 3.4. Energia necesara pentru a
scoate electronul 3s de la atomul de Na este, dupa cum se deterrnina
din Fig. 3.3, de aproximativ 5 eV (in cazul atomului de hidrogen, unde nu

1
Distanta tipica dintre doi atomi vecini intr-un corp solid cristalin este de 2 - 4 A (IA = 1 o-10m),
in timp ce razele "miezurilor" ionice (re in Fig 3.4), sunt mai mici de 1 A. Prin unnare, nu are Joe
o
suprapuncre
a
acestor
raze
de
Ia
doi
atorni
vecini.

BAZELE FIZICH SEMICONDUCTORILOR

240

in Fig. 3.5 [88] este ilustrat acest efect pentru o retea


unidimensionala de sodiu. in fiqura,

'35

este functia de unda pentru

electronii cu energie corespunzatoare starilor 3s, iar


de probabilitate pentru startle energetice 3s.

'total

j'P 35 j2

este functia

se refera la toti

241

Capitolul III - Legatura cristalina

ionicii

sau beteropoterii (care are loc intre ioni cu sarcini electrice

opuse), legatura
neutri) i legatura

covelentii sau bomopoterii (realizata lntre atomi


meteilce

(realizata prin electroni colectivizati).

Cristalele in care predornina aceste leqaturi se numesc, respectiv,


cristale moleculare. ionice Coo/are), cova/ente (atomice), meta/ice.

electronii care se qasesc in startle energetice indicate in Fig. 3.3.


0

-5

(b)

Cl

Na

(a)

l'l'3sl2

1=v=v=v:

E3s------~

-10

>

E 3p

-15

ill' total
(c)

12

L-1

---------~>

-20

Fig. 3.5. a - Atomii de sodiu tntr-o retea unldlrnensionala


(orbitele electronilor de valenta sunt reprezentate explicit);
b - Suprapunerea sarcinilor electronilor de valenta ale atomilor;
c - Distributia densitatii de sarcina totala din cristal obtinuta prin
suprapunerea sarcinilor individuale.

Se observa ca, datorita distantei mici dintre atomi, variatia densitatii de


sarcina in lungul retelei unidimensionale devine aproape plata,

E(eV)

Fig. 3.6. Nivelele energetice ale electronilor de valerrta pentru atomii de natriu !?i clor.
La formarea cristalului de NaCl, electronul 3s al atomului de natriu este
transferat pe nivelul 3p a atomului de clor, acesta din urrna
cornpletandu-i lnvelisul exterior (de valenta)

Vom reveni asupra acestor concluzii.


in corpurile solide, in marea majoritate a cazurilor, nu se poate
vorbi despre leqaturi pur ionice, pur covalente s.a.rn.d. Leqaturile din

3.3 Tipurile principale de legaturi chimice in corpurile solide


Principalele tipuri de leqaturi chimice existente in corpul solid
sunt [76, 138, 142, 222]: legatura

van der Waals sau legatura

moiecutere (care se raalizeaza pe baza de dipoli tndusi), legatura

sistemele solide au un caracter "mixt", fiind intermediare intre tipurile de


leqaturi mentionate,

De exemplu, legatura ionice pura ar trebui sa

avem in cazul cristalelor de clorura de natriu (NaCl). Dupa cum se arata


schematic in Fig 3.6, Na cedeaza un electron, devenind ion pozitiv
monovalent, atomului de Cl, care devine ion negativ monovalent. intre

242

BAZELE FIZICH

SEMICONDUCTORILOR

Capitolul III - Legatura cristalina

cei doi ioni cu sarcini electrice opuse se exercita forte de atractie de tip
coulumbian.

Insa,

in cazul acestor cristale, considerate rnulte vreme ca

fiind tipic ionice, gradul de ionicitate (v. (3.92)) este aproximativ 80%.

243

interne sunt satisfacute, lncat lntre ele, moleculele nu se pot lega decat
prin forte de tip van der Waals.

In

cazul acestor cristale (formate de asemnea din ioni monovalenf Na+ i


Cl") ar trebui sa avem un moment dipolar de o anurnita valoare daca se
considera ca cei doi ioni au sarcini +e i -e. Insa valoarea determinata

Fig. 3.7. Molecula de metan (CH4) cu leqaturi


saturate (pentru atomul de carbon din centru sunt
reprezentaf numai electronii de valenta).

experimental este de numai 80% din cea calculate [125, 138, 142].

3.4 Leqatura van der Waals

Pentru a stabili energia de interactlune de tip van der Waals, sa

Leqatura van der Waals este relativ slaba i se realizeaza intre

considerarn interactiunea dintre cei doi atomi care forrneaza o rnolecula

atomi cu paturi electronice exterioare complete (in aceasta categorie

de hidrogen (Fig. 3.8). Fiecare atom este format dintr-un nucleu (proton)

intra gazele nobile in stare solida) sau intre molecule saturate (cum ar fi,

Incarcat pozitiv (A si B) i un electron (1 i 2) situat la distanta

de exemplu, molecula de metan, CH4).

1'1 / = /'2 / = r

Apropierea atomilor sau

moleculelor respective la distante mici, asa cum are lac in corpurile

de nucleul respectiv. Aici

'1

~i

'2

sunt vectorii de pozltie ai

celor doi electroni in raport cu protonii atomilor respectivi.

cristaline, determina o deformare a distributiei de sarcina a acestor


atomi sau molecule (in sensul ca centrele de simetrie a sarcinilor

(R+f2-~) (R+r2)

pozitive i negative nu coincid) si, ca rezultat, are lac aparitia unor dipoli
-e

electrici (dipoli indusi), Interactiunea dintre acesti dipoli indusi determine

stabilitatea sistemelor respective sub forma cristalina.


Structura cristalelor gazelor nobile (gazele nobile He, Ne, Ar, Kr,
+e

Xe se solidifica la temperaturi foarte coborate (Tabelul 3.2)) este o


structura

cu aranjament

compact:

He cristatizeaza lntr-o

retea

hexagonal compacts (HC), iar celelalte elemente au structura cubica cu


fete

centrate

(CFC)

(Tabelul

3.2).

Caracteristicile specifice ale

structurilor cu aranjament compact (v. 1.15), face ca acestea sa fie


singurele tipuri de structura cristanna care permit realizarea stabilitatii
sistemului in cazul unor leqaturi foarte slabe Intre particulele constitutive.

In

Fig. 3.8. lnteractiunea dintre particule (electroni, protoni)


in cazul unei molecule de hidrogen

cazul moleculelor saturate (Fig. 3.7) toate leqaturile chimice

Energia potentiala de interactiune dintre cei doi atomi va fi data


de expresia:

244

BAZELE FIZICII SEMICONDUCTORILOR

245

Capitolul III - Legatura cristalina


Notand

(3.20)

(3.24)
putem scrie (3.23), sub forma

unde primul termen din membrul al doilea indica interactiunea dintre cei

4Jr&o

termeni descriu interactiunile electron - proton (electronul unui atom cu


protonul celuilalt atom). Sernnificatia notatiilor este indicate in Fig. 3.8.

u = ---

+ .,.-_---~

4Jr&0 R

R (2 ~
-+--
R R R

-+

r2

(3.21)

R_~

( P1

R) ( P2 R
Rs

R mari ( r1, r2 R ), interactiunea

distante

interactiunea
1

R3

)l

(3.25)

De aici rezulta ca in cazul in care cei doi atomi sunt situati la

Mai putem scrie (3.20) sub forma

e2

u ~ _1_ i51 i52

doi protoni, al doilea termen interactiunea dintre electroni, iar ultimii doi

dintre ei este identica cu

p1

dintre doi dipoli electrici cu momentele dipolare

si

p2

[217, 221 ].
Daca "pozitia medie" a electronilor

unui atom nu coincide cu

pozltia nucleului, atomul se va comporta ca un dipol electric (caracterizat


undeR = /R/.

printr-un moment dipolar) si, in consecinta, va produce un camp electric,

Valorile tipice ale distantelor

I~ I=

'1 i

li2 I= r2

sunt de ordinul

razei Bohr (raza primei orbite circulare Bohr in atomul de hidrogen), a8


[213, 220], iar valoarea lui
acest rnotiv, putem

;;i ( ~

J fractiile

R este de eel putin cateva orbite Bohr. Din

sa dezvotarn in serie dupa puterile rapoartelor ( ~

chiar daca sarcina lui totala este egala cu zero. Acest camp actioneaza
cu forte
protonilor

de semne
unui

alt

contrare
atom,

asupra

lnducand

electronilor
un moment

i repectiv
dipolar

asupra

la atomul

respectiv.
Deoarece

intensitatea

campului electric creat de dipolul initial

variaza cu distanta (fiind mai mica la distante mai mari [138, 217, 218]),
din mem bru I al doi lea al relatiei (3. 21 )

;;i obtinern [217,

fortele exercitate asupra electronilor atomului difera, ca marirne de cele


exercitate asupra protonilor, astfel Incat forta totala este una de atractie.

218, 221].

f nsa,
(3.22)

care, in starea fundarnentala, atomul nu are un moment de dipol electric


( (er)=

expresie care mai poate fi scrisa sub forma

u ~-1-f

(e~)(ef':z)

4Jr&0

e fiind

R3

3 (e~

0 ), prezenta celui de al doilea atom induce un moment de di pol

si, dupa

R)
R

ier2 R)l

cum s-a explicat,

fundamentala)
(3.23)

din calculele efectuate mai sus, rezulta ca si in cazul in

atomii

aflaf la distante

mari (in stare

se atrag. Aceste forte de atractie, numite forte van der

Waals, sunt extrem de slabe i daca, intre cei doi atomi sunt prezente i
alte tipuri de leqaturi chimice (de exemplu ionice, covalente s.a.), atunci

aici sarcina electronului.

BAZELE FIZICII SEMICONDUCTORILOR

246

Capitolul III - Legatura cristalina

de multe ori acestea din urrna sunt mult mai importante In cornparatie cu

Expresia (3.26) este cunoscuta sub numele de potenfial 6-12

primele. Atractia de tip van der Waals se caracterizeaza printr-o energie

sau potenfia/Lennard-Jones(sau potenfialLennard- Jones 6-12).


Evident,

de interactiune aproximativ proportion ala cu 1 I R6 (R fiind distanta dintre


atomi) [138, 142, 222].

In

247

energia

totala

cristalului

(suma

energiilor

de

interactiune a perechilor de atomi) va fi data de relatia

cazul In care distanta dintre atomi este mica,

calculul interactiunii dintre acestia este mult mai dificil de efectuat.

utot = 2 ?:u( Rij)

Atomii elementelor cu paturi electronice exterioare complete (He,

(3.27)

I,}

i:t:: j

Ar etc.) se resping in cazul in care sunt situati la distante mici unul de


unde factorul % indica faptul ca nu se ia de doua ori in considerare

celalalt, intrucat orbitele lor electronice nu se pot suprapune. Acestui tip


de respingere (repulsie) ii este caracteristica

interactlunea dintre doi atorni", iar in sumare se exclud termenii i

o energie de interactiune

Expresia (3.26) mai poate fi scrisa sub o forma care sa ne

care variaza aproximativ proportional cu 1/R12.


Energia

potentiala

totala,

tine

seama

atat

de

energia

permita sa o compararn mai user cu expresia generala (3.12), adica

de

interactiune de respingere, care variaza proportional cu 1/R12, cat !i)i de


energia

de lnteractiune

de atractie

= j.

(cunoscuta

sub denumirea

(3.28)

de

potential atractiv van der Waals) care variaza proportional cu 1 I R6.

sau

Astfel, energia potentiala de interactlune dintre atomii identici i !i)i


j, situaf la distanta Rij unul de celalalt, poate fi scrisa sub forma [3, 7,

U(RIf)=~-!i_
R!.2 R~

(3.29)

A= 4s<J12 '

(3.30)

If

138]:

If

unde am notat
(3.26)

B = 4s<J6

in retatllle (3.26), (3.28) !i)i (3.29), termenii cu semnul "+" se refera


unde parametrii
mediu

s !?i <J depind de polarizabilitatea

al fiecarul

atom,

precum

!?i

de gradul

1)

si momentul dipolar

la interactiunea

de suprapunere

3.1 ).

Se observa ca expresia (3.29) poate fi conslderata ca o forrna a

lnvellsurilor electronice a atomilor respectivi.


Se observa

din (3.26)

ca <J are dimensiunea

ecuatiei (3.12) scrisa pentru cazul particular al legaturii van der Waals.

unei lungimi

Energia potentiala de interactiune a atomului "i" cu

( distante ), iar e a unei energii. Vom reveni mai jos asupra semnficatiei

cristalului se scrie sub forma

acestor parametri.

Porarizabilitatea a se defineste din relatia


intensitatea campului electric.

repulsive iar cei cu "-" la interactiunea atractiva (v.

p = aE, p

fiind momentul dipolar, iar

E
1

Evident, U(Ru)

= U(RF)

tof atomii

BAZELE FIZICII SEMICONDUCTORILOR

248

Capitolul III - Legatura cristalina

249

P12 = 1 ; P13 = 1; P14 = 1; P1 s = 1; P15 = 1, 41; P17 = 1, 41

(3.37)

(3.31)
Inlocuind (3.36) in (3.31 ), obtinern relatia
surnarile

excluzand

termenii

pentru care

j, iar N reprezentand

nurnarul atomilor din cristalul respectiv.

11

Dupa cum s-a aratat in Cap. I, intr-un cristal cu un anumit tip de


structura, atomii ocupa pozitii caracteristice,

avand un anumit nurnar de


1~

vecini de ordinul intai (situati la o anurnita distanta), un nurnar de vecini

12

10

de ordinul al doilea s.a.rn.d. Putem exprima distanta de la un anumit


atom la toti ceilalti atomi din cristal in functie de distanta
atom i atomii vecini de ordinul

R dintre acest

Intai. Pentru a explica modul de stabilire

a relatiilor respective, vom considera o retea bidimensionala

12

patratica.

Sa exprimarn distantele de la atomul 1 la ceilalti atomi. Distantele pana

Fig. 3.9. Modul de calcul a parametrilor pij (v. Relatia (3.36))


pentru o retea bidimensionata patratica

la atomii de ordinul lntai (atomii 2, 3, 4 i 5) sunt egale i putem scrie


(Fig. 3.9)
(3.32)

ui (Ri) = 4E

Pana la vecinii de ordinul al doilea (atomii 6, 7, 8 si 9), distantele


vor fi

12 I
(a-J
R
.
[

N (

}= 1
j-.#

)12
6 N ( J6]
1 -(a-J I -1
P
R . 1 P
I}

}=

(3.38)

I}

j:;t.i

Daca facem notatille


(3.33)

si in mod analog putem scrie pentru vecinii de ordinul al treilea

R1,10 = R1,11 = R1,12 = R1,13 = 2R

~(P1 J12 = "L,Pij12 = P12

(3.39)

~(p J =LA/=

(3.40)

(3.34)

Prin urmare, distantele lntre atomul 1 i cellalf atomi vor fi

R; RJ2 =1,41R; 2R; R/5 =2,236R;

3R;

(3.35)

I}

1..

I}

Ps

putem scrie (3.38) sub forma

in acest mod putem exprima distanta de la atomul 1 la oricare alt


atom in functie de distanta R. Pentru cazul general, putem scrie
Rij =pijR
unde pij sunt niste coeficienti adimensionali.
Cornparand (3.36) cu (3.32) - (3.35), qasirn UOr

(3.41)
(3.36)
Valorile parametrilor

P12 i PB depind numai de tipul de structura

cristalina studiat i sunt independente de indicile i. (Dupa cum rezulta i

BAZELE FIZICH SEMICONDUCTORILOR

250

251

Capitolul III - Legatura cristalina

din Fig. 3.9, un atom oarecare este inconjurat in mod identic de ceilalti

(3.45)

atomi sau, cu alte cuvinte, o retea prezinta proprietatea de invarianta in


operatia de translatie discreta prin care reteaua va coincide cu ea tnsusi

unde factorul 1 /2 arata ca vom lua In considerare o sinqura data

(v. 1.4)).

interactiunea dintre fiecare pereche de atomi.

Pentru exemplul considerat in Fig. 3.9, tinand seama de (3.37),

In ceea ce priveste modul de aranjare a vecinilor de diferite ordine,

obtinern

1(r:J =(~J +(~J +(~J +


12

12

= 2+2+2+2+(-1-)12

Intrucat, dupa cum s-a aratat, tof atomii sunt considerati identici

1, 41

12

12 (

J12 (
~s

. J12

P:6

sumarea din (3.45) se reduce la lnmultirea energiei potentiale pentru un

( 1 J12

+ p,7 + . . =

(3.42)

pentru a lua In considerare o singura data lnteractiunlle dintre perechile

+ (-1-)12 + .....
1, 41

de atomi.

Pe rnasura ce distantele de la atomul considerat la ceilalti atomi


cresc, rnarimile pij cresc iar rnarirnile (

~J

lPlj

mult. De exemplu,

atom U;(R;) cu nurnarul atomilor din cristalul respectiv, N, !?i lmpartit la 2

1 J12
~ 0,01619.
( 1141

sau (

~J

lPlj

12

Din (3.41) i (3.45), avem

scad foarte

De aici rezulta

ca deja

(3.46)
Aceasta

relatie poate fi conslderata

der Waals.

Valorile parametrilor p12 i Pe pot fi calculate pentru diferite tipuri


de structuri cristaline. Se poate constata UOr ca ele nu depind de

Distanta de echilibru dintre atomi,

celulele cubice cu fete centrate (CFC), in care cristalizeaza

(a~;tRo

gazele

nobile, se gasete [3, 7, 97, 106]


(3.43)

autot

--=

aR

12, 13229 i

P6

Nl ---a12R1.
1
R24

12P12+--a
6Rs
R12

6 P6

si punand conditia (3.4 7), gasim expresia

se poate arata

_ 2aP12+ a P6 = O

ca

RJ3

= 1,445489.

Energia potentiala totala a cristalului va fi

2e

(3.44)

p12

(3.47)

=O

Derivand (3.46) In raport cu R, obtlnern

Pentru structura hexagonal cornpacta

R0, se gasete din conditia

(v. 3.1)

dimensiunile celulelor elementare ci numai de tipul celulei. Astfel pentru

L Pij6 = P6 = 14, 45392

forma

qenerala a energiei potentiale de interactiune pentru cazul lepaturii van

contributia vecinilor de ordinul al doilea este foarte mica.

L Pij12 = P12 = 12, 13188

ca reprezentand

de unde

R6

(3.48)

252

BAZELE

Ro=

(2P12 )

SEMICONDUCTORILOR

Capitolul III - Legatura cristalina

253

1/6

Utot (Ro)

(3.49)

P6

Tn

FIZICII

Pt

P12

Pentru cazul particular al retelel CFC, tinand cont de relatia

cazul retelei CFC, lnlocuind in (3.49), valorile lui P12 ~i P6 date

(3.43) ;;i (3.44), gasim

de (3.43) ;;i (3.44 ), obtinern

Ro

= 1 09

Utot ( R0) = -8,6N&

(3.50)

'

Marimile R0,

Valoarea 1,09 se consldera ca este o constanta universala,

& si

(3.52)

~ numite ;;i parametriiLennard- Jones, pot fi

determinate experimental. Astfel, distanta de echilibru dintre atomi, Ro,

pentru ca nu depinde de natura atomilor cristalului, ci numai de tipul

poate fi determinata cu ajutorul difractiel radiathlor X ( 2.4 ). Daca se

retelei spatiale utilizate pentru formarea structurii cristaline considerate.

cunoaste

Valorile experimentale, determinate pentru cristalele gazelor

R0, folosind relatia (3.50), se poate calcula apoi valoarea lui

;;i invers, daca se determina valoarea lui a, efectuand rnasuratori asupra

nobile care au o structure CFC sunt foarte apropiate de aceasta valoare

atomilor izolaf (in stare qazoasa) [3, 7, 41 ], se poate evalua, pe baza

(Tabelul 3.1)

relatiei (3.50), parametrul (constanta) retelei cristalului care se poate

La echilibru, energia potentiala totala, In conformitate cu (3.46),

forma din atomii respectivi.

va fi

Energia totals 1l a atomilor este data de ecuatia (3.52), si, dupa


cum se observa, depinde de parametrul s. Acesta se poate determina

(3.51)

din masuratori de compresibilitate lzoterma,


Dupa cum se stie, compresibilitatea izoterma a cristalelor

unde Ro este distanta de echilibru.

(coeficientul de compresibilitate volurnica izoterma) se defineste din


relatia [41, 178]

Tabelul 3.1. Valorile unor parametri caracteristici pentru cristalele


gaze I or noen1e 1l
Ro
Ro
8
cro
Cristalul
a

(A)

(10-23J)

XT =-

(A)

1, 14
Ne
3,13
50
2,74
Ar
1, 11
3,76
167
3,40
Kr
1, 10
4,01
225
3,65
Xe
1,09
4,35
320
3,98
Din (3.49) si (3.51 ), obtinern pentru energia totala la echilibru,
relatia
Tabelul este preluat din: M. Born, Phys. Rev., 275 (1937) 2174.

(3.53)

si este o rnarirne care poate fi deterrninata experimental cu precizie


mare [178]. Semnul ,,-" lndica faptul ca la cresterea presiunii, volumul
cristalului
se micsoreaza. este o masura a rigiditafii cristalului ;;i indica
Compresibilitatea
energia necesara pentru a produce o deformare data.
1

~(~~l

Energia cinetica a atomilor se neglijeaza, astfel incat din relatia (3.52) se determina energia
totala a sistemului,

BAZELE FIZICII SEMICONDUCTORILOR

254

Pentru structura CFC compresibilitatea izoterrna la O K este data

-4

--;--AO

p5/2
6
8
p3/2 -3
12 (J"

(3.54)

Daca se stabileste experimental dependenta de ternperatura a


se extrapoleaza dependenta respective la T---+ O K si se

obtine valoarea lui

zo.

fete

centrate, cu exceptia

255

heliului, care cristalizeaza

intr-o retea

hexagonal cornpacta.

de expresia [41, 178]

compresibilitatii,

Capitolul III - Legatura cristalina

Apoi, cunoscand pe

CJ"

Tabelul 3.2
Gazul inert

He

Ne

Ar

Kr

Xe

Temperatura de cristalizare (K)

4,2

24

84

117

161

Tipul retelei

HG

CFC

CFC

CFC

CFC

(determinat din (3.50), in

care Ro se determina cu ajutorul difractiei de radiatii X), i parametrii p12


si p5 (v. (3.43) i (3.44)), se qaseste s.

exercita leqaturi van der Waals. Un mare nurnar de cornpusi organici

in ratlonarnentele de mai sus s-a presupus reteaua cristalina ca


fiind riqida, adica nu s-a luat in considerare energia cinetica a atomilor
cristalului, precum si unele corectii cuantice care sunt necesare in cazul
in care se face o tratare mai riquroasa a caracteristicilor acestui tip de
interactiune,
Trebuie sa mentionarn faptul ca, chiar in cazul in care in atom
sarcinile electrice pozitive sunt compensate de cele negative, distributia
t?

spatiala a sarcinii electronice i nucleare se rnodiflca in timp (datorita


rniscarilor specifice la nivel atomic i subatomic). Ca rezultat, centrul
sarcinilor pozitive (punctul in care ar putea fi concentrata intreaga
sarcina pozitiva) si eel al sarcinilor negative se modifica in timp. Din
acest motiv, atomul sau molecula reprezinta un dipol electric fluctuant.
Valoarea medie in timp a momentului dipolar este eqala cu zero.

Cristalele molecularesunt formate din molecule intre care se

Insa

datorita acestui moment fluctuant, intre atomii si moleculele neutre din

(naftalina, antracen, piren, ftalocianine s.a.) cristalizeaza in retele cu


leqatur' de acest tip, interactiunile dintre atomii din interiorul moleculelor
respective fiind mult mai puternica decat tnteractiunea dintre molecule.
in aceste conditii, transferul de electroni de la o molecula la alta se
realizeaza cu mare greutate si, in consecinta, aceste substante au o
conductivitate electrica foarte mica.
in afara de aceasta, forma cornplexa a moleculelor respective
(care nu poate fi conslderata cu simetrie sferica) si aparltia in multe
cazuri a unor momente dipolare, nu ne permite sa explicarn
caracteristicile acestor leqaturi numai cu ajutorul teoriilor prezentate aici,
intrucat, in afara fortelor de atractie i respingere, este necesar sa se ia
in considerare i iortele orientetionete

(care depind de orientarea

reciproca a moleculelor).

punct de vedere electric, apar forte de interactiune de atractie, fapt ce


explica formarea cristalelor atomilor cu paturi electronice complete sau a

3.5. Leqatura lonica

moleculelor cu leqaturi saturate.


in cristalele gazelor inerte (nobile) leqaturile cristaline sunt de tip
van der Waals. La temperaturile rnentionate in Tabelul 3.2, la presiune
atrnosferica normals, aceste gaze cristalizeaza intr-o retea cubica cu

Legatura ionics (heteropolara sau polara) se realizeaza intre


ioni pozitivi i negativi (atomi ionizati), prin forte de atractie coulumblana
(forte electrostatice). Cristalele in care predornina acest tip de leqaturi se

256

BAZELE FIZICII SEMICONDUCTORILOR

numesc cristale ionice (po/are).

Dupa cum s-a aratat in 1.18, in

acest fel de cristale dispunerea in spatiu a ionilor este in

257

Capitolul III - Legatura cristalina


ordin par in raport cu ionul pentru care se evalueaza interactiunea).

asa fel lncat un

in

Fig. 3.10

este

reprezentat

un sir reticular

din structura

ion de un anumit tip are ca vecini de ordinul intai ioni de celalalt tip. in

cristalina a NaCl. Se observa modul de aranjare a ionilor descris mai

consecinta, fortele de atractie dintre ioni de semn opus predornina fata

SUS.

de fortele de repulsie dintre ionii de acelasi semn.


De exemplu, cristalul de clorura de natriu (NaCl) este format din
ioni pozitivi rnonovalenti de natriu, Na+, i ioni rnonovalenti

negativi de

clor, Cl". Cele doua elemente au urmatoarele confiquratli electronice

1):

Na: 1 s2 2s22p63s1;
Cl: 1 s2 2s22p6 3s23p5.

Fig.3.10. Modul de aranjare a ionilor intr-un slr reticular


a unei structuri cristaline de tip NaCl

Cei doi ioni rnonovalenti se formeaza prin transferul electronului 3s de


la atomul de Na (care devine ion pozitiv) la eel de Cl (care devine ion

Daca notarn cu R distanta dintre vecinii de ordinul lntai ( cea mai

negativ (Fig. 3.6)), ionii rezultaf avand urmatoarea structura electronica:

mica distanta dintre doi ioni), putem scrie (v. (3.36))

Na+: 1 s2 2s22p6,

(3.56)

identica cu cea a neonului (Ne)

Cl: 1 s2 2s22p6 3s23p6,

unde pij sunt coeficienf

de interactiune

dintre doi ioni rnonovalenti

Luand in considerare (3.56), expresia (3.55) se scrie sub forma

oarecare, i ij, este data de relatia [7, 47, 103, 125, 218]:
A

e2

RiJ

RiJ

Uij=1n-

A
U=-----Rm

IJ

(3.55)
Scriind

unde Rij este distanta dintre centrele ionilor respectivi iar e, sarcina

termenului

(3.55)

sub

e2 ( 1)

PiJ

aceasta

(3.57)

PiJ

forrna

(cu semnul

al doilea din membrul 2), semnificatia

,,-" in fata

semnelor ,,+" i ,,-"

(precizata pentru relatia (3.55)) se inverseaza.

ionilor.
Termenul

al doilea

al acestei

expresii

descrie

Energia de interactiune a ionului ,,i" cu toti ceilalti ioni este data

interactlunea

coulurnbiana a ionilor si are semnul "-" pentru interactiunea dintre ioni


de semne diferite (vecinii de ordin impar fata de ionul considerat)

semnul "+" in cazul lnteractunii dintre ionii de acelai semn (vecinii de

'

'

'

de

U =~
~ _1 _ e2 ~
( 1)
'
mL,;
m
RL,;
R J, i=i PiJ
J, i*i PiJ
Evident, in sumare se exclud termenii cu i

Semnificatia notatiilor a fost explicata in 3.1

cu ajutorul carora se exprima

distanta dintre doi ioni oarecare ,,i" i ,,j" in unitat' R.

identica cu structura electronica a argonului (Ar).


Energia potentiala

adimensionali,

= j.

(3.58)

BAZELE FIZICH SEMICONDUCTORILOR

258

259

Capitolul III - Legatura cristalina

iar

Daca se noteaza
(3.59)

a=

:L

1=(2+2J-(2+2J+(2+2J+

j, f:t:i Pij

... =2(1-2+2_2+
2 3 4

...J(3.62)

Incercarn sa gasim pentru expresia din paranteza o serie a carei

si

:L
j,

(1)

=a

surna poate fi determinata cu ajutorul unor formule cunoscute.


(3.60)

l=! Pij

Dezvoltand in serie Taylor ln(1 +x), se obtine [3]


x2 x3
ln(1+x)=x--+---+......
2
3

relatia (3.58), devine


A
ae2
Ui=RmPm-R

(3.61)

(3.63)

Daca x = 1, avem
1 1 1
In ( 1 + 1) = In 2 = 1- - + - - - +
2 3 4

Marirnea a, definita de (3.60) poarta denumirea de constanta


Madelung.

x4

(3.64)

in consecinta, pentru sirul unidimensional considerat, tinand

Suma din (3.59) este rapid converqenta, tntrucat, dupa cum s-a
mai aratat, in cele mai multe cazuri, exponentul m este mai mare decat

seama de (3.62) !?i (3.64), obtinern


a=

21n2=20,693=1,386

(3.65)

9 sau apropiat de aceasta valoare (de exemplu, pentru NaCl, m = 9,5).


Consatanta Madelung depinde numai de tipul retelei in care

Pentru cazul retelelor tridimensionale, calculele sunt evident, mai

cristalizeaza substanta respectiva. Calculul valorii lui a este mai dificil,

complicate. in acest caz, sumarea se face pe celule aproximativ neutre

lntrucat, de requla, se cauta ca suma respective sa poata fi scrisa sub

din punct de vedere electric !?i trebuie sa se ia in considerare ca ionii din

forma unor serii (pentru care se cunosc formulele de calcul pentru

varfuri, de pe muchii !?i de pe fete participa la determinarea mteractlunii

aceste sume).

din mai multe celule (analog cu nodurile unor celule elementare (v.

Pentru a lnteleqe mai U!?Or modul de calcul, sa considerarn


reteua unldlmensionala cu parametrul a formata din ioni rnonovalenf
(Fig. 3.10). Evident in acest caz R = a.

Relatla (1.5)), respectiv la 8, 4 i 2 celule


Astfel, pentru structura cristalina de tip NaCl, pentru care reteaua
spatiala este CFC (v. 1.18), in Tabelul 3.3, se lndica, pentru un ion de

lonul pozitiv 0, are doi ioni negativi vecini de ordinul I, 2 ioni

referinta negativ, urrnatoarele rnarirni: nurnarul de ioni vecini de diferite

pozitivi vecini de ordinul al II-lea s.a.rn.d. Distantele respective vor fi:

ordine i semnul acestora, valorile parametrilor pij sl gradul de

Ro1 = Ro1' = 1 a =1 R; Ro2 = Ro2 = 2a =2R; Ro3 = Ro3 = 3a =3R etc. in

participare a ionilor situati la diferite distante la interactiunea cu ionul

conformitate cu (3.56), avem:

considerat.

Po1 = Po1' = 1; Po2 = Po2 = 2 s.a.m.d. ,

BAZELE FIZICH SEMICONDUCTORILOR

260

Tabelul 3.3. Parametrii caracteristici pentru retele cristaline de tip NaCl.


Parametrii
Nurnarul ionilor
vecini
Coeficientii

Ordin II

Ordin Ill

Ordin IV

6(+)

12(-)

8(+)

6(-)

J2

J3

1/2

1/4

1/8

1/2

Ordinul

Pij = Rij IR
Gradul de
participare

Capitolul III - Legatura cristalina

261

Tinand cont i de contributla ionilor din celulele situate la distante mai


mari de ionul de referinta, gasim pentru valoarea constantei Madelung a
structurii NaCl, valoarea indicata Tn Tabelul 3.4. Tn acelasi tabel sunt
prezentate valorile constantei :;;i pentru alte tlpuri de retele ionice [199,
218].
Tabelul 3.4
Cristalul

NaCl

Cs Cl

ZnS

de

Tipul retelei spatiale

CFC

cs

Blanda de zinc

coordinatie, Tn centrul careia se qaseste ionul negativ de referinta, A

Constanta Madelung

1,74756

1,76267

1,63805

Astfel,

considerand

celula

coraspunzatoare

primei

sfere

(Fig. 3.11 ), va trebui sa evaluam actiunea asupra acestuia din partea


urrnatorilor ioni: 6 ioni pozitivi de pe centrele tetelor (care rnteractionand
fiecare cu cei doi ioni negativi simetrici tata de fetele respective au un
grad de participare

Energia totala a cristalului presupus format din 2N ioni (N ioni


pozitivi si N ioni negativi) este

de 1/2); 12 ioni negativi de pe muchiile cubului

v;

(avand fiecare un grad de participare de 1/4); 8 ioni pozitivi din varfuri


(pentru care gradul de participare este 1/8). Prin urmare, luandu-se In
considerare

numai ionii din primul cub, constanta

Madelung

pentru

(3.66)

data interactiunea dintre doi ioni.


Din (3.61)

a = 6 I 2 _ 12 I 4 + 8 I 8 = 1, 833
1
2

unde i aici factorul 1 /2 indica faptul ca se ia Tn considerare o sinqura

prima sfera de coordinatie, poate fi scrlsa sub forma


1

1 2N

=-LU;

:;;i (3.66), obtinern


U -N( ~

lRm Pm

tot -

ae2J
R

(3.67)

deoarece sumarea se reduce la Inrnultirea cu nurnarul de ioni 2N (v.


(3.46)).

In
distanta

starea de echilibru, energia totala are valoarea minima, iar

Ro (valoarea lui R la echilibru) se determlna din conditia


(

autot

8R

=0
R=Ro

Din (3.67) i (3.68), qasirn pentru parametrul A, expresia


Fig. 3.11. Modul de aranjare a ionilor ln cristalele cu structure de tip NaCl

(3.68)

BAZELE FIZICII SEMICONDUCTORILOR

262

A=

ae2

Rm-1

o
mpm

inlocuind In (3.67) (scrisa pentru R

263

Capitolul III - Legatura cristalina

(3.69)

Ro) expresia pentru A din

Nae2( 1--

R0

1)

dV T

si tlnand seama de (3. 74 ), putem scrie

(3.69), obtinern
Utot(Ro)=Uo =---

=-v(~)

:!_

(3.70)

d2

dV2

-=V-

(3.75)

in aceasta relatie putem trece de la variabila Ula variabila R -

distanta cea mai mica dintre ioni. Avem, evident

Notand

Nae

Ro

-U
- M

(3. 71)

=UM(1- ~)

lui UM poate fi calculata

(3.72)
La echilibru (R

folosindu-se

= R0),

dV

dR

dV

(3.76)

d2 U ( d R )2
dR2
dV

(3.77)

avem (v. (3.68)),

_0
( dU)
dR R=Ro

relatia (3.71 ), toate

marirnile din aceasta relatie se pot determina experimental (prin metode

si (3. 77), devine

descrise deja).
Parametrul

dR

d2 U d U d2 R
-- --+--
dV2
dR dV2

Marirnea UM se nurneste energia Madelung a cristalului ionic.


Valoarea

dU

vom putea scrie (3.70) sub forma

Uo

dU

( d UJ
( d UJ (dR)
l d v2 R=Ro = l d R2 Ro . d v Ro
2

m din (3. 72) este singurul a carui valoare nu este

(3.78)

cunoscuta. Aceasta se poate determina din datele experimentale asupra


Volumul total al cristalului poate fi UOr exprimat In functie de R.

cnmpresibilitatii izoterme a cristalului [3, 7, 41, 97, 212].


La
50 = dU

T = 0 K,

+ pdV

din

primul

principiu

al

termodinamicii

Astfel, pentru structura de tip NaCl, putem scrie [7, 21, 41, 89]
V

= 0, avem

dU =-pdV

(3.73)

dU
dV

(3.74)

(3.79),

obtinem

(3.53), qasim

= V /2N,

R3

diferentnnd,

gasim

3R2 dR =-1-dV sau


2N

V fiind volumul cristalului si p presiunea.

Insa, din

(3. 79)

N fiind nurnarul de ioni de un anumit tip.


Din

p=--

= 2NR3

dR

dV

6NR2

i deci

( dR)
dV

= 36N2R4

(3.80)

Capitolul III - Legatura cristalina

BAZELE FIZICII SEMICONDUCTORILOR

264

Din (3.80) si (3.78), qasim, pentru

265

cristalul ionic in cele doua tipuri de ioni considerati izolati (separati), Fara

R =Ro

lndoiala ca aceasta valoare a lucrului mecanic nu poate fi deterrninata


(3.81)

experimental direct, dar poate fi exprimata in functie de alte rnartrni care


pot fi determinate experimental.

Din (3.67), folosind relatia (3.69) pentru A, obtinem

in acest sens, se foloseste

asa-nurnitul

ciclu inchis Born -

Haber. Sa explicarn in ce consta aceasta, luand ca exemplu un cristal

(3.82)

ionic format din ioni pozitivi monovalenti ai unui metal, M+, (de exemplu

d2UJ

( dV2

(3.83)

LiBr, CsCI etc.

36R7N
0

Sa
in final, din (3.75) i (3.83), tinand seama i de faptul ca pentru
cristalul de tip NaCl, V = 2NR6, rezulta ca pentru T

Extrapoland

determinata experimental,
(determinate

prin

penfru

difractie

de

ioni negativi de halogen,

(3.84)

de

temperature

b - Transferarn

compresivltatii,

halogen

T ~ 0 K, i cunoscand valorile lui Ro


radiatii

= 9,4 [7, 89,

Valoarea mare a lui


respingere

cu dlstanta

X) si ale

lui

(cu apropierea

x-.

Pentru aceasta este necesar

sa

la fiecare

ion pozitiv de metal. in urma acestor

(VM

Ex) ,

de ionizare a atomului de metal

atomul de metal), iar Ex - afinitatea electronului la atomul de

ionilor) (v (3.55)).

halogen

La aceasta

1);

c - Transformam prin condensare (la temperatura de OK) vaporii


metalului in cristal (deci vom avea o transformare

de faza

vapori - solid, adica o desublimare). in urma acestui proces

Ro ix [41, 212, 213].

se va degaja o energie + Ws (evident

Cunoscand valorile lui a i m, se poate calcula, folosind relatia


ionic,

la

(adica energia necesara pentru a scoate un electron de la

125].

exponential cu dlstanta, dupa o lege de forma: a e-RJ P, unde parametrii

(3. 70), energia cristalului

considerat

cate un electron de la fiecare ion negativ de

unde VM este potentialul

m indica o cretere foarte rapida a fortelor de

pot fi sxprimati in functie de

ionic

"procese" se va degaja o energie egala cu +N

a (constanta

concluzie se poate ajunge i in cazul in care fortele de respingere scad

a i p

cristalul

cheltuim o energie - (U0) (v. relatia (3.70));

Madelung), putem sa calcularn din (3.84) valoarea lui m. Pentru cristalul


de NaCl, se qaseste

ca supunem

a - "Desfacem" cristalul ionic MX in ionii pozitivi de metal, M+, i

18R6

dapendenta

ne imaqinam

urrnatoarele "transforrnari" (rnodificari):

=OK

1 _ (m-1)e2 a
Xo -

(de

exemplu Cl, Br, I). Ne referim de exemplu, la cristalele de NaCl, KBr,

=2e2(m-1)
R0

x,

Li, Na, K, Cs etc) i ionii negativi monovalenti a unui halogen,

inlocuind acum (3.82) in (3.81 ), se gasete

Ws va depinde de

U0. Aceasta reprezinta lucrul mecanic

necesar pentru ca la temperatura

de zero absolut, sa se "desfaca"

Afinitatea pentrn electron reprezinta energia degajata la acceptarea unui electron de catre atomul
unui element electronegativ pentru fonnarea unui ion negativ avand configuratia de gaz nobil.

Capitolul III - Legatura cristalina

BAZELE FIZICII SEMICONDUCTORILOR

266

temperature,

dar

valoarea

ei

trebuie

extrapolata

Tabelul 3.5. Energia de coeziune a cristalelor de halogenuri alcaline


cu structura de tip Nac11l

la

temperatura de zero absolut);


d - Se transforrna

vaporii monoatomici

biatomici, X2 (adica, In exemplele


etc.). in

urma acestui

'

proces

de halogen In vapori
considerate,

se deqaja

de

pentru o rnolecula biatornica:


e - Producem o reactie chimica

lntre cristalul metalic din atomi M

~i vaporii biatomici X2. in urma acestei reactii are loc o


degajare de caldura (caldura de formare),
asemenea

trebuie extrapolate

+QMX (care de

pentru temperatura

de zero

absolut).

Intrucat

In

urma

tuturor

transformarilor

imaginate

Energia de coeziune cu ioni


liberi
(kcal/mol)
experimental
cal cu lat

Distanta
panala
vecinii de
ordinul
intai
(A)

In Cb, Br2

o energie

267

sistemul

(substanta) a revenit la starea initiala (deci a fost parcurs un ciclu lnchis)


variatia totala a energiei interne a acestui sistem trebuie sa fie eqala cu
zero, adica, vom putea scrie
(3.85)

LiF
LiCI
Li Br

2,014
2,570
2,751

242,3
198,9
189,8

242,2
192,9
181,0

Lil
Nal
NaF
NaCl
Na Br

3,000
2,317
2,820
2,989
3,237

177,7
214,4
182,6
173,6
163,2

166,1
215,2
178,6
169,2
156,6

Kl
KF

2,674
3,147

189,8
165,8

189,1
161,6

KCI

3,298

158,5

154,5

KBr
Rbl
RbF

3,533
2,815
3,291

149,9
181,4
159,3

144,5
180,4
155,4

Rb Cl
Rb Br

3,445
3,671

152,6
144,9

148,3
139,6

si prin urmare
(3.86)

3.6. Legatura de hidrogen

Toate valorile marlrnilor din membrul al doilea al ecuatiei (3.86)

Legatura de hidrogen (legatura prin punti de hidrogen) este

pot fi determinate experimental ~i In acest mod putem determina energia

o leqatura

foarte

irnportanta

cu ajutorul

careia se explica formarea

de coeziune a cristalelor.

Intre valorile experimentale determinate cu ajutorul relatiei (3.86),

moleculelor unor cornpusi organici.

Intrucat atomul de hidrogen are un singur electron, el poate

~i cele teoretice, calculate pe baza formulei (3.72), esista o concordanta

forma o leqatura covalenta numai cu un singur atom. Este totusi


foarte buna (v. Tabelul 3.5).

Valorile sunt la temperatura camerei si presiune normala $i au fast extrase din tabelele intocmite
de M.P. Tosi (Solid State Physics, 16 (1964) 1.

268

BAZELE FIZICU SEMICONDUCTORILOR

269

Capitolul III - Legatura cristalina

cunoscut, ca acest atom de hidrogen poate sa participe la formarea unei

de oxigen i un atom de hidrogen (distanta H - 0 este de 0,96A1>).

leqaturi electrostatice suplimentare i cu un al doilea atom care poseda

Cercetarile

au aratat ca cristalul de qheata este alcatult din

electronegativitate foarte mare. Astfel de atomi sunt atomii de oxigen si,

molecule ,,normale" (,,nedeformate") de apa, Leqaturile de hidrogen

lntr-o mai mica rnasura, atomul de azot. Aceasta leqatura suplirnentara,

(puntile de hidrogen) se pastreaza partial i In apa obisnuita, pe baza lor

numlta legatura de hidrogen, se caracterizeaza printr-o energie mare

putand

(de requla cuprinsa tntre 0, 1 eV i 0,5 eV) In cornparatie cu energia van

anumite conditii (temperaturi foarte joase, presiuni foarte mari) structura

der Waals i depinde de natura atomului de care este legat hidrogenul

cristalina a ghetii poate suferi unele modificari.

[219, 220]. t.eqatura de hidrogen asiqura coeziunea atomilor In cristalul

fi explicate propnetatlle

Leqatura

de qheata (H20) (Fig. 3.12).

atat de interesante ale acesteia. In

de hidrogen explica

polimerizarea unor cornpusi

chimici, joaca un rel important In moleculele unor sisteme biologice, In


unele cristale segnettoelectrice s.a.
Sunt cateva monografii de referinta despre leqatura (puntea) de
hidrogen, problema studiata si astazi intens de catre chirnistl i
spectroscopisti [139, 219, 220].

3. 7 Legatura covalenta
S-a aratat ( 3.4) ca lntre doi atorni care formeaza molecula de
hidrogen leqatura este covelentii (homopolara) i se formeaza prin
intermediul celor doi electroni cu spinii orientati antiparalel. Coeziunea
dintre atomi se realizeaza prin forte de schimb de natura cuantica, care
apar prin suprapunerea functiilor de unda ale electronilor atomilor
respectivi. Intrucat In domeniul dintre cei doi atomi suprapunerea
Fig. 3.12. Structura cristalului de qheata. Fiecare atom de oxigen
(cercurile cu diametre mai mari) este legat de patru atomi de hidrogen
care sunt situati In varfurile unui tetraedru regulat.

functillor de unda este maxima (i de asemenea este maxima i

Structura cristalina a ghetii este In fond o structura de tip wurtzit,

138, 222]. Intr-o astfel de leqatura, cu cat suprapunerea functiilor de

Distanta dintre atomii de oxigen apartinand la molecule vecine este

unda este mai mare, cu atat molecula este mai stabila, adica leqatura

2, 76 A, fiind de peste doua ori mai mare decat distanta dintre un atom

este mai puternica.

densitatea de sarcina), acest tip de legatura este puternic dirijata [89,

S.W. Peterson, H.A. Leng, Acta Crystalographica,

10 (1957) 70.

BAZELE FIZICH SEMICONDUCTORILOR

270

Explicarea corecta a leqaturilor chimice dintre atomi se poate

Capitolul III - Legatura cristalina

271

cei patru orbitali neechivalenti (unul s i trei p) se formeaza patru orbitali

face folosind notiunea


de orbital atomic. Prin orbital atomic se lntelege
'
'

hibrizi echivalenti, avand o forma intermediara lntre cea a unui orbital s

domeniul din jurul unui nucleu atomic In care probabilitatea existentei

i a unui orbital p, i care sunt orientaf spre varfurile unui tetraedru

unui electron, caracterizat prin valori diferite a numerelor cuantice, este

regulat (Fig. 3.14). Acest tip de hibridizare se nurneste hibridizare sp".

maxima. Din punctul de vedere al mecanicii cuantice, orbitalul reprezinta

Se spune ca atomul de carbon participa la formarea leqaturilor chimice

solutii cu semnificatie fizica, care se obtin prin integrarea ecuatiei

cu orbitali hibridizati sp", Deci atomul de carbon este tetravalent, desi

Schrodinqer pentru anumite valori ale energiei i ale nurnarului cuantic

prin confiquratia lui electronica, 1 s2 2s22p2 ar trebui sa fie bivalent (prin

principal.

In

fiecare orbital se qasesc maxim doi electroni care au

numerele cuantice de spin diferite. Pentru fiecare valoare, n, a nurnarului

urmare, spinii In starile 1 s i 2s var fi antiparaleli) (fapt confirmat de


datele experimentale ale chimiei organice).

cuantic principal exista n2 orbitali. Orbitalii cu acetasi n se deosebesc


prin valoarea energiei proprii. Corespunzator acestei energii proprii,
orbitalii poseda si geometrii (forme) specifice. Astfel, orbitalii s au forma
sferica, orbitalii p au forrna bilobara, orbitalii d tetralobara s.a.m.d.
Un proces important, care de asemenea poate fi explicat prin

Fig. 3.13. Orbitalii rezultati din hibridizarea unor orbitali atomici.


Dintr-un orbital s ~i unul p rezulta doi orbitali hibrizi de tipul sp

mecanica cuantica este hibridizarea, prin care un nurnar oarecare de


orbitali atomici neechivalenti, pot fi lnlocuiti printr-un nurnar egal de
orbitali echivalenti,

Orbitalii obtinuti In acest mod se numesc orbitali

hibrizi. Se poate demonstra [138, 142] ca orbitalii hibrizi deterrnina


formarea unor leqaturi chimice mai puternice In cornparatie cu acelea
formate de orbitalii de la care provin. Acest proces se explica prin faptul
ca orbitalii hibrizi, de exemplu cu forrna geometrica bilobara, se
deforrneaza formand un lob mult marlt In cornparatie cu celalalt (Fig.
3.13).

In

acest fel, poate fi realizata o suprapunere mult mai buna a

orbitalilor In procesul de formare a leqaturilor chimice.


Pentru explicarea

leqaturilor

din

cristalele covalente, o

Fig. 3.14. Hibridizarea sp": a - orbital hibrid sp";


b - orientarea tetraedrica a orbitalilor hibrizi sp" ai atomului de carbon

lrnportanta deosebita o constituie hibridizarea orbitalilor atomilor de

0 anahza mai arnanuntlta a acestei probleme [139, 219] arata ca

carbon. Dupa cum se stie, acest atom are pe stratul exterior un orbital s

atomul de carbon nu participa la leqaturile chimice In starea


fundarnentala (1 s2 2s22p2) ci In starea excitata 1 s2 2s 12p3. In acesta din

i trei orbitali p, care se deosebesc lntre ei prin stare enerqetica, forrna


qeometrica i orientare spatiala.

ln

urma fenomenului de hibridizare, din

urrna stare, tof cei patru electroni din startle 2s i 2p pot participa la

BAZELE FIZICII SEMICONDUCTORILOR

272

formarea leqaturilor covalente. Mai riguros vorbind, atomul de carbon


forrneaza o legatura covalenta prin intermediul unei start electronice

273

Capitolul III - Legatura cristalina

exista un al treilea electron.

In

cristalul de diamant (carbon) leqatura chlrnica dintre atomi se

care este o superpozifie a unei start 2s i a trei stari 2p. Coeflcientii

realizeaza prin punerea Tn comun a unor electroni cu spin opus, dupa ce

fiecareia dintre startle respective Tn superpozitle liniara i directia celor

In prealabil a avut lac hibridizarea (dupa modelul prezentat schematic ln

patru leqaturi de valenta pot fi determinate punand conditia de minim a

Fig. 3.14).

energiei de formare a moleculei. Aceste calcule, pe care noi, Tn dorinta

Dupa cum s-a aratat, leqaturile covalente sunt orientate spre

de a face o prezentare cat mai concisa a acestei probleme, nu le vom

varfurile unui tetraedru regulat. Totusi, de foarte multe ori este comod sa

prezenta aici, arata ca leqaturile covalente sunt orientate spre varfurile

se foloseasca asa-nurnlta schema plana

unui tetraedru regulat (sau spre patru dintre varfurile unui cub) (Fig.

considera ca cele patru legaturi sunt situate In acelasi plan. Cei doi

3.15). Este user de demonstrat, ca unghiurile dintre doua directii care

electroni cu spin antiparalel pusi In comun de fiecare atom se reprezinta

pornesc din centru spre atomii din varfurile tetraedrului este de 10928'.

schematic Tn diverse moduri. Cateva dintre acestea sunt prezentate in

Avem prin urmare In acest caz orbitali de valenfa dirijafi [3, 7].

Fig. 3.16. Acosta schema ne permite sa explicam o serie de fenomene

a legaturilor, adica se

importante, printre care amintim: generarea purtatorilor de sarcina in


3

semiconductorii intrinseci i cu irnpuritati, formarea jonctiunilor p-n s.a.




Fig. 3.15. Orientarea tetraedrica a orbitalilor hibrizi sp" ai atomului de carbon
in conexiune cu o retea cubica sirnpla

Se stabileste experimental ca legatura covalenta a metanului


(CH4) (Fig. 3.7) are o structura tetraedrica, cu un atom de carbon In
centrul unui tetraedru regulat si cei patru atomi de hidrogen Tn cele patru
varfuri,
Leqatura

covalenta

corespunzatoare

energiei

minime

sistemului se realizeaza prin electroni cu spinii antiparaleli. Se spune ca


leqatura

covalenta

are

propietatea

de saturare, deoarece,

Fig. 3.16. Diferite moduri de reprezentare a leqaturilor covalente


in schema plana a leqaturilor pentru structuri cristaline de tip diamant

In

conformitate cu principiul lui Pauli, In starea respectiva nu mai poate

Leqaturi covalente de acelasi tip se forrneaza intre atomii

BAZELE FIZICU SEMICONDUCTORILOR

274

Capitolul III - Legatura cristalina

275

cristalului de Si (pentru care cei patru electroni cu care un atom de siliciu

forrneaza startle hibride sp" pentru atomii respectivi. Tn mod analog se

se leaga cu patru atomi vecini sunt din startle 3s23p2 care in urma
13p3),
hibridizarii devin 3s
de Ge (pentru care cei patru electroni sunt din
14p2)
startle 4s24p2 hibridizate sub forma 4s
i de Sn (pentru care cei

explica formarea unor leqaturi covalente in cazul cornpusilor A11Bv1


Se observa

lnsa ca exista o diferenta intre leqatura covalenta din

cristalele de C (diamant), Si, Ge, in care aceasta legatura se realizeaza

patru electroni din startle 5s25p2 sunt pusi in comun cu atomii vecini
15p3).
dupa ce a avut loc o hibridizare 5s
Deci in toate cazurile se

prin intermediul unor atomi neutri, i cea din cristalele cornpusilor A111Bv

realizeaza stari hibride de tipul sp3.

A- i B+ in cazul cornpusilor A111Bv i bivalenti in cazul cornpusilor A11Bv).

sau A11Bv1,

S-a aratat deja in 1.19 ca Si, Ge, i a - Sn cristalizeaza intr-o


retea de tip diamantin care leqaturile sunt de tip covalent. Cristalele de

constatat

(care are atat o components ionica cat i o components covalenta),

ca

la

Pentru realizarea leqaturilor covalente trebuie indeplinite anumite


cornpusilor

conditii, in primul rand, atomii trebuie sa posede asemenea electroni

binari care au valenta "medie" patru (adica cornpusii de

care, prin apropierea lor, sa formeze perechi cu. spini antiparaleli. Apoi,

tipul A11Bv11)) (de exemplu sulfura de cadmiu (CdS), sulfura de zinc (ZnS),

distanta dintre atomi trebuie sa fie foarte mica astfel lncat sa poata fi

telurura de cadmiu (CdTe) etc.), A111Bv (antimonidul

evidentiate proprietatile lor cuantice legate de principiul tndlscernabilitatli

semiconductori

experimental

mixte

Deci acesti cornpusi sunt caracterizaf printr-o legatura

acest tip se numesc cristaleatomice (covalente).


S-a

in care acesta legatura se realizeaza intre ioni (rnonovalenti,

cristalele

de indiu (lnSb),

arseniura de galiu (GaAs) etc.) sau A1vBiv (de exemplu carbura de siliciu

particulelor care alcatuiesc un sistem (atomii sa poata fi considerati ca

(SiC)) poseda de asemenea

particule identice ).

legaturi chimice in care poate predomina

componenta covalenta,

Teoria

De exemplu, in cazul compusului lnSb, confiquratia electronlca a


celor doi electroni de pe lnvelisui
5s25p

1,

exterior al atomului de indiu este

iar a celor doi electroni ai atomului de stibiu este 5s25p3. in acest

leqaturii

cristalelor introducand

covalente

explica

formarea

moleculelor

notiunea de cristal molecularca o combinatie


'

'

Iiniara de orbitali atomici. Pentru stabilirea confiquratiei


unor

molecule

i a

complete,

chimia

cuantica

foloseste

electronice a

principiul

mod, ca i in cazul atomilor de Ge sau Si, avem in total 4 electroni in

suprapuneriimaximale. in conformitate

straturile s i 4 electroni in straturile p. Un electron p trece de la atomul

orbitelor moleculare este minima in cazul in care suprapunerea orbitelor

de Sb la eel de In (ceea ce determina formarea ionilor rnonovalenti In- i

moleculelor care formeaza molecula este maxima. Aplicarea principiului

Sb"), dupa care,

necesita cunoasterea distributiei spatiale de sarcina.

prin excitarea

electronului

s a fiecarui

atom,

se

cu acest principiu, energia

Leqaturile covalente in care densitatea de sarcina este maxima


in lungul

axei moleculei

densitatea

electronica

se numesc

"'

legaturi a, iar cele in care

Aceasta notatie se utilizeaza frecvent in fizica semiconductorilor pentru a indica o familie de


compusi. Aici A indica unul dintre componenti, B pe eel de-al doilea, iar la exponent sunt indicate
(cu cifre romane sau arabe) grupele din sistemul periodic din care fac parte elementele respective.
De exemplu, compusii (combinatiile) de tipul AnBv1 se formeaza prin interactiunea elementelor
din grupa a II-a (Zn, Cd, Hg) ~i a VI-a (S, Se, Te) a sistemului periodic. Acesti compusi nu sunt
aliaje, ci combinatii chimice (v. 1.20).

se concentreaza

intr-un plan perpendicular

pe

axa moleculei se numesc legaturi1C.


Fortele care actioneaza in cazul legaturii covalente scad foarte

BAZELE FIZICH SEMICONDUCTORILOR

276

Capitolul III - Legatura cristalina

repede cu distanta, astfel ca la distante R a8 (as fiind raza primei

Tn

277

cornparatie cu atomul liber (In stare qazoasa sau de vapori),

orbite Bohr) sunt neglijabile i In acest caz lntre atomi sau molecule

caracteristica leqaturii metalice consta In scaderea energiei cinetice a

neutre din punct de vedere electric lncep sa predomine interactiunile de

electronilor exteriori (de valenta).

tip van der Waals.

Un studiu teoretic riguros al leqaturii metalice ar trebui sa ia In


considerare toate tipurile de interactiuni din cristalul respectiv (energia
cinetica a electronilor, energia de interactlune dintre ioni, energia de

3.8. Legatura metalica


Metalele tipice, cum ar fi Li, Cu, Ag, Fe, Ni s.a. poseda proprietati
mecanice, electrice i optice specifice. Dintre acestea rnentlonarn:

interactiune dintre gazul electronic i ionii din nodurile retelel etc.) [13,
102, 153].

cadrul cursului de fata.


Pentru a ilustra caracteristicile leqaturf metalice vom prezenta, In

plasticitate ridicata, conductivitate electrica mare, coeficient de absorbtie


a radiatiei electromagnetice ridicat etc. Aceste proprietati pot fi explicate

Insa, prezentarea In detaliu a unui astfel de studiu depaseste

ceea ce urrneaza, un model mult mai simplificat.

daca se considera ca In metale exlsta un numar foarte mare de

Acest model considera cristalul metalic ca un cristal ionic, fiind

electroni.Jiberi" ( electronicolectivizafi)care se spune ca forrneaza

format din 2N ioni de semn opus. Energia potentiala de atractie

un gaz electronic. Sub actiunea unor carnpuri electrice slabe, acesti

coulumbiana, se poate scrie sub forma

electroni se pot deplasa la distante macroscopice In volumul metalului

a*e2N

Drude, In 1907, propune un model teoretic pentru a explica


proprietatile metalelor. Conform acestuia, metalul este un ansamblu

(3.87)

respectiv.

unde o" este o constanta .efectiva" Madelung, iar R este distanta dintre
'

ionii vecini.

format din ioni cu sarcina electrica pozitiva situati In nodurile retelei

Daca se cornpara relatia (3.87) cu (3.67), observarn ca, de fapt,

cristaline sl un gaz ideal format din electroni liberi care se rnisca intre

(3.87) reprezinta tocmai al doilea termen din membrul al doilea al

ioni. Evident, teoriile ulterioare asupra metalelor au adus rnodlficari i

formulei (3.67) care descrie atractia dintre ioni.

completarl teoriei lui Drude, insa modelul propus de el si-a pastrat, In


esenta, valabilitatea.
Leqatura care asiqura stabilitatea cristalelor metalice se nurneste

Energia totala trebuie sa tina seama i de energia cinetica de


zero a gazului electronic degenerat (v. (3.16)) si se poate scrie sub
forma

legatura metelice.
Dupa cum s-a mai aratat In 1.17, pe langa unele elemente din
sistemul periodic (Fe, Au, Ag, Co etc.) exista i alte sisteme (aliaje,
cornpusi intermetalici s.a.) caracterizate prin leqaturi specifice de tip
metalic.

a* e2 N

tot

=-

+ 3s13

1[4;3n2

10m

N513

(3.88)

unde h este constanta lui Planck ( n = h I 21f) i m masa electronului.


Energia care corespunde unei perechi de ioni este

278

BAZELE FIZICII SEMICONDUCTORILOR


* 2
E(R)= UJQJ_=-~+

35 I 3

4I 3 2

tr

n N213

(3.89)

10m

Tabelul 3.6
Tipul de
Metalul

structura
cristalma

Li

eve

Cu

CFC
HC
(hexagonal

Pentru a scoate in evidenta aspectul dependentei acestei energii de R,


vom inlocui, in ultimul termen al acestei relatii, pe N = b3 (b fiind un

factor numeric care depinde de geometria retelei si care are valori de

Zn

ordinul unitatilor) si atunci (3.89), devine


a* e2

E(R)=---+
R

3s12 tr4;3n2b213
10mR2

Nurnarul celor mai apropiati


vecini

ro (A)

3 atomi la distanta ro
6 atomi la distanta 3r0 I .J3
12 atomi la distanta r0

2,56

12 atomi la distanta r0

2,66

3,04

cornpacta)

(3.90)
La multe metale, la formarea unor astfel de leqaturi participa

Se poate arata ca dependents E ( R) descrisa de (3.90), este de


forma curbei 3 din Fig. 3.1. Relatia care da distanta minima dintre ioni Ro

numai cate un electron de la fiecare atom. De exemplu, atomul de litiu


are pe lnvelisul exterior numai un singur electron i de aceea cristalul de
litiu este format din ioni rnonovalenti de Li+ cu raza de 0,68 A, dispusi

se poate deduce din conditia

ld~~RtR,

279

Capitolul III - Legatura cristalina

regulat in nodurile retelei, care sunt lnconjuraf de un gaz electronic (a


~O

(3.91)

carui concentratie se poate determina din calcule, stiind ca fiecare atom


cedeaza cate un singur electron).

iar valorile lui Ro calculate din relatia respectiva sunt in buna


concordanta cu acelea determinate prin metode de difractie
cu radiatii
X
'
'

3.9 Leqatura crlstallna, Consideratii finale


'

(v. Capitolul II).


Trebuie sa rnentionarn ca structurile cristaline ale metalelor sunt

in acest capitol au fast prezentate principalele tipuri de leqaturi

caracterizate prin distante relativ mari dintre atomi si printr-o cifra de

cristaline pe baza carora se pot explica formarea moleculelor din atomi,

coordinatie mare (un nurnar mare de vecini de ordinul lntai) (Tabelul 3.6)

precum i formarea cristalelor cu structuri de mare diversitate.

[13, 102].

Trebuie sa mentionarn ca in cazuri reale, foarte putine cristale

Din acest motiv, fiecare atom de metal participa la formarea unui

sunt caracterizate prin leqaturi de un singur tip (,,pure"), adica fie

nurnar mare de leqaturi, care nu pot fi localizate, i in consecinta, se va

covalente, fie ionice etc. in general, cristalele sunt caracterizate prin

forma o leqatura prin rezonanta a electronilor din paturile exterioare ale

legaturi mixte adlca leqaturi care au anumite componente (anumite

flecarul atom.

prop~rfii) din anumite legaturi.


S-a putut constata din cele prezentate ca interactiunea
electrostatics este factorul determinant in coeziunea cristalelor solide

'

celelalte tipuri de interactlum (magnetice, gravitationale etc.) fiind slabe

BAZELE FIZICII SEMICONDUCTORILOR

280

sau putand fi chiar neglijate.

281

Capitolul III - Legatura cristalina

unde I este energia de ionizare i A este afinitatea pentru electroni.

O structure crlstallna oarecare este stabila numai In cazul In care

I i A se exprirna de obicei In eV [56, 57, 186], lnsa practic se

energia ei totala este mai mica decat energia totala a atomilor sau a

foloseste o scara relative definita ca raportul dintre electronegativitate

moleculelor constituente In cazul In care acestea s-ar afla In stare llbera

elementului

(In stare qazoasa

dintre energia

A= 0,62 eV).

sistemului de atomi liberi i energia lor In faza condensate se nurneste

Dupa

sau In stare de vapori).

Diferenta

energie de coeziune.

anumite

ieqaturi.

De exemplu, In cazul leqaturii ionice se formeaza

cristale de tip CsCI sau NaCl ( 1.18).


Leqatura

cum

electroneqativitati

in functie de natura leqaturf cristaline se formeaza i cristale cu

covalenta,

diferenta

rezulta

din

(3.92),

dupa

5,392 eV si

diterenta

dintre

se poate evalua caracterul unei legaturi chimice. Daca


are

valoare

mare,

leqatura

dintre

cornponentii

compusului format din cele doua elemente are caracter preponderent


ionic, iar In cazul In care aceasta diferenta este mica, leqatura are un

care se poate

electroni cu spini trnperecheati,

aceasta

i cea a litiului (pentru litiu, I

respectiv

al

realiza

prin

perechi

de

caracter preponderent covalent.

este o legatura puternlca, cornparabila

100

cu intensitatea legaturii ionice, desi leqatura covalenta se forrneaza lntre


atomi neutri din punct de vedere electric.

75

co

t.eqatura mixts, ionlca i covalenta este foarte raspandita printre


cornpusli semiconductori

Q)

: 50
'(3
c:

binari.

.2

Pauling [138, 139] arata ca gradul de ionicitate a unui campus


binar avand o astfel de retea cu leqaturi mixte, se poate determina din

25
0
2

relatia

Diferenta electroneqativitatilor XA - xs

(3.92)
Fig. 3.17. Gradul de ionicitate al halogenurilor alcaline (in procente)
in functie de diferenta electroneqativitatilor elementelor componente [19].

unde XA si xs reprezinta electroneqativitatile


Electronegativitatea

reprezinta

celor doi cornponenti.

proprietatea

elementelor

de a

Dupa cum se poate observa

din Fig. 3.17 [19], gradul de

accepta electroni i de a forma ioni negativi. Aceasta marime este data

ionicitate (cat la suta din leqatura totala este ionica) calculat din relatia

de relatia 1)

(3.92) (curba continua) este In buna concordanta

I +A

x=- -2

experimental (indicate cu cercuri negre In fiqura).


(3.93)

Un alt tip de leqatura rnixta, covalenta - van der Waals, este


caracteristica

RS. Mulliken, J. Chem. Phys., 3 (1935) 573.

cu valorile obtinute

(carbon).

cristalelor

de Te i Se ( 1.19) sau cristalelor de grafit

282

BAZELE FIZJCU SEMICONDUCTORJLOR

Tipul de leqatura chimica care predornina intr-un

cristal

deterrnina ~i proprietatile caracteristice ale acestuia. De exemplu, in


cazul in care o substanta cristalizeaza intr-o structura in care predornina
leqaturile van der Waals, cristalele respective au temperaturi de topire
foarte scazute, se cornporta ca dielectrici si sunt transparente in
domeniul

ultraviolet.

Cristalele

covalente

au

proprietati

tipic

CAPITOLUL IV

semiconductoare si sunt transparente in domeniul spectral cu lungimi de

VIBRATIILE RETELEI CRISTAL/NE


'

unda mari. in sfarsit, cristalele metalice sunt conductoare electrice foarte

'

bune, au coeficienf de reflexie ridicaf s.a.

4.1. Vlbratiile retelei unidimensionale (liniare) cu un singur tip


(sort) de atomi pe celula elementara
Atomii (ionii, moleculele) unui cristal situati in pozitii fixe (in
repaus) in nodurile retelei constituie un caz ideal, care ar putea sa aiba
loc numai la temperatura de zero absolut", in realitate, la o ternperatura
oarecare, atomii cristalului respectiv efectueaza mici oscilatii (vibratii) in
jurul pozitiflor lor de echilbru (pozitii care corespund cu nodurile retelei
cristaline). Amplitudinile acestor oscilatii sunt cu atat mai mari cu cat
temperatura cristalului este mai ridicata.
Cunoasterea caracteristicilor acestor oscilatn pentru diferite tipuri
de

retele

cristaline,

prezinta

un

interes

deosebit

in

fizica

semiconductorilor. 0 serie de fenomene importante (dilatarea termica i


topirea cristalelor, lmprastierea neutronilor i a radiatiilor X in corpurile
cristaline, propagarea radiatiilor infrarosf in cristalele ionice etc.) pot fi
explicate luandu-se in considerare proprietatile oscilatilior respective.
Mai facem precizarea ca de foarte multe ori se foloseste
termenul de vibratiile (oscilatiile) retelei (retelei cristaline) i se
subinteleqe ca este vorba de oscilatiile particulelor din nodurile retelei,

In acest capitol noi nu vorn lua in considerare efectele cuantice care se manifesta la ternperaturi
foarte joase.

284

BAZELE FIZICU SEMICONDUCTORILOR

Capitolul IV - Vibratiile retelei cristaline

Aceste oscilatii pot fi privite ca un anumit tip de .Imperfectiuni ale


retelel cristaline ideale" (de multe ori ele chiar sunt denumite
imperfectiuni

dinamice

i sunt studiate de un capitol special al fizicii

corpului solid, intitulat dinamica retelei cristaline).

In

acest capitol noi nu vom lua in considerare imperfectiunile

Pentru studiul teoretic al oscilatiilor luarn axa de coordonate Ox


in

dlrectia

retelei i

atomilor de baza a cristalului etc.).

considerarn ca fiind

pozitive elonqatiile

corespunzatoars atomilor care sunt deplasati in dreapta nodurilor (deci


in sensul pozitiv al axei Ox) i negative cele ale atomilor care sunt
deplasati

in

cristalelor reale (lipsa unor atomi din nodurile retelei, existenta unor
atomi in internoduri, prezenta unor atomi de natura diferita de cea a

285

stanqa
a

(a)

nodurilor
a

respective.

+--

--~

n-2

n-1

n+l

11

n+2

Pentru a stabili caracteristicile oscilatiilor retelei, vom considera,


mai lntai, cazul eel mai simplu, al unei retele unidimensionale (liniare),
forrnata din atomi identici, a carer rniscare de oscilatie se supune legilor
mecanicii clasice1>. Rezultatele obtinute pentru cazul unidimensional pot

(b)

+-0

Un-2

--~

Un-l

Un

.._.,.!

Un+l

Un+2

fi UOr generalizate pentru cazul retelelor tridimensionale.


Tn Fig. 4.1 s-a reprezentat o portiune dintr-o retea cristalina
unldimensionala, avand constanta egala cu a, formats din N atomi
identici (de acelasi sort), avand fiecare masa m. Intrucat N este foarte

Fig. 4.1. Reprezentarea schernatica a unei portiunl dintr-o


retea unidirnensionala avand parametrul a. Baza atasata
fie'carui nod este formats dintr-un atom avand masa m.
Atomii sunt reprezentati in pozitia de echilibru (a)
~i in timpul efectuarii oscllatiilor (b).

mare, reteaua se poate considera ca fiind infinita, atunci cand se

Se stie din mecanica [211, 212, 223] ca micile oscilati' (oscltatn

studiaza rnlscarea unui atom din sirul respectiv. Structura crlstalina

liniare cu elonqatii mici) efectuate de un punct material (particula) cu un

respectiva a fast obtinuta pornindu-se de la o retea unidimensionala,

singur grad de libertate in vecinatatea pozitiei sale de echilibru stabil

atasand fiecarul nod al retelei o baza formata dintr-un sinqur atom. Tn

sunt oscllati! armonice. In acest caz, o departare a punctului material de

acest caz, celula elernentara (un segment de lungime a) are un singur

la pozitia sa de echilibru stabil deterrnina aparltia unei forte

atom (fiecare atom de la capetele segmentului apartinand la cele doua

(conservative) care tinde sa readuca punctul material in pozitla sa de

celule care sunt in contact), fiind o celula primitiva (celula slrnpla),

echilibru. Teoria micilor oscilatii se bazeaza pe dezvoltarea in serie dupa

Sa notarn cu ... (n - 2), (n - 1 ), n, (n + 1 ), (n + 2) .... nodurile unei

coordonate i viteze a energiei potentiale (considerata minima in pozitia

anumite portiuni din reteaua unidimenslonala considerata i cu ... un-2,

de echilibru) i cinetice, fiind pastrati numai termenii de ordinul al doilea

elonqatiile (deplasarile de la pozitiile de echilibru

(care de altfel sunt primii termeni care nu se anuleaza). Luarea in

Un_1,

Un, Un+1,

Un+2 ....

stabil) atomilor din nodurile respective.

consideratie a aproxirnatiilor urmatoare (sau, cum se mai spune, a

enermonicitinii; conduce la aparltla unor particularttati calitativ noi [23,


1

Exceptand dorneniul ternperaturilor foarte joase, oscilatiile atornilor in cristal se supun legilor
mecanicii clasice.

47, 108, 154, 208].

286

BAZELE FIZICII SEMICONDUCTORILOR


Sistemul

de

atomi

care

formeaza

reteaua

unidimensionala

287

Capitolul IV - Vibratiile retelei cristaline


iar

constituie un sistem de osci/atori armonici cupleii, ceea ce tnseamna


ca o deplasare a unui atom din pozitia de echilibru va influenta .starile"

(4.3)
ultima relatie deducandu-se U!?Or din Fig. 4.2.

celorlalf atomi din sir. Pentru a scoate In evidenta acest fapt, ne putem

a= d,

n-1

elastice ideale (de rnasa neqlijabila), care, In cazul In care atomii sunt In
pozitiile lor de echilibru, sunt nedeformate (Fig. 4.1 a).
atomii oscileaza, aceste resorturi se deformeaza

In

imagina ca atomii din sir ar fi legati unul de altul prin niste resorturi
1

--.

'+--+i

: Un-1'

(se alungesc sau se

normale

matematice

(introducerea

n+1

Un+1

+------+:

I
1
I

df

Fig. 4.2. Oscilatiile atomilor tntr-o retea unidlrnensionala.


Se iau In considerare numai Interactiunile
dintre atomul n i atomii vecini n - 1 i n + 1.

sensul de deplasare a atomului In raport cu sensul axei Ox (Fig. 4.1 b).


metode

Un

comprirna) In functie de pozitia atomului In sir, marirnea elonqatlel !?i

Prin anumite

'..,.-.. :L-4B.0.!i'ftl-----+l""l'_.'_n-_1.n-(ilieili!!i1k...1
.;\'~~-.,,-,n
--1P._
-.n'.},7.~
,.::.1;,+'' ~-+
((._.,,
)
I

cazul In care

coordonatelor

[211, 223]) sistemul de oscilatori armonici cuplati, poate fi


Din (4.1) - (4.3), se gasete

inlocuit cu un sistem de oscilatori intiependenti. Aceasta "decuplare"

(4.4)

poate fi efectuata numai In cazul eproxitnetiei armonice.


Varn considera

ca un atom din slr interactioneaza

atom ii vecini de ordinul Intai ( cei mai apropiati)

de

.raza de

interactlune

actiune mica". Tn cazul elenqatiilor mici


dintre

atomi

poate

fi

cvesletestice, adica se poate presupune

conslderata

(lunl

(4.5)
Forta rezultanta care actioneaza asupra atomului

n este

<< a), forta

ca

(4.6)

forfa

ca este proportionala

cu

cele doua forte avand aceeasi directie, dar sensuri diferite.


Din (4.4) - (4.6), obtinern UOr

variatia distantei dintre atomii respectivi.


Astfel, forta cu care atomul

n - 1 i n va fi

(Fig. 4.2). Aceasta

inseamna ca vom presupune ca fortele de interactiune dintre atomi sunt


forte cu

Tn mod analog, forta de interactiune dintre atomii

numai cu

(4.7)

n + 1 actioneaza asupra atomului n


Ecuatia de rniscare a atomului

este

d 2u
man = m dt2n = -/3 (2un - un-1 - un+1)

(4.1)

unde f3 este coeficientul (parametrul) fortei cvasielastice

(/3 >

n are forma
(4.8)

0), dr -

distanta finala dinre cei doi atomi, iar di distanta initiala dintre acestia.
Evident,

unde

an= ~~n

reprezinta acceleratia rniscarii atomului din nodul n.

Ecuatii de tipul (4.8) se pot scrie pentru fiecare atom din strut
(4.2)

considerat.

Daca s-ar rezolva ecuatia (4.8), s-ar putea gasi modul In

288

BAZELE FIZICU SEMICONDUCTORILOR

care depinde

de timp elonqatia

Un, adica

s-ar putea stabili forma

Mai putem scrie (4.9), sub forma

alqebrica concreta a functiei un(t). Din pacate, functiile Un-1(t) si Un+1(t) din
expresia

(4.8) sunt necunoscute

(depinzand

u ( x, t) = A sin ( kx - mt)

!?i ele de timp) si, ca

In definitiv, chiar daca presupunem ca vom rezolva aceste ecuatii

(pentru

!?i vom gasi aspectul dependentei de timp a elonqatiilor tuturor celor N


aceste

diferentiale

tipul

de

(amplitudinile
initiale

ale

elonqatii,
(4.8),

confine

constante

de

!?i fazele initiale) care trebuie determinate


miscarii

considerate

(de

requla,

prin

urmare, suma sotutillor este de asemenea o inteprala a ecuatiei), este

valorii

comod din punct de vedere matematic


forrna cornplexa, adica [3, 23]
u(x,

Din acest
rezolvarea

ecuatiei

motiv,

vom alege

o cale mult mai simpla

Totusi

pentru

vibrente. Acesta coarda se presupune


de rigiditate)

fiind

ornoqena,

situata

cu o coerdii

elastica

in directia

la linia

diferentiala

pentru

vibratiilor

cazul

admite

ca

unele .rnoditicari"

x, se va inlocui

cu o

na este ecuatia sirului reticular, r fiind aici

oscilatiilor
solutii

transversale
unde

ecuatia

monocromatice

u(x,

t)=Ae-i(wt-kna) =un(t)=un

(4.12)

amplitudinea A nedepinzand de n.
Ecuatia (4.12) descrie variatia In timp a elonqatiei atomului, care

(4.9)

u este abaterea corzii de la pozitia de echilibru la momentul t, lntr


este x, A - amplitudinea,

'

sirului, adica vom scrie

unda si v- frecventa de oscllatle,

continuua,

'

u( x, t) =A- sin2,,-( ~ -vt)

un punct a carui coordonata

sa-i aducem

lntreg), lntrucat atomii, In pozitiile lor de echilibru, sunt situati In nodurile

progresive, de forma [3, 7, 211]

unde

(4.11)

vectorul de pozitie al unui nod, a distanta dintre atomi, iar n un nurnar

De

cazul osciiatiilor mici (coarda "deviaza" foarte putin

dreapta),

(4.11) trebuie

"merime discrete", na (r

si absolut

axei Ox.

ecuatiei

In primul rand, coordonata

asemenea, greutatea corzii se neglijeaza.


Considerand

=Ae-i(wt-kx),

pentru a o putea utiliza pentru cazul unui sir reticular infinit.

(4.8), !?i anume vom asernana acest sir infinit de

atomi, intre care exista forte de interactiune cvasielastice,

(lipsita

t)=A[cos(kx-mt)+isin(kx-mt)]=Aei(kx-wt)

unde amplitudinea A poate fi o rnarime cornplexa.

rezultatelor respective.

de

sa se foloseasca solutia sub

0). Varn obtine in final un nurnar de N asemenea functii, cu

foarte multi parametri, ceea ce ar face practic imposibila interpretarea

flexibila

= 2n v)2).

Daca se cons id era ca ecuatia corzii (libere) este liniara (prin

din conditiile

elonqatiel !?i a vitezei punctului material care oscileaza, la un moment


initial, t

care poate avea atat valori pozitive

unde care se propaqa In sensul pozitiv al axei Ox) cat !?i

sau frecventa unqhiulara ( ro

integrare

indicarea

2;),

(4.10)

negative ( cand propagarea undei este In sens invers ), iar to este pulsatia

privite ca solutii ale unor ecuatii

var

k fiind vectorul de unda" ( k

urmare, rezolvarea ecuatiei este irnposibila.

atomi ai sirului,

289

Capitolul IV - Vibratiile retelei cristaline

/L - lungimea de

De fapt k reprezinta aici componenta vectorului de unda dupa directia axei Ox si, pentru simetria
notatiilor, ar trebui sa o notam cu kx, insa, de obicei in miscarea unidimensionala, componenta
vectorului de unda dupa directia respectiva se noteaza cu k.
2
Deoarece valorile frecventei v si a frecventei unghiulare (pulsatiei) w, nu difera decat printr-o
constanta numerica, de foarte multe ori se foloseste pentru ca denumirea de frecventa, Ia.ra a mai
preciza ca este vorba de fapt despre frecventa unghiulara, cititorii ,,descoperind" usor acest Iucru
din analiza relatiilor respective. Vom folosi ~i noi, in cadrul acestui capitol, aceasta conventie,

BAZELE FIZICH SEMICONDUCTORILOR

290

se gasete in nodul n.

Din (4.16) i (4.17), obtinern

Trebuie sa mai mentionarn i faptul ca in cazul unei corzi, se


OJ2

definesc frecventele proprii, care iau in considerare faptul ca lungimea


corzii (fixata la ambele capete) cuprinde un nu mar intreg de jumatat' de
lungimi de unda (I

291

Capitolul IV - Vibratiile retelei cristaline

nA/2, I fiind lungimea corzii).

reticular,

vom considera

frecventa

(unqhiulara)

OJ

ca modulul

vectorului

Insa,

In cazul sirului

2 /3 ( 1 - cos ka)

c::1 tiinan d seama ca, 1 - cos k a = 2 si n 2 -ka , avem


A

'

de unda, k, cat si

OJ2

pot lua toate valoarile cuprinse intre 0 i oo

= 4 .!!_ sin" ka
m
2

(4.19)

De aici, deducem

(fiecarei valori a lui k Ii corespunde o unda de o anurnlta forma),

(4.20)

l.ulnd in considerare (4.12), putem scrie


un-1

=A e

_A
un+1 -

In

-i[ mt-k(n-1)aJ

= une

-i[ mt-k(n+1)Ja _

- une

-ika

(4.13)

ika

(4.14)

Valoarea maxima a lui to se obtine pentru lsin

ecuatiile (4.12) - (4.14) s-au considerat oscllatiile unei retele

pentru care tof

atomii constituenf oscileaza

cu aceeasi frecventa,

care alcatuiesc

siru' unidimensional

OJ

m
OJ.

Astfel de oscilatii se numesc osclieiii normale. Deoarece toate celulele


elementare

(4.18)

=2

~I

= 1 si este

~m{7i

(4.21)

Deci, mai putem scrie (4.20), sub forma

sunt, din punct de

m( k) =mm lsin ~al

(4.22)

vedere fizic, echivalente, atunci amplitudinile atomilor din diferite celule


vor fi aceleai, la trecerea de la o celula la alta variind numai faza
oscilatiilor.

re I at, .1 e care, t"inan d seama d e expres1.a k


,
A

Tn aceasta situatie, din (4.12) obtinern

d2un =

-mOJ2

Ae-i(mt-kna)

df2

m( A)= mm lsin
= -mOJ2U
n

(4.15)

= -/3(

2-

e-ika - eika)

71

(4.23)

Prin urmare, relatia (4.12) reprezinta o solutie a ecuatiei (4.8)


pentru orice valoare a lui n, In cazul In care dependents frecventei

Tnlocuind (4.12) - (4.15) in (4.8), qasfrn user, dupa sirnplificari


-mOJ2

= -2/LTC , se scne

(4.16)

OJ

de

de unda k (sau de lungimea de unda /L) este descrisa de

vectorul

expresia (4.22), respectiv (4.23).

Insa,

Relatia (4.22) se nurneste legea (relafia) de dispersie pentru o

retee unkiimensionele cu un singur tip (sort) de atomi pe celula


etementsrii. Din aceasta relatie rezulta ca Intr-un sir unidimensional cu

si deci
e-ika

+ eika

= 2 cos ka

(4.17)

distributie

de masa discreta,

frecventa

OJ

nu este proportionala

cu

292

BAZELE FIZICH SEMICONDUCTORILOR

'

vectorul de unda k asa cum se tntampla in cazul corzii vibrante (pentru


care

OJ

= ck

sau v = c }5_, c fiind viteza de propagare a undei) ci este


21C

'

1[
--~k~+-

(4.23')

(4.26)

'

respectiva. Punctul k

(4.24)

ng este tot un

primei

definesc marginile

(extremitafile) primei zone


Valorile vectorului de unda k situate in afara acestui interval nu
conduc la start noi de oscilatie a atomilor retelei unidimensionale.
'

nurnarintreg i putem scrie

pentru reteaua

0, constituie centrul

-i[wt-(k+ 2:r g)na]


a
= un ei2:rgn

Evident, intrucat n i g sunt numere intregi, n,

uniotmensionata

zone Brillouin, iar punctele k = - 1[ si k = +TC

(g fiind un nurnar intreg pozitiv sau negativ), obtinern

un = Ae-1(wt-k na) = Ae

1[

care se spune ca reprezinta prima zona Brillouin

k +-g
21[

care se considera varlatla lui k, se alege intervalul

Daca in expresia (4.12) inlocuim vectorul de unda k cu un alt


vector de unda k' dat de expresia

21[ ) ~in
a

De requla, ca domeniu de baza (cu rnarirnea eqala cu

dsscrisa de o ecuatie de dispersie1).

k =

293

Capitolul IV - Vibratiile retelei cristaline

'

Reprezentarea qrafica a dependentei

OJ=

co ( k)

descrisa de

(4.25)
ecuatia (4.22), este reprezentata in Fig. 4.3.
i din (4.24) si (4.25), gasim ca
Prin urmare, unda descrisa de u~

(v. (4.24)) este identica (in

toate punctele i in toate momentele de timp) cu unda descrisa de

Un

(v.

(4.12)). Aceasta tnsernna ca vectorii de unda k st k' nu se deosebesc


din punct de vedere fizic (sunt indiscernabili).
Tn consecinta, este suficient sa studiem variatia lui k intr-un

Jr

21[
interval de rnarime a , lntrucat numai aceste valori ale lui k dau solutii
,
distincte. Aceasta tnsearnna ca toate proprietatile fizice (care depind de
vectorul de unda) ale sirutui unidimensional considerat vor fi periodice cu
pen. oad a-.21C

1 Dispersia reprezinta fenomenul de descompunere a unei radiatii in radiatiile monocromatice


componente, care se produce ca unnare a dependentei de frecventa a vitezei de faza a undelor
care strabat mediul dispersiv.

Fig. 4.3. Reprezentarea qrafica a dependentei

ai

= m(k),

+2Jr

descrisa de relatia (4.22)

Prima zona Brillouin este figurata cu linie ingro~ata.

Se poate observa ca
(4.22), cuprinde factorul lsin

OJ

k;1.

ia dear valori pozitive, tntrucat relatia


De asemenea, dupa cum se poate

294

BAZELE FIZICU SEMICONDUCTORILOR

295

Capitolul IV - Vibratiile retelei cristaline

2Jr

deduce UOr din (4.22), OJ este o functie


periodica de k, cu perioada a
,

m(0k)

adica

(4.27)

In

conformitate

cu

reprezentarea qrafica OJ= OJ( k)

aceasta

relatie,

orice

portiune

: m~af!k

I
I
I
I
I
I

I
I
I

din

din afara primei zone Brillouin, poate fi

.transferata" In prima zona Brillouin prin deplasarea (translarea) ei cu


2Jr

2Jr

Fig. 4.4. Curba de dispersie In prima zona Brollouin


pentru o retea unidimensionala cu atomi identici.

Pe de alta parte, tinand seama ca graficul OJ= OJ( k)

se suprapune peste

portiunea B'A din prima zona; portiunea CD, deplasata cu 2Jr I a spre

In directia
, axei abciselor (axei Ok) sl In sens convenabil. Astfel,

portiunea BC, deplasandu-se spre stanqa cu

7f

In prima

zona este simetric fata de axa Om (fata de ordonata) si deci

OJ ( k)

stanqa se suprapune peste portiunea AB din prima zona. In mod analog,

= OJ ( -k)

portiunile C'B' i D'C' prin deplasarea cu 2Jr I a spre dreapta se

In majoritatea cazurilor, este suficient sa se analizeze dependents

suprapun peste portiunile AB, respectiv B'A din prima zona s.a.rn.d.

OJ= OJ(k)

numai pentru valori pozitive ale lui k, adica In intervalul

cuprins

intre

Operatia de translare (deplasare) a tuturor portiunilor graficului

OJ= OJ( k)

si

n/a

(Fig.

4.5).

In prima zona Brillouin se nurneste de obicei reducere la

primazone Brillouin.
Din cele prezentate mai sus, se poate constata ca este suficient
sa se reprezinte grafic dependents OJ= OJ( k)

,
0

UJ(k)
numai In prima zona

I
I
I

Brillouin, aspectul dependents' pentru celelalte valori ale lui k putandu

IP
m=a~~k

I
I

se stabili UOr tinand seama de relatia (4.27). 0 astfel de reprezentare


este prezentata In Fig. 4.4. Cele doua portiuni ale reprezentarii se

7f

numesc de requla ramuri de dispersie (fiind .asernanatoare" cu


ramurile unui copac).

Fig. 4.5. Curba de dispersie pentru 0 s ks nla

Valoarea maxima a lui k In prima zona Brillouin, este

r.;

=-

Jr

(4.28)

296

BAZELE FIZICII SEMICONDUCTORILOR-

Acestei valori ii corespunde o valoare minima a lungimii de unda

297

Capitolul IV - Vibratiile retelei cristaline


sau

21r

A.min =-=2a
k

(4.29)

max

Pentru

kmax

ff,

din (4.22), se qaseste

ca frecventa

va avea de

De aici rezulta ca pentru unde cu lungimi de unda mari (in cornparatie cu


distanta

asemenea o valoare maxima i anume

dintre

atomi),

in sistemul

de coordonate

(OJ, k), graficul

OJ= OJ(k) reprezinta o dreapta care trece prin origine (Fig. 4.4 i 4.5).
OJ =

OJ.m

= 2[!;

(4.30)

'

relatie care se obtine din (4.23) in care se Inlocuieste A cu

Amin

A doua zona Brillouin (ZB), cuprinde urrnatoarele doua domenii


de variatie a lui k:

= 2a

21r
--~k~--;-~

Din (4.29), rezulta ca, spre deosebire de un mediu continuu, intr

un sir reticular (sistem cu distributie discreta a masei) nu se pot


propaga unde cu lungime de unda mai mica decat dublul

1[

k~-

21r
a

care sunt situate de o parte si de alta a primei zone.


Tn mod analog, pentru a treia zona, avem

constanteiretelei (undele cu lungimi de unda mai mici se anihileaza

- 37r ~ k ~ - 21r ; 21r ~ k ~ 37r

reciproc).
Acest rezultat,

Amin

a
2a, poate fi interpretat ca o reflexie Bragg

pentru unghiuri de 90 (v. 2.10) pe .fetele" primei zone Brillouin.


Intr-adevar, din (2.16), pentru
2, 3, .... ) si pentru

1[

e = 90, avem

n = 1, obtinem 2a =A=

n=

1,

Amin

s.a.rn.d.
Tn aceste

2a = nA (unde

relatii, valorile

pozitive ale vectorului

de unda, k,

corespund unor unde care se propaqa in sensul pozitiv al axei Ok, iar
valorile negative se refera la unde care se propaqa in sens contrar.

Deci o unda care corespunde primei zone Brillouin este o unda


stationara i nu o unda proqresiva,
Linda cu lungime de unda minima se caracterizeaza

printr-o

frecventa maxima data de relatla (4.30).

4.2. lpoteza cristalului ciclic.


Conditiile de ciclicitate Born - von Karmann
'

Pentru valori foarte mici ale lui k in cornparatie cu n/a, putem


Tn studiul intreprins asupra vibratiilor retelei unidimensionale

aproxima

. (ka)

Sin -

considerat ca lungimea acesteia este inflruta.


:::::k:-a

In

s-a

realitate, irul reticular

face parte dintr-un cristal care are dimensiuni finite. Deci i lungimea
sirului va fi finita, el fiind format dintr-un nurnar finit de atomi. Evident,

i, din (4.22), obtinern

atomii de la extrernitatile sirulul (de la suprafata cristalului) au o inftuenta

OJ = OJ ka = 2 /ji ka
m2
{;;i2

mica asupra rniscarii celorlalti atomi din sir, tntrucat s-a presupus ca

BAZELE FIZICII SEMICONDUCTORILOR -

298

fortele de lnteractiune

dintre atomi se rnanifesta cu precadere

299

Capitolul IV - Vibratiile retelei cristaline

numai

lntre atomii vecini de ordinul lntai. Acest lucru este valabil tnsa numai
pentru sirurile cu un urnar foarte mare de atomi. Luarea In considerare a
unui cristal cu dimensiuni finite (In concordanta cu situatia fizica reala),
necesita

introducerea

unor conditii

la limita la capetele

sirului

(la

suprafata cristalului) pentru ecuatiile elonqatiilor, fapt care ar complica


mult studiul oscilatiilor retelei respective.
Daca nurnarul N este mare i daca nu ne intereseaza procesele care au
lac la extrernitatile sirului reticular, se poate considera ca toti cei N atomi
ai sirului, inclusiv cei de la extremitati, se qasesc In aceleai conditii i
se introduce

ipoteza cristalului ciclic, utilizata frecvent

In teoria

corpului solid si care prezinta

multiple avantaje din punct de vedere

matematic.

cei N atomi care forrneaza

Conform

acesteia,

Fig.4.6. Reprezentarea schernatica a aranjarii celor N atomi


pe un contur Inchis folosita In cazul ipotezei cristalului ciclic

De aici rezulta ca, pentru a fi lndeplinite conditiile de ciclicitate,


trebuie sa fie satisfacuta relatia

sirul sunt

dispusi pe un contur (o circurnferinta) cu raza foarte mare, astfel

incat

eikaN= 1

(4.32)

care rezulta direct din (4.31').

lntre atomul nurnarul 1 i atomul N sa fie aceeasi distanta a ca i lntre


Dupa cum s-a aratat (v. (4.25)), conditia (4.32) este satisfacuta daca
oricare doi atomi vecini din sir (Fig. 4.6).

kaN = 2Jr!

Prin urmare, conform acestei ipoteze a cristalului unidimensional

ciclic

format din N atomi, atomul "1" este echivalent cu atomul "N+1" sau, In
general, atomul n trebuie sa fie echivalent cu atomul

n N (semnele

I fiind un nurnar lntreg (/

(4.33)

= 0, 1, 2, 3, ... ).

Din (4.33), qasirn pentru vectorul de unda expresia


k = 2Jr _!

,,+"

(4.34)

a N

i ,,-" indica sensul In care este parcurs conturul respectiv).

Dupa cum rezulta din(4.34), modulul vectorului de unda, k, ia

Tn acest fel, conditiile la lirnita (care ar trebui scrise pentru atomii


de la extrernitatile

sirului) sunt lnlocuite

de coruiitiile de ciclicitate

Born-Karmann, care se deduc din conditia


UnN =Un

Sa determinam

numarul de valori pe care le poate lua vectorul

de unda k In prima zona Brillouin. Din (4.34 ), avem


(4.31)

Tinand seama de (4.12), putem scrie (4.31) sub forma


A e-i[01t-k(nN)a]=A e-i(01t-kna)

valori discrete, tntrucat I ia valori discrete.

pentru k=-(4.31')

Jr
a'

I=--

Jr
.
k
iar pentru
=+-,I=+-.

N
2'
N

Asadar, nurnarul valorilor ,,permise" (posibile) ale lui k In prima zona

BAZELE FIZICU SEMICONDUCTORILOR

300

Capitolul IV - Vibratiile retelei cristaline

301

Miscaril de oscilatie (vibratie) a unui atom In jurul pozitiei lui de

Brillouin se determine din relatia

--~l~+2

(4.35)

echilibru Ii corespunde un singur grad de libertate (pozitia atomului este


cunoscuta

adica In aceasta zona I ia N valor!" i In consecinta, In conformitate cu

cunoscand

valoarea

elonqatlei

u, care

indica

distanta

atomului fata de pozltia de echilibru) [211, 223].

(4.34), i vectorul de unda k ia tot Nvalori.

Deci pentru cei N atomi din sistem (siru' reticular), avem N grade

Prin urmare, numiirul valorilor permise pentru

vectorul de

unda k, in prima zona Brillouin, este egal cu numiirul N al etomilor


din strut reticular considerat (sau cu nurnarul celulelor elementare,
lntrucat s-a presupus ca baza este formats dintr-un singur atom).

numiirul grade/or de libertate ale sistemului.


S-a aratat deja ca In prima zona Brillouin, vectorul de unda k ia
un nu mar foarte mare de valori, astfel In cat functia OJ= f (k)

Datorita faptului ca N ia vaJori foarte mari, variatia Jui k cu

data de

(4.22) este considerata cvasicontinua, desi k ia valori discrete (v. (4.34 )).

descrisa de (4.34). se poate considera ca fiind o functie practic continua


(cvasicontinua). Aceasta ipoteza este foarte utila (i mai ales cornoda) In
studiul vibratiilor diferitelor tipuri de siruri unidimensionale.

de libertate. Rezulta ca numiirui de moduri de vibreiie este egal cu

De exemplu,

fn

aceste conditii se poate calcula nurnarul de moduri de vibratie

cu numere de unda k diferite In intervalul de frecventa cuprins

lntre OJ i

OJ+ dOJ. Varn stabili o expresie pentru densitatea de stsri, In raport cu

datorita variatiei cvasicontinue a lui k, putem aproxima o surna dupa k cu


o inteqrala In spatiul k unidimensional.
deduse

pe baza acestei

ipoteze

fn

nurnarul de unda, care se defineste ca numarul de stari pe unitate de


acest mod, formulele finale

le vom putea compara

lunqime a reteJei unidimensionaJe si pentru o variatie a Jui k eqaJa cu

cu datele
unitatea.

experimentale,

fara a fi necesar sa cunoastern (cu exactitate) nurnarul N


Din (4.22), qasirn (prin diterentiere)

de atomi din sirul reticular respectiv.

dz = ~wm /cos :a/


fiecarei valori a vectorului

de unda k Ii corespunde

dk = 21[ J_

a N

unda (un mod de vibrafie), rezulta ca In prima zona Brillouin (In care k
ia N valori) nurnarul de valori posibile pentru vectorul de unda k este
egal cu N, deci egal cu nurnarul atomilor din sir,

(4.36)

di .

(4.37)

iar din (4.34), deducem UOr, relatia

4.3. Densitatea de moduri de vibratle (oscllatle)

f ntrucat

dk

f nlocuind

pe dk din (4.37) In (4.36), obtinern

dOJ =~OJ
2

21[

/cos kal
2 aN

di

(4.38)

i tlnand seama de (4.21 ), putem scrie (4.38), sub forma

dw=~ g/cos:a/d/.
1
Dupa cum rezulta din (4.35) este comod sa consideram pe N ca fiind un numar par, dar aceasta
evident nu este esential in tratarea problemelor.

(4.39)

302

Capitolul IV - Vibratiile retelei cristaline

BAZELE FIZICH SEMICONDUCTORILOR

Tn intervalul de variatie a lui k cuprins lntre de moduri de vibratie, dz, corespunzator

si

Jr

+Jr

nurnarul

cos~

intervalului di de variatie a lui I

va fi

303

=J1-:; = J1+ 4w!

(4.43)

Din (4.41) i (4.43), obtinem In final


(4.40)

dz=2dl
factorul 2 intevenind aici datorita simetriei dependentei
Sa
conformitate

explicam

mai

amanuntit

valabilitatea

OJ= OJ( k).


retatiei

dOJ

(4.40):

Insa

de vibratie,

va trebui sa Inmultirn

Jr

~OJ! - OJ2

(4.44)

frecventa egal cu d OJ.

=~

Reprezentarea qrafica a dependentei

numai valorile

pozitive ale lui I (In total N/2 valori), dar In acest caz pentru a gasi
nurnarul de moduri

care reprezinta densitatea de moduri de vibratie pentru un inteval de

I poate lua (In mod simetric), atat valori

pozitive, cat i valori negative. Putem lua In considerare

2N

In

cu (4.34), la o anurnita valoare a lui I Ii corespunde

anumita valoare pentru k.

dz

=f

( w) este data In

Fig. 4.7.
dz
dm

cu 2 valorile

respective ale lui I.


Tnlocuind In (4.40) pe di determinat din (4.39), qasirn
(4.41)

2N

Insa
Jr

(4.41')

0)

iar din (4.22), obtinern


Fig.4.7. Reprezentarea grafica ~

d OJ

OJ2 sink"a =OJ2


m
2
de unde, luand In considerare i relatia (4.21 ), gasim
.

ka

OJ2

OJ!

sin-=-=--

Tnlocuind (4.42) In (4.41 ') avem

OJ2
4

/3
m

=f

(OJ) .

Se observa din (4.44) ca pentru OJ= 0, avem dz


d OJ

2N
J[OJm

i pentru

(4.42)
OJ-+ mm = 2

(ii,
~m

rezulta

dz -+ co . Densitatea de moduri de vibratie,


dOJ

dz , este o marirne irnportanta In studiul vibratiilor retelei cristaline.


dOJ
'
'

304

BAZELE FIZICU SEMICONDUCTORILOR

Densitatea
unitatea (dr

de start pentru un interval de frecventa

egal cu

1) va fi (v. 4.44))

Tr

utllizata

pentru

deducerea

1
)

{1)~

(4.44')

expresiilor

numai de marirnea vectorului

de unda

Vom exprima vitezele Vr !i)i v9 In functrs de


unor

rnarirnl

fizice

(adica In cazul

mediilor izotrope ).

0)2

305

Viteza de grup este data de expresia (4.46), In cazul In care to


depinde

dz= 2N

relatie

Capitolul IV - Vibratiile retelei cristaline

v0, viteza cu care se

propaqa un impuls sonar lntr-o bara solida.

importante, caracteristice retelei cristaline (de exemplu, caldura specifica

Se !i)tie ca In acest caz, putem scrie (formula lui Newton [211])

[7, 23, 41, 97]).

v, =

(4.47)

unde E este modulul lui Young, iar p este densitatea (masica).

4.4 Viteza de faza ~i viteza de grup

Modulul lui Young (definit ca fiind raportul dintre efortul unitar !i)i

Tn cazul In care frecventa depinde neliniar de nurnarul de unda,

alungirea specifica), se poate scrie, In cazul !i)irului reticular considerat,


sub forma (v. Fig. 4.2 !i)i (4.5)):

putem defini o viteza de faza !?i o viteza de grup.

Viteza de faza este viteza de deplasare a suprafetei de aceeasi


faza (echifaza) a unei unde monocromatice,

E=

iar viteza de grup de unde

IFn-1,nl
/un - Un-1 /
a

armonice (rezultat din suprapunerea unui pachet de unde de frecvente


!?i amplitudini

apropiate)

In medii dispersive

(medii In care viteza de

sernntncatra rnanrnllor care intra In relatie fiind deja cunoscuta ( 4.1 ).

f nsa,

propagare a undei depinde de frecventa sau de lungimea de unda) fiind


viteza de deplasare a maximului de energie (amplitudine).

In conformitate cu (4.5) putem scrie

)Fn-1,nl = J3lun -Un-1/

Fenomenul

de dispersie indlca faptul ca undele de frecvente diferite (lungimi de

E = j3a

relatii

generale [3, 23, 150]:

raportul dintre masa sirului, Nm, !?i lungimea

acestuia, Na), care se deterrnina din relatia


Nm
p=-=Na

(4.45)

(4.50)

Tn cazul !i)irului de atomi considerat trebuie sa definim o densitate


liniara (care reprezinta

pentru viteza de faza

(4.49)

Din (4.48) !i)i (4.49), gasim user

unda diferite, sau vectori de unda diferiti) se propaqa cu viteze diferite.


Pentru calculul acestor viteze putem utiliza urmatoarele

(4.48)

Tnlocuind (4.50)

pentru viteza de grup

sunetului
(4.46)

reticular,

!i)i

(4.51)

In

(4.51)

a
(4.47),

obtinern

pentru

viteza

lntr-o bara solida cu lungimea eqala cu lungimea sirulu'


Na,

!?i

cu

densitatea

liniara

m/a:

BAZELE FIZICU SEMICONDUCTORILOR

306

V0

=a)?;

(4.52)

Capitolul IV - Vibratiile retelei cristaline

307

~i

ka

COS--+

Pe de alta parte, din (4.45) si (4.22), gasim pentru viteza de faza

vf

to
; I srn. 2kal
------k k

Tn acest caz, din (4.54) ~i respectiv din (4.56), obtinern

2)?;/sin~/

(4.58)

vf

=V

=V

=8

IP
f;;;

(4.59)

=8

IP
~-;n

(4.60)

si, tinand seama de (4.52), putem scrie

v, =-2svr0n, -

kal
2

ak

(4.53)

sau lnca

Deci pentru k

v,--vo

0 (centrul zonei Brillouin), vitezele de faza ~i de

grup sunt egale (Fig. 4.8) valoarea lor cornuna reprezintand viteza de

. ka

srn~. 2

(4.54)

propagare a sunetului in siru' de atomi considerat. De aici rezulta ca, in


cazul undelor cu lungimi de unda mari (vectori de unda mici), reteaua

unidimensionala cu atomi identici se comports ca un ,,mediu" cu


in conformitate cu (4.46), expresia pentru viteza de grup se

distributie de rnasa continua, fenomenul de dispersie neavand loc.

deduce derivand relatia (4.22) in raport cu k. Se qaseste astfel

v =d
g

{i)

dk

IP/cos kal
2

= co a/cos kal = a
m 2
2
f;;i

(4.55)

si, tinand seama de (4.52), putem scrie (4.55) sub forma:


vg = v0

/cos k;/ .

(4.56)

Relatiile (4.54) ~i (4.56) prezinta o importanta deosebita in studiul


vibratiilor cristaline. Sa le reprezentarn grafic in prima zona Brillouin

a
Fig. 4.8. Dependents vitezelor de faza (vr) ~i de grup (vg) de vectorul
de unda In intervalul ( 0, ~) .

Pentru valori mici ale lui k (k --+ 0) (lungimi de unda mari),


avem

. ka ka

srn-~-

(4.57)

Pentru acest caz particular, tinand seama de (4.21), (4.52) ~i


(4.57), putem scrie legea de dispersie (4.22), sub forma

308

BAZELE FIZICU SEMICONDUCTORILOR

co(k)

/pl Sln2
. kal ~ 2~~2
{7i ka

distanta b unul fata de celalalt,

2~~

(n-1 ), n, (n+1), (n+2) ... pentru nodurile si baza din nodurile

... (n-2),
(4.61)

Intrucat v, este constants, co depinde liniar de k si, prin urmare,

corespunzatoare

n-1

vom

nota respectiv cu ... Un-1, Un, Un+1 .. elonqatiile

---

Mn

Nn-1

I
I

Nn

I
I

r+---+i

(4.62)

. -.

n+1

Mn-1

din (4.54 ), obtinem UOr


,

pentru atomii M si cu ..... Vn_1, Vn, Vn+1 ..... elonqatiile pentru atomii N.

fenomenul de dispersie nu are lac.


1l' ,

m, > mz, vom folosi indicii

Varn considera in cele ce urrneaza ca

sau

Pentru k =

309

Capitolul IV - Vibratiile retelei cristaline

Mn+1

---

8
I
I

I
I

I
I

...--..
b

(a)

Mn+2

Nn+1

iar din (4.56), gasim


(4.63)
De aici rezulta ca viteza de grup cu care se transfers energia de

1l' :::;

--+-fl)~l~~9a-~~--:--1tl}r;~~~m11---:--rt~:~-----~~-t)1
I

I
I

I
I

I
I

:....: :...--..:

oscilatie devine eqala cu zero la marginea zonei Brillouin.


Se poate constata UOr ca pentru domeniul -

(b)
I

~n-11

k -: 0, se obtin
,

curbe simetrice.

~ Vn-1 :

I
I

I
I

I
I

..._...::
Un : ~

I
I

I
I

.+-+~ :~:
Vn

Un+1

I
I

.....1
Vn+1 :

Un+2

Fig. 4.9. Reprezentarea schernatica a unei retele unidimensionale.


Baza este in acest caz torrnata din doi atomi diferiti.
(a)- atomii sunt in repaus; (b) - atomii efectueaza oscilatii.

Se observa ca in aceasta structura, un atom de un anumit tip

4.5. Vibratiile(oscllatllle) retelei unidimensionale cu doua


tipuride atomi pe celula elementara
Reteaua cristalina unldlmenstonala
multi)

atomi

de

mase

diferite

se

este "inconjurat" de doi atomi vecini de celalalt tip. De exemplu, atomul

Mn este vecin cu Nn (cu care formeaza baza n) i atomul Nn-1 (de la baza

in care baza are doi (sau mai

vecina). in consecinta, se poate considera ca marimea coeficientului de

retee

elasticitate este dlferlta pentru fiecare dintre cei doi atomi vecini. Varn

nurneste,

de

obicei,

unidimensioneie complexii. (Fig. 4.9).

considera ca acest coeficient este

Pentru cazul in care baza are doi atomi, aceasta retea cristalma
se construieste

pornindu-se

de la o retea unidirnensionala,

cu noduri

situate la distanta a unul in raport cu celalalt, atasand fiecarui nod o

/31

pentru interactiunea dintre atomul

Mn i atomul N, i j32 pentru interactiunea dintre atomul Mn i Nn-1

In aproxirnatia armonica (v. i 4.1 ), putem scrie pentru forta de


interactiune dintre atomii Mn i Nn (v. (4.4))

baza forrnata din doi atomi M (cu masa m1) si N (cu masa m2) situati la
~=-J31(un-vn)

BAZELE FIZICII SEMICONDUCTORILOR

310

Capitolul IV - Vibratiile retelei cristaline

311

si, similar pentru forta de lnteractiune dintre atomii Mn i Nn-1,


(4.71)
F2 =-/32

(vn-1 -un)

Forta rezultanta care actioneaza asupra atomului Mn este


FR =-/31(un

(4.64)

-vn)-/32(vn_1-un)

( P1 +~:

Evident, ecuatia de miscare a atomului Mn va fi

m1

d 2u
d f2n = -

Inrnultind (4.71) cu m1 i (4.72) cu

/31 (Un

(4.65)

- V n ) - /32 ( V n-1 - Un )

iar pentru atomul Nn, vom gasi in acelasi mod, expresia

m2

d2v
d t2n

e;a} +2 P1;:2)

= -/31 ( v n

- u n) - /32 ( v n - u n+1)

(4.72)

m-, gasim

[m1m2 -(/31 + /32) J A+ [/31 + /32 e-iak

=0

(4. 73)

i
.

(4.67)

Obtinern, in acest mod, un sistem de ecuatii liniare omogene in

ca

ecuatiile (4.65) si (4.66) sunt satisfacute de solutii de forma unor unde


U = Ae-i(wt-nak)

(4.74)

(4.66)

Prin analogie cu cazul sirului reticular simplu, consideram

raport cu necunoscutele A si B (care, in general vorbind, pot fi i rnarim'


complexe).

Sistemul de ecuatii admite solutii (in afara celor banale A

si respectiv

= Be-i(wt-nak)

B= 0

(4.68)

'

unde k este rnarirnea vectorului de unda (orientat dupa directia sirulu:

0) in cazul in care determinantul

0 i

coeficientilor este egal cu zero,

adica

/31 + /32 /31 + /32 e-iak


m,
m1
/31 + /32 e iak (1)2 /31 + /32
m2
m2

(1)2 -

reticular),

ro - frecventa (unqhiulara), considerate aceeasi in cele doua

expresii, iar A i B sunt amplitudinile.


Putem particulariza relatiile (4.67) i (4.68) pentru elonqatiile Un+1
si Vn-1. si vom avea

=0

'

daca luarn in considerare ecuatiile (4.71) i (4.72), sau


_A
un+1 -

-i[ wt-(n+1)ak J

(4.69)

m1m2 - (/31 + /32)


a

/11 + JJ2 e
_ B
vn-1 -

-i[ wt-(n-1)akJ

(4.70)

Tnlocuind in (4.65) i (4.66) expresiile elonqatiilor date de (4.67) (4.70), obtinern (dupa simplificare cu e-i(wt-nak) ), expresiile

iak

/31 + /32 e-iak


a ) =0
m2 m2 - (/11 + JJ2

(4.75)

daca ne referim la ecuatiile (4.73) i (4.74).


Din (4. 75), obtinern

[m1m2 -(/31 + /32)] [ m2m2 - (/31 + /32) ]- (/31 + /32 e-iak) (/31 + /32 eiak)

(4.76)
Efectuind calculele i introducand notatiile

cristaline

BAZELE FIZICH SEMICONDUCTORILOR

312

/31 + /32 m1 + m,
2
m1m2

In cazul

(4.77)

mo=-------

in care se considera

/31 = /32 = /3

(4.83)

din (4.77) i (4.78) gasim respectiv


(4.84)

(4.78)
si de asemenea, tinand seama ca
eiak+

e-iak

= 2cosak

a2 =4

(4.79)

m1 m2
irn, +m2)2

(4.85)

iar
Prin urmare, in cazul retelel complexe exlsta doua tipuri de

1- cosak = 2 sin2 ka
2

ecuatll

sau ramuri de dispersie. Curba descrisa de ecutia

(4.81) se nurneste ramura

putem scrie relatia (4.76) sub forma

m4 -2m20m2 + a2m20 sin2 ka


2 =0

"'m;, =mi [ 1- ~1-

a2sin2 ~a

ecustice iar cea descrisa de relatia (4.82),

ramura optice. Vom specifica


(4.80)

'

care este o ecuatie de gradul doi in m2 i are urmatoarele doua radacini


m12

(relatii)

mai tarziu

(4.81)

aceste

denumiri.
Din (4.85) se poate constata UOr ca valoarea maxima a lui
este eqala cu 1 i se obtine in cazul in care

de unde provin

Intr-acevar,

daca considerarn

m,

m,

ct

= m2.

q mz (q < 1, daca

m, > m2 i

q > 1 daca m, < m2), putem scrie (4.85) sub forma


2

{1)2 "'

2 = %2 (1 + ~1 - a 2 sm
. 22
ka

Q)opt

J .

a2 =4

(4.82)
iar atunci conditia ca

Sernnificatia notatiilor mac si mopt va fi explicata ulterior.

ct sa fie minim

(4.86)

(1 + q )2
este

Se constata ca in cazul unui sir reticular complex, solutiile (4.67)


i (4.68)
frecvente!e

satisfac

ecuatiile

to si vectorii

diferentiale

(4.65)

de unda k satisfac

i (4.66)

numai

ecuetiile (legi/e) de

ceea ce da

q = 1.

Prin urmare, din (4.86), obtmern

dispersie(4.81) $i (4.82).
Deci, in acest caz, exlsta

(4.87)

daca

doua

legi de dispersie, respectiv

(4.81) i (4.82), in locul uneia singure (data de (4.22)) in cazul retelei


unidimensionale cu un singur tip de atomi pe celula elernentara.

D eoarece

. ka
sin

2 ~1,

(a

2)

max

= 1.

rezulta ca in ecuatule (4.81) i (4.82),

314

BAZELE FIZICH

(a' 7 J

expresia de sub radical


ce lnsearnna ca m12 si

sin'

cristaline

SEMJCONDUCTORILOR

este mai mica sau eqala cu 1, ceea

m; sunt rnarirni reale.

sau, efectuind calculele, gasim

Vom analiza si in cazul acestui tip de retea reprezentarile grafice


to

= m( k) pentru intervalul de variatie a vectorului de unda k cuprins

intre 0 si nle.
Pentru k

= 0 (centrul

(4.93)

In
zonei Brillouin), avem
. ka

mod analog, inlocuind in (4.91) aceleasi expresii pentru

m; ~i d date

de (4.84) si (4.85)), obtinern

Sin-=

(4.94)

~i din (4.81) ~i (4.82) obtinern

; ( 0) = 0
mopt (
J[

Prin urmare, in intreg intervalul de variatie a lui k in prima zona

(4.88)

Brillouin,

0) = J2.mo

mopt >mac

(amintim

ca

am

. ka

ka

considerat

m,

>

m2),

deci

(4.89)

Pentru k = - , putem scne


a
. ka

Jr

Sin-. - =Sin--=

a2

sl ecuatiile (4.81) ~i (4.82), devin in acest caz


to ac

sm-~2

(JarJ=m ~1-~

(4.90)

(4.91)

Dezvoltand in serie radicalul din ecuatiile (4.81) ~i (4.82), dupa formula


(1

-x ) 1/2 = 1 --+x--- 1 x2

x3 ....

Evident,

(4.95)

2 4

....~1 neg1I""Jand t ermen11 care cupnn d pe x 2,


A

putem scrie expresiile respective, sub forma


(4.96)

(4.92)
Considerand

/31 = j32 = j3

(4.85), obtinern

~i inlocuind in (4.90) pe

m; ~i a

din (4.84) ~i

~i
OJopt

.J2.mo ( 1- -a8-ak

Din (4.81) ~i (4.82), derivatele lui

2 2

a)j

(4.97)

~i m.z in raport cu vectorul de

316

BAZELE FIZICU SEMICONDUCTORILOR

unda k sunt egale cu zero pentru k

d m1
dk

= n/a (daca cl-* 1 ),

= ( d mac

l dk

k=!!_

adica

Capitolul IV - Vibratiile retelei cristaline


ramura optica, frecventa

=O

(4.98)

!!_

oscilatiilor

to scade

cresterea lui k. Cea mai mare diferenta


k

317

= 0 (In centrul

lntre

relativ Incet odata cu

mac

i OJopt are lac pentru

zonei Brillouin).

(4.99)
Relatiile (4.98) i (4.99) pot fi deduse si direct din (4.90) i (4.91 ).
Prin urmare, functiile
punctul k

mac

= f ( k) si

m0pt

= f ( k) au extreme In

~Jn;-

Jr

=- .

De asemenea, se poate arata pentru derivatele de ordinul al


doilea, ca

d2 roa_c

( dk

<0

( d2dk J

>0

toopt

~!!_

(4.100)

1i

~!!_

De aici rezulta

k=

ca pentru

Jr ,

functia

mac

f ( k)

are un

Fig. 4.10. Reprezentarea qrafica a dependentelor w0P1


~i

wac = w(k)

ca ( k) (ramura de sus)

(ramura de jos) Tn prima zona Brillouin.

maxim, iar m pt = f ( k) are un minim.


0

Reprezentarile

grafice

Fig. 4.8 pentru intervalul -

Jr ~

ale acestor

k~

tax

/31 * /32

1, si se obtine pentru

sau m1

*m

2,

In

/31 = /32

si

cl-

este eqala cu unitatea,

m,

m., In

= m2 = m (In acest caz se

(4.101)

(4.102)

a2=1

Prin urmare, In acest caz putem scrie

= 0 (lungimi

de unda A---) oo),

pentru ramura acustica vom avea mac(O) --) 0 si pentru ramura optica,

J2 mo * 0

i m1

cazul In care

conditia a2 < 1 este indeplmita (amintim ca noi am

Observarn din Fig. 4.10 ca pentru k

/31 = /32 = j3

respectiv

considerat ca m1 > m2 ).

m0pt(O)-)

T n cazul In care

spune ca sistemul .prezinta degenerare"), din (4.84) i (4.85), obtinern

Jr .

Am aratat ca valoarea maxima a lui


(a2

functii sunt prezentate

(vezi i (4.88) si (4.89)). Se observa

ca pentru

)1 -

a2sin2 ~a

)1 -

sin2

i deci, (4.81) si (4.82), se scriu sub forma

= cos ~

BAZELE FIZICII SEMICONDUCTORlLOR

318

319

Capitolul IV - Vibratiile retelei cristaline

(4.103)

2
OJ2
Al

nsa, 1 -cos
v

kaJ

= OJ2opt = OJo2 ( 1 + COS 2

2ka = 2 sin. 2 4ka

~1

1 -cos

2ka

(4.104)

Insa din

kal
4

'J7ii

m2 ~ m0P,
Comparlnd

(4.105)

2)?;jcos

cu (4.22),

~I

elastice sunt aceleasi ( /31 =

/32 ),

=Jr

respectiv

(4.110)

(4.106)

constatarn

= m2)

(4.105) ~i (4.106) avem, pentru k

(4.105)

( cazul

(4.111)

ca In cazul sirului

reticular complex (cu doua tipuri de atomi pe celula elementara),


masele atomilor sunt aceleasi ( m1

De aici rezulta ca

. ka . t
. ti A d
~1 a unci nnan
2 sin 2

seama de (4.101 ), (4.103) si (4.104 ), se pot scrie

ca1 = toac = 2 [jjjsin

(4.108)

daca

degenerat) ~i constantele

Deci, In acest caz particular (cand


pentru k

= nle,

/31 = /32 = /3

~i

m; = m2 = m ),

cele doua ramuri coincid (Fig. 4.11 ).

reteaua este echivalenta cu cu o retea

m(k)
care are constanta egala cu
cazul unui sir reticular

!!.- ,
2

adica de doua ori mai mica decat In

simplu (cu un singur tip de atom pe celula

elernentara).
in

consecinta,

dependentele

In

acest

de k ale lui Wac ~i

caz
OJopt

este

indicat

sa

se

studieze

In intervalul de variatie a lui k

0
a

Insa, se

a/2

observa din (4.105) ca


Fig. 4.11. Reprezentarea qrafica a dependentelor w0P1

(4.107)
iar din (4.106), pentru k

= 0, gasim

wac = w(k)

pentru cazul cand

/11 = /32

=fl

si

= OJ ( k)

m, = m2 = m.

320

BAZELE FIZICH SEMICONDUCTORILOR

Se poate arata ca ~i in intervalul

(Jr ,_!!_J
a a/2

cele doua ramuri

coincid. Intr-adevar, in acest interval k ia valoarea k' =

321

Capitolul IV - Vibratiile retelei cristaline

Pe de alta parte, pentru k

0, conform (4.88), mac (0) = 0. Prin urmare,

in acest caz (4.117) devine


21[
-

k. Dar, in

acest caz,

/31 + /32

(/31 + /32) - 0

= 1

(4.118)

De aici rezulta ca in orice moment de timp, deplasarile celor


cosak' =cos8(2Jr -kJ=cos(Jr
_ akJ=sinak
4
4 a
2
4
4

(4.112)

f7f
2~rm

cos4ak

J ramura optica coincide


2

(4.113)

urmare unde cu lungimi de unda foarte mari), oscllatiile din sirul complex
sunt analoage cu mecanismul

Sa

explicarn

acum

ecustice (Fig. 4.12).


+

,, . -o,

denumirea

celor

de propagare a undelor elastice [221,

228, 229] si de aceea aceasta rarnura de oscitatie a fast nurnita ramura


cu ramura acustica.

*
*

sunt aceleasi,

doi atomi se deplaseaza ca un intreg. Deci, in acest caz (k ~ 0 ~i prin

'I = 2~m
f7f sin4kal

ultima relatie fiind identica cu (4.105), ceea ce arata ca in intervalul de


variatie a lui k, (:,a~

lor de echilibru

( u; = vn ), adica atomii se deplaseaza sincron sau baza formata din cei

~i inlocuind acesta expresie in (4.106), gasim

O)opt

doua tipuri de atomi de la pozitiile

doua

ramuri,

c5

adica

'e.. '

caracteristicile oscilatiilor din ramurile respective.

'a

Irnpartind membru cu membru relatiile (4.67) si (4.68), obtinern

(a)

"o............ ,o

""

(4.114)
+
-"

Pe de alta parte, din (4.71 ), gasim user

/31 + /32 e-iak


B (/31 + /32) - m1m2
A

Pentru k

= 0, e-iak = eiak

,'

(4.115)

. - ',,

'

... '

,,'
,

O'

--

....

-.

Q
(b)

= e0 = 1 iar (4.115) devine

A
B

/31 + /32
(/31 + /32 )- m1m2

Fig. 4.12. Modul de miscare al atomilor unei retele cu doi atomi


pe celula elernentara la trecerea unei unde transversale:
(a) - modul acustic, (b) - modul optic.

(4.116)

Pentru ramura acustica, din (4.114) ~i (4.116), rezulta ca

A
B

/31 + /32
(/31 + /32) - m1m;c .

Insa pentru
(4.117)

(k

= 0), in

o unda cu lungimea de unda foarte mare, A-~ co

cazul ramurii optice, din (4.89) si (4.77), avem

322

BAZELE FIZICII SEMICONDUCTORILOR

Capitolul IV - Vibratiile retelei cristaline

323

interactiunea cu o radiatie de lungime de unda corespunzatoare. Din


(4.119)

acest motiv, aceasta ramura de oscilatie, a fost numita remurii optice".

si deci pentru acest caz, (4.116) se scrie sub forma


A
B
sau, inlocuind aici pe

OJ~pt

/31 + /32
(/31 + /32)

(4.120)

- m10J~pt

4.6. Coordonate normale pentru o retea


unidirnensionala slrnpla
'

Intr-un cristal, atomii (ionii) efectueaza oscllatii In jurul pozitiilor

(0) din (4.119), gasim

lor de echilibru, fiind considerati ca alcatuind un sistem de oscilatori


(4.123)

armonici cuplati,

lntroducerea unor noi coordonate de pozitie i de

impuls, numite coordonate normale, care variaza armonic In timp,


permite ,,decuplarea" acestor oscilatori i studierea lor ca un sistem de

expresie care se mai poate scrie sub forma


1

oscilatori independenti,
(4.124)

Pentru simplitate, vom aplica aceasta rnetoda In cazul unei retele


unidimensionale simple.
Pentru o asemenea retea (v. 4.1 ), noi am scris ecuatia de

in final, se obtine

rnlscare a atomului n, sub forma


(4.125)

d2

df2n

De aici rezulta ca, In acest caz, atomii cu masele m, i m2


oscileaza In opozitie de faza (se deplaseaza In directii opuse, avand
elonqatl' de semne contrare). in acest caz rniscarea se face In asa fel

lncat centrul de rnasa a fiecarei perechi de atomi rarnane nemodificat,

=-f3(2un

-Un-1

-Un+1)

(4.126)

a carei solutie

u =A
n

e-i(wt-nak)
'

(4.127)

trebuie sa satisfaca relatia (legea) de dispersie

din (4.125) deducandu-se UOr Ca m1Un + m2Vn = 0.

(4.128)

in cazul In care cei doi atomi ai bazei sunt ioni de semn contrar,
atunci osciiatiile lor In opozitie de faza dau nastere unor dipoli electrici
(caracterizati de anumite momente dipolare) care pot interactiona1) cu
radiatia electromagnetica. in acest fel, reteaua devine activa la

Apare o absorbtie sau o emisie in infrarosu.

Sernnificatia rnarirnilor care sunt cuprinse In relatille (4.126) (4.128) au fast indicate In 4.1.

S-a mentionat ca ecuatia (4.127), scrisa pentru un atom oarecare


1
In cazul in care baza este formats din doi atomi neutri, oscilatiile de acest tip nu sunt legate de
aparitia unor momente dipolare. Totusi, si in acest caz, ramura corespunzatoare se numeste tot
opticd.

BAZELE FIZICII SEMICONDUCTORILOR

324

Capitolul IV - Vibratiile retelei cristaline

din sir, n, ia in considerare numai interactiunile acestuia cu atomii vecini

adica, este o cornbinatie

!i)i prin urmare aceasta ecuatie nu descrie modul de rniscare a intregului

oscilatil caracterstice

sir reticular.

Miscarea

slrului

liniara (suma) tuturor

tipurilor

sirului reticular considerat,

de rniscarea

tuturor

dupa toate valorile posibile ale lui k.

atomilor care ii alcatuiesc

!?i poate fi scrisa ca o superpozitie

liniara

Introducand notatiile

(surna) a tuturor

posibile care au ecuatii de forma (4.127).

undelor

este determinata

325

posibile de

sumarea facandu-se

(4.135)

Undele componente sunt caracterizate de vectorul de unda k, frecventa


corespunzatoare

OJ ( k) = OJk !i)i prin amplitudinea Ak

(4.136)

1).

putem scrie (4.134) sub forma


Vom scrie ecuatia deplasarii

atomilor retelei ca reprezentand

u = _1_

partea reala a relatiei


(4.129)
in care am considerat ca

Se considers

~[a

r;::;N L.;

-V /V

k=1

einak +a. e-inak


k

(4.137)

ca reteaua satisface conditia de ciclicitate, astfel

incat sumarea in (4.134) !i)i (4.137) se face dupa cele N valori posibile
(4.130)

(discrete) ale vectorului de unda, k, determinate de expresia (4.34)

k=Jr.3_,
aN

(4.131)

I fiind aici un nurnar intreg care ia valorile (v. (4.35))

Asupra semnificatiei lui ak vom reveni mai jos.

--~/~2

inlocuind (4.130) !i)i (4.131) in (4.129), obtinern


(4.132)

simple

+ ak) +sin( OJkt-kan

coordonate

+ ak)

....

ale marirnilor

coordonatenormale iar derivatele

Daca tinern acum seama ca

ei(wkt-kan+ak) =cos( OJkt-kan

Unele combinatii

ak !i)i ak

se numesc

in raport cu tirnpul ale acestor

viteze generalizate pentru atomii din sirul

se numesc

reticular considerat.
putem scrie partea reaia a ecuatiei (4.132), sub forma
Despre sernniflcatia

un = 21Akjcos(

OJkt-kan

+ ak)

(4.133)

in cazul eel mai general, miscarea atomilor sirului poate fi descrisa de


relatia

Un

=I[Ak e-i(wkt-kan) +A;

ei(wkt-kan)

J'

acestor notiuni cititorul ii poate reaminti

Iecturand Anexa 4.1 (problemele respective sunt prezentate in detaliu In


cursurile de mecanica teoretica [211, 223].)
Relatia (4.137) permite

(4.134)

coordonatele normale !i)i de vitezele generalizate.

Energia cinetica,
1
Yorn indica cu sirnbolul 0-1.:: siAk faptul ca frecventa co si arnplitudinea A se refera la unda a carei
vector de unda este k.

sa exprimarn elonqatiile Un In functie de

rr;

i energia potentiala, o/, a sirului de atomi se

pot scrie, In conformitate cu cele prezentate In Anexa 4.1, sub forma

326

BAZELE FIZICH SEMICONDUCTORILOR

(v. relatiile (29) ~i (36) din Anexa 4.1)

ak

N
rr= mLu2
2 n=1

(4.138)

327

Capitolul IV - Vibratiile retelei cristaline

= -imkak

(4.145)

a;= imka;

(4.146)

ak'

(4.147)

~i
~i respectiv

j3 N

'V'=-L(u n -u n-1 )
2

(4.139)

n=1

a;. = i O)k,a;.
Tnlocuind acum

Conform acestei relatii, energia potenttala de mteractiune dintre


atomul n ~i cei doi atomi vecini (n - 1) ~i (n + 1 ), se scrie sub forma

~[(un -Un-1)2 +(un+1 -un)2]

o/ =

n va

(4.145) -

(4.148)

(4.148) In (4.144),

obtinern,

dupa

efecturarea unor calcule simple, expresia

(4.140)
(4.149)

(ceilalf termeni ai sumei din (4.139) nu depind de Un).


Forta care actioneaza asupra atomului

= -i O)k,ak'

fi (v. (37) din Anexa

Dar, conform conditiei de ciclicitate, vectorul de unda k poate lua N


valori discrete (v. (4.34) ~i (4.35)), adica

4.1)

Fn

=-Jo/

aun

=-/3[2(un
2

2Jr !_
a N

-un_1)(+1)+2(un+1-un)(-1)]

(4.150)

'

I fiind un numar lntreg.

care se mai poate scrie

Prin urmare, putem scrie, tinand seama de (4.150),


(4.141)
(4.151)

relatie echivalenta cu (4.7).


Din (4.137), obtinern

u -_dun dt

Evident

1_~( ak einak + ak e-inak)


*

r;:-; L...J

-vN

(4.142)

(4.152)

geometrice cu ratla q = e

i2TT I
N

care are N termeni. Amintim ca expresia

qenerala pentru suma primilor n termeni ai unei progresii geometrice cu

sau, tinand seama de (4.142), avem

ak einak +a; e-inak)] x [L( ak. einak'+ a;. e-inak')J} .


k

Membrul al doilea al acestei relatii reprezinta suma unei progresii


(4.143)

.
i{[L(
2N n=1

i27rt-N
+eN

n=1

iar energia cinetica se scrie sub forma

rr =

N /lftn
i27rt1 i27rt2 i27rt-3
LeN =eN +eN +eN +

(4.144)

ratia q, se scrie sub forma

k'

S =-a1_(qn_-_1)

Din (4.135) si (4.136) gasim respectiv

unde a1 este primul termen.

q-1

(4.153)

BAZELE FIZICU SEMICONDUCTORILOR

328

Deci, vom putea scrie, tinand seama

de (4.151) -

Capitolul IV - Vibratiile retelei cristaline

(4.153),

L ei(k-k')an = N
N

urrnatoarea relatie:

n=1

L e-i(k-k')an
N

Observant ca daca nurnarul intreg I

=1=

O (prin urmare i k

i2TT I
e N

dupa cum rezulta din (4.150)) vom avea

=O

(4.158)

L e-i(k+k')an
N

=N

n=1

=1=

0,
'[inand seama ca (v. (4.22) sau (4.128))

* 1.

Intr-adevar,

daca

/ = O, avem ei2m1N = 1 (intrucat ei2m1N = cos 2nl/N - isin 2nl/N = 1) si prin


-

=N

n=1

(4.154)

urmare ei2m1N

329

(1.159)
putem scrie expresia energiei cinetice (4.149) sub forma

(deci numaratorul fractiei din expresia (4.154) va fi

nul).
Pe de alta parte, daca I= 0, din (4.152), avem
N

sau

.2Jrl

L e'Nn

= 1+1+1+ .... +1 = N

n~

(4.154')

i2TT I

Evident,

=1=

(4.160)

1, daca I

=1=

0 si atunci numitorul fractiei

din

Se poate arata UOr ca a;a_k

= aka~k.

Intr-adevar, din expresia

(4.154) va fi diferit de zero.


in consecinta, putem scrie

eikan

n=1

e;2;1n

n=1

= {O, p e ntru k =1= 0 (sau I =1= 0) .


N, p e ntru k = 0 (sau I= 0)

(4_ 155)

qasirn:

in mod analog, avem

i
n=1

ei(k+k')an =

{O, pentru

k + k' =I=
N, pentru k + k' = 0 (sau k = -k')

=v r;:-;NA
ak. = a_k
tv -k e lea t

(4.156)

lntrucat

sau

L ei(k+k')an
N

aLk

'

mk.

Prin urmare, daca luarn in considerare aceste relatii, deducem


= N

'

(4.157)

UOr

n=1

aka~k = NAkA-k

oricare ar fi valorile sumei (k + k').

a;a_k

in urma unor rationarnente similare, putem gasi relatiile


Deci, putem scrie

= NAkA-k

330

BAZELE FIZICH

Capitolul IV - Vibratiile retelei cristaline

SEMICONDUCTORILOR

331

obtine o valoare eqala cu N numai pentru cazul in care k

(4.160')

+ k'

0 (deci

k' = -k) i pentru cazul in care k'-k = 0 (deci k' = k ).

Tinand seama de (4.160'), putem scrie (4.160) sub forma

'[Inand seama ca
(4.161)

e'k8+

e-l

a= 2coska = 4sin2- ka
2

expresie care indica dependents energiei cinetice de rnarlrnile ak i a;.


i ca pentru k

+ k'

= 0 i

(4.167)

k - k' = O , avem

Sa exprimarn energia potentiala in functie de ak sl a;.


ei(k'-k)a = ei(k-k')a = ei(k+k')a = 1

Din (4.139), rezulta

j3

putem scrie (4.165), sub forma

o/=-2)un

(4.168)

(4.162)

-Un-1)(un -Un-1)

n=1

(4.169)

Elonqatiile Un si Un-1 se determina din expresiile (v. (4.137)), sub forma


u
n

Pe de alta parte, din (4.22), qasirn

= _1_"(a

ffi~

u.; = ~

eikan +a* e-ikan)


k

(4.163)

~ ( a,

e;ka(n~1)

. ka m
4 Sin 2 -=-OJ
2
/3

(4.170)

Tnlocuind (4.169) i (4.170) in (4.165), obtinem

+a; e~;ka(n~1))

(4.164)
(4.171)

Tnlocuind
eika(n-1)

aceste

expresii

in

(4.162)

tinand

seama

ca
Energia totala a sistemului va fi

= eikne+ika obtinem
'

rv = /3 L:
2

f ( .

'

eika e-ikan) x

Substituind in (4.172) expresiile (4.161) i (4.171 ), rezulta


.

k,k' n=1

(4.165)
(4.173)

x ( ak' eik'an +a;. e-ik'an - ak e-ik'a eik'an - a;. eik'a e-ik'an)


Efectuand lnrnultirile i qrupand convenabil termenii, putem scrie suma

Definim marirnile

Xk

si

Pk,

prin relatiile

din (4.165), sub forma

z:

(4.174)

[akak.

( 1+8-i(k+k')a

(4.172)

<E='T+o/

eikan +a; e-ikan _ ak e-ika eikan _a;

8-ika _ e-ik'a)

ei(k+k')an +aka;.

(1

+ ei(k'-k)a

_ eik'a _ e-ika) ei(k-k')an

n=1

+akak.

(1 +

ei(k-k')a - e-ik'a - eika) ei(k'-k)an

* *
+ akak.

(1 + e

(4.175)
i(k+k')a - eika - eik'a )e-i(k+k')an]

Tnlocuind acum in (4.174) pe ak i a;

(4.166)

In

conformitate

cu (4.155) si (4.156), prin sumarea dupa n, se

gasim

din (4.135) i (4.136),

BAZELE

332

FIZICH

SEMICONDUCTORILOR

Capitolul IV - Vibratiile retelei cristaline

xk = ak +a; = JNAk [(cos lOkf - i sin lOkt) + (cos lOkt + i sin lOkt) = 2JNAk cos lOkf
'.E

(4.176)
unde s-a luat in considerare ca se poate scrie
eiwt

=cos

mkt

+ i sin mkt

(4.177)

11
'.E = ( -P
2m

ak +a; = 2Re{ak}
prin Re{ak},

I(-1-Pt + 2mmtxtJ =

2m

Jf ( xk,pk)

(4.185)

Relatia de mai sus se mai poate scrie sub forma

Mai putem scrie (4.176) sub forma

inteleqand

333

2 +-1mm12 X12J + ( -P1 2 2 +-m1 m2X22 2J +


2

2m

De aici se poate constata ca parametrii

(4.178)

de coordonate

partea reala a expresiei (4.174). Deci (4.174)

(4.185')

xk i pk = mx; joaca rol

normale i respectiv impulsuri generalizate

(v. Anexa

IV.1).
se poate scrie

Relatia (4.185) reprezinta hamiltonianul

xk = ak +a;= 2Re{ak}

(4.179)

aceste noi variabile

in mod analog putem scrie succesiv:

exprimat in

(xk i Pk). in acest mod, utilizarea variabilelor xk i Pk

ne permite sa .separarn"
reticular considerat,

sistemului

miscarile

inlocuind

de oscilatie

ale atomilor din sirul

ecuatiile de rniscare de tipul (4.8) cu o

serie de k ecuatii independente.


sau

Energia

pk= m~k ( /NAk2i sin m/) = 2mmk/NAk sin m/

(4.180)

ak - a; = 21m{ak}

(4.181)

(unidimensionala)

totala

a sistemului

de

atomi

din

reteaua

liniara

de atomi identici este o surna de energii ale unor

oscllati, normale (moduri normale de oscilatle sau de vlbratie) care sunt


efectuate de un ansamblu de k oscilatori liniari armonici, fiecare oscilator

unde Im { ak}, este partea irnaqinara a expresiei (4.176).

fiind caracterizat de o anurnita frecventa to.

Intrucat k ia N valori (N fiind nurnarul celulelor elementare din

Luand acum in considerare (4.175), avem

reteaua unidimenslonala
(4.182)
Din (4.174) sl (4.175), obtinern pentru

1)),

rezulta ca avem N oscilatori

independenti sau N moduri de vibratie,

ak i a;, relatiile

1(
. pk
a k -- 2 x k +1-. mmk

considerate

Dupa cum rezulta din expresiile (4.17 4) i (4.175), coordonatele

x, i impulsurile Pk depind de ak i a; care la randul lor (v. (4.135) i


(4.183)

(4.136)) depind de timp dupa niste legi armonice .

*
* *

(4.184)
inlocuind in final (4.183) i (4.184) in expresia energiei totale (4.173),
qasirn:
1

in cazul in care baza este formats din r atomi vom avea, evident, rN oscilatori independenti,

BAZELE FIZICII SEMICONDUCTORILOR

334

Capitolul IV - Vibratiile retelei cristaline

335

neutroni etc.

* *

Fononul

Se stie ca, In mecanica cuantica [113, 212, 213], se gase~te

poseda energie

analoaqa impulsului

Pr

nk

~i este caracterizat

printr-o marirne

nurnita cvasiimpuls.

pentru energia unui oscilator armonic liniar, expresia

-; =nm(n+~J
unde

n = 0, 1, 2, 3,

(4.186)

4. 7. Oscilatiile retelei tridimensionale


'
'

Se observa ca energia In starea cea mai joasa (n

= 0) este

Tn cazul tridimensional fiecare atom are trei grade de libertate ~i

tu

din acest

si se numeste energie de zero (absolut).

(amplitudinea

Energia sistemului de oscilatori care formeaza sirul reticular este

n; = 0, 1, 2, 3,

vectorului de unda

r atomi,

atunci (4.187), devine

'Lnws (k)(nks +..!J


2
k,s

1, 2, 3,

respectiv

var fi marirni vectoriale. Tn consecinta,

longitudinale(L), sau perpendicular

k,

In acest

pe dlrectia

(care coincide cu directia de propagare a undei), In

iar prin

sau riguros transversale

(4.188)

Lk,s _!nw
2

Pentru

o directie

oarecare

din cristal,

posibila, lntrucat vectorul de polarizare

1J

aceasta

clasificare

nu este

poate avea orlentari arbitrare In

raport cu vectorul de unda,

(k) + "Lnksnw k) = E0 + Eex


5 (

exista numai In medii izotrope (gaze, lichide,

solide amorfe) ~i In cristale numai pentru anumite directii de simetrie.

s am indicat nurnarul atomului din baza

Formula (4.188) se poate scrie sub forma

unde

atomului

Trebuie rnentionat faptul ca oscilatiile riguros (pur) longitudinale

care efectueaza oscilatii armonice cu frecventa ms (evident, 1 ~ s ~ r ).

E=

miscarf

acest caz ele numindu-se transversa/e (T).

E=

nks = O,

caracteristice

~i cvasiimpulsul)

caz ele numindu-se

Tn cazul In care baza cuprinde

unde

rnarimile

oscilatiile se pot efectua In directia vectorului de propagare

(4.187)
unde

motiv

Tn cazul In care baza este formats din r atomi, var exista In total

(4.189)

3r ramuri de vibratie2l:

Ea reprezinta energia vibratiilor de zero ale retelei cristaline, iar Eex

trei ramuri acustice, pentru

w( k = 0) = 0

si

este nurnita energie de excitatie.

(3r- 3) ramuri optice pentru

Tn conformitate cu reprezentarile mecanicii cuantice, flecarui mod

w( k = 0) ;e 0.

de vibratie Ii putem asocia o particula pe care o numim fonon ~i care


este cuanta carnpului de vibratie a retelei cristaline.
Dupa cum vom vedea, existenta fononilor poate fi confirrnata de
1

unele experiente

In care cristalul interacnoneaza

cu fotoni, electroni,

Vectoml de polarizare este vectoml rezultant a vectorilor caracteristici celor doua tipuri de unde.
Miscarea de ansamblu, de translatie ~i de rotatie a sistemului format din cei r atomi nu se ia in
considerare.
2

BAZELE FIZICH SEMICONDUCTORILOR

336

Capitolul IV - Vibratiile retelei cristaline

337

Tn cazul in care se poate face o clasificare a oscrlatlilor efectuate

celulelor elementare din cristal. Acest rezultat se poate obtine usor din

in oscilatii longitudinale si oscilatii transversale, atunci din cele trei

conditia de ciclicitate Born-Karmann pentru elonqatia Un data de ecuatia

ramuri acustice avem una lonqitudinala (LA) si doua transversale (TA),

(4.191 ), adica

iar in ramurile optice avem cate o rarnura lonqitudinala (LO) ~i cate doua
ramuri transversale (TO) pentru fiecare din cele 3r - 3 ramuri optice

(4.193)
j fiind un atom oarecare, iar N = N1N2N3 .

existente.
Din (4.191) sl (4.193) obtinem

Tn cazul in care cristalele au anumite proprietati de simetrie, de

(4.194)

requla are loc o degenerare a ramurilor transversale, cele doua ramuri


unde

deqenerand intr-una sinqura cu o sinqura frecventa caracteristica,


Relatia (4.23') poate fi generalizata pentru cazul tridimensional
sub forma

(4.195)

Din (4.193) si (4.195) se deduce


(4.190)

Kg

(4.196)

fiind un vector oarecare al retelei


reciproce.
'

Deoarece k1, k2, k3 sunt componentele lui

Prin urmare, putem scrie solutia ecuatiei de rniscare a atomului


n, sub forma

dupa axele

cristalografice. Daca 11, 12, /3, .... sunt numere intregi determinate de
conditia

(4.191)

fiind aici amplitudinea iar

Rn

un vector al retelei directe (v. (1.34 )).

putem scrie
k - 2tr !J_. k - 2tr ~. k - 2tr ~
' 31' 281 N1
82 N2
83 N3

Ecuatia (4.191) reprezinta o generalizare a ecuatiei (4.12) pentru


cazul tridimensional.

(4.197)

relatii care reprezinta o generalizare a condltiei (4.34) pentru cazul

Tn general, toate marimile care depind de k sunt periodice cu

tridimensional.

perioada retelei reciproce. Tn particular, relatia (4.27), devine

Prin urmare, in prima zona Brillouin, exista N = N1N2N3


(4.192)

Dupa o directie oarecare din cristal,

permise pentru vectorul de unda

ia atatea valori cate celule

elementare exista dupa directia respective. Daca dupa directiile 81,82,83

valori

k.

Energia totala a sistemului de oscilatori armonici va fi in acest


caz

din cristal, indicate de parametrii celulei elementare, exista respectiv N1,


N2, N3 celule, vectorul

va lua N = N1N2N3 valori, adica nurnarul total al


Fononii asociaf fiecarui mod de vibratie a retelei vor fi

338

BAZELE FIZICH

SEMICONDUCTORILOR

caracterizaf prin energii &ks = tuo, (i<) si cvasiimpulsuri pk = nk.


Ansamblul format din ramurile acustice i optice ale unei retele
cristaline poarta denumirea de spectrude vibretie al retelei respective.
Se poate arata, luand In considerare rnarimea fortelor care
actioneaza asupra atomilor [23, 97, 208] ca ramurile longitudinale au
frecvente mai mari decat cele transversale. De asemenea, poate avea

ANEXAIV.1

lac lntersectta anumitor ramuri de vibratie pentru anumite valori ale


vectorului de unda

k.

Pentru trasarea experimentala a spectrelor de vibratie exists

Coordonate normale. Viteze (impulsuri) generalizate

diferite metode. Cel mai frecvent tnsa, se foloseste pentru aceasta


Pentru simplitate, sa consideram doua particule (atomi) identice,

studiul lrnprastierii neelastice a radiatiilor X sau a neutronilor.


Tn aceste procese de lmprastiere, pe langa irnprastierea elastica
care se supune relatiei Bragg (v. Capitolul 11), poate avea lac i o

cu masa m dintr-un sir reticular orientat In lungul axei Ox (Fig. 1) care


efectueaza oscilatri In jurul pozitiilor de echilibru 01 i 02 cu elonqatiile u

lrnprastiere neelastica, determinata de absorbtia sau emisia unor fononi.

i u2. Asupra particulelor (atomilor) actioneaza fortele cvasielastice

Tn aceste cazuri se respects legile de conservare a energiei si a

-j3u1, respectiv -j3u2 orientate spre pozitiile de echilibru 01 i respectiv

impulsului, adica

02. Fortele de interactiune dintre cele doua particule sunt r ( u1


(4.199)

nm( k),

iar

K9

a
I

_o

fotonilor X sau neutronilor, indica emisia sau absorbtia unui fonon de


energie

u2)

(v. 4.1 ).

(4.200)
lndicii ,,f' i ,,i" se refera aici la starea finala, respectiv initiala a

~~=l-------0-1'.~_!
I

I
:

:I

U1

I
I
I

~_!.Pl-I

2-~-ufli----~>

~.,

U2

este vectorul fundamental al retelei reciproce

(vom mai reveni asupra acestor chestiuni cand se va discuta absorbtia

Fig. 1. Oscllatiile retelei unidimensionale


cu un singur tip de atomi pe celula elernentara.

radiatiei electromagnetice In semiconductori, mecanismele de generare


a purtatorilor de sarcina de neechilibru s.a.),

Ecuatiile de rniscare ale particulelor respective pot fi scrise sub


forma
(1)

340

BAZELE FIZICII SEMICONDUCTORILOR

(2)

Anexa IV. I - Coordonate normale. Viteze (impulsuri) generalizate.

341

Tnlocuind In (9), pe co cu m1 dat de (13), se obtine

Scriem solutlile acestui sistem de doua ecuatii diferentiale sub


(15)

forrna cornplexa

-A

2 -

eiwt

Tnlocuind (3) i (4) i derivatele In raport cu timpul

o,

o, In

(3)

Vom scrie aceasta relatie sub forma

(4)

A(1) = -A~1)

(1) i (2),

= c,

(16)

Tnlocuind acum In (10) pe m2 dat de (14) adica m2

= m;, gasim

obtinern
(17)

(5)
(6)
lntroducand notatiile:

(18)
2

/3 + r = mar;

(7)

Solutiile generale ale ecuatiilor (1) i (2) pot fi scrise sub forma:
(19)

(8)
(20)

putem scrie ecuatiile (5) i (6) sub forma

( m; - oi) A - m~A
-m~A + ( m; - m

sau, tinand seama de (16) i (18), mai putem scrie

=0

(9)

A2 = 0

(10)

(21)
2)

(22)
Acest sistem de ecuatii In A1 i A2 admite solutii nebanale, daca

Dupa cum rezulta din ultimele doua relatil, elongatiile

u, i u2 pot

determinantul coeficientilor este egal cu zero. Deci


fi scrise ca niste sume de catre doi termeni, fiecare dintre acesti termeni
(11)

depinzand de timp dupa o lege caracteristica

unei oscilatii armonice,

fiecare avand o anurnita frecventa caracteristlca.


Se poate gasi un sistem de coordonate (pe care le vom numi

Obtinem de aici ecuatia bipatrata


'

'

(12)

coordonatenormale) lncat fiecare dintre aceste coordonate sa depmda


armonic de timp.

care are solutiile:

Din (21) si (22), obtinern UOr


(13)

(23)

(14)
(24)

BAZELE FIZICH SEMICONDUCTORILOR

342

ne~
xa~I~
V~
. l ~- ~
C~
oo~rd~o~
nate nor.
m:
al.
e.Vite=ze (~
im
) g-e~
ne~
ra~
liz~at~
e.~~~A~
_p;ulsuri=

343

Tlnand seama ca fortele care actioneaza asupra fiecarui atom

in acest caz putem introduce coordonatele normale prin relatiile


(25)

sunt (v. (1) i (2))


(33)

(26)

i
F2

J2

factorul

fiind introdus aici, dupa cum se va vedea, pentru efectuarea

cu mai mare usurinta a unor calcule.

UOr urrnatoarele

u, si u2 in functie de coordonatele

expresii pentru

u1)

(34)

energia potentiala a sistemului format din cei doi atomi este


o/ =

Ecuatiile (25) i (26) forrneaza un sistem din care putem gasi

r ( u2 -

= -J]u2 -

(~u1 + F2u2)

inlocuind

(35)

in acesta relatie expresiile

lui

F1 i F2 din (33) i

respectiv (34 ), qasim, dupa efectuarea unor calcule algebrice simple:

normale

'f/ =

i[(/3

+ r) ( u; + u; )-

2yu,u2 J

(36)

Se poate gasi user din aceasta relatie ca

F1-- - av

(37)

0U1

Derivatele

q, = ddqt1

in

raport

cu

timpul

= d q2 se numesc

coordonatelor

normale,

viteze generalizate.

dt

(38)

Energia cinetica a sistemului format din cele doua particule, va fi,


Tlnand seama de (7) i (8), putem scrie (36) sub forma

in fiecare moment, egala cu

rr =

12

+ ui)

i[(mm~)(u;

u;)- 2(mm: )u,u

J.

(39)

Din (13) i (14 ), obtinern (adunand si respectiv scazand membru cu

Din (27) i (28), qasirn (derivand in raport cu timpul), relatiile

. J2(. q1 +q2. )
U1 =2

'f/

(29)

membru) relatiile
(30)
(40)

. =2
J2(.q2

U2

.)

-q1

(31)
2

ma=

2
m1 -

m2

(41)

inlocuind aceste expresii in (29), obtinern


inlocuind (40) si (41) precum si (27) i (28) in (39), qasim
(32)
(42)

344

BAZELE FIZICH SEMICONDUCTORILOR

in final, functia Lagrange pentru sistemul considerat se poate scrie


(43)
sau

= ;

(q:

- OJ1q:) + ; ( q; - OJ2 q;)

(44)

De aici rezulta ca functia i; nurnita ~i potentlatul cinetic a lui Lagrange,

BIBLIOGRAFIE

poate fi scrlsa sub forma

fiind deci o surna de doi termeni

fiecare

(i = 1, 2) '

(45)

cuprinzand

numai rnarimi

caracteristice unui anumit oscilator.


Ecuatia lui Lagrange de ordinul al doilea se scrie sub forma [211,

1. 0. ACZEL, C. BOZAN, Dislocafiile i frecarea interne la metale,


Editura Facla, Tirnisoara, 1974.
2. ST. ANTOHE, Materiale i dispozitive e/ectronice organice, Editura
Universitatu Bucuresti, 1996

212, 223]

-d ( -8- - -8 - 0
dt 8qi
8qi

(i = 1, 2) .

(46)

3. A. ANSLEM, Introduction to Semiconductor Theory, Mir Publisher,


Moscow, 1981.

Tlnand seama de (45), avem

cit 8q; J = mq. ,


d ( 8

-8=-mm.
8qi

2
I

(47)

4. I. ARDELEAN, lntroducere in studiul materialelor cu structure


vitroese, Editura NAPOCA STAR, Cluj Napoca, 2002.
5. I. ARDELEAN, R. CICEO-LUCACEL, Fizica i tehnologia
materialelor oxidice, Lucrari practice, Universitatea Babes-Bclyal
Cluj- Napoca, 2000.

q ..

(48)

6. G. ARGHIR, Caracterizarea structurete a metalelor i aliajelor prin


difracfie cu raze X, Lito UTCN, Cluj-Napoca, 1993.

Cu acestea, ecuatia (46), devine

Ci1+OJ;2qi=0 (i= 1, 2) '

(49)

7. N. W. ASHCROFT, N. D. MERMIN, Solid State Physics, Holt


Saunders International Editions, Tokyo, 1981.

(50)

8. T.A. BAK (editor), Phonons and Phonon Interactions, W.A. Benjamin,


New York, 1964.

de unde putem gasi ca

adica, asa cum rezulta din relatiile (23) - (26).

9. D. BALLY, R. BENES, R. MANAILA, Difracfia raze/or X i a


neutronilor, Editura Tehnica, Bucuresti, 1972.

346

BAZELE FlZICH SEMICONDUCTORILOR

Bibliografie

347

10. D.BALL Y, Metode fizice tn studiul corpului solid, Editura Didactica i


Pedagogica, Bucuresti, 1966.

44.1.S. BRAMMAR, M.A.P. DEWEY, Specimen Preparation for Electron


Metallography, Elsevier Publishing Company, New York, 1966.

11.1. BARBUR, I. ARDELEAN, S. SIMON, Ceramici feroelectrice i


supraconductoare, Editura BIT, lasi, 1999.

25. D.G. BRANDON, Modem Techniques in Metallography, Butterworth,


London, 1966.

12. C J BALL, Introduction of the Theory of Diffraction, Pergamon Press,


Oxford, 1971.

26. D. BRIGGS, M.P. SEAH, Practical Surface Analysis by Auger and X


ray Photoelectron Spectrocopy, J Willey and Sons, Chichester, 1990.

13. T.B. BARRET, T.B. MASSALSKI, The structure of Metals, Mc Graw


Hill, New York, 1966.

27. L. BRILLOUIN, La structure des corps so/ides dans la physique


modeme, Ed. Hermann, Paris, 1937.

14. J. BEN BRAHIM, B. CHOURABI, Structure et proprietes de la


matiere, Masson, Paris, 1992.

28. XX X, Amorphus Semiconductors, Ed. M.H. Brodsky, Topics Appl.


Phys. Vol. 36, Springer-Verlag, Berlin-Heidelberg-New York, 1979.

15. B.E.P. BEESTON, R.W. HORNE, R. MORKHAM, Electron Diffraction

29. F.C. BROWN, The Physics of Solid, Ionic Cristals Lattice Vibration
and Imperfections, W.A. Benjamin, New York, 1967.

and Optical Diffraction Tehniques in Practical Methods in Electron


Microscopy, Ed. A M Glauert, North Holland, London, 1983.
16. D.BERCHERESCU, V.CRISTEA, l.MENESSY, F.WINTER, Chimia
sterli solide, Vol I i II, Editura $tiintifica i Enciclopedica, Bucuresti,
1987.
17. F.D. BLOSS, Crystallography and Crystal Chemistry, vol I, II, Holt,
Rinehart and Wiston, New York, 1969.
18. J.S. BLAKEMORE, Semiconductor Statistics, Pergamon Press,
London, 1962.
19. J.S. BLAKEMORE, Solid State Physics, W.B.Sauders Company,
Phyladelphia - London - Toronto, 1970.
20. Y.F. BLATT, Physics of Electronic Conduction in Solids, McGraw Hill
Book Company, New York 1968.
21. V.L. BONCl-BRUEVICI, S.G. KALASNIKOV, Fizica poluprovodnikov,
lzd. Nauka, Moskva, 1977, 1990.
22. A.BONDI, Physical Properties of Molecular Crystals, Liquides and
Glass, J. Wiley, London, 1968.
23. M. BORN, K. HUANG, Dynamical Theory of Crystals Lattices,
Clarendon Press, Oxford, 1968.

30. I. BUNGET, M. POPESCU, Fizica dielectricilor solizi, Ed. Stiintiflca i


Enciclopedica, Bucuresti, 1978.
31. I. BURSUC, N. SULITANU, Solidul. Fenomene. Teorii. Aplicafii, Ed.
$tiintifica, Bucuresti, 1991.
32. l.D. BURSUC, Supreieie Fermi, Ed. $tiintifica i Enctclopedica,
Bucuresti, 1979.
33. l.D. BURSUC, M. SUCIU, Peturi subtin feromagnetice, Ed. Acad.
RSR, Bucuresti, 1969.
34. E. BURZO, Magnefi permanenfi, Ed. Academiei Romane, Bucuresti,
vol.I, vol. II, 1986
35. E. BURZO, Fizica fenomenelor magnetice, Ed. Academiei Romane,
Bucuresti, vol.1(1979), vol.11(1981), vol Ill (1983).
36. A. BUZDUGAN, M. IOVU (Eds,), Contributions to Non-crystalline
Semiconductors Physics and to Optoelectronics, Editura Academiei
R. Moldova, Chisinau, 2003.
37. T.A. CARLSON, Photoelectron and Auger Spectroscopy, Plenum
Press, New York, 1975.

348

BAZELE FIZICII SEMICONDUCTORILOR

Bibliografie

349

38. D. CHATTORJI, The Theory of Auger Transitions, Academic Press,


New York, 1976.

52.1. DIMA, I. LICEA, Fenomene fotoelectrice tn semiconductori i


eplicetii, Ed. Acad. R.S.R., Bucuresti, 1980.

39. K.I. CHOPRA, Thin Films Phenomena, Mc Graw Hill, New York,
1969.

53. I. DIMA, I. MUNTEANU, Materiale i dispozitive semiconductoare,


Ed. Didactica i Pedagogica, Bucuresti, 1980.

40. K.L. CHOPRA, S.R. DAS, Thin Film Solar Cells, Plenum Press, New
York-London, 1983.

54. V. DOLOCAN, Fizica dispozitivelor cu corp solid, Ed. Acad. R.S.R.,


Bucuresti, 1978.

41. G. CIOBANU, C. CONSTANTINESCU,


Tehnlca, Bucuresti, 1981.

Fizica sterii solide, vol. I, Ed.

42. R. L. COHEN, G. K. WERTHEIM, Methods of Experimental Physics,


Solid State Physics, vol 11, 307, 1974

55. V. DOLOCAN, Fizica electronice a

stern solide, Bucuresti,

1984.

56. V. DOLOCAN, Fizica jonciiunilor cu semiconductoare, Ed.


Academiei, Bucuresti, 1982.
57. M. DRAGANESCU,
Bucuresti, 1972.

Electronica corpului solid, Ed. Tehnica,

43. H. COLAN, E. BICSAK, M. FIRANESCU, D. CHIOREANU, T.


DOBREA, V. CANDEA, Studiul metalelor. Lucreri de laborator. Lito.
IPCN, Cluj-Napoca, 1988

58. M. DRAGANESCU,

44. H. COLAN, D. TUDORAN, G. AILINCAI, M. MARCU, E.


DRUGESCU, Studiul metalelor, Ed. Didactica si Pedagogica,
Bucuresti, 1983.

59. J W EDINGTON, Practical Electron Microscopy in Materials Science


Vol 3 Philips Tech Library, Macmillan Press, London, 1976.

45. C. CONSTANTINESCU, A. GLODEANU, Siert locale In


semiconductori, Ed. Acad. RSR, Bucuresti, 1967.

60. M. ENACHESCU, Atomic Resolution and Nanometer-Scale


Structuring, Heronimus, Munchen, 1994.

46. A.H. COTTRELL, Theory of Crystal Dislocations, Blackie and Sons


Ltd., London, 1964.

61. P.E.J FLEWITT, R.K.WILD, Physical Methods for Materials


Characterization, Institute of Physics Publishing, Bristol and
Philadephia, IOP Publishing Ltd. London, 1994.

47. G. CRISTEA, lntroducere In fizica semiconductorilor, Presa


Universitara Clujeana, 2001.
48. B. CULLITY, Elements of X-ray diffraction, Addison-Wesley,
Reading, Massachusetts, 1979.
49. AG CULLIS, N G CHEW, J L HUTCHINSON, S J C IRVINE, GEUS,
Microscopy of Semiconducting Materials, Institute of Physics, Bristol,
1985.
50. A.S. DAVI DOV, Teoria corpului solid, Ed. $tiintifica i Enciclopedica,
Bucuresti, 1983.
51. M.C. DESJONQUERES, D. SPANJAARD, Concepte de fizica
supreieiei, Ed. Tehnica, Bucuresti, 1998.

Procese electronice In dispozitive


semiconductoare de circuit, Ed. Acad. R.S.R., Bucuresti, 1962.

62. R.A FLIN., P. K.TROJAN, Engineering Materials and their


Applications, 4th edition, John Wiley&Sons, New York, 1995.
63. D. FRENKNEL, I. DE SABATA, Traductorul HALL, Ed. Tehnica,
Bucuresti, 1968.
64. H. GAVRILA, H. CHIRIAC, V. IONITA, P. CIUREANU, A. YELON,
'
Magnetism tehnic i eplicetii, Ed. Academiei
Romane, Bucuresti,
2000.
65. S. GADEA, M. PROTOPOPESCU, D. DRIMER, Metalurgia tizic a
semiconductoarilor, Ed. Acad. R.S.R., Bucuresti, 1963.

350

BAZELE FIZICII SEMICONDUCTORILOR

Bibliografie

66. S. GADEA, M. PROTOPOPESCU, D. DRIMER, Metalurgia tizice a


materialelor semiconductoare, Ed. Acad. R.S.R., Bucuresti, 1967.

80. W. HEYWANG, Amorphe und polycristalline Halbleiter, Springer


Verlag, Berlin Heidelberg, New York, Tokyo, 1984.

67. N. GERU, M. BANE, C. GURGU, Analiza structurii materialelor


meta/ice, Ed. Tehnica, Bucuresti, 1991.

81. PB HIRSCH, A HOWIE, RB NICHOLSON, D W PASHELEY, M J


WHELAN, Electron Microscopy of Thin Crystals, Butterworth,
London, 1969.

68. C. GHEORGHIE$, Controlul structurii fine


Editura Tehnica, Bucuresti, 1990.

a metalelor cu radiafii )(,

69. C. GHEORGHIE$, L. GHEORGHIE$, Controlul texturii metalelor cu


radiafii X, Ed. Tehnica, Bucuresti, 1994.
70. H. T. GRAHN, Semiconductors
1999.

82. R. E. HUMMEL, Electronic Properties of Materials, Springer-Verlag,


Berlin, 1985.
83. L.P. HUNTER, Semiconductor Phenomena and Devices, Addison
Wesley Reading, Massachusets, 1966.

Physics, Wold Scientific, Singapore,

71. P. GRAY, C. SEARLE, Bazele electronicii moderne, Edit. Tehnica,


Bucuresti, 1973.
72. R.H. GREAVES, H. WRIGHTON, Practical Microscopical
Metallography, Chapman and Hall, London, 1966.
73. R. GRIGOROVICI, Structure of Amorphous Semiconductors. In:
Amorphous and liquid Semiconductors, Ed. J. Tauc, Plenum Press
London, -New York, 1974.

84. M.T. HUTCHINGS, C.G. WINDSOR, Neutron Scattering, Eds. K.


Skold and D.L. Price, Academic Press, London, 1986.
85. A.F. IOFFE, A.R. REGEL, Non-crystalline, Amorphous and Liquid
Electronic Semiconductors (serie de monografii "Progress in
Semiconductors"), Temple Press Book, London, 1966.
86. I. IOVA, Elemente de optice epllcete. Ed. $tiintifica i Enciclopedica,
Bucuresti, 1977.
87. A. INOUE, K. HASHIMOTO (Eds.) Amorphous and Nanocrystalline
Materials, Berlin, 2001.

74. A.S. GROVE, Fizica i tehnologia dispozitivelor semiconductoare,


Edit. Tehnlca, Bucuresti, 1973.
75. P.J. GRUNDY, G.A, JONES, Electron Microscopy in the Study of
Materials, Edward Arnold, London, 1976.
76. F. GUTMAN, L.S. LYONS, Organic Semiconductors, J.Wiley, New
York, 1967.

88. M. JAROS, Physics and Applications of Semiconductor


Microstuctures, Oxford Science, Publications, Oxford, 1990.
89. G.S. JDANOV, Fizika tviordogo tela, lzd. Moskovskogo Universiteta,
Moskva, 1961.
90. H. JONES, The Theory of Brillouin-Zones and Electronic States in
Cristals, North-Holland, Publ.Comp, Amsterdam, 1966.

77. W.A. HARRISON, Electronic Structure and Properties of Solids, vol I,


Vol II, (Physics of the Chemical Bonds), W.H. Freman and Company,
San Francisco 1980.

91. W. JONES, Theoretical Solid State Physics, vol I, II, John Wiley,
New York, 1963.

78. W.A. HARRISON, Solid State Theory, Mc Graw-Hill Book Company,


New York-London-Toronto, 1970.

92. D.C. JOY, Introduction to Analytical Electron Microscopy, Eds J.J.


Hren, J.I. Goldstein and D.C. Joy, Plenum Press, New York, 1979.

79. A. HAUG, Theoretical Solid State Physics, Mc Graw Hill, New York,
1970.

93. P.F. KANE, Introduction to Analytical Electron Microscopy. Eds J.J.


Hren, J.I. Goldstein and D.C. Joy, Plenum Press, New York, 1979.

351

352

BAZELE FIZICH SEMICONDUCTORILOR

94. J.E. KATON, Organic Semiconducting Polymers, M. Dekker, New


York, 1968.
95. A. KELLY, G.W. GROVES, Cristallography and Crystal Defects,
Longman, London, 1970.
96. P.S. KIREEV, Fizica semiconductorilor,
Enciclopedica, Bucuresti, 1977.

Bibliografie

108.A.A. MARADUDIN, E.W. MONTROLL, H.H. WEISS, Theory of


Lattice Dynamic in the Harmonic Approximation, Academic Press,
New York-London, 1963.
109. G. MARCU, Chimia metalelor, Editura Didactica i Pedagogica,
Bucuresti, 1979.

Editura $tiintifica si
110. D. MARDARE, Fenomene de transport In corpurile solide, Editura
"Gh.Asachi", Iasi, 2002.

97. C. KITTEL, lntroducere In fizica corpului solid, Ed. Tehnica,


Bucuresti, 1973

111. G. MASTACAN, Al. CIOCANEL, Studiul cristalelor cu raze X, Ed.


Tehnica Bucuresti, 1962.

98. C. KITTEL, Quantum Theory of Solids, J.Wiley, New York-Lodon,


1963.
99. R.S. KNOX, A. GOLD, Simmetry in Solide State, W.A.Benjamin,
New York, Amsterdam, 1964.

Inc.

100. P.T. LANDSBERG, Solid State Theory, Metods and Applications,


J.Wiley, London, 1969.
101. R.A. LEVY, Principles of Solid State Physics, Academic Press, New
York, 1968.
102.1. LICEA, Fizica metalelor, Editura $tiintifica i Enciclopedica,
Bucuresti, 1986.
103. D. LONG, Energy Bands in Semiconductors, J.Wiley, New York,
1968.
104. E. LUCA, V. BARBOIU, Analiza structumle prin metode fizice,
Editura Academiei R.S.R., Bucuresti, 1984.
105. E. LUCA, M. CHIRIAC, M. STRAT, V. BARBOIU, Analiza
structurete prin metode fizice, vol I, Editura Academiei R.S.R.,
Bucuresti, 1985.
106. 0. MADELUNG, Introduction in Solid State Theory, Springer
Verlag, Berlin-Heidelberg-New York, 1978.
107.A. MANY, Y. GOLDSTEIN, N.B. GROVER, Semiconductors
Surfaces, J.Wiley and Sons, New York, 1965.

112. NS MCINTYRE, Practical Surface Analysis, Eds. Briggs and MP


Seah, J Wiley and Sons, Chichester, 1983.
113.A. MESSIAH, Mecenice cuentice, vol I, II, Editura $tiintifica,
Bucuresti, 1969.
114. L. MIHALY, M.C. MARTIN, Solid State Physics, John Willey and
Sons, New York, 1996.
115. S. MITURA (Ed.) Nanotechnology in Materials Science, Elsevier,
Amsterdam,2000.
116. L. MITO$ERIU, V. TURA, Fizica dielectricilor, Editura Universitatll
"Al.1.Cuza" tasi, 1999.
117 .L MOENKE-BLANKERBURG, Advances in Optical and Electron
Microscopy Volume 9, Eds R Baret and V E Cosslett, Academic
Press, London, 1984.
118. H. MODIN, S. MODIN, Metalurgica/ Microscopy, London
Butterworts, London, 1973.
119. W. MONCH, Semiconductor Surface and Interfaces, 2nd ed.,
Springer Ser. Surf. Sci. vol.26, 1995.
120. C. MOR0$ANU, Depunerea chimice din vapori a straturilor subtiri,
Ed. TehnicaBucuresti, 1981.
121. T.S. MOSS (Ed.), Handbook on Semiconductors; P.T.
LANDSBERG (Volume Editor) Basic Propeties of Semiconductors,
North Holland, Amsterdam, New York, London, Tokyo, 1992.

353

354

BAZELE FIZICH SEMICONDUCTORILOR

122. T.S. MOSS, G.Y. BURRELL, B. ELLIS, Semiconductor


Optoelectrronics, Butterworts, New York, 1973.
123. T.S. MOSS, Optical Properties of Semiconductors, London, 1959.
124. N.F. MOTT, E.A. DAVIS, Electron Processes in Non-Crystalline
Materials, Clarendon Press, Oxford, 1979.
125. N.F. MOTT, R.W. GURNEY, Electronic Processes in Ionic Crystals,
Oxford, 1963.
126. C. MOTOC, lntroducre In fizica solidului, Editura Didactica i
Pedagogica, Bucuresti, 1964.
127. I. MU$CUTARU,
1981.

Cristale lichide i aplicafii, Ed. Tehnica, Bucuresti,

128.1. MU$CUTARIU, I. BICA, Defecte structurale In cristale, Editura


Universitatii de Vest, Tirnisoara, 1995.
129.1.1. NICOLAESCU, Metode experimentale de studiu al corpului solid,
Fasc. I i II, lasi, 1974.
130.1.1. NICOLAESCU, V. CANTER, Fizica corpului solid, Vol. I, II, Ill,
Chisinau, 1991.
131. Al. NICULA, Fizica semiconductorilor i aplicafii, Ed. Dldactica i
pedaqocica, Bucuresti 1976.
131.1.1. NICOLAESCU, lntroducere In fizica corpului solid, Ed. Cultura,
Pitesti, 1997.
132. Al. NICULA, I. FARKAS, Dielectrici i feroelectrici, Editura Tehnica,
Bucuresti, 1988.
133.1. NIERKORN, P. ROMAN, lntroducere In chimia i tehnologia
materialelor semiconductoare, Ed. Tehnica, Bucuresti, 1964.
134. J. F.NYE, Physical Properties of Crystals, Calderon Press, Oxford,
1964.
135.A. PALFALVI, Metalurgia pulberilor, Ed. Tehnica, Bucuresti, 1988.

Bibliografie

355

136. J.I. PANKOVE, Optical Processes in Semiconductors, Dover, New


York, 1971.
137. C. PAPU$01, Proprietetile magnetice i de rezonente ale corpului
solid, Centrul de multiplicare al Universltatil "Al.l.Cuza" lasi, vol I,
1980, vol II, 1988.
138. L. PAULING, The Nature of the Chemical Bond, Cornell University
Press, New York, 1960.
139. L. PAULING, Chimie genera/a, Ed. Tehnica, Bucuresti, 1973.
140. R.E. PEIERLS, Quantum Theory of Solids, Oxford, 1965.
141. H.S. PEISER, H.P. ROOKSBY, A.J.C. WILSON, X-ray Diffraction
by Polycrystalline Materials, Chapman Hall, London, 1960.
142. J.C. PHILLIPS, Bonds and Bands in Semiconductors, Academic
Press, New York, 1973.
143. F.C. PHILLIPS, An Introduction to Crystallography, Oliver&Boyd,
Edinburg, 1971.
144. D. PINES, Elementary Exitations in Solids, W.A.Benjamin, New
York, 1963.
145. G.Z. PINSKER, Dynamical Scattering of X-Rays in Crystals,
Springer-Verlag, Berlin-Heidelberg-New York, 1978.
146.1. POP, M. CRl$AN, Fizica corpului solid i a semiconductorilor,
Editura $tiintifica i Pedagogica, Bucuresti, 1983.
147.1. POP, V. NICULESCU, Structura corpului solid (Metode fizice de
studiu), Editura Academiei R.S.R., Bucuresti, 1974.
148. V. POP, I. CHICINA$, Proorieteti fizice ale materialelor i aliajelor,
Universitatea Babes-Bolyai Cluj- Napoca, 1997
149.1. IOVIT POPESCU, D. CIUBOTARU, Bazele tizlcii plasmei, Edit.
Tehnica, Bucuresti, 1987.
150. V. POP, Bazele opticii, Editura Univ. ,,Al.I. Cuza", lasi 1988.

356

BAZELE FIZICH SEMICONDUCTORJLOR

151. M. POPESCU,A. ANDRIE$, V. CIUMA$, M. IOVU, S. $UTOV, D.


TIULEANU, Fizica sticlelor ca/cogenice, Editura $tiintifica Bucuresti
Editura $tiinta, 1996.
152. XX X, Probleme actuale ale iizicii semiconductori/or,
Academiei R.S.R., Bucuresti, 1970.

357

165. LE SAMUELS, Mettalographic Polishing by Mechanical Methods,


Pitmans, London, 1968.
166. D.D. SANDU, Electronica fizica, Ed. Academiei Romane, Bucuresti,
1973.

Editura

167.Z. SCHELETT, I. HOFFMAN, A. CAMPEANU, Semiconductori i


aplicafii, Editura Facla, Tirnisoara, 1981.

153. M. PROTOPESCU, Teoria etectronice a metalelor, Editura


Academiei R.S.R., Bucuresti, 1973.
154. M.H.L. PRYCE, Phonons in Perfect Lattices and in Lattices with
Point Imperfections, Oliver and Boyd, Edinburg, 1966.
155. C. PUMNEA, I. DINA, FL. SORESCU, M. DUMITRU, T.
NICULESCU, Tehnici speciale de eneltz tizico-cblmice a
materialelor meta/ice, Editura Tehnica, Bucuresti, 1988.

168. W. SHOCKLEY, Electrons and Holes in Semiconductors, D.van


Nostrand Company Inc., Princeton, New Jersey, Toronto, London,
New York, 1950.
169. E.M. SCHULSON, C.G. VAN HESSEN, D.C. JOY, Scanning
Electron Microscopy, llTRI, Chicago, 1969.

156. E.H. PUTLEY, The Hal/Effect in Semiconductor Physics, Dover


Publications, New York, 1960.
157. Y. QUERE, Physiques des materiaux, Edition Ellipses, Paris, 1988.
157. L. REIMER, Scanning Electron Microscope, Springer-Verlag,
Heidelberg, 1985.

Bibliografie

170. K. SEEGER, Semiconductor Physics, Springer-Verlag, Berlin


Heidelberg-New York, 1982, 1999.
171.T. SEKINE, Y. NAGASAWA, M. KUDOH, Y. SAKAI, A. S. PARKES,
J. D. GELLER, A. MOGAMI, H. HIROTA, Handbook of Auger
Electron Spectroscopy, JEOL Inc., Tokyo, 1982.

Berlin

158. J.A. REISSLAND, The Physics of Phonons, John Wiley, London,


New York, 1973.

172. V. SERGIESCU, lntroducere In fizica solidului, Ed. Tehnica,


Bucuresti, 1956.
173. S.SIMON, Fizica materialelor oxidice, Supraconductori oxidici,
Editura Universitatii Babes-Bolyai, Cluj-Napoca, 1993.

159. G.I. RUSU, Semiconductori i aplicafii, vol I, lasi, 1976.


160. G.I. RUSU, Semiconductori organici, Editura tehnica, Bucuresti,
1982.
161. G.I. RUSU, I.I. RUSU, M. STAMATE, lntroducere In fizica
semiconductorilor, Ed. Plumb, Bacau, 1997.
162. G.l.RUSU, M.RUSU, M. SOROHAN, Fizica molecuiere i ca/dura
(Lucreri practice), Vol. I i II, Editura Univ. "Al.I. Cuza", lasi, 1986.
163. G.I. RUSU s.a., Mecanica, Ed. Didactica ~i Pedagogica, Bucuresti,
1990.
164. G.G. RUSU, C. SABAN, M. RUSU, Materiale i dispozitive
semiconductoare, Editura Unlversitatii ,,Al.l.Cuza" lasi, 2002.

174.1. SIROTIN, M.P. SASKOLSKAIA, Fizica cristalelor, Editura


$tiintifica i Enciclopedica, Bucuresti, 1981.
175. J.C. SLATER, Insulators, Semiconductors and Metals, Mc Graw Hill
Book Company, New York, St. Louis, San Francisco, Toronto,
London, Sydney, 1967.
176. R.A. SMITH, Semiconductors, Cambridge University Press, 1980.
177. RA.SMITH, Wave Mechanism of Crystalline Solids, Chapman and
Hall, London, 1969.
178. M. SOROHAN, Proprietetl! fizice ale metalelor sub presiune
nkirostetice, Editura Tehnlca, Bucuresti, 1988.

BAZELE FIZICH SEMICONDUCTORILOR

358

179.1. SPANULESCU,

Fizica tranzistorilor i principiile

microminieiurizerii, Editura Didactica i Pedagogica, Bucuresti,

Bibliografie

359

193. G. THOMAS, M.J. GORINGE, Transmission Electron Microscopy of


Materials, J Wiley and Sons, New York, 1979.

1973.
180.1. SPANULESCU, Fizica straturilor subiiti i eplicetilte ecestore,
Editura $tiintifica i Enciclopedica, Bucuresti, 1975.
181.1. SPANULESCU, 0. BIRAU, A. BODI, P. CIOARA, I.
MUSCUTARIU, R. PARVAN, Electronica pentru perfecfionarea
profesorilor, Editura Didactica i Pedagogica, Bucuresti, 1983.
R. PARVAN, Principiile fizice ale
microelectronicii, Editura $tiintifica i Enciclopedica, Bucuresti, 1981.

194. B K TANNER, D K BOWEN, Characterisation of Crystal Growth


Defects by X-ray Methods, Plenum Press, New York, 1980.
195. F. THON, Electron Microscopy in Material Science, Ed. U. Valdre,
Academic Press, New York, 1971.
196. G. TIMP, Nanotechology, Springer Verlag, New York, Berlin
Heidelberg, 1998.

182.1. SPANULESCU,

183.J.C.H. SPENCE, R.W. CARPENTER, Principles of Analytical


Electron Microscopy, Plenum Press, New York, 1986.
184. J.W. STEEDS, Introduction to Analytical Electron Microscopy, Eds.
J J Hren, J I Goldstein and D C Joy McGraw -Hill, New York, 1979.
185. L.S. STILBANS, Fizika poluprovodnikov, lzd. Nauka, Moskva, 1967.
186. N. SULITANU, Fizica suprafefei solide, Editura Universitatii
"Al.l.Cuza" iasi, 1997.
187. C. M.SZE, Physics of Semiconductors Devices, John Wiley and
Sons, New York-Sydney, 1969.
188.1.K. $ALABUTOV,
Leningrad, 1969

Vvedenie poluprovodnikov, lzd. Nauka,

189. K.V. SALIMOVA, Fizika poluprovodnikov, lzd. Energhia, Moskva,


1971, Energoatomizd., Moskva, 1995.
190. V. $UNEL, G.I. RUSU, M. RUSU, I. CAPLANU$, Substenie chimice
utilizate In laboratoare, Editura Univ. "Al.I. Cuza", lasi, 1993.
191. V. TAREEV, Physics of Dielectric Materials, lzd. Mir., Moskva,
1975.
192.1. TEOREANU,

L. NICOLESCU, N. CIOCEA, V. MOLDOVAN,

lntroducere In tiinfa materialelor anorganice, Editura tehnica,


Bucuresti, 1987.

197.1.M. TILDICOVSKI, Termomagnitre iavleniya v poluprovodnikov, lzd.


Nauka, Moskva, 1972.
198. M. URSAGHE, D. CHI RICA, Proprietafile metalelor, Editura
Didactica i Pedagogica, Bucuresti, 1982.
199. B.K. WAINSTEIN, V.M. FRIDKIN, V.L. INDEBOM, Modem
Crystalography, Springer-Verlag, Berlin-Heidelberg-New York, 1980
(traducere In limba rornana, Editura Didactica !?i Enciclopedica,
Bucuresti, 1989).
200. H. WALDEMAR STREITWOLF, Gruppentheorie in der
Festkorpephysik, Leipzig, 1967.
201. R.F. WALLIS, Lattice Dynamics, Pergamon Press, Oxford, 1965.
202. G.A. WERT, R.M. THOMSON, Physics of Solids, Mc Graw Hill
Book Company, New York-San Francisco-Toronto-London-Sydney,
1964.
203. R.M. WHITE, T.H. GEBALE, Long Range Order in Solids,
Academic Press, New York-San Francisco-London- 1979.
204. F. WOOTEN, Optical Properties of Solids, Academic Press, New
York, 1972.
205. H.P. WOLF, Silicon Semiconductor Data, International Series of
Monographs on Semiconductors, Vol. 9, Pergamon Press, Oxford,
1969.
206. G. ZET, D. URSU, Fizica stetii solide, Ed. Tehnica, Bucuresti, 1989.

360

BAZELE FIZICU SEMICONDUCTORILOR

207. J.M. ZIMAN, Principles of the Theory of Solids, Cambridge


University Press, London, 1972.

220. U.FANO, L.FANO, Physics of Atoms a not mollecules, University of


Chicago Press, Chicago, 1972.

208. J.M. ZIMAN, Electrons and Phonons, Clarendon Press, Oxford,


1960.

221. J.D.JACKSON,
1975.

209. P. YU, M. CORDONA, Fundamentals of Semiconductors,


Berlin, Heidelberg, 1996.

222. M.O"KEEFFE, A.NAVRO TSKY (Eds), Structure and Bonding in


Crystals, Academic Press, New York, 1981.

210. G. YEPIFANOV, Physical Principles of Microelectronics,


Moskow, 1974.

Springer,

Mir. Publ.,

* *
211. C.IACOB, Mecanica teoretice, Editura Didactica si Pedagogica,
Bucuresti, 1971.
212. LO.LANDAU, E.M.LIF$1T, Fizice steiistice, Editura Tehnica,
Bucuresti, 1988.
213. S.TITEICA, Mecanica cuentice, Editura Academiei RSR, Bucuresti,
1984.
214.X XX, Handbook of Thin Film Technology, (Eds. y L.l.MAISSEL,
R.GLANG), McGraw Hill Book Company, 1970.
215. X X X, Polycrystalline Semiconductors. Physical Properties and
Applications, Springer-Verlag, Berlin-Heidelberg-New York-Tokyo,
1985.

Classical Electrodynamics,

J.Wiley, New York,

223. L.D.LANDAU, E.M.LIF$1T, Mecanica, Editura Tehnica, Bucuresti,


1966.
224. T.KALLAID, Liquid Crystals and Their Applications, Optosonic
Press, New York, 1970.
225. G.H. BROWN, J.W. DOANE, V.D. NEFF, Structure and Physical
Properties of Liquid Crystals, Buttervorsth, London, 1971.
226. V. DOLOCAN, Fenomene de tune/are i epticeti), Editura !;)tiintifica
sl Enciclopedica, Bucuresti, 1989.
227. M. BORN, E. WOLF, Principles of Optics, Pergamon Press, Oxford
New York, 1970.
228. GH. SILAS, Mecanica. Vibrafii mecanice,
Pedagogica, Bucuresti, 1968.

Editura Didactica i

229. l.M. POPESCU, Fizice, Vol.I, Editura Didactica i Pedagogica,


Bucuresti, 1982.
230. J. BARRET, Atomic and Molecular Structure, Wiley, London, 1970.

216.1. VIDA-SIMITI, Proprieieti tehnologice In metalurgia pulberilor, Ed.


Enciclopedica, Bucuresti 1999.

231. E.V. !;)POLSCHI, Physique Atomique, Vol. I, II, lzd. Mir, Moskow,
1974.

217 LE.TAMM, Bazele teoriei etectriciteii', Editura Tehnica, Bucuresti,


1967.

232. M.A. BLOCHIN, Physik der Rontgenstrah/en, VEB Verlag Technik,


Berlin, 1957

218. J.R.CHRISTMAN,
New York, 1988.

233. XX X, Tunneling Phenomena in Solids, Plenum Press, New York,


1969

Fundaments of Solid State Physics, J.Wiley,

219. M.A.ELIA!;)EVICI, Spectroscopia etomic i motecutere, Editura


Academiei RSR, Bucuresti, 1966.

234. O.BIRAU, A.CIUHANDU, D.ANDRU-VANGHELI,


Ed. Facla, Tlmlsoara, 1986.

Safirul i rubinul,

362

BAZELE FIZICU SEMICONDUCTORILOR

235. R.B. ALDER, A.C. SMITH, R.G. LONGIN!, Introduction to


Semiconductor Physics, John Wiley and Sons, New York, 1964.

S-ar putea să vă placă și