FIȘA DE LUCRU LABORATOR 5

Student: Nutu Ionel-Bogdanel

Grupa: 541B_2
Data:05.05.2021

1. Se vor proiecta și simula în SW microactuatoarele termice de tip U și Z ținând cont de

parametrii geometrici și de material (Fig.6 și Tabel 1). Se vor introduce capturi de ecran cu pașii
de simulare și rezultatele simulării privind deplasarea și tensiunile Von Mises la ΔT=100℃
Tabel 1
Tip U Tip Z
Lungimea brațului cald Grinda lungă
Lh=240 μm L=88 μm
Lungimea brațului rece Grinda scurtă
Lc=200 μm l=20 μm
Lățime braț cald, element flexibil, interstițiu, grosime Grosime
wh=wf=g=h=2 μm h=2 μm
Lățime braț rece Lățimea grinzilor
wc=16 μm w=2.5 μm
Proprietățile siliciului policristalin utilizați în simulare
Modul Young E [GPa] 160
Coef.dilatare termică α [℃-1] 2,6·10-6
Coef.Poisson ν [-] 0,28
2. Se vor trasa graficele deplasărilor în funcție de variația temperaturii în structură în intervalul
100℃ - 200℃ (se vor face simulări din 20 în 20℃).
 Deformare maxima in functie de temperatura
0.45

0.4

0.35
Deformare [microni]

0.3

0.25

0.2

0.15

0.1

0.05

0
0 20 40 60 80 100 120

ΔT [°C]

3. Se va studia influența parametrilor geometrici asupra rezultatelor deplasării microactuatoarelor

la ΔT=100℃ completând rezultatele deplasărilor pentru diferiți parametri geometrici (lungimea
brațului cald și interstițiu pentru microactuaorul U și lungimile grinzilor pentru microactuatorul
Z) în tabelele de mai jos. Ceilalți parametri geometrici vor rămâne conform tabelului 1. Se vor
trasa grafice pe baza rezultatelor obținute.
Microactuator de tip U Lh=220 µm Lh=240 µm Lh=260 µm
g=2 µm
g=4 µm
g=6 µm

Microactuator de tip Z L=88 µm Lh=94 µm Lh=100 µm

l=16 µm 0.249364 0.266541 0.284374
l=20 µm 0.200520 0.214234 0.228493
l=24 µm 0.168133 0.179517 0.191404
 Tabel

0.3
Deformare [microni]

0.25

Lungime grinda mica [microni]

0.2
0.15
0.1 l=24 µm
0.05
0 l=20 µm

L=88 µm
Lh=94 µm l=16 µm
Lh=100 µm

Lungime grinda mare [microni]

l=16 µm l=20 µm l=24 µm

4. Concluzii
Modificarea grindei scurte cu 6 microni a grindei scurte are un efect mai puternic asupra
deplasarii decat modificarea grindei lungi cu 6 microni.

De asemenea caracteristica deplasare-deltaT este liniara.