UNIVERSITATEA DIN CRAIOVA

FCAULTATEA DE INGINERIE ELECTRICĂ

SPECIALIZAREA: SISTEME COMPLEXE DE
INGINERIE AEROSPATIALA

Senzori și Traductoare miniaturizate

pentru Aplicații Aerospațiale

PROIECT

Dezvoltarea tehnologiei girometrelor

ÎNDRUMATOR STUDENT:
S.l.dr.ing. Negrea Petre Stamin Gabriel-Eugen
SCIA-9503

1
CAPITOLUL 1
Introducere ………………………………….…………………………..….3
CAPITOLUL 2
Dezvoltarea tehnologiei girometrelor
2.1. Girometre bazate pe efectul Coriolis ...................................................4
2.2. Girometre cu vibrații ………………………………………………...4
2.3. Girometru cardanic ………………………………………………......4
2.4 Girometru cu inel vibrant ……………………………………………..7
2.5 Girometru multiaxial ………………..…....………..………………....9

2.6 Girometru cu diapazon ………………………………………....….....11

Concluzii………………………………………………………………….13

Bibliografie…………………………………………………………….….15

2
 Capitolul 1

Introducere

Un girometru care poate măsura viteza unghiulară este un dispozitiv care combină
tehnologia giroscopului cu tehnologia MEMS. MEMS (MicroElectroMechanical Systems)
este o tehnologie de proces utilizată pentru a crea mici dispozitive integrate sau sisteme care
combină componente mecanice și electrice. Dimensiunea fizică a unui MEMS poate varia de
la câțiva milimetri la mai puțin de un micrometru. Aceste dispozitive (sau sisteme) au
capacitatea de a detecta, controla și acționa la scară micro, generând efecte la scară macro.

Volumul giroscoapelor timpurii este în general mai mare, astfel, pot fi numite
giroscoape macroscopice. De exemplu, giroscoapele cu bile electrostatice și cele cu inele laser
sunt giroscoape macroscopice. Cu toate acestea, la volume mai mari se obține îmbunătățirea
sensibilității. În ultimele trei decenii de la apariția girometrelor cu vibrații cu siliciu,
tehnologia a avansat, astfel, girometrele miniaturizate prezintă avantajele costului scăzut, și a
consumului de energie scăzut (low-cost, low-power).

Girometrele pot fi utilizate în aplicații auto, precum sistemele anti-răsturnare, controlul

antiderapant și controlul electronic al stabilității. Aplicații comune pentru utilizatorii finali ar
fi stabilizatorul camerei, sau al telefonului mobil, realitate virtuală, mouse inerțial și navigare
pentru electronice portabile. Mai mult, sistemele de control al atitudinii care includ senzori
inerțiali pot fi folosite și în aplicații de robotică. În plus, girometrele, au o gamă largă de
aplicații militare în navigația și controlul rachetelor, în aeronautică și astronautică, la
platforme stabile, GPS și așa mai departe.

Diferitele tipuri de girometre au precizii diferite, corespunzătoare aplicațiilor în diferite

domenii. În zilele noastre, majoritatea girometrelor cu un nivel de performanță scăzut sunt
utilizate în principal în industria automobilelor și a electronicelor de larg consum. Girometrul
cu fibră optică și cel electrostatic oferă cea mai înaltă precizie la momentul actual. Girometrele
laser cu inel au demonstrat performanțe de calitate inerțială, față de cele cu fibră optică, care
sunt utilizate în principal în aplicații de nivel tactic.

Cu toate acestea, aplicațiile acestor girometre de înaltă performanță sunt limitate,

deoarece sunt prea scumpe și voluminoase. Cum cerințele de înaltă performanță sunt crescute,
piețele girometrelor bazate pe noi principii și materialele, prezintă o creștere uluitoare.

3
 Capitolul 2

Dezvoltarea tehnologiei girometrelor

2.1. Girometre bazate pe efectul Coriolis.

În continuare sunt prezentate câteva modele mecanice tipice ale girometrelor bazate pe
efectul Coriolis. Masa seismică m este susținută de două arcuri. Să presupunem că axa X este
direcția de mișcare a vehiculului, Y este direcția de detectare și

x = Ax cos⁡(ωx t), (2.1)

unde Ax este amplitudinea și ωx este viteza unghiulară de acționare

Când există o rotație unghiulară de intrare în jurul axei Z, aceasta va determina

accelerarea Coriolis de-a lungul axei de detectare Y:

ay = 2Ω⁡x⁡υ = −2ΩAx ωx sinωx t, (2.2)

Putem crește deplasarea de-a lungul axei Y pentru a detecta viteza unghiulară
convenabilă. Prin calcul, când ωx = ωy , amplitudinea de-a lungul lui Y atinge valoarea
maximă,în timp ce lățimea de bandă atinge valoarea minimă. În general, ar trebui să corelăm
modul de acționare și detectarea astfel încât să obținem optimizarea sensibilității și a lățimii
de bandă.

2.2 Girometre cu vibrații

Principiul de funcționare ale acestei categorii de girometre are la bază tendința unei
coarde elastice, care vibrează într-un plan, să-și păstreze planul de vibrație chiar dacă suportul
său, și chiar coarda, se rotesc cu o anumită viteză unghiulară.

2.3 Girometru cardanic

În 1991, laboratoarele Charles Stark Draper au dezvoltat pentru prima dată un giroscop
cardanic biaxial, cu elementul mecanic vibrator fabricat din silicon p++ (fig.1).

4
 Fig. 1 - Girometru biaxial cu silicon (lab. Draper)

Cardanul exterior este condus la o amplitudine constantă prin cuplu electrostatic

folosind electrozii de acționare, iar această oscilație este transferată la cardanul interior de-a
lungul axei rigide interioare. Când este expus la o rotație normală la planul dispozitivului,
forța Coriolis provoacă o oscilație a cardanului interior la o frecvență egală cu unitatea
frecvenței de acționare. Prin urmare, rezoluția maximă se obține atunci când cardanul exterior
este adus la frecvența de rezonanță a cardanului interior. Într-o aplicație practică, dispozitivul
este operat cu o buclă închisă și cardanul interior este reechilibrat în fază nulă. Datele inițiale
ale testului au arătat o rată limitată de zgomot cu capacitate de detectare de 4°/s la o lățime de
bandă de 1 Hz.

Alper & colab., în 2000, la Universitatea Tehnică din Orientul Mijlociu, au dezvoltat un
girometru planar cu dublu cardan bazat pe o suprafață de polisilicon microprocesat triplustrat.
Cu toate acestea, grosimea stratului și problema flambării sunt două dificultăți întâmpinate.
Așa cum se observă în figura 2, structura oferă valori mari ale capacității de acționare și
detectare, permițând excitația cu un nivel practic de tensiune, ceea ce duce la creșterea
sensibilității la viteza unghiulară. În plus, permite controlul electrostatic al frecvențelor de
rezonanță și a modurilor de acționare și detecție. Când cardanul exterior este excitat pentru a
vibra torsional și se aplică o viteză de rotație în jurul unei axe verticale față de substrat,
cardanul interior vibrează torsional. Structurile fabricate au fost testate și la frecvența de
4,65% pentru aceste două moduri, circuitul de citire poate detecta modificări ale capacitanței
mai mici de 0,1fF și o sensibilitate de 45mV/fF.

5
 Fig. 2 - Girometru planar cu dublu cardan (Universitatea Tehnică din Orientul Mijlociu)

Cercetătorul japonez Kazusuke de la Universitatea Hyogo, în 2005 a dezvoltat un

girometru cu dublu cardan. Diferența față de cele două de mai sus este, că dispozitivul are
cardanele interioare și exterioare cu spirale independente (spirale interioare și exterioare), iar
cardanele sunt susținute perpendicular pe bare torsionate, așa cum se observă în figura 3.

Fig. 3 - Girometru cu dublu cardan (Universitatea Hyogo)

În câmpul magnetic paralel, vibrația de referință a cardanului interior este introdusă de

forța electromagnetică din bobina interioară și deplasarea cardanului exterior de către forța
Coriolis este detectată de forța electromotivă la bobina exterioară. Direcția câmpului magnetic

6
aplicat este înclinată cu 45° față de barele torsionate. Rezultatele experimentale arată că forța
electromotivă (EMF) la bobina exterioară este 0,87mVrad−1s−1, concordând bine cu valoarea
teoretică. Neliniaritatea este mai mică de 1% pentru o viteză unghiulară aplicată de peste
±360°/s. Zgomotul echivalent este de 0,004°/s la 1 kHz.

Tabelul 3 arată comparativ caracteristicile celor 3 girometre.

Tabelul 3 - Comparația celor 3 girometre

axa de
autor an dimensiuni tehnologie material
detecție
Draper 1991 350μm x 500μm volum microprocesat Z silicon
Alper 2000 900μm x 550μm suprafață microprocesată Z silicon
SOI
Kazusuke 2005 10mm x 10mm x 10mm volum microprocesat Z (silicon on
insulator)

2.4 Girometru cu inel vibrant

General Motors și Universitatea din Michigan au dezvoltat girometrul cu inel vibrant

așa cum arată figura 5, care este compus dintr-un inel, opt arcuri semicirculare de suport și
electrozi de acționare, detecție și control. Inelul vibrează electrostatic cu o amplitudine fixă.
Când dispozitivul este supus rotației în jurul axei sale normale, forța Coriolis face ca energia
să fie transferată de la modul primar la flexiunea secundară, situată la 45° de modul principal,
astfel încât amplitudinea să se acumuleze proporțional în ultimul mod care este monitorizat
capacitiv.

Fig. 5 - Girometru cu inel vibrant

7
 La prima versiune a girometrului inelar, în 1994, tehnologia utilizată pentru acest
dispozitiv a prezentat mai multe dezavantaje ale performanței îmbunătățite a dispozitivului,
cum ar fi:

o este realizabilă numai o distanță mare, între inel și electrod, prin procedeul
convențional de galvanizare, prin care rezultă o capacitanță mică a senzorului; deși
acest lucru ar putea fi depășit prin tehnologii mai sofisticate, costurile sunt foarte
ridicate;
o coeficientul dilatării termice a substratului de siliciu este diferit de al elementului
senzor realizat din nichel, prin urmare, la variații ale temperaturii, inelul se dilată
(sau se contractă) mai mult decât electrozii, care sunt atașați la substrat, provocând
modificarea distanței dintre inel și electrod, și, ca rezultat, apare o sensibilitate
crescută a temperaturii de compensare și a factorului de scală;
o proprietățile materiale mai slabe ale nichelului au ca rezultat un potențial mai mare
de fluaj, oboseală și derivă pe termen lung.

Pentru a îmbunătăți în continuare performanțele, în 2001, cercetătorii Universității din

Michigan au dezvoltat un girometru cu inel din polisilicon (PRG) fabricat dintr-o singură
placă de silicon - HARPSS (High Aspect-Ratio Combined Poly and Single-Cristal Silicon)
(fig.6).

Fig. 6 - Girometrul cu inel vibrant HARPSS

Această tehnologie oferă câteva caracteristici importante:

o structura inelului din polisilicon și electrozii din jur sunt mai groase;

8
 o distanța dintre inel și electrodul senzor poate fi redusă la nivelul submicronului;
acești doi factori cresc semnificativ capacitanța senzorului și, prin urmare, semnalul
de ieșire al dispozitivului va fi amplificat;
o materialul structural din polisilicon are o orientare independentă a modulului
Young;
o stabilitate și sensibilitate la temperatură îmbunătățite pe termen lung: A fost
măsurată în vid, într-un interval dinamic de ±250°/s, o sensibilitate în buclă
deschisă de 200μV/°/s. Pentru un PRG cu o sarcină Q de 1200, o amplitudine de
acționare de 0,15μm și capacitanțe parazite ale nodului de senzori de 2pF a fost
măsurată o rezoluție mai mică de 1°/s în lățimea de bandă de 1Hz, limitată de
zgomotul din circuit. Prin eliminarea capacitanței parazite și îmbunătățirea
factorului de calitate a structurii inelului se poate reduce rezoluția la 0,01°/s/ √Hz.

Pentru a îmbunătăți în continuare performanțele unui girometru cu inel, astfel încât să

se poată obține o rezoluție de 1-10°/h, este necesară mărirea masei seismice și a capacitanței
senzorului. În 2002, Universitatea din Michigan a produs un girometru cu inel de înaltă
performanță cu monocristal din siliciu (SCS). Siliconul DRIE (Deep Reactive Ion Etching)
este folosit pentru a oferi structuri cu un nivel ridicat al raportului vitezei unghiulare și
sporirea capacitanței senzorului și a masei vibratoare. Siliciul este lipit pe un substrat suport
din sticlă (SOG - Silicon On Glass), care minimizează capacitanța parazită pentru a îmbunătăți
sensibilitatea. Girometrul a prezentat următoarele performanțe măsurate: o neliniaritate bună
(0,02%), sensibilitate mare (132 mV/°/s), zgomot la ieșire (10,4°/h/dHz) și o rezoluție ridicată
(7,2°/h), cu un bias maxim mai mic de ±1°/s în 10h fără control termic.

2.5 Girometru multiaxial

Marea majoritate a cercetărilor s-au concentrat pe girometre cu o singură axă de intrare.

Girometrele duale sau cu axe multiple la intrare au avantajul costurilor reduse și a eficienței
sporite.

UC Berkeley a prezentat un girometru bazat pe o roată vibrantă cu două axe de intrare,

fabricat prin tehnologia suprafeței microprocesate.

Un disc de polisiliciu gros de 2μm cu o rază de 150μm servește ca rotor inerțial. Așa
cum se observă în figura 7, rotorul inerțial este suspendat la 1,6μm deasupra substratului cu
ajutorul a patru raze plasate simetric, ancorate la substrat. Când rotorul inerțial rezonează în
9
jurul axei z, oricare viteză de rotație a substratului în jurul axelor x/y va induce o accelerația
unghiulară Coriolis în jurul acestora. Acest dispozitiv, integrat cu electronice, a obținut o
derivă aleatorie mai mică de 10°/⁡√h, cu o sensibilitate la axa transversală variind de la 3% la
16% în timpul funcționării în buclă deschisă. Rezoluția poate fi îmbunătățită până la 2°/⁡√h
prin potrivirea frecvenței, dar astfel rezultă o sensibilitate excesivă la axa transversală.

Fig. 7 - Girometrul biaxial Berkley

Samsung a dezvoltat, de asemenea, un girometru biaxial, cu un strat de polisilicon de

7μm depus din LPCVD (Low-Stress Silicon Nitride LPCVD) prezentat în figura 8.

10
 Fig. 8 - Girometrul biaxial Samsung

Girometrul se bazează pe vibrația unghiulară a patru plăci cu detectarea vitezei în buclă

închisă. Experimentul a dus la un semnal de zgomot echivalent de 0,1°/s. Un alt girometru
biaxial a fost fabricat prin depunere de nichel și nichelare pe suport de sticlă. Din rezultatele
testării, sensibilitatea obținută, de detectare a vitezei unghiulare, a fost de 0,1mV/°/s.

Un senzor de mișcare pe mai multe axe este necesar pentru minimalizarea dimensiunilor
și a costurilor sistemului. Astfel, WACOH corporation a reușit să măsoare independent
mișcarea pe 5 axe cu o unitate de cip senzor, care este realizată din siliciu prin tehnologia
volumului microprocesat. Mișcarea pe 5 axe este compusă din accelerări pe 3 axe și viteze
unghiulare pe 2 axe. Acest senzor de mișcare pe 5 axe este format din straturi de sticlă-siliciu-
siliciu-sticlă. Testul arată că sensibilitățile obținute la vitezele unghiulară pe axele x,y au fost
de 6,8mV/°/s și respectiv 7mV/°/s. Sensibilitatea axei transversale a Ωx față de Ωy este mai
mică de 3%. Sensibilitatea axei transversale a Ωz față de Ωx și Ωy este aproape 0%. Deoarece
acest senzor are unele dificultăți în ceea ce privește etanșarea și îmbunătățirea preciziei, se
încearcă dezvoltarea unui nou senzor de mișcare pe 5 axe, fabricat din SOI (Silicon On
Insulator) cu volum microprocesat. Cipul senzorului este minimizat la 5×5×1,7mm3. Prin
utilizarea unei acțiunări electrostatice rezonante la 3,42kHz și modul de detectare capacitivă
fără rezonanță, sensibilitățile Ωx și Ωy au fost de 6,61mV/°/s și respectiv 12,1mV/°/s.
Sensibilitatea axei transversale este mai mică de 5% și la scară completă neliniaritatea este
mai mică de 3%. În tabelul 5 sunt prezentate caracteristici ale girometrelor multiaxiale.

11
 axa de
autor an axe dimensiuni tehnologie material
detecție
UC
1997 2 rotor: 150μm×2μm suprafață microprocesată X,Y polisilicon
Berckley
Samsung 1998 2 0,9×0,9mm2 suprafață microprocesată X,Y polisilicon
Himeji 1997 2 nichel: 2μm suprafață microprocesată X,Y sticlă/Ni
WACOH 2002 5 8mm×8,4mm×1,4mm volum microprocesat X,Y silicon
WACOH 2006 5 150μm × W5 μm volum microprocesat X,Y SOI/sticlă

2. 6 Girometru cu diapazon

De obicei, girometrele MEMS utilizează o configurație de diapazon în care două mase

sunt conectate printr-un arc, ca în figura 4. Când se aplică o viteză unghiulară, forța Coriolis
acționează fiecare masă în direcție opusă, iar schimbarea rezultată a capacitanței este direct
proporțională cu viteza unghiulară. Cu toate acestea, atunci când se aplică o accelerație liniară,
cele două mase se mișcă în aceeași direcție, fără modificare a capacitanței și, ca urmare, viteza
unghiulară măsurată este zero. Această configurație minimizează sensibilitatea unui giroscop
la accelerația liniară de la șocuri, vibrații și înclinare.

Fig. 9 - Principiul de funcționare al girometrului cu diapazon

12
Concluzii

În zilele noastre, costul girometrelor cu vibrații, bazate pe efectul Coriolis, este din ce
în ce mai mic, datorită dezvoltării tehnologiei de microfabricare. Girometrele vibratoare
micromecanizate au avantaje în termeni de sensibilitate, dimensiuni, greutate și costuri de
fabricație. Cu toate acestea, ele se bazează de obicei pe cuplarea modului de vibrație într-un
mod secundar datorită accelerației Coriolis, astfel că frecvențele rezonante ale unității și
modul de detecție trebuie optimizate. Problemele care se deosebesc în procesul de optimizare
sunt după cum urmează:

o Masa seismică este legată de obicei cu structură suspendată. Pentru a se potrivi cu

modul de acționare și detecție, structura suspendată trebuie proiectată simetric 3D
prin microfabricare care este dificilă și costisitoare.
o Defectele de fabricație au un impact mare asupra performanței datorită structurii
suspendate. Deci, este dificilă garantarea preciziei de proiectare a constantei
mecanice a arcului, și pot apărea erori de cuplare mecanică și de cuadratură.
o Frecvența potrivită între modul de acționare și modul de detectare poate reduce
nu numai lățimea de bandă a răspunsului sistemului, dar poate și spori
sensibilitatea la parametrii sistemului datorită defectelor de fabricație și a
condițiilor de mediu alterate.
o Metoda în buclă închisă, care are nevoie de circuite complexe, prezintă
interferențe cu deriva pe termen lung și este greu de menținut frecvența potrivită.

Printre girometrele prezentate, cele cu cardan, cu diapazon și inel vibrator pot detecta
viteza unghiulară doar pe o singură axă. Dacă trebuie detectate viteze unghiulare pe mai multe
axe, girometrele cu disc vibrant și cu senzori de mișcare pe 5 axe reprezintă cea mai bună
alegere. Girometrele cu decuplare au avantaje inerente, care ajută la îmbunătățirea
performanțelor girometrelor de suspensie cu fascicule, dar pentru performanțe de grad tactic,
costurile cresc considerabil datorită structurilor complexe.

Girometrele de generație nouă vor avea următoarele caracteristici.

o Microstructură, flotantă sau levitată, bazată pe efectul de levitație;

o Mecanisme utilizate în tehnologia de detectare inerțială, cum ar fi girometrul
cu atomi;
o Tehnologie micro-optică, cum ar fi girometrele MOEMS;

13
 o Tehnologie microfluidică, cum ar fi girometrul cu fluid termic;
o Senzori inerțiali de tehnologii necunoscute, precum girometrele SAW și PZT;
o Tehnologie de integrare a structurilor de senzori inerțiali și tranzistori.

Caracteristica comună este evitarea structurilor de suspensie care provoacă erori de

cuplare mecanică și erori de cuadratură.

Cercetările referitoare la miniaturizarea girometrelor vibrante au luat amploare în anii

’80, inițial, cu folosirea cuarțului ca material de bază. În următoarele câteva decenii, odată cu
creșterea dezvoltării cerințelor pieței, consumatorii s-au așteptat la costuri din ce în ce mai
mici și performanțe din ce în ce mai ridicate. Ca rezultat, girometrele au fost îmbunătățite
constant în structură, performanțe și principii de funcționare. Cu toate acestea, rămâne loc
pentru îmbunătățirea performanțelor și micșorarea costurilor pentru comercializarea
ulterioară.

In acestă lucrare, au fost analizate diferite principii, structuri, materiale, fabricații și

tehnologii de control ale girometrelor. Ideile avansate pentru îmbunătățirea performanței, nu
se află doar în procesele de fabricație, în materialele și structurile de proiectare, dar și în noile
principii. Din acest punct de vedere, girometrele cu vibrații, cu decuplare și cele cu levitație
electrostatică demonstrează un viitor promițător. Prin compararea structurilor diferite ale
girometrelor și a modului de operare, girometrul cu atomi prezintă un potențial de performanțe
deosebite în viitorul apropiat.

14
Bibliografie

[1] https://iopscience.iop.org/article/10.1088/0960-1317/19/11/113001

[2] http://www.primetechnologywatch.org.uk

[3] www.elsevier.nlrlocatersna O. Bochobza-Degani et al. “Sensors and Actuators” 83 (2000) 54–60,

1999

[4] www.rta.nato.int “Advances in Navigation Sensors and Integration Technology (Les avancées en
matière de capteurs de navigation et de technologies d'intégration) ”, RTO EDUCATIONAL
NOTES - RTO-EN-SET-064, 2004

[5] https://web.stanford.edu/group/scpnt/pnt/PNT10/presentation_slides/15-PNT_Symposium
_Shkel

[6] Jan Söderkvist, “Micromachined vibrating gyroscopes”, SPIE conference Micromachining and
Microfabrication Austin, TX, USA, October 14-15 1996

[7] R.Lungu, T.L.Grigorie, “Traductoare accelerometrice și girometrice”, Editura Sitech Craiova,

2005.

[8] www.vectornav.com/docs/default-source/resources/inertial-systems-primervector nav-library

15