Echipamente pentru producerea și măsurarea vidului înalt

Aplicaţia 8

ECHIPAMENTE DE PRODUCERE ȘI
MĂSURARE A VIDULUI ÎNALT

8.1 Tehnici de producerea a vidului

Tehnica vidului este utilizată în multe domenii, cum ar fi: fabricaţia
surselor electrice de lumină, a termometrelor, a recipienţilor cu pierderi termice
reduse, realizarea unor procese în cuptoare electrice (cu arc electric, cu
inducţie, cu rezistenţă, cu fascicul de electroni, cu ioni), la rafinarea metalelor, la
sudări de mare precizie, în producţia componentelor electronice, în producţia
unor aparate de măsură, în ambalarea pentru conservare a unor produse, la
depunerea de straturi subţiri, la obținerea laserilor cu gaz, etc.
Principalele avantaje ale desfăşurării unor procese în vid sunt:
 posibilitatea încălzirii materialelor fără oxidare şi a elaborării
aliajelor refractare ori active chimic;
 evitarea incluziunilor gazoase sau cu oxizi, eliminarea porozităţilor,
obţinerea decarburării sau eliminarea altor adaosuri dăunătoare
din metalele prelucrate prin topire;
 îmbunătăţirea calităţii prin prelucrarea la temperaturi mai mici a
materialelor care se pot deprecia la temperatură ridicată, de
exemplu efectuarea unor tratamente sub punctul de topire al
materialului;
 realizarea de economii în exploatare, în comparaţie cu instalaţiile
cu atmosferă controlată;
 creşterea calităţii prin modificarea principiilor de lucru (utilizând
bombardamentul cu electroni sau ioni, depunerea peliculelor
subţiri, implantare ionică, etc.).
Vidul se obţine şi se menţine cu ajutorul unor sisteme de vid, care
cuprind pompe de vid şi aparate de măsură a vidului, cuplate prin racorduri şi
ventile la incinta de lucru, izolată faţă de mediul ambiant.
Sistemul de vid cel mai întâlnit are elementele principale legate în serie,
ca în figura 8.1. Înserierea a două sau a mai multor pompe de vid este impusă
de domeniul limitat de presiuni, în care lucrează fiecare pompă.
Cele mai bune condiţii de vidare pot fi obţinute introducând incinta unui
sistem de vid în interiorul incintei altui sistem de vid (cămaşă de vid), gazele din
fiecare sistem fiind eliminate prin propriul sistem de pompare.
Semnificaţia notaţiilor din figura 8.1 este următoarea: 1 – incinta de lucru,
2 – robinet micrometric, 3 – admisie gaz de spălare sau de lucru, 4 - capcană
criogenică, 5, 9 – vacuummetre de vid redus, 6 – vacuummetru de vid înalt,
10 – pompă de vid preliminar, 7 - pompă de vid înalt, 8 – vas tampon, 11 –
record evacuare gaz, 12 – aerisire, 13 – vană pompă vid înalt, 14 – vană vas
tampon, 15 – vană bypass, 16 – robinet aerisire.

Autor: Dr.ing.Georgel PAICU 1

 Echipamente pentru producerea și măsurarea vidului înalt

1 LB 15

5 6 12 9
8 10
4 7
16 11
3
13 14
2
Fig. 8.1 Sistem de vid
Iniţial, după închiderea robinetului de aerisire (16), funcţionează numai
pompa de vid preliminar, cu vana 15 deschisă. Pompa de vid înalt este oprită şi
-3
separată prin vanele 13 și 14. La atingerea presiunii limită, de ordinul 10 torr,
se înseriază pe traseul de vidare pompa de vid înalt, prin deschiderea vanelor
13 , 14 şi închiderea vanei 15.
-6
Se obţin presiuni de ordinul a 10 torr. Pentru vid mai înaintat se folosesc
mai multe etaje de pompe de vid înalt. Îndepărtarea urmelor de gaz din incinta
1 se face prin introducerea progresivă a unui gaz de spălare prin racordul 3 și
deschiderea robinetului 2. Gazul de spălare poate fi un gaz inert de lucru
(argon).
Capcana criogenică reprezintă o incintă cu pereţi răciţi cu azot lichid,
interpusă pe traseul de vidare. Vaporii de gaz din incintă sau de ulei (scăpaţi de
la pompe) se condensează pe pereţii capcanei criogenice.
Linia de bypass - LB dintre volumul vidat şi zona vidului preliminar
permite vidarea incintei, de la presiunea atmosferică şi până la nivelul vidului
preliminar, la fiecare început de ciclu, fără a opri pompa de vid înalt în perioada
de schimbare a şarjei şi fără a trece aerul atmosferic prin acesta.
2
Notă: Unitatea de măsură pentru presiune este Pascalul (1 Pa = 1 N/m ),
dar pentru vid se folosesc unităţile practice: torrul şi milibarul, cu echivalenţa:
1 torr = 1,33 mbar = 133 Pa.
8.2 Pompe de vid preliminar
-3
Vidulul preliminar (între 760 torr și 10 torr) este realizat de o pompă
volumetrică. Pentru evacuarea gazului din incinta de lucru, pompa izolează în
camera sa de lucru un anumit volum de gaz, îl deplasează de la racordul de
intrare la cel de evacuare şi în acelaşi timp îl comprimă la o presiune superioară
celei din secţiunea de evacuare, după care îl elimină în afara sistemului de vid.
Ciclul este reluat de câteva zeci de ori pe secundă.
După mişcarea pe care o realizează elementul mobil al pompei
deosebim:
- pompe cu mişcare periodică de translaţie (pompe cu piston, cu picături
de mercur);
- pompe rotative (cu roţi dinţate, cu palete, birotor, etc.).
Funcţionarea unei pompe volumetrice se explică cel mai bine la pompa
cu piston, schematizată în figura 8.2. Ridicarea pistonului în cilindru produce o
diferenţă între presiunile de pe cele două feţe ale acestuia, închizând supapa
de refulare s2, ca şi între presiunile dintre volumul vidat şi cilindru, deschizând
supapa s1. În această fază, volumul de lucru creşte de la valoarea Vmin  0

Autor: Dr.ing.Georgel PAICU 2

 Echipamente pentru producerea și măsurarea vidului înalt

până la valoarea finală Vmax.

Conform legii Boyle-Mariotte, în volumul vidat V0, presiunea scade de la
valoarea iniţială p0 la valoarea p1, conform relaţiei:
p0 V0  p1  (V0  Vmax ) (8.1)
Coborârea pistonului inversează diferenţa
dintre presiunile din cilindru şi volumul vidat,
determinând închiderea supapei de aspiraţie s1,
iar după ce creşte suficient presiunea în cilindru,
V0
are loc deschiderea supapei s2 şi evacuarea
gazului în atmosferă.
Vmax

s2
După n cicluri presiunea în volumul vidat
devine, teoretic, egală cu:
s1
p0
Vmin

pn  n
(8.2)
 Vmax 
1  
Fig. 8.2 Principiul pompei cu piston
 V0 
Practic, acestă presiune nu tinde la zero, din mai multe motive: etanşarea
între cilindru şi piston (realizată cu peliculă de ulei) nu este perfectă;
imposibilitatea de a elimina volumul dăunător Vmin. Presiunea minimă în cilindru,
corespunzătoare pistonului ridicat, nu poate coborî sub valoarea:
V
pmin  min 760 [torr] (8.3)
Vmax
Întrucât supapa de aspiraţie s1 se deschide numai când pn > pmin, se
poate considera că pmin este presiunea limită atinsă de pompă, în absenţa altor
factori care înrăutăţesc vidul, cum ar fi: degajarea vaporilor de ulei datorită unei
presiuni de vapori ridicate, pătrunderea aerului prin neetanşeităţi, etc.
3
Viteza de acţiune (în m /s) a pompei cu piston depinde de numărul de
cicluri n1 efectuate de piston într-o secundă şi de volumul Vmax, fiind
descrescătoare în timp.
În figura 8.3 este dată construcţia pompei cu palete glisante rotorice.
Rotorul 8 este plasat excentric (cu
1 excentricitatea e) în interiorul carcasei
2 6 statorice 7. Paletele 9 sunt introduse în
lăcaşuri rotorice, presând pe suprafaţa
3
7 interioară statorică, prin forţa elastică a
8 resoartelor 5.
4 Se creează trei volume variabile în
9
timp delimitate de rotor, palete şi alezajul
e
10
statoric. Gazul intră în pompă prin racordul
5
6 în volumul crescător, atinge volumul
maxim în zona 10 şi este transportat spre
zona de volum descrescător spre racordul
de evacuare 1 prevăzut cu supapa 3.
Camera de pompare este plasată
într-un bazin de ulei 4, cu linia de
Fig.8.3 Pompa cu palete rotorice nivel 2, ceea ce asigură o bună etanşare şi
. -3
permite obţinerea presiunii limită de 5 10
torr.

Autor: Dr.ing.Georgel PAICU 3

 Echipamente pentru producerea și măsurarea vidului înalt

8.3 Pompe de difuzie

Pompele de difuzie sunt pompe de vid înalt. La aceste pompe un fluid de
lucru, lichid sau vapori, se deplasează într-un tub de secţiune variabilă. În zona
unde secţiunea tubului scade (figura 8.4), viteza fluidului creşte iar presiunea
statică scade, conform ecuaţiei Bernoulli:
1 1
p1    v12  p2    v 22  ct (8.4)
2 2
v1 v2 Dacă volumul vidat este racordat la
secţiunea tubului cu presiune redusă, fluidul va
aspira, în această zonă, gazul cu presiune mai
p mare şi prin frecare internă îl va antrena în
direcţia sa de deplasare.
p2 În figura 8.5 este reprezentată construcţia
p1 x simplificată a pompei de difuzie. Prin racordul 4
se stabileşte legătura cu incinta de lucru.
Fig 8.4 Variaţia presiunii în lungul Uleiul 7 din baie este încălzit la evaporare
tubului cu secţiune variabilă
cu ajutorul încălzitorului (reșoului) 8 - montat la
partea inferioară a pompei. Vaporii se ridică prin
colectorul coaxial şi prin impactul cu capacul din partea superioară sunt
evacuaţi prin ajutajele inelare 1, în spaţiul vidat al pompei, cu o viteză
supersonică. Forma şi poziţia ajutajelor asigură dirijarea vaporilor spre peretele
5, răcit de la serpentina 2, parcursă de apă.
Particulele cu dimensiuni mult mai mari
ale jetului de vapori ciocnesc particulele de gaz, 4
transmiţându-le impulsul şi le imprima o viteză
direcţionată în acelaşi sens. Moleculele de gaz, 5
1
ce difuzează în vapori, sunt antrenate spre
partea inferioară a pompei, unde sunt colectate
6
de tubul de evacuare. De aici, ejectorul 6 le
elimină spre pompa de vid preliminar. 2
La rândul său, uleiul condensat pe
peretele răcit se scurge în baia de ulei, de unde
este reintrodus în circuit. În majoritatea 7
cazurilor se utilizează uleiuri cu presiune de 3
8
vapori scăzută (de exemplu: uleiuri siliconice).
Pompa de difuziune evacuează gazele Fig.8.5 Pompa de difuzie
uşoare cu viteză mai mare decât pe cele grele.
Creşterea puterii furnizate evaporatorului va duce la creşterea vitezei de
acţiune şi la scăderea presiunii limită.
-6 -9
Se obţin presiuni limită de 10 …10 torr, funcţie de tipul constructiv,
precizia execuţiei şi natura materialelor folosite. Presiunea maximă la ieşire
trebuie să fie sub 1 torr, deoarece pompele de difuzie nu pot refula gazul direct
în atmosferă.
8.4 Pompe criogenice
Aceste pompe sunt pompe cu condensare, căci gazele condensează pe
o suprafaţă răcită la o temperatură inferioară punctului lor de fierbere.
-6
Realizând o vidare prealabilă la 10 torr, pentru a elimina componentele

Autor: Dr.ing.Georgel PAICU 4

 Echipamente pentru producerea și măsurarea vidului înalt

principale atmosferice (N2, O2, Ar, CO2) se foloseşte o pompă cu hidrogen lichid
-10
(figura 8.6), care poate coborî presiunea în incinta vidată până la 10 torr.
Pompa comunică prin racordul 3 cu incinta H2
vidată. Condensorul 4 este umplut cu hidrogen N2
o
lichid la temperatura 20,4 K. Mărirea vitezei de
1
acţiune a pompei se face prin răcirea prealabilă a
gazelor pompate la temperatura azotului lichid
o 2
(77 K). În acest scop, un ecran de cupru – 2, răcit
la temperatura azotului lichid stocat în vasul Dewar
1, asigură condensarea substanţelor uşor 3
lichefiabile (apă, vapori metalici). În acelaşi
timp, ecranul din cupru serveşte drept ecran
termic suprafeţei sferice (din cupru) a 4
condensorului cu hidrogen lichid, reducând
Fig. 8.6 Pompă criogenică
consumul acestuia.
o
Dacă în loc de hidrogen lichid se foloseşte heliu lichid, la 2,8 K, se
. -12
elimină şi conţinutul de H2 din volumul vidat în care presiunea scade la 2 10
torr.
8.5 Metode de măsurare a vidului
Construcţia manometrelor pentru vid (vacuummetrelor) depinde de
domeniul de măsurare impus de instalaţia pe care sunt folosite.
Vacuummetrele mecanice se bazează pe deformarea unui element
elastic vidat (burduf, tub Bourdon) - deformare dependentă cu diferenţa dintre
presiunea internă şi cea a mediului de măsură. Indicaţia este amplificată
mecanic. Domeniul de măsură este cuprins între 100…1 torr.
Vacuummetrele cu fluid sunt tuburi din sticlă în formă de U, umplute cu
mercur sau ulei de vid, pe care se citeşte diferenţa dintre nivelele coloanelor de
pe braţul etanş şi cel racordat la incinta vidată.
-3
Domeniul de măsură este cuprins între 1…10 torr.
Vacuummetrele termoelectrice (jojele termice) se bazează pe variaţia
pierderilor de căldură prin convecţie la modificarea presiunii gazului.
În mediul vidat este introdus un corp încălzit prin efect Joule-Lenz.
Bilanţul termic se exprimă prin:
QJ  R  I 2  t  Qa  Qr  Qc (8.5)
unde Qr şi Qc reprezintă pierderile de căldură prin radiaţie şi convecţie, iar
Qa  m  c  (2  1) (8.6)
reprezintă căldura acumulată în corpul de masă m şi căldură specifică c.
Creşterea vidului determină scăderea pierderilor termice prin convecţie,
care depind de densitatea gazului, crescând energia termică acumulată în
masa corpului şi temperatura acestuia  2 .
Pierderile Qc pot fi proporţionale cu temperatura corpului dacă curentul
electric I este menţinut constant sau devin proporţionale cu curentul I dacă
temperatura corpului se menţine constantă (în acest caz R, Qr şi Qa nu se
modifică).
Funcţie de cele două situaţii, există două variante de bază:

Autor: Dr.ing.Georgel PAICU 5

 Echipamente pentru producerea și măsurarea vidului înalt

Vacuummetru cu termocuplu (figura 8.7) are un filament F parcurs de un

curent constant (120…160 mA), care încălzeşte sudura caldă a unui termocuplu
T.
Variaţia presiunii în incinta C (pusă în legătură cu volumul vidat) modifică
succesiv: pierderile prin convecţie, temperatura termocuplului şi tensiunea
termoelectromotoare a acestuia. C
Construcţia este simplă, robustă, domeniul de
-4
măsurare între 1…10 torr, iar precizia este satisfăcătoare. I F

Vacuummetrul cu rezistenţă (joja tip Pirani).

Traductorul este de fapt o rezistenţă R, din nichel, a T
cărei rezistivitate variază puternic cu temperatura.
mV
Rezistenţa este introdusă într-un tub de alamă prin treceri
prin sticlă, etanşe la vid. Pe exteriorul tubului este bobinată o
rezistentă, tot din nichel, pentru compensarea variaţiilor Fig 8.7
temperaturii mediului ambiant. Vacuummetru cu
Rezistenţele sunt alimentate în curent continuu sau termocuplu
curent alternativ (3…4 kHz).
Pentru ca variaţiile presiunii în tub, deci a căldurii pierdute prin convecţie
Qc, să nu modifice Qr şi Qa, temperatura rezistenţei este menţinută constantă.
Controlul temperaturii se face prin controlul valorii rezistenţei. La scăderea
presiunii şi la tendinţa creşterii temperaturii şi a valorii rezistenţei, se scade
intensitatea curentului de la valoarea I, la valoarea I1.
Ecuaţiile de bilanţ termic, pentru două valori ale presiunii, sunt:

R  I  t  Qa  Qc  Qr
2
 (8.7)

R  I1  t  Qa  Q'c Qr
2

Prin scăderea ecuaţiilor şi notând Pc  Qc / t , rezultă succesiv:

Qc  Q'c Qc Pc P
I 2  I12     I12  I 2  c (8.8)
R t R t R R
Spre exemplu, la variaţii ale presiunii în domeniul 4…0,01 torr curentul de
încălzire se modifică în gama 52…4 mA pentru temperatura  2 = 220 C.
o

Etalonarea vacuummetrelor termoelectrice se face după natura gazului

din incinta vidată, deoarece coeficientul de convecţie termică depinde de masa
moleculară a gazului.
Vacuummetre de ionizare (joje ionice)
Principiul funcţional constă în ionizarea moleculelor gazului prin
bombardamentul produs de un flux de electroni, iar probabilitatea ionizării
creşte odată cu presiunea din incintă.
Ionii de gaz sunt culeşi pe un electrod colector, polarizat negativ, formând
curentul ionic Ii – proporţional cu presiunea şi curentul electronic Ie:
I i  k  p  Ie (8.9)
Dacă Ie este menţinut constant, curentul ionic poate fi măsurat cu un
instrument gradat direct în unităţi de presiune.
În figura 8.8 este prezentată construcţia jojei ionice de tip Bayard –
Alpert, produsă şi în România.
În balonul de sticlă 1, prevăzut cu soclul de contacte de legătură 5, sunt
montaţi: o pereche de termocatozi 2, un anod 3 şi un electrod colector de ioni 4.

Autor: Dr.ing.Georgel PAICU 6

 Echipamente pentru producerea și măsurarea vidului înalt

Balonul de sticlă, în partea superioară, este în legătură cu volumul vidat.

Termocatodul este un filament din wolfram, acoperit cu strat termoemisiv
din oxid de ytriu. În interiorul balonului există un termocatod în funcţiune şi unul
în rezervă.
În raport cu termocatodul, conectat la la potenţialul
masei, pe anod se aplică un potenţial pozitiv, de ordinul
1 sutelor de volţi, iar pe colectorul de ioni un potenţial negativ,
de ordinul zecilor de volţi. Între catod şi anod se stabileşte
2
curentul termoelectronic Ie, care ionizează moleculele
3 gazului din interiorul balonului.
La presiuni foarte joase, bombardarea anodului poate
4 genera radiaţii X, care determină o emisie fotoelectronică din
colectorul de ioni. Astfel, ia naştere un curent electronic de
5 fond, captat de anod, care se adaugă curentului de
termoemisie al catodului Ie, producând ionizări suplimentare
şi erori de măsurare. Din aceste motiv colectorul de ioni este
redus ca suprafaţă (devine filiform) şi montat în axul
Fig 8.8 Joja ionică tip anodului pentru a fi protejat de perturbaţii.
Bayard-Alpert Presiunea limită de măsurare cu joja ionică atinge
-8
10 torr.
8.6 Desfășurarea aplicației
8.6.1 Se vor examina elementele instalației de vidare din laborator.
Instalația de vid este prezentată în imaginea din Fig 8.9, respectând
schema din figura 8.1, cu aceleași notații.

5
6
1

4 9

16
8
2 14
7

17

20
13

10 18
15
19

Fig. 8.9 Instalația de vid (stânga) și elementele instalației (dreapta)

Aceste elemente sunt: 1 – incinta de lucru, 2 – robinet gaz lucru, 20 – modul

Autor: Dr.ing.Georgel PAICU 7

 Echipamente pentru producerea și măsurarea vidului înalt

de comandă, 15 - vană bypass, 5 – jojă termică 1, 4 - capcană criogenică, 16 -

vană aerisire, 14 – vană vas tampon, 17 – modul de măsură, 13 – vană pompă
difuzie, 10 – pompă de vid preliminar, 19 – releu presiune apă, 6 – jojă ionică,
9 – jojă termică 2, 8 – vas tampon, 7 - pompă de difuzie, 18 – reșou pompă
difuzie.

Ri1

Fig. 8.10. Schema electrică de comandă a sistemului de vid

Autor: Dr.ing.Georgel PAICU 8

 Echipamente pentru producerea și măsurarea vidului înalt

În partea superioară a agregatului se află incinta de vidare, rozetele de

acționare ale vanelor, modul de comandă și vacuummetrul tip VTI 336.
La vacuummetru sunt conectate jojele termice (5) și (9), pentru
măsurarea vidului preliminar, și o jojă de ionizare (6), pentru masurarea vidului
de 10  10 torr.
-3 -6

Vidul preliminar se realizează cu ajutorul pompei cu palete rotorice (10),

3
având debitul de 4 m /h. Vidul înalt se obține cu pompa de difuzie (7) care se
. -3
amorsează la presiunea de 5 10 torr. Funcționarea independentă a pompei de
difuzie în timpul cât pompa de vid preliminar videază incinta de lucru este
asigurată de vasul tampon (8) aflat permanent la o presiune de 10 10 torr.
-1 -2

Prin închiderea/deschiderea corelată a vanelor 13, 14 și 15 se realizează

diferite configuraţii ale circuitului de vidare.
8.6.2 Se va realiza vid înalt în incinta de vidare și se va discuta
funcționarea schemei electrice a modului de comandă
Pentru început se închid toate vanele și se pornește pompa de vid
. -3
preliminar. La atingerea, după câteva minute, a unei presiuni de 5 10 torr se
deschide vana de vidare a vasului tampon, iar după vidarea acestuia se închide
acestă vană. Astfel este vidată și pregătită pompa de difuzie. Se deschide vana
de bypass 15 și se începe vidarea preliminară a incintei.
. -2
La atingerea unui vacuum de 5 10 torr se pornește pompa de vid înalt,
se deschid vanele 13, 14 și se închide vana de bypass 15. Dacă se dorește
obținerea unui vid foarte înalt se va folosi capcana criogenică 4, în care se va
turna azot lichid. Vidare are loc pe traseul: incintă – capcana criogenică -
pompa de difuzie – pompa de vid preliminar – atmosferă.
Schema electrică a modului de comandă este prezentată în figura 8.10.
Pentru alimentarea instalației se închide întrerupatorul I1. Pentru pornirea
pompei de vid preliminar (ce este antrenată de motorul electric asincron trifazat
cu rotorul în scurtcircuit M) se acționează butonul cu revenire automată BP
închizându-se contactul normal-deschis al acestuia. În acest fel se alimentează
bobina contactorului K1, care își închide contactele normal-deschise din circuitul
de alimentare al motorului și contactul normal–deshis montat în paralel cu BP,
cu rol de automenținere, din circuitul de comandă.
Pentru situaţia opririi motorului M, se acționează butonul cu revenire
automată BO, bobina contactorului K1 nu mai este alimentată și se deschid
contactele din circuitul de alimentare al motorului.
Pornirea pompei de difuzie se face prin conectarea la tensiunea de fază
a rețelei a reșoului RE. Deoarece funcționarea pompei este condiționată de
prezența apei în serpentina de răcire, este necesară deschiderea robinetului
care asigură accesul apei de la rețeaua de apă. Releul de control presiune apă
(16) prezintă în schema de comandă două contacte RP1 (normal-închis) și RP2
(normal-deschis).
Pentru încălzirea reșoului RE al pompei de difuzie se acționează butonul
cu automenținere B1. Este alimentată bobina releului intermediar de curent
continuu Ri1 şi se închide contactul normal-deschis Ri1. Înseriat cu reșoul este
contactul K1 normal deschis (pentru a nu permite pornirea pompei de difuzie
dacă pompa de vid preliminar nu funcționează) și primarul transformatorului
ridicător T1, din al cărui secundar se alimentează lampa de semnalizare LS4.

Autor: Dr.ing.Georgel PAICU 9

 Echipamente pentru producerea și măsurarea vidului înalt

Transformatorul T1 are puține spire în primar pentru a reprezenta o cădere de

tensiune neglijabilă pentru RE.
Circuitul de alimentare al reșoului RE se întrerupe imediat dacă
încetează circulația apei de răcire prin serpentina pompei de difuzie. Acest lucru
se realizează prin redeschiderea contactului normal-deschis RP2. (Când circulă
apă prin releul de presiune acest contact este închis.)
Este disponibilă tensiunea de fază pentru alimentarea unui circuit auxiliar
la clemele 13-14 la apăsarea butonului cu automenținere B2, care prin contactul
releului intermediar Ri2 este disponibil nulul rețelei la clema 14.
Prin butonul cu automenținere B3 se activează alarma acustică cu
soneria SB. Această sonerie va fi activă dacă, în timpul vidării incintei, se
oprește pompa de vid preliminar sau pompa de difuzie.
Semnalizarea optică se realizează prin 4 lămpi de semnalizare. Lampa
LS1 semnalizează funcționarea pompei de vid preliminar, lampa LS2
semnalizează poziția ,,oprit” a motorului M, lampa LS3, prin stingerea sa
condiționată de releul de presiune, marchează lipsa apei din circuitul de răcire
al pompei de difuzie, iar lampa LS4 semnalează funcționarea reșoului RE al
pompei de difuziune.
Protecția instalației electrice este asigurată de releul termic RT și
siguranțele fuzibile F1 (20 A) și F2 (10 A).
8.6.3 Se va discuta funcționarea schemei electrice a modului de
măsură VTI 336
Modulul VTI 336 măsoară vacuumul cu o eroare de  30% și
reproductibilitate de maxim 1% în domeniul 3 torr - 10 torr, indicând și
-6

presiunea atmosferică la 760 torr.

Afişarea analogică a rezultatelor măsurătorilor se face printr-un
microampermetru de 100μA şi clasă 1,5, gradat în unităţi de presiune pentru
fiecare tip de jojă:
-3
- 3 torr- 10 torr, pentru măsurătorile efectuate cu jojele termice, cu
indicarea presiunii atmosferice de 760 torr;
-3 -6
- 10 torr - 10 torr, pentru măsurătorile efectuate cu joja ionică.
Măsurarea vidului preliminar
Jojele termice Pirani, cu care este echipat vacuummetrul, utilizează ca
element sensibil (termorezistență) un filament din nichel introdus într-un tub de
alamă etanş la vid prin intermediul unor treceri de sticlă. În plus, pe corpul
tubului este bobinată o rezistenţă din conductor din nichel care are rolul de a
compensa efectul variaţiei temperaturii mediului ambiant.
Schema electronică de măsură pentru una din jojele termice este
prezentată în figura 8.11.
În interiorul jojei este fixat un un circuit imprimat care împreună cu
termorezistenţa RJ şi cu rezistenţa de compensare R4 formează o punte
sensibilă la variaţiile de presiune. Pe circuitul imprimat sunt fixate şi rezistenţele
R1, R2 și R3. Echilibarea iniţială a punţii se realizează (la 760 torr) cu un
potenţiometru de reglare P1 amplasat pe acelaşi circuit imprimat şi care are
legătură cu exteriorul prin intermediul unei decupări în corpul jojei. Deoarece
termorezistenţa din nichel este un element fragil se vor evita şocurile de
presiune în incinta de măsură.

Autor: Dr.ing.Georgel PAICU 10

 Echipamente pentru producerea și măsurarea vidului înalt

Tensiunea de pe diagonala 2-4 a punţii, dependentă de nivelul vidului,

amplificată amplificatorul operaţional (μA741) al blocului ADJT, comandă
tranzistorul final T’1 (în montaj de repetor pe emitor) ce are ca sarcină în
colector diagonala de alimentare 1-3 a punţii şi în emitor o rezistenţă de 10
ohmi (R’8). De pe această rezistență se culege un semnal care, printr-o
însumare adecvată, este adaptat parametrilor instrumentului de măsură IM. În
același timp, blocul ADJT reglează tensiunea de alimentare și curentul prin
punte, în condiția menținerii constante a temperaturii rezistenței traductorului.

Fig. 8.11 Circuitul de alimentare și măsură pentru JT1, semnalizare și protecție pentru JI
Nivelul tensiunii aplicate pe punte comandă blocul corespunzător al
releului electronic tranzistorizat RET. În cazul jojei termice 1, montată în paralel
cu joja ionică, releul electronic tranzistorizat comandă releul electromagnetic de
-3
protecție RJI al jojei ionice când vidul atinge 10 torr și semnalizează prin BP3
(lampa verde) posibilitatea intrării acesteia în funcțiune. În cazul jojei termice 2,
montată în zona pompei de difuzie, releul electronic tranzistorizat semnalizează
-2
prin BP2 (lampa galbenă) atingerea vidului de 510 torr pe aspirația pompei de
vid preliminar și posibilitatea punerii în funcțiune a pompei de difuzie.
Instalația trebuie reglată să indice, la pornire, 760 de torr în atmosfera
normală. Acordarea necesită o funcționare de minim 15 minute a modului de
măsură pentru intrarea în regim termic stabilizat, după care se reglează jojele
termice să indice în aer, la presiune normală, 760 torr.
Măsurarea vidului înalt
Joja ionică JI, de tip Bayard-Alpert (fig.8.8), are un colector axial din fir de
wolfram, o grilă-anod sub forma unei spirale din fir de molibden, dispusă coaxial
cu colectorul și având ambele terminale scoase la soclu, precum și doi catozi
din fir de wolfram (unul este de rezervă).
Alimentarea catodului 2-4 face prin intermediul stabilizatorului de curent
electronic SCE (figura 8.12), care asigură un curent de termoemisie constant de

Autor: Dr.ing.Georgel PAICU 11

 Echipamente pentru producerea și măsurarea vidului înalt

5mA, constituit din electroni accelerați spre grila-anod cu o tensiune de circa

200 V.
Circuitul SCE conține:
a) Circuitul de formare a tensiunii tip dinte de fierăstrău, care este un
circuit de derivare, realizat cu condensatorul C1 și rezistența R3, ce transformă
pulsurile tensiunii redresate în impulsuri dinte de fierăstrău.
b) Amplificatorul diferențial, realizat cu tranzistorii T3 și T4, care compară
tensiunea dinte de fierăstrău cu o tensiune continuă de referință. Tensiunea de
referință este dată circuitul ST, iar rezistența de comparare este R6 (1,8kΩ).
c) Grupul regulator format din T1-D1. În momentele când emisia de
filament scade sub valoarea nominală grupul regulator T1-D1 trece în stare de
blocare, iar când emisia electronică crește peste valoarea nominală grupul
regulator intră în conducție. Curentul mediu de alimentare al filamentului
(curentul de colector al tranzistorului T1) își modifică astfel valoarea încât
emisia termoelectronică să rămână constantă. Dioda D1 se folosește pentru
compensarea curenților reziduali ai tranzistorului.

Fig. 8.12. Circuitele de degazare, încălzire și măsură ale jojei ionice

Curentul de grilă al jojei ionice se aplică prin intermediul sursei de 200V
la intrarea 11 a amplificatorului diferențial realizat cu tranzistoarele T3 și T4.
Deoarece impendanța de intratre a acestui amplificator este cu mult mai mare
decât rezistența de comparare, curentul de grilă al jojei va trece practic numai
prin rezistență.
Căderea de tensiune pe rezistența de comparare, datorată acestui
curent, este de semn contrar cu tensiunea de referință, deci la intrarea 11 a
amplificatorului diferențial se aplică diferența acestor două tensiuni. Circuitul

Autor: Dr.ing.Georgel PAICU 12

 Echipamente pentru producerea și măsurarea vidului înalt

este astfel reglat încât pentru emisia electronică nominală cele două tensiuni să
fie egale. Deci semnalul aplicat intrării 11 a amplificatorului diferențial este zero
la emisie electronică normală și diferit de zero (pozitiv sau negativ) când
curentul de grilă al jojei diferă de valoarea nominală.
Semnalul obținut la ieșirea amplificatorului va fi o tensiune dinte de
fierăstrău suprapusă peste tensiunea continuă a cărei valoare este proprțională
cu semnalul aplicat intrării 11. Acest semnal în bază tranzistorul T2, care, la
rândul său, comandă grupul regulator, momentul intrării în conducție a
tranzistorului T1 fiind determinat de nivelul tensiunii continue.
Pe colectorul jojei ionice este aplicat un potențial negativ de circa 40 V
pentru extragerea ionilor produși prin bombardarea gazului rezidual cu
electroni. Curentul ionic este amplificat în blocul ACI–76 (figura 8.13). Din punct
de vedere funcțional amplificatorul de curent ionic este constituit dintr-un
amplificator de curent continuu (realizat cu tranzistorii T1, T2, T3 și circuitul
integrat μA741) cu performanțe deosebite: amplificare și impendanță de intrare
foarte mari, căruia i se aplică o reacție de curent comutabilă automat în trei
trepte, ceea ce are ca rezultat variația sensibilității amplificatorului de curent
continuu. Impendanța de intrare foarte mare este asigurată de tranzistorii MOS-
FET T1 și T2, montați în etajul de intrare într-un montaj de tip diferențial.
Tensiunea de decalaj a amplificatorului (tensiunea de decalaj constituie
tensiunea de corecție aplicată la intrarea amplificatoruului diferențial pentru a
reduce tensiunea de ieșire la zero) este rezultanta obținută din cumularea
tensiunii de decalaj a amplificatorului diferențial format cu T1 și T2 și a
circuitului integrat. Aceasta se compensează prin intermediul potențiometrului
P5 înseriat cu rezistența R5 care poate fi conectată la +10V sau – 10V funcție
de polaritatea decalajului.

Fig. 8.13. Circuitul de măsurare a curentului ionic

Autor: Dr.ing.Georgel PAICU 13

 Echipamente pentru producerea și măsurarea vidului înalt

Dioda D4 realizează o adaptare între potențialul de ieșire al circuitului

integrat și potențailul de intrare al tranzistorului final T3.
Condensatorii C2 și C3 împiedică tendința de autooscilație a montajului.
Comutatorul electronic este constituit din diodele Zener D2 și D3; atunci
când diferența de potențial între intrare și ieșire depășește un anumit nivel
corespunzător trecerii dintr-o gamă în alta a domeniului de măsură, dioda
respectivă se deschide scurtcircuitând practic rezistența de reacție cu o
rezistență de valoare mai mică de 10 ori, micșorând astfel sensibilitatea
amplificatorului. Rezistențele de reacție sunt R14, R16, R18. Pentru a realiza
coincidența între nivelul de comutatre și indicația de pe instrument se poate
varia punctul de funcționare a diodelor de comutare prin intermediul
potențiometrelor P1, P2 și P3.
Dupa intrarea în funcțiune a pompei de difuzie, aprinderea semnalului
verde indică posibilitatea punerii în funcțiune a jojei ionice. Se acționează
butonul BC5 (JI) și BC2 (D), care închide circuitul de alimentare a grilei-anod ca
rezistor. Prin încalzire, aceasta este degazificată într-un interval de timp ce
depinde de cantitatea impurităților depuse pe grilă (1030 min.). Apoi se
deconectează BC2 (D) și se acționează BC6 (CE), pentru a regla cu
potențiometrul P curentul electronic catod-anod la valoarea 5mA. Reglajul se
reface la fiecare dintre cele trei game de măsurare, după comutarea lor
automată. Decuplând BC6 (CE), se acționează BC5 (JI) și se citește pe
instrumentul de măsurare IM presiunea direct în torr.

Autor: Dr.ing.Georgel PAICU 14