INSTALAII DE VID.

CLASIFICARE
Vidul se realizeaz prin evacuarea majoritii gazului din incinta de vid; gazul care rmne are o densitate sczut i, n consecin, se afl la o presiune joas. Aa cum se va arta ulterior, obinerea vidului nu implic ntotdeauna evacuarea fizic a moleculelor de gaz din incint n atmosfer, fiind suficient, n anumite situaii, s se ndeprteze faza gazoas prin captarea gazului n pereii unei pompe, ca de exemplu la pompele ionice. O pomp i o incint de vid mpreun cu sistemul de conducte de legtur dintre ele i aparatura necesar pentru msurarea presiunilor sczute, constituie o instalaie de vid sau un sistem de vid. Datorit gamei largi de aplicare a presiunilor sczute, este dificil s se fac o clasificare absolut a instalaiilor de vid.

Dup modul de aciune, instalaiile de vid se mpart n dou mari categorii :

-instalaii de vid statice, la care sistemul de pompare este izolat de incint dup ce s-a realizat evacuarea acesteia ; procesul care necesit vid se desfoar n condiii statice; -instalaii de vid dinamice, la care pompele continu s acioneze asupra gazelor reziduale din incint n timpul desfurrii procesului fizic ce are loc n vid, chiar dup ce presiunea de lucru a fost atins. Instalaiile sau sistemele de vid dinamice variaz foarte mult ca dimensiuni, mergnd de la mici dispozitive mobile pn la instalaii permanente, de mare gabarit, folosite la acceleratoarele de particule i la camerele de simulare a spaiului cosmic.

Dup domeniul de presiuni n care acioneaz, sistemele de vid pot fi clasificate

astfel : -pentru vid grosier ; -pentru vid intermediar; -pentru vid mediu; -pentru vid nalt;

-pentru vid ultra-nalt. n funcie de aceast clasificare variaz i tipul, mrimea i numrul de pompe folosite pentru un sistem de vid dat.

Dup posibilitatea de a fi supuse procesului de coacere" n vederea ndeprtrii

gazelor de pe pereii incintei de vid, sistemele de vid mai pot fi difereniate astfel : -instalaii de vid degazabile; -instalaii de vid nedegazabile. Instalaiile degazabile, n care toate componentele precum i garniturile folosite pentru etaneizare trebuie s reziste la temperaturi pn la 450C, sunt evident mai dificil de realizat i sunt mai scumpe.

O clas aparte de instalaii de vid o constituie sistemele de vid curat; n aceste

instalaii procesul de pompare trebuie realizat cu pompe care s nu implice folosirea unor ageni volatili (mercur, uleiuri, etc.) ai cror vapori, ptrunznd n incinta de vid, s contamineze pereii acesteia. Pentru a se obine un vid curat trebuie alese pompe mecanice turbomoleculare, a cror funcionare nu necesit ageni de pompare volatili, n combinaie cu una sau mai multe pompe a cror funcionare se bazeaz pe captarea gazelor reziduale n nsui sistemul de vid, cum ar fi : - suprafee active n sistem care absorb sau condenseaz gazul (pompe de sorbie i criogene); -ageni care reacioneaz chimic cu gazul rezidual i-l ndeprteaz astfel din starea gazoas (pompe getter); -dispozitive n care are loc ionizarea moleculelor de gaz, astfel nct ele pot fi ndeprtate din faza gazoas cu ajutorul unor cmpuri electrice (pompe ionice). Parametrii pompelor de vid

Indiferent de principiul folosit pentru a rarefia gazul dintr-o incint, performanele oricrei pompe de vid pot fi descrise cu ajutorul a patru caracteristici specifice, numite parametrii de baz sau limitele de funcionare ale pompelor de vid :

Presiunea limit, definit ca cea mai sczut presiune ce se poate realiza cu pompa

respectiv. Unele pompe de vid, cum ar fi pompele rotative cu ulei sau pompele de difuzie cu mercur sau ulei, concomitent cu evacuarea gazelor din sistem, introduc vapori provenii de la agentul de pompare. Aceti vapori trebuie s fie n cantiti ct mai mici, astfel nct presiunea lor s fie cu cel puin un ordin de mrime mai mic dect presiunea limit, care se refer numai la gazele reziduale.

Presiunea iniial, definit ca presiunea maxim admisibil n incint pentru ca

pompa s poat funciona n mod normal.Aa cum se va vedea, nu toate pompele pot funciona de la presiunea atmosferic, ci necesit o presiune iniial destul de sczut pentru a se amorsa. Dac unei pompe i se impune s funcioneze la o presiune mai mare dect presiunea iniial pentru care a fost proiectat, presiunea limit nu poate fi atins, iar n unele cazuri ntregul sistem de vid este scos din funciune.

Presiunea de refulare, definit ca presiunea maxim tolerabil la orificiul de evacuare al

pompei pentru ca aceasta s funcioneze n condiii optime. Pompele de vid preliminar pot evacua gazele direct n atmosfer, dar la pompele de difuzie presiunea la gura de evacuare trebuie s fie suficient de sczut pentru ca gazele s poat fi transportate spre exterior. Evident, acest parametru nu se refer i la pompele de sorbie sau ionice la care gazul nu este evacuat spre atmosfer, ci reinut n interiorul sistemului.

Viteza de pompare sau de aciune a pompei, definit anterior ca debitul volumic msurat

la presiune constant, la intrarea n pomp. Evident, pentru c noiunea de vitez de pompare a pompei s aib sens, ea trebuie determinat pe ntregul domeniu de aciune al pompei, adic de la presiunea iniial pn la presiunea limit. n acest fel se obine un grafic al vitezei de pompare n funcie de presiunea la care acioneaz pompa, diagram foarte necesar la proiectarea sistemelor de vid.n mod obinuit cnd se specific viteza de pompare a unei pompe, se d viteza sa maxim de pompare. Cunoaterea parametrilor de baz ai pompelor de vid este indispensabil pentru calculul, proiectarea i optimizarea instalaiilor de vid.

POMPE MECANICE Pompe rotative

Principiul de funcionare. Mecanismul de pompare al tuturor pompelor rotative se

bazeaz pe rotirea unui cilindru metalic rotoruln interiorul unei incinte cilindrice de diametru mai mare statorul. Prin acionarea rotorului, gazul este antrenat de la orificiul de admisie al pompei spre gura de refulare prin spaiul existent ntre rotor i stator. Cele mai multe tipuri de pompe rotative sunt prevzute cu un rezervor de ulei, din care acesta se scurge n spaiul dintre rotor i stator, asigurnd etanarea, lubrifierea i rcirea pompei. Etanarea realizat cu ajutorul peliculei de ulei este suficient datorit faptului c prelucrarea suprafeelor interioare ale pompei este fcut cu un nalt grad de precizie.

Pompa rotativ cu palete pe rotor este reprezentat n seciune perpendicular pe

axul de rotire, n figura 3.5.

Fig. 3.5. Pomp rotativ cu palete pe rotor :

1 rotor ; 2 palete mobile ; 3 stator ; 4 resort ; S supap de refulare ; 0 ulei ; 7 rezervor de ulei.

Rotorul 1 este prevzut cu dou palete (2 )care alunec liber n anul diametral al rotorului. Paletele sunt presate uniform pe suprafaa statorului 3 de ctre resortul 4. Rotorul este montat concentric pe axul de rotaie al pompei, dar excentric fa de stator. Cnd rotorul se rotete, paletele mtur volumul n form de creast dintre rotor i stator, antrennd gazul aflat n acest volum dinspre conducta de admisie ctre conducta de refulare, prin supapa de refulare 5. Uleiul 6 se introduce n rezervorul 7. n figura 3.6. se poate urmri n detaliu principiul de funcionare al acestei pompe: n poziia a volumul dintre gura de admisie i paleta de jos crete, iar gazul de la intrare ptrunde n aceast regiune; n poziia b gazul a fost izolat de incinta din care se pompeaz i este mpins ctre supapa de refulare; n poziia c gazul este comprimat, ajunge la o presiune puin mai mare dect cea atmosferic, supapa de refulare se deschide i gazul este aruncat n afara pompei prin uleiul din rezervor. Evident, ciclul de pompare se repet att timp ct pompa este n funciune.O pelicul fin de ulei se formeaz ntre palete i stator. Aceast pelicul mpiedic scurgerea gazului napoi spre admisia pompei, cu condiia ca suprafaa statorului s nu prezinte neregulariti sau zgrieturi accidentale. Punctul principal de etanare se afl pe poriunea unde statorul i rotorul sunt foarte apropiate, punct numit i spaiu mort. La unele pompe distana dintre stator i rotor n acest punct este numai 2,5 m, ceea ce presupune prelucrri mecanice de nalt precizie.

Fig. 3.6. Pomp rotativ cu palete pe rotor in aciune :

a cele dou palete mobile se mic odat cu rotorul, volumul dintre orificiul de intrare i paleta de jos crete i gazul din incint umple acest volum ; b gazul astfel captat este izolat de incinta de vidat i este mpins ctre supapa de refulare ; c gazul a fost comprimat pn la o presiune ce depete presiunea atmosferic. Supapa de refulare se deschide, iar gazul este ejectat nafara pompei prin uleiul din rezervor.

Presiunea iniial a pompei rotative cu paleta pe rotor poate fi presiunea atmosferic, deci aceast pomp nu necesit vid preliminar. Presiunea de refulare, aa cum reiese i din principiul de funcionare al pompei, este mai mic dect presiunea necesar deschiderii supapei de refulare, care la rndul ei este mai mic dect presiunea din celula de evacuare. Presiunea limit a pompelor rotative cu paletele pe rotor poate s ating valori pn la 10 -3 torr.Viteza de pompare (aciune) a acestor pompe, n funcie de gabaritul i modul lor de construcie, variaz ntre 0,2 i 300 ls1 n condiii standard de presiune i temperatur. Viteza de pompare se calculeaz teoretic prin produsul dintre volumul cuprins ntre stator i rotor i numrul de rotaii pe secund.Aa cum s-a mai subliniat, viteza de pompare nominal a unei pompe rotative are sens la presiuni apropiate de presiunea atmosferic. Odat cu scderea presiunii n incint, densitatea gazului care se pompeaz devine mai mic, astfel nct cantitatea de gaz antrenat la fiecare rotaie este i ea mai mic. Cu alte cuvinte, n unitatea de timp se ndeprteaz din ce n ce mai puin gaz cu ct presiunea n incint scade. Mai mult, ntruct o mic fraciune din gazul comprimat spre supapa de refulare, n celula de evacuare, poate trece prin spaiul mort din nou n volumul dintre rotor i stator (celula de admisie), viteza de pompare va descrete cu ct presiunea din incint se apropie de presiunea limit a pompei. Variaia vitezei de pompare a unei pompe rotative tipice, cu presiunea, este reprezentat n figura 3.7.

Fig. 3.7. Variaia vitezei de pompare cu presiunea din incint la o pomp rotativ tipic