Accelerometru Piezorezistiv

1.Principiul General
O masa seismica este plasata pe o lama elastica echipata cu 2 sau 4 indicatoare piezorezistive intr-o punte Wheatstone.Flexia
lamei se traduce printr-o deformare echilibrata. Deformarea permite conversia acceleratiei intr-o cantitate electrica, deoarece
semnalul primit este proportional cu acceleratia obiectului in miscare.

2.Tensiometrele cu silicon
Variatia rezistivitati depinde de material, nivelul de dopare, orice tip de agent de dopare si directia cristalogafica in care a
fost facut materialul si rezistivitatea este data de concentratia agentului de dopare . Factorul de calibru al siliconului variaza
astfel:

- [+100 ; + 175] pentru tipul P

- [-100 ;-140] pentru tipul N

Cei mai importanti parametri sunt:

-Factorul K

-Coeficientul de temperatura al rezistentei

-Coeficientul de temperatura al factorului de calibru

Factorul K este dependent de nivelul de dopare dar depinde si de temperatura.

  Flat Gauges

Aceste Gauges au 2 placi relativ lungi ,unite intre ele printr-un element central ingust (Fig 5.11). In aceasta configuratie,
tensiunea este concentrata intr-un element al carei suprafete este polisata si fara potentiale tensiuni nedorite.

Datorita suprafetelor de contact de la capete, tensiunea indusa la fixare va fi pastrata o mica fractiune din tensiunea utila la
nivel de acceleratie . Aceste tensometre sunt realizate dintr-un singur cristal de siliciu cu un grad de puritate ridicat.

Siliciul dopat cu fosfor ofera un factor de dopare negativ, in timp ce doparea cu bor ofera un factor de gauge pozitiv.

 Carved Gauges

Putem folosi principiul “Notched gauge” prin dezvoltarea e gravuri chimice.In figura de mai jos este prezentat un element
monolitic sculptat.
Liniaritatea si senzitivitatea sunt optimizate:

 Structura monolitica
 Dimensiunea extrem de mica asigura un raport forta/greutate foarte ridicat.

Rezonanta la multi MHz si intervalul liniar la peste 100.000 g depasesc performantele fostilor senzori . Acestea sunt deosebit
de stabili deoarece nu exsita impinari adezive intre masa, substrat .

In figura 5.13 :
 A)Detalii despre conceperea senzorului

B) Puntea Wheatstone: G1-G4,R5,R6,R7,R8 compensarea derivei termice a sensibilitatii.

Accelerometre și inclinometre 217 Cavitatile de decuplare sunt create pentru a directiona inertiile către lama exterioară
pentru a reduce influența accelerațiilor parazite transversale. Lamele sunt din oțel inoxidabil sau aliaje de beriliu de cupru.
Masa seismică este din oțel . Amortizarea se realizează prin deplasarea lamei într-o cutie umplută cu ulei de silicon.

3. Caracteristicile si limitele acestor accelerometre

 Senzitivitate, raspunsul in frecventa

Senzitivitatea este definita de :

Vm=tensiunea de iesire a puntii Wheatstone

ε=deformarea

a=acceleratia

 S2 este senzitivitatea electrica a punti Wheatstone formata de cele 4 rezistente:

 S1 caracterizeaza raspunsul partilor mecanice din acceleromtreu

Senzitivitatea variaza intre 1-25mV/g .

Lungimea de banda

Accelerometrele pentru masurarea continua si frecvente joase au amortizare critica τ =1. Banda utila se extinde de la 0
pana la ¼ din frecventa de rezonanta.

Accelerometrele piezorezistive au un factor de merit dat de ecuatia:

ß=S*fo^2

F0=frecventa naturala

S=senzitivitatea

ß=factorul de merit

Din cauza constructiei si a tehnologiei , nu putem avea, in acelasi timp un accelerometru care are senzitivitate ridicata si
o banda de frecventa larga. Cu cat amortizarea este mai mare a accelerometrului cu atat faza se shifteaza mai mult.
Frecventa tipica de raspuns este intr 0 si 3000Hz.

 Influenta temperaturii
 Aceasta poate avea 3 forme diferite:

 Influenta la 0
 Influenta la senzitivitate

Conform Legilor lui Young legate de variatia temperaturii ,senzitivitatea scade pe masura ce temperatura creste si
invers. Ordinul de magnitudine este de la 1 pana la 2*10^-4 din temperatura nominala °C. Eroarea rezultate ajunge la
un procent mic din valoarea de 20°C dar eroarea este stabila. Aceasta poate fi partial corectata prin calcul.

 Variatia coeficientului de amortizare: Acceleromterele sunt amortizatea utilizand ulei de silicon. Cand temperatura
creste , vascozitatea cinematica scade si atunci coeficientul de amortizare scade si el.

Temperaturile de lucru sunt –50-150°C . Pentru temperaturi mai mari de 150°C doparea nu mai este eficienta.

 Limitari tehnologice

Cablurile de conexiune produc deteriorari ale semnalului transmis ,care este intr-o stransa legatura cu lungimea cablului
si frecventa. In cazul in care exista o lungime semnificativa de cablu ,accelerometrul cu curent constant poate sa
inlocuiasca pe cele cu tensiune constata pentru a elimina influenta rezistentei cablului asupra semnalului.

Accelerometrul necesita o sursa de putere foarte stabila.

 Limitarile tehnologice: socuri si vibratii

Accelerometrele sunt sensibile la socuri si vibratii. Este necesar sa fie echipare cu filtre mecanice care
elimina frecventele inalte si trebuie plasate undeva unde sa fie protejate de posibile socuri.

Cele mai mari importante avantaje si dezavantaje ale accelerometrelor piezorezistive :

Accelerometre Piezorezistive
Avantaje Dezavantaje
-senzitivitate ridicata -nu au o liniaritate
-pret redus -sensibilitate ridicata la temperatura
-banda destul de mare -performanta medie
-pisibilitatea de a obtine frecvente naturale destul de mari -cu cat sensibilitatea este mai scazuta cu atat creste banda .
(>30KHz)
-minimizare posibila
-procesare simpla a datelor

4. Accelerometrele cu rezonanta

Un traductor de forță-frecvență cuprinde un fascicul de cuarț care vibrează la frecvența sa naturală de flexie (a se vedea
figura 5.14). Sub influența accelerației a, masa seismică pune forța pe fascicul și își modifică frecvența de vibrație ν0 care
devine ν1 (ecuația (5.10)).

a=acceleratia

Vo,v1=frecventa vibratiilor.