PROIECT MEMS MICROACTUATORI

STUDENT: CROITORU ALEXANDRU MASTER: AN II SPECIALIZAREA: MECANICA DE PRECIZIE

Ce inseamn MEMS?
R spunsul scurt este masini microscopice MEMSMEMS-urile sunt sisteme integrate de dimensiuni mici care sunt alc tuite din elemente electrice i mecanice. MEMSMEMS-urile reprezint sisteme complexe, care pot fi privite ca dispozitive mecanice de dimensiuni foarte mici, integrnd electronica aferent .

Multi oameni in domeniul MEMS impartasesc aceasi credinta ca dinamica structurala este foarte importanta in proiectarea dispozitivelor MEMS si care furnizeaza atat oportunitati cat si provocari pentru cercetatorii din domeniu. domeniu. Impreuna cu oportunitatile, MEMS pun cateva mari provocari pentru modelare, manipulare si testare a caracteristicilor dinamice ale microdispozitivelor.

Fabricarea MEMS-urilor MEMSFabricatia structurilor de tip MEMS este similara cu fabricatia conventionala a microcircuitelor integrate la care se adauga o serie de tehnologii specifice. Astfel, structurile MEMS sunt, n general structuri multistrat realizate prin succesiuni de procedee de depunere pe o structura de baza si de corodare cu diverse tehnologii, tehnologii numite generic "micromachining". Exista doua mari categorii de tehnologii de prelucrare: Surface micromachining si Bulk micromachining

Microprelucr ri de suprafa surface micromachining Acestea presupun prelucrarea la nivelul straturilor depuse pe un substrat i se bazeaz pe procese de corodare selectiv a unor straturi, supranumite i straturi de sacrificiu, realizndurealiznduse astfel structuri mecanice suspendate (de tip lamele, bride, etc., ntlnite la microsenzori) sau mobile (ro i, discuri, balamale, etc., ntlnite la micromotoare, microactuatori, etc.).

Microprelucrarea in volum bulk micromachining Tehnica de microprelucrare n volum a fost dezvoltat n anii '60 si permite structurarea siliciului pe trei dimensiuni. Cu aceast tehnic se pot obtine componente micromecanice direct din placheta de siliciu, avnd un raport de aspect (l time/n ltime) ridicat.

Microactuatori
Microactuatorii reprezint dispozitive cu m rimea de la c iva microni la c iva centimetri i care materializeaz un principiu func ional aplicabil n lumea micro. Microactuatorii includ, de asemenea, acei actuatori care sunt fabrica i folosind tehnologiile specifice micromecanicii.

Actuatorul pieptene poate fi configurat lateral sau transversal. ntr-un actuator ntrpieptene lateral, un set mobil (rotor) i un set fix (stator) de degete de pieptene sunt pereche constand dintr-o dintrpolarizare in c.c. si o comanda in c.a. O pereche de degete, care definesc o celul a unui actuator lateral pieptene este prezentata n figura

O metod de actionare prin impingereimpingere-tragere, realizata prin utilizarea unui set de piepteni similari dar opusi asa cum se arat n figura. poate fi utilizata pentru a anula al doilea termen al fortei electrostatice generate.

Figura arat un actuator pieptene transversal, care este larg utilizat pentru a sesiza deplasari foarte mici datorita capacitatii sale nalte de sensibilitate la miscarea transversal , n comparatie cu structurile pieptene laterale.

Microactuatorii care utilizeaz energia optic , prin intermediul fibrelor optice, sunt de interes n multe aplica ii. O sec iune transversal a unui astfel de microactuator, constnd ntrntr-o microcelula de siliciu care con ine un lichid i un absorbant de lumin , este prezentat n figura alaturata.

Microcelula este ermetic nchis cu o membran elastic , p trat , aceasta este sub tensiune mecanic i se curbeaz spre interior n stare ini ial . n figura alaturata sunt prezentate cele dou st ri ale membranei.

O membran mecanica este definita aici ca o diafragm cu stres initial mare, avnd o deformare sub presiune determinat n principal de stresul ini ial n plus, fa de diafragmele plane conven ionale, diferite diafragme ondulate, au fost folosite de asemenea, de comunitatea MEMS, pentru diferite aplicatii ale dispozitivelor.

Tipuri de microactuatori
Microactuatori electrostatici

Microactuatori piezoelectrici

Aplicatii
Un micromotor nou, extrem de scalabil i cu un cuplu foarte mare pentru aplicaii aplica MEMS i MOEMS folosind rectificarea mecanic a mi c rii de oscila ie. ie. Caracteristica sa de func ionare este destul de bogat i scoate la iveal diferite moduri de excitare.

O alta aplicatie a microactuatorilor este DMD sau Digital Micromirror Device. Acest dispozitiv combina oglinzile din aliaj de aluminiu, actuatori electrostatici pe baza de siliciu, si microelectronica din siliciu pentru a crea un intrerupator de lumina.

Concluzii
MEMS au capacitatea de a impacta aproape orice domeniu tehnic. Dimensiunile lor mici, volumul mare i preul redus permit crearea unei pre serii de senzori de unic folosin i dispozitive. Ele pot interac iona cu mediul la nivel molecular pentru a atinge noi obiective. Cu toate acestea, tehnologia MEMS este nc n faza de nceput a dezvolt rii. Este capabil de revolu revoluionarea multor tehnologii i poate aduce multe beneficii n toate domeniile

VA MULTUMESC!