Universitatea Tehnică a Moldovei

Studiul biosenzorilor pe baza de oxid de

zinc

Student: Glodeanu Cristian

Coordonator: Sidorenko Anatolie

Prof. univ., dr. hab.

Chişinău – 2020
 Coala

UTM 714.9 001 IBM

Semnăt
Mod Coala Nr. document Data
.
 Universitatea Tehnică a Moldovei

Facultatea Calculatoare, Informatică şi Microelectronică

Departamentul Microelectronică şi Inginerie Biomedicală
Programul de studii Ingineria sistemelor biomedicale

Aprob
Șef departament MIB
Şontea Victor, prof.univ., dr.
_________________________
„_____”_____________ 2020

CAIET DE SARCINI
pentru proiectul/teza de licenţă al studentului

Glodeanu Cristian

1. Tema proiectului/tezei de licență Studiul biosenzorilor pe baza de oxid de zinc_____________

_________________________________________________________________________________
confirmată prin hotărârea Consiliului facultății nr. _1_ din „__29__” _____mai_____ 2020
2. Termenul limită de prezentare a proiectului/tezei de licență „____1__” ____iunie___ 2020
3. Date iniţiale pentru elaborarea proiectului/tezei de licență______________________________
_________________________________________________________________________________
_________________________________________________________________________________
4. Conţinutul memoriului explicativ__________________________________________________
1. Introducere_______________________________________________________________
2. Studiul literaturii in domeniu,cu scopul obținerii unui biosenzor______________________
3. Oxidul de zinc și pulverizarea magnetron________________________________________
4. Obținerea de pelicule subțiri prin evaporare termica la instalația VUP-4_______________
5. Argumentarea economica a proiectului _________________________________________
5. Conţinutul părţii grafice a proiectului______________________________________________

4. Obținerea de pelicule subțiri prin evaporare termica la instalația VUP-4_______________

5.Argumentarea economica a proiectului__________________________________________
___________________________________________________________________________

6. Lista consultanţilor:

Coala

UTM 714.9 001 IBM

Semnăt
Mod Coala Nr. document Data
.
 Confirmarea realizării activităţii
Consultant Capitol Semnătura Semnătura
consultantului (data) studentului (data)
Gorobievsci S. Argumentarea economică
Buzdugan A. Control normativ

7. Data înmânării caietului de sarcini 01.06.2020____________________________________

Coordonator Sidorenco A._________________________________________________

semnătura

Sarcina a fost luată pentru a fi executată de către studentul Glodeanu Cristian

_____________________________________________________________________
semnătura, data

PLAN CALENDARISTIC

Termenul de
Nr. crt. Denumirea etapelor de elaborare/proiectare Nota
realizare a etapelor
1 Studierea literaturii de specialitate 28.01.2020
2 Analiza cercetarilor deja existente 11.02.2020

3 Studierea ZnO in contextul pieții 19.02.2020

4 Determinarea cerințelor proiectului 25.02.2020

5 Determinarea sarcinilor proiectului 26.02.2020

6 Studiera utilajului existent pentru cercetare 03.04.2020

7 Procesul de obținere a oxidului de zinc 13.04.2020.

8 Cercetarea proprietaților ZnO 26.04.2020

Student Glodeanu Cristian ____________________

semnătura

Conducător de proiect/teză de licență Sidorenco Anatolie__________________________

________________ __semnătura

Coala

UTM 714.9 001 IBM

Semnăt
Mod Coala Nr. document Data
.
 Coala

UTM 714.9 001 IBM

Semnăt
Mod Coala Nr. document Data
.
 REZUMAT

În vederea susținerei licenței , am elaborat o lucrare cu titlul “ Studiul biosenzorilor pe baza de

oxid de zinc”. Mi-am ales sa abordez această temă deoarece in primul rind , am avut ocazia sa
efectuez practica la “Institutul de inginerie electronica si nanotehnologii”, unde este prezent tot
utilajul necesar pentru efectuarea unei cercetari asupra unui metal , in al 2 rînd este o tema destul de
interesentă cu o perspectivă în viitor.

Lucrarea este structurata in 4 capitole ,primul capitol este “Studiul literaturii in domeniu , cu scopul
obținerii unui biosensor”,aici am adus exemple din literatura pe care am însușit-o, am vorbit despre
compoziția biosenzorilor , clasificarea biosenzorilor dupa traductori , am adus exemple de biosenzori
pe baza de ZnO si am inceput să explic cum are loc imobilizarea unei biomatrici pentru a face
cunoștină cu depunerea stratului germinativ .Al 2 capitol , la fel este un studiu in literatură , cu scopul
de a face cunoștintă cu elementele de baza în crearea unui substrat de oxid de zinc , aici vorbesc
despre principiul de pulverizare magnetron si efectul hall.În al 3 capitol , care este și cel mai mare , voi
vorbi despre clasificarea filmelor si metodele de bază pentru obținerea lor , caracteristicile vidului ,
evorarea termică a materialelor în vid , asta ceea ce ține de teorie , dupa care merge etapa cea mai
importantă , procesul si pașii de obținere a filmelor de ZnO , unde voi vorbi despre tot procesul , de
efectuarea a pulverizării magnetron și obținere a filmelor de ZnO, dupa care voi trece la cercetarea
proprietaților electrice a acestora , unde voi aduce niște grafice si exemple . Ultimul capitol este
argumentarea economica , unde vom face niște calcule pentru a vedea dacă se merită o cercetare de asa
tip , vom face cunosțintă cu punctele slabe si puternice,dupa care urmeaza concluzia.

Coala

UTM 714.9 001 IBM

Semnăt
Mod Coala Nr. document Data
.
 CUPRINS

INTRODUCERE ..................................................................................... 1
1.1 Scop și obiective.........................................................................................1
1.STUDIUL LITERATURII ÎN DOMENIU ,CU SCOPUL OBȚINERII UNUI
BIOSENZOR..................................................................................................2
1.1. Compoziția unui biosenzor............................................................................... 2
1.2. Clasificarea biosenzorilor dupa biotraductor.....................................................3
1.3. Exemple de biosenzori ......................................................................................6
1.4 Imobilizarea biomatricii ...................................................................................13

2. OXIDUL DE ZINC ȘI PULVERIZAREA MAGNETRON...............16

2.1. Oxidul de zinc ..................................................................................................16
2.2 Pricipiul de pulverizare magnetron ...................................................................19
3.OBȚINEREA DE PELICULE SUBȚIRI PRIN EVAPORARE TERMICA LA
INSTALAȚIA VUP-4 ...................................................................................24
3.1 Clasificarea filmelor și metodele de bază pentru obținerea lor……………......24
3.2. Caracteristici ale procesului de aplicare a filmelor în vid .................................27
3.3. Metode de producere și control al vidului .................................................29
3.4. Evaporarea termică a materialelor în vid ...........................................................33
3.5 Procesul si pașii de obținere filmelor ZnO........................................................37
3.6 Studierea proprietăților electrice .........................................................................41
3.7 Caracteristicile straturilor de ZnO:Al obținute...................................................43

4. ARGUMENTAREA ECONOMICĂ A PROIECTULUI .....................48

4.1. Actualitatea și utilitatea temei. Analiza SWOT.... ...................................48
4.2. Planificarea managerială a lucrărilor de proiectare...................................50
4.3. Estimarea costului proiectului...................................................................53

CONCLUZII.................................................................................................52
BIBLIOGRAFIE.........................................................................................54

UTM 714.9 001 IBM

Mod. Coala Nr. document Semnăt. Data
Elaborat Glodeanu C. Litera Coala Coli
Conducător Sidorenco A. 1 57
Studiul biosenzorilor pe baza de
Consultant Gorobievsci. S
Contr. norm. - oxid de zinc UTM FCIM
Aprobat - ISBM-161
 INTRODUCERE

Biosenzorii in ultimele decenii au avut si au un rol foarte important in medicina , aceste

mici dispozitive sunt studiate foarte intens , deoarece cu ajutorul acestora viața poate fi usurata
considerabil[1] . Piața biosenzorilor se extinde rapid, dar mulți biosenzori noi și inovatori probabil
nu vor ajunge niciodată pe piață. Pe fața sa, câmpul biosenzor a intrat într-o epocă de aur. Piața
globală a biosenzorilor valorează acum aproape 7.000 milioane de dolari, în creștere de la doar 5
milioane dolari în 1987, iar aceste vânzări contribuie la finanțarea cercetării în următoarea generație
de tehnologii biosenzore. Între timp, finanțările guvernamentale pentru cercetarea biosenzorilor au
crescut, în special pentru aplicații militare și de securitate, precum detectarea armelor chimice și
biologice.Mai mult decât atât, evoluțiile recente ale nanotehnologiei oferă potențialul de detectare
extrem de sensibilă și senzori mici, lipsiți de acțiune, care ar putea fi implantate la pacienți sau
încorporate în îmbrăcăminte. Multe grupuri de cercetare explorează potențialul proiectării
biosenzorilor pe baza nanotuburilor de carbon, a punctelor cuantice și a polimerilor imprimați
molecular (MIPs).
Ideea creării biosenzorilor datează din experimentul realizat de fiziologul german Max Kremer în
1906, când a arătat că concentrația de acid într-un lichid este proporțională cu potențialul electric
care apare între părțile lichidului situate pe laturile opuse ale membranei de sticlă . Primul biosenzor
de tip modern a fost proiectat de Leland Clark Jr. (1918-2005) în 1956 ,pentru a detecta oxigenul,
ulterior acest electrod a fost denumit „electrod Clark”[1]. Până în 1962, Clark a demonstrat primul
electrod enzimatic amperometric pentru detectarea glucozei. În 1969, George Gilbo și Joseph
Montalvo Jr. au creat primul biosenzor potențiometric pentru detectarea ureei. Primul biosenzor
comercial a fost dezvoltat în 1975 de către Yellow Spring Instruments (YSI).

1.1. Scop și obiective

Obiectivele acestei lucrari sunt :

      1. Dezvoltarea unei metode de producere a filmelor conductoare, de oxid de zinc pe substraturi
de sticlă (ZnO / sticlă) prin intermediul pulverizării magnetron.
       2. Studierea posibilității de utilizare a filmelor ZnO / sticlă ca electrod biosensor pentru sinteza
ulterioară a nanostructurilor ZnO pe acesta
      3. Cercetarea caracteristicilor spectrale și electrice ale filmelor ZnO
 1.STUDIUL LITERATURII ÎN DOMENIU CU SCOPUL OBȚINERII UNUI
BIOSENZOR

Biosenzorul este un dispozitiv care măsoară reacțiile biologice sau chimice prin generarea de
semnale proporționale cu concentrația unui analit în reacție[1]. Biosenzorii sunt folosiți în aplicații
precum monitorizarea bolii, descoperirea medicamentelor și detectarea poluanților, microorganisme
provocatoare de boli și markeri care sunt indicatori ai unei boli în fluidele corporale (sânge, urină,
salivă, transpirație).

1.1. Compoziția unui biosenzor

Biosenzorii constau din trei părți:

1.Bioreceptor (material biologic ) microorganisme, nanoparticule , receptorii celulari, enzime,

anticorpi, acizi nucleici, etc.

2.Convertor, care funcționează pe principii fizice și chimice, (optic, piezoelectric, electrochimic

etc.), care convertește semnalul care apare ca urmare a interacțiunii de la analit cu elementul
bioselectiv într-un alt semnal care este mai ușor de măsurat[1];

3.Electronice ,care include in numai decît un amplificator de semnal , procesor, care răspund în
primul rând pentru afișarea rezultatelor într-un mod ușor de vizualizat.
 Fig.1. Compozitia unui biosenzor[1].

Bioreceptorul este conceput pentru a interacționa cu analitspecific de interes pentru a produce un

efect măsurabil de traductor.Selectivitatea ridicată pentru analit printre o matrice de alte
componente chimice sau biologice este o cerință esențială a bioreceptorului.În timp ce tipul de
biomoleculă utilizată poate varia foarte mult, biosenzorii pot fi clasificați în funcție de tipurile
comune de interacțiuni bioreceptori care implică: anticorpi/antigeni, enzime/ligand, acizi
nucleici/ADN, structuri/celule celulare sau materiale biomimetice.

Traductoarele și electronicele pot fi combinate, de exemplu, în sistemele de microsenzori bazate pe

CMOS. Componenta de recunoaștere, adesea numită bioreceptor, folosește biomolecule din
organisme sau receptori modelați după sisteme biologice pentru a interacționa cu analitul de
interes.Această interacțiune este măsurată prin biotraductor, care produce un semnal măsurabil
proporțional cu prezența analitului țintă în eșantion.Scopul general al proiectării unui biosenzor este
de a permite testarea rapidă și convenabilă în punctul de îngrijorare sau de îngrijire de unde a fost
achiziționat eșantionul.

1.2 Clasificarea biosenzorilor dupa biotraductor

Biosenzorii pot fi clasificați după tipul lor de biotraductor. Cele mai frecvente tipuri de
biotraductori utilizate în biosenzori sunt:
1.biosenzori electrochimici
2.optici
3.piezoelectrici
4.piroelectrici
5.gravimetrici
6.electronice

Fig. 1.1. tipurile de biotraductori[1].

Biosenzori electrochimici , se bazează în mod normal pe cataliza enzimatică a unei reacții care
produce sau consumă electroni (astfel de enzime sunt numite pe bună dreptate enzime
redox).Substratul senzorului conține de obicei trei electrozi; un electrod [3] de referință, un electrod
de lucru și un contor de electrod.Analitul țintă este implicat în reacția care are loc pe suprafața
electrodului activ, iar reacția poate provoca fie transferul de electroni pe stratul dublu (producerea
unui curent), fie poate contribui la potențialul stratului dublu (producerea unei tensiuni).Putem
măsura fie curentul (rata fluxului de electroni este acum proporțională cu concentrația de analit) la
un potențial fix, fie potențialul poate fi măsurat la zero curent (acest lucru oferă un răspuns
logaritmic).Rețineți că potențialul electrodului activ sau activ este sensibil la încărcarea spațiului,
iar acest lucru este adesea utilizat.În plus, detectarea electrică directă și fără etichetă a peptidelor și
proteinelor mici este posibilă prin încărcăturile lor intrinseci, utilizând tranzistori biofuncționalizați
cu efect de câmp sensibil iioni.

Biosenzorii optici reprezintă cel mai frecvent tip de biosenzor. Aici oferim o scurtă clasificare, o
descriere a principiilor de funcționare și a aplicațiilor lor bioanalitice. Accentul principal este pus pe
cei mai utilizați biosenzori optici, care sunt biosenzorii bazate pe rezonanță plasmonică (SPR),
bazate pe rezonanță plasmatică, incluzând imagini SPR și SPR localizate[5]. În plus, sunt descrise
alte sisteme de biosenzori optici, cum ar fi fluorescența undelor evanescente și biosenzorii
bioluminescenți din fibre optice, precum și spectroscopie interferometrică, elipsometrică și
reflectometrică și biosenzori de împrăștiere Raman îmbunătățită la suprafață. Biosenzorii optici
discutați aici permit detectarea sensibilă și selectivă a unei game largi de analite incluzând viruși,
toxine, medicamente, anticorpi, biomarkeri tumori și celule tumorale.

Biosenzorii piezoelectrici sunt un grup de dispozitive analitice care lucrează pe un principiu al

înregistrării interacțiunii de afinitate[2]. O platformă piezoelectrică sau un cristal piezoelectric este
o componentă senzoră care lucrează pe principiul schimbării oscilațiilor datorită unei mase legate
pe suprafața cristalului piezoelectric. În această revizuire, sunt prezentate și discutate biosenzorii cu
suprafața lor modificată cu un anticorp sau antigen, cu un polimer imprimat molecular, cu
informații genetice precum ADN-ul catenar unic și biosenzori cu receptori legați de organice de
origine biochimică. Părțile de recunoaștere menționate sunt frecvent combinate cu utilizarea
nanoparticulelor și sunt introduse în acest mod și aplicații. Este prezentată o imagine de ansamblu a
literaturii actuale și metodele prezentate sunt comentate.

Piroelectricitatea (din cele două cuvinte grecești pir care înseamnă foc și electricitate) este o
proprietate a anumitor cristale care sunt natural polarizate electric și, ca urmare, conțin câmpuri
electrice mari. Piroelectricitatea poate fi descrisă ca capacitatea anumitor materiale de a genera o
tensiune temporară atunci când sunt încălzite sau răcite.Schimbarea temperaturii modifică pozițiile
atomilor ușor în structura cristalului, astfel încât polarizarea materialului se schimbă. Această
schimbare de polarizare dă naștere la o tensiune peste cristal. Dacă temperatura rămâne constantă la
noua sa valoare, tensiunea piroelectrică dispare treptat din cauza curentului de scurgere. (Scurgerea
se poate datora electronilor care se deplasează prin cristal, ionilor care se deplasează prin aer sau
scurgerii de curent printr-un voltmetru atașat de-a lungul cristalului.).

1.3 Exemple de biosenzori

1. Pentru masurarea glucozei in singe :

Glucoza este un carbohidrat esențial și o sursă crucială de energie în sistemele biologice ale
oamenilor și ale altor organisme. Este un ingredient fundamental al grăsimii produse în sistemul
metabolic. Întrucât este o componentă foarte necesară a corpului uman, cercetătorii s-au concentrat
prin urmare pe fabricarea biosenzorilor de glucoză pentru a monitoriza nivelul de glucoză din
sânge. Una dintre cele mai bune tehnici posibile pentru a determina valoarea medie a glucozei
pentru un grup de celule este rezonanța magnetică nucleară. Această tehnică este o modalitate
nedestructivă și indirectă de a strânge informații despre concentrația de glucoză din sânge. Pentru
măsurarea directă a concentrațiilor de glucoză, biosenzorii pe baza nanomaterialelor ZnO sunt
considerați o alternativă bună la metodele prezente [4,5]. Astfel de rapoarte privind măsurătorile
intracelulare nu sunt foarte frecvente în literatura de specialitate [5]. Reacțiile pentru detectarea
moleculei de glucoză cu senzori pe bază de enzimă ZnO / glucoză oxidază sunt date în următoarele
ecuații:
 H2O2 + O2 + β-d-glucoză → δ-d-gluconolactonă + H2O2 (1)
δ-d-gluconolactonă → d-gluconat – + 2H + (1.1)

Fig. 1.2 Schema biosenzorului de masurat glucoza [18].

Reacția este foarte specifică datorită alegerii analitului și a enzimei glucoză oxidază care are o
funcționalitate excelentă cu produse precum δ-gluconolactona împreună cu peroxidul de hidrogen.
Combinația dintre aceste două produse și consumul de oxigen din soluție funcționează pentru a
produce un semnal electronic pentru detectarea moleculelor de glucoză. Etapa de reacție chimică
are loc atunci când gluconolactona reacționează cu apa la pH neutru și se transformă în forma
ionică, ion gluconat și protoni, așa cum se arată în ecuația de mai sus.
Îintr-un studiu a fost raportat fabricarea unui biosensor la scară microscală pe bază de ZnO și
detectarea moleculelor de glucoză pe intervalul de concentrație de la 500 nM la 1 mM de soluție
tampon și teste ale răspunsului electrochimic împotriva unui electrod de referință standard. Curba
electrochimică a afișat un răspuns liniar de sensibilitate de 40,2 mV pe deceniu, așa cum se arată în
( fig 1.3 ) [18]. Rezultatele obținute pentru adipocitele umane (50 ± 15 pM) au fost comparabile cu
rezultatele obținute pentru țesuturile musculare de șobolan pentru o concentrație extracelulară de
glucoză de 10 nM [39]. Un răspuns potențial stabil a fost obținut pentru măsurătorile intracelulare
după injectarea de 10 nM insulină ca o cantitate suplimentară de soluție extracelulară, unde
rezultatul măsurat intracelular în ovocitele de broască a fost de 125 ± 23 pM. Valorile crescute ale
concentrațiilor de glucoză (50 ± 15 până la 125 ± 15 pM) și (125 ± 23 pM până la 250 ± 19 pM) au
fost observate pentru adipocitele umane și, respectiv, ovocitele de broască, la câteva minute după
injectarea insulinei.

Fig.1.3. Răspunsul electrochimic al biosenzorului la scară microscopică față de gama logaritmică a

electrolitului de glucoză[18].

Măsurătorile obținute folosind biosenzorii ZnO funcționali pe bază de nanorod au relevat rezultate
foarte consistente pentru valorile de glucoză prezente în adipocitele umane și ovocitele de broască,
așa cum se arată în ( fig.1.4a, b) . Un alt raport [17] s-a concentrat pe detectarea glucozei cu
nanoflak de ZnO ca o alternativă la structurile nanorod ZnO; efortul a fost făcut pentru a sintetiza
nanoflakele ZnO direct pe un vârf ascuțit de sticlă borosilicată pentru o penetrare blândă în
membrana celulară. Rezultate îmbunătățite, cu o mai bună selectivitate și sensibilitate, cu o limită
de detecție mai mică și eficiență mai mare au fost revendicate datorită raportului suprafeței mai
mare.
Fig.1.4. (a) Mecanismul activării induse de insulină a absorbției glucozei. (b) Impactul inducției de
insulină în soluția extracelulară pe curba de răspuns la ieșire în timpul măsurărilor de detectare a
glucozei intracelulare[21].

O altă caracteristică a acestei abordări poate fi existența potențială a microcavităților care pot capta
cantități mai mari de membrană a glucozei oxidazei, care este un parametru cheie, nu numai pentru
a detecta biomolecula, ci și pentru selectivitatea, sensibilitatea și eficiența măsurătorilor..

Istoria crearii biosenzorului de masurat glucoza :

Tabelul 1.Etapele creării biosenzorului de măsurat glucoza
Anul Eveniment
1962 Prima descriere a unui biosenzor de Clark și Lyons
1967 Primul electrod enzimatic practic de Updike și Hicks
1973 Electrod enzimă cu glucoză bazată pe detectarea peroxidului de hidrogen
1975 Relansarea primului biosenzor comercial, adică analizor YSI
1976 Primul pancreas artificial (mile)
1982 Primul electrod enzimatic de ac pentru implantarea subcutanată de către Shichiri
1984 Primul biosenzor glucozic amperometric mediat cu ferocen
1987 Lansarea biosenzorului glicemic MediSense ExacTech
1999 Lansarea unui senzor comercial de glucoză in vivo (MiniMed)
2000 Introducerea unui monitor portabil de glucoză neinvaziv (GlucoWatch)

2. Senzori de colesterol
Colesterolul este o biomoleculă foarte importantă, care este crucială pentru diverse funcții în
celulele vii. Un nivel controlat al concentrației de colesterol în fluxul sanguin este foarte
necesar, deoarece acest nivel echilibrat de colesterol poate ajuta la asigurarea funcționării
corecte a organismului, cum ar fi producerea de acizi biliari și hormoni sexuali, procese de
semnalizare etc. [19,20]. Determinarea nivelului de colesterol în fluxul sanguin este de o
importanță vitală și se poate realiza prin reacția chimică dintre enzima colesterol oxidaza și
oxigenul prezent în soluțiile tampon.
Conform literaturii disponibile, natura bifuncțională a enzimei colesterol oxidază este
responsabilă de inițierea reacției funcția sa de catalizator pentru a produce un Δ5-3-
ketosteroid împreună cu peroxidul de hidrogen printr-un proces de oxidare (ecuația (1)) )
Ulterior, et5-3-ketosteroidul suferă un proces de izomerizare imediat după finalizarea primei
etape și o tranziție a protonului intramolecular între aranjamentul 4β și 6β. Se formează un
stable4-3-ketosteroid stabil datorită capacității speciale a enzimei de colesterol oxidază unde
poate produce o modificare chimică specifică a steroidului în prezența grupului 3β-hidroxil
(Ecuația (2)) [21]. Procesul complet de reacție este prezentat în următoarele ecuații:

Cholesterol + O2 → Δ5-3-ketosteroid + H2O2 (1.2)

Δ5-3-ketosteroid → Δ4-3-ketosteroid (1.3)

Biosenzorul de colesterol de fabricație folosind nanoane ZnO cultivate pe un microwire argintiu

subțire, unde nanofirele crescute erau extrem de orientate în ceea ce privește suprafața sârmei [22].
În figura (1.5.a) este prezentată o imagine cu microscop electronic de scanare (SEM). O schemă a
măsurării diferenței de potențial electrochimic între biosenzorul de colesterol față de un electrod de
referință standard și mecanismul sugerat împreună cu modificările rezultate în molecula de
colesterol pot fi observate în fig (1.5 c.) Acesta este același proces de reacție chimică menționat în
ecuațiile (1) și (2) și considerat responsabil pentru generarea unui potențial în împrejurimile
biosenzorului fabricat. Raportul ridicat de suprafață / volum al nanofilelor a fost considerat ca unul
dintre cei mai importanți parametri pentru a atinge o curbă de sensibilitate excelentă de ~ 35,2 mV
pe deceniu, dovedind valorile îmbunătățite ale potențialului din mediul biosenzor al colesterolului,
cu concentrația crescândă a colesterolului soluții tampon. Răspunsul electrochimic al rezultatelor
măsurate a relevat capacitatea excelentă de detectare pe o scară logaritmică largă, cuprinsă între 1 ×
10 –6 M și 1 × 10–2 M concentrații de colesterol .

Fig.1.5 Imaginea SEM a nanoamelor ZnO crescute chimic pe un fir de argint. (b, c) Configurarea
experimentală și mecanismul de reacție al procesului de detectare a colesterolului [22].

3. Senzori cu ion de zinc

Zincul este un cation important în sistemele biologice care participă la mai multe funcții, astfel încât
este necesară monitorizarea concentrației ionilor de zinc în sânge. Această verificare a concentrației
variate de Zn2 + poate avea un impact pozitiv asupra exprimării genelor, a funcției sistemului
imunitar și a eficienței enzimelor. Intr-un raport au fost prezentate rezultate despre adecvarea unui
senzor bazat pe nanorod ZnO pentru detectarea Zn2 +, unde accentul a fost fabricarea unei sonde de
biosensibilitate Zn2 + -selectivă pentru răspunsul electrochimic al senzorului fabricat [24].
Capacitatea sondei de biosensibilitate bazată pe nanorod ZnO încapsulată de membranele ionofore a
fost verificată prin monitorizarea măsurătorilor in vivo ale speciilor biologice [23]. Curba de
răspuns electrochimic pentru diferite concentrații de Zn2 + de la 1 pM la 100 mM în soluții tampon
fosfat a fost trasă pentru a testa sensibilitatea biosenzorului, iar rezultatele măsurate au relevat un
răspuns liniar bun de ~ 35 mV pe deceniu în condiții de temperatură ambientală (23 ± 2) ° C, așa
cum se arată în (fig.1.6.) Ecuația următoare arată reprezentarea reacției celulare potențiale
electrochimice sugerată în această lucrare:
 Fig.1.6. Curba de calibrare pentru detectarea ionilor de zinc folosind nanorode ZnO acoperite cu
ionofor [24].

Diversi parametri ai senzorului fabricat au fost evaluați ca limita de detecție, timpul de răspuns,
reproductibilitatea, repetabilitatea etc. Studiul prezentat a considerat reproducibilitatea
dispozitivului ca un parametru important, astfel încât un set de cinci senzori independenți a fost
fabricat păstrând fix toate celelalte achiziții. parametrii, inclusiv membrana ionofora. Membrana
ionofora conține O, S, N, etc., care nu sunt considerate numai elemente cheie responsabile de
generarea unei interacțiuni electrostatice între Zn2 + și matricea ZnO activă, ci și pentru stabilitatea
dispozitivului pentru o perioadă mai lungă de timp.
De asemenea, a fost investigat impactul valorilor variate ale pH-ului și temperaturii soluției tampon
de fosfat cu scopul de a ilustra capacitatea senzorului în orice condiție de mediu particulară. Autorii
au sugerat că suprafața membranei ionofore nu este foarte stabilă atunci când este expusă unei
distribuții ionice variate precum cea găsită într-un mediu acid sau bazic, iar răspunsul electrochimic
începe să scadă pe măsură ce valoarea pH-ului se îndepărtează de neutralitate. Cea mai mare
valoare a răspunsului potențial electrochimic a fost găsită în intervalul neutru de pH 7–8;.
(Fig.1.7.a) arată rezultatele obținute din soluția ZnNO3 preparată în soluția tampon fosfat, care a
fost utilizată pentru testarea soluțiilor analitice pentru intervalul de pH de la 4 la 10 și cele mai bune
rezultate sunt afișate la valoarea de pH de 7,4. S-a observat impactul temperaturii ridicate pentru
domeniul cuprins între 20 și 80 ° C, tendința curbei măsurate este în direcția ascendentă până când
valoarea temperaturii soluției ajunge la 45 ° C; cu toate acestea, acesta scade brusc pe măsură ce
traversează limita de 50 ° C, așa cum se arată în( Fig 1.7.b.)

Fig.1.7. (a, b) Impactul valorilor diferite ale pH-ului și temperaturii asupra curbelor de răspuns ale
senzorului de ioni de zinc[23].

Degradarea răspunsului electrochimic este legată de biodegradabilitatea la temperaturi mai ridicate

și de slăbirea forțelor de legare a membranei. În plus, creșterea energiei cinetice a celorlalți ioni
prezenți în soluție poate împiedica accesul Zn2 + la suprafața biosenzorului.

1.4 Imobilizarea biomatricii

Imobilizarea unei biomatrice pe un suport solid este un moment cheie în crearea nu

numai a biosenzorilor electrochimici, ci și a multor alte tipuri de biosenzori. Prin atașarea unei
enzime, a unui anticorp sau a altor molecule biologic active la suprafața unui purtător, este posibilă
creșterea stabilității chimice a unei biomolecule și, mai important, utilizarea eficientă a
proprietăților specifice ale materialului purtător (conductivitate electrică, proprietăți luminescente)
pentru a detecta un eveniment analitic, care este o reacție chimică[3]. În legătură cu problema
imobilizării biomatricei, un rol important este modificarea suprafeței pentru atașarea ulterioară a
biomoleculelor.
       În timpul imobilizării cu ajutorul unor reactivi speciali, enzima este „fixată” fie pe suprafața
adsorbantilor, de exemplu, silicagel, cărbune sau celuloză, sau introdusă în filmul unui polimer
poros, sau „cusută” pe un substrat covalent, adică prin intermediul unor legături chimice. În acest
caz, enzima este fixată, nu mai este mobilă, nu este spălată din biocapa și efectul catalitic este
păstrat. În (Fig.1.8 )este o reprezentare schematică a metodelor de imobilizare enzimatică la
biosenzori. După cum se vede în (Fig.1.8), când imobilizează enzimele folosind o varietate de
metode pentru fixarea lor, inclusiv combinate. Biosenzorii pot fi de asemenea construiți cu ajutorul
așa-numitei tehnologii volumetrice, în care componentele individuale alcătuiesc un singur
ansamblu fizic. Deși în prezent sunt aplicate în practică astfel de biosenzori, acestea au dezavantaje
și există dificultăți în fabricarea lor. De fapt, acoperirea strat după strat a unui electrod[7] sau a
oricărui traductor solid cu membrană trebuie să fie reproductibilă. Tehnologia adecvată de formare
a suprafeței ar trebui să permită fabricarea unui electrod suficient de mic. În plus, biosenzorii cu
membrane relativ groase oferă timpi de răspuns mai lungi și există dificultăți în calibrarea acestora.
Avansele dezvoltării microelectronicii au împins dezvoltatorii de proiecte de biosenzori către soluții
noi. S-a dovedit că promite să folosească așa-numita tehnologie plană (fotolitografie, tehnologie de
acoperire cu semiconductor etc.), potrivit căreia așa-numitul un biocip care combină un sistem de
senzori, un traductor, un convertor analog-digital și un microprocesor pentru măsurarea semnalului
analitic și calcularea rezultatelor analizei. Deși astfel de biochipuri pot fi replicate, principala
problemă în acest caz va fi reproductibilitatea stării, adică microstructura de suprafață cu un strat de
enzimă activă biologic[3]. În acest caz, optimizarea unei astfel de structuri pare, de asemenea, o
sarcină dificilă, în contrast cu tehnologia volumetrică implementată de prezența mai multor straturi
moleculare în proiectarea părții senzoriale. Cu toate acestea, „designul molecular” în construcția
viitorilor biosenzori poate concura cu versiunea lor volumetrică.

E E

E E
E E E
E E

E
а б в

E
E E E E
E
E E E
E

Fig. 1.8. Reprezentarea schematică a metodelor de imobilizare a enzimelor la biosenzori.[16]

a - legare covalentă la suprafața electrodului, b - reticulare, c - adsorbție pe un purtător (electrod),
legare covalentă și cusut la un substrat (electrod), captură electronică de către un purtător (într-un
film) polimer).

Materialul pentru crearea purtătorului trebuie să posede o combinație de proprietăți care să permită
cea mai reușită modificare (cu eficiență ridicată, costuri reduse ale resurselor materiale și de timp) a
suprafeței sale, imobilizarea biomatricei pe suprafața modificată și un semnal analitic de calitate
cerut. Printre aceste caracteristici, se poate indica o suprafață specifică ridicată, costuri reduse,
stabilitate chimică, ușurință de modificare a suprafeței, precum și proprietăți semiconductoare
necesare pentru obținerea tipurilor specifice de semnal analitic. Nanostructurile de oxid de zinc
devin din ce în ce mai populare atât ca purtător, cât și ca convertor, datorită combinației optime a
proprietăților de mai sus.

Nanomaterialele sunt utilizate pentru a crea biosenzori în primul rând datorită faptului că au un
raport mare suprafață / volum și pot conține un număr semnificativ mai mare de receptori
bioanalitici decât materialele din film sau în vrac. Nanomaterialele pot ajuta la menținerea activității
enzimei[4], la prevenirea degradării biomatricei și asigură transferul eficient de electroni între
centrele active ale enzimei și electrodului. Avantaj important

ZnO înainte de alte materiale utilizate în scopuri bioanalitice, cum ar fi aurul, platina [2],
nanotuburile de carbon [3], este variabilitatea și simplitatea relativă a metodelor sale și posibilitatea
de a sintetiza oxidul de zinc nanostructurat cu o mare varietate de morfologii (Fig.1.8.)
În prezent, ZnO este obținut sub formă de nanorode (nanofire), nanocline, nanosote, nanorings,
nanoribbons, nanosprings (nanospirale), nanocelule, tetrapode, precum și pelicule subțiri și
acoperiri. O astfel de diversitate a nanostructurilor ZnO, atât în materie de morfologie, cât și în
proprietăți, o distinge de alte materiale și trebuie remarcat faptul că reactivii inițiali sunt foarte
ieftini, relativitatea simplității sintezei unor astfel de structuri și posibilitatea scalării proceselor de
sinteză. Obțineți ZnO nanocristalin pe substraturi și în stare dispersată [4]. Substratul este un
purtător solid, adesea o componentă a unui biosenzor pentru transmiterea unui semnal analitic. În
acest caz, sinteza este realizată direct pe electrozi sau substraturi conductoare pentru cele electrice
sau electrochimice ulterioare.Sinteza omogenă este de asemenea posibilă, adică nanostructurile ZnO
pot fi sintetizate pe pelicule ZnO.
 Fig.1.9.Varieta nanostructurilor oxidului de zinc [3]

Dintr-o revizuire a literaturii asupra stării actuale a proprietăților fizico-tehnologice ale

biosenzorilor pe bază de oxid de zinc, se pot trage următoarele concluzii:
 
    1. În prezent, întrebările privind crearea biosenzorilor sensibili bazate pe nanostructuri ZnO sunt
de mare interes. Capacitatea de a efectua teste rapide și precise pentru anumiți toxici este deosebit
de importantă în legătură cu răspândirea pandemiei coronavirusului.
      2. Nanoparticulele ZnO sunt nanozimele, adică. nanoparticule care imită enzime naturale care
nu sunt inferioare în selectivitate și activitate față de peroxidază naturală.[12] Nanoparticulele
sintetizate ZnO pot fi utilizate în diagnosticul medical.
3. La fabricarea biosenzorilor pe bază de ZnO, unul dintre cei mai importanți parametri care
afectează nanostructurile de oxid de zinc este crearea unui strat germinativ.
 2.OXIDUL DE ZINC ȘI PULVERIZAREA MAGNETRON

2.1 Oxidul de zinc

Oxid de zinc (oxid de zinc) ZnO este o pulbere cristalină incoloră, insolubilă în apă,
îngălbenind la încălzire și sublimând la 1800 ° C.

Fig.2.Oxidul de zinc[6].

Proprietăți fizice :
Conductivitatea termică: 54 W / (m · K) [6].
Oxidul de zinc este un semiconductor cu decalaj direct, cu un interval de 3,36 eV. Schimbarea
naturală a raportului stoechiometric către îmbogățirea oxigenului îi conferă un tip de conductivitate
electronică.

Când este încălzită, substanța își schimbă culoarea: alb la temperatura camerei, oxidul de zinc
devine galben. Acest lucru se explică printr-o scădere a intervalului de bandă și o mutare a marginii
în spectrul de absorbție de la regiunea UV la regiunea albastră a spectrului vizibil.

Proprietăți chimice :
Chimic, oxidul de zinc este amfoteren - reacționează cu acizii pentru a forma sărurile de zinc
corespunzătoare; atunci când interacționează cu soluții alcaline, formează tetra- și
hexahidroxozincate complexe (de exemplu, Na2 [Zn (OH) 4], Ba2 [Zn (OH) 6], etc.) ):
 Fig.2.1.Legatura chimică a oxidului de fier[6].

Metode de obținere :
1. Arderea vaporilor de zinc în oxigen („procesul francez”).
2. Descompunerea termică a unor săruri de zinc:
3. Acetat de Zn (CH3COO) 2;
4. Hidroxid de Zn (OH) 2;
5. Carbonat de ZnCO3;
6. Azotat de Zn (NO3) 2.
7. Prăjirea oxidativă a sulfurii de ZnS.
8. Utilizarea sintezei hidrotermale
9. Extragerea din praf și nămoluri a instalațiilor metalurgice feroase, în special fier vechi
(conține o proporție semnificativă de fier zincat).

Folosirea:
1.În industria chimică

2.In medicină :
Ca o componentă a medicamentelor externe utilizate în dermatologie. Are efecte antiinflamatoare,
uscare, adsorbante, astringente și antiseptice.
Se aplică sub formă de pulbere, unguent, pastă, liniment. Este una dintre componentele mai multor
preparate dermatologice și cosmetice complexe, cum ar fi unguentul de zinc, Pasta Lassara etc.
Efectul farmacologic se datorează faptului că oxidul de zinc formează albuminate și denaturează
proteinele. Atunci când este aplicat pe suprafața afectată, reduce efectele exudării, inflamației și
iritării țesuturilor, formează o barieră protectoare împotriva acțiunii factorilor iritanți.
Poate fi utilizat pentru dermatită, incluzând scutec, erupție de scutec, erupție a scutecului, răni
superficiale și arsuri (arsuri solare, tăieturi, zgârieturi), leziuni cutanate ulceroase (ulcere trofice),
boli de presiune, eczeme în stadiul acut, herpes simplex, streptoderma.
 Tabelul. 2.Proprietațile diferitor oxizi metalici[21].

Dupa cum vedem , ZnO dupa numarul de proprietați este pe primul loc in medicina,cu o mulțime de
molecule țintă

1.Este biocompatibil
2.Transfer de electroni
3.Non-toxic
4.Nanomorfologii diverse

3. În electronică
Oxidul de zinc este utilizat pentru producerea varistorilor, care sunt folosiți la armatoarele de
supratensiune modernă (RP) pentru a înlocui armatoarele învechite pline cu gaz.În plus, pulberea de
oxid de zinc este un material promițător ca mediu de lucru pentru laserele cu pulbere[6] .Un LED
albastru a fost creat pe baza oxidului de zinc Pelicule subțiri și alte nanostructuri pe bază de oxid de
zinc pot fi utilizate ca senzori biologici și gaz sensibi.
Oxidul de zinc este, de asemenea, o parte din pastele termoreductoare, de exemplu pasta KPT-8.
 2.2 Principiul de pulverizare magnetron

Pulverizarea magnetron - reprezintă un proces fizic de depunere din vapori (PVD) în

care materialul este îndepărtat fizic de pe Țintă prin bombardament ionic[9]. Termenul de
pulverizare „sputteren” provine din limba germană, şi înseamnă „ruperea în particule mici şi cu o
caracteristică explozivă a sunetului”

Fig 2.2.Princpipiul de pulverizare[9]

Fig.2.3. Structura magnetronului[9]

Magneții permanenți sunt plasați direct sub țintă, creând un câmp magnetic aproape paralel
cu suprafața catodului. O descărcare anormală de gaz este aprinsă între anod și catod. Ca
urmare, electronii sunt eliminați din catod, care sunt prinși de un câmp magnetic și fac o
mișcare în spirală în acest câmp sub acțiunea forței Lorentz. Electronii captați de câmpul
magnetic conduc ionizarea suplimentară a atomilor de gaz inert, ceea ce crește astfel
intensitatea bombardării cu ioni a suprafeței catodului și, în consecință, provoacă o creștere
a vitezei de pulverizare.

Principalele caracteristici interrelaționate care determină viteza de pulverizare a unei ținte

includ tensiunea de descărcare, curentul de descărcare, presiunea gazului de lucru și
inducerea câmpului magnetic de lângă suprafața catodului. Argonul este utilizat în mod
obișnuit ca gaz de lucru în sistemele de sputtering magnetron.

Pe lângă viteza ridicată de pulverizare, sistemele magnetron au o serie de caracteristici

specifice, principala dintre ele fiind lipsa de bombardare a substratului de către electronii
secundari cu energie mare[9], care sunt principala sursă de defecte de radiație în acoperirea
și încălzirea substraturilor. Într-un sistem de sputtering magnetron, electronii secundari sunt
captați de o capcană magnetică și nu bombardează substratul, ceea ce îi asigură o
temperatură relativ scăzută. Acest lucru permite utilizarea acestor sisteme pentru acoperirea
substraturilor de materiale cu rezistență la căldură relativ redusă (materiale plastice,
polimeri, hârtie).

Avantajele acestei metode în comparație cu alte metode de acoperire:

1) rata mare de depunere;

2) absența aproape completă a supraîncălzirii suprafeței piesei, în timp ce electronii sunt prinși
de câmpul magnetic și, prin urmare, nu provoacă formarea de efecte de radiație;
3) uniformitate ridicată a acoperirilor;
4) un grad scăzut de contaminare a peliculelor, deoarece procesul de acoperire se desfășoară la o
presiune suficient de scăzută p = 10-2 Pa.

Această tehnica s-a dezvoltat rapid în ultimii douăzeci de ani, ca urmare a creșterii cererii
industriale de filme funcționale de înaltă calitate. Astăzi, pulverizarea magnetron depășește adesea
alte tehnici utilizate.Magnetronii convenționali, dezvoltați la începutul anilor ’70, au fost un pas
important în depășirea limitărilor procesului de pulverizare , care a fost cunoscut și utilizat de mulți
ani, în ciuda capacității sale industriale limitate. Apoi, eficacitatea magnetronului a scazut pe la
sfârșitul anilor '80 din cauza dezvoltarii sistemelor cu câmpuri închise cu mai multe surse,dar la
începutul anilor 1990 au schimbat din nou jocul, oferind industriei un set de tehnologii de depunere
excepționalmente versatile și performante. O dezvoltare ulterioară recentă, pulverizare magnetron
pulsatil (PMS) duce la capacitatea de a depune acoperiri complet dense și fără defecte de materiale
izolante, în special oxizi la viteze mari de depunere, evitând arcerea și îmbunătățirea calității
depozitului.

2.2.1 Efectul Hall

În 1879, fizicianul american Edwin Hall [10] a efectuat un experiment trecând un flux
magnetic printr-o placă subțire de aur. În timpul experimentului, el a descoperit apariția unei
diferențe de potențial la marginile plăcii și s-a format efectul Hall. Principiul efectului Hall este una
dintre cele mai populare teorii pentru măsurarea câmpurilor magnetice. În acest post, se va discuta
despre efectul Hall: principiul funcționării sale, explicația teoriei, formulei, aplicației, inclusiv
calcule pentru tensiunea Hall, coeficientul Hall, concentrația purtătorului, mobilitatea Hall și
densitatea câmpului magnetic.
Principiul efectului Hall explică comportamentul transportatorilor de sarcină atunci când sunt
expuși câmpurilor electrice și magnetice. Acest principiu poate fi considerat ca fiind expansiunea
forței Lorentz, care este forța care acționează asupra purtătorilor de încărcare (electroni și găuri)
care trec printr-un câmp magnetic.
Senzorii care lucrează pe acest principiu se numesc senzori Hall. Acești senzori au o mare cerere și
sunt foarte utilizați, de exemplu, senzori de proximitate, comutatoare, senzori de viteză a roții,
senzori de poziție și așa mai departe.
 Fig 2.4. Principiul efectului Hall[10]

Principiul efectului Hall:

Principiul efectului Hall spune că atunci când un conductor sau un semiconductor cu un curent care
curge într-o direcție este introdus perpendicular pe câmpul magnetic, tensiunea poate fi măsurată în
unghi drept față de calea curentă.

Deci, devine clar că o încărcare negativă se acumulează pe una din marginile plăcii noastre sub
acțiunea forței Lorentz, și o încărcare pozitivă pe marginea opusă. Există o diferență de potențial
între cele două muchii ale plăcii și, cu alte cuvinte, o tensiune electrică. Diferența va crește până
când va echilibra forța Lorentz. Diferența de potențial care apare specific în astfel de cazuri se
numește tensiune Hall și este calculată după formula:
VH = I b / q n d ,
( 2.1)
Unde:

I - Curentul care curge prin senzor

b - rezistența câmpului magnetic
q – sarcina electrincă
n - este numărul de transportatori de încărcare pe unitatea de volum
d - este grosimea senzorului
Coeficientul hall
El este reprezentat de RH. Formula coeficientului Hall: RH este 1 / (qn). Coeficientul Hall (R H)
este pozitiv dacă numărul de găuri ale încărcării pozitive este mai mare decât numărul de electroni
ai sarcinii negative. În mod similar, coeficientul Hall (RH) este negativ dacă numărul electronilor de
sarcină negativă este mai mare decât numărul de găuri ale încărcării pozitive.

Concentrația transportatorului
Concentrația de electroni din purtătorul de încărcare este indicată ca „n”, iar „găuri” ca „p”.
Expresia matematică pentru concentrația operatorilor de transport:

n or p = 1 / q*RH (2.2)

Mobilitatea hall :

Mobilitatea hall pentru electroni este reprezentată ca „μ n”, iar pentru găuri - ca „μ p”. Expresie
matematică pentru mobilitate :

µn or µp = σ n RH , (2.3)

Unde :
μn – conductivitatea datorată electronilor

μp - conductivitatea datorată găurilor

Densitatea fluxului magnetic

Densitatea fluxului magnetic este indicată de litera "B". Formula pentru densitatea fluxului
magnetic:

B = VH*d / RH * I (2.4)
Unde :

VH - tensuinea hall
RH – coefficientul hall
I - Curentul care curge prin senzor
d - este grosimea senzorului

Aplicarea principiului efectului Hall :

1. Echipament pentru măsurarea câmpului magnetic.

2. Multiplicator de aplicații pentru a asigura înmulțirea reală.
3. Tester de efect de hall pentru măsurarea curentului direct.
4. Măsurarea unghiului de fază. De exemplu, atunci când măsurați poziția unghiulară a
arborelui cotit, pentru a alinia cu precizie unghiul de aprindere al bujiei
5. Senzori de deplasare liniară sau unghiulară. De exemplu, pentru a determina poziția
scaunelor auto și a centurilor de siguranță și a acționa ca o blocare pentru a controla
airbagul.
6. Senzori de proximitate.
7. Senzori cu efect hall
8. Pentru a determina viteza de rotație a roții și, în consecință, ajuta sistemul de frânare anti-
blocare (ABS).

Cum poate fi utilizat efectul Hall pentru a determina tipul de semiconductor utilizat :

Coeficientul Hall spune totul. Dacă coeficientul Hall este negativ, acest lucru înseamnă că
principalii purtători de încărcare sunt electroni. Și având în vedere că numărul de electroni este mai
mare în comparație cu găurile semiconductoarelor n, acest lucru indică clar că semiconductorul de
tip n testat. În mod similar, dacă coeficientul Hall este pozitiv, aceasta înseamnă că găurile sunt
principalele purtătoare de încărcare. Și având în vedere că numărul de găuri este mai mare decât
electronii din semiconductori de tip p, acest lucru indică clar că semiconductorul de tip p testat.

3.OBȚINEREA DE PELICULE SUBȚIRI PRIN EVAPORARE TERMICA LA

INSTALAȚIA VUP-4

3.1 Clasificarea filmelor și metodele de bază pentru obținerea lor

 Obținerea de filme subțiri de înaltă calitate a straturilor semiconductoare,metale și
dielectrice este o condiție necesară pentru crearea de dispozitive cu stare solidă de orice
complexitate folosind metode moderne ,tehnologie planară.Proprietățile filmelor subțiri pot varia
semnificativ de
materialul masiv , în special cu grosimi de film de mai mulți nanometri.

Filme subțiri. Conceptul de „film subțire” este foarte condiționat. Același film poate fi „subțire”
într-un fel și „gros” în altul. Cu toate acestea, o astfel de diviziune capătă un sens fizic clar atunci
când este considerată o caracteristică fizică specifică sau o anumită stare structurală.

Criteriul pentru starea de „film subțire” a unui metal în ceea ce privește conductivitatea electrică
este, de exemplu, condiția h <L, unde L este calea medie liberă a electronilor. La h << L,
conductivitatea electrică a filmului este cu câteva ordine de mărime mai mică decât cea a unui metal
în vrac datorită împrăștierii multiple a electronilor difuzi prin limitele sale. Pentru proprietățile
optice, criteriul pentru starea filmului subțire este condiția h <l, unde l este lungimea de undă a
luminii. La h << l, o substanță opacă devine transparentă sau translucidă.Criteriul stării cu film
subțire pentru proprietățile fizico-mecanice poate fi grosimea critică hcr, sub care apare o structură
cu un singur bloc cu o grosime a filmului într-o peliculă policristalină sau cu un singur cristal.
Odată cu scăderea h, temperatura de topire scade, structura cristalului și structura domeniului se
schimbă, apar noi efecte datorită creșterii contribuției energiei de suprafață etc.

Filmele subțiri diferă prin material (metal, semiconductor, dielectric, superconductor etc.), structură
(cristal unic, policristalin, amorf), natura distribuției materiei în strat (solid și insulă), metoda de
depunere etc.

 Caracterizarea metodelor de producție. Pentru a obține pelicule subțiri, se folosesc diverse procese
fizice și chimice. Aceste procese pot fi împărțite în 3 clase: fizice, chimice și combinate.

1.Metodele fizice pentru producerea de pelicule subțiri includ: evaporarea în vid (termică, fascicul
de electroni, discret), pulverizare ion-plasmă (catod, ion magnetron, fascicul ionic, reactiv), laser,
arc în vid.

2.La substanțe chimice: depunere electrochimică, depunere de vapori folosind reacții chimice,
creștere termică, anodizare.
3. Metodele de combinare pentru producerea de pelicule combină atât procese fizice cât și chimice
(depunere chimică termionică și plasmatică, anodizare a gazelor).

Conceptul de vid

Starea rarefiată a gazului, adică. o stare în care presiunea gazului într-un volum închis închis sub
atmosferică se numește vid. „Vacuum” în latină înseamnă gol.

Tehnologia vidului ocupă un loc important în producerea structurilor de film. Pentru a crea un vid
în camera de lucru, gazele trebuie pompate din acesta. Nu se poate realiza un vid ideal, iar în
camerele de lucru evacuate ale instalațiilor tehnologice există întotdeauna o anumită cantitate de
gaze reziduale, care determină presiunea în camera evacuată (adâncimea sau gradul de vid).

În Sistemul Internațional de Unități (SI), unitatea de presiune este Pascal (Pa), care este 1N pe 1m 2
(N / m2). Unitatea din afara sistemului, un milimetru de mercur (mmHg), care corespunde unei
presiuni a unei coloane de mercur de 1 mm la 0 ° C, este foarte răspândită în tehnologia vidului.
Între aceste unități de presiune există următoarele relații: 1 mmHg. Artă. = 133,3 Pa sau 1 Pa = 7,5 ·
10-3 mmHg

După cum s-a menționat, conform teoriei molecular-cinetice, toate moleculele (atomii) de gaze sunt
în mișcare termică constantă aleatorie. În mod convențional, putem distinge calea unei molecule
individuale (Fig. 3.1.). Mișcarea aleatorie a moleculelor este explicată prin coliziunile lor reciproce.
Ca rezultat
 Fig.3.1. Mișcarea termică a moleculelor într-un gaz rarefiat[3].

3.2. Caracteristici ale procesului de aplicare a filmelor în vid

Procesul de aplicare a filmelor subțiri în vid constă în crearea (generarea) unui flux de particule
direcționate către substratul care trebuie tratat și condensarea lor ulterioară cu formarea straturilor
de film subțire pe suprafața care urmează să fie acoperite.

Astfel, atunci când se aplică filme subțiri, trei procese principale au loc simultan: generarea unui
flux direcționat de particule ale substanței depuse; trecerea particulelor într-un spațiu (vid) rarefiat
de la sursa lor la suprafața de tratat; depunerea (condensarea) particulelor pe suprafață cu formarea
straturilor de film subțire.

Fig.3.2.. Schema de aplicare a filmelor subțiri în vid:[3].

De unde :
1 - substrat, 2 - generator de flux de particule, 3 - etanșant, 4 - bază, 5 - cameră de vid (capac)
În conformitate cu această schemă, instalațiile sub vid pentru aplicarea filmelor subțiri, în ciuda
varietății scopului și designului lor, constau în următoarele elemente principale: o sursă pentru
generarea unui flux de particule din materialul depus[11]; un sistem de vid care asigură condițiile
cerute pentru proces; dispozitive de poziționare a transportului care furnizează substraturi în zona
de depunere a filmului și orientarea suprafețelor tratate în raport cu fluxul de particule al
materialului aplicat.
Procesul de aplicare a filmelor subțiri în vid constă din următoarele operații de bază:

1. Instalarea și fixarea substraturilor care urmează să fie prelucrate pe suportul suportului cu

capacul ridicat;

2. Închiderea (sigilarea) camerei de lucru și pomparea acesteia la vidul necesar;

3. Includerea unei surse care creează un flux atomic (molecular) al substanței depuse;
4. Aplicarea unei pelicule cu o anumită grosime, cu o sursă permanentă de curgere a
particulelor și un sistem de vid;
5. Oprirea sursei de curgere a particulelor, răcirea substraturilor și lăsarea aerului în camera de
lucru la presiunea atmosferică;
6. Ridicarea capacului și scoaterea suporturilor tratate din suportul suportului.

Fig. 3.3. Mișcarea particulelor de substanță aplicată în vid mediu (a) și ridicat (b)[2]

De unde :
1 - pereți ai camerei; 2,9 - particule depuse pe peretele camerei; 3 - o particulă depusă pe reversul
substratului; 4 - substrat; 5.10 - particule depuse pe partea frontală a substratului fără coliziuni; 6 - o
particulă depusă pe partea frontală a substratului după o coliziune; 7 - sursa fluxului de particule; 8 -
umbră din substrat.
Când se aplică filme în vid mediu (Fig. 3.3, a), particulele substanței depuse au o natură diferită a
mișcării. Unele dintre ele, atunci când se îndreaptă spre substrat, suferă un număr mare de coliziuni
cu moleculele de gaz, iar traiectoria mișcării lor are forma unei linii rupte. În acest caz, orientarea
inițială a mișcării particulelor este complet încălcată. Drept urmare, unele particule 6 după o serie
de coliziuni cad pe substrat. O parte din particulele 5 ajung pe ea fără coliziuni[14]. Unele particule
2 nu cad pe substrat, ci se condensează pe pereții camerei 1, formând un strat de film uniform.
Coliziunea particulelor individuale 3 poate duce chiar la depunerea filmului pe partea inversă a
substratului 4.

Atunci când filmele sunt depuse în vid mare (Fig. 3..3, b), particulele substanței depuse zboară
independent de-a lungul căilor drepte, fără coliziuni reciproce și coliziuni cu molecule de gaz, fără
a-și schimba direcția și se condensează (particulele 9 și 10) pe pereții camerei 1 și suprafața
substratului 4.

3.3. Metode de producere și control al vidului

3.3.1. Tehnica vidului

Pentru a obține un vid tehnologic de 10-7 mmHg. Artă. aplicați diverse tipuri de pompe
de vid. În funcție de presiunea inițială, acestea sunt împărțite în două grupuri: vid înainte și vid
mare. Primul grup include pompe care încep să pompeze la presiunea atmosferică și asigură un vid
preliminar (supravacuum) de 10-2 - 10-3 mm RT. Art. Și pompele cu vid mare care funcționează în
intervalul de la supravacuum și de mai sus.
 Fig.3.4. Schema instalației de vid inalt universal – 4 ( VUP-4 )[3]

Pentru a obține un vid tehnologic, pompele din prima și a doua grupă sunt combinate într-o unitate
de vid, care include o cameră de vid, supape de comutare, capcane de siguranță, circuite de
automatizare, circuite de măsurare a vidului, viteze de depunere etc.

Principala caracteristică a unei pompe de vid este viteza de pompare, adică. cantitatea de gaz care
trece prin intrarea pompei pe unitatea de timp (l / s).

Cele mai simple principii de funcționare sunt pompele de adsorbție înainte-vid, bazate pe
capacitatea suprafețelor pre-degazate de a absorbi gazele datorate adsorbției fizice.

Zeolitul este utilizat ca adsorbant. Zeolitul este numit o substanță spongioasă, fină, poroasă, cu
dimensiunea porilor a mai multor angstromi. Pentru răcirea adsorbantului, pe vas se pune un vas de
evacuare cu azot lichid, iar pentru regenerare se folosește un încălzitor. Principalele dezavantaje ale
pompelor de adsorbție sunt consumul ridicat de azot lichid, pomparea slabă a hidrogenului, care are
cea mai mică dimensiune a moleculelor și gazele inerte.

 Pompele mecanice anterioare cu vid cu garnitură de ulei funcționează modificând periodic volumul
camerei de pompare. Calitatea pompelor mecanice anterioare de vid depinde de montarea pieselor
de frecare. Reducerea fluxului de gaz se realizează datorită etanșării uleiului a suprafețelor de
frecare. Folia de ulei creează impermeabilitatea gazelor la îmbinările mobile.Uleiul folosit ca
etanșant trebuie să aibă o presiune scăzută de vapori, să nu fie oxidat în aer și să aibă o vâscozitate
pentru a crea o peliculă de etanșare puternică. Pompele turbomoleculare cu vid mare se bazează pe
principiul transmiterii moleculelor de gaz în mișcare direcțională care rămân în vid ridicat datorită
unei suprafețe care se mișcă rapid. Căderea de presiune este proporțională cu viteza, suprafața și
greutatea moleculară a gazului.Proiectarea ansamblului pompat al pompei turbomoleculare este
similară unui condensator variabil. Distanța dintre rotorul și plăcile statorului este de aproximativ 1
mm, plăcile au găuri cu margini teșite, ceea ce duce la o mișcare radială a moleculelor din axa
pompei. Prin urmare, diferențialul de presiune este direcționat de la axă către pereții laterali. În
unele modele de pompe turbomoleculare, rotirea rotorului poate ajunge până la 100.000
rpm.Pompele turbomoleculare pompează până la 10-9 mm Hg. Art. Dar au selectivitate: pentru
gazele mai grele, compresia (raportul dintre presiunea de ieșire și presiunea de intrare) este mai
mare decât pentru lumină. Prin urmare, în vid final, rămâne doar hidrogen în cameră.

 Pompele cu jet de abur (difuzie) cu vid ridicat funcționează pe principiul distribuirii vitezei
suplimentare de gaz moleculelor reziduale de gaz și se bazează pe captarea moleculelor gazului
evacuat de către un jet de aburi al fluidului de lucru, care le antrenează din volumul evacuat.
Lichidul de lucru se încălzește în cazan, vaporii rezultați intrând în duze și le lasă la viteză mare.

Un flux de aburi traversează camera de lucru a pompei. Peretele opus al camerei este răcit, vaporii
se condensează, eliberând moleculele gazului pompat, iar condensul curge înapoi în cazan. O
pompă primară este conectată la ieșirea pompei.

Ca fluid de lucru, se folosesc uleiuri de distilare speciale, lichide organosilicon și mercur.

Pompele cu jet de abur pe bază de ulei sunt funcționale ieftine, permit obținerea unui vid de până la
10-8 mm Hg. Artă. Cu toate acestea, moleculele de ulei pot intra în camerele de vid evacuate.
Moleculele de ulei care pătrund în volumul procesului se stabilesc pe substraturi. Diferite tipuri de
capcane sunt utilizate pentru a capta moleculele de ulei.

Pompele cu ioni Getter au avantajul că contaminarea cu hidrocarburi a camerelor de vid este redusă
la minimum deoarece nu au o sursă intensă de ioni. Pompele cu ioni Getter folosesc fenomenul de
absorbție a gazului de filmul depus. Absorbția se desfășoară atât ca urmare a chemisorbției, cât și a
„cablajului” atomilor inerți. Gazul este absorbit de un strat proaspăt depus de titan, aliaj de titan-
molibden sau crom în urma sublimării, fasciculului de electroni sau a pulverizării ionilor pe
cavitatea pompei. În ultimul caz, pompele se numesc descărcare electrică. Procesul de pompare a
pompelor de ioni getter implică ionizarea moleculelor de gaz reziduale cu electroni emiți de catod.
Eficiența ionizării depinde de probabilitatea unui electron care întâlnește o moleculă de gaz.
Probabilitatea crește odată cu alungirea căii electronilor. Pentru aceasta se folosește asimetria
câmpului electric sau a unui câmp magnetic extern. O pompă pre-degazată poate da un vid de până
la 10-9 mmHg.

3.3.2. Tehnica de măsurare a vidului

Instrumentele pentru măsurarea presiunilor scăzute totale în tehnologia vidului se numesc

manometre. Termenul de calibre a vidului este folosit și în literatură și practică. Cele mai multe
manometre constau din două elemente: un senzor - convertor de semnal și o unitate de măsură.

Prin principiul acțiunii, manometrele pot fi reduse la următoarele clase:

1. Manometre lichide, în care presiunea sau diferența de presiune măsurată este echilibrată de
presiunea coloanei de lichid (manometre în formă de U și modificările acestora).

Manometre de compresie, a căror acțiune se bazează pe legea compresiunii izoterme a unui gaz
ideal (manometre McLeod).

3. Calibrele de deformare folosind un element sensibil un burduf, o membrană etc. Mărimea

deformării elementului senzor este o măsură a presiunii.

4. Manometre termice care utilizează dependența conductivității termice a gazului de presiune.

Acestea sunt împărțite în termocuple și manometre de rezistență.

5. Manometre de ionizare în care presiunea este determinată de valoarea curentului ionic. Un grup
mare de dispozitive din această clasă este împărțit la rândul său în:

a) descărcarea electrică, al cărei principiu se bazează pe dependența parametrilor descărcării

electrice într-un gaz cu frecvență redusă de presiune;

b) ionizarea electronică, ionizarea gazelor în care este realizată de un flux de electroni accelerat de
un câmp electric.
 Fig 3.5. Manometru[25].

Întregul grup de manometre poate fi, de asemenea, împărțit în instrumente de acțiune directă și
indirectă.

Manometrele directe sunt instrumente care măsoară direct presiunea gazului. Proprietățile
gabaritului acestor calibre pot fi calculate în avans sau obținute prin calibrare cu instrumente
dinamometrice. Citirea presiunii manometrului direct este fundamental independentă de compoziția
gazului și de temperatura acestuia. Aceste dispozitive acoperă o gamă de 10 - 10-3 Pa, iar eroarea
lor relativă este mai mică, cu cât presiunea este mai mare. Manometrele de acțiune directă includ
lichid, compresie și deformare. Manometrele indirecte nu măsoară presiunea în sine, dar o parte din
funcția sa și, de regulă, constau dintr-un senzor (manometru) și o unitate de măsurare radio-tehnică.
Citirea presiunii (semnalul de ieșire) pentru manometrele indirecte depinde de tipul de gaz și de
temperatura acestuia.

Balanțele indirecte ale manometrului sunt calibrate în unități de presiune sau unități electrice. În
ultimul caz, la instrumente este atașată o curbă de calibrare a conversiei sau este dată sensibilitatea
acestuia. Curbele de calibrare sunt compilate la calibrarea instrumentelor cu acțiune indirectă cu
manometre directe și, strict vorbind, sunt adevărate numai pentru condițiile care reproduc condițiile
de calibrare.

Măsurarea presiunilor sub 1,33*Pа10-3 Pa (10-5 mmHg) este practic posibilă doar cu instrumente
indirecte, deoarece forțele la astfel de presiuni sunt neglijabile (la 1,33 *10-3 Pa ~ 1,3*10- 8 kg/cm2).
Astfel, presiunea ca sarcină își pierde sensul. La astfel de presiuni, un alt parametru este mai
indicativ - concentrația moleculară, adică densitatea particulelor de gaz pe unitate

volum, care, întâmplător, este măsurat prin manometre indirecte.

La măsurarea presiunilor cu manometre indirecte, precizia de citire nu este ridicată datorită

influenței unui număr mare de factori dificil de luat în considerare (modificări ale compoziției și
temperaturii gazelor, procese de absorbție și desorbție în senzor etc.). Eroarea de măsurare a
presiunii variază de obicei între 10 și 60% din valoarea măsurată[15].

3.4. Evaporarea termică a materialelor în vid

Esența acestei metode este încălzirea unei substanțe în vid până la o temperatură când
energia vibrațională medie a particulelor sale crește atât de mult încât devine mai mare decât
energia de legare cu alte particule[12] și părăsesc suprafața (se evaporă) și se propagă în spațiul
liber, formând abur. În acest caz, sunt posibile două scheme de evaporare: faza solidă - faza lichidă
- faza de vapori și faza solidă - faza de vapori. A doua schemă de evaporare se numește sublimare
sau sublimare.
Evaporarea termică a oricărei substanțe se caracterizează prin temperatura de evaporare, presiunea
de vapori și rata de evaporare.În timpul evaporării într-un sistem închis între particulele evaporate și
cele condensate, se stabilește un echilibru dinamic, care corespunde presiunii de vapori de echilibru
(vapori saturați). Dependența de temperatură a presiunii de vapori într-o formă generală este
descrisă prin ecuația Clipperon-Clausis.

lg P = AT-1 + B lg T + CT + DT2 + E (3.1)

Unde :
A, B, C, D,E - constante caracteristice unei substanțe date.

Temperatura la care presiunea de vapori a unei substanțe deasupra suprafeței sale este de 1,33 Pa se
numește temperatura de evaporare a substanței.
Viteza de evaporare a unei substanțe (cantitatea de substanță în grame care lasă 1 cm2 de suprafață
liberă timp de 1 sec la temperatura condițională T este determinată de formula Hertz-Knudsen

Vis = AP (M / T) 1/2, (3.2)

Unde :
A - este coeficientul de proporționalitate,
M - este greutatea moleculară a substanței.

Distribuția naturală a substanțelor se evaporă în spațiul deasupra evaporatorului este determinată de

parametrii principali doi: presiunea de lucru în camera de vid și densitatea de flux a atomilor și
moleculelor se evaporă.

Dacă există o presiune de vapori care se evaporă (metal) în cameră de vid este ordonată la 10-1 Pa
sau mai puțin, moleculele atomi atomici substanțiali se evaporă până la locul substratului, fără
coliziuni între ele și cu molecule de privire reze. În acest caz, acestea sunt reglabile moleculare în
evaporarea și condensarea acestora, pentru îngrijirea legilor Lambert-Knudsen sunt valabile:

- distribuția spațială a fluxului de materie vaporizată de pe o suprafață plană este proporțională cu

cos a (a - este unghiul dintre direcția de propagare a vaporilor și normalul la suprafață);

- numărul de particule care cad pe suprafața substratului este invers proporțional cu pătratul
distanței dintre evaporator și substrat.

În conformitate cu legea Lambert - Knudsen, evaporarea materiei are loc neuniform în toate
direcțiile, dar mai ales în direcții apropiate de suprafața normală față de cea evaporată, unde cos a,
are o valoare maximă.Cantitatea de substanță care este depusă pe suprafața opusă depinde și de
poziția acestei suprafețe în raport cu evaporatorul.

Viteza de evaporare a metalelor pure în vid este determinată numai de temperatură. Când aliajele se
evaporă în vid, presiunea de vapori a fiecărei componente deasupra topiturii este determinată de
compoziția acesteia și diferă de presiunea de vapori a componentei pure la aceeași temperatură.
Aceasta determină dependența vitezei de evaporare a aliajului nu numai de temperatura de
evaporare, ci și de compoziția topiturii. Modificarea presiunii de vapori a fiecărei componente
asupra topiturii la o temperatură fixă poate fi cuantificată folosind legea Raoult. Să existe un aliaj
binar format din componentele A (solventul este componenta principală a aliajului) și B (substanța
dizolvată este componenta de aliere a aliajului). În conformitate cu legea lui Raoult, o scădere a
presiunii de vapori a solventului A la o anumită temperatură este proporțională cu fracția molară a
solutului B.
Se introduce următoarea notare: PA este presiunea de vapori a componentei pure A; PAB este
presiunea de vapori a componentei A în prezența componentei B în topitură; nA și nB sunt fracțiile
molare ale componentelor; NA și NB sunt numărul de moli de solvent și, respectiv, de substanță
dizolvată; SA și CB - fracțiuni de masă ale componentelor A și B. Atunci se ia forma notării
matematice a legii lui Raoul

(3.3)

Pentru majoritatea sistemelor reale (aliaje), legea lui Raoult nu este aplicabilă, fie păstrează o
anumită gamă de compoziții și temperaturi de evaporare.

Temperatura substratului și viteza de condensare afectează în mod semnificativ structura filmelor

rezultate. Acest efect este diferit pentru materialele cu puncte de topire diferite. În cazul unui
material cu temperaturi scăzute, rata de depunere este puternic influențată de rata de depunere.
Deoarece diferența dintre temperatura substratului și temperatura de topire a materialului este mică,
nucleele mici de film rămân mult timp în stare lichidă. Mai mult, în cazul unei rate de condensare
ridicate, nucleele individuale cresc rapid și se contopesc în stare lichidă, formând cristalite mari.
Drept urmare, structura filmului este cu granulație grosieră. Cu condensarea lentă, solidificarea
apare cu mult înainte ca nucleele care au apărut să atingă o dimensiune la care se ating între ele. În
acest caz, apare un film cu granulație fină.

Atunci când materialele cu un punct de topire ridicat sunt depuse pe un substrat cu o temperatură
scăzută, nucleele din momentul apariției lor sunt formațiuni solide. Prin urmare, mecanismul
considerat mai sus nu apare în acest caz. Cu toate acestea, rata de condensare afectează structura
formațiunii în cazul depunerii de materiale la temperaturi ridicate. Acest lucru se datorează faptului
că o modificare a vitezei de depunere duce la o modificare a raportului numărului de molecule de
gaze reziduale care intră în substrat la numărul de atomi ai materialului depus. La o viteză scăzută
de condensare, o cantitate mare de gaze este absorbită de film și se formează o structură mai puțin
regulată.

O modificare a temperaturii substratului afectează structura filmului după cum urmează. Când o
peliculă este pulverizată pe un substrat având o temperatură scăzută, se obține o structură fină
cristalină. Acest lucru se datorează faptului că la o temperatură scăzută, atomii care au căzut pe
substrat migrează cu greu. Drept urmare, un număr mare de embrioni se îmbină într-un film cu
granulație fină. Odată cu creșterea temperaturii substratului, intensitatea migrației atomilor crește.
Prin urmare, embrionii apar numai în găuri potențiale profunde. În acest caz, atomii depuși ulterior
nu creează noi nuclee, dar, migrând, se alătură nucleelor existente pe substrat. Ca urmare,
concentrația de boabe în creștere este scăzută, iar filmul este cu granulație grosieră. Procesul
tehnologic de condensare a vaporilor și formarea unei pelicule subțiri pe substrat în faza solidă nu
este lung. Drept urmare, structura filmului nu corespunde structurii cu energie internă scăzută, iar o
astfel de structură nu este stabilă. În timp sau cu o schimbare de temperatură, această structură se
schimbă și, în consecință, caracteristicile electrice ale filmului se schimbă și ele. Prin urmare, pentru
a stabiliza caracteristicile filmelor subțiri, se recomandă ca acestea să fie antrenate la o temperatură
ridicată după pulverizare. În acest caz, filmul se transformă în granulație grosieră.

Structura filmului obținut prin evaporarea în vid, pe lângă acești factori, este afectată de gradul de
vid, de tipul materialului de substrat, de natura prelucrării sale, de curățenia suprafeței și de alți
factori.

Pentru a sintetiza toate aceste numeroase modificări, au fost propuse un număr mare de metode de
producție. Având în vedere metodele de producere a oxidului de zinc, se pot distinge două grupuri
principale de metode: obținerea de ZnO nanocristalin pe substraturi și în stare dispersată. În primul
caz, un substrat - un purtător solid este adesea un element integrant al unui biosenzor pentru
transmiterea unui semnal analitic. În acest caz, sinteza se realizează direct pe electrozi sau
substraturi conductoare pentru măsurători electrice sau electrochimice ulterioare. În acest caz,
suportul solid ar trebui să aibă o aderență suficientă la ZnO pentru creșterea și funcționarea
ulterioară a unor astfel de structuri, care sunt cel mai adesea reprezentate de două morfologii
principale: pelicule ZnO policristaline cu diferite grosimi și tablouri de nanorode. Straturile
nanocristaline au o suprafață dezvoltată și prezintă un avantaj mare în suprafața specifică în
comparație cu filmele continue. O caracteristică caracteristică a matriților nanorod este faptul că
fiecare nanorod individual este un singur cristal. Ca rezultat, nu există granițe de-a lungul direcției
de creștere a acestor tije și, prin urmare, este facilitat transportul electronilor. Mărimile
caracteristice ale nanorodelor ZnO cu un singur cristal sunt de obicei cuprinse între 50 și 200–300
nm în diametru și mai multe micrometri în lungime. Un rol important pentru utilizarea practică îl
joacă continuitatea stratului de nanorod și ordonarea verticală a acestora, ceea ce este deosebit de
important atunci când se creează structuri multistrat și se aplică contacte superioare.

3.5 Procesul si pașii de obținere filmelor ZnO

Prelucrarea substraturilor a fost efectuată imediat înainte de instalarea lor în cameră.

Substraturile de sticlă au fost degresate într-un amestec de crom (6 g K2Cr2O7 + 10 ml H2O + 100
ml H2SO4) la temperatura camerei timp de 20-30 minute. Apoi au fost bine spălate și uscate cu un
uscător de păr.
Dispozitivul de pulverizare magnetron (MRU) este montat sub capota postului de vid VUP-4 și este
utilizat pentru producerea de pelicule de oxid și metal.

Fig.3.6 Instalarea magnetronului sub capota Vup-4

Proiectarea tabloului de comandă nu implică nici o modificare a dispozitivului cu capac al stâlpului
de vid. Instalarea și demontarea tabloului de comandă se efectuează în 15-20 de minute. Astfel,
magnetronul planar completează setul de dispozitive tehnice și extinde semnificativ caracteristicile
operaționale ale stației de vid VUP-4.
Sistemul magnetic este format din samariu-cobalt central și magneți cu inel. Magneți cu poli invers,
dar montați simetric strict pe un circuit magnetic format din material magnetic moale.
Magnetronul este plasat într-o carcasă răcită cu apă, formată dintr-o bază inoxidabilă și un cilindru
de cupru. Ambele părți sunt interconectate printr-o garnitură de cauciuc cu o piuliță de unire. Partea
superioară a cilindrului de cupru răcit activ servește ca bază pentru catodul țintă. Întregul ansamblu
catodic este fixat rigid pe partea inferioară a camerei de vid a stâlpului, asigurând astfel legarea la
pământ a acestuia.
       Principalii parametri operaționali ai magnetronului sunt tensiunea la electrozi, curentul de
descărcare, puterea de descărcare, componenta radială a inducției câmpului magnetic și presiunea
gazului. La selectarea modurilor de operare este necesar să se țină seama de interdependența
puternică a acestor parametri. O caracteristică constantă este inducerea unui câmp magnetic. La
suprafața titularului țintă, acesta este de 30 mT. Din experimentele efectuate, următoarele condiții
de funcționare magnetron au corespuns condiției optime pentru producerea de filme ZnO: presiune
parțială inițială P0 = 2x10-5 mmHg, presiune argon în camera de lucru P1 = 5x10 -3mmHg, tensiune
între electrozii U = 300 v. În aceste condiții, filmele ZnO au grosimea de 200–500 nm, transparența
de 80–90% și s-a format rezistența de la 40 la 500 Ω.

Pașii care trebuie efectuați :

1. Răspundem la întrebările de securitate.

2. Obținem permisiunea profesorului de a efectua partea experimentală.
3. Pornim pompele.
3.1 Apăsam butonul „Rețea”, fn.
3.2 Deschidem supapa PV (pre-vid în RO).
3.3 Pornim indicatorul de calibru PMT-4M. Verificați curentul lămpii (trebuie să fie 110-140mA).
3.4 Apăsam butonul FV pentru a controla vidul scăzut.
3.5 Apăsam butonul BB pentru a deschide apa de la pompa cu vid ridicat; se deschide supapa de
pompare în jos pentru pompa cu vid înalt.
3.6.Apăsam butonul DN pentru a porni încălzirea pompei. Așteptați 30-40 mi-năut
3.7.Apăsam butonul „Program”.
3.8.Apăsam butoanele PV, PV, reglarea vidului scăzut (1,2 mV pe scara superioară).
3.9.A deschidem obturatorul pentru a pompa la vid mare în RO (la stânga din
RO).
3.10. Pornim „Emisie”. și setați valoarea tensiunii cu o șurubelniță
5 mV.
3.11 Apăsam butonul „Zero” și setați rezistența corespunzătoare
rom 0 mV.
3.12 Apăsambutonul "10-4", așteptați introducerea acului gabaritului
pentru 1mV, apăsați butonul "10-5". Scara superioară prezintă presiune
vmm.rt.st. aproximativ (2-4) 10-5.
4. Încărcam RO cu evaporatoare și substrat
4.1 Închideți obturatorul, apăsați ФВ, deschideți supraalimentatorul rotind șurubul inferior în sens
invers acelor de ceasornic. Aerul curge în RO.
4.2 Deschideți RO cu mâna.
4.3 Încărcați doi evaporatori: 3 cu crom și 4 cu cupru. Instalare substratul.
4.4 Ștergeți sigiliul PO cu alcool. Capac inferior RO. Închideți conducta de scurgere rotind șurubul
inferior în sens orar.
4.5 Apăsam butonul PV pentru a pompa PO la un vid preliminar, controlați pe scala superioară 1,2
mV
4.6 Apăsam butonul BB și butonul "Prog.", Deschideți obturatorul și începeți să pompați de la PO
la un vid ridicat. Așteptați aproximativ 5 minute.
4.7 Pornim „Emisie”, verificați 5 mV.
4.8.Apăsam „Zero” pentru a seta sau verifica 0 mV.
5.9. Repetăm tranziția .
6. Executarea pulverizării.
5.1 Introduceți cheia în orificiul de 5V.
5.2 Închidem evaporatorul 3 cu o a doua cheie.
unsprezece
5.3 Apăsam butonul „Utilizați”. Setați încet cu „Reg.
curent 60-80A. Urmărim evaporarea. Atenţie! Curentul nu trebuie să depășească
80A.
5.4 După formarea unei suprafețe de oglindă continuă, îndepărtăm „Reg. până la poziția de pornire.
5.5 Apăsăm butonul „Utilizați”.
5.6 Cu o a doua cheie, opriți evaporatorul 3 și închidem evaporatorul 5 pentru cupru.
5.7. Repetați tranziția 6.3. Asigurați-vă că cupru se topește înainte de a începe să se evapore.
Schimbăm vizual culoarea substratului.
5.8 Repetăm 6.4 și 6.5.
5.9 Scoatem substratul cu pelicula pulverizată. Pentru a face acest lucru, repetați tranzițiile 5.1 și
5.2.
6. Dezactivam instalarea.
6.1.Închidem RO.
6.2 Închidemscurgerea.
6.3 Apăsam butonul PV. Așteptați 1-2 minute.
6.4 Apăsam butonul BB.
6.5 Apăsam butonul DN.
6.6 Așteptăm aproximativ o oră să se răcească ziua.
6.7.Apăsăm butonul O (final).
6.8 Apăsăm butonul FN pentru a opri pompa primă.
6.9 Dezactivăm PV.
6.10 Oprim indicatorul de vid.
6.11 Apăsăm butonul „Rețea”.

7. Calculăm distribuția condensului pe suprafața substratului pentru evaporatorul tipului „element

elementar” pe baza legilor Lambert - Knudsen, ținând cont de geometria RO. Măsurăm distanța de
la evaporator la substrat.

8. Măsurăm rezistența pătratului filmului în nouă puncte din centru și de-a lungul diagonalelor
substratului utilizând dispozitivul IUS-3.

Rezultatul :

Fig.3.7. Oxdiul de zinc (film)

 3.6 Studierea proprietăților electrice

Pentru cercetarea proprietăților electrice a probelor masive de n-ZnO, pe muchiile din

margine au fost depuse contact ohmice în formă de picături de indiu : două contacte electrice și
două perechi de contacte Hall pe marginile opuse. Contactele s-au topit timp de 20 de minute la
temperatura de 300°С în cuptorul gradat,în vid ,produs de instalația VUP-4.

Fig. 3.8. Schema instalației de vid inalt universal – 4 ( VUP-4 )[3]

Cum am spus mai sus în calitate de contacte metalice pentru peliculele subțiri de n-ZnO, a fost
folosit Al , care a fost depus prin evaporarea termică pe probă în vid la o temperatură de 200°С.
Au fost folosite 4 contacte de Al amplasate în colțurile unui pătrat cu latura de 7mm. În fig 3.9. este
prezentată fotografia unei probe obținute prin metoda descrisă mai sus.
 Fig 3.9. Testarea proprietaților placii de ZnO.

Baza circuitului de măsurare este o metodă electrometrică pentru măsurarea emf, care este
asigurată de rezistența ridicată la intrare a voltmetrelor digitale utilizate. Diagrama bloc a instalației
pentru studiul proprietăților cinetice este prezentată în Fig. 3.10. Semnalul măsurat din proba a fost
alimentat prin unitatea de comutare БК (1) pe voltmetru DC В7-46/1 (2) cu rezistența de intrae =
109 Ω. Proba a fost alimentată de o sursă de curent continuu Б5-49 (4). Valoarea curentului prin
probă a fost măsurată cu un voltmetru digital universal В7-21А (5) cu rezistența etalon. Unitatea de
comutare a permis schimbarea direcției curentului prin probă. Proba studiată a fost plasat între poli
de un electromagnet (M), care a fost alimentat folosind o sursă de curent continuu Б5-47 (6).
Valoare curentului ce trecea prin bobina magnetului se măsura cu voltmetrul В7-21А (7) cu
rezistență etalon. Temperatura probelor în timpul măsurării, controlată de un termocuplu cupru-
constant (Т), conectat la voltmetru В7-46/1 (8), constituea, constituea 20-25 °С. Măsurătorile se
efectuau în câmp magnetic continuu (BZ) cu tensiunea de 10 V.
Proprietățile cinetice a peliculelor ZnO au fost efectuate prin metoda Van der Pauw. Formula
de calcul a coificientului Hall (RH) în cazul probelor vrac și a peliculelor subțiri:
VHd
RH=
IBZ (3.4),
unde VH – tensiunea efectului Hall, d – grosimea probei, I – intensitatea curentului prin probă.
Formulele pentru calcularea rezistivității pentru probele vrac și, respectiv, pentru peliculele subțiri
sunt prezentate mai jos:
ρ= rezistivitatea (3.5),
πd
ρ= R
ln 2 (4.3),
unde R - rezistența, măsurată de pe perechea de contacte Van der Pauw. Mobilitatea Hall ()
calculată după relația cunoscută:
 μ=R H / ρ (3..6).
Eroarea totală de măsurare a coeficienților cinetici a fost  (5÷10)% pentru efectul Hall și  3%
pentru electroconductibilitate.

Fig 3.10 Diagrama bloc a instalației pentru studiul proprietăților cinetice ale semiconductorilor.

3.7 Caracteristicile straturilor de ZnO:Al obținute.

O serie de probe ZnO: Al s-au depus prin pulverizare magnetron pe sticlă la diferitele puteri a
curentului camerei de descărcare: 10, 20 și 30 mA. Toate probele au fost împărțite în două părți,
jumătate din toate probele tăiate au fost tratate termic în vid. Mai întâi, s-au măsurat spectrele de
transmitanță ale probelor tratate termic, așa cum este reprezentat în (fig.3.11.) Spectrele obținute
sunt tipice pentru oxidul de zinc. Pentru probele obținute la un curent de 20-30 mA, se observă o
scădere bruscă a spectrului de transmitanță la o lungime de undă de 340 nm. Absorbția optică care
provoacă acest declin este, de obicei, atribuită auto-absorbției ZnO. Energia corespunzătoare
spectrului de transmisie este de 1240/(nm)  3,6eV. În același timp, lărgimea benzii interzise a
ZnO ușor dopat este de 3,3 eV . Creșterea observată a decalajului de bandă obținută prin măsurători
optice poate fi atribuită efectului Burstein-Moss: în semiconductori puternic dopați, nivelul Fermi
se ridică adânc în banda de conducție, tranzițiile optice din banda de valență se pot termina numai
deasupra nivelului de energie Fermi, ceea ce determină o creștere aparentă a lățimii zonei interzise.
În regiunea de lungime de undă a spectrelor de transmisie, se observă un model de interferență.
Poziția minimelor și maximelor poate fi utilizată pentru a calcula grosimea probelor utilizând
următoarea formulă: 2da = m(/2) sau d = m/4a, unde d este grosimea probei,  este lungimea de
undă a picului spectrului de transmisie, a - este indicele de refracție m –numărul de jumătăți de
undă care sunt amplasate pe o grosime de 2d. Când m este impar, trebuie observat un minim, când
m este par, un maxim. În (Fig.3.11). este reprezintată valorile m pentru fiecare spectru și în
paranteze lungimea de undă corespunzătoare. Indicele de refracție al ZnO slab depinde de nivelul
dopajului și este de 2,000,05 pentru o lungime de undă de 500 nm. În această lucrare, a se
consideră a fi 2,00. Rezultatele calculelor vitezei de creștere a peliculelor subțiri ca funcție a puterii
curentului camerei de descărcare sunt prezentate în (Fig.3.12.) Această relație este complexă; poate
distinge două zone. În zona (1) această dependență este mai degrabă exponențială, iar în zona (2) (în
intervalul 20 - 30 mA) dependența este aproape liniară. În (Fig.3.13). Rezistența specifică a
probelor înainte și după tratarea termică în vid este prezentată pentru diferite puteri a curentului din
camera de descărcare. Toate probele netratate au o rezistivitate relativ ridicată de ordinul 10-1 cm.
Tratarea termică în vid reduce considerabil ρ, aproximativ cu două ordine de mărime. În acest caz,
cu o creștere a puterii curentului în camera de descărcare, se observă o scădere monotonică a lui ρ
până la 210-3 cm.

Fig 3.11.. Transmitanța spectrală a probelor ZnO:Al

Care au fost crescute în timp de 50 min cu indicarea puterii curentului în camera de descărcare. La
felsunt demonstrate și picurile, în baza cărora a fost calculate grosimea straturilor subțiri.
Fig.3.12. Dependența vitezei de creștere a straturilor subțiri ZnO:Al de puterea camerii de
descărcare.

Fig.3.13. Dependența rezistenței specifice a peliculelor subțiri ZnO:Al de puterea camerii de

descărcare, până și după tratarea termică în vid.
 Fig 3.14. Dependența concentrației purtătorilor de sarcină și a lor mobilitate în straturile subțiri
ZnO:Al de puterea curentului în camera de descărcare.

Pentru a analiza motivul scăderii rezistenței specifice a probelor studiate, s-au efectuat
măsurători ale efectului Hall, ceea ce a făcut posibilă calcularea atât a concentrației purtătorilor de
sarcină (n), cât și a mobilității lor (μ). Rezultatele de calcul sunt prezentate în ( Fig.3.14) . Se poate
observa că, odată cu creșterea puterii camerei de descărcare, nivelul de dopaj cu impurități de Al și
concentrația purtătorilor de sarcină liberi practic nu se schimbă și se situează la un nivel de 4,5 ×
1020 cm-3. Dimpotrivă, cu o creștere a puterii curentului camerei de descărcare se observă clar o
creștere monotonă a mobilității purtătoare la o valoare de 8 cm2 / Vs. Această creștere a mobilității
determină o creștere generală a conductibilității (scăderea ρ) a probelor studiate.
Comparând rezultatele obținute, putem concluziona că tratarea termică a probelor de ZnO: Al în
vid este necesar pentru a reduce rezistența acestora. O astfel de tartare termică ar trebui să
îmbunătățească perfecționarea structurală a peliculelor subțiri și să reducă densitatea
compensatorilor acceptori a vacanțelor de zinc . Probabil, cu creșterea puterii camerei de
descărcare, care conduce la un mediu gazos mai dens din care se produce creșterea peliculelor
subțiri, perfecționarea structurală a straturilor subțiri ce cresc se îmbunătățește. Aceasta favorizează
creșterea mobilității purtătorilor de sarcină și a conductibilității straturilor de ZnO: Al.
 4. ARGUMENTAREA ECONOMICĂ A PROIECTULUI

4.1 Actualitatea și utilitatea temei. Analiza SWOT

În ultimele decenii , interesul fața de biosenzori a crescut exponențial , ceea ce a dus la

creșterea cerinței , respectiv si a ofertei .În momentul actual statistica arata ca rata medie de
creștere anuală (AAGR) pentru piața biosenzorilor este în jur de 7,5%. Unele sectoare precum
nanobiotehnologia au o rată de creștere mai mare (8,2%), în timp ce altele cum ar fi monitorizarea
alimentelor și biosenzorii folosiți în agricultură, au o rată de creștere mai mică cu 7,2%. Rata de
creștere a screeningului cu un randament mare pentru depistarea țintelor medicamentoase este de
7,5%. Cu toate acestea, întrucât în prezent acest sector domină piața biosenzorilor (77%), acest
procent de 7,5%, este și AAGR al pieței de biosenzori pentru toate aplicațiile de biosenzori. În
plus, piața pentru 1.screening-ul cu randament ridicat și 2.analiza medicală pentru anul 2004 a fost
estimată la 1.255 miliarde USD, respectiv 181,4 milioane dolari.

Fig.4.Procentul si repartajarea vinzarilor de biosenzori[17].

Deci , am vazut ca oferta biosenzorilor pe piața este in crestere favorabila,dar aici apare o
alta problema,apar cereri noi , si deaceea este nevoie de a studia proprietațile de ZnO pentru a-l
utiliza in crearea sau schimbarea metodei de construcție a noilor tipuri de biosenzori.
NP-urile ZnO care apar într-o varietate foarte bogată de dimensiuni și forme vor oferi o gamă largă
de proprietăți. Metodele pentru prepararea stabilă a ZnO NPs au fost dezvoltate pe scară largă în
ultimii ani, care includ în principal metoda precipitațiilor chimice, metoda sol-gel, metoda pirolitică
în stare solidă, metoda mecanicochimică fără soluție și metoda biosintezei.
ZnO ca un nou tip de nanomaterial cu costuri reduse și cu toxicitate scăzută, au atras un interes
extraordinar pentru diverse domenii biomedicale, inclusiv anticancer, antibacterian, antioxidant,
antidiabetic și antiinflamator, precum și pentru furnizarea de medicamente și bioimagistică aplicații
[9, 12]. NPs mai mici de 100 nm sunt considerate a fi relativ biocompatibile, care susțin aplicațiile
lor biomedicale și reprezintă o proprietate puternică în promovarea cercetării biomedicale.

Intr-un experiment a folosit extractul natural de lemn santal roșu (RSW) ca agent antidiabetic
eficient în conjugarea cu Nns ZnO. Activitatea antidiabetică a fost evaluată cu ajutorul analizei de
inhibare a α-amilazei și a α-glucozidazei cu extracte pancreatice murine și intestine subțiri
.Rezultatele au arătat că conjugatul de ZnO-RSW a avut un procent moderat mai mare de inhibare
(20%) împotriva α-amilazei pancreatice porcine și au fost mai eficiente împotriva glucozidazei
pancreatice murine brute decât oricare dintre cele două elemente (RSW și ZnO NPs). ZnO-RSW
conjugat a afișat 61,93% din inhibarea glucozidazei, în timp ce NN-urile ZnO și RSW au prezentat
21,48% și, respectiv, 5,90%.

Tabelul 4. Analiza SWOT a folosirii ZnO.

Mediul intern
Puncte forte(Strengths) Puncte slabe(Weaknesses)
1. Cost de producție scazut 1. Necesitatea de investiții
2. Necesitatea unui laborator pentru un
2. Oferta nouă
studiu complex
3. lipsa unei analize comparative a
3. Posibilitatea de a trata noi boli avantajelor biologice ale acesteia cu alte
nanoparticule metalice
4. Reprezentarea datelor pe intervale de
-
timp multiple
5. Au o toxicitate scazuta si îsi pastrează
-
integritatea biochimică
6. poate fi folosit la mai multe tipuri de
-
biosenzori
7. posibilitatea studierii in paralel și a altor
-
tipuri de metale
Mediul extern
Oportunități(Opportunities) Riscuri(Threats)
1. Creșterea numarului de biosenzori 1.In timpul studierii in vivo pot fi oarecare
 daune in urma reacției organismului
2. Posibilitatea extinderii studiilor asupra
2.Pierdere de timp și bani.
altor metale/nemetale pentru biosenzori
Posibilitatea tratarii unor boli mortale pentru -
om

4.2. Planificarea managerială a lucrărilor de proiectare

Pentru a putea incepe sa facem o cercetare este necesar de a stabili încă de la început etapele
de dezvoltare, termenele acestora și responsabilii pentru fiecare etapă. Fiecare proiect ce se
planifica a fi dezvoltat cuprinde etape standard, cum ar fi cautarea informațiiei actuale despre
studiul al ZnO , procurarea dispozitivelor si a materialelor necesare, elaborarea unei scheme
generale. Majoritatea etapelor pot fi indeplinite independent .

Fig.4.1. Diagrama Gantt de distribuire a timpului pe etapele de dezvoltare.

4.2.1 Estimarea cheltuielilor de proiectare

Cercetarea proprietaților de zinc nu a fost foarte costisitor ,deoarece la locul de practica
majoritatea dispozitivelor erau deja prezente,daca sa luăm de la zero , atunci cheltuielile ar fi foarte
mari.
Tabelul 4.1. Fonduri fixe.
Denumirea Prețul Perioada de Suma
Nr. Unități Uzura, lei
materialului unitar utilizare, zile totală, lei
1 Vup-4 30000 1 14 30000 397,72
2 voltmetru DC
6325 1 14 6325 83,85
В7-46/1
Total: 36325 480,97
Calcularea uzurii pentru fondurile fixe:

S t∗N a
U FF= ∗T (4.1)
N zileîn an u
unde, St – costul inițial al utilajului, lei
N a – norma de uzură anuală a utilajului (25%),
T u – timpul de utilizare a utilajului în proiect, zile.

30000∗0,25
U ( 1) = ∗14=397,72
264

6325∗0,25
U ( 1) = ∗14=83,85
264

Tabelul 4.2.Fonduri circulante.

Denumirea materialului Prețul, lei Unități Suma totală, lei
Stilou 6 2 12
Caiete 8 2 16
Masca medicala 5 8 40
Manuși 10 3 30
Spirt metilic 40 1 40
Voltmetru TELWIN DV300 260 1 260
Magnetron 325 1 325
Ampermetru KASAN TF – 60 60 1 60
Sursa de curent c.B5-49 759 1 759
Multimetru digital U. В7-21А 965 1 965
Sursa de curent c. B5-47 2320 1 2320
Total: 4827

Cheltuieli indirecte de producție :

Tabelul 4.3 Cheltuielile indirecte.

Prețul Preț/durata
Nr Tarif, Preț/zi,
Cheltuieli Consumul lunar, proiectului
. lei lei
lei (65 zile)
1 Energie electrică 1,87 50kW 95,5 3,1 206
2 Apa 8 3m^3 24 0,8 52
3 Internet - - 260 8,6 563
4 Serviciu transport 2 6 km 48 4 104
5 Argon 486 0.05 litri 24,3 0,81 52,65
6 Indiu 3349 0,01kg 33,49 1,11 72,5
 Total: 1050,15

Calculul cheltuielilor indirecte pe durata de elaborare a proiectului:

Pl∗T u
C= (4.2)
30 zile

unde, Pl – preț lunar, lei

T u – timpul de realizare a proiectului, zile

95.5∗65 zile
C 1= =206 lei
30 zile
24∗65 zile
C 2= =52lei
30 zile
260∗65 zile
C 3= =563lei
30 zile
48∗65 zile
C 4= =89,1lei
30 zile

24,3∗65 zile
C 5= =52,65
30 zile

33,49∗65 zile
C 6= =72,56
30 zile

4.2.2. Cheltuieli directe privind retribuirea muncii

Tabelul 4.4 Calculul fondului de retribuire a muncii.

Numărul Primele de
Salariul Salariul Defalcările
de zile Asigurare
Nr. Funcția tarifar tarifar la în Fondul
implicat în Medicală,
lunar, lei temă, lei Social, lei
proiect lei
Proiect
1 65 5255 0 1320 583
Manager

Salariul final va fi calculat conform formulei:

S ∗N
Sf = t (4.3)
Nt
unde Sf – salariul final, lei
St – salariul tarifar, lei
N – numărul de zile implicat în proiect,
Nt – numărul de zile lucrătoare într-o lună.
Calcularea salariului tarifar pentru fiecare salariat:

5000
Sf 1 = ∗17=4254 lei
21

Suma contribuțiilor în Fondul Social(FS) :

FS1=4254∗0,23=978lei
valoarea primei de Asigurare Medicală Obligatorie (AM). :
AM 1=4254∗0,035=148,89

Consumul total pentru retribuirea muncii :

C t=4254+ 978+148,89=5380,39

124,7

4.3. Estimarea costului proiectului

Tabelul 4.5 Prețul de cost al produsului.
Ponderea cheltuielii,
Nr. Tipul de cheltuieli Suma, lei
%
1 Salariul tarifar 5255 42,14
2 Fondul de Asigurări Sociale 978 7,84
3 Primele de Asigurare Medicală 148,89 1,19
4 Cheltuieli indirecte 1050,15 8,42
5 Uzura mijloacelor fixe 480,97 3,85
6 Fonduri circulante 4827 38,7
Total 12470 100,00

CONCLUZII
În final pot spune ca nu orice persoana poate sa se ocupe cu cercetarea unui anumit metal ,
de exemplu același ZnO, din mai multe cauze , cum ar fi , utilajul prea costisitor,dificultate extrem
de mare în cercetarea și elaborarea unui nou tip de biosenzor , si in cel mai rau caz riscam sa
ramînem doar cu cunoștințele pe care le-am obținut in urma cercetarii de asa tip .Aceste
cunostințe nu pot fi propuse pieții , în comparație cu un proect ori un dispozitiv elaborat, ele
necesită doar o continuare a studiului si elaborării unui dispozitiv.Fiind student mă bucur ca am
avut această ocazie de a studia un asa tip de metal .
Nn-urile ZnO au prezentat aplicații biomedicale promițătoare bazate pe anticancer, antibacterian,
antidiabetic, antiinflamator, administrarea de medicamente, precum și o activitate de imagistică
bioimagistică. Datorită toxicității inerente a NP-urilor ZnO, acestea au efecte puternice de inhibare
împotriva celulelor canceroase și a bacteriilor, prin inducerea generarii ROS intracelulare și prin
activarea căii de semnalizare apoptotică, ceea ce face din ZnO NPs potențiali candidați ca
anticancer și agenți antibacterieni. În plus, NP-urile ZnO au fost, de asemenea, bine cunoscute
pentru a promova biodisponibilitatea medicamentelor terapeutice sau a biomoleculelor atunci când
funcționează ca purtători de medicamente pentru a obține o eficiență sporită a terapiei. Mai mult
decât atât, cu capacitatea de a scădea glucoza din sânge și creșterea nivelului de insulină, ZNO NPs
au arătat potențialul promițător în tratarea diabetului și atenuarea complicațiilor sale, care pot fi
evaluate în continuare.

NP-urile ZnO sunt listate ca un fel de substanță sigură de către FDA. Cu toate acestea, unele aspecte
critice ale NP-urilor ZnO trebuie încă să fie examinate în continuare, care includ următoarele: (1)
lipsa unei analize comparative a avantajelor biologice ale acesteia cu alte nanoparticule metalice,
(2) limitările toxicității ZnO NPs pentru sistemele biologice rămân a o problemă controversată în
cercetările recente, (3) lipsa unei cercetări randomizate bazate pe dovezi care explorează în mod
special rolurile terapeutice în îmbunătățirea activităților anticanceroase, antibacteriene,
antiinflamatorii și antidiabetice și (4) lipsa de cunoștințe despre studiul animalelor corespunzătoare
despre anticancerul său, antibacterian , activități antiinflamatorii și antidiabetice. În urma studiilor
axate pe problemele menționate mai sus, s-ar putea elucida și înțelege utilizarea potențială a
nanoparticulelor ZnO în domeniile terapeutice și biomedicale de diagnostic. Considerăm că
nanomaterialele ar promova în mod dramatic dezvoltarea medicamentului și că se estimează că
nanoparticulele ZnO vor contribui mai interesant în aceste domenii.

Mulţumesc pentru atenţie !!

BIBLIOGRAFIE
1. https://en.wikipedia.org/wiki/Biosensor
2. А. Х. Абдуев и др. УФ-ассистирование процесса роста прозрачных проводящих слоев
на основе оксида цинка. Письма в ЖТФ, 2017, том 43, вып. 22, ( . A. Kh. Abduev și
 colab. Creșterea asistată de radiații UV a straturilor conductoare transparente pe bază de
oxid de zinc. Scrisori în JTF, 2017, Volumul 43, nr. 22 )

3. .А. Х. Абдуев и др. Влияние температуры роста на свойства прозрачных проводящих

пленок ZnO, легированных галлием. Физика и техника полупроводников, 2010, том
44, вып. (.A. H. Abduev și colab. Efectul temperaturii de creștere asupra proprietăților
filmelor transparente conductoare ZnO dopate cu galiu. Fizica și tehnologia
semiconductorilor, 2010, Volumul 44, Ediția.)

4. Zhao Z., Lei W., Zhang X., Wang B., Jiang H. ZnO-Based Amperometric Enzyme
Biosensors // Sensors. 2010. V. 10. № 2. P. 1216 ( Zhao Z., Lei W., Zhang X., Wang B.,
Biosensorii enzimelor amperometrice bazate pe Jiang H. ZnO // Senzori. 2010. V. 10. Nr 2.
P. 1216( Zhao Z., Lei W., Zhang X., Wang B., Biosensorii enzimelor amperometrice bazate
pe Jiang H. ZnO // Senzori. 2010. V. 10. Nr 2. P. 1216)
5. Clark L.C., Lyons C. Electrode Systems for Continuous Monitoring in Cardiovascular
Surgery // Annals of the New York Academy of Sciences. 1962. V. 102. № 1. P. 29. ( lark
L.C., Lyons C. Sisteme de electrozi pentru monitorizare continuă în chirurgie
cardiovasculară // Analele Academiei de Științe din New York. 1962. V. 102. No. 1. P. 29.)
6. https://ro.wikipedia.org/wiki/Oxid_de_zinc

7. Lata S., Batra B., Karwasra N., Pundir C.S. An amperometric H2O2 biosensor based on
cytochrome c immobilized onto nickel oxide nanoparticles/ carboxylated multiwalled
carbon nanotubes/polyaniline modified gold electrode // Process Biochemistry. 2012. V. 47.
№ 6. P. 992 (Lata S., Batra B., Karwasra N., Pundir C.S. Un biosenzor amperometric H2O2
pe bază de citocrom c imobilizat pe nanoparticule de oxid de nichel / nanotuburi de carbon
cu mai multe părți carboxilate / electrod din aur modificat polianilină // Biochimie de
proces. 2012. V. 47. Nr 6. P. 992)

8. Dai Z., Fang M., Bao J., Wang H., Lu T. An amperometric glucose biosensor constructed by
immobilizing glucose oxidase on titanium-containing mesoporous composite material of no.
41 modified screen-printed electrodes // Analytica Chimica Acta. 2007. V. 591. № 2. P. 195.
( Dai Z., Fang M., Bao J., Wang H., Lu T. Un biosenzor amperometric de glucoză construit
prin imobilizarea glucozei oxidazei pe material compozit mesoporos conținând titan de nr.
 41 electrozi printați cu ecran modificat // Analytica Chimica Acta. 2007. V. 591. Nr 2. P.
195.)
9. https://en.wikipedia.org/wiki/Sputter_deposition
10. https://en.wikipedia.org/wiki/Hall_effect

11. Qureshi A., Gurbuz Y., Howell M., Kang W.P., Davidson J.L. Nanocrystalline diamond
film for biosensor applications // Diamond and Related Materials. 2010. V. 19. № 5–6. P.
457.( Qureshi A., Gurbuz Y., Howell M., Kang W.P., Davidson J.L. Film de diamante
nanocristaline pentru aplicații de biosenzori // Diamant și materiale conexe. 2010. V. 19. Nr
5-6. P. 457.)

12. Zhang Y., Wang M., Huang L. Fabrication of a Sensitive Electrochemical Biosensor for
Detection of DNA Hybridization Based on Gold Nanoparticles/ CuO Nanospindles
Modified Glassy Carbon Electrode // Chinese Journal of Chemistry. 2012. V. 30. № 1. P.
167.( Zhang Y., Wang M., Huang L. Fabricarea unui biosensor electrochimic sensibil pentru
detectarea hibridizării ADN-ului bazat pe nanoparticule de aur / Nano-nuclee CuO cu
electrod din sticlă modificată // Revista chineză de chimie. 2012. V. 30. Nr 1. P. 167)
13. Wang Z.L. The new field of nanopiezotronics. Materials Today. 2007. V. 10. № 5. P. 20.
( 13. Wang Z.L. Noul domeniu al nanopiezotronicii. Materiale astăzi. 2007. V. 10. Nr 5. P.
20.)
14. Li Z., Yang R., Yu M., Bai F., Li C., Wang Z.L. Cellular Level Biocompatibility and
Biosafety of ZnO Nanowires // J. of Physical Chemistry C. 2008. V. 112. № 51. P. 20114
( Li Z., Yang R., Yu M., Bai F., Li C., Wang Z.L. Biocompatibilitatea și biosecuritatea la
nivel celular a Nanowires ZnO // J. de Chimie Fizică C. 2008. V. 112. Nr. 51. P. 20114)
15. Ellmer K., Klein A., Bernd R. Transparent Conductive Zinc Oxide. Springer Berlin
Heidelberg. 2008) (Ellmer K., Klein A., Bernd R. Oxid de zinc conductiv transparent.
Springer Berlin Heidelberg. 2008)
16. Medyantseva E., Varlarnova R., Gitnaletdinova D., Fattakhova A., Budnikov G. An
amperometric monoamine oxidase biosensor for determining some antidepressants // J. of
Analytical Chemistry. 2008. V. 63. № 3. P. 275.( Medyantseva E., Varlarnova R.,
Gitnaletdinova D., Fattakhova A., Budnikov G. Un biosenzor monoaminoxidază
amperometrică pentru determinarea unor antidepresive // J. de chimie analitică. 2008. V. 63.
Nr 3. P. 275.)
17. https://www.gminsights.com/industry-analysis/biosensors-market
18. Asif, M.H.; Ali, S.M.U.; Nur, O.; Willander, M.; Brannmark, C.; Stralfors, P.; Englund,
U.H.; Elinder, F.; Danielsson, B. Functionalised ZnO-nanorod-based selective
electrochemical sensor for intracellular glucose. Biosens. Bioelectron. 2010, 25, 2205–2211.
(18. Asif, M.H .; Ali, S.M.U .; Nur, O .; Willander, M .; Brannmark, C .; Stralfors, P .;
Englund, U.H .; Elinder, F .; Danielsson, B. Senzor electrochimic selectiv funcționalizat pe
bază de ZnO-nanorod pentru glucoză intracelulară. Biosens. Bioelectron 2010, 25, 2205-
2211.)
19. (Ikonen, E. Cellular cholesterol trafficking and compartmentalization. Nat. Rev. Mol. Cell
Biol. 2008, 9, 125–138. )Ikonen, E. Traficul și compartimentarea celulară a colesterolului.
Nat. Rev. Mol. Biol celular. 2008, 9, 125–138.
20. Isaccsohn, J. Yale University School of Medicine Heart Book; Hearst Books: New York,
NY, USA, 1992. (Isaccsohn, J. Yale University School of Medicine Book Heart; Hearst
Books: New York, NY, SUA, 1992. )
21. Isaccsohn, J. Yale University School of Medicine Heart Book; Hearst Books: New York,
NY, USA, 1992. (Israr, M.Q .; Sadaf, J.R .; Engquist, I .; Nour, O .; Willander, M .;
Danielsson, B. Caracterizarea structurală și aplicațiile biocompatibile ale nanoshehe-urilor
grafenice pentru miniaturizarea biosenzorului potentiometric al colesterolului. J. Biosens.
Bioelectron 2011, 2. )
22. Ibupoto, Z.H.; Elhag, S.; Nur, O.; Willander, M. Fabrication of sensitive potentiometric
cholesterol biosensor based on Co3O4 interconnected nanowires. Electroanalysis 2014, 26,
1928–1934.( Ibupoto, Z.H .; Elhag, S .; Nur, O .; Willander, M. Fabricarea biosenzorului
potențialometric de colesterol sensibil bazat pe nanofirele interconectate Co3O4.
Electroanaliză 2014, 26, 1928-1934.)
23. Asif, M.H.; Fulati, A.; Nur, O.; Willander, M.; Brannmark, C.; Stralfors, P.; Borjesson, S.I.;
Elinder, F. Functionalized zinc oxide nanorod with ionophore-membrane coating as an
intracellular Ca2+ selective sensor. Appl. Phys. Lett. 2009, 95, 023703. ( Asif, M.H .; Fulati,
A .; Nur, O .; Willander, M .; Brannmark, C .; Stralfors, P .; Borjesson, S.I .; Elinder, F.
Nanorod de oxid de zinc funcționalizat cu acoperire cu membrană ionofore ca senzor
selectiv Ca2 + intracelular. Appl. Phys. Lett. 2009, 95, 023703.)
24. Ibupoto, Z.H.; Ali, S.M.U.; Chey, C.O.; Khun, K.; Nur, O.; Willander, M. Selective zinc ion
detection by functionalised ZnO nanorods with ionophore. J. Appl. Phys. 2011, 110, 104702
( Ibupoto, Z.H .; Ali, S.M.U .; Chey, C. O .; Khun, K .; Nur, O .; Willander, M. Detecție
selectivă a ionilor de zinc prin nanoroduri ZnO funcționalizate cu ionofor. J. Appl. Phys.
2011, 110, 104702 )
25. https://ro.wikipedia.org/wiki/Manometru