II Conceptul de microsistem

Cap. II CONCEPTUL DE MICROSISTEM

Microsistem: sistem tehnic realizat cu ajutorul microtehnologiilor i care poate ndeplini funcii
multiple ntr-un spaiu redus.
Structura unui microsistem este determinat de funciile sale i anume:
- detectarea, prelucrarea i ealuarea semnalelor e!terne"
- luarea unor decizii pe #aza informaiilor receptate"
- transformarea deciziilor n comenzi corespunztoare pentru actuatori.
$
Fig. 1 Componentele unui microsistem
Componentele unui microsistem
Senzorii se realizeaz n prezent pe un su#strat, integrai ntr-o matrice senzorial. In funcie de
aplicaia acestora, pot utiliza principii mecanice, termice, magnetice, chimice sau #iologice.
Actuatorii sunt elemente actie ale unui microsistem care permit acestuia s reacioneze la un
stimul %de e!emplu: micromotoare, micropompe, supape, ntreruptoare, relee&. Spre deose#ire
de miniaturizarea senzorilor care este posi#il n prezent, miniaturizarea actuatorilor este o
direcie de cercetare care tre#uie s rezole aspecte multiple priind at't materialele c't i
tehnologiile de realizare ale acestora.
Modulul de prelucrare a informaiilor i control al sistemelor are funcii comple!e i este limitat
din punct de edere al dimensiunilor i al consumului de putere. (lgoritmii de control tre#uie
adaptai la necesitile i specificul microsistemelor.
Interfaa cu alte procese sau sisteme asigur schim#ul de energie, informaie i su#stan. Se
consider c feza#ilitatea i succesul pe pia a iitoarelor microsisteme depinde de dezoltarea
interfeelor practice micro-macro.
)n prezent, se #ucur de un mare interes interfaa electric %pentru transmiterea informaiilor i
energiei&. Sunt studiate dierse posi#iliti de realizare a interfeelor pe cale optic, termic,
acustic etc. *'n n prezent, singura metod utilizat pentru transferul de su#stan este cea cu
ajutorul unor elemente specifice micro-fluidicii.
Convertoarele (+, i ,+( fac deseori parte integrant din interfaa electric. -le permit
conersia semnalelor analogice date de senzori n semnale ce pot fi prelucrate digital precum i
controlul analog al actuatorilor utiliz'nd comenzi digitale generate de microcontroler. )n cazul
microsistemelor cu structur descentralizat, echipate cu senzori i actuatori inteligeni %cu
propriile microcontrolere&, conertoarele (+, i ,+( pot fi integrate direct pe chip-urile
microsenzorilor sau microactuatorilor.
Componentele pentru electronica de putere sunt eseniale pentru orice microsistern, ele ridic'nd
deseori pro#leme electromagnetice sau termice de care tre#uie s se in seama n faza de
proiectare.
Componentele de prelucrare a informaiei genereaz semnale electrice pentru controlul
actuatorilor utiliz'nd datele de la senzori: .n ciclu de prelucrare a informaiilor cuprinde:
captarea lor, transformarea, stocarea, evaluarea i generarea de semnale.
Semnalele de la diferii senzori sunt digitalizate cu un conertor (+, i amplificate" semnalele
prelucrate seresc ca i semnale de control pentru actuatori.
/icrosistemele pot fi auto-monitorizate i testate de propriile uniti de control i pot comunica
cu alte sisteme i microsisteme, dac este necesar.
/odul de prelucrare a informaiilor de ctre un microsistem este ilustrat n (Fig.!
0
Interfaa cu procese
sau alte sisteme
-lectronic de
putere
Conertor
,+(
Conertor
(+,
*relucrarea
semnalelor
*relucrarea
informatiilor

MICROSISTEM
Informaie
-nergie
Su#stan
M
E
D
I
U
L

N
C
O
N
J
U
R

T
O
R
II Conceptul de microsistem
Fig. "rocesarea semnalului i a informaiei #ntr$un microsistem
)n ta%elul 1.1 se prezint spectrul microsistemelor i metodele corespunztore de fa#ricaie.
&a%elul 1.1
01 mm
Meto!e !e
o"ser#are$m%surare
Elemente
componente
Te&nolo'ii !e
reali(are
/ilimaini
0 mm
'izi%ile cu oc(iul li%er
Componenete
miniaturizate
*relucrri de
precizie
/icromasini
0 2m
Microscop optic /icro-componente
/icrotehnologii
specifice %e!.:
3I4(. etc.&
5anomaini
0 nm
Microscop electronic
Componente
moleculare
Ingineria
proteinelor.
#iotehnologie
(ceast clasificare acoper o scar dimensional de la 01 mm la c'ia nanometri incluz'nd toate
mecanismele releante. Cele mai importante aplicaii ale te(nologiei microsistemelor (&MS! sunt
prezentate n (Fig. )!.
6
M
E
D
I
U
L

N
C
O
N
J
U
R

T
O
R
/icrosenzori fizici
i chimici
Conertor (+, i
amplificare
*relucrarea
semnalelor
Semnale
electrice
analogice
Semnale
digitale
(utomonitorizarea i
testarea sistemului
*relucrarea
inteligent a
informaiilor:
- -aluare
- 3uare decizii
- Control
Informaii
/icroactuatori
Conertor ,+( i
amplificare
Comunicare
Sisteme e!terne
Semnale
electrice
analogice
MICROSISTEM
Semnal test
Semnale de control
Semnale de
comunicare
II Conceptul de microsistem
Fig. ) Aplicaii ale te(nologiei microsistemelor
7/S reprezint soluia actual de rezolare a multiplelor pro#leme legate de performanele
deose#ite ce se impun componentelor unui sistem: senzori, actuatori, module de prelucrare a
informaiilor.
/icroro#oii sunt reprezentani importani ai microsistemelor. /icroro#oii sunt microsisteme ce
au olumul su# l cm
8
. ,imensiunile diferite ale ro#oilor miniaturizai, ale mini i microro#oilor
sunt determinate de aplicaiile lor diferite i implic tehnologii de realizare, metode de msurare,
control i de asam#lare diferite. ,in punct de edere tehnologic este dificil de delimitat o tipologie
specific mini i microro#oilor, totui se pot identifica dou* clase distincte+
a& microro%oii de tip clasic la care arhitectura este cea a ro#oilor industriali i
manipulatoarelor, fiind o#inut prin miniaturizarea sau integrarea elementelor componente.
*erformanele lor funcionale depind nemijlocit de progresele tehnologice n direcia miniaturizrii
senzorilor i actuatorilor.
#& microro%oii neconvenionali ce se #azez pe principii fizice particulare
%piezoelectricitate, magnetostriciune, memoria formei, electroreologie&. (cetia utilizeaz
proprietile mecanice, electrice sau magnetice ale aa-numitelor materiale 9inteligente9, ceea ce
permite, n final, realizarea unor funcii specifice ro#oilor de tip clasic. Cel mai adesea se o#ine
o mo#ilitate ce determin deplasarea ntregului sistem sau a unei pri a acestuia pe suprafaa unui
solid, n mediu lichid sau n aer.
(sam#larea microsistemelor, nsoit de transportul nedistructi, manipularea precis i
poziionarea precis a microcomponentelor sunt aplicaii dintre cele mai importante ale
microsistemelor.
Microsisteme electromecanice ) MEMS
Sunt sisteme integrate de dimensiuni mici i foarte mici %de la c'ia micrometri p'n la
milimetri& care com#in n structura lor elemente electrice i mecanice.
(cronim:
/-/S : n S.(
/S7 %/icros;stems technolog;& : n -uropa
/icromachines : n <aponia
8
,ispozitie pentu
industrie auto
/icroro#oi
Ingineria
proceselor de
producie
-lectronic
Inginerie
#iomedical i
#iotehnologie
TMS
7ehnologia
calculatoarelor,
#irotic, electrocasnice
Industria
aero-spaial
/etrologie
*rotecia mediului
7elecomunicaii
II Conceptul de microsistem
Fig. , -omenii de interferen*
Sunt fa#ricate utiliz'nd tehnica de realizare a circuitelor integrate com#inat cu microprelucrri
ale suportului respecti materialelor utilizate. n timp ce circuitele inte'rate sunt proiectate
e*ploat+n! propriet%,ile electrice ale siliciului- MEMS utili(ea(% at+t propriet%,ile electrice
c+t .i propriet%,ile mecanice ale acestuia.
)ntr-o form general, /-/S constau n microstructuri mecanice, microsenzori, microactuatoare
i microelectronic, toate integrate pe acelai chip.
/-/S se constituie ca un mod de proiectare i creare a unor dispozitie mecanice i sisteme
comple!e integr'nd electronica aferent la niel micro i nano.
=
MICROSISTEME
ELECTROMEC/NICE
7>(,.C7?>I : dispozitie care transform un semnal n
energie.
S-5@?>I : dispozitie care msoar informaia din
mediu i produc la ieire un semnal proporional cu
mrimea msurat %mecanice, termice, chimice,
radioactie, magnetice, electrice&.
(C7.(7?>I : dispozitie care realizeaz conersia
unui semnal electric n aciune mecanic %lucru mecanic&.