1. Microprelucrări bazate pe anizotropie cristalină.

Noțiuni de cristalografie legate de principalele plane și direcții cristaline :Materialele cristaline

sunt structurate în 14 rețele tridimensionale de cristalizare, provenind din 7 sisteme cristaline
de bază, a căror celula elementară este un poliedru cu 6 fețe sub formă de patrulater.(12 muchii,
8 vârfuri) Direcțiile cristaline sunt determinate de drepte ce conțin cel puțin 2 vârfuri. Exemplu
direcție = [1 1 1] = direcția rezultată orin unirea originii celulei elementare cu vârful 1 1 1.
Planul cristalin este determinat de 3 vârfuri ale rețelei și este notat prin indicii Miller.
Profile de corodare obținute prin eroziune chimică pot fi diferite în funcție de corelarea
anizotropiei substanței de atac cea a materialului de structurare.
Poziționarea măștilor :Orientarea măștii în raport cu planele cristaline influențează atât forma
cavității cât și capacitatea de realizare a structurilor suspendate de tipul grindă sau micropunte
rezonantă. Orientarea sau eroarea de orientare a măștii pe direcția plachetei va duce la apariția
cavităților piramidale cu pereți înclinați.

2. Microprelucrări bazate pe selectivitatea procesului de corodare.

Definiție selectivitate :definită drept raportul dintre rata de corodare a stratului de structurare
și rata de corodare a materialului măștii sau a stratului de stopare a corodării.
Principalele soluții de atac pentru corodarea izotropă și anizotropă a siliciului monocristalin :
Corodarea siliciului policristalin și a altor materiale(straturile de sacrificiu)
Materiale pentru măști și pentru stratul de stopare a corodării siliciului.

3. Microprelucrare siliciu monocristalin:

Succesiunea etapelor de lucru pentru aplicarea tehnicii stratului de sacrificiu la realizarea
structurilor mobile(exemplu=îmbinări roată-arbore utilizând ca material de sacrificiu PSG)

4. Tehnologia procedeului LIGA

Definiție :se utilizează pentru obținerea microstructurilor metalice și din polimeri, dezvoltate
în spațiu pe 2, 3 și ½ axe, cu raport mare între înălțimea și dimensiunea lor în plan.
Aplicații :micromotoare magnetice și electrostatice.
Succesiunea de operații specifice: Grosimea stratului de rezist corespunde cu înălțimea dorită
a microstructurii.
Expunerepiesă PMMA(rezist=plexiglas) unicat
Developarepiesă metalică unicat
 GalvanizareIpiesă din polimeri. Producție tip serie
Injectarepiesă metalică. Producție tip serie
GalvanizareIIpiesă ceramic. Producție tip serie
Presare
GalvanizareaI: Depunere galvanică=se realizează electrodepunerea metalelor pentru protecția
anticorozivă, pentru îmbunătățirea proprietăților metalice. Rezultă un profil negativ al formei
obținut din rezist. Depunerea se face pe substratul conductiv neacoperit de configurașia de rezist.
Rigiditatea formei depinde de grosimea stratului metalic care acoperă modelul.
Injectarea:prin aplicarea unei plăci de injectare(materiale plastice) se pot obține rapid și ieftin
numeroase copii de polimeri.
GalvanizareII:copiază în negativ profilul structurilor din polimeri fixate de placa de injectare..
Depunerea galvanică reprezintă copia independentă metalică.
Materiale implicate:se poate depunde cupru, nichel, aur sau orice alt metal. Pentru injectare se
utilizează materiale plastice.
Masca pentru expunere la raze X : are 3 componente :suport ce poate fi obținut sub formă de
membrană subțire, material absorbant pentru asigurarea contrastului, care să poată avea o
grosime cât mai mare și o ramă care să asigure rigiditatea mecanică necesară poziționării,
centrării și schimbării automate a măștii.
Avantaje + Performanțe :

5. Aplicarea procedeului LIGA pentru reproducerea microstructurilor spațiale.

Realizarea unei microturbine prin procedeul LIGA în asociere cu tehnica stratului de sacrificiu.
Microturbina este confecționată odată cu locașul fix în care ea se rotește, ca și cu arborele ce o
centrează, prin tehnica straturilor de sacrificiu.Prezența fibrei optice complică procesul
tehnologic deoarece integrarea ei rigidă în ansamblu necesită 2 trepte de galvanizare. Între cele
2 galvanizări fibra este poziționată în dreptul fantei prin care ea primește lumina reflectată de
paletele turbinei și rigidizată cu microstructura metalică. Configurația stratului de sacrificiu se
va face prin litografie optică, în timp ce microstructura din PMMA va fi configurată prin
litografie adâncă cu radiație Rontgen sincrotronică.