Cap 6. Microprelucrarea siliciului monocristalin.

Solutiile constructive pentru senzorii si traductorii micromecanici se deosebesc de cele utilizate

frecvent astazi.
Pentru ca motivul principal al micrometrizarii este acela al integrarii senzorilor in structuri
comune cu sistemele electronice de prelucrare a semnelor, unul din materialele cele mai utilizate
pentru confectionarea lor este siliciul monocristalin.
Producerea acestor forme se bazeaza pe eroziune chimica umeda, selectiva, anizotropa, si cu
influentarea formei prin dopaj controlat al materialului din care sunt confectionate.
Selectivitatea si anizotropia sunt exploatate in pricesul tehnologic de realizare a microstructurilor
in sensul caa pot fi selectate materialele straturilor de structurare si solutiile de atac astfel incat
actiunile sa fie convergente sau divergente;pe baza anizotropiei recunosctute a materialelor
cristaline poate fi accentuate sau diminuata tendinta de corodare,prin orientarea corespunzatoare
a cristalului.

6.1 Anizotropia.
Anizotropia are capacitatea materialelor cristaline de a prezenta comportari sau proprietati fizice
diferite, functie de distributia preferentiala a atomilor sau moleculelor in spatiu.
In procesul configurarii unor microstructuri, prin eroziune chimica cu diferite substante,
comportarea materialului difera putand oscila theoretic intre o izotropie si o anizotropie totale
sau ideale.
Anizotropia poate fi exprimata printr-o relatie in care apare raportul dintre marimea corodarii pe
directia de actiune a substantei de corodare, care reprezinta adancimea corodarii-h si marimea
corodarii pe directive perpendicular,care reprezinta atacul lateral-e: A=1-(e/h);
Este cunoscut faptul ca materialele cristaline (majoritare in randul corpurilor solide) sunt
structurate in 14 retele tridimensionale de cristalizare (Bravais), provenind din 7 sisteme
cristaline de baza a caror unica celula elementara este un poliedru cu 6 fete de forma unui
patrulater, 12 muchii si 8 varfuri cele 7 sisteme cristaline de baza provin din diferenta care poate
exista intre laturile a, b, c, ale poliedrului-constantele retelei ca si intre unghiurile dintre laturi ,
, .

Pentru notarea varfurilor sau nodurilor retelei se foloseste sistemul de coordonare al celulei
elementare, coordonatele nodurilor fiind exprimate in indici care arata valoarea raportului intre
pozitia reala a nodului si constanta retelei, considerate ca valoare unitara.
Profilele de corodare obtinute prin eroziune chimica pot fi diferite functie de corelarea
anizotropiei substantei de atac cu anizotropia materialului de structurare.
Siliciul cristalizeaza in sistemul cubic si are structura diamantului.Celula sa elementara este un
octaedru limitat de familia de plane {111} si asa se explica unghiurile formate de peretii inclinati
ai cavitatilor cu planurile (100)/(110)/(111), dupa care sunt debitate plachetele in care se
formeaza cavitatile sau canalele.

6.2. Selectivitatea procesului de corodare.

Selectivitatea S a procesului de corodare inseamna raportul dintre rata de corodare a stratului
de structurare, Rs si rata de corodare a materialului mastii sau a stratului de stopare a corodarii
Rx.
Pentru obtinerea unei structuri de adancime h, se porneste de la un substrat din materialul de
structurare de grosime mai mica al carui strat superficial este dopat cu un element care reduce
mult rata de corodare a materialului de structurare; dupa crestere epitaxiala si cu grosimea h si
aplicarea mastii, prin corodare in zonele descoperite de masca se obtine structura dorita a carei
adancime h va fi conditionata de stratul de stopare.
Pentru ca efectele corodarii mastii asupra dimensiunilor microstructurii sa fie cat mai mici se
recomanda raportul: S=Rs/Rx sa fie cat mai mare.

6.3. Efectele corelarii anizotropiei cu selectivitatea.

In figura [6.8] se poate vedea ce ar insemna corelarea selectivitatii ideale cu anizotropia ideala la
obtinerea unui profil caracterizat printr-o dimensiune in plan d si o adancime h.
Pentru toate situatiile prezentate se considera ca selectivitatea substantei de atac este maxima fata
de materialul de structurare si neglijabila fata de stratul de stopare.

6.4. Aplicatii.
6.4.1. Suprafete antireflectante.
Pentru marirea coeficientului de absortie al unor suprafete din siliciu monocrstalin orientat (100)
si (110) iluminate cu un laser He-Ne cu =623.8 mn au fost folosite tehnici de corodare
anizotropa, izotropa si de depunere de straturi subtiri.
Suprafata plachetei este brazdata de crestaturi in forma de V(a) cu peretii verticali (c) sau cu
cavitati piramidale dispuse regulat (b) sau aleatoriu.
Au fost folosite plachete din siliciu monocristalin crescut prin metoda Czochralski.
Plachetele cu orientare (100) au fost de tip n (dopate cu P) si cu o grosime medie de 380m.
Plachetele cu orientare (110) au fost de tip P (dopate cu B) si cu o grosime medie de 289m.
Stratul de SiO2 cu grosimea de 0.631.5m care a servit ca masca a fost obtinut prin oxidare
termica uscata la 1050C, timp de 17144 ore.
Masca in oxid a fost obtinuta prin corodare izotropa cu NH 4OH:HF,4:1 utilizand protectie foto cu
fotorezist negativ.Suprafata acoperita cu cavitati piramidale nu a necesitat masca.
La corodarea anizotropa a plachetelor de siliciu s-a folosit KOH.
Pentru reducerea reflexiei pe suprafetele nestructurare ale plachetelor s-a aplicat in final o
corodare izotropa pentru matarea suprafetei si tasirea muchiilor.
Cele mai bune rezultate au fost obtinute la plachetele (110) acoperite cu crestaturi avand peretii
verticali.

6.4.2. Cavitati si canale de orientare.

Pentru orientarea mecanica a doua plachete de siliciu ca si pentru orientarea si asamblarea unei
fibre optice au fost realizate cavitati si canale.
Cele doua sfere folosesc la orientarea plachetelor de siliciu prin intermediul cavitatilor
piramidale realizarea prin corodare anizotropa standard cu KOH in plachetele de siliciu orientate
(100).
3

Dimensiunile l1 si l2 ale mastii pentru corodare au fost determinate dupa diametrul cunoscut al
sferei de orientare Dsf respective diametrul fibrei optice Dfo cu relatiile: l1=Dsf/sin;
l2=Dfo*ctg(/2). Orientarea si asamblarea sunt precise ieftine si sigure.

6.4.3. Membrane.

In structura microvalvelor cu 3 cai a microcapsulelor aneroide sau a micropompelor intra un

element constructiv comun: o membrana a carei elasticitate se datoreaza variatiei grosimii sale
dupa un profil care poate fi obtinut prin corodare anizotropa;
Operatia se aplica pe ambele suprafete ale plachetei de siliciu intr-o singura etapa de corodare
sau doua, dupa cum adancimea de corodare este egala pe ambele suprafete, respectiv inegala.
Grosimea stratului de SiO2 este ~1.5m.
Corodarea se face cu KOH 33% la 80C.
Principalele dezavantaje ale membranelor:
-concentrarea de tensiuni care apar la trecerea de la grosimea substratului la grosimea membrane;
-forma membranei este conditionata de directiile planelor cristaline; motiv pentru care
majoritatea membranelor sunt de forma patratica

6.4.4. Adeziv mecanic.

Pentru alinierea si asamblarea a doua plachete de siliciu monocristalin pe care pot fi configurate
diverse structure micromecanice a fost realizat un sistem de imbinare care se bazeaza pe
deformare elastica a unor flanse patrate din SiO2 plasate pe o suprainaltare realizata prin corodare
anizotropa urmata de corodare izotropa intr-o placheta de siliciu.
Fiecare structura prezentata are dimensiunile de 18x18m cu inaltimea de 12m.

6.4.5. Comutator de presiune.

Comutatorul se bazeaza pe contactul electric realizat de o membrana care se deformeaza sub

actiunea presiunii de masurat.
Presiunea la care membrane se deformeaza este dependenta de dimensiunile ei in plan (Lxl). Ca
si de grosimea g. Daca se mentin constant g si L prin varierea latimii l, poate fi variata presiunea
la care membrane se deformeaza.
O succesiune de membrane cu latimi variabile realizate pe aceeasi placheta permit inregristrarea
mai multor trepte de presiune.

6.4.6. Structuri suspendate mobile.

Microcontactele pensetele electrostatice arcurile spirale duble arcurile lamelare, etc pot fi
realizate din acelasi material cu al substratului monocristalin pe care sunt create sau din material
diferite depuse pe substrat;spatial sufiicient de miscare a structurii rezulta prin corodare
anizotropa sub forma unei cavitati sau a unui canal cu geometrie necunoscuta
Oglinda este folosita in aplicarea unei tehnici moderne practicata in oftalmologie, cheratotomia
radial pentru corectarea diferitelor tipuri de ametropie si astigmatism.In aceasta tehnica o radiatie
laser trebuie pozitionata prcis sub forma unui punct pe suprafata corneei si focalizata in
profunzime.
Oglinda este confectionata din siliciu monocristalin,este acoperita-in zona actica- cu aliminiu si
este suspendata deasupra cavitatiei piramidale prin patru punti de legatura care ii asigura o buna
simetrie si ii permit inclinarea fata de cele 2 axe ale planului.
Structura suspendata cu dimensiuni de ~2x2mm are o grosime de ~20m iar stratul de aluminiu
~5m.

6.5. Sudarea anodica.

La obtinerea structurilor tridimensionale rigide flexibile sau mobile prin microprelucrarea

substratului este adesea nevoie de imbinarea mai multor plachete de siliciu monocristalin sau a
placheletor de siliciu cu placate de sticla.
Metoda cea mai simpla ce asamblare pentru asemenea cazuri a fost descoperita in anii 70 de
Wallis si Pomerantz.
O placa de sticla si o placheta de siliciu au fost puse in contact pe o placa incalzita la 400-500C.
La aceasta temperatura sticla devine conductiva. Daca se aplica un curent de inalta tensiune
(~1000V) ionii de Na incarcati pozitiv si care se gasesc in cantitae mare in sticla migreaza de la
suprafata de contact sticla-siliciu catre catodul de pe suprafata exterioara a sticlei unde sunt
neutralizati.
Ca urmare a migrarii acestor ioni pozitivi la suprafanta de contact sticla-siliciu ca si in sticla se
formeaza o zona cu anioni de oxygen deoarece anionii, datorita marimii lor, au o mobilitate
scazuta.
Acest exces de sarcini negative produce un puternic camp electrostatic care mentine cele doua
suprafete in contact cu o forta foarte mare.

Cap 7.Microprelucrarea siliciului policristalin.

Tehnica straturilor de sacrificiu,utilizata pentru prima data de Nathanson in 1967 are la baza
depunerea si configurarea unor straturi subtiri sau groase al caror profil in plan sau in spatiu
reprezinta negativul unor spatii sau cavitatii necesare obtinerii micro sau nanostructurilor si care,
in finalul procesului tehnologic, sunt sacrificate deci dispar
Materialele din care sunt confectionate straturile de sacrificiu pot fi:
-materiale sublimabile;
-polimeri care se ard sau se topesc la temperaturi mai mici de 150 de grade;
-substante care se dizolva in diferiti solvent.
Substantele de dizolvare trebuie: sa fie capabile de a ataca preferential straturile de sacrificiu
respectand portiunilor structurate,sa aiba o vascozitate adecvata si tensiuni superficiale cu vacori
corespunzatoare indepartarii eficiente a straturilor de sacrificiu,sa nu lase reziduuri.
Exemplul cel mai simplu, care poate fi si o ilustrare a tehnicii straturilor de sacrificiu, este
obtinerea unei structure rezonante.
Un alt exemplu de aplicare a tehnicii straturilor de sacrificiu il poate oferi realizarea unor cavitati
inchise de diferite forme si dimensiuni.
Pentru obtinerea unor cavitati tridimensionale de forma complexa si precizie scazuta se poate
realiza forma negativului cavitatiiprintr-o succesiune de straturi groase felurit configurate in plan
si aplicate prin serigrafiere.
Uneori stratul de sacrificiu poate fi chiar substratul pe care sunt configurate structurile necesare
functionarii ansamblului.

7.2.1. Elemente constructive mobile.

Acestea au nevoie de jocuri pentru asigurarea miscarii si de lagare pentru centrare.

La micromotorul electrostatic din siliciu policristalin realizat la Berkeley, Sensor and Actuator
Center, rotorul cu diametrul de ~0.5 mm si o grosime de ~84m este asamblata cu lagarul
printr-un ajunstaj cu joc.

7.2.2. Motor electric integrat.

Constructia sa a evoluat rapid de la prima variant side-drive propusa initial in 1983 de Howe si
Muller de la Universitatea Berkeley-California
Un astfel de motor utilizeaza pentru functionare fortele de atractie si de respingere caracteristice
electrostatismului.
Aceste firte sunt direct proportionale cu sarcinile electrice ala elementelor structurii si invers
proportionale cu patratul distante dintre ele.
Pentru jocurile foarte mici din lagarele structurilor mobile este necesara o foarte buna calitate a
suprafetei obtinute prin depunere pentru ca sa fie redus pericolul blocarii prin contact datorita
tensiunilor superficiale si sa fie diminuat coeficientul de frecare dintre elementele mobile.

7.2.3. Filtru.

Pentru identificarea primara a fluidului si filtrarea particulelor cu dimensiuni mai mici de 50nm a
fost realizat un filtru alcatui din doua membrane din siliciu policristalin cu perforatii deplasate
relative si separate prin dinstantiere din SiO2 uniform distribuite pe suprafata.
Structura in intregine are dimensiuni de 14x14mm iar aria filtrului este de 30mm2.
Tehnologia de fabricatie este o combinatie de microprelucrare a siliciului policristalin, tehnica
stratului de sacrificiu si corodare anizotropa a siliciului monocristalin.

7.2.4. Structuri rezonante.

In structurile rezonante frecventa de rezonanta a elementului mechanic este receptionata printrun parametru fizic sau chimic.
Pentru masurarea frecventei de rezonanta este nevoie de un mijloc de producere si de detectare a
miscarii.
Vibratia poate fi produsa prin diferite metode: termice,piezoelectrice,electrostatice.
Detectia poate fi realizata cu piezorezistoare, straturi subtiri piezoelectrice sau electrostatic.

7.2.5. Micropensete.

Pentru manevrarea bacteriilor sau animalelor celulare sau ca terminal al unui microrobot poate fi
utilizata micropenseta din polisiliciu actionata electrostatic si realizata de Berkeley Sensor and
Actuator Center.
Structura se bazeaza pe elemente flexibile care pot dezvolta o anumita forta de apucare.Grosimea
stratului de sacrificiu PSG este de 2.1m iar grosimea structurii-din polisiliciu dopat cu fostor-de
2.2m.
Aceasta solutie constructiva evita frecarile din articulatii sau intre suprafetele plane in miscare
reciproca.
Au fost construite micropensete din wolfram cu lungime de 200m si sectiune 2.7x2.5m cu
deflexie dupa doua directii care pot fi utilizate ca elemente de contact amplificatoare de
miscare ,elemente de rezonante sau de asamblare.
Procedeul de realizare are la baza tehnica lift-off, intr-o forma din SiO 2(LPCVD) modelata
prin litografie cu rezisti multistrat care consta in transpunerea profilului intr-un strat intermediary
de grosime mica-cu valoare tipica de 100nm din Si3N4 dispun in plasma (PECVD).

Cap 8. Procedeul LIGA

Pentru obtinerea microstructurilor metalice si din polimeri dezvoltate in spatiu pe 1 axe si pe 3

axe cu raport mare intre inaltimea si dimensiunea lor in plan a fost facut cunoscut, in anul 1980,
procedeul LIGA.
Cel care a comunicat aparitia acestui nou procedeu de lucru a fost Wolfgang Ehrfeld, de la
centrul de cercetari nucleare din Karlshure.
Prima realizare a fost o minicentrifuga pentru separarea izotopilor de uraniu, din nichel, a carei
dimensiune minima in plan era de 5m si avea o inaltime de 300m.
Numele procedeului este un acronim al denumirilor in limba germana ale metodelor de lucru pe
care se bazeaza procedeul: Lithographie Galvanoformung Abformung (litografie, Galvanoplastie, modelare/turnare). Procedeul si-a gasit numeroase aplicatii: zone Fresnel, elemente
fluidice, lentile si prisme din PMMA, microcontacte din nichel, microbobine din cupru, cleme
metalice si roti hexagonale din nichel, etc.

8.1. Descrierea procedeului pentru structure spatiale 2 1/2D si 3D.

Spre deosebire de procesele de microstructurare superficiala a siliciului, pe care s-au bazat

celelalte prelucrari micromecanice, la aplicarea procedeului LIGA,grosimea stratului de resist
corespunde cu inaltimea dorita a microstructurii, deci va fi de cateva sute de micrometrii;
substratul se prefera a fi metalic, iar daca este un dielectric sau un semiconductor el va fi acoperit
cu un strat metalic subtire care sa-i confere proprietati conductive;
Utilizand depunerea galvanica rezulta un profil negative al formei obtinute din resist; se poate
depune nichel, aur, cupru sau orice alt metal.
Daca depunerea galvanica continua pana la acoperirea complete a modelului PMMA, se obtine o
forma cu goluri reprezentand negativul modelului. Rigiditatea formei depinde de grosimea
stratului metalic care acopera modelul. Aceasta este etapa de Galvanizare.
In continuare, prin aplicarea unei placi de injectare prin reteaua careia se poate injecta material
plastic, se pot obtine rapid si ieftin numeroase copii din polimeri; este faza de
Modelare/Turnare/Injectare.

10

8.2. Masca pentru radiatie X sincrotronica.

Masca pentru radiatie X sincrotronica are 3 componente distincte:

1) Un support cu cat mai mare transparenta la radiatia X, de grosime cat mai mica si care sa
poata fi obtinuta sub forma de membrane subtire;
2) Pentru asigurarea contrastului e necesar un material absorbant care sa poata avea o grosime
cat mai mare, fara ca precizia conturului configuratiei sa fie afectata;
3) O rama care sa asigure rigiditatea mecanica necesara pozitionarii, concentrarii si schimbarii
automate a mastii.
Ca material absorbant se recomanda aur, wolfram sau tantal. Capacitatea absorbanta este
apreciata prin raportul intre densitatea de putere a radiatiei rezultata la trecerea prin zona
transparenta si prin zona opaca; acest raport trebuie sa depaseasca valoarea 1000 pentru ca masca
sa fie considerata a avea contrast suficient. Grosimile uzuale sunt de ~17m pentru aur si ~18m
pentru wolfram.
Masca intermediara are ca suport al structurii absorbante o membrana de siliciu. Pentru
configurarea structurii absorbante se foloseste litografia cu fascicul de electroni.
Masca de lucru: O structura asemanatoare mastii intermediare are si masca de lucru cu o singura
deosebire ca structura absorbanta are o inaltime mult mai mare (~1020m).

11

8.3. Depunerea galvanica pentru obtinerea microstructurilor.

Stratul gros de PMMA depus si developat poate constitui el insusi o microstructura din polimer.
Pentru obtinerea microstructurilor metalice este necesara depunerea galvanica, folosind ca
electrod suportul metalic al mastii; dar depunerea galvanica este necesara si la obtinerea unor
forme metalice rigide pentru injectarea in serie a microstructurilor din polimeri: in acest caz
placa metalica a instalatiei de injectat fiind utilizata ca electrod.
Oricare ar fi destinatia depunerii, dificultatile ridicate de microgalvanizare sunt urmatoarele:
1) aderenta insuficienta;
2) depunerile metalice de la baza structurii PMMA sunt favorizate de slaba ei aderenta;
3) tensiunile interne din interiorul stratului depus galvanic duc la deformarea microstructurii.

8.4. Celula de microgalvanizare.

Celula de microgalvanizare trebuie sa asigure depunerea materialului in cele mai inguste

adancituri; de aceea anodul va fi format din bile de nichel depolarizate introduce intr-un cos;
anodul va fi rotit continuu iar catodul continuu filtrat.

12

8.5. Microinjectarea.

Polimerii utilizati pentru obtinerea microstructurilor pot fi:

1) termorigizi (Poliuretan-UP);
2) termoplastici (Policlorura de vinil-PVC, Acrilonitril-butadienstiren-ABS, PolimetilmecratilatPMMA).
Instalatiile de injectare sau presare folosite pentru etapa de formare a microstructurilor din
polimeri nu se deosebesc de cele clasice, ci de ciclul de lucru: este adapatat raportului foarte
mare intre adancimea structurii-h, si dimensiunea minima transversal-dmin.

8.6. Aplicatiile procedeului LIGA.

In acceptiunea comuna procedeul LIGA se refera exclusiv la structuri a caror inaltime depaseste
100m si ajunge pana la 1 mm si care au nevoie, in etapa de litografiere, de radiatiile X
sincrotronica;

8.6.1. Reproducerea microstructurilor spatiale.

Pentru obtinerea matritelor in vederea multiplicarii discurior audio, compact-discurilor,

etc..Stratul de lac fotosensibil este uniformizat prin presare cu substratul.

8.6.2. Componente din PMMA.

PMMA-rezistul folosit in procedeul LIGA are si proprietati optice; de aceea el a fost folosit si
pentru obtinerea microlentilelor, a microprismelor sau chiar intregi sisteme din optica integrate.

13

Fibrele optice sunt pozitionate sub microscop si sunt acoperite cu un strat de PMMA; dupa
expunere la raze X si developare, PMMA din soatiul dintre fibrele 1 si 2 fiind expus- este
dizolvat.

8.6.3. Membrane metalice.

Membranele metalice cu grosimi de 5500m cu orificii de diferite forme si dimensiuni,

confenctionate din metale pure, fiind produsul ideal pentru aplicarea procedeului LIGA.
In functie de domeniul de grosimi, de rezistul si de sursa de expunere folosite, rezultatele pot fi
diferite.

8.6.4. Microbobine.

Microbobinele sunt din cupru. Pentru a preveni scurtcircuitarea, infasurarea trebuie realizata pe
un substrat isolator (placa ceramic sau placheta de siliciu) pe care mai este aplicat un strat
isolator (Si3N4) si apoi un strat metalic (de obicei titan).
Dupa etapele de litografiere adanca cu radiatie X sincrotronica si galvanizare urmata de
dizolvarea formei PMMA, este indepartat stratul de titan dintre spirele bobinei prin corodare
uscata sau umeda; la corodarea umeda timpul de corodare trebuie atent controlat pentru a evita
pericolul corodarii si a stratului de titan de sub spire.

8.6.5. Microstructuri metalice mobile.

Microstructurile metalice mobile care pot fi obtinute prin procedeul LIGA se impart in doua mari
categorii:
-microstructuri complet independente care sunt asamblate in micromecanisme prin manevrarea
lor cu micromanipulatoare; avantajul deosebit al acestei variante consta in posibiliatea de a
asambla componente din materiale foarte diferite
-microstructuri libere la unul din capete si fixate cu celalalt capat la substrat.
14

8.6.6. Micromotor magnetic polar.

Micromotorul magnetic polar este un exemplu de constructie hibrida la care polii statorului,
arborele rotorului si arborii rotilor dintate sunt realizati din nichel direct pe substrat; rotorul si
rotile dintate sunt realizate din nichel-dar ca structuri independente.
In urma asamblarii rezulta structura complete. Din dimensiunile component se asigura un joc
radial de ~0.5m, inaltimea microstructurilor este de ~100m.

8.6.7. Microturbina.

Microturbina este confectionata odata cu locasul fix in care ea se roteste ca si arborele care o
centreaza prin tehnica straturilor de sacrificiu.
Prezenta fibrei optice nu este obligatorie pentru functionarea ansamblului ea este prevazuta daca
este necesara inregistrarea turatiei turbine in diferite regimuri de functionare.
Prezenta fibrei optice complica procesul tehnologic deoarece integrarea ei rigida in ansamblu
necesita doua trepte de galvanzare; intre cele doua galvanizari fibra este pozitionata in dreptul
fantei prin care ea primeste lumina reflectata de paletele turbine si rigidizata de microstructura
metalica.

15