MINISTERUL EDUCAȚIEI ȘI CERCETĂRII

AL REPUBLICII MOLDOVA
Universitatea de Stata din Moldova

Referat la tema:

Lasere UV cu excimeri: principiile de funcționare

și aplicații.
curs: Bazele electronicii cuantice
și ale opticii neliniare

A verificat: A elaborat masterand

An.I Fizică și Inginerie
Profesor universitar : Jalba A.
Culiuc L.

Chișinău, 2023

Conținut:
1. Istoria de dezvoltare a laserelor UV cu excimeri------------------------------- 1

2. Ce este un laser UV cu excimer-----------------------------------------------------2

3. Construcția laserului UV cu excimer-----------------------------------3

4. Aplicațiile laserelor UV excimeri---------------------------------------------------4

 1. Istoria de dezvoltare a laserelor UV cu excimeri

Laserele cu excimeri provin ca lasere ”exotice”, care au fost elaborate și cercetate în

laboratoarele de cercetare universitare. Însă la momentul dat aproximativ 10.000 de lasere sunt
utilizate în diferite domeniile tehnologice, în primul rând în oftalmologie pentru sisteme de
corectare a vederii și în cadrul industriei de litografie optică pentru fabricarea dispozitivelor
integrate semiconductoare.

Baza teoretică a laserelor a fost stabilită în 1917 către Albert Einstein, care a postulat
conceptul teoretic de emisie stimulată [1]. Emisia stimulate reprezintă un proces prin care, sub
influența unui foton, materia emite energie sub forma unui alt foton care are aceeași frecvență și
fază ca și fotonul inițial. Întrucât în final ambii fotoni continuă să existe, procesul are ca rezultat
amplificarea luminii. Laserul este cea mai cunoscută aplicație a emisiei stimulate. Primul laser
cu excimer [2] a fost construit în 1970 către grupa savanților sovietice Nikolai Basov, Yu. M.
Popov și V.A. Danilychev la Institutul de Fizică lui Lebedev, Moscova . Nicolai Basov a fost un
savant, laureatul al premiului Nobel pentru ”Lucrări fundamentale în domeniul electronicii
cuantice, care au condus la crearea generatoarelor și amplificatoarlor bazate pe principiul laser-
maser”. În baza primului laser cu excimer a fost folosit un dimer de xenon sau Xe2,  care a fost
excitat prin utilizarea unui fascicul de electroni pentru a produce o emisie stimulată având o
lungime de undă de 172 nm.

Ulterior [3]., alte grupuri de inventatori din Avco Everett, Sandia Laboratories, Northrop
Science și Technology Center și Laboratorul de Cercetare Navală a Guvernului SUA au făcut
îmbunătățiri și au început să folosească amestecuri de gaze nobile cu halogeni (de exemplu,
XeBr). Rezultatele acestei invenții au fost brevetate în 1975 de G. Hart și Stewart Searles de la
Laboratorul de Cercetare Navada, care au dezvoltat și un laser cu amestec XeCl care este excitat
de o descărcare de microunde.

Termenul „excimer” este o formă prescurtată de „dimer excitat”, care descrie o moleculă
format din doi atomi identici de gaz nobil. Acești atomi se vor lega doar între ei într-o stare
excitată. Menționăm, molecula de acest tip are o viața de scurtă durată [3]. Ulterior, termenul
„excimer” a fost extins pentru a include toate combinațiile de rare gaze și halogenuri. Prin
urmare, în fizica laserului, toate halogenurile de gaze rare și moleculele similare sunt excimeri,
care nu sunt cu adevărat dimeri. De asemenea, există exciplexii cu o oarecare stabilitate numai în
stare excitată, care sunt formate din Ar, Kr sau Xe cu F sau Cl, de exemplu ArF, KrF, XeCl and
XeF5. Însă actual numele ”lasere cu excimer” a rămas și este folosită pentru toate laserele cu un
design similar.

Datorită tehnologiei lor complexe, primele laserele cu excimeri erau dispozitive foarte
sensibile. Cu toate acestea, acest lucru s-a schimbat esențial. Ca rezultat al îmbunătățirii efective
în ultimile 15 ani, laserele cu excimeri au devenit acum pe deplin competitive față de alte sisteme
laser utilizate actual comercial.

2. Ce este un laser UV cu excimer

Una dintre principalele caracteristici ale oricărui laser este utilizarea luminii monocromatice
[4], ce înseamnă „o singură culoare”. Monocromaticitatea lungimii de undă a laserului înseamnă,
de asemenea, că laserul are o intensitate luminii forte mare datorită intervalului foarte mic al
lungime de undă. Deci lungimea de undă a laserului corespunde unui nivel energetic foarte înalt
într-un interval lungimilor de undă microscopic. Energia radiației a laserului poate fi comparată
cu energia termică a Soarelui. Radiația iese din laser într-o anumită direcție și se propagă la un
unghi de divergență definit. Raza fascicul laser este foarte mică în comparație cu alte surse de
radiația electromagnetică și corespunde unui unghi foarte mic de divergență. Radiația laser poate
fi transmisă la distanțe foarte lungi, deoarece are un fascicul extrem de direcționat. Radiația
laser are unde de aceeași lungime și se păstrează faza lor relativă. Deci, atunci când două sau mai
multe radiații pot produce interferența, radiația laser este coerentă [5].

Radiația laser a unei molecule de excimeri apare datorită faptului că aceasta molecula există
numai în stare excitată, sau o stare excitată „cu forțele de atracție (starea asociativă)”, sau o stare
cu „forțele de repuls” (starea neasociativă cu forțele de respingere). Adică, și aceasta este
important, moleculele dimer practic nu există în starea fundamentală, deci neexcitată. Acest
lucru se datorează faptului că gazele nobile precum xenonul sau criptonul sunt foarte inerte și nu
formează în mod normal compuși chimici [3].

În stare excitată (cauzată, de exemplu, de o descărcare electrică) aceste gaze pot forma
molecule atât între ele (dimeri) sau cu halogenii precum fluorul sau clorul. Prin urmare, apariția
moleculelor într-o stare de legătură excitată creează automat așa numită ”o inversare a
populației” între două niveluri de energie. O astfel de moleculă, ce se află în stare excitată, poate
transmite energia sub formă de emisie spontană sau stimulată, ca urmare a căreia molecula intră
în starea fundamentală și apoi se disociază foarte repede în atomi componenți.
 Actual laserele cu excimeri sunt lasere cu impulsuri, care produc o radiația intensă în
regiunile ultravioletă și ultravioletă profundă a spectrului electromagnetic. Lungimea de undă a
luminii remise de un excimer excitat sau o moleculă exciplex depinde de elementele din care este
compusă molecula. În Tabelul 1 sunt prezentate lungimile de undă (λ), care pot fi obținute în
dependența de materialul (gaz) utilizat în laser.
Tabelul 1.
Excimer Ar2* Kr2* F2* Xe2* ArF KrCl KrF XeBr XeCl XeF
λ, nm 126 146 157 172 și 193 222 248 282 308 351
175

Energia potențială de interacțiune al

atomilor unei molecule de excimer(în starea
fundamentală), de distanța internucleară este
o funcție monoton descrescătoare, ce
corespunde respingerii nucleelor. În starea
electronică excitată (fig. 1, curba se sus)
această dependență are un minim, ceea ce
determină posibilitatea existenței moleculei
excimer [6].
Fig. 1. Dependența energiei unei molecule de
escimer de distanța dintre atomi. Cele mai favorabile condiții pentru formarea
Curba superioară este pentru nivelul superior al dimerilor de gaz inert R¿2corespund
laserului, curba inferioară - nivelul inferior.
intervalului de presiune de 10-30 atm, atunci
când astfel de molecule se formează intens în ciocniri triple cu participarea atomilor excitați, de
exemplu:

Formarea moleculei cu halogen, de exemplu de XeCl*, poate fi prezentată în

următoarele reacții [7]

Xe+ + Cl- + Ne => XeCl* + Ne

Xe2+ + Cl- => XeCl* + Xe
Xe* + HClv=1,2 => XeCl* + H
Xe** + HCl => XeCl* + H
 Menționăm,că laserele cu excimeri au un randament cuantic ridicat. Teoretic randamentul
cuantic maxim atinge valoarea aproximativ de 33%, însă comercial sunt disponibile sisteme ce
au în mod normal o eficiență de la 0,2% (F*2; 157 nm) până la 2% (KrF*, 248 nm).

3. Construcția laserului UV cu excimer

Gazele nobile precum Ar, Kr sau Xe nu reacționează în general cu alte molecule, dar într-o
stare de excitare electrică, aceste molecule se pot combina cu ele însele (excimer) sau cu
molecule

Fig. 2. Diagrama energetică a unui excimer [2] Fig. 3. Schema unui laser cu excimer [1]

de halogen (exciplex). Aceste pseudo-molecule pot exista numai în stări energizate care produc
un fascicul laser de lumină ultravioletă. Molecula excitată tinde să-și elibereze energia în exces
sub formă de emisii spontane sau stimulate (Fig. 2). Acest lucru are ca rezultat o moleculă de
stare de bază extrem de respingătoare care se disociază rapid în atomii săi nelegați prin
inversarea populației.

Un laser cu gaz este format din trei componente principale: 1 - tubul laser, 2 - modulul cu
tensiunea înaltă (impulsuri), 3 - rezonatorul.
În Fig. 3 este prezentată schema unui laser cu excimer, unde: 1 – electrozi de tensiune înaltă;
2 – corona de descărcare electrică pentru ionizarea moleculelor; 3 – electrod de împământare; 4
–flux transversal de aer; 5 – îndepărtarea prafului electrostatic [1]. Pentru a exclude un arc
electric este necesară preionizarea .
Preionizarea are loc în tubul de laser unde la presiunea înaltă de gaz se inițiază o descărcare
electrică. Aici, sunt generate molecule de excimeri și apare radiația laser. Rezonatorul este
necesar pentru radiația laser coerentă. Laserele cu excimeri funcționează de obicei într-un mod
pulsat cu o rată de repetare a ipulsului de la una la câteva sute de Hz, în unele modele frecvența
poate ajunge la 2 kHz. Este de asemenea posibilă generarea impulsurilor individuale.
Impulsurile de radiație au de obicei o durată de 10 până la 30 ns și o energie de unități până la
sute de mJ.
 4. Aplicațiile laserelor UV cu excimeri
Radiația ultravioletă puternică a unor astfel de lasere le permite să fie utilizate pe scară largă
în chirurgie (în special în oftalmologie), în procesele de fotolitografie în producția de
semiconductori, în microprelucrarea materialelor, în producția de panouri LCD și, de asemenea,
în dermatologie. Astăzi, aceste dispozitive sunt destul de voluminoase, ceea ce reprezintă un
dezavantaj într-o aplicație medicală largă, dar dimensiunea lor este în scădere constantă datorită
evoluțiilor moderne. Să ne analizăm câteva exemple mai detaliat.
Principalul avantaj al unui laser cu excimeri este însăși lungime de undă scurtă. Fascicul de
ieșire excimer poate fi focalizat la un diametru de punct care este de aproximativ 40 ori mai mic
decât fasciculul laser CO2. În plus, acțiunea lungimii de undă a laserului CO 2 duce la
îndepărtarea termică a materialului (evaporare), în timp ce laserele excimer cu lungimi de undă
aproximativ 200 nm îndepărtați materialul prin ablație fără deteriorarea termică a materialului
înconjurător. Principala aplicație medicală a laserelor compacte cu excimeri este utilizarea lor în
sistemele de corectare a vederii în oftalmologie. Utilizarea pe scară largă a laserelor cu excimeri
în medicină se datorează faptului că intensitatea energiei radiațiilor sale UV este suficientă
pentru a rupe legăturile moleculare prezente pe suprafața țesutului fără a se arde sau tăia. Acest
lucru îl face extrem de eficient în îndepărtarea straturilor subțiri superficiale de țesut fără a
perturba straturile și organele mai profunde.
Concluzie

Laserele cu excimeri UV sunt folosite ca instrumente care permit îmbunătățirea performanței

displeiului și promovarea inovațiilor de produs, cum ar fi pixeli mai rapid, rate de comutare,
consum redus de energie, greutate și grosime sau flexibilitate mecanică asemănătoare hârtiei.
Cea mai mare aplicația industrială a laserului excimer se găsește în micro-litografie, unde
radiația laser este folosită pentru a expune fotorezistul pe placă. În urmă cu trei ani în industria
telecomunicațiilor a început să se implementeze compact laserele cu excimeri pentru scrierea
fibrei Bragg Grătare (FBG). Micro-structurarea și marcarea sticlei și a materialelor plastice
speciale este un alt domeniu mare de aplicare industrială. În industria semiconductoarelor,
laserele excimeri au fost deja instalate ca surse de lumină în instrumentele de metrologie.

Bibliografie
1. Andreas Görtler & Claus Strowitzki. Excimer Lasers. The powerful light source in the UV and
VUV. https://onlinelibrary.wiley.com/doi/pdf/10.1002/latj.200790037 
2. Lambda Geeks: 3 fapte despre laserul excimer: lucrări în construcții.
https://ro.lambdageeks.com/excimer-laser/
3. Википедия: Эксимерный лазер. https://ru.wikipedia.org/wiki/%D0%AD%D0%BA
%D1%81%D0%B8%D0%BC%D0%B5%D1%80%D0%BD%D1%8B%D0%B9_%D0%BB
%D0%B0%D0%B7%D0%B5%D1%80
4.  MC. Rao. A Brief Introduction to Excimer Lasers: Fundamental Study.
https://citeseerx.ist.psu.edu/document?
repid=rep1&type=pdf&doi=9ad7d02acc95db4201503bc57363ce5da569c916
5. Optică neliniară și procese optice. https://ro.lambdageeks.com/detailed-analysis-on-
nonlinear-optics
6. Эксимерный лазер (Энциклопедия физики и техники)
http://femto.com.ua/articles/part_2/4625.html 
7. R. Sorkina, F. A. van Goor, W. J. Witteman. Simulation studies of the prepulse-main-pulse
XeCl discharge lasers with magnetic switching. Applied Physics B 55, p.478–484 (1992).
https://link.springer.com/article/10.1007/BF00332505