Sisteme micro-electromecanice
SMEM - Subiecte examen
Curs nr. 1
S1. Definiia i clasificarea MEMS-urilor. Exemple.
S2. Materiale folosite la realizarea MEMS-urilor (Materiale utilizate ca substrat n construcia
MEMS-urilor, Materiale de depunere utilizate n construcia MEMS-urilor.) Caracteristici,
aplicaii.
Curs nr. 2
S3. Procesul de fabricaie al MEMS-urilor. Evoluia procesului de prelucrare n cazul
microtehnologiilor de fabricaie a MEMS-urilor.
S4. Microprelucrrile de suprafa. Descriere procedeu.
S5. Microprelucrrile n adncime. Descriere procedeu.
S6. Depunerea straturilor subiri. Metode de depunere.
S7. Litografia optic. Descriere procedeu.
S8. Corodarea. Metode de corodare. Ageni de corodare.
Curs nr. 3
S9. Fabricarea MEMS-urilor prin micromatriare. Caracteristicile tehnologiei LIGA. Etape de
lucru. Materiale folosite.
Aplicaii ale tehnologiei LIGA la realizarea MEMS-urilor:
S10. Conector multibr din polimeri
S11. Receptor heterodin
S12. Spectrometru
S13. Senzor de distan
S14. Conector optic n cruce cu oglinzi rotative
S15. Modulator oscilant pentru lumin infraroie
S16. Scanner LASER pentru citirea codului de bare
S17. Spectrometru FTIR (Fourier transform infrared) pentru lumin infraroie
Curs nr. 4
Tehnologia LIGA - aplicaii mecanice:
S18. Mecanism pentru cutie de viteze cicloidal
S19. Giroscop LIGA
S20. Microturbine pentru catetere cardiace
S21. Piese pentru ceas realizate prin UV-LIGA
S22. Concluzii - tehnologia LIGA - cercetri viitoare. Probleme, soluii.
Curs nr. 5
S23. Traductorii - caracterizare, domenii de operare. Schema bloc a traductorilor, traductori
n cascad..
S24. Parametrii microsistemelor.
Tehnici de operare a microtraductorilor/microsenzorilor:
S25. Calibrarea. Metode de calibrare.
S26. Compensarea. Metode de compensare (Compensarea cu pereche
senzor/referin. Compensarea cu puni de senzori. Compensarea cu sensactori.
ntreruperea i aducerea automat la zero. Anularea sensibilitii parazite la senzorii de
saturaie.)
Curs nr. 6
S27. Stabilizarea.
S28. Compensare prin msurtori multiple.
S29. Electronica circuitelor.
S30. Alimentarea microsistemelor (Stocarea local a energiei. Celule de combustibil
miniaturizate. Transmisia energiei optice i electromagnetice. Captarea energiei.)
Curs nr. 7
S31. Microsenzori termici (caracteristici, clasificare, tehnologii de fabricaie).
Termorezistori:
S32. Termorezistori cu strat metalic.
S33. Termorezistori semiconductori.
S34. Senzori de temperatur cu siliciu cu rezisten mprtiat.
S35. Termorezistori pentru detecia radiaiei termice.
S36. Pelistorii.
S37. Diode cu siliciu i tranzistori utilizai ca microsenzori termici.
Curs nr. 8
S38. Microsenzori termoelectrici, bazai pe efectele Seebeck, Peltier i Thomson.
S39. Microtermopile pentru detectarea radiaiei IR.
S40. Microsenzori termoelectrici cu vid
S41. Microsenzori pentru curgerea gazelor
S42. Termoconvertori c.a./c.c
S43. Senzori pentru fluxul de cldur.
Curs nr. 9
S44. Microsenzori optici. Scanarea cu micro-oglinzi.
S45. Micro-oglinzile acionate electrostatic
S46. Micro-oglinzi de scanare cu actuator electrosttic paralel-plat.
S47. Micro-oglinzi de scanare cu actuator de tip pieptene electrostatic vertical.
S48. Micro-oglinzi de scanare cu actuatori magnetici i electromagnetici.
Curs nr. 10
Componentele sistemelor micro-optice integrate:
S49. Ghidurile de und.
S50. Cuplorii.
S51. Interferometrele.
S52. Dispozitive optice active.
S53. Materiale folosite pentru fabricarea dispozitivelor i circuitelor optice integrate.
Curs nr. 11
S54. Microactuatori. Mecanismele de acionare mecanic.
S55. Microactuatori electrici. Caracterizare general.
S56. Actuatori cu spaiul dintre electrozi variabil.
S57. Actuatorii cu spaiul dintre electrozi constant.
Curs nr. 12
S58. Microactuatori piezoelectrici. Generaliti.
S59. Microactuatorii piezoelectrici liniari.
S60. Microactuatorii piezoelectrici bimorfi.
S61. Microactuatori cu membran piezoelectric rezonant.
S62. Microactuatori cu electrostriciune, electrei i fluide electro-reologice.
