UNIVERSITATEA POLITEHNICA DIN BUCUREŞTI

FACULTATEA DE INGINERIE MEDICALĂ

Biomateriale şi Dispozitive Medicale

NANOLITOGRAFIE.
APLICAȚII ÎN
MEDICINĂ
 Nanolitografie. Aplicații în medicină

Nanotehnologia a dat naștere multor tehnologii utile, printre care se

află și nanolitografia, știință care se ocupă cu structura la nivel microscopic pentru detectarea,
scrierea, tipărirea și comunicarea caracteristicilor părților în cauză.[1]

Nanolitografia este folosită în multe domenii de aplicații, este o ramură a nanotehnologiei

care este utilizată pentru fabricarea de materiale și molecule nanometrice. Se utilizează în timpul
integrării semiconductoarelor de margine, a sistemelor integrate de nanocircuite sau
nanoelectromecanice. Două dintre cele mai importante instrumente utilizate în procesarea
nanolitografică sunt: Scanning Probe Microscope (SPM) și Atomic Force Microscope (ATM).[1]

Clasificarea nanolitografiei în funcție de aria de lucru în care este utilizată:

 Nanolitografie optică - tehnică pentru modelarea diferitelor suprafețe, având

capacitatea de a produce modele de până la 100 nm cu lungimi minime de undă;
necesită utilizarea imersiei lichide și a rezoluției gazdă;
 Nanolitografie cu raze X – are capacitatea de a îmbunătăți și de a extinde rezoluția
optică de 15 nm prin utilizarea lungimilor de undă scurte de 1 nm pentru
iluminare; [1]

Tehnicile de modelare utilizate frecvent includ nanolitografie, nanoimprint și micro /

nanoprinting. Nanolitografia folosește lumina, ioni încărcați sau fascicule de electroni pentru a
transfera un model geometric dintr-o fotometrie premadă într-un strat fotorezist care este acoperit
pe un material subțire sau pe o grosime de substrat. Tehnica folosește apoi o serie de post-
tratamente pentru a grava chimic modelul transferat în materialul țintă sau pentru a permite
depunerea unui material nou în modelul transferat.[2]

Acest proces este ilustrat în Figura 1, în care fotorezistul și materialul țintă sunt marcate
în roșu și respectiv albastru. Ceea ce distinge diferitele abordări nanolitografice este tipul de
radiație (fotoni, electroni sau ioni), utilizată pentru a transfera modelul. Lungimea de undă a
radiației este o cheie a rezoluției spațiale a abordării. Cu toate acestea, mărimea minimă a
caracteristicilor finale din materialul țintă depinde, de asemenea, de calitatea și proprietatea
fotosenzorului și a fotorezistului. Tehnicile de nanolitografie au demonstrat capacitatea de a
fabrica caracteristici sub-10 nm.[2]
 Nanolitografie. Aplicații în medicină
Figura 1. Funcționare EBDW[2]
Tehnici de nanolitografie
Electron Beam Direct –Write Lithography
(EBDW)
Extreme ultraviolet lithography (EUV/ NGL)
Litografie încărcată cu particule
Descriere
 Cea mai renumită metodă de
nanolitografie;
 Tehnică de scriere directă;
 Utilizează fasciculi de electroni pentru
a desena un model;
 Folosită în principal pentru a obține
diferite modele de structuri
polimerice.[1]
 Este un tip de litografie optică care
utilizează un fascicul de lumină activ,
cum ar fi fasciculi din radiațiile
ultraviolet;
 Este utilizată pentru a produce diferite
tipuri de materiale și a măsura
lungimile de undă.[1]
 Are capacitatea de a produce modele de
rezistență ridicată;
 Nanolitografie. Aplicații în medicină

 Utilizează fascicule de ioni ce încarcă

particulele, care, atunci când lovesc
suprafața, proiectează un model
specific dorit.[1]
Litografie neutră cu particule (NPL)  Face uz de fascicule largi de particule
active neutre pentru a produce modele
și imagini de înaltă rezoluție.[1]
DPN  Instrument nou pe baza de sondă de
scanare care utilizează un vârf AFM
acoperit cu cerneală pentru a modela o
suprafață (Figura 2.)
 Instrument litografic direct constructiv
care permite tipărirea materialelor moi
și dure din vârfurile sondei de scanare
pe o suprafață cu rezoluție ridicată și
mărime sub 50 nm.
 Datorită capabilității sale de scriere
directă și compatibilității cu
materialele moi, poate fi utilizată
pentru depunerea mai multor compuși,
secvențial sau paralel, cu o precizie
ridicată.
 Nu este necesară expunerea
substratului de șablon la condiții dure,
cum ar fi iradierea cu raze ultraviolete,
cu ioni sau cu electroni sau chiar
solvenți nepolari, evitând astfel
deteriorarea.[3]
 Nanolitografie. Aplicații în medicină

Figura 2. Funcționare DPN

Dezvoltarea capacității de a controla forma, mărimea și compoziția chimică a structurilor

pe scara nanometrică, de 1-100 nm este o provocare interesantă, deoarece deschide noi
posibilități de cercetare într-o serie de domenii, de la electronică la diagnostice medicale. În
prezent există o mare varietate de tehnici pentru generarea de arhitecturi nanometrice.

Într-un studiu recent publicat de Nature Photonics, Airán Ródenas și colegii de la

Institutul de Fotonică și Nanotehnologie și Departamentul de Fizică s-au îndepărtat de la
metodele existente de inginerie a nanoarhitecturii cristaline. În schimb, au propus o metodă prin
care reactivitatea chimică interioară a unui cristal, dată de viteza de etanșare umedă, ar putea fi
modificată local la nano-scală pentru a forma structuri nano-poroase utilizând nanolitografia.
Cercetătorii interdisciplinari au arătat că laturile de pori ar putea fi create în interiorul anumitor
cristale cheie, cum ar fi YAG și safir, utilizate în mod obișnuit pentru aplicații practice. Ródenas
și echipa sa au efectuat scrierea directă a laserului înainte de gravarea, creând arhitectura dorită a
porilor în interiorul cristalului solid pentru aplicații fotonice.[4]

Figura 3. Evoluția dimensiunii porilor [4]

 Nanolitografie. Aplicații în medicină

Această capacitate de a crea nanostructuri controlate 3D, prin

nanolitografie, de cristale poroase va putea permite aplicații noi cu nanofibre deformabile prin
laser în microelectronică și pentru livrarea de medicamente. [4]
 Nanolitografie. Aplicații în medicină

BIBLIOGRAFIE
[1]. http://wifinotes.com/nanotechnology/what-is-nanolithography.html
[2]. Lei Yang, in Nanotechnology-Enhanced Orthopedic Materials, 2015
[3]. Applications of dip-pen nanolithography
[4]. Three-dimensional femtosecond laser nanolithography of crystals, Thamarasee
Jeewandara , Phys.org JANUARY 15, 2019