TEMA : “STRATURI SUBȚIRI OBȚINUTE PRIN TEHNICA PLD.

METODE DE CARACTERIZARE A SUPRAFETELOR SI STRATURILOR SUBȚIRI”

Profesor -Prof. univ. dr. habil. Silviu-Octavian GURLUI

Student- Țulea Nicoleta ,an I Master Optică și Optometrie

Iași 2023
CUPRINS:

I. Noțiuni Introductive
II. Principiul de funcționare a PLD
III. Caracteristica optică a straturilor subțiri
IV. Metode optice de studiu ale straturilor subtiri
V. Aplicații
NOȚIUNI INTRODUCTIVE:

 Straturile subțiri sunt staturi de material cu grosime in interval sub-nanometric pina la microni .Ele
sunt intens folosite datorită proprietăților pe care le conferă nanostructurarea: transport de sarcină
îmbunătățita, duritate crescută și, în cazul filmelor subțiri semiconductoare, amplificarea mișcării
purtătorilor de sarcină în planul filmului subțire comparativ cu planul perpendicular pe film.
 Depunerea filmelor subţiri prin ablaţie laser pulsată (Pulsed Laser Deposition PLD) este o
metoda versatilă larg folosită în domeniul producerii de straturi subţiri, este o tehnică fizică de
depunere a straturilor subțiri care utilizează un fascicul laser pulsat de mare putere-. conține o sursă
laser excimer, (λ = 248 nm şi τFWHM = 7 ns), care generează un puls laser de mare strălucire, ce
pătrunde printr o fereastră de cuarţ în camera de reacţie Acesta lovește o țintă din materialul ce
urmează să fie depus, îl vaporizează și îl deplasează de la țintă (într-un con de plasmă) pe un substrat
(cum ar fi o plachetă de siliciu orientată spre țintă) pe care ulterior se depune ca o peliculă subțire.
 Ablatia laser este un proces prin care o cantitate de material este indepartata de la suprafata unui
solid/lichid in urma iradierii laser. La fluenta mare(a laserului),materialul este extras din tinta sub
forma unui jet de plasma (in forma de pana laser/plasma plume)
METODA DE DEPUNERE UTILIZATĂ -DEPUNEREA LASER
PULSATĂ (PLD)

Avantajele metodei de depunere cu laseri pulsaţi (PLD) a filmelor/straturilor subţiri sunt:

1. Flexibilitatea ridicată în alegerea parametrilor de depunere ce pot fi controlați din exteriorul camerei de reacție
2. Camera de depunere este un reactor de cuart deoarece sursa de energie (lserul ) este exteriorul camerei de
reactie
3. Control precis al ratei de crestere si a grosimii straturilor depuse.Depunerea are loc pe substraturi cu diametru
de pina la 50mm
Dezavantaje
1.Necesită echipamente sofisticate și costisitoare
2.Lucrează la tensiuni ridicate , consumîând energie multă
3.Camera de depunere trebuie sa fie curată pentru a nu contamina depunerea
PRINCIPIUL DE FUNCȚIONARE A PLD:
 Procesele fizice fundamentale pe care se bazează
depunerea prin ablația laser, sunt clasificate în patru
etape:

1) Absorbția fascicolului laser pe suprafața țintei (unde are

loc încălzirea materialului iradiat: topirea, evaporarea
sau vaporizarea materialului încălzit) ca urmare,
producerea plasmei.

2) Dinamica plasmei (expansiunea plasmei).

3) Depunerea materialului ablat/expulzat pe un anumit

substrat/colector.

4) Nucleația și mecanismul de creștere a stratului subțire pe

suprafața substratului (temperatura
substratului).
CARACTERIZAREA OPTICĂ A STRATURILOR SUBȚIRI

 presupune efectuarea măsurătorilor de absorbție, reflexie sau transmisie.

1) Reflexia - lumina este „întoarsă” de pe suprafa , și este asociată de obicei cu
luciul;
2) Transmisia - lumina traversează obiectivul, se întâlneşte în cazul obiectelor
mai mult sau mai puţin transparente şi este asociată cu claritatea;
3) Absorbția - lumina penetrează obiectivul, fenomen responsabil în mare măsură
pentru culoare;
METODE OPTICE DE STUDIU ALE STRATURILOR SUBTIRI

 După cum se știe principalele caracteristici ale straturilor subtiri , care determina proprietatile optice ale sraturilor simple
sau mutiple sunt -
 Indicele de refractie n
 Factorul spectral de extincție k – al materailului și grosimea geometrica h (grosimea optica nh)
 Aceste maxime împreună cu unghiul de incidență determină proprietățile optice ale straturilor subțiri exprimate prin factorul
spectral al reflexei (sau de transmisie )
 Pentru determinarea constantelor optice n și k și a grosimii optice nh se folosesc diferite metode optice –
 1.Metoda interferometrică
 2.Metoda fotometrică
 3.Metoda elipsometrică
 4.Metoda de microscopie în reflexie/transmisie
 5.Spectroscopia fotoelectronilor X/ in infrarosu Fourier /Raman
 6.Microscopia electronica de baleiaj
 7. Difractia radioatiilor X
 SPECTROFOTOMETRUL UV–VIS-NIR
-pentru caracterizarea proprietăților optice (reflectanță și
trasmitanță )
-Are 3 elemente esențiale – sursa de lumină ,detectorul ,
monocromatorul
Principiul de funcționare-
 este o tehnică bazată pe absorbția luminii de către o substanță.
 Proba este iluminată cu o radiație electromagnetică cu lungimi de
undă în domeniul UV și
vizibil.
 În funcție de natura substanței, lumina poate fi parțial absorbită
 Determinarea grosimii stratului probei semiconductoare p reprezinta
tehnica Franjelor de interferenta
 Din spectrul de transmitanță se pot extrage informații legate de:
coeficientul de absorbție (α), lărgimea optică a benzii interzise (Eg),
indicele de refracție (n), energia Urbach, etc.
ELIPSOMETRUL SPECTROSCOPIC

 metoda de investigatie optica nedistructiva pentru determinarea

grosimii straturilor subtiri
 determina constantele optice ale straturilor depuse, rugozitatea
suprafetelor piesei sau interfetele straturilor.
 Principiul de lucru al elipsometriei este masurarea
schimbarilor de faza care apar în polarizarea luminii
monocromatice reflectate de un material.
 Fascicolul de lumina incident pe suprafata piesei este linear
polarizat, iar dupa reflexie devine eliptic polarizat
APLICAȚII:

 Domenii de aplicabilitate: Filmele subțiri obținute prin PLD − metale, semiconductori,

oxizi, materiale organice, polimeri, materiale hibride cu componente organice şi
anorganice − sunt utilizate în inginerie optică, optoelectronică, electronică, energie,
aplicații magnetice, senzori sau biomedicină.
 Industria optică - integrate în lentile cu strat antireflex și cu rezistență mecanică. /Filtre
si oglinzi speciale/Filtre deinterferenta .De asemenea, preocupările sunt îndreptate spre
designul celulelor solare cu eficiență ridicată, precum și pentru acoperiri anticorozive sau
decorative ale diverselor suprafețe.
 Sisteme: dispozitivele termoelectrice, celule solare, circuite electronice, senzori,
tranzistoare, diode, acoperiri antireflex, acoperiri pentru protecție împotriva coroziunii.
 Industrii: industria energetică, industria circuitelor electronice, industria sistemelor
semiconductoare
BIBLIOGRAFIE

I. I. Spânulescu, Fizica straturilor subţiri şi aplicaţiile acestora, Ed.Stiinţifică, Bucureşti, 1975.

II. D. D. Sandu, Electronică Fizică i aplica ii ș ț , vol. I, Editura Universită ii, Al. I. Cuza, ț 1994
III. STRATURI SUBȚIRI ȘI NANOCOMPOZITE PENTRU APLICAȚII AVANSATE Ioana-Luciana PUNGĂ
(căs. SURUGIU) Iași ‐ 2022
IV. PULSED LASER DEPOSITION OF BISMUTH ZINC NIOBATE THIN FILMS FOR DIELECTRIC
APPLICATIONS 2002/Lisa Friedman Edge
V. TEZADE DOCTORAT DE DOCTORAT DE DOCTORAT STRATURI SUB[IRI MULTIFUNCTIONALE DE
NITRUR~ DE TITAN Conducator stiintific Prof.dr.fiz. Traian PETRITOR 2011
VI. Thin –Film Opticl Filters / H A Macleod/ University of Arizona 2001
VĂ MULȚUMESC PENTRU ATENȚIE !