PRINCIPII DE BAZĂ ÎN REALIZAREA SENZORILOR ȘI

TRADUCTOARELOR

1.1. Introducere
Dezvoltarea unor dispozitive de măsurare de tipul senzorilor și traductoarelor a apărut ca o
necesitate impusă de progresul tehnic și mai ales de necesitatea de a controla în timp real
procese complexe. De asemenea, revoluția informațională obligă la realizări de senzori și
traductoare cu un înalt grad de prelucrare a mărimii de măsurat.
Inițial, omul s-a rezumat la a prelua informații din mediul înconjurător prin intermediul
celor cinci organe de simț: ochii (vederea), nasul (mirosul), urechile (auzul), gura (gust),
membre, în special mâini (pipăit). Realizările iniţiale, în tehnica senzorilor și traductoarelor,
au avut la bază această asociere şi o primă clasificare se poate face în funcţie de acest
raţionament: vedereasenzori optici, mirosulsenzori de gaze şi umiditate, auzsenzori
acustici şi de presiune, pipăitsenzori termici şi de presiune, gustsenzori de compoziţii
chimice.
Este evident ca stadiul actual al tehnicii cumulat cu multiplele posibilități de prelucrare și
transmitere a informației a făcut ca omul nu se mai bazeze numai pe propriile sale organe de
simţ, domeniul funcţiilor sale senzoriale fiind în continuă creştere datorită dezvoltării
diferitelor tipuri de senzori, destinaţi măsurării şi analizării diverselor fenomene.
În general, pentru obţinerea informaţiei metrologice, între mărimea de măsurat şi operator
se stabileşte un lanţ de măsurare. Structura acestuia evidenţiază funcţia îndeplinită de
senzor, de captare a mărimii de măsurat şi de conversie într-o formă convenabilă formării
semnalului metrologic. Mărimea de măsurat m(t) este convertită într-o altă mărime x(t), ale
cărei variaţii respectă variaţiile mărimii de intrare (Fig. 1.1). Mărimea de ieşire poate fi de
aceeaşi natură fizică cu mărimea de intrare sau de natură diferită, însă uşor măsurabilă.

m(t) x(t)
Fenomen Senzor

Fig. 1.1. Locul senzorului în lanţul de măsurare

Senzorul este elementul din lanțul de măsurare care este direct influențat de mărimea de
măsurat.
Traductorul este un dispozitiv care pe baza unei legi fizice realizează transformarea unei
mărimi într-o altă mărime de care diferă calitativ sau cantitativ. Prin urmare, rolul traductorului
este acela de a transforma o mărime într-o altă mărime de aceeaşi natură sau de natură diferită,
prin care să fie facilitat procesul de măsurare. Traductorul poate avea în structura sa unul sau
mai mulți senzori.
 Transformarea unei mărimi într-o altă mărime, necesită totdeauna prezenţa uneia sau
mai multor forme de energie: traductoarele fie realizează transformarea directă dintr-o formă de
energie în alta (în cazul mărimilor active, purtătoare de energie, cum sunt: forţa, curentul
electric, sarcina electrică), fie realizează modularea unei energii în funcţie de un parametru (în
cazul mărimilor pasive, cum ar fi: densitatea, rezistenţa electrică, inductivitatea, capacitatea
electrică).
Astfel, s-au pus în evidenţă 5 domenii de energie care se pot converti unul în celălalt: energie
termică, energie mecanică, energie electrică, energie magnetică şi energie chimică. Nu apare
explicit domeniul energiei radiante, deoarece teoria termodinamică se referă strict la energia
internă a materiei; domeniul energiei radiante este însă important pentru realizarea senzorilor şi
va fi considerat ca al şaselea domeniu posibil în conversii.
Utilizarea acestor domenii de energie permite realizarea conversiilor din fig. 1.2.

Radiant
Chimic
Mecanic

Magnetic
Termic
Electric

Fig. 1.2. Posibilităţi de conversie a energiei la nivelul senzorilor

Se observă că se poate realiza situaţia în care un senzor să convertească o singură dată o energie
dintr-o formă în alta (de exemplu, efectul Seebeck sau cel piezoelectric). În alte cazuri pot exista
mai multe conversii succesive (de exemplu, măsurarea debitului unui fluid prin convertire
iniţială într-o diferenţă de temperatură, urmată de convertirea în semnal electric).
Prin prisma mărimii de ieşire, senzorul poate fi modelat prin:
- - impedanţă (R,L,C) - senzor pasiv (parametric)
- - sursă de energie - senzor activ (generator).
Senzorul generator furnizează la ieşire un semnal electric. Senzorul parametric îşi variază
impedanţa (sau una din componentele sale) sub acţiunea mărimii de măsurat şi are nevoie de o
sursă exterioară de energie pentru extragerea unui semnal electric util. Ansamblul senzor pasiv -
sursa de alimentare este cel care creează semnalul electric ale cărui caracteristici trebuiesc legate
de cele ale mărimii de intrare.
La alegerea unui senzor sau traductor, un rol important îl au:
- precizia care trebuie atinsă,
- efectele mărimilor de influenţă,
- caracteristicile dinamice,
 - forma semnalului ce trebuie transmis la distanţă,
- domeniul de măsurare,
- fiabilitatea,
- costurile.
Principalele tipuri de mărimi măsurabile perceptibile prin intermediul senzorilor sunt prezentate
în Tabelul 1.1.

Tabelul 1.1. Principalele tipuri de mărimi măsurabile perceptibile prin intermediul senzorilor
Categoria Mărimea de măsurat
Mecanică Lungime, grosime, deplasare, nivel de lichid, viteza, acceleraţie,
unghi de rotaţie, număr de rotaţii, masă, greutate, forţă, presiune,
moment, cuplu, viteza vântului, debit, viteza curentului, oscilaţii
Acustică Presiune acustică, nivel de zgomot
Mărimi variabile Frecvenţă, perioadă
Electricitate Curent, tensiune, potenţial, energie, sarcină, impedanţă, rezistenţă,
capacitate, inductanţă, undă electromagnetică
Magnetism Câmp magnetic, inducţie magnetică
Termică Temperatură, capacitate calorică, căldură specifică, cantitate de
căldură
Optica Strălucire, variaţia luminozităţii, infraroşu, ultraviolet,
culoare, intensitate luminoasă
Radiaţii Cantitate de iradiaţii, obţinere de radiaţii
Umiditate Umiditate, duritatea apei
Chimie Grad de puritate, densitate, compoziţie, vâscozitate, pH, granulaţie,
concentraţie, masa specifică, analize electrice - lichide, solide
Bioinginerie Bătăi cardiace, presiune sanguină, puls, presiune parţială a gazului
sanguin, debit respiratoriu, viteză, temperatură, grad de saturaţie în
O2,
ECG, EEG etc.

Pentru analizarea şi clasificarea senzorilor este necesară o examinare a mărimilor m(t) care se pot
extrage de la fenomenul supus măsurării. Utilizând principiile termodinamicii se poate
concluziona că există două categorii de mărimi: extensive (masa, sarcina electrică, polarizare
electrică şi magnetică etc.) şi intensive (potenţial electric şi chimie, temperatura absolută, câmp
electric şi magnetic etc.). Fiecare mărime extensivă are un corespondent în rândul celor
intensive, iar produsul lor reprezintă energia reversibilă înmagazinată în material. Se definesc
forţe generalizate (gradientul mărimilor intensive) şi curenţi generalizaţi (pe baza derivatelor
temporale ale mărimilor extensive).

Indiferent de domeniul de utilizare, senzorilor li se impun anumite condiţii, cum ar fi:

 să execute prelucrarea primară a informaţiei;
 să asigure o siguranţă mare în exploatare;
 să furnizeze un semnal mare la ieşire, cu precizie ridicată şi să nu perturbe
măsurandul;
 să permită alegerea domeniului de măsurare şi reglarea sensibilităţii;
 să admită suprasarcină de durată;
 să prezinte adaptabilitate la amplasare;
 să fie asigurată imunitatea la perturbaţii;
 să aibe o construcţie simplă, rigidă, rezistenţă la şocuri şi acţiunea mediului
înconjurător, gabarit redus şi masă mică;
 să aibe legături simple de intrare-ieşire;
 să necesite o reglare şi întreţinere, uşoare.

1.2. Modelarea tridimensională a conversiilor specifice senzorilor

Bazat pe cele 6 domenii de energie şi pe distincţia dintre senzorii parametrici şi cei
generatori, se poate realiza o modelare tridimensională - "cubul conversiilor" - ce conţine toate
efectele chimice şi fizice utile în conversiile specifice senzorilor (Fig. 1.3). Toţi senzorii
generatori, ce nu au nevoie de energie de activare, sunt plasaţi în planul bazei "intrare-ieşire",
plan ce are pe cele 2 axe marcate cele 6 domenii de energie. Planul de bază reprezintă 36 tipuri
diferite de conversii; cele 6 pătrate de pe diagonală au la intrare şi la ieşire acelaşi tip de energie,
indicând doar existenţa unei procesări de semnal. Pentru a indica efectele utilizate pentru
senzorii parametrici se foloseşte axa verticală a cubului. In acest mod cubul conţine 216 de
"cuburi mici" din care 36 reprezintă procesări de semnal (6 numai electrice). De exemplu, pentru
un senzor cu efect magnetorezistiv, la care un flux de energie electrică este modulat de câmpul
magnetic, mărimile sunt: pe axa de intrare - electrică, pe axa de modulare - magnetică, iar pe axa
de ieşire - electrică. Se observă că se poate face o clasificare a unui senzor prin cele trei
coordonate:
[intrare, ieşire, modulare].
De exemplu:
celula solară [radiant, electric, 0]
senzor Hall [electric, electric, magnetic]
Componentele electrice şi electronice de tip parametric (transformator, diodă) sunt
plasate în planul bazei cu mărimi electrice la intrare şi ieşire, iar componentele active (tranzistor
etc.) sunt indicate prin domeniul electric pe toate cele trei axe.
 Fig.1.3. Cubul conversiilor

Senzorul se alege funcţie de mărimea de intrare, iar asocierea sursei de energie şi a

circuitelor electronice specifice ansamblului este o etapă importantă în realizarea unui sistem de
măsurare, determinând performanţele procesului de măsurare (liniaritate, sensibilitate, imunitate
la zgomote, etc.).
În ultimii ani se observă o evoluţie rapidă în domeniul senzorilor, aceasta decurgând din
mai buna cunoaştere a fenomenelor fizice şi din apariţia unor noi materiale şi tehnologii.
Tendinţa actuală este de a dezvolta lanţul de măsurare ataşat senzorului, mărimea de măsurat
putând suferi o succesiune de conversii înainte de a ajunge la ieşire.
Producătorii realizează, din ce în ce mai mult, traductoare uşor de utilizat în diferite
aplicaţii, conţinând şi sistemul de condiţionare şi prelucrare a semnalului.

1.3. Principii fizice utilizate

Dezvoltarea rapidă a senzorilor, în ultimele decenii, a fost determinată de apariţia unor
noi materiale şi de descoperirea de noi efecte fizice ce derivă din proprietăţile acestor materiale.
Imediat ce a fost descoperit un nou efect fizic s-a studiat posibilitatea folosirii acestuia în
procesul de măsurare, pentru a se realiza un nou tip de senzor. În tabelul 1.2 sunt indicate
principalele fenomene fizice ce stau la baza funcţionarii senzorilor, precum şi dispozitivul fizic
ce realizează conversia. În afara exemplelor prezentate în acest tabel există, bineînţeles, şi alte
fenomene ce pot sta la baza măsurării, pe cale electrică, a mărimilor neelectrice.

Tabelul 1.2. Principalele fenomene fizice ce stau la baza funcţionarii senzorilor, precum şi dispozitivul
fizic ce realizează conversia
Ieşire Radiantă Mecanică Termică Electrică Magnetică Chimică
Intrare
Radiantă filtru de presiunea încălzire fotodiodă fotografie
interferenţă luminii cu
infraroşii
Mecanică fotoelasticitate angrenaj cu roţi frecare efect magnetostricţiune amestecare
dinţate piezoelectric
Termică radiaţii dilatare termică schimbător efect efect Curie sinteze
infraroşii de căldură termoelectric
Electrică LED piezoelectricitate efect tranzistor solenoid electroliză
Peltier
Magnetică efect Faraday electromagnet modificare efect Hall circuit magnetic lichide
histerezis magnetice
Chimică substanţe explozie ardere efect voltaic reacţie
fotoemisive chimică

Senzorii generatori (activi) au la bază principiului de funcţionare un efect fizic ce asigură

conversia direct în energie electrică. Cele mai semnificative efecte de acest tip sunt prezentate în
tabelul 1.3.
Tabelul 1.3. Efecte întâlnite în funcționarea senzorilor
Mărimea de măsurat Efectul utilizat Mărimea de ieşire
Temperatura Termoelectricitate Tensiune
Piroelectric Sarcină electrică
Fotoemisie Curent
Flux de radiaţii optice
Efect fotovoltaic Tensiune
Efect fotoelectromagnetic Tensiune
Forţă
Presiune Piezoelectricitate Sarcină electrică
Acceleraţie
Viteză Inducţie electromagnetică Tensiune
Poziţie Efect Hall Tensiune

În continuare se prezintă o descriere sumară a acestor efecte fizice:

• Efectul termoelectric. Un circuit format din două conductoare de natură chimică diferită,
având joncţiunile la temperaturile T1 şi T2, generează o tensiune termoelectrică ET. Prin urmare
efectul termoelectric se poate aplica la măsurarea unei temperaturi T1, dacă este cunoscut T2 (de
exemplu, la 0°C).
• Efectul piroelectric. Anumite cristale, denumite piezoelectrice, au o polarizare electrică
spontană care depinde de natura materialului respectiv. Ele se încarcă la suprafaţă cu sarcini
electrice, proporţionale cu această polarizare şi de semne contrare pe feţele opuse. De exemplu,
un cristal piezoelectric, ce primeşte un flux de radiaţii luminoase, îşi creşte temperatura,
producând o modificare a polarizării ce se măsoară prin variaţia de tensiune de la bornele unui
condensator conectat în schemă.
• Efectul piezoelectric. Anumiţi dielectrici cristalini (cuarţul, titanatul de bariu) au proprietatea
de a se polariza în urma modificărilor dimensionale ca urmare a unei forţe aplicate. Aplicaţii:
măsurarea forţelor, presiunilor, acceleraţiilor prin intermediul tensiunii electrice ce produce la
bornele unui condensator asociat elementului piezoelectric variaţia sarcinii sale electrice.
• Efectul inducţiei electromagnetice. Dacă un conductor se deplasează într-un câmp magnetic
de inducţie constantă, atunci apare o tensiune electromotoare, proporţională cu viteza de
deplasare. De asemenea, în cazul unui circuit închis aflat într-un câmp magnetic cu inducţia
variabilă în timp, se induce o t.e.m. egală cu viteza de variaţie a fluxului magnetic prin suprafaţa
circuitului. Aplicaţii: la determinarea vitezei de deplasare, având ca mărime măsurată t.e.m.
indusă.
• Efectele fotoelectrice în cadrul cărora se disting mai multe tipuri. În general, acest efect are la
bază eliberarea sarcinilor electrice într-un material sub influenţa unei radiaţii luminoase, când
lungimea de undă este inferioară celei ce caracterizează materialul. Efectul fotoemisiv: sunt emişi
electroni liberi datorită fluxului luminos incident, iar aceşti electroni dau naştere unui curent a
cărui intensitate se măsoară în aplicaţiile realizate. Efectul fotovoltaic: atât electronii, cât şi
golurile, sunt eliberate în vecinătatea unei joncţiuni de semiconductori p sau n, sub acţiunea unui
flux luminos, iar deplasarea purtătorilor de sarcină modifică tensiunea la borne, aceasta fiind
mărimea măsurată. Efectul fotoelectromagnetic: aplicarea unui câmp magnetic perpendicular pe
radiaţii produce în materialul iluminat apariţia unei tensiuni electrice în direcţie normală pe
câmpul magnetic şi pe radiaţii. Cele trei tipuri de efecte fotoelectrice prezentate permit obţinerea
curentului sau tensiunii, în funcţie de iluminarea unui ecran şi stau la baza măsurării mărimilor
fotometrice, pe de o parte, iar pe de altă parte asigură circulaţia unui semnal electric dependent
de intensitatea luminoasă.
• Efectul Hall. Un material, în general semiconductor, sub forma de plăcuţă, este parcurs de un
curent de intensitate I şi introdus într-un câmp magnetic de inducţie magnetică B, care face un
unghi  cu planul plăcuţei. În acest caz va apare, pe direcţia perpendiculară pe planul format de
inducţia magnetică şi de curent, o tensiune electrică U H  k H  I  Bsin  , constanta Hall - kH -
depinzând de material şi de dimensiunile plăcuţei.
A doua categorie de senzori o constituie senzorii parametrici (modulatori, pasivi); ei se
caracterizează prin aceea că mărimea de intrare le influenţează proprietăţile, fiind convertită într-
o mărime pasivă, ce poate fi: alungire, deplasare, rezistenţă, inductivitate, etc.
În tabelul 1.4 sunt prezentate principiile fizicii ce stau la baza funcţionarii senzorilor
parametrici, precum şi tipurile de materiale utilizate pentru obţinerea acestora. Avem, astfel, o
vedere de ansamblu asupra mărimilor de măsurat susceptibile să modifice proprietăţile electrice
ale materialelor utilizate pentru realizarea senzorilor pasivi.

Tabelul 1.4. Principiile fizicii ce stau la baza funcţionarii senzorilor parametrici, precum şi tipurile de
materiale utilizate pentru obţinerea acestora
Caracteristicile electrice
Tipuri de materiale
Mărimea de măsurat sensibile la acţiunea mărimii
utilizate
de măsurat
Temperatura Rezistivitate Platină, oţel, nichel (metale)
Temperatura foarte înaltă Constanta dielectrică Sticlă, semiconductoare
Flux de radiaţii optice Rezistivitate Semiconductoare
Rezistivitate Aliajul de nichel, siliciu
Deformaţii
Permeabilitate magnetică Aliaje feromagnetice
Materiale magnetorezistive:
Poziţie Rezistivitate bismut, antimoniura de
indiu
Rezistivitate Clorura de litiu
Umiditate
Constanta dielectrică Alumină, polimeri
Nivel Constanta dielectrică Lichide izolante

Din realizările existente se poate remarca, în special, locul important pe care îl ocupă în
cadrul acestei categorii, senzorii rezistivi, inductivi şi capacitivi.
 Posibilităţile de conversie a unor mărimi de natură neelectrică în mărimi de natură
electrică se datorează, deci, unor legi fizice, care exprimă dependenţa parametrilor electrici ai
senzorului faţă de aceste mărimi.
De exemplu, ţinând cont de relaţiile fundamentale pentru:
- rezistenţa electrică a unui conductor omogen:
l
R (1.1)
S
- inductivitatea proprie a unei bobine:
N2
L (1.2)
n l
  kS
1 k k
- capacitatea electrică a unui condensator plan :
 S
C (1.3)
d
se observă posibilitatea influenţării valorilor unor parametri prin modificări geometrice (lungime,
secţiune, distanța dintre armături) sau de material ( , ,  ).

Prin modificarea lungimii unui conductor metalic se poate realiza, de exemplu, un senzor
tip marcă tensometrică, ce poate fi utilizat la măsurarea deformărilor piesei pe care a fost montat
acest senzor. Modificarea lungimii întrefierului unui circuit magnetic poate fi utilizată pentru
obţinerea informaţiei privind o deplasare relativă faţa de o poziţie cunoscută. O informaţie de
măsurare se poate obţine prin modificarea uneia din mărimile ce influenţează capacitatea
electrică: suprafaţa armăturilor, distanţa dintre armături sau permeabilitatea electrică a
materialului din interior.
În tabelul 1.5 se prezintă o sinteză pentru senzorii pasivi, punându-se în evidenţă
fenomenul fizic pe baza căruia funcţionează senzorul respectiv şi aplicaţii specifice pentru
senzorii rezistivi, inductivi şi capacitivi.
În tabelele 1.6 - 1.9 se prezintă, pentru mărimile fizice des întâlnite în practică, tipurile
fundamentale de senzori, caracteristicile specifice ale acestora şi unele observaţii necesare pentru
alegerea senzorului potrivit unei aplicaţii date.

Tabelul 1.5. Fenomene fizice pe baza cărora se bazează funcționarea senzorilor pasivi
Tipul Fenomenul fizic pe care se bazează
senzorului conversia
- Variaţia lungimii conductorului.
- Variaţia rezistivităţii cu temperatura.
- Variaţia rezistivităţii sub acţiunea
câmpului magnetic.
Rezistiv - Variaţia rezistivităţii sub acţiunea
(R) radiaţiilor.
- Variaţia lungimii, secţiunii şi
rezistivităţii prin intermediul unui
element elastic deformabil.
- Variaţia rezistivităţii prin procese
Aplicaţii
- Deplasări liniare şi unghiulare,
grosime, nivel, temperaturi,umiditate
gaz.
- Concentraţii amestecuri de gaze,
viteză gaze (debit), vacuum.
- Câmp magnetic, inducţie magnetică.
- Intensitate luminoasă, flux luminos.
- Deplasări, forţă, presiune.
- Concentraţie,umiditate.
 chimice.

- Variaţia lungimii, secţiunii sau - Deplasări liniare şi unghiulare,

permeabilităţii unor porţiuni din grosime, nivel.
Inductiv circuitul magnetic, prin deplasarea unei - Acceleraţie, viteză, forţă, vibraţii.
(L) armături feromagnetice.
- Idem, prin asocierea cu elemente
elastice.
- Variaţia distanţei sau a suprafeţei - Deplasări.
Capacitiv
comune a armăturilor. - Grosime , nivel.
(C)
- Variaţia permitivităţii  .

a) Nivel
Tabelul 1.6
Tip Caracteristici Observaţii
Plutitor - Mărime de ieşire: - Necesită sursă de energie.
variaţie de rezistenţă
Optic - Optocuplor.

b) Presiune
Tabelul 1.7
Tip Caracteristici Observaţii
Reostat - Mărime de ieşire R. - Uşor de condiţionat
- Necesită sursă de energie.
Marcă - La ieşire variaţie de R. - Semnal de nivel mic.
tensometrică - Necesita sursă de energie. - Amplificator de instrumentaţie.
Piezoelectric - Ca la forţă.

c) Temperatură
Tabelul 1.8
Tip Caracteristici Observaţii
Termocuplu - Impedanţă proprie scăzută - Nivel scăzut al t.e.m.
- Senzor activ, mărimea de ieşire - Necesită amplificare.
t.e.m. mV (la 20°C) - Necesită referinţă de temperatură
0°C.
- Răspuns neliniar.
Termorezistenţa - Coeficient pozitiv de variaţie a - Reproducere bună a
rezistenţei cu temperatura caracteristicilor.
- R o   20  2k  - Liniaritate pe domenii înguste.
- Sensibilitate 0,1 %/°C-0,66%/°C
 Termistor - Coeficient negativ de variaţie cu
temperatura
- R o   50  1M  -
Sensibilitate 4%/°C
(prin liniarizare 0,4%/°C)
Semiconductor - Necesită sursă de energie.
- Sensibilitate ridicată
- Neliniaritate
- Posibilitate de liniarizare cu reţea
rezistivă
- AD 520 este liniar , calibrat

d) Forţă
Tabelul 1.9
Tip Caracteristici Observaţii
Marcă - R = f(F) - Necesită condiţionare
tensometrică - Sensibilitate 0,1%. deosebită.
Doza - Mărimea de ieşire: tensiune electrică. - Ieşire liniară.
tensometrică - Sursa de tensiune: 5-15V. - Buna rejecţie de mod
comun.
Marcă - Necesită sursă de tensiune - Sensibilitate ridicată.
tensometrică - Neliniaritate.
semiconductoare
Piezoelectric - Mărimea de ieşire electrică - Necesită amplificator
- Mărime de intrare variabilă de sarcină.

1.4. Structura generală a unui sistem senzorial

Considerând structura generală a unui sistem senzorial de măsurare conform fig.1.4., se
poate pune în evidenţă locul şi rolul traductorului. Astfel, traductorul realizează o primă etapă a
unui proces de măsurare prin obţinerea informaţiei primare de la obiectul sau fenomenul supus
observaţiei, sub forma unui semnal electric ce ulterior este prelucrat şi transformat astfel încât să
existe posibilitatea recuperării şi valorificării informaţiei conţinute în semnal.

Aparat de măsurare

Sursa de Obiect sau Traductor Elemente

activare fenomen de prelucrare Indicator

Energie Mărime fizică Mărime fizică accesibilă

inaccesibilă simţurilor simţurilor

Fig. 1.4. Structura generală a unui sistem senzorial de măsurare

Funcţionalitatea unui traductor impune o structură generală ce este prezentată în fig. 1.5., unde s-
au notat:
- ES element sensibil (senzor);
- A adaptor;
- CP circuit de prelucrare care în funcţie de anumite condiţii poate fi reprezentat de
exemplu de un element de liniarizare a caracterisiticii;
 - SA sursă de alimentare.

x x y y
ES CP A

SA

Fig.1.5. Structura generală a unui traductor

Elementul sensibil (senzorul) realizează pe baza unui fenomen fizic sau chimic operaţia
de conversie a mărimii primare. Circuitul de prelucrare CP, este prezent în structura unui
traductor în situaţiile când elementul sensibil nu poate realiza o corespondenţă între mărimea
primară x şi mărimea intermediară x şi poate constitui un bloc funcţional distinct sau poate fi
inclus în structura adaptorului A.
Cele două forme de manifestare a modificărilor de stare conduc la clasificarea
elementelor sensibile şi implicit a traductoarelor în: parametrice şi generatoare.
Elementele sensibile parametrice (modulatoare) sunt utilizate în cazul mărimilor primare
ce nu au asociată puterea necesară conversiei (pasive).
Elementele sensibile generatoare (energetice) sunt utilizate pentru măsurarea mărimilor
active. Acest tip de element are avantajul cuplării uşoare cu mărimea de măsurat, şi structură
relativ simplă.
Sursa de alimentare furnizează energia necesară blocurilor funcţionale componente, şi
este de regulă o sursă de curent continuu stabilizată şi autoprotejată.

Clasificarea traductoarelor funcţie de poziţia acestora în lanţul de măsurare

În procesul de măsurare, pe lanţul de transmitere a informaţiei, traductoarele pot ocupa
diferite poziţii: traductorul care preia informaţia de la măsurand se numeşte traductor de intrare
sau senzor; la ieşirea mijlocului de măsurare se află traductorul de ieşire care realizează
adaptarea sistemului de utilizare a informaţiei de măsurare la lanţul de măsurare; pe lanţul de
măsurare pot apărea şi traductoare intermediare care au rolul de realiza transformări ale
energiei purtătoare de informaţie în mărimi ce pot fi prelucrate mai uşor, în condiţii de precizie,
viteză şi imunitate la perturbaţii superioare.

1.5. Caracteristici şi performanţe generale ale traductoarelor

Caracteristicile funcţionale ale traductoarelor arată modul în care este reflectată
dependenţa intrare – ieşire, iar performanţele sunt indicatori ce permit aprecierea măsurii în care
caracteristicile reale corespund cu cele ideale. Toate specificațiile de regim static ale unui
traductor sunt obținute în urma procesului de calibrare efectuat de fabricant. Calibrarea
reprezintă operația prin care la intrare sunt aplicate valori cunoscute ale mărimii de intrare
(furnizate de regulă de etaloane, de 10 ori ori mai exacte decât traductorul respectiv), fiind
urmărite valorile mărimilor corespunzătoare de la ieșire. Pe durata operației de calibrare, toate
mărimile de influență nu trebuie sa se modifice, astfel încât să se poată considera că variația
mărimii de ieșire se datorează în exclusivitate variației mărimii de intrare.
Caracteristicile statice sunt generale (întâlnite la mai multe traductoare) și specifice
(întâlnite doar la numite traductoare)
1.5.1. Caracteristici şi performanţe traductoarelor în regim staţionar
Principalele caracteristici metrologice ale unui traductor sunt:
 intervalul de măsurare;
 sensibilitatea;
 exactitatea instrumentală;
 puterea consumată;
 fiabilitatea metrologică.

Domeniul nominal este domeniul de indicații care se pot obține într-o configurație a
mărimilor de intrare. El se exprimă de regulă prin intermediul limitei inferioare și superioare
(Exemplu: de la 100 0C la 200 0C ). Modulul diferenței dintre cele două limite ale unui
domeniu nominal reprezintă intervalul de măsurare.
Intervalul de măsurare reprezintă intervalul de valori ale mărimii de măsurat pe întinderea
căruia traductorul poate furniza informaţii de măsurare cu erori limită prestabilite. Există
intervale pentru care:
 măsurarea este garantată – este cel al măsurărilor corecte, cu exactitatea indicată de
producător;
 măsurarea este posibilă – pe acest interval nu se pretinde traductorului să măsoare cu
exactitatea dorită şi în general traductorul nu trebuie utilizat aici;
 intervale în care se produc fenomene ireversibile – etse intervalul în care traductorul
suferă modificări ce necesită o reparaţie şi o reetalonare ulterioară;
 intervale în care se distruge traductorul, utilizarea în acest domeniu fiind doar
accidentală.

Sensibilitatea absolută este raportul între variaţia mărimii de ieşire y şi variaţia

corespunzătoare a mărimii de intrare x:
y
Sa  (1.4)
x
În diagrama y=f(x), sensibilitatea este reprezentată de panta caracteristicii. Un mijloc de
măsurare este liniar dacă sensibilitatea sa este constantă în intervalul de măsurare.
Se mai poate defini şi pragul de sensibilitate care reprezintă cea mai mică valoare a
mărimii de intrare ce determină o variaţie distinct sesizabilă a mărimii de ieşire. Această
exprimare este utilizată, cu precădere, pentru mijloacele de măsurare analogice. Pentru cele
digitale, se utilizează noţiunea de rezoluţie, reprezentând cea mai mică variaţie a mărimii de
intrare ce poate fi apreciată pe dispozitivul de afişare al aparatului (o unitate a ultimului rang
zecimal).

Repetabilitatea se referă la modul în care mărimea de ieșire se apropie de caracteristica

nominală de conversie la aplicarea repetată a aceleiașă mărimi de intrare.
Histerezisul este tot o indicație privind reproductibilitatea mărimii de ieșire a senzorului.
La creșterea și descreșterea valorilor mărimii de intrare, la unii senzori, se obțin valori diferite
ale mărimii de ieșire. Pentru a calcula histerezisul se face raportul dintre valoarea
corespunzătoare creșterii și descreșterii mărimii de intrare la același reper și domeniul maxim de
variație al ieșirii. De remarcat că histerezisul este o specificație de regim static, valoarea indicată
fiind specifică unui punct, după un interval de timp în care mărimea de ieșire s-a stabilizat.

Exactitatea instrumentală reprezintă calitatea traductorului de a da rezultate apropiate de

valoarea adevărată a mărimii măsurate. Se utilizează noţiunile:
 justeţe – gradul de concordanţă dintre valoarea medie obţinută dintr-un
număr mare de măsurători repetate şi valoarea adevărată;
 fidelitate – gradul de concordanţă dintre mai multe rezultate independente
ale unei măsurători obţinute în condiţii prescrise;
 exactitatea – gradul de concordanţă dintre rezultatul unei măsurători şi o
valoare de referinţă acceptată.

Puterea consumată este puterea absorbită de mijlocul de măsurare de la obiectul supus

măsurării. Un indicator larg utilizat în metrologie este fineţea – calitatea mijlocului de măsurare
de a nu perturba măsurandul.
În general, operaţia de măsurare este o interacţiune între măsurand şi mijlocul de măsurare
respectiv. În decursul interacţiunii, mijlocul de măsurare primeşte o informaţie, deci o anumită
cantitate de energie. Energia poate proveni de la mărimea măsurată, de la o sursă auxiliară sau de
la ambele simultan. În măsurarea directă, mărimea măsurată furnizează singură energia necesară,
pe când în cazul metodei de comparaţie mărimea nu furnizează energie, aceasta provenind de la
o sursă exterioară suplimentară.

Fiabilitatea metrologică reprezintă probabilitatea ca mijlocul de măsurare să funcţioneze

corect un timp dat, fiind utilizat corespunzător scopului. Calitatea mijlocului de măsurare este
caracterizată nu numai prin faptul că el corespunde normelor ca performanţe ci şi prin
aptitudinea de a-şi conserva aceste performanţe în timp.

1.5.2. Caracteristici şi performanţe în regim dinamic

Pentru determinarea caracteristicilor şi performanţelor de regim dinamic traductorul se
consideră ca fiind un sistem liniar şi staţionar monovariabil (o singură intrare, o singură ieşire), a
cărei funcţionare este descrisă de o ecuaţie diferenţială de forma:
dny d n1 y d n2 y dy
an n  an1 n1  an2 n2 ...  a1  a0 y  x  t  (1.4)
dt dt dt dt
Pe baza răspunsurilor la semnale de intrare de tip standard se obţine o descriere a
regimului dinamic prin mărimi specifice acestui regim.
Analiza regimului dinamic se realizează prin algoritmi specifici teoriei sistemelor
asimilând traductorul cu elemente de automatizare de ordinul zero (de tip proporţional), de
ordinul unu (aperiodic), sau cel mult de ordinul doi (oscilator).

Traductorul ca element de ordinul zero

Ecuaţia intrare – ieşire generală a unui element de ordinul zero este de forma:
y t   k  x t  (1.5)
 În acet caz, regimul dinamic este caracterizat de sensibilitatea statică k ce rămâne
constantă la variaţia amplitudinii şi frecvenţei semnalului de intrare x, astfel că atât eroarea
dinamică cât şi întârzierea sunt nule. În realitate un astfel de model matematic, considerat ideal,
se poate obţine pe baza unor simplificări.

Traductorul ca element de ordinul întâi

În structura unui traductor asimilat unui element de ordinul I trebuie să existe elemente
acumulatoare şi disipatoare de energie rezultând funcţia de transfer:
Y  s k
G  s   , (1.6)
X  s 1 Ts
unde:
1
k , este coeficientul de transfer
a0
a
T  1 , este constanta de timp a traductorului
a0
Pentru astfel de traductoare caracterizarea din punct de vedere dinamic se face pe baza
constantei de timp T sau a frecvenţei limită (critică) l , iar răspunsul static pe baza
coeficientului de transfer k.
Eroarea dinamică şi întârzierea pentru aceste traductoare depind de forma semnalului de
intrare. În fig. 1.6 sunt prezentate răspunsurile unui element de ordinul întâi pentru cele trei tipuri
de intrări standard (intrare tip treaptă, tip rampă şi intrare sinusoidală).

y
y
rT
k
0,63 k
α t
rT
T t T

a) răspuns la intrare treaptă b) răspuns la intrare rampă

Y  j  Ф
lgωc lg 
k
-π/4
lg  c lg  -π/2
c) răspunsul la intrare sinusoidală

Fig. 1.6. Caracteristici de răspuns

Traductorul ca element de ordinul doi
Elementul de automatizare de ordinul doi (oscilator), conţine două elemente
acumulatoare şi un element disipator de energie, rezultând funcţia de transfer:
Y s  k n2

G s   (1.7)

X s s2  2 s   2
n n
unde:
k - reprezintă sensibilitatea statică (coeficient de transfer)
 - reprezintă coeficientul de amortizare
 n - reprezintă pulsaţia naturală a traductorului.
În fig. 1.7. sunt prezentate răspunsurile la intrare treaptă unitară, pentru diferite valori ale
coeficientului de amortizare, evidenţiindu-se erorile dinamice corespunzătoare.

Fig. 1.7. Răspunsuri la intrare treaptă unitară

Se defineşte ca parametru de regim dinamic durata regimului tranzitoriu tt , de care

trebuie să se ţină seama la proiectarea şi alegerea traductoarelor, în sensul că acesta are o mare
influenţă în măsurarea mărimilor cu variaţii pronunţate în timp, în cazul măsurărilor ciclice, în
vederea determinării perioadei de repetiţie sau a cadenţei de măsurare şi mai ales în cazul
măsurărilor numerice.
Alt parametru de regim dinamic al traductoarelor este reprezentat de abaterea dinamică
 , care devine esenţial pentru valoarea maximă corespunzătoare primului vârf şi care poartă
numele de suprareglaj sau abatere dinamică maximă  , valoarea acestei mărimi constituind o
condiţie de dimensionare a circuitului de intrare (atenuator) al blocului adaptor al traductorului.
Parametrii enunţaţi şi forma răspunsului conduc la ipoteza că traductoarele cu un răspuns
supraamortizat (   1 ) şi cu un răspuns aperiodic critic  1 sunt de preferat celor cu un
răspuns oscilant amortizat datorită eliminării suprareglajului. În foarte multe situaţii
mărimea de intrare nu este o treaptă perfectă, astfel că şi la traductoarele cu răspuns oscilant
amortizat apare o reducere substanţială a suprareglajului, acestea având şi timp de creştere mult
mai mic.

Analiza comportării unui mijloc de măsurare în regim dinamic se poate face în domeniul
timp şi în domeniul frecvenţă.
În domeniul timp, criteriile de apreciere a calităţii mijlocului de măsurare, la aplicarea la
intrare a unei funcţii treaptă, sunt următoarele:
 - timpul de creştere – tcr – timpul în care semnalul creşte de la 10% la 90% din valoarea de
regim stabilizat (fig. 1.3 a);
- timpul de stabilizare - ts – timpul care trece de la aplicarea mărimii de intrare şi până
când mărimea de ieşire atinge o valoare care se abate cu mai puţin de o valoare prescrisă  faţă
de cea de regim stabilizat (fig. 1.8 b).
Y Y
100 %
2
90 %
100%

10 %
t1 t2 X t
tcr ts
Fig. 1.8. Timpul de creştere şi timpul de stabilizare

Caracterizarea comportării în domeniul frecvenţă, se realizează prin aplicarea la intrare a

unei excitaţii sinusoidale de amplitudine constantă şi frecvenţă variabilă de forma:

x  t   X̂ sin  t (1.8)
Răspunsul sistemului, este tot o mărime sinusoidală de forma:
y  t   Yˆ sin  t    (1.9)
Pentru caracterizarea comportării, se utilizează caracteristica de frecvenţă:
Y
H  j   , (1.10)
X
modulul acestei expresii reprezentând caracteristica amplitudine-frecvenţă:
H  j   H   , (1.11)
iar argumentul funcţiei este caracteristica fază-frecvenţă:

    arg H  j  (1.12)
Criteriul de calitate privind aprecierea comportării în domeniul frecvenţei îl reprezintă
banda de frecvenţă. Aceasta reprezintă intervalul de frecvenţă, cuprins între o limită inferioară
“fi” şi una superioară “fs”, în care amplitudinea nu scade sub 1/2 din valoarea pe care o are la
frecvenţa de referinţă (fig. 1.9).
H(ω) H(ω)

1 1
1/ 2 1/ 2

ωs ω ωi ωs ω

Fig. 1.9. Definirea benzii de frecvenţă

1.4. Principii constructive ale elementelor sensibile
Informaţia referitoare la mărimea primară x se obţine ca o modificare de stare a
elementului sensibil ce se manifestă sub forma variaţiei unor parametrii.

1.4.1. Principiile elementelor sensibile parametrice

Principiul de funcţionare a elementelor sensibile parametrice constă în inducerea unei
variaţii de rezistenţă Rx, de capacitate Cx sau de inductanţă Lx, ca urmare a variaţiei mărimii
primare x şi este esenţial să se cunoască în acest caz legea de variaţie a curentului prin circuitul
elementului sensibil (fig. 1.10).

Element sensibil

Zo±ΔZ

e i
Zs

Fig. 1.10. Conexiunea serie a unui element sensibil

Acest mod de conectare simplu al elementului sensibil în serie cu impedanţa de sarcină

este utilizat datorită nivelului mic al semnalului de ieşire.

1.4.2. Conexiunea în punte

Conectarea elementului sensibil într-o punte de măsură (fig. 1.11), alimentată în curent
continuu, sau curent alternativ, în funcţie de natura impedanţei elementului sensibil reprezintă
montajul cel mai răspândit.
Aplicând legile circuitelor electrice, va rezulta modulul valorii curentului prin impedanţa
de sarcină (considerând că alimentarea punţii se face de la o sursă de tensiune constantă).

±ΔZ
Z3
Z0 i1 i3 ΔU

i2 i4
Z4
Z2

Fig. 1.11. Conexiunea în punte a elementului sensibil

U  (Z 0Z0Z Z Z 3  Z 2Z2Z 4) U (1.13)

1.4.3. Conexiunea diferenţială
O altă modalitate de conectare a elementului sensibil de tip parametric o constituie
conexiunea diferenţială (fig. 1.12), specifică elementelor sensibile parametrice de tip capacitiv
sau inductiv, ceea ce presupune alimentarea în curent alternativ.
~

e/2 e/2
i1 i Zi

Z  Z ~ Z

Fig. 1.12. Principiul conexiunii diferenţiale

Aplicând principiul superpoziţiei, se obţine:

e

2
Z  Z  Z 
i  i1  i 2  (1.14)
  
Z  Z Z  Z i  Z  Z i

1.4.4. Conexiunea de rezonanţă

În acest caz, elementele sensibile de tip capacitiv sau inductiv sunt conectate ca parte
componentă într-un circuit de rezonanţă. Pentru conexiunea de rezonanţă se utilizează fie
rezonanţa curenţilor, fie rezonanţa tensiunilor şi având în vedere liniaritatea răspunsurilor, se
recomandă conexiunea serie pentru elemente sensibile inductive şi respectiv conexiunea paralel
pentru elemente capacitive. Ca mărimi de ieşire ale conexiunii de rezonanţă, prin conversia
mărimii primare într-o variaţie de impedanţă, se poate utiliza fie variaţia de curent, fie variaţia
unghiului de defazaj.

1.5. Categorii de traductoare

1.5.1. Traductoare cu reacţie
Prezenţa traductorului în circuitul de măsurare perturbă valoarea măsurandului; de
exemplu, dacă pentru măsurarea presiunii se foloseşte o membrană elastică, sub acţiunea
presiunii aceasta se deformează, mărind volumul vasului şi deci producând modificarea presiunii
reale. Pentru a elimina această sursă de eroare, se poate introduce un dispozitiv suplimentar, care
să acţioneze cu o forţă F asupra membranei, astfel încât aceasta să revină în poziţia iniţială (fig.
1. 13).
Capsulă
manometrică

 Fig. 1.13. Măsurarea presiunii

Incintă de
p F
Dispozitiv de într-o incintă cu o capsulă
acţionare manometrică
presiune p

Membrană
Reducerea acţiunii traductorului asupra măsurandului se poate realiza cu ajutorul
traductoarelor cu reacţie. Principiul de funcţionare al acestor traductoare este identic cu
principiul de funcţionare al amplificatoarelor (sistemelor) cu reacţie. Prin folosirea
traductoarelor cu reacţie se obţin şi alte avantaje, ca: liniarizarea caracteristicii traductoarelor,
creşterea benzii de frecvenţă, creşterea imunităţii la semnalele perturbatoare, reducerea
consumului energetic de la măsurand, obţinerea unor semnale de ieşire mari, etc.
Dacă mărimea care se măsoară este activă, în circuitul de reacţie trebuie să existe un
dispozitiv de acţionare care să producă o energie de aceeaşi natură cu a măsurandului. De
exemplu, pentru compensarea forţelor se folosesc electromagneţi, la măsurarea temperaturii cu
ajutorul pirometrelor se folosesc rezistenţe încălzite electric etc.
Deşi performanţele traductoarelor cu reacţie sunt net superioare celorlalte tipuri de
traductoare, ele sunt mai puţin folosite deoarece conduc la creşterea complexităţii schemelor de
măsurare, a dimensiunilor de gabarit şi a preţului de cost.

1.5.2. Traductoare numerice

Prin traductoare numerice se înţeleg acele traductoare la care mărimea de ieşire este
dată direct în formă numerică. De remarcat este faptul că informaţii de natură numerică pot fi
obţinute şi cu traductoare analogice prin intermediul unor circuite de prelucrare corespunzătoare.
De exemplu, introducerea traductoarelor parametrice în buclele de reacţie a unor oscilatoare
permite obţinerea unei dependenţe între frecvenţa semnalului generat şi măsurand.
O categorie importantă de traductoare numerice o reprezintă traductoarele cu impulsuri
care permit măsurarea unor mărimi dependente de timp (turaţii, debite, viteze, etc.). Ele pot fi cu
reluctanţă variabilă (fig. 1.14.a), cu obturarea sau modularea unui fascicul radiant (fig.1.14.b),
cu marcarea măsurandului (fig. 1.14.c).

a) b)
Gaz Plăci
Eclator ionizat detector

v
Gaz

K e2
e1 c) u
Fig. 1.14. Exemplu de traductoare cu impulsuri
 O altă categorie de traductoare numerice o reprezintă traductoarele rezonatoare, cum ar
fi de exemplu: traductoarele cu coardă vibrantă, traductoarele cu diapazon, traductoarele
piezoelectrice, etc. Principiul de funcţionare a acestor traductoare este următorul: dispozitivul
rezonator este adus la rezonanţă, fie în regim continuu, fie în regim amortizat, măsurandul
producând modificarea frecvenţei de rezonanţă (de exemplu, tensiunea mecanică pentru coarda
vibrantă, temperatura pentru diapazon, temperatura sau masa depusă pentru un traductor
piezoelectric).

1.5.3. Traductoare integrate

Fabricarea şi utilizarea traductoarelor integrate cunoaşte o dezvoltare din ce în ce mai
mare în ultima perioadă, marcată şi prin multiplele cercetări ce se fac în acest domeniu, atât în
ceea ce priveşte diversificarea gamei, cât şi prin creşterea performanţelor acestora.
Fără îndoială, traductoarele integrate oferă o serie de avantaje în comparaţie cu cele
clasice, dintre care pot fi citate:
- producţia traductoarelor integrate are la baza o tehnologie extrem de dezvoltată care,
în cazul producţiei de serie, permite scăderea preţului de cost/bucată;
- tehnologiile din microelectronică permit realizarea unor traductoare integrate cu
complexitate foarte mare, care conţin, pe lângă traductorul propriu-zis, şi circuite de
condiţionare, conversie numerică, uneori chiar şi microprocesoare. Deoarece conexiunile dintre
traductor şi circuite, şi, respectiv, între circuite este redusă, ele prezintă o imunitate mare la
perturbaţii;
- prin includerea unor traductoare suplimentare pot fi efectuate o serie de compensări
(de exemplu – cu variaţia de temperatură a mediului ambiant);
- structura complexă a traductoarelor integrate permite obţinerea unor sensibilităţi
ridicate şi a unor caracteristici de transfer cu erori de neliniaritate reduse;
- fiabilitatea acestor traductoare este superioară ansamblelor formate din traductor şi
circuite de măsurare discrete. De exemplu, circuitele LSI (engleză – Large Scale Integration) au
media timpilor de bună funcţionare (MTBF) de ordinul 1011h, de 106 ori mai mare decât în cazul
circuitelor cu tuburi electronice şi de 103 ori mai mare decât în cazul circuitelor cu tranzistoare;
- consumul de putere poate fi foarte redus (consum spartan); de exemplu, ceasurile
electronice, pot fi alimentate de la o minisursa de energie ani de zile.
Tabloul de mai sus trebuie însă completat cu dezavantajele şi limitările pe care le
prezintă momentan traductoarele integrate:
- folosirea siliciului limitează domeniile de utilizare a traductoarelor:
a) domeniul de temperatură este cuprins între (-100  +200°) C;
b) siliciul nu are o serie de proprietăţi (de exemplu: piezoelectricitate) sau proprietăţile
sunt restrânse într-o anumită gamă (de exemplu: efectul fotoelectric în zona infraroşu);
- acţiunea unor agenţi exteriori (atmosferă, umiditate, soluţii) poate distruge
conexiunile sau să atace cipul, dacă acestea nu pot fi protejate;
- din cauza densităţii mari sunt posibile cuplaje parazite care să conducă la apariţia
unor reacţii nedorite în traductor.
Cu toate dezavantajele amintite, pentru unele dintre ele găsindu-se soluţii de rezolvare,
traductoarele integrate au inceput să aibă o largă răspândire în construcţia de automobile, bunuri
de larg consum, tehnologie biomedicală, etc.
 Ultimele cercetări în acest domeniu vizează utilizarea şi a altor materiale decât
siliciul, folosirea unor tehnologii compatibile – care presupun utilizarea altor materiale şi
procese care să permită extinderea domeniilor de utilizare a traductoarelor, precum şi
dezvoltarea tehnicilor de microprelucrare.
În cadrul circuitelor integrate pe bază de siliciu pot fi realizate o serie de componente
active sau pasive ca rezistoare, diode, tranzistoare, etc., ai căror parametrii pot fi modificaţi prin
intermediul unor măsuranzi.
Astfel, energia radiantă modifică numărul purtătorilor de sarcină în cadrul
dispozitivelor semiconductoare, modificând prin aceasta şi proprietăţile lor. Pe această bază se
pot realiza traductoare generatoare, ca fotodiodele, sau parametrice ca: fotorezistoare, fotodiode
sau fototranzistoare. Dintre dispozitivele fotosensibile integrate pot fi citate: reţele de fotodiode,
realizate în formă matricială şi dispozitivele cu transfer de sarcină (engleză – Charge-coupled
devices CCD).
Deoarece sensibilitatea spectrală pentru siliciu este maximă în domeniul 0,8  0,9 μm,
modificarea domeniului de măsurare se poate face în tehnologii compatibile; astfel, cipul se
acoperă cu un strat de SiO2 peste care se depune prin evaporare CaS (sensibilitate maximă la
0,7μm) sau InSb (sensibilitate maximă la 7μm).
Proprietăţile piezorezistive ale siliciului sunt folosite pentru realizarea unor
dispozitive sensibile la deformaţii; astfel pot fi realizate piezorezistoare, piezodiode sau
piezotranzistoare; trebuie reţinut că aceste traductoare sunt sensibile şi la efectul temperaturii,
motiv pentru care necesită circuite de măsurare compensate termic.
Siliciul nu are proprietăţi piezoelectrice; realizarea unor traductoare integrate
piezoelectrice este însă posibilă folosind o tehnologie compatibilă. Astfel, prin depunerea pe
cipul de siliciu a unor straturi piezoelectrice, ca ZnO sau CdS, pot fi realizate dispozitive cu unde
acustice de suprafata SAW (engleză – Surface Acoustic Wave) sau tranzistoare cu efect de
câmp sensibile la tensiuni mecanice (POSFET).
Pentru multe aplicaţii, dependenţa caracteristicilor dispozitivelor semiconductoare de
temperatură ridică o serie de probleme de proiectare; această dependenţă este utilă în realizarea
unor traductoare de temperatură. În tehnologia siliciului pot fi realizate termorezistoare,
termodiode, termotranzistoare şi chiar termocupluri. De multe ori aceste traductoare permit
măsurarea indirectă a altor mărimi, ca de exemplu debitul.
Realizarea unor inductanţe în cadrul tehnologiei siliciului este destul de dificilă; în
principiu, într-un substrat de tip ‘’n’’ se poate realiza o înfăşurare de siliciu de tip ‘’p’’, însă cu
un număr relativ mic de spire. Din această cauză, traductoare inductive în tehnologia siliciului se
realizează destul de rar. Mult mai răspândite sunt traductoarele sensibile la acţiunea câmpului
magnetic, ca: magnetorezistoarele, traductoarele cu efect Hall, magnetodiodele şi
magnetotranzistoarele. De multe ori acestea se realizează şi în tehnologie compatibilă, prin
combinaţii cu filtre subţiri din Ni-Co sau Ni-Fe.
O dezvoltare importantă au cunoscut-o traductoarele folosite la analizele fizico-
chimice, realizate în tehnologia siliciului; astfel pot fi realizate o serie de traductoare cu efect de
câmp sensibile la prezenţa unor substanţe.