PROIECT LA DISCIPLINA

~TEHNOLOGII DE FABRICAȚIE ȘI
MICRO/NANOTEHNOLOGII~

Studenți : -Cojocaru Cristian

- Creangă Ana-Maria
-Eftimie Andreea
- Enache Mădălina
-Lamba Ioana
-Pavel Iuliana
Program de studii: Inginerie medicală
Grupa: 9LF991

Brașov 2022-2023
 Materiale și metode de fabricare
a Bio-MEMS

Brașov 2022-2023

CUPRINS

INTRODUCERE
CAPITOLUL 1. CONCEPTE TEORETICE PRIVIND SISTEMELE MICRO-ELECTRO-MECANICE

1.1. Clasificarea componentelor Sistemelor Micro-Electro-Mecanice

1.2. Sisteme Micro-Electro-Mecanice cu funcții biologice integrate

CAPITOLUL 2. MATERIALE FOLOSITE PENTRU FABRICAREA SISTEMELOR MICRO-

ELECTROMECANICE

2.1. Materiale utilizate ca substrat

2.2. Materiale utilizate pentru depuneri

INTRODUCERE
Tehnologia reprezintă ansamblul proceselor, metodelor și operațiilor utilizate pentru obținerea
unui anumit produs. Microelectronica și nanoelectronica sunt două domenii cu o contribuție
semnificativă la progresul tehnologic. Activitățile de cercetare-dezvoltare-inovare desfășurate în
cadrul celor două domenii, au produs rezultate valoroase, de referință pentru actuala teză de
doctorat: sistemele-micro-electro-mecanice (MEMS). MEMS-urile sunt sisteme miniaturizate, cu
dimensiuni și greutăți reduse care pot fi integrate ușor în diverse aplicații comerciale. Aceste
ajutoare de mici dimensiuni și tehnologie înaltă sunt prezente din ce în ce mai mult în viaţa
noastră cotidiană. Structurile inteligente ne permit să controlăm mai bine mediul și ne ajută să
creștem eficiența energetică a dispozitivelor. Toate aplicațiile aparținând epocii actuale, Industria
4.0 (a patra revoluție industrială) integrează următoarele tipuri de elemente: senzor,
microprocesor, bază de date și actuator.
Bio-MEMS este o abreviere pentru sistemele microelectromecanice biomedicale (sau biologice).
Bio-MEMS se suprapun în mare măsură și sunt uneori considerate sinonime cu lab-on-a-chip
(LOC) și cu microsistemele de analiză totală (μTAS). Bio-MEMS se concentrează de obicei mai
mult pe piesele mecanice și pe tehnologiile de microfabricare adaptate pentru aplicații biologice.
Pe de altă parte, lab-on-a-chip se referă la miniaturizarea și integrarea proceselor și
experimentelor de laborator în cipuri unice (adesea microfluidice). În această definiție,
dispozitivele lab-on-a-chip nu au strict aplicații biologice, deși majoritatea au sau sunt
susceptibile de a fi adaptate în scopuri biologice. În mod similar, este posibil ca sistemele de
analiză micrototală să nu aibă în vedere aplicații biologice și sunt de obicei dedicate analizei
chimice. O definiție largă pentru bio-MEMS poate fi utilizată pentru a se referi la știința și
tehnologia de operare la scară microscopică pentru aplicații biologice și biomedicale, care pot
include sau nu funcții electronice sau mecanice. Natura interdisciplinară a bio-MEMS combină
științele materialelor, științele clinice, medicina, chirurgia, ingineria electrică, ingineria
mecanică, ingineria optică, ingineria chimică și ingineria biomedicală. Unele dintre aplicațiile
sale majore includ genomica, proteomica, diagnosticul molecular, diagnosticul la locul de
îngrijire, ingineria țesuturilor, analiza celulelor unice și microdispozitivele implantabile.
Istoric
În 1967, S. B. Carter a raportat utilizarea insulelor de paladiu evaporate în umbră pentru fixarea
celulelor. După acest prim studiu bio-MEMS, dezvoltarea ulterioară în acest domeniu a fost lentă
timp de aproximativ 20 de ani. În 1985, Unipath Inc. a comercializat ClearBlue, un test de
sarcină utilizat și astăzi, care poate fi considerat primul dispozitiv microfluidic care conține
hârtie și primul produs microfluidic introdus pe piață. În 1990, Andreas Manz și H. Michael
Widmer de la Ciba-Geigy (în prezent Novartis), Elveția, au inventat pentru prima dată termenul
de microsistem de analiză totală (μTAS) în lucrarea lor de referință în care propuneau utilizarea
sistemelor miniaturizate de analiză chimică totală pentru detectarea substanțelor chimice. În
spatele conceptului de μTAS au existat trei factori motivaționali majori. În primul rând,
descoperirea de medicamente în ultimele decenii care au dus până în anii 1990 a fost limitată din
cauza timpului și a costurilor de efectuare a numeroase analize cromatografice în paralel pe
echipamente macroscopice. În al doilea rând, Proiectul Genomului uman (HGP), care a început
în octombrie 1990, a creat o cerere de îmbunătățire a capacității de secvențiere a ADN-ului.
Electroforeza capilară a devenit astfel un punct de interes pentru separarea chimică și a ADN-
ului. În al treilea rând, DARPA din cadrul Departamentului american al Apărării a sprijinit o
serie de programe de cercetare în domeniul microfluidelor în anii 1990, după ce a realizat că era
necesar să dezvolte microsisteme care să poată fi utilizate pe teren pentru detectarea agenților
chimici și biologici care reprezentau potențiale amenințări militare și teroriste. Cercetătorii au
început să utilizeze echipamente fotolitografice pentru microfabricarea sistemelor
microelectromecanice (MEMS) moștenite de la industria microelectronică. La acea vreme,
aplicarea MEMS la biologie era limitată, deoarece această tehnologie era optimizată pentru
plăcile de siliciu sau de sticlă și folosea fotorezistenți pe bază de solvenți care nu erau
compatibili cu materialul biologic. În 1993, George M. Whitesides, un chimist de la Harvard, a
introdus microfabricarea ieftină pe bază de PDMS, iar acest lucru a revoluționat domeniul bio-
MEMS. De atunci, domeniul bio-MEMS a explodat. Printre realizările tehnice majore selectate
în timpul dezvoltării bio-MEMS din anii 1990 se numără:

 În 1991, a fost dezvoltat primul cip de oligonucleotide.

 În 1998, au fost dezvoltate primele microace solide pentru administrarea de medicamente
 În 1998, a fost dezvoltat primul cip de reacție în lanț a polimerazei în flux continuu.
 În 1999, prima demonstrație a fluxurilor laminare eterogene pentru tratarea selectivă a
celulelor în microcanale.
În prezent, hidrogelurile, cum ar fi agaroza, fotorezistenții biocompatibili și autoasamblarea
reprezintă domenii cheie de cercetare în îmbunătățirea bio-MEMS ca înlocuitori sau completări
ale PDMS.

CAPITOLUL 1. CONCEPTE TEORETICE PRIVIND SISTEMELE MICRO-

ELECTRO-MECANICE

Sistemele micro-electro-mecanice (MEMS) reprezintӑ dispozitive mici integrate sau sisteme ce

combinӑ componente mecanice și electrice create prin utilizarea proceselor microtehnologice.
Aceste microsisteme sunt dispozitive de mӑrimea unui cip (mӑrimile pot varia de la câţiva
micrometri la câţiva milimetri) care au capacitatea de a sesiza date, de a le prelucra și de a
transmite informații. Ele pot acționa la scarӑ micro sau chiar nano și pot genera efecte la scară
macro MEMS-urile fac parte din ramura Nanotehnologiei, ele realizându-se folosind elemente de
ordinul nano și micro. Micro și nanostructurile au o gamă largă de aplicații în cele mai diverse
domenii (electric, mecanic, biologic, optic etc.). Aceste dispozitive de mici dimensiuni, ce
utilizează tehnologii de vârf, se aflӑ în aproape tot ce ne înconjoarӑ.
Primul sector ocupat de dispozitivele MEMS este cel al industriei electronice, urmat de cea de-a
doua piațӑ majorӑ: sectorul auto.Dispozitivele MEMS cu funcții biologice integrate folosite
pentru aplicații medicale poartӑ denumirea de bioMEMS-uri. În domeniul chirurgical, tehnologia
MEMS are potențialul de a îmbunătăți nu numai funcționalitatea dispozitivelor existente, ci și de
a adăuga noi capacități, care permit medicilor să dezvolte noi tehnici și să efectueze proceduri
complet noi . O cerere uimitoare de micro-dispozitive autonome în domeniul medical crește
nevoia de surse de energie miniaturizate. Aplicațiile bioMEMS includ traductoare biomedicale,
dispozitive microfluidice, implanturi medicale, instrumente microchirurgicale și inginerie
tisulară. Cu ajutorul tehnologiei moderne, omul folosește aceste microsisteme în scopul
simplificӑrii propriei sale vieți. Câteva dintre exemplele folosite în acest scop sunt redate în
figura urmatoare:

1.1. Clasificarea componentelor Sistemelor Micro-Electro-Mecanice

Figură 1. Dispozitive MEMS folosite de om

În timp ce circuitele integrate sunt proiectate exploatând proprietăţile electrice ale siliciului,
MEMS-urile utilizează atât proprietăţile electrice cât şi proprietățile mecanice ale acestuia. Într-o
formă generală, MEMS-urile constau în microstructuri mecanice, microsenzori, microactuatoare
şi microelectronică, toate integrate pe acelaşi cip. MEMS se constituie ca un mod de proiectare şi
creare a unor dispozitive mecanice şi sisteme complexe integrând electronica aferentă la nivel
micro şi nano.

Figură 2. Componente MEMS

1.2.Sisteme Micro-Electro-Mecanice cu funcții biologice integrate

În proiectarea și dezvoltarea unui microdispozitiv corespunzӑtor ce poate fi folosit cu succes în

domeniul medical, este necesar sӑ existe un echilibru între factorii tehnologici (senzori de
mӑsurare și electronicӑ asociatӑ) și factorii umani. Factorii tehnologici sunt reprezentați de
senzori ce colecteazӑ informațiile despre parametrii fiziologici . Dacӑ se iau în considerare toți
acești factori, se pot dezvolta dispozitive ce asigurӑ siguranțӑ, eficacitate și ușurințӑ în utilizare.
Aceste dispozitive care interacționeazӑ cu corpul uman pot fi împӑrțite în douӑ categorii:
dispozitive atașabile și dispozitive implantabile.

CAPITOLUL 2. MATERIALE FOLOSITE PENTRU FABRICAREA

SISTEMELOR MICRO-ELECTROMECANICE

Proiectarea unui dispozitiv MEMS care să atingă un anumit nivel de performanță presupune
alegerea materialelor în mod corect. Selectarea materialelor folosite în fabricarea funcțională a
MEMS-urilor are loc după proprietățile acestora: piezoelectricitate, electro- și magneto-
stricțiune, fero- și para- electricitate, feroelasticitate, magnetorezistență sau piroelectricitate.
Pentru microfabricarea dispozitivelor MEMS folosite în serviciile medicale se evaluează
biocompatibilitatea și incompatibilitatea activității antimicrobiene a materialelor [S12]. Din toate
studiile efectuate, s-a constatat faptul că două dintre proprietățile care sunt de mare interes în
fabricarea MEMS-urilor sunt proprietățile mecano - elastice. Celelalte proprietăți, precum
proprietățile termice, electrice, chimice sau optice depind mai mult de aplicațiile specifice pentru
care este utilizat dispozitivul MEMS.Materialele care se folosesc în fabricarea MEMS-urilor se
împart în două categorii:
 materiale utilizate ca substrat;
 materiale utilizate pentru depunere.

Componentele electronice se realizeaza prin tehnologiile specifice circuitelor integrate in timp ce

componentele micromecanice se realizeaza prin tehnologii de microfabricatie constand din succesiuni de
operaţii de corodare, adăugare de straturi, înlăturare de straturi de sacrificiu etc. Principalele materiale
utilizate in realizarea MEMS-urilor şi exemple de aplicaţii sunt prezentate in tabelul următor:

Material Caracteristici distincte Exemple de aplicatii

Siliciu monocristalin (Si) Material electronic de inalta Senzori piezorezistivi

Siliciu policristalin (polisilice)
Dioxid siliciu (Si 02)
Azotati de siliciu (Si3N4,
SixNy)
Germaniu policristalin (poli
Ge), Siliciu cu germaniu
policristalin (poli Si-Ge)
Aur (Au), Aluminiu (Al)
Nichel –fier (NiFe)
Titan-nichel (TiNi)
Carbura de siliciu (SiC)
Diamant
calitate cu anizotropie selectiva
Filme de sacrificiu utilizate in
fabricarea MEMS
Suprafete insulare compatibile
cu poisiliciu
Suprafete insulare, rezistent
chimic,durabilitate mecanica
Depozitat la temperaturi joase
Filme fine conductive
Aliaj magnetic
Aliaj cu memoria formei
Stabilitate electrica si
mecanica la temperatura inalta,
inertia chimica
Suprafata micromasinilor,
Actuatori electrostatici
Straturi de sacrificiu utilizate
la realizarea micromasinilor,
staraturi de pasivare
Starturi de izolatie pentru
dispozitive electrostatice,
straturi de pasivare pentru
dipozitive
Suprafete integrate MEMS
Straturi interconectante,
straturi de mascare,
intrerupatoare mecanice
Actuatori magnetici
Actuatori termici
MEMS de inalta frecventa
 Galium arsenid (GaAs),
Indium fosfid (In P), Indium
arsenid (In As)
Titanat zirconat (PTZ)
Poliamide
Parilen
Tabel 1. Tipuri de materiale în realizarea MEMS-urilor
Fante pentru trecerea luminii
Material piezoelectric
Rezistenta chimica, polimer cu
temperatura inalta
Polimer biocompatibil,
depozitat la temperatura
camerei
Dispozitive optoelectronice
Senzori mecanici si actuatori
MEMS flexibile, bioMEMS
Straturi de acoperire, structuri
polimerice moi

2.1. Materiale utilizate ca substrat

Materialul de baza utilizat ca substrat este Siliciu.
Prezinta urmatoarele avantaje:
 larg raspandit in fabricatia IC (circuitelor integrate);
 bine studiat si exita posibilitatea de a i se controla proprietatile electrice;
 este economic de produs in forma cristalina;
 are proprietati mecanice foarte bune ( sub forma de cristal este elastic ca otelul si
mai usor decat aluminiu).
Siliciul utilizat in constructia MEMS-urilor se prezinta sub 3 forme:
 Siliciu cristalin,
 Siliciu amorf
 Siliciu policristalin.
Siliciu sub forma cristalina de inalta puritate se fabrica sub forma de placute circulare cu
diametrul de 100, 150, 200 si 300 mm si cu grosimi diferite. Siliciu sub forma amorfa nu are
structura regulata cristalina si contine numeroase defecte. Impreuna cu siliciul policristalin se
poate depune in straturi subtiri de pana la 5 microni.
Siliciu sub forma cristalina are urmatoarele caracteristici fizice:
 limita de curgere = 7x109 N/m2 ;
 modulul de elasticitate E = 1.6 x 10 11 N/m2 15
 densitatea = 2,33 g/cm3
 temperatura de topire = 14100 C.
Exista si alte materiale care se utilizeaza ca substrat in constructia MEMS-urilor: quartz,
sticla,materiale ceramice, materiale plastice, polimeri, metale. Quartzul se utilizeaza in
constructia MEMS-urilor, in primul rand datorita efectului piezoelectric pe care-l poseda. Este un
mineral natural dar, de regula, se utilizeaza quartzul produs sintetic. Quartzul are urmatoarele
caracteristici principale:
 modulul de elasticitate E = 1.07 x 10 11 N/m2
 densitatea = 2,65 g/cm3