UNIVERSITATEA POLITEHNICĂ BUCUREŞTI

FACULTATEA DE INGINERIE ELECTRICĂ

CATEDRA DE MAȘINI , MATERIALE ȘI ACȚIONĂRI ELECTRICE

Teză de doctorat,

MICROMOTOARE PIEZOELECTRICE
PENTRU SISTEME NECONVENŢIONALE
DE ACŢIONĂRI

Coordonator ştiinţific: Doctorand:

Prof. Dr. Ing. Aurelian Crǎciunescu Zǎrnescu George Claudiu

BUCUREŞTI
 2011
Cuprins

1. Introducere şi stadiul actual al acţionărilor cu micromotoare piezoelectrice.........................1

1.1 Clasificarea convertoarelor electromecanice piezoelectrice...............................................3

1.2 Motoare cvasistatice.............................................................................................................6

1.2.1 Motoare liniare..................................................................................................................6

1.2.2 Motoare pas cu pas liniare...............................................................................................10

1.2.3 Motoare pas cu pas rotative.............................................................................................14

1.3 Acţionarea motorului piezoelectric prin microimpulsuri generate de unde ultrasonice

staţionare...................................................................................................................................16

1.4 Acţionarea motorului piezoelectric cu unde ultrasonice progresive................................. 19

1.4.1 Motorul liniar cu unde ultrasonice progresive.................................................................19

1.4.2 Motoare rotative cu unde progresive...............................................................................20

1.5 Acţionări hibride sau cu mai multe grade de libertate în care se folosesc convertoarele
piezoelectrice............................................................................................................................29

2. Descrierea modelului experimental şi principiul de funcţionare al motorului piezoelectric

ultrasonic rotativ cu convertor piezoceramic de geometrie tubulară........................................35

3. Caracteristicile constructive ale motorului piezoelectric ultrasonic rotativ cu convertor

piezoceramic de geometrie tubulară. Încercări şi măsurători experimentale...........................42

4. Modelarea matematică în regim electrocinetic staţionar prin curenţi de polarizaţie a

convertorului piezoceramic cu geometrie tubulară..................................................................56

5. Modelarea matematică în regim oscilatoriu. Propagarea undelor progresive eliptice în

materialul piezoelectric............................................................................................................ 69

6. Determinarea modurilor de rezonanţă şi a deplasărilor prin procedee interferometrice

liniare........................................................................................................................................84

2
7. Modelarea motorului piezoceramic cu geometrie tubulară utilizând schemele
electromecanice cu parametri concentrați................................................................................91

8. Bilanţul de puteri şi pierderile electromecanice ale motorului piezoelectric rotativ..........104

9. Scheme electrice de acționare a motorului piezoelectric rotativ........................................108

10. Materiale utilizate în construcția convertoarelor electromecanice piezoelectrice............114

11. Alte aplicaţii şi structuri de micromotoare piezoelectrice................................................129

11.1 Frâna piezoelectrică........................................................................................................129

11.2 Actuatori piezoelectrici cu membrană de colagen..........................................................133

11.3 Motor ultrasonic cu undă staționară...............................................................................138

11.4 Motorul Rombodisc........................................................................................................142

11.5 Proiectarea și realizarea unui motor liniar cu unde progresive......................................147

12. Rezumat și observații........................................................................................................151

13. Concluzii...........................................................................................................................157

Bibliografie.............................................................................................................................160

Anexe......................................................................................................................................165

3
1. Introducere şi stadiul actual al acţionărilor cu micromotoare
piezoelectrice

Micro şi nanotehnologia este un domeniu de vârf al științei și cunoașterii actuale. Deși

implică un spectru larg de aplicații, nanotehnologia și mai ales măsurătorile în domeniul MEMS
NEMS (Micro and Nano Electromechanical Systems) nu pot fi realizate fără actuatori
piezoelectrici, fiind cei mai precişi senzori de mișcare și actuatori de poziționare.
Totul a fost supus miniaturizării în ultimele decenii; astfel, în industria aero-spațială,
microrobotică, medicină, telefonie mobilă, IT, au apărut tot mai multe aplicații care utilizează
actuatori și micromotoare piezoelectrice. Motoarele cu ultrasunete au intrat deja pe segmentul de
piaţă destinat utilizatorilor casnici. Micromotoarele piezoelectrice pot fi întâlnite în capetele de
imprimare ale imprimantelor inkjet, în ceasurile de mână de ultimă generaţie, în sistemul zoom-
focus al minicamerelor telefoanelor mobile, în camere digitale, în micropompe etc. De asemenea,
micromotoarele piezoelectrice pot fi întâlnite în litografierea memoriilor şi procesoarelor,
bisturiul chirurgical, microscopia de forţă atomică, microscopia electronică, spectrometrie,
acceleratoare de particule, criostate şi aliniamente optice de rezoluţie nanometrică.
Nu există circuit electronic și mai ales ceasuri digitale care să nu utilizeze oscilatorul cu
cuarţ, cel mai precis numărător digital ce oscilează în mod uzual cu o frecvenţă de 32-33 kHz
pentru un ceas digital.
Aparent un domeniu nou, piezoelectricitatea a fost descoperită încă din jumătatea
secolului al 18-lea de René Just Haüy și Antoine César Becquerel, iar efectul piezoelectric direct
a fost demonstrat abia în 1880 de către frații Pierre și Jacques Curie.
Efectul invers piezoelectric ce stă la baza funcţionării motoarelor piezoelectrice a fost
descoperit abia mai târziu și dedus matematic din principiile termodinamice de Gabriel Lippmann
1881. Următoarele decenii au reprezentat o stagnare în domeniul piezoelectricității, fiind realizate
în general experimente de laborator mai mult din pură curiozitate. Abia în 1917, odată cu primul
război mondial a apărut sonarul, primul detector ultrasonic piezoelectric, folosit pe submarine.
Ecolocația se folosește și azi pentru determinarea distanței între diverse obstacole și autoturism.
După încă câteva decenii, prin 1965 şi 1973 apar primele tipuri de motoare piezoelectrice.
Noile descoperiri în domeniul materialelor piezoelectrice tip PZT, a polimerilor şi a
materialelor fotostrictive asigură o continuă îmbunătăţire a randamentului de acţionare a
motorului piezoelectric şi a raportului putere pe gabarit, relevant mai ales în procesul de
miniaturizare.
Pentru a putea face o comparație între motoarele electromagnetice clasice și motoarele
piezoelectrice se vor prezenta pe scurt avantajele și dezavantajele celor din urmă. Ca dezavantaje
se pot menționa durabilitatea scăzută, mişcarea fiind transmisă direct prin contact mecanic și
necesitatea utilizării unei surse de alimentare de frecvențe ultrasonice și tensiuni de peste 100 V,
ceea ce implică solicitări semnificative asupra diverselor componente electronice, la puteri mici
de sub 5 W. Din avantajele acționărilor cu motoare piezoelectrice se pot enumera rezoluţia
ridicată în poziţionare, răspunsul foarte rapid, controlabilitatea excelentă, frânarea rapidă fără
inerţie, funcţionarea silenţioasă (frecvenţe ultrasonice), forma compactă şi gabaritul redus,
capacitatea de a suporta forţe şi cupluri mari comparativ cu greutatea şi dimensiunile sale,
simplitatea structurii şi tehnologiei de fabricaţie, ceea ce permite miniaturizarea continuă,
randamentul mult mai bun faţă de motoarele electromagnetice; nu generează energie
electromagnetică şi nu sunt influenţate de către câmpuri electromagnetice externe.
 Lucrarea de faţă începe cu o clasificare a motoarelor piezoelectrice. Motoarele
piezoelectrice se împart în două mari categorii, motoare cvasistatice care funcţionează la orice
frecvenţă de alimentare sau în regim de impulsuri de tensiune sau motoare ultrasonice care
funcţionează numai la frecvenţa de rezonanţă, unde amplitudinea vibraţiilor este maximă.
Lucrarea se axează pe studiul teoretic şi experimental al unui motor ultrasonic cu
convertor piezoceramic tubular şi rotor tronconic sau sferic. Principiul de funcţionare poate fi
explicat în regim monofazat prin producerea undelor Rayleigh de suprafaţă. Undele eliptice sunt
produse la interfaţa suprafeţei de contact dintre stator şi rotor atunci când elementul piezoceramic
este alimentat de la o tensiune cvasisinusoidală la frecvenţa de rezonanţă. În acest timp rotorul
este forţat să se deplaseze prin forţele de fricţiune în direcţia opusă undei călătoare.
Studiul experimental cuprinde următoarele caracteristici: dependenţa vitezei funcţie de
frecvenţa de alimentare, variaţia vitezei funcţie de forţa axială, determinarea cuplului de pornire
prin calarea rotorului, caracteristica mecanică cuplu funcţie de viteza unghiulară şi variaţia
cuplului de frecare pentru diferite forţe axiale.
Pentru compararea rezultatelor teoretice cu cele experimentale s-au implementat două
modele matematice: un model 3D în regim electrocinetic staţionar şi în regim oscilatoriu şi un
model matematic ce utilizează schemele electromecanice.
Modelarea 3D combină ecuaţiile diferenţiale din teoria elasticităţii cu ecuaţiile piezoelectricităţii
scrise sub formă matriceală.
Modelarea cu ajutoul schemei electromecanice este utilă în special în analiza fenomenului de
rezonanţă şi caracterizarea impedanţei electromecanice echivalente.
S-au realizat cu programul COMSOL simulări 3D pentru a calcula amplitudinea maximă a
deplasării pe diferite porţiuni ale convertorului tubular piezoelectric. Prin alipirea acestor imagini
la diferite momente de timp se poate vizualiza efectiv propagarea undei ultrasonice progresive.
Modurile de rezonanţă şi microdeplasările au putut fi verificate experimental cu ajutorul
unui interfermetru laser şi al unui palpator analogic (pe direcţie radială).
A fost elaborată o schemă electronică pentru reglajul fin şi stabilizarea frecvenţei. Schema
este compusă dintr-un generator de frecvenţă variabilă, un etaj cu porţi logice pentru reformarea
şi reglarea tensiunii şi un etaj final de amplificare realizat cu un tranzistor MOSFET şi un
transformator ridicător.
Au fost studiate şi alte tipuri de materiale piezoelectrice cum ar fi membranele colagenice,
elastomeri şi alte membrane polimerice dopate cu pirită sau oxizi de Titan şi Bariu. Acestea au
fost utilizate ulterior la realizarea de noi structuri flexibile de actuatori piezoelectrici.
Lucrarea se încheie cu prezentarea şi experimentarea unor noi structuri de actuatori şi
micromotoare piezoelectrice realizate de către autor: frâna piezoelectrică, actuatori liniari cu
membrane de colagen, un motor cu undă ultrasonică staţionară şi motorul piezoelectric denumit
„Rombodisc”.

2
1.1. Clasificarea convertoarelor electromecanice piezoelectrice

Fig.1.1 Clasificarea motoarelor piezoelectrice.

Sunt cunoscute şi următoarele criterii specifice de clasificare [2]:

I. Modul cum se transmite mişcarea sau acţionarea în zona contactului :
- coliziune oblică;
- frecare anizotropă în contact;
- mişcarea transmisă prin undă progresivă;
- cu ciclu asimetric de vibraţie;
- cuplaj controlabil în zona de contact.
II. În funcţie de tipul mişcării rezultate produsă de actuator în scopul unei aplicaţii:
- mişcare de rotaţie;
- mişcare de translaţie (actuatori liniari);
- mişcare complexă.
III. Condiţiile în care se realizează transmiterea mişcării:

3
 - transmiterea prin contact neîntrerupt între elementul care iniţiază mişcarea
(“moving member”) sau “master” şi elementul care execută sau efectuează acţionarea, ”slider”),
denumită şi transmitere fără pierderi;
- transmitere intermitentă, cu contactul întrerupt, incluzând şi regiunile de impact;
- transmitere fără contact sau compresibilă prin aer sau gaz cu cuplul mecanic şi
forţa mult reduse pentru o aplicaţie (studiat la nivel de cercetare fundamentală şi aplicativă în
momentul de faţă).
IV. În funcţie de caracterul mişcării (în elementul transmiterii):
- mişcare continuă sau vibratorie iniţiată de convertor asupra elementului care
transmite miscarea;
- mişcare pas cu pas cu controlul domeniului şi frecvenţei;
- mişcare “Start - stop”.
V. În funcţie de metoda de control a vitezei asupra celor doua elemente aflate în
contact (“master” - “slider”):
- metode cu modularea amplitudinii vibraţiei;
- metode bazate pe modularea frecvenţei;
- metode bazate pe modularea fazei;
- metode bazate pe controlul neliniarităţii parametrilor.
VI. În funcţie de reversibilitatea mişcării:
- mişcări nereversibile;
- mişcări reversibile în funcţie de variaţia frecvenţei, amplitudinii sau fazei;
- mişcări reversibile în funcţie de presarcina din contact (forța impusă în
contact).
VII. În funcţie de sincronizarea mişcării:
- asincrone (existând un defazaj mecanic între master şi slider) fără o corelare a
poziţiei sau vitezei elementului care transmite mişcarea (master) şi parametrii alimentării;
- sincrone, la care există o corelare sau cu sincronizare externă, pe cale magnetică
sau electrostatică.
VIII. În funcţie de numărul gradelor de libertate al mişcării:
- un grad de libertate;
- 2- 5 grade de liberate;
- 6 grade de libertate (în general construite cu materiale având parametrii
controlabili cum este controlul reologic în fluide dielectrice sau magnetice);
- cu un număr nelimitat de grade de libertate (constituite cu convertoare flexibile
de vibraţie).
IX. În funcţie de prezenţa feed-back-ului (a buclei de control):
- buclă deschisă;
- buclă închisă cu control al poziţiei, vitezei, acceleraţiei, forţei.
În plus faţă de criteriile I-IX, se adaugă un număr de alte caracteristici ce pot să reprezinte
elemente de clasificare, cum ar fi: numărul de convertoare aflate în zona de contact, prezenţa sau
absenţa unui element intermediar aflat între elementul ce transmite mişcarea şi reperul acţionat,
modul în care alte fenomene indirecte operează în zona de contact, condiţiile mecano - climatice
în care operează actuatorul.
Domeniul amplitudinilor vibraţiilor pentru actuatorii ultrasonici piezoceramici se
încadrează între 0,1x10-3 mm - 10x10-3mm.

4
 Mai jos vor fi prezentate câteva structuri de bază utilizate în construcţia actuatorilor
piezoelectrici ultrasonici, cât şi modurile de funcţionare.

Fig. 1.2 Schema bloc de acţionare a unui motor piezoelectric.

S-sursa sau generatorul de alimentare în frecvenţă şi tensiune, reglarea defazajului;

EP-elementul piezoelectric care transformă energia electrică direct în energie mecanică;
µC-microcontrolerul, dispozitivul de control ce reglează frecvenţa, tensiunea electrică, presiunea
mecanică de contact şi implicit deplasarea elementului piezoelectric, cuplul şi viteza elementului
mobil;
SMC-sistemul mecanic de contact asigură şi reglează contactul mecanic între convertorul
piezoelectric şi elementul mobil;
EM-elementul mobil, care efectuează mişcarea propriu-zisă de rotaţie, translaţie sau combinată;
R-Sarcina motorului piezoelectric;
BT-Bloc traductoare, detectează și prelucrează semnalul corespunzător fiecărei bucle de reglare;
a-bucla de reglare a vitezei elementului mobil;
b-bucla de reglare a presiunii contactului mecanic;
b’-bucla de reglare a cuplului ce acţionează asupra elementului mobil;
a’-bucla de stabilizare a regimului vibraţiilor generate, între sursa de alimentare şi convertorul
piezoceramic.

5
1.2. Motoare cvasistatice

1.2.1. Motoare liniare

Cea mai simplă acţionare electrică este realizată cu ajutorul unui element piezoelectric
alimentat de la o sursă de tesiune continuă. Din punct de vedere electric, elementul piezoceramic
este un condensator. Cum deplasarea şi forţa produse prin efect piezoelectric invers depind liniar
de diferenţa de potenţial aplicată celor două suprafeţe ale elementului piezoceramic, se poate
realiza un control al forţei şi al deplasării foarte precis, de ordinul nanometrilor, aplicând tensiuni
foarte mici între 0 şi 10 V.
O pastilă piezoceramică poate fi lipită etanş de o folie conductoare ce are rolul de a
amplifica deformaţia (deplasarea). Comparativ, faţă de o pastilă piezoceramică simplă de aceleaşi
dimensiuni, care are deformaţii în jur de 0.1-1 microni la tensiunea de 100 V, aceasta ajunge la o
deplasare de ordinul zecilor de microni [3].
O actuaţie liniară foarte precisă şi cu un interval de deplasare mărit poate fi realizată cu
ajutorul unui număr de elemente piezoceramice aşezate stratificat, pe coloană şi alimentate
succesiv cu polarităţi diferite.
Mai multe pastile piezoceramice tip disc piezo-metal, legate în paralel şi având aceiaşi
polaritate pentru suprafaţa liberă a elementului piezoceramic, respectiv pentru discul metalic, pot
constitui un actuator liniar tip coloană [4].
În general, un actuator liniar tip coloană poate avea şi un resort pretensionat pentru
amplificarea sau scăderea deformaţiilor.

Fig. 1.3 a) Pastila piezoceramică nealimentată electric; b) deformarea pastilei piezoceramice şi a

plăcii metalice prin aplicarea unei tensiuni electrice.

6
 Fig. 1.4 Vedere de sus: pastilă piezoceramică şi placă conductoare.

Toate motoarele liniare şi rotative sunt acţionate pe baza efectului piezoelectric invers.
Efectul piezoelectric invers apare atunci când se aplică o tensiune electrică pe suprafeţele unui
material dielectric cu proprietăţi piezoelectrice, producând o forţă şi o deformaţie mecanică.
Alimentate în curent alternativ sau în regim de impulsuri de tensiune, deformaţiile succesive vor
determina vibraţia materialului piezoelectric. Vibraţia unui element piezoelectric în curent
alternativ este descrisă de către o undă mecanică staţionară.
Ecuaţiile de bază ce descriu efectul piezoelectric invers, folosite în proiectarea diverselor
tipuri de motoare piezoelectrice sunt prezentate mai jos [3]:

r=d�
E (1.1)

T = -n �
E (1.2)

n=d�
Y (1.3)

Parametrii ecuaţiilor sunt definiţi astfel:

r-deformaţia mecanică relativă a elementului piezoelectric;

E-câmpul electric aplicat între cele două suprafeţe ale elementului piezoelectric;
T-tensiunea mecanică (tensiunea mecanică este definită ca raportul între forţă şi suprafaţa pe care
este aplicată acea forţă) ce apare în elementul piezoelectric;
d-coeficientul de încărcare cu sarcină electrică [C/N] sau [m/V];
n-coeficient piezoelectric ce stabileşte legătura între încărcarea cu sarcina electrică şi constanta
elastică (unde Y este modulul lui Young [ N m 2 ] ).

7
 Se observă variaţia liniară a deplasării sau a forţei în funcţie de câmpul electric aplicat.
Caracteristica liniară a acţionării este foarte utilă în acţionările de precizie. Spre exemplu, pentru
o poziţionare nanometrică în microscopia de forţă atomică se folosesc elemente piezoelectrice.
În funcţie de aplicaţie, dimensiunile unui element piezoceramic diferă; în special
suprafaţa şi înălţimea actuatorului determină forţa şi deplasarea necesară unei aplicaţii.
Structura de bază a unui actuator de tip stivă este prezentată mai jos:

Fig. 1.5 Actuator piezoceramic tip stivă ce foloseşte o structură tip disc metal-piezo,
1-conexiunile de alimentare pentru suprafaţa liberă a elementelor piezoceramice, 2-conexiunile
de alimentare pentru discurile metalice, 3-mici discuri izolatoare.

Trebuie menţionat faptul că suprafaţele libere ale elementelor piezoceramice prezintă deja
un strat conductiv, nefiind necesară adăugarea unor noi discuri conductive pentru a putea polariza
întreaga suprafaţă.
Actuatorul piezoelectric liniar tip stivă din fig. 1.5 a fost folosit experimental în sistemul
de acţionare al unui injector cu benzină. Pentru a obţine o deplasare de 60 μm, necesară pentru
realizarea cursei complete, s-au folosit 6 pastile tip piezo-metal (sau buzzere) cu diametru între
10-15 mm (vezi şi Cap. 11).
Problema principală a actuatorilor tip coloană este deplasarea redusă, micrometrică,
aceasta putându-se amplifica cu ajutorul unui resort, amplificator hidraulic sau a unei pârghii de
amplificare mecanică.
Teoretic, timpul de acţionare este foarte rapid de ordinul microsecundelor, dar în funcţie
de caracteristicile mecanice ale materialelor folosite, acesta poate să scadă la 0.1 milisecunde.
Actuatorul tip stivă realizat nu generează însă forţe foarte mari, în general sub 5 N, iar în
anumite aplicaţii, cum ar fi frâna piezoelectrică, materialele obişnuite nu pot dezvolta forţa
necesară deplasării celorlalte elemente mobile. În acest caz este de preferat alegerea unui element
piezoceramic solid (de ex. geometrie cilindrică) conceput din materiale PZT superioare, care pot
dezvolta şi suporta forţe de peste 1000 N.

8
 Fig. 1.6 Caracteristica deplasare funcţie de tensiunea de alimentare pentru un disc tip
PZT+Metal de 30 mm diametru şi grosime 0.5 mm.

Materialele piezoceramice sunt alese în funcţie de aplicaţie, atunci când avem nevoie de deplasări
importante între 10  100 m şi nu suntem restricţionaţi de spaţiul de amplasare, se poate opta
pentru un singur disc tip PZT+Metal cu diametrul de peste 20 mm. În figura 1.6 se observă
caracteristica liniară a deplasării funcţie de tensiunea aplicată pentru un disc de 30 mm diametru.
Liniaritatea este un aspect extrem de important atât în actuaţie cât şi în senzoristică, o
caracteristică liniară care permite o acţionare simplă şi precisă, iar în cazul senzorului, un circuit
electronic mult simplificat de preluare şi procesare a semnalului.
În figura anterioară, la o tensiune de numai 1.5 V se obţine o deplasare de 30 nm, la 40 V
aproximativ 1µm, iar la 480 V peste 60 µm. Deplasările au fost măsurate cu ajutorul unui
interferometru liniar de precizie nanometrică.
În funcţie de tipul acţionării, trebuie realizat un compromis între deplasare şi forţă, o forţă
mare de peste 10 N implică o minimă deformare a materialului piezoelectric, iar o forţă mică
generată va permite în schimb o deformare maximă.

9
 1.2.2. Motoare pas cu pas liniare

Un motor inchworm se poate realiza folosind trei elemente piezoelectrice, elementele

exterioare sunt folosite ca şi cleme de prindere iar elementul central se întinde sau se contractă
generând mişcarea liniară de-a lungul tijei.

Fig. 1.7 Actuator liniar Inchworm.

Mişcarea este obţinută prin activarea secvenţială a trei actuatori piezoelectrici (1,2,3) ca în figura
1.7. Cei doi actuatori 1 şi 3 din partea exterioară a ansamblului se pot prinde de elementul mobil
şi pot fi activaţi independent. Actuatorul central (2) este folosit pentru a schimba distanţa dintre
actuatorii exteriori, acţionând astfel asupra elementului mobil. Actuatorul liniar poate fi comandat

10
secvenţial prin impulsuri de tensiune continuă, decalate la un anumit interval de timp, în funcţie
de fiecare element piezoceramic.

Motoarele liniare LEGS constau într-o serie de picioare piezoelectrice de acţionare.

Numarul de picioare de acţionare depind de configuraţia motorului. Un picior de acţionare poate
fi descris ca un actuator bimorf alcătuit din două straturi piezoelectrice cu un electrod intermediar
şi alţi doi electrozi externi separaţi electric unul de celălalt. În acest mod este posibilă activarea
independentă a fiecărui strat prin aplicarea unei tensiuni electrice [8].

Fig. 1.8 Motorul liniar LEGS [8].

În cele şase cazuri, actuatorii bimorfi realizează o mişcare de împingere şi fixare pe rigla mobilă.
Partea cu albastru închis o reprezintă actuatorul asupra căruia a fost aplicată o tensiune electrică
iar cea cu albastru deschis o reprezintă actuatorul asupra căruia nu a fost aplicată nici o tensiune
electrică.
Principiul de funcţionare poate fi explicat astfel:

11
 a) ciclul de acţionare porneşte cu toate perechile de picioare aflate în contact mecanic cu
rigla mobilă. Prima pereche a şi c este îndoită spre stânga, iar cea de-a doua pereche b şi d
este îndoită spre dreapta;
b) prima pereche se mişcă în direcţia dreapta-sus, iar a doua pereche se va mişca în direcţia
jos-stânga, pierzând contactul cu rigla mobilă, astfel că rigla mobilă va urmări mişcarea
picioarelor din prima pereche;
c) după un anumit timp, picioarele îşi vor schimba direcţia de mişcare, prima pereche fiind
acum îndreptată pe direcţia jos-dreapta şi cea de-a doua în direcţia dreapta-sus;
d) schimbarea sensului pentru cele două perechi de actuatori bimorfi, cea de-a doua pereche
va veni în contact cu suprafaţa riglei mobile, din nou, dar într-o poziţie opusă faţă de cea
iniţială;
e) perechea b şi d se va deplasa în direcţia dreapta-sus, în timp ce prima pereche se va mişca
în direcţia stânga-jos, într-un mod asemănător ca în cazul b), însă rolul de pereche de
acţionare asupra elementului mobil este preluat acum de cea de-a doua pereche, prima
pierzând contactul cu rigla mobilă;
f) după un anumit timp, ambele perechi de actuatori îşi vor schimba iar direcţia de mişcare,
a doua pereche se va deplasa în direcţia dreapta-jos, iar perechea a şi c în direcţia dreapta-
sus (preluând iar rolul de pereche de acţionare), ciclul de acţionare se repetă.

Din descrierea principiului de funcţionare putem vedea că avem nevoie de cel puţin două faze de
alimentare pentru a putea acţiona motorul. Cum fiecare actuator bimorf trebuie acţionat
independent, vom avea nevoie în total de 4 faze, fiecare reglate pentru un anumit defazaj. În mod
normal, defazajul este setat la 90 de grade succesiv pentru fiecare fază în parte, dar în funcţie de
viteza şi precizia acţionării putem avea diferite configuraţii ale semnalului de comandă. În figura
1.9 se observă defazajul normal reglat la 90 de grade şi decalajul de fază de 180 de grade între
cele două perechi de actuatori bimorfi.

a) b)
Fig. 1.9 a) Comanda în tensiune prin impulsuri sinusoidale; b) Comanda normală prin impulsuri
rombice de tensiune.

Forma sinusoidală (sau aproape sinusoidală) a semnalului asigură o reglare fină a mişcării
şi este preferată în cazul în care avem nevoie de o precizie cât mai bună, în detrimentul vitezei de
acţionare, care scade considerabil.
O configuraţie optimă pentru o viteză de acţionare maximă este dată în figura 1.9b.
Mişcarea actuatorilor bimorfi din figurile 1.9 b) şi 1.10 se face de-a lungul unei traiectorii
rombice, conform relaţiei liniare între deplasare şi tensiune.
În mod normal, acest tip de motor liniar are o rezoluţie între 4 şi 8 μm. Utilizând o schimbare de
fază specială, motorul poate atinge o rezoluţie de 200 nm.

12
 Fig. 1.10 Comandă în tensiune cu o formă de undă trapezoidală pentru asigurarea unei rezoluţii
îmbunătăţite.

Pentru precizii nanometrice trebuie adoptată o altă metodă (Fig. 1.10), deoarece pentru
poziţionări extrem de fine de numai 5% din lungimea pasului de acţionare există riscul ca
semnalul să baleieze în jurul poziţiei de reglare. Obţinerea unei rezoluţii foarte bune implică
utilizarea unui convertor analog-digital şi împărţirea formei de undă într-un anumit număr de
puncte. Spre exemplu, pentru 256 de puncte ale formei de undă combinate cu rezoluţia
convertorului analog-digital se pot obţine rezoluţii de aproximativ 20 nm.
Partea electronică a sistemului de acţionare utilizat pentru poziţionări foarte fine este prezentată
în figura 1.11.
Formele de undă sunt memorate în circuitele de memorare pe 16 biţi FPROM ale căror
adrese sunt controlate de către un numărător pe 8 biţi bidirecţional. Pentru a evita vârfurile de
tensiune se poate conecta un capacitor în paralel cu R 1; pe fiecare fază a motorului conectarea se
va face cu ajutorul unui rezistor de valoare mică. Motorul liniar poate fi alimentat cu o tensiune
între 0 şi +50V. Ca amplificator de tensiune se foloseşte circuitul LM1876, acesta fiind un
amplificator de putere, stereo, des folosit în circuitele audio.

Fig. 1.11 Schema de acţionare pentru o fază a motorului liniar LEGS [8].

Mişcarea liniară a acestui tip de actuator poate fi transformată într-o deplasare continuă
rotativă, prin dispunerea circulară a mai multor şiruri de actuatori bimorfi, ce acţionează asupra
unui inel rotoric.

13
1.2.3. Motoare pas cu pas rotative

Un motor rotativ foarte simplu poate fi realizat cu ajutorul unor cristale piezoelectrice,
dispuse sub un anumit unghi în jurul unui rotor acoperit cu un strat de poliuretan, figura 1.12.
Pentru fiecare pas, un anumit grup de câte patru elemente piezoelectrice presează pe suprafaţa
rotorului, fiind acţionate prin alimentarea de la un generator de impulsuri de tensiune, sau de la o
sursă de tensiune continuă ce este decomutată succesiv pentru a permite ulterior descărcarea
elementelor piezocermice printr-o rezistenţă (scurtcircuitarea electrozilor de alimentare). Astfel,
elementul piezoelectric se poate relaxa, revenind la poziţia iniţială. Acest design al motorului nu
permite o rezoluţie de poziţionare foarte bună, dar poate atinge viteze destul de mari. Motorul
este uşor de fabricat şi de acţionat electric.

Fig. 1.12 Motor pas cu pas rotativ bidirecţional [60].

Un alt motor bazat pe principiul acţionării prin presare şi împingere este prezentat în
figura 1.13. La orice moment de timp, cele două seturi de actuatori acţionează rând pe rând;
astfel, în timp ce un set de actuatori se detensionează, slăbind strângerea şi revenind în poziţia
iniţială, celălalt set va prelua comanda de strângere a clemei şi împingere a rotorului [7]. Se
observă că mişcarea liniară preluată de clemă poate fi transformată într-o mişcare rotativă ciclică,
prin intermediul unei role de contact. Dacă am înlocui clema de contact printr-o bandă elastică,
dispusă asemănător unei benzi transportoare între două role de contact, putem obţine o mişcare
rotativă continuă.

14
 Fig. 1.13 Motor pas cu pas cu forţă de prestrângere [62].

Principiul inerţiei poate fi aplicat atunci când un element piezoelectric se contractă sau se
dilată cu o viteză mare, astfel încât elementul mobil nu va mai putea rămâne ataşat de stator,
continundu-și mișcarea în direcţia forţei de inerţie. Iniţial, pentru viteze mici de acţionare a
elementului piezoelectric, forţa de frecare ţine elementul mobil ataşat de stator. În momentul când
forţa de inerţie depăşeşte forţa de frecare, elementul mobil nu se mai poate mişca împreună cu
elementul piezoelectric, deoarece apare o deviere relativă în sensul opus acceleraţiei.
Micromotoarele de la New Focus din figura 1.14 funcţionează pe acelaşi principiu, elementul
piezoelectric acţionează direct asupra unei cleme, ţinând strâns axul rotorului, care în virtutea
inerţiei se va roti.

Fig. 1.14 Motor ce funcţionează cu ajutorul unui element inerţial, de la firma New Focus [61].

15
1.3. Acţionarea motorului piezoelectric prin microimpulsuri generate
de unde ultrasonice staţionare

Convertoarele rotative din această categorie se mai numesc şi motoare tip „woodpecker”,
un nume foarte sugestiv pentru explicarea principiului de funcţionare.
Primul motor piezoelectric ultrasonic rotativ a fost conceput de către V. V. Lavrinenko în
anul 1965. El constă într-o placă piezoelectrică ce apasă asupra unui rotor cu o suprafaţă de
contact foarte fină, mişcarea fiind realizată printr-o serie de microimpulsuri mecanice
longitudinale [7], Fig. 1.15.

Fig. 1.15 Primul motor ultrasonic cu undă staţionară conceput de V. V. Lavrinenko [62].

În general, aceste tipuri de motoare sunt unidirecţionale şi se bazează pe producerea unei

unde staţionare în material de amplitudine mică, de ordinul μm. Mişcarea este transferată
rotorului printr-o serie de microimpulsuri generate într-un timp foarte scurt, la o anumită
frecvenţă de rezonanţă. Frecvenţele de rezonanţă ale unei pastile piezoceramice pot fi între 10 şi
200 kHz, în funcţie de caracteristicile de material şi dimensiunile geometrice. Motorul poate
folosi atât vibraţia longitudinală a unei plăci cât şi cea transversală. Se cunoaște faptul că un
cristal piezoelectric are mai multe direcții de polarizare. În practică sunt utilizate numai direcțiile
de polarizare cele mai importante în care se obține amplitudinea maximă a deplasării și forței.

16
 Fig. 1.20 Schema de acţionare a unui motor tip “woodpecker” cu undă staţionară.

Motorul cu undă staţionară poate fi alimentat de la un generator de tensiune şi frecvenţă

variabilă, monofazat. Acesta este elementul de bază ce poate realiza un reglaj în tensiune şi în
frecvenţă pentru a putea acţiona motorul piezoelectric. Motorul piezoelectric cu undă staţionară
poate funcţiona doar în jurul frecvenţei de rezonanţă. Schema de acţionare din figura 1.20 se
compune din trei părţi:

1-partea de generare a semnalului de frecvenţă variabilă;

2-primul etaj de putere de amplificare şi reglare a tensiunii;
3-al doilea etaj de putere pentru amplificarea tensiunii.

Circuitul de generare a semnalului de frecvenţă variabilă se compune la rândul lui dintr-

un circuit oscilant de frecvenţă variabilă (oscilatorul), un frecvenţmetru şi un circuit de procesare
în semnal sinusoidal (sau alt tip de semnal). Pentru a realiza separararea galvanică între circuitul
de frecvenţă variabilă şi circuitul de putere se pune un buffer optic sau optocuplor; astfel,
circuitul oscilant va fi complet izolat faţă de eventualele vârfuri de tensiune sau supracurenţi.
Primul etaj de putere poate fi alcătuit dintr-un amplificator de tensiune cu câştig reglabil
sau un circuit electronic de putere din elemente semiconductoare. Tensiunea pentru acest etaj de
putere poate fi aleasă între 0 şi 24 V.
Ultimul etaj de putere care amplifică tensiunea până în jurul valorii de 100 V poate fi
realizat dintr-un transformator cu raportul de transformare 1:4 sau un amplificator de putere cu
acelaşi câştig de amplificare.

17
 a) b)
Fig. 1.21 Motor piezoelectric cu vibraţie radială: a) cu rotor exterior; b) cu rotor interior [62].

Motorul „WindMill” cu vibrație radială se compune din:

1,4-inele de alimentare; 3-carcasă; 6,9-rotor; 7-lamele înclinate lipite pe rotor; 2,8-inel
piezoceramic.

Anumite motoare ultrasonice produse în anii ’70 folosesc vibraţia radială a unui cilindru
sau inel piezoceramic pentru a genera o mişcare rotativă. Rotorul este prevăzut cu o serie de
lamele dispuse sub un anumit unghi astfel încât deplasarea radială va fi transformată direct într-o
mişcare rotativă. O undă staţionară de încovoiere este creată în lamelă care în combinaţie cu
oscilaţia radială a rezonatorului piezoelectric va da naştere la o mişcare eliptică a vârfului
lamelei.
Motoarele de acest tip se numesc motoare „WindMill” (figura 1.21) şi au o eficienţă de aproape
80%. În general motoarele cu undă staţionară au un randament mai bun decât cele cu undă
progresivă.

18
1.4. Acţionarea motorului piezoelectric cu unde ultrasonice progresive

1.4.1. Motorul liniar cu unde ultrasonice progresive

Structura motorului liniar cu unde ultrasonice progresive este descrisă în figura 1.22 şi
1.23. Acest tip de motor liniar se bazează pe generarea unor vibraţii de flexiune. Se pot alege mai
multe moduri de vibraţie de flexiune, în general acestea fiind condiționate de geometria
elementului piezoelectric şi de material.
Două vibraţii de încovoiere defazate cu un anumit unghi generează o undă eliptică
progresivă în material, mişcând astfel elementul mobil.

Fig. 1.22 Microstructura generală: 1-element piezoceramic, 2-element mobil, 3-suport, 4 -sistem
de microrole de control al presiunii între elementul mobil şi elementul piezoceramic, 5-folie
intermediară suport statoric.

Fig. 1.23 Secţiune transversală prin micromotorul liniar: 1-element piezoceramic, 2-element
mobil, 3-suport, 4-sistem de microrole de control al presiunii între elementul mobil şi elementul
piezoceramic, 5-folie suport intermediar statoric, 6-strat izolator şi element de lipire al
elementului piezoceramic.

Elementele piezoceramice sunt dispuse pe placa statorică astfel încât să genereze o undă
progresivă ultrasonică de amplitudine maximă.
În multe situaţii vibraţiile de încovoiere ale unei bare sau a unor diferite forme geometrice
pot realiza uşor vibraţii de amplitudini relativ mari şi la frecvenţe joase. Acesta este şi cazul
motoarelor piezoelectrice ultrasonice.

19
1.4.2. Motoare rotative cu unde progresive

Majoritatea micromotoarelor piezoelectrice folosesc pentru generarea mişcării de rotaţie

unde progresive ultrasonice, de aici provenind şi numele de micromotor ultrasonic.
După cum s-a observat în capitolele anterioare, alimentarea cu o singură fază în curent
alternativ a unei plăcuţe piezoceramice la frecvenţa de rezonanţă proprie a plăcuţei generează o
undă ultrasonică staţionară.
Alimentând două plăcuţe lipite pe o folie comună de metal cu două faze în curent
alternativ şi folosind un anumit defazaj vom genera o undă progresivă în folie.
Pentru un material separat piezoelectric, această undă are o amplitudine foarte mică. O
soluţie pentru mărirea amplitudinii undei este lipirea mai multor plăcuţe pe un material elastic
care la rândul lui va transmite, prin intermediul unui material de fricţiune, mişcarea de rotaţie
asupra rotorului.
Pentru cele mai multe micromotoare piezoelectrice alimentarea se face de la două faze
defazate printr-un unghi de 90 de grade, adică o fază e alimentată sinusoidal, iar cealaltă este
alimentată cosinusoidal. Cele două unde staţionare sinusoidale şi cosinusoidale se vor aduna,
rezultând în material o undă ultrasonică progresivă.
Următoarele imagini prezintă unul din micromotoarele studiate la Nasa - Jet Propulsion
Laboratory. Acest motor are două plăcuţe piezoelectrice alimentate defazat (90 grade) pentru a
genera unda progresivă ce va mişca bila, aceasta se va deplasa pe suprafaţa statorului în direcţia
opusă direcţiei de propagare a undei ultrasonice. Mişcarea bilei este produsă de particulele
statorice care au aceeaşi direcţie, bila „plutind” pe „valurile” acestor particule.

Fig. 1.27 Actuator piezoelectric cu mişcare de rotaţie.

20
Frecvenţele de rezonanţă ale micromotorului sunt între 10 şi 30 kHz. Motorul are două grade de
libertate și poate executa mişcări de rotaţie în ambele sensuri. Inversând succesiunea fazelor,
apare o undă progresivă în sens opus. Acest tip de micromotor piezoelectric poate fi perfecţionat
pentru mai multe grade de libertate folosind axe ortogonale și introducând mai multe plăcuţe
piezoelectrice pentru fiecare axă.
Un alt motor poate fi un ansamblu în care rotorul este un disc subţire aşezat peste
membrana statorică elastică; rotirea lui se realizează prin flexiunea inelului elastic, folosind
acelaşi tip de undă ultrasonică.

Fig. 1.28 Convertor multi-mod piezoelectric.

Alimentarea acestui micromotor se face utilizând mai multe perechi de poli, spre exemplu
patru poli, fiecare din cele două perechi învecinate fiind decalate cu 90 de grade între ele, vezi
figura 1.29. Săgeţile semnifică direcţia de polarizare a fiecărui element piezoceramic. Dacă
fiecare pereche ar fi polarizată în acelaşi sens, nu ar rezulta o undă progresivă în material, fiind
necesară o alimentare de tip (Sin)(Cos)(-Sin)(-Cos) etc.

Fig. 1.29 Statorul convertorului multi-mod cu patru diametre.

Actuaţia pentru aceste membrane circulare se obţine prin mai multe moduri de rezonanţă
Bmn, m fiind numărul nodal circular (numărul de circumferinţe concentrice ale aceluiaşi disc) şi

21
n reprezintă numărul nodal diametral (numărul de diametre). Câteva posibilităţi de a obţine
vibraţii cu moduri nesimetrice de rezonanţă cât şi montajul convertoarelor electromecanice cu
geometrie de sector circular, în regim de alimentare bifazat sunt reprezentate în următoarele
figuri. Astfel de montaje sunt cunoscute ca vibratoare sau convertoare multi-mod.

Fig. 1.30 Modul de rezonanţă flexurală cu două diametre şi alimentarea bifazată.

Iată spre exemplu un tip de motor piezoceramic ce foloseşte modul de rezonanţă flexurală
B13 (figura 1.31), dar care, spre deosebire de celelalte motoare, nu necesită o alimentare pe două
canale ce conţin semnale în tensiune defazate la 90 de grade [28]. Motorul este alimentat doar de
la o singură fază deoarece principiul de operare constă în utilizarea punctelor unde există
simultan în elementul piezoceramic atât vibraţii longitudinale cât şi transversale. Exact în aceste
locaţii se vor dispune 6 elemente dinţate care vor prelua deplasările maxime pe diagonală pe
direcţiile sus sau jos. Cele 6 elemente dinţate vor transmite această deplasare pe direcția verticală
și circulară a rotorului, care se va roti într-un anumit sens; sensul poate fi reversat schimbând
direcţia de atac al fiecărui element danturat.

a) b)

Fig. 1.31 a) Structura generală: 1- şurub, 2- piuliţă, 3- resort, 4- lagăr axial, 5- rotor, 6- element
dinţat, 7- stator, 8- elemente piezoceramice, 9- suport; b) Modul B13 de rezonanţă, principiul de
funcţionare al motorului monofazat.

22
 Motorul USR realizat de firma Shinsei foloseşte vibraţiile de flexiune ale unui inel subţire
alcătuit din elemente piezoceramice alimentate în regim bifazat. Elementele dinţate statorice vor
amplifica şi transmite mişcarea ondulatorie rotorului.

Fig. 1.32 Motor piezoelectric rotativ (USR) realizat de firma Shinsei [30].

Fig. 1.33 Caracteristica viteză-frecvenţă a motorului USR60 pentru diferite valori ale cuplului de
sarcină.

Date nominale pentru motorul USR60:

- Tensiunea nominală (valoare efectivă): U n = 130 V .

- Frecvenţa: f n = 40 kHz .
- Microcuplu mecanic: M n = 0.5 Nm.

23
- Puterea activă nominală : Pn = 5 W .
- Cuplu maxim: M m = 1 Nm.
- Turaţia nominală: nn = 100 rpm.

Fig. 1.34 Aşezarea elementelor piezoceramice pe un disc de metal, pentru modul de rezonanţă
B02, respectiv B04.

Fig. 1.35 Moduri de rezonanţă la flexiune Bmn şi constantele frecvenţei de rezonanţă.

Pentru modul de rezonanţă Bmn, m reprezintă numărul nodal sau cercul de rază r, iar n
reprezintă numărul de diametre nodale. Pentru cercul de rază maximă, întreaga suprafaţă a
elementelor piezoceramice va vibra la frecvenţa de rezonanţă coerspunzătoare (în general se
consideră armonica fundamentală), iar pentru cercurile de raze inferioare va vibra doar suprafaţa
cuprinsă de cercul respectiv.

24
 Pentru majoritatea motoarelor de acest tip, unda călătoare nu mai este eliptică ci este
particularizată într-o undă circulară progresivă. În practică ne interesează obţinerea unei unde
progresive de amplitudine maximă. Pentru a obţine vibraţii mecanice de aceiaşi amplitudine şi
pentru a elimina unda călătoare de sens opus, tensiunea de polarizare va fi aceiaşi.
Iată calculul deplasării totale al unei unde ultrasonice progresive, pentru modul de rezonanţă B mn
(m=0 şi n=2). Faţă de motorul liniar, în această situaţie este mai util să lucrăm în coordonate
polare:
u s = u 0 sin(n ) sin(t ) = u 0 (cos(t - n ) - cos(t  n )) 2 (1.27)


u c = u 0 sin(n - ) cos(t ) = u 0 (- cos(t - n ) - cos(t  n )) 2 (1.28)
2

u t = u s  u c = -u 0  cos(t  n ) (1.29)

Deplasarea ut se va roti cu viteza unghiulară în sensul acelor de ceasornic. Fenomenul de

rotaţie al deplasării pentru celelalte moduri de rezonanţă poate fi înţeles după un calcul
asemănător.

d 
= =- (1.30)
dt n

Fig. 1.36 Schema uzuală de acţionare cu etaje de amplificare a motorului piezoelectric cu undă
progresivă.

Schema de acţionare a motorului piezoelectric cu undă progresivă este identică pentru

fiecare fază în parte cu cea a motorului cu undă staţionară. Singura diferenţă constă în faptul că
cel de-al doilea semnal va fi defazat la 90 de grade faţă de primul. Multiplexorul poate fi folosit
pentru interschimbarea fazelor pentru a avea un control bidirecţional al mişcării [10].

25
 Fig. 1.37 Principiul de funcţionare a motorului Squiggle cu undă progresivă [29].

Motoarele Squiggle se bazează pe o mişcare de progresie a tubului statoric în jurul axului

[29]. Elementele piezoceramice generează două unde mecanice staţionare defazate la 90 de grade
prin alimentarea electrică succesivă cu semnale sinusoidale şi cosinusoidale. În comparaţie cu un
motor electromagnetic, conversia undelor staţionare date de curenţii statorici în unde
electromagnetice progresive este similară cu conversia undelor electrice staţionare ce alimentează
convertoarele piezoelectrice în unde electromecanice.

Caracteristicile tehnice ale celui mai mic motor piezoelectric:

Tabel 1.I

Raza de acţiune 6 MM (12 MM LUNGIME ŞURUB)

Rezoluţie 0.5 μm
Viteza 10 mm/s (10 g sarcina)
Puterea de intrare pt. driver (mişcare) 400 mW (4.5 V)
Puterea de intrare în regim staţionar 0 mW (0 V)
Durata de funcţionare >1000000 cicluri rotaţie-translaţie
Temperatura de operare -30...+70°C
Temperatura de depozitare -40...+85°C
Forța maximă (rotor calat) 0.55 N
Frecvenţa de operare 144 KHz
Capacitatea pe fiecare fază 0.67 nF
Conector/Cablu Bandă flexibilă
Greutate 0.15 g

26
 Fig. 1.38 Cel mai mic motor piezoelectric din lume realizat de firma NewScale [29].

Motoarele cu mişcare combinată “squiggle” de la firma NewScale folosesc un echipament

piezoelectric ce poate rezista la şocuri mecanice importante, oferă o cursă de înaintare de ordinul
milimetrilor cu precizie submicronică, forţe importante şi un consum de putere foarte mic.
În principal motorul „squiggle” este alcătuit dintr-o piuliţă filetată cu geometrie tubulară
cilindrică sau pătrată în care se răsuceşte un şurub. Pe suprafaţa piuliţei filetate sunt fixate
elementele piezoelectrice care vibrează puternic la o anumită frecvenţă de rezonanţă, între 40 şi
200 kHz, în funcţie de dimensiunea elementelor piezoceramice. Vibraţia maximă este transmisă
piuliţei statorice care va antrena şurubul într-o mişcare combinată de translaţie şi rotaţie, de
precizie submicronică. Translaţia şurubului este bidirecţională şi este controlată foarte precis de
un sistem de acţionare alcătuit dintr-o sursă de frecvenţă şi tensiune variabile. Frecarea apărută
între filetul piuliţei şi şurub nu este parazită ci este folosită în mod direct pentru a transmite
mișcarea de rotaţie şurubului. Filetul multiplică forţa lineară şi rezoluţia poziţionării, reducând
însă viteza liniară. Rezultatul este o forţă foarte mare raportată la dimensiunile motorului care
este capabilă de a controla mişcări de avansare treptate şi viteze de control ce nu necesită un
senzor de poziţie pentru a fi folosit în bucla de reglare.
Motorul foloseşte două vibraţii ortogonale de încovoiere combinate pentru a genera mişcarea.
Modul de vibraţie este creat alimentând elementele piezoceramice la frecvenţa de rezonanţă şi
folosind două semnale defazate la 90 de grade pentru a crea o undă ultrasonică progresivă.

a) b)

Fig. 1.39 Aplicaţii ale motoarelor Squiggle: a) micropompă portabilă cu ser medicinal, cu injecţie
controlată de mare precizie b) ansamblu focus-zoom pentru telefoanele mobile.

27
1.5. Acţionări hibride sau cu mai multe grade de libertate în care se
folosesc convertoarele piezoelectrice

În cazurile microacţionărilor hibride (ce includ cel puţin două tipuri de micromotoare sau
microactuatori cu principii de funcţionare diferite) criteriul de clasificare cuprinde două domenii
importante:
a) microacţionări grosiere, caracterizate de forţe sau cupluri mai mari dar cu
rezoluţii mai slabe;
b) microacţionări fine, caracterizate de forţe sau cupluri mai mici dar cu rezoluţii
foarte bune sau fine.
În tabelul de mai jos este redată o situaţie referitoare la caracterizarea celor mai
importante micromotoare sau microactuatori neconvenţionali în funcţie de valoarea forţelor
cuplurilor şi rezoluţiilor [13].

Cuantificarea a fost efectuată pe 3 nivele:

1 – satisfăcător;
2 – mediu;
3 - foarte bun.
Situaţia poate fi considerată valabilă la nivelul anului 2005 şi este posibil ca performanţele să fi
evoluat în următoarea perioadă.

Tabel 1.II
Rezoluţia
Cuplu Forţă
microacţionării
MICROMOTOARE ŞI MICROACTUATORI ROTATIVI
** ** **
Ultrasonice piezoelectrice
30'

28
 *** *** *
Magnetostrictive
 20
* * ***
Electrostatice
10'
* * **
Dielectrice
30'
MICROMOTOARE ŞI MICROACTUATORI LINIARI
** ** **
Ultrasonice piezoelectrice 0.2 - 0.5 m
*** *** *
Magnetostrictive
0.05-0.5 mm
* * ***
Electrostatice
20-50 nm
* * **
Dielectrice 0.2 - 1m
** ** **
Electrotermice 0.2 - 1m
* * **
Electrochimice 0,2 - 1m
De observat că structurile magnetostrictive pot fi utilizate în acţionările grosiere deoarece
pot genera cuplurile şi forţele cele mai mari, prezentând şi rezoluţii mai scăzute: microactuatorii
şi micromotoarele electrostatice şi dielectrice au rezoluţii foarte bune, dar nu pot produce decât
domenii de cupluri şi forţe foarte mici, în timp ce categoria de micromotoare şi microactuatori
piezoelectrici prezintă calităţi medii, adică rezoluţii, cât şi domenii de forţe şi cupluri pe care le
putem considera bune în contextul de faţă.
În acest moment există câteva aplicaţii spectaculoase care se bazează, de exemplu, pe
forţele foarte mari ale actuatorilor magnetostrictivi de sute sau mii de MN, ce sunt utilizaţi de
firma ETREMA (SUA) în exploatările petrolifere.
Se vor prezenta în continuare câteva structuri specifice microacţionărilor neconvenţionale
la care vor apărea şi alte elemente.
În afara elementului activ, care este motorul sau actuatorul caracterizat de o conversie
neconvenţională, vor mai fi descrise şi diferite tipuri de transmisii sau cuplaje între diferitele tipuri
de conversii incluse într-un sistem complex sau hibrid de microacţionare neconvenţională.
Diagrama structurală a unui sistem de microacţionare specifică unui scaner optic, ce
include un micromotor de c.c. pentru deplasarea grosieră şi un microactuator piezoelectric
multistrat cu rezoluţie foarte fină, este prezentată în Fig. 1.40.

29
 Fig. 1.40 Diagrama funcţională a unui sistem hibrid neconvenţional de scanare optică cu
micromotor de c.c. şi microactuator piezoelectric.

Fig. 1.41 Sistemul electromecanic hibrid de acţionare a unui scaner optic. MCC – motor de
curent continuu, S – şurub de mişcare, 1,2 – lagăre, 3 – suport, 4 – fasciculul laser, 5 – cuplaj, MP
– microactuator piezoceramic.

De remarcat că sistemul de acţionare al scanerului din Fig. 1.41 include un micromotor de c.c.,
care acţionează sistemul de deplasare prin şurub şi un microactuator piezoelectric tip multistrat,

30
ce acţionează cu rezoluţie foarte fină de 0,5 - 1 microni poziţia unei oglinzi, cu ajutorul căreia
se poate scana un fascicul laser.
Caracteristicile celor două tipuri de microacţionări sunt prezentate mai jos:
 acţionarea grosieră pe axa orizontală – micromotor de c.c cu comutaţie statică tip 1331T
012SR (Faulhaber Minimotor):
- deplasări liniare 0…300 mm;
- deplasări rotative >360°;
- domeniul maxim al cuplului 2 cNm…50 cNm;
- rezoluţie ± 1mm;
- Ucc= 0…12V;
 acţionarea neconvenţională pe axă verticală (microactuator multistrat prezentat în
capitolul 2, realizat în cadrul Departamentului MNE din INCDIE ICPE CA):
- deplasări liniare 0,5μ…20μm;
- forţe 0,2N…100N;
- rezoluţia 0,2μ…0,5μ;
- Ucc=20…150 V;
- Uca=5…20Vvv;
- Uca=2…10Vef;
- f=20…30kHz.

Microactuatorul piezoelectric funcţionează în două regimuri de funcţionare: cu deplasare

liniară lentă, alimentat în c.c. şi în regim vibrant, alimentat de la o sursă de frecvenţă în domeniul
20-30 kHz.
Subsistemul de transmisie a mişcării prin şurub este o altă soluţie mai puţin
convenţională. Cuplul nominal de frecare al şurubului a fost M f  3mNm , mult mai mic decât
cuplul micromotorului.
În mod evident, microcuplul realizat de micromotorul electric ce asigură microacţionarea
grosieră trebuie să fie mai mare ca frecarea din lagărele şurubului de mişcare şi faţă de greutatea
microactuatorului piezoelectric, greutatea suportului acestuia şi a oglinzii pe care se produce
reflexia undei laser.
Un alt tip de sistem hibrid de microacţionare include atât un actuator piezoelectric, cât şi
unul magnetostrictiv Fig. 1.43. Schema electrică echivalentă este prezentată în Fig. 1.42.
Noutatea acestei combinaţii este aceea că se creează un circuit electric rezonant, astfel că
puterea necesară sursei de alimentare este redusă.
Din punct de vedere electric, actuatorul piezoelectric prezintă un caracter capacitiv, iar cel
magnetostrictiv unul inductiv, referitor la reprezentarea schemei echivalente.

31
 Fig. 1.42 Schema electrică a motorului hibrid piezoelectric-magnetostrictiv.

Deplasările în zona de contact sunt mici, de ordinul micronilor, dar forţa generată este
mare, motorul putând fi folosit cu succes în aplicaţiile ce necesită cuplu ridicat.
În esenţă, structura (conform figurii 1.43) este formată dintr-un microactuator multistrat liniar
piezoelectric [4] care operează pe axa radială faţă de rotorul disc. Pe o axă perpendiculară,
tangentă pe disc, perpendiculari pe microactuatorul piezoelectric şi în acelaşi punct de contact,
acţionează doi microactuatori magnetostrictivi tip tijă. Aceşti microactuatori magnetostrictivi
asigură o mişcare bidirecţională.
Pentru o bună funcţionare a motorului, este necesară poziţionarea adecvată pentru a
asigura un bun contact mecanic între disc şi clema de contact; analog, cele două tije
magnetostrictive trebuie aliniate cât mai precis. Deplasarea fiind de ordinul micronilor, este
necesar un bun contact mecanic între microactuatorul multistrat piezoceramic, tijele
magnetostrictive şi clema de contact.

Fig. 1.43 Schema de bază pentru motorul hibrid piezoelectric-magnetostrictiv.

Banda de frecvenţe în care s-au atins performanţe optime a fost între 650 şi 750 Hz
(aplicată pe bobina actuatorului magnetostrictiv), dar sistemul este funcţional în intervalul 0,5Hz
÷ 1kHz.
Turaţia discului fiind de 3-3.5 rpm, orice deviaţie a clemei de la poziţia optimă duce la
alte caracteristici.
Domeniul de tensiuni electrice pentru alimentarea actuatorului magnetostrictiv cu tija din
Terfenol D se situează între 30 şi 40 V, iar curentul maxim atins este de 0,45 A. Pentru frecvenţe
mai mari, impedanţa elementului magnetostrictiv creşte, astfel turaţia de mers în gol scade,
deplasările sunt mai mici, implicit curentul ce trece prin înfăşurarea microactuatorului
magnetostrictiv este mai mic. Exemplul prezentat este o acţionare specific neconvenţională,
fiecare dintre actuatorii de acţionare prezentând două conversii electromecanice diferite, altele
decât cea electromagnetică tradiţională, specifică unui motor sau actuator electromagnetic, cum a
fost în cazul primei structuri hibride prezentate, sistemul de scanare.
Deşi au fost prezentate multe structuri de micromotoare şi microactuatori piezoelectrici,
mai jos în Fig. 1.44 este descrisă o structură de micromotor ultrasonic cu mai multe grade de
libertate. Structura se compune dintr-un convertor torsional tip Langevin cu şurub de strângere şi
un actuator piezoelectric multistrat. Convertorul torsional este alcătuit din două inele
piezoceramice şi două blocuri de duraluminiu care realizează o presiune de strângere asupra celor
două inele piezoelectrice, presiune ce se realizează cu ajutorul unui şurub. Discurile PZT sunt

32
polarizate pe o direcţie circulară şi câmpul electric este aplicat pe direcţie axială. Din motive de
polarizare, inelele sunt divizate în 6 bucăţi având geometrie de sector circular.
Actuatorul multistrat piezoelectric este format din inele subţiri coaxiale, iar în acest
pachet presiunea şi, explicit, forţa de strângere optimă se realizează tot cu un sistem cu şurub.
Numărul de straturi poate varia între 50 şi 100 de elemente piezoceramice. Actuatorul
multistrat este lipit de cel torsional cu un adeziv tip epoxi.

Fig. 1.44 Motor cu actuator torsional tip Langevin şi actuator multistrat cu vibraţie longitudinală.

Cum nu există niciun cuplaj mutual între vibraţia de torsiune şi vibraţia longitudinală,
putem genera fiecare tip de vibraţie independent. Frecvenţele de rezonanţă sunt de 24.5 kHz
pentru cel torsional, respectiv 43 kHz pentru cel cu actuaţie longitudinală.
Ambii actuatori pot fi alimentaţi la frecvenţa de 24.5 kHz, chiar dacă vibraţia
longitudinală este generată în afara rezonanţei; se obţine o forţă suficientă pentru a controla
fricţiunea.
Cuplul de acţionare este generat, în principal, de vibraţia torsională. Diferenţa de fază la
alimentarea actuatorului cu vibraţie longitudinală şi cel torsional este de 90 de grade.
Când vibraţia de torsiune este maximă şi actuatorul multistrat se întinde ţinând în
strânsoare rotorul, forţa de actuaţie este transmisă către rotor; când direcţia de vibraţie torsională
este opusă direcţiei de rotaţie a rotorului, actuatorul multistrat se contractă pentru a nu face
contact cu rotorul.
Forţa de fricţiune este astfel controlată de către actuatorul multistrat liniar, cuplul creşte
proporţional cu tensiunea aplicată până când apare o limitare a forţei de fricţiune determinată de
forţa statică a resortului şi de coeficientul de frecare.

f = Fu  Vm  (cos(  t )  k ) (1.31)

 =   f r (1.32)

unde  este cuplul instantaneu de acţionare,  este coeficientul de frecare, V = Vm  cos(  t )

este tensiunea aplicată actuatorului piezoelectric tip stivă, r - raza actuator, Fu - forţa generată
pe unitatea de tensiune, k - depinde de durata de contact şi se determină când forţa dinamică
este egală cu forţa statică dată de resort, f - forţa dinamică de actuaţie.

Performanţele raportate ale acestui tip de micromotor sunt următoarele:

33
 - domeniul tensiunii de alimentare: 0 - 300Vrms .
- cuplul mecanic maxim: 10kgf .cm ..12 Kgf.cm
- frecvenţa de rezonanţă a convertorului de torsiune: 22,63kHz .
- factorul de cuplu: 0,0065 Nm / V .

2. Descrierea modelului experimental şi principiul de funcţionare al

motorului piezoelectric ultrasonic rotativ cu convertor piezoceramic de
geometrie tubulară

Micromotorul piezoelectric rotativ propus spre realizare şi experimentare este descris şi în

Cererea de Brevet de invenţie A/00122 din 19.02.2007. Conform hotărârii OSIM Nr. 6/167 din
30.12.2008, modelului experimental i s-a aprobat titlul de brevet.
Micromotorul din lucrarea de faţă a fost apreciat atât pe plan naţional, cât şi pe plan
internaţional. Până în prezent a fost premiat cu trei medalii, medalia de aur la salonul
INVENTIKA din perioada 7-11 Octombrie 2008, medalia de argint la expoziţia internaţională
pentru inovare tehnologică EUREKA-Bruxelles şi medalia de bronz la Geneva-Elveţia.
Conceptul în sine nu e nou, putând fi găsit în literatura de specialitate încă înainte de anii '80.
Materialele utilizate, geometria, tehnologia de fabricaţie foarte simplă şi performanţele sale
remarcabile fac ca modelul experimental ce urmează a fi prezentat să fie distinct față de celelalte.
Micromotorul piezoelectric rotativ propus se bazează pe producerea undelor progresive de
suprafaţă în materiale piezoceramice. Motorul poate fi utilizat pentru microacţionări industriale
ce necesită cupluri importante, forţe axiale mari (până în 15 N) şi viteze mici, până în 10 r.p.m.
Sunt cunoscute micromotoare bazate pe principii de funcţionare electromagnetice sau
electrostatice.
Dezavantajele acestor micromotoare, constau în:

34
 - precizia redusă a acţionării;
- tehnologie complicată şi pretenţioasă (prelucrări mecanice, ștanţare tole, împachetare
circuit magnetic, bobinaj).
Scopul lucrării de faţă este prezentarea unui micromotor cu un cuplu de rotaţie mărit, o
bună precizie a acţionării şi o tehnologie simplă.
Micromotorul rotativ piezoelectric propus este alcătuit dintr-un convertor piezoelectric cu
geometrie tubulară, cu diametrul exterior între 16 - 33 mm, diametrul interior între 11-28 mm şi
lungime 10 - 20 mm, care este alimentat bifazat, generând o undă mecanică progresivă la
frecvenţe ultrasonice, un subsistem cu resort de compresiune, pentru controlul presiunii între
rotorul şi convertorul piezoceramic, un suport statoric, în care se fixează convertorul
piezoelectric, rotorul cu geometrie trunchi de con sau sferică, care se află în contact direct cu
convertorul piezoelectric, mişcarea fiind transmisă prin contact mecanic pe partea superioară a
convertorului piezoelectric, axul, piuliţa de reglaj a presiunii, conexiunile de alimentare, o
conexiune comună pe partea interioară a convertorului piezoelectric, reprezentând masa, şi încă
două conexiuni pentru alimentarea bifazată, lipite de electrozii de alimentare, rulmenţii şi carcasă
micromotor.
Micromotorul prezintă următoarele avantaje:
- o precizie şi un bun control al turaţiei, implicit al cuplului;
- o tehnologie simplă ce elimină ştanţarea tolelor, realizarea circuitelor magnetice statorice
şi rotorice prin împachetare, bobinajul.
Pentru noul tip de micromotor piezoelectric structura de bază propusă este dată în figurile
2.1 a), 2.1 b) și 2.2:

a)
Fig. 2.1 a) Vedere laterală prin micromotor.

35
 b)
Fig. 2.1 b) Secţiune prin subansamblele rotor, convertor piezoelectric.

Fig. 2.2 Motor piezoelectric rotativ cu rotor sferic.

36
 Micromotorul piezoelectric rotativ se compune dintr-un convertor piezoelectric 1, alcătuit
dintr-un material piezoceramic cu geometrie tubulară, coaxială, cu diametrul exterior între 16-33
mm, diametrul interior între 11-28 mm şi lungime 10-20 mm. Rotorul 4 are geometrie trunchi de
con sau sferică şi se realizează prin prelucrare mecanică, incluzând şi axul 5 şi este fixat pe
suportul statoric 3. Rotorul 4 se află în contact mecanic, pe partea superioară, cu diametrul
interior al convertorului, parte pe care sunt generate unde progresive de suprafaţă. Presiunea
dintre convertorul piezoelectric 1 şi rotorul 4 este controlată prin subsistemul format din resortul
de compresiune 2 şi piuliţa de reglaj a presiunii 6. Microrulmenţii 9 asigură ghidajul şi lăgăruirea
rotorică. Conexiunile 7 asigură alimentarea electrică pe electrozii 8, depuşi pe exteriorul şi
interiorul convertorului 1 pentru a asigura o polarizare radială. Conexiunea 7 reprezintă
alimentarea cu tensiune de tip sinusoidal sau cosinusoidal, conexiunea comună (masa) se află
sudată pe partea interioară a tubului piezoceramic. Carcasa 10 a micromotorului are rolul de
protecţie mecanică.
Alimentarea micromotorului în regim bifazat se efectuează cu ajutorul sursei din figura
2.3 prin conexiunile 7 care sunt sudate pe cei doi electrozi 8 de pe suprafaţa exterioară a
convertorului 1. Electrozii 8 de pe suprafaţa exterioară sunt la rândul lor secţionaţi în două sau
mai multe părţi egale pentru a asigura succesiv alimentarea sinusoidală şi cosinusoidală a
micromotorului.
Convertorul 1 este alimentat pe cei doi electrozi 8 de pe suprafaţa exterioară (a
convertorului 1) cu o tensiune electrică periodică sinusoidală în domeniul efectiv 50...100 V, cu
frecvenţă ultrasonică situată între 15....40 kHz, iar unda progresivă care este generată realizează
mişcarea rotativă a rotorului 4 în domeniul de turaţii 2....10 rpm, având cupluri radiale de până la
5 cNm şi sarcini axiale ce ajung la maxim 20 N.
Funcţionarea micromotorului în regim bifazat se bazează pe polarizarea periodică radială
a convertorului piezoelectric 1 şi pe generarea unei unde progresive pe zona superioară a
cilindrului coaxial care acţionează rotorul 4 în zona de contact mecanic.
În regim monofazat, funcţionarea rotorului se poate explica cu ajutorul undelor de
suprafaţă Rayleigh. Principiul de bază este acela de a produce unde progresive la interfaţa stator-
rotor. Elementul piezoceramic tubular alimentat monofazat în tensiune alternativă produce o
vibraţie longitudinală pe direcţia radială. Deoarece rotorul este tronconic la un unghi de 45° (sau
sferic), impactul între convertor şi rotor va fi oblic cauzând în mod indirect şi o vibraţie
transversală. Vibraţia longitudinală se va compune cu vibraţia transversală obţinută, rezultând o
mişcare eliptică la suprafaţa de contact dintre stator şi rotor.
În regim bifazat, cele două unde sunt create direct prin alimentarea defazată cu 90° (sin-
cos). Cele două unde staţionare se compun rezultând o undă progresivă în material. Această undă
va interacţiona direct cu rotorul, rezultând mişcarea de rotaţie.
Explicarea generării mişcării de rotaţie în regim monofazat permite înţelegerea pe deplin a
principiului de funcţionare al motorului. În celelalte capitole se va observa că în regim bifazat nu
avem o creștere clară a eficienţei faţă de regimul monofazat.

37
 Fig. 2.3 Schema bloc de acţionare a motorului piezoelectric rotativ propus.

Schema de acţionare se compune din trei părţi, partea de generare a semnalului de

frecvenţă variabilă, primul etaj de putere de amplificare şi reglare a tensiunii ţi al doilea etaj de
putere pentru amplificarea tensiunii. Schema este asemănătoare cu cea prezentată mai pe larg în
prima parte a lucrării pentru o singură fază de alimentare, figura 1.20.

Fig. 2.4 Modele experimentale de motoare ultrasonice: A-Micromotor cu element piezoceramic

de geometrie inelară şi rotor disc; B- MPR 33, micromotor cu element piezoceramic de geometrie
tubulară şi rotor tip trunchi de con (vedere laterală), C- MPR 27, micromotor cu element
piezoceramic de geometrie tubulară şi rotor sferic, D- rotor conic pentru micromotorul MPR 15,

38
E- rotorul sferic pentru micromotorul MPR 15, F- convertorul piezoceramic al motorului MPR 15
fixat pe suportul statoric, G- Carcasa statorică pentru MPR 15.

Parametrii tehnici ai micromotorului piezoelectric tip MPR.

Tabel 2.I
Parametri şi caracteristici tehnice Valori
Domeniul de tensiune 50 - 100 Vef
Frecvenţele de rezonanţă 20 - 35 kHz.
Forţa axială maximă 15 N
Cuplul micromecanic la 50 V tensiune Minimum 0,7 cNm
efectivă şi frecvenţa de rezonanţă
Viteza la 50 V tensiune efectivă şi la Minimum 4 rpm
frecvenţa de rezonanţă
Puterea activă maximă consumată 5W
Puterea mecanică la 50 V tensiune <1 W
efectivă şi la frecvenţa de rezonanţă
Supratemperatura maximă 20 °C
Dimensiuni maxime Diametru 49 mm x Lungime 70 mm
Masa micromotorului 250 grame

După cum se observă în figura 2.6, o particularitate a motorului constă în faptul că poate
funcţiona cu o singură fază, fiind alimentat şi de la o sursă monofazată.
Rotorul poate fi prelucrat mecanic, astfel încât unghiul de înclinare de 45° să îi confere un
bun contact mecanic cu convertorul piezoceramic cilindric. Astfel prelucrat, rotorul poate prelua
și compune vibraţiile radiale ale convertorului piezoceramic cu cele transversale, rotindu-se într-o
anumită direcţie.
Motorul poate utiliza două tipuri de rotoare: un rotor cu geometrie tronconică sau un rotor
sferic. Rotorul sferic este mai greu de finisat dar oferă mai multe grade de libertate în cazul în
care se folosesc mai multe statoare pentru un ghidaj tridimensional. Cu cât suprafaţa de contact
este mai bine prelucrată mecanic, cu atât vom avea un mai bun transfer al vibraţiei.
În figura 2.5 şi 2.6 sunt prezentate modurile de alimentare, regimul monofazat şi bifazat.
Electrozii sunt mai multe straturi de argint depuse pe suprafaţa convertorului. Iniţial au
fost depuse două straturi ce acoperă atât suprafaţa exterioară a tubului cât și cea interioară. Cei
patru electrozi exteriori au fost obţinuți prin depunere şi mai apoi prin îndepărtarea stratului
conductiv din zonele diametral opuse ce dau limita de separaţie a celor patru sectoare.
Convertorul piezoceramic este echivalent cu un condensator cilindric polarizat radial pe
mai multe zone. Alimentarea radială cu polarităţi diferite este utilizată în regim bifazat pentru a
crea unde mecanice „învârtitoare” în materialul piezoceramic. Indiferent de unda progresivă
generată, este important ca în final să obţinem amplitudinea maximă a vibraţiei la interfaţa de
contact dintre stator şi rotor.

39
 a) b)

Fig. 2.5 a) Alimentarea motorului piezoelectric rotativ (MPR) în regim monofazat, dispunerea
electrozilor şi a conexiunilor de alimentare; b) alimentarea motorului piezoelectric rotativ în
regim bifazat, dispunerea conexiunilor şi a electrozilor pentru fiecare fază în parte.

40
Fig. 2.6 Moduri de polarizare a materialului piezoceramic în curent alternativ, dispunerea radială
a câmpului electric atât pentru regimul monofazat, cât şi pentru regimul de alimentare bifazat.

3. Caracteristicile constructive ale motorului piezoelectric ultrasonic

rotativ cu convertor piezoceramic de geometrie tubulară. Încercări şi
măsurători experimentale

Convertorul piezoelectric cilindric este elementul de bază al motorului ultrasonic, având

rolul de a produce vibraţii mecanice staţionare sau progresive în material şi la suprafaţa care intră
în contact cu rotorul tronconic. Materialul piezoceramic va acumula energia câmpului electric
primită de la sursă şi o va transfera către partea mecanică prin procesul de polarizare electrică,
care duce la o deplasare microscopică a ionilor reţelei cristaline. Din punct de vedere
macroscopic, acest cumul de deplasări al ionilor se traduce printr-o deformare a întregii structuri
cristaline, implicit o deformare a întregului material. Acesta este procesul de conversie
electromecanică specific oricărui tip de material piezoelectric.
În cazul de faţă, materialul piezoceramic folosit este tip PZT-5, prescurtarea vine de la
formula chimică Pb(ZrTi)O3. Polarizarea electrică se realizează prin deplasarea ionilor de Pb, Ti
sau Zr din centrul structurii cristaline.

41
 Fig. 3.1 Convertorul piezoceramic cilindric utilizat pentru motorul MPR33.

Convertorul piezoelectric tubular poate fi realizat şi din alte materiale, cum ar fi structuri
tubulare din fibre de colagen. O astfel de structură tubulară poate fi găsită şi în natură, osul
haversian.
Rotorul are o formă tronconică pentru a putea prelua vibraţiile radiale ale convertorului
piezoceramic sub un anumit unghi, generând unde eliptice de suprafaţă. Vibraţiile transversale
sunt create indirect la interfaţa stator-rotor, însă ele pot fi create şi direct prin deformarea
transversală (pe direcţia axială) a materialului piezoceramic [39].

Fig. 3.2 Convertorul cu geometrie coajă cilindrică utilizat la micromotoarele piezoceramice

rotative.

Tabel 3.I Dimensiunile convertoarelor piezoceramice utilizate în construcţia micromotoarelor

piezoceramice rotative.

42
 Cod convertor b [mm] a [mm] h [mm] Material
MPR33 33 25 20 PZT 5
MPR27 27 18 9 PZT 5
MPR15 16 10 10 PZT 5

Rotorul tronconic a fost realizat prin prelucrări mecanice la un unghi de 45°.

Fig. 3.3 Rotorul tronconic specific motoarelor tip MPR.

Tabel 3.II Dimensiunile rotoarelor tronconice.

D d dax Lax Lr L Lf M
MPR33 36 20 3 30 8 35 15 M3
MPR27 28 12 3 20 4 25 10 M3
MPR15 17 6 3 10 3 20 5 M3

43
 Fig. 3.4 Stativul corespunzător elementului piezoceramic.

Tabel 3.III Geometria stativelor utilizate în construcţia statorului.

Ds ds Ls ls da dr Lr
MPR33 36 27.5 8 14 4 10 4
MPR27 30 17 6 5 4 10 4
MPR15 18 9 4 6 4 7 2.5

44
 Fig. 3.5 Reperele principale ale micromotoarelor piezoceramice rotative (vedere de sus):
A- rotor cu geometrie conică, B- convertor piezoceramic (cu geometrie coajă cilindrică), C-
suportul statoric, D-microrulment RMB (3x10x4), E-resort de compresiune pentru controlul
presiunii între rotor şi convertorul cilindric piezoceramic, F-şaibă de control, G- piuliţă de reglaj.

Fig. 3.6 Reperele micromotorului MPR 15: A - carcasa, B - microrotorul, C - subansamblul

convertor piezoceramic montat pe suportul statoric, D - rotoarele sferice utilizate în cadrul
încercărilor experimentale.

Determinările şi încercările experimentale au avut ca scop:

45
 - Identificarea frecvenţelor de rezonanţă;
- Identificarea modurilor de vibraţie ale convertoarelor piezoceramice şi a intervalelor de
funcţionare;
- Determinarea cuplurilor şi forţelor de frecare ale micromotoarelor;
- Determinarea caracteristicilor viteză sau turaţie funcţie de fecvenţă la cuplu şi tensiune
constantă;
- Determinarea influenţei forţei axiale şi a presiunii în contact asupra performanţelor
motorului piezoelectric;
- Studiul regimurilor de alimentare şi a regimului deformant.

Micromotoarele piezoceramice rotative MPR 15, MPR 27 și MPR 33, codificate după diametrul
exterior, au fost testate inițial pentru afla parametrii funcționali de bază.
O sinteză cu prezentarea principalilor parametri funcţionali determinaţi până în acest moment
este oferită în tabelul nr. 3.IV.

Tabel 3.IV Parametrii funcţionali ai micromotoarelor rotative piezoceramice.

MPR 15 MPR 27 MPR 33 Observații
Tensiune de alimentare[Vvv] 175 175 175
Frecvenţă de rezonanţă[kHz] 22.13 27.2 33.1
Curent maxim absorbit [mA] 0.5 2 3
Mod de alimentare Monofazat Monofazat Monofazat
Bifazat Bifazat Bifazat
Cuplul de pornire (de 0.2 0.3 2
frecare) [cNm]
Cuplul maxim[cNm] 0.2 0.25 3
Turaţie maximă[rpm] 7.5 5 9 Sarcina
reprezentată
numai de cuplul
de frecare.
Supraîncălzire 2 2 3 Aparat de
[C] măsurat
temperatura fără
contact.
Putere mecanică[W] 0.0078 0.0052 0.0282
Număr de poli 4 6 4
Observaţii Necesită Necesită Intrat în
reproiectare şi reproiectare omologare
modificări şi modificări prototip cu
medii.Posibilităţi medii. reproiectare
deosebite de a şi modificări
intra în minime.
omologare.

46
Tabel 3.V Rotoarele utilizate. Gabarit şi mase.

Tipul rotorului Dimensiuni Masă Observaţii

[mm] [grame]
Rotor sferic mare 35 173.4065 Experimentat la micromotoarele:
MPR 15, MPR 27, MPR 33
Rotor sferic mediu 20.08 35.8550 Experimentat la micromotoarele:
MPR 15, MPR 27
Rotor sferic mic 18 23.6800 Experimentat la micromotorul
MPR 15
Rotor conic VCJ 15 Fig. 3.3, 5.69 Experimentat numai la MPR 15
Tabel 3.II.
Rotor conic VCJ 27 Fig. 3.3, 16.309 Experimentat numai la MPR 27
Tabel 3.II
Rotor conic VCJ 33 Fig. 3.3, 43.5446 Experimentat numai la MPR 33
Tabel 3.II.

Micromotoarele piezoceramice rotative la nivel de model experimental pot fi caracterizate în

urma încercărilor experimentale ca micromotoare lente (a se vedea domeniul de turaţii) dar de
cuplu relativ mare şi de rezoluţie foarte bună, estimată la nivel de 20 ' de arc [34].
În figura 3.7 este redată caracteristica turaţie funcţie de frecvenţă la sarcină axială constantă
(reprezentată de propria greutate a rotorului sferic 173 grame cu G= 1,73 N). De observat
variaţia deosebită a turaţiei pe un domeniu relativ îngust de frecvenţă (ce include şi rezonanţa) :
32,5 kHz - 34 kHz.
Încercarea a fost efectuată la un cuplu practic constant, un cuplu de frecare M f = 2 cNm datorat
forţei axiale în micromotor.

47
 Fig. 3.7 Caracteristica turaţiei funcţie de frecvenţă, la forţă axială constantă de 173 gf pentru
micromotorul MPR 33.

În figura 3.8 este prezentată caracteristica turaţiei funcţie de frecvenţă pentru

micromotorul MPR 33 cu rotor VCj 33 la două sarcini axiale diferite realizate prin controlul
forţei axiale cu ajutorul resortului de compresiune (a se vedea caracteristicile micromotorului tip
MPR din figura 3.7, 3.8 şi Anexa.III.1) pentru 600 gf si 400 gf.
De menţionat că la o sarcină axială mai mare se obţine în mod paradoxal o turaţie mai
mare. Totul se explică prin principiul de funcţionare. Transmiterea vibraţiilor şi a mişcării de la
convertor la rotor se realizează prin microcontact mecanic. Există deci o forţă optimă de contact
care realizează o funcţionare optimă, în concluzie, un compromis între forţa de pretensiune în
contact, sarcina micromotorului şi viteza sau turaţia în cazul micromotorului rotativ.
Trebuie explicat și faptul că frecvența de rezonanță electrică este diferită de frecvența de
rezonanță mecanică. Frecvența de rezonanță electrică nu este altceva decât frecvența tensiunii
electrice de alimentare la care se obține rezonanța mecanică. Aceste explicații vor fi prezentate
mai pe larg în capitolul 7 dedicat modelării cu ajutorul schemelor electromecanice.
În cazul micromotorului MPR 33, forţa axială optimă în regim monofazat este de 600 gf,
forţă ce include greutatea proprie a rotorului la care se adaugă forţa generată prin controlul
resortului de compresiune. Din măsurători, o forţă de 700 gf micşorează turaţia la 7 rpm. La 600
gf turația este de aproximativ 8.5-9 rpm.
Modificarea forței axiale duce și la o deplasare a punctului de rezonanță, frecvența de rezonanță
electrică scade cu 100 Hz pentru o forță axială mărită la 600 gf, de la 32800 Hz, punctul de
rezonanță corespunzător forței axiale de 400 gf. Fenomenul se poate explica prin modificarea
masei totale a sistemului în fenomenul de rezonanţă al structurii mecanice stator-rotor.

48
 1 k Mp
ft = = fp , unde k este constanta elastică și Mp, Max masa convertorului
2 M p  M ax M p  M ax
piezoceramic, respectiv masa corespunzătoare forței axiale. Frecvența de oscilație a întregului
sistem mecanic stator-rotor ft și frecvența proprie a convertorului piezoelectric analizat fp, se pot
exprima în funcție de raportul între masa elementului piezoceramic și masa totală a sistemului.
Aceasta este o încercare calitativă de a explica variația punctului de rezonanță în funcție de masa
sau forța axială aplicată sistemului stator-rotor. În practică, legătura între fenomenul de rezonanță,
contactul mecanic stator-rotor și forța de frecare este mult mai complexă. Caracteristicile
micromotorului MPR33 au fost analizate în acest caz pentru regimul monofazat. În continuare,
aceste performanțe se vor compara cu rezultatele obținute în regim bifazat, acesta fiind folosit
frecvent și pentru alte tipuri de motoare piezoelectrice cu undă progresivă. În regim monofazat,
MPR33 cu rotor sferic a atins performanțele optime și turația de maxim 5 rpm la frecvența de
alimentare de 33200 Hz. La fel se observă că pentru o solicitare axială mult mai mică (173 gf)
avem o frecvență de oscilație electrică (corespunzătoare rezonanței mecanice) mai mare, 33200
Hz comparativ cu figura 3.8.
Pe scurt, se observă următoarele variații: forța axială de 173 gf, 400 gf, 600 gf, viteza
maximă obținută pentru frecvențele de rezonanță și forțele axiale respective 5 rpm, 7.5 rpm, 8.5
rpm, iar frecvențele de rezonanță sunt 33.2 kHz, 32.8 kHz și 32.7 kHz.
Pe măsură ce ne apropiem de punctul de funcționare optim viteza unghiulară crește și
frecvența de rezonanță scade, odată cu modificarea forței axiale. Această regulă ar trebui să fie
valabilă pentru oricare dintre motoarele piezoelectrice prezentate.
Puterea mecanică preluată de către rotor se modifică în funcţie de frecvenţă şi sarcina
axială, respectând întotdeauna bilanţul de puteri (vezi Cap. 8). Ştiind experimental că viteza
variază după o curbă descendentă de o parte și de alta a punctului maxim de rezonanță, se deduce
că şi forţa axială sau cuplul vor varia după o curbă asemănătoare ca aspect (fig. 3.10), deoarece
P = M . Experimental s-a confirmat că există şi o forţă axială optimă ce corespunde punctului
de rezonanţă. Tot experimental s-a constatat că modificarea forţei axiale duce şi la o mică
deplasare a punctului de rezonanţă.
Cum puterea mecanică utilă rămâne neschimbată la sarcină axială constantă, rezultă că
pentru o viteză de rotaţie minimă avem şi un cuplu maxim, iar pentru o viteză de rotaţie maximă
(optimă), corespunzătoare rezonanţei mecanice, avem un cuplu minim.
În continuare se va arăta că forţa sau cuplul corespunzător rezonanţei este de fapt o forţă
sau un cuplu optim, aflat tot în vârful caracteristicii (fig. 3.10).
Prin analogie, odată cu creşterea forţei axiale şi implicit a sarcinii peste valoarea optimă, viteza ar
trebui să scadă, iar odată cu scăderea forţei axiale sub punctul optim, viteza va trebui să revină cel
puţin până la valoarea măsurată în gol (presiunea în contact este realizată numai de resortul de
compresiune).

49
Fig. 3.8 Caracteristica turaţiei funcţie de frecvenţă pentru micromotorul MPR 33 cu rotor VCj 33
la două sarcini axiale diferite realizate prin controlul forţei axiale cu ajutorul resortului de
compresiune.

Acelaşi experiment a fost efectuat şi în cazul micromotorului MPR 15 la două sarcini axiale de
23 gf şi 173 gf, ce reprezintă chiar solicitările date de greutatea unor sfere. Punctele de rezonanță
mecanică pentru cele două sarcini axiale de 23 gf și 173 gf corespund frecvențelor electrice de
22150 Hz, respectiv 22750 Hz. În mod paradoxal, dacă pentru motorul MPR33 punctul de
rezonanță scădea odată cu creșterea forței axiale, în cazul motorului MPR15 punctul de rezonanță
crește, chiar cu o diferență de 600 Hz, dacă mărim forța axială de la 23 gf la 173 gf. Fenomenul
invers se poate explica prin faptul că punctul optim de funcționare se află în zona forțelor axiale
mult mai mici decât 173 gf, pe când punctul optim de funcționare la MPR33 se află în zona
forțelor axiale importante, 600-1000 gf. Se observă mai jos că legea de variație a vitezei în
funcție de forța axială are un punct de funcționare optim dat de maximul vitezei și o dependență
descendentă similară cu cea a vitezei funcție de frecvență.

50
 Fig. 3.9 Caracteristicile turaţiei funcţie de frecvenţa aplicată pentru micromotorul MPR 15
pentru două sarcini axiale diferite de 23 gf şi 173 gf.

Pentru micromotorul piezoelectric MPR15 punctul de funcționare optim corespunde unei

forțe axiale de 23 gf și unei frecvențe de rezonanță de 22150 Hz. În acest punct turaţia maximă
este de 7.5-8 rpm.
În graficele anterioare (3.7, 3.8 și 3.9) s-a observat în primul rând dependența vitezei
unghiulare a rotorului în funcție de frecvență. Se poate concluziona că se respectă o alură
descendentă în afara punctului maxim dat de rezonanța mecanică. Frecvența electrică necesară
atingerii punctelor de rezonanță diferă în general de frecvența de rezonanță mecanică. La capetele
domeniului de frecvenţă studiat motorul are o viteză și eficiență scăzute. Din punctul de
rezonanță mecanică până la capetele intervalului de funcționare, frecvența modifică treptat viteza
motorului: astfel, în punctul de rezonanță viteza este maximă și scade treptat odată cu
modificarea frecvenței spre capetele intervalului de funcționare. Depășirea capetelor intervalului
de funcționare duce la oprirea bruscă a rotorului.
În figura 3.10 s-a analizat în primul rând influența forței axiale asupra micromotorului în
regim de alimentare bifazat (vezi şi Anexa.III.3 ).
Se observă că atât în regim monofazat cât și în regim bifazat punctul optim de funcționare
se află în jurul vitezei unghiulare de 9 rpm. Prin variația forței axiale de la o valoare minimă la o
valoare maximă se obține tot o caracteristică asemănătoare cu diagrama Bode în condiții de
rezonanță. Atât pentru forțe mai mici decât forța optimă, cât și pentru forțe mai mari, motorul are
o eficiență scăzută. La depășirea intervalului de funcționare, o forță axială prea mică nu poate
asigura un bun contact mecanic între stator și rotor, astfel rotorul se oprește. În cazul unei forțe
axiale importante, presiunea în contact și implicit forța de frecare cresc prea mult. În cazul unei
forțe de frecare mai mari decât forța utilă, rotorul se oprește. În grafice se observă că pentru o
forță axială sub 1 N rotorul nu are asigurat un bun contact mecanic și practic motorul nu mai
poate funcționa. La fel, pentru o forță axială ce depășește 18-20 N rotorul nu se mai poate roti.

51
 Fig. 3.10 Caracteristica viteză unghiulară funcție de forța axială pentru două frecvențe diferite
aflate în jurul punctului de rezonanță.

Reglarea presiunii în contact prin modificarea forței axiale este al doilea mod de a
controla viteza unghiulară a rotorului. Controlul automat al presiunii în contact se poate realiza
prin utilizarea unui actuator electromagnetic liniar sau chiar un actuator magnetostrictiv.

Fig. 3.11 Caracteristica mecanică a cuplului funcție de turaţie.

52
 Caracteristica mecanică este foarte elastică, permițând reglarea vitezei pe tot intervalul,
între 0 și 10 rpm. Cuplul nu poate varia foarte mult deoarece trebuie să existe o forță de frecare
destul de importantă care să permită un transfer optim de putere mecanică. Cum forța utilă
generată de către elementul piezoceramic va trebui să fie întotdeauna mai mare decât forța de
frecare, cuplul minim obținut va fi chiar cel dat de forța de frecare. Cuplul de pornire este cuplul
de la care rotorul începe să se rotească, învingând forța de frecare (Anexa III.2).

a)

b)

Fig. 3.12 a) Determinarea cuplului de frecare cu ajutorul unui torquemetru cu afișaj digital;
b) Variația cuplului de frecare pentru diferite forțe axiale.

53
 Cuplul de frecare variază numai între 2 și 3 Ncm pentru forțe axiale cuprinse pe un
interval destul de mare de 5-20 N. După cum s-a observat, punctul optim de funcționare al
motorului MPR33 necesită o forță axială de aproximativ 10-12 N, astfel cuplul de pornire optim
dat de forța de frecare este de 2 Ncm.
O ultimă preocupare în cadrul experimentelor a constituit-o analiza regimului deformant,
cunoscând faptul că schema electrică echivalentă de intrare a micromotorului este una RC paralel
cu o mare pondere capacitivă: 7 nF şi R > 20 Mohmi.
Astfel, în figura 3.14 este redată oscilograma tensiunii la încercările specifice efectuate pe un
micromotor MPR 15, iar în figura 3.15 în cazul micromotorului MPR 33.
Comparând semnalul generat de sursă în gol cu cel generat de sursă în sarcină, atunci
când motorul piezoelectric funcționează, se observă o distorsiune clară a semnalului.
Deformarea semnalului este mult mai mare pentru motorul MPR 33 decât pentru motorul
MPR15, ceea ce este normal ținând cont de faptul că un diametru și o suprafață cilindrică mai
mare implică și o creștere a capacității electrice.

Fig. 3.13 Semnalul generat de sursă în gol, fără alimentarea motorului piezoelectric.

Fig. 3.14 Regimul deformant la încercările efectuate pe micromotorul MPR15.

54
 Oscilogramele au fost efectuate cu un osciloscop Tektronix TDS 2012 cu două canale. S-a
făcut achiziţia de date, sensibilitatea fiind de 0,5 mV-div.

Fig. 3.15 Regimul deformant la încercările efectuate pentru micromotorul MPR 33.

Fiind alcătuită din elemente neliniare (tranzistori, diode şi alte componente electronice ce
funcţionează în comutaţie), sursa unui motor piezoelectric injectează armonici suplimentare în
reţea de frecvenţe ultrasonice care se regăsesc pe sarcina RC, reprezentată de către motorul
piezoelectric rotativ. Cum curentul absorbit de la reţea este de ordinul mA, influenţa asupra
reţelei nu este majoră, ci poate avea un impact important în buna funcţionare a motorului
piezoelectric rotativ.

55
4. Modelarea matematică în regim electrocinetic staţionar prin curenţi
de polarizaţie a convertorului piezoceramic cu geometrie tubulară

Pentru început modelul matematic este descris cu ajutorul ecuațiilor de bază ale mecanicii
clasice. Bilanțul de forțe este esențial în stabilirea forțelor ce intră în calculul solicitărilor
mecanice ale convertorului piezoceramic tubular. În funcționarea motorului piezoelectric este
necesară și determinarea presiunii în contact. Pentru convertorul piezoceramic tubular presiunea
exercitată de către rotor se transferă radial dinspre interior către exterior. În modelarea
convertorului piezoceramic tubular se vor lua în considerare atât solicitările mecanice externe
radiale generate de către forța axială și greutatea rotorului, cât și tensiunile mecanice exercitate
din interior la aplicarea câmpului electric.

Fig. 4.1 Bilanțul de forțe ce acționează între convertorul piezoceramic tubular și rotorul
tronconic.

Unde Fp - forţa radială (corespunde presiunii în contactul mecanic) generată de către rotor asupra
convertorului cilindric piezoceramic; Ff - forţa de frecare dinamică; Fa - forţa utilă ce asigură
rotaţia rotorului la o viteză unghiulară constantă, prin efectul piezoelectric invers; N, N z, Nr –
Normala şi proiecţia ei axială, respectiv radială; Fc – forţa centripetă; Fax – forţa axială ce
asigură reglarea presiunii în contactul dintre stator şi rotor; F g – forţa gravitaţională dată de
greutatea rotorului.

Astfel, se poate spune că tensiunile mecanice interne din materialul piezoelectric tubular
sunt determinate atât de presiunea radială în contact exercitată din exterior, cât și de tensiunea
electrică aplicată pe electrozi.

 N z = Fax  Fg

Fp = Fc  N r (4.1)

F f = Fa

56
Se observă că normala la suprafață are două componente, componenta normalei Nz pe verticală și
componenta Nr pe direcție radială, aceasta deoarece rotorul tronconic este prelucrat la un unghi
ascuțit  față de axa orizontală.

 N  sin  = Fax  Fg

Fp = m    r  N  cos 
2
(4.2)

F f = m    r  F
Forța de frecare dinamică este egală cu forța utilă de mișcare circulară uniform variată a
rotorului, la care se adaugă forța F produsă de efectul invers piezoelectric cumulat ( Fa =
m    r  F ,  =  0    t ,  = 0 pentru o viteză unghiulară constantă, astfel  =  0 = v r şi
Fa = F ).
Normala Nz corespunde forței axiale și greutății date de rotor, iar normala pe direcția radială Nr
corespunde forței centripete și presiunii exercitate asupra materialului piezoceramic (sistemul de
ecuații 4.1).
În cazul nostru viteza de rotație a motorului este foarte mică, astfel, putem considera noul sistem
simplificat de ecuații (4.3). Constructiv, rotorul este un trunchi de con cu unghiul ascuțit de
 = 45  :

 N = 2  Fax  Fg 

Fp = Fax  Fg (4.3)

F f = F =  k N
 k - coeficientul de frecare dinamică; F - forţa activă dată de efectul piezoelectric invers.

Fp este forța ce exercită presiunea în punctul de contact al convertorului piezoceramic, iar

Fp
pi = presiunea în zona de contact este distribuită teoretic pe întreaga suprafață de contact
Acil
Acil a convertorului piezoceramic.
Problema tensiunilor mecanice ce apar în elementul piezoceramic este descrisă cu ajutorul unui
set de ecuații diferențiale [33] (vezi Anexa VI).
Tensiunile mecanice și efectul piezoelectric invers sunt în strânsă legatură, legătură descrisă în
cadrul ecuațiilor matriceale generale ale efectului piezoelectric.
Pentru început este util să determinăm tensiunile mecanice interne în funcție de geometria
materialului piezoelectric analizat, în cazul nostru convertorul piezoceramic cilindric.
Folosind soluţia dată de ecuaţiile de echilibru şi ecuaţia de compatibilitate ale teoriei
elasticităţii prezentate în Anexa VI se determină componentele solicitărilor mecanice radiale și
circumferențiale (sistemul 4.4).

57
 A
 r r 2  B1  2 log r   2C
 =
 (4.4)
 = - A  B 3  2 log r   2C
  r 2

Dacă există o zonă goală în punctul de origine, atunci soluţiile se pot simplifica
considerând constanta B=0. În cazul nostru geometria este cilindrică, deci avem o zonă goală în
punctul de origine.

 A
 r = r 2  2C
 (4.5)
 = - A  2C
  r 2

Soluțiile pot fi adaptate să reprezinte distribuția solicitărilor mecanice pentru un cilindru

gol, cazul coajei cilindrice piezoceramice.
Fie a și b raza interioară, respectiv raza exterioară a cilindrului, iar p i și p0 presiunile
corespunzătoare suprafeţelor interne și externe uniform distribuite pe acestea. În funcție de
condițiile de frontieră 4.6 se determină constantele A și C.

  r  r = a = - p i ,   r  r =b = - p 0 (4.6)
p i - presiunea corespunzătoare suprafeţei interioare a cilindrului; p 0 - presiunea
corespunzătoare suprafeţei exterioare.

Aplicând condițiile de frontieră în sistemul tensiunilor mecanice 4.5 vom avea:

A
 a 2  2C = - pi
 (4.7)
 A  2C = - p
 b 2 0

Constantele A și C fiind determinate se vor înlocui tot în cadrul sistemului de ecuații 4.5, aflându-
se expresiile tensiunilor mecanice radiale și circumferențiale.

a 2 b 2  p 0 - pi  pi a 2 - p0 b 2
A= 2C = (4.8)
b2 - a 2 b2 - a2

58
 a 2 b 2  p 0 - p i  1 pi a 2 - p 0 b 2
 r = 2 2 2  2 2
b -a r b -a
 (4.9)
 = - a b  p0 - pi  1  pi a - p0 b
2 2 2 2

  b2 - a2 r 2 b2 - a2
Tensiunile mecanice radiale şi cele circumferenţiale depind de raza interioară a, presiunea
exterioară pi care provine dinspre suprafaţa interioară, raza exterioară b, presiunea din zona
suprafeței exterioare p0. Nu în ultimul rând, tensiunile mecanice variază invers proporţional cu
pătratul razei. Variaţia tensiunilor mecanice în funcţie de raza r se deduce în principal din
sistemul de ecuaţii 4.5.
Presiunea este generată în punctele de contact ale convertorului cu rotorul tronconic, iar
convertorul piezoceramic nu este solicitat radial din exterior.

Fig. 4.2 Dimensiunile geometrice ale convertorului tubular şi solicitările radiale, atât din partea
interioară, cât şi partea exterioară.

 a 2 pi  b 2 
 r = 2 2 1 - 2 
 b -a  r 
 (4.10)
 = a pi 1  b 
2 2

  b2 - a2  r 2 
  
Convertorul piezoceramic cilindric al motorului ultrasonic rotativ va fi solicitat numai în
zona de contact a suprafeţei interioare datorită presiunii exercitate de către rotor. Astfel, presiunea

59
de pe suprafaţa exterioară p0 este considerată nulă. Ecuaţiile tensiunilor mecanice se simplifică în
acest caz, rezultând sistemul 4.10.
Ecuațiile generale ale efectului piezoelectric (4.11) includ atât efectul piezoelectric direct
cât și efectul piezoelectric invers. Mai jos sunt descrise aceste ecuații sub formă matriceală.
Aceste ecuații modelează matematic materialul piezoceramic cât mai exact ținând cont de
constantele piezoceramice specifice fiecărui material pentru fiecare axă de coordonate în parte.
Este cunoscut faptul că un material piezoceramic are mai multe direcții (axe) de polarizare. Spre
exemplu există cazul în care avem deja solicitări mecanice externe sau tensiuni mecanice
interne, iar alături de acestea aplicăm un câmp electric extern. Astfel, avem un efect cumulativ în
ceea ce priveşte deformaţia materialului pe cele trei axe de polarizare.

 L =  s     d  E
(4.11)
 D =  d  T      E

Tensorii constantelor piezoelectrice pot fi scrişi sub formă matriceală ca în 4.12 şi 4.13. Matricile
sunt mult simplificate datorită simetriei structurii cristaline şi modului de alegere al axelor în
funcţie de direcţiile de polarizare.

 s11 s12 s13 0 0 0  0 d 31 0   

s  0  
 12 s33 s12 0 0 0   d 33 0   rr 
s s12 s11 0 0 0  0 d 31 0   N
2
-12 m -12 C
s =  13   10 d=   10  =  zz  2
0 0 0 s 44 0 0 N d15 0 0 N  z  m
0 0 0 0 s55 0 0 0 d15   zr 
     
 0 0 0 0 0 s 44   0 0 0   r 
0
 V
E = E r  (4.12)
 0 m
 

 11 0 0
F
 =  0  33 0    0  0 = 8.85  10 -12

(4.13)
m
 0 0  11 

Fiecare material piezoceramic are date în cataloge constantele piezoelectrice.

d 31 = -171 d 33 = 374 d15 = 584

Pentru materialul PZT-5A avem s11 = 16.4 s33 = 18.8 s13 = -5.74 s12 = -7.22 ,
 11 = 1730  33 = 1700
kg
 = 7750 .
m3

Deoarece nu avem forțe externe care acționează direct pe direcţia axei cilindrului asupra
convertorului piezoceramic tubular, iar inducția electrică nu are componentă de-a lungul axei

60
cilindrului (z), considerăm tensiunile mecanice corespunzătoare acestei axe ca fiind nule.
Celelalte proiecții ale tensiunilor mecanice ce nu aparțin axelor sistemului de coordonate polare
sunt considerate tot nule (4.14). Singurele tensiuni mecanice nenule sunt cele radiale și
circumferențiale.

 zz =  r =  z =  rz = 0 (4.14)

Ținând cont de matricile tensorilor constantelor piezoelectrice, dependența deformațiilor funcție

de tensiunile interne radiale, circumferențiale și câmpul electric aplicat se scrie pentru fiecare
coordonată polară în parte [31].

L = s11   s12 rr  d 31 E r

L = s   s   d E
 rr 12  33 rr 33 r
Lzz = s13   s12 rr  d 31 E r (4.15)
D = 0 D = 0
  zz

Drr = d 31   d 33 rr   33 E r

Inducția electrică nu are componente circumferențiale și verticale. Există doar componenta
radială a inducției electrice ce depinde de câmpul radial aplicat și de tensiunile mecanice radiale
și circumferențiale.
Știind că nu există tensiuni mecanice de forfecare și pentru deformații nu există
dependență în funcție de variabila θ, în cazul unui cilindru piezoceramic uniform, ecuația de
echilibru generală simplificată este:

 r  r -  
 =0 (4.16)
r r

În mod analog, ecuațiile deformaţiilor relative din teoria elasticităţii se simplifică mult, știind că
nu există dependență în funcție de variabila  a deformației radiale și circumferențiale.
Deformările și tensiunile mecanice la forfecare devin la rândul lor nule deoarece variază în
funcție de  .

 ur
 L =
r

 u r
Lrr = (4.17)
 r
 r = 0



Astfel se poate calcula deplasarea radială. O soluţie particulară a ecuaţiei deplasării radiale poate
fi scrisă înlocuind componenta circumferențială din 4.17 în prima relație de la punctul 4.15:

61
 1
u r = m1r  m 2  d 31 E r r
r
(4.18)
a2 p
m1 =  s11  s12  p m2 =  s11 - s12  pb 2
p= 2 i2
b -a

Din ecuațiile generale ale efectului piezoelectric direct și invers se stabilesc mai multe legături
utile între constantele piezoelectrice, între constanta de încărcare cu sarcină electrică d,
complianţa s, modulul lui Young Y şi constanta de tensiune n.

d = n�
s n=d�
Y (4.19)

Ecuaţia tensorială a efectului piezoelectric direct şi invers scrisă ca dependenţă a tensiunii

mecanice T funcţie de deformaţia r, va fi înlocuită în ecuaţia generală de echilibru şi
compatibilitate a tensiunilor mecanice interne (4.16).

T = c�
r - n�
E (4.20)

În cazul particular al cilindrului piezoceramic, dependenţa tensiunilor mecanice circumferenţiale

şi radiale funcţie de deformaţie poate fi scrisă pentru fiecare coordonată polară în parte.

  = c11 L  c12 Lrr - n31 E r

(4.21)
 rr = c12 L  c33 Lrr - n33 E r

Înlocuind expresiile tensiunilor mecanice radiale şi circumferenţiale interne (4.21) ale ecuaţiilor
generale piezoelectrice în ecuaţia 4.16, se determină exact ecuaţia diferenţială a deplasărilor
radiale.

  c12 L  c33 Lrr - n33 E  c12 L  c33 Lrr - n33 E r - c11 L - c12 Lrr  n31 E r
 =0 (4.22)
r r

 2u r 1 u r u n - n 
c33  c33 - c11 2r  31 33 E r = 0 (4.23)
r 2
r r r r

Pentru a determina deplasarea radială se vor înlocui expresiile deformaţiilor relative

Lrr , L de la punctul 4.17 în ecuaţia diferenţială generală 4.22. După o derivare ulterioară în
funcţie de raza r şi aranjare a expresiei, rezultă forma finală a ecuaţiei 4.23 sau 4.24.

 2 u r u r 1 c11 n - n31
r  - u r = 33 Er (4.24)
r 2
r r c33 c33

Ecuaţia diferenţială de gradul 2 se rezolvă prin următoarea schimbare de variabilă:

r = e t t = ln r (4.25)

62
Derivând expresia deplasării în funcţie de noua variabilă t, avem:

du du 1 du
= = e -t
dr dt dr dt
dt (4.26)
d 2u d  -t du  d  -t du  -t - 2 t du
2
- 2t d u
= e = e e = - e  e
dr 2 dr  dt  dt  dt  dt dt 2

 du d 2u  du c
e -t e - 2t  - r  2 r   e -t r - e -t 11 u r = 0 (4.27)
 dt dt  dt c33

Făcând schimbarea de variabilă din raza r într-o exponenţială, iar mai apoi înlocuind
derivatele în funcţie de noua variabilă t, obţinem expresia simplificată 4.28 ce are soluţia generală
de la punctul 4.30. În general, constantele elastice pentru fiecare direcţie de polarizare nu diferă
foarte mult între ele; în cazul nostru, structura cristalină a materialului piezoceramic tip PZT-5
permite ca cele două valori ale constantelor elastice să fie aproximativ egale pentru axa 1,
respectiv axa 3 de polarizare.

d 2 u r c11 c
2
- u r = 0 1, 2 =  11 (4.28)
dt c33 c33

În general raportul  al constantelor elastice poate fi supraunitar sau subunitar, puţin sub sau
deasupra lui 1.

u t = Ae  t  Be -  t (4.29)

B n33 - n31
u r = Ar    Er (4.30)
r c11

Ţinând cont de faptul că   1, n = d  c, C = S -1 (elastanţa e inversul complianţei), putem rescrie

ecuaţia în funcţie de constantele utilizate mai frecvent şi date în catalog.
Iniţial am determinat expresiile tensiunilor mecanice în funcţie de geometria materialului şi
presiunea exercitată din exterior. Putem utiliza aceste soluţii pentru a impune condiţiile de
frontieră 4.31.

63
 rr  a  = - pi
  b  = 0
 rr
 b2  a2
   a  = 2 2 pi (4.31)
 b -a
 2a 2
   b  = 2 2 pi
 b -a

Condiţiile de frontieră fiind deja stabilite se vor înlocui în expresia deformaţiei relative Lrr .
Derivând soluţia deplasării radiale tot în cadrul aceleiaşi ecuaţii 4.32 se determină constanele A şi
B, ştiind că raza variabilă poate fi la limită egală cu raza internă a sau raza externă b.

u r B
Lrr = = A - 2 = s12   s 33 rr  d 33 E r (4.32)
r r

 s33 - s12   a 2 b 2 pi
B= (4.33)
b2 - a2

 s33  s12   a 2 pi
A=  d 33 E r (4.34)
b2 - a2

B d s - d 31 s33
u r = Ar   s11 33 31 Er (4.35)
r s31 s 33

Ştiind constantele A şi B soluţia deplasării radiale este dată de ecuaţia 4.35.

Foarte util este şi calculul deplasării verticale, deoarece şi aceasta are un aport important în
generarea undei ultrasonice progresive la interfaţa stator-rotor. În calcul se va porni de la expresia
propagării undei ultrasonice şi expresia deformaţiei verticale.

Lzz = s13   s12 rr  d 31Er (4.36)

O aproximare simplă şi utilă a deplasării verticale poate fi stabilită în cazul unei variaţii foarte
mici. Deformaţia relativă este privită ca raportul între deformaţia reală obţinută şi dimensiunea
iniţială a materialului înainte de a fi solicitat la întindere sau compresiune.

L z
L zz = L z = L zz  h (4.37)
h

Tensiunile mecanice sunt aceleaşi, astfel se poate calcula direct deplasarea pe verticală.
Deşi din condiţiile de frontieră nu se poate afla exact amplitudinea deplasării verticale, se poate
afla forma soluţiei şi frecvenţa de rezonanţă mecanică de-a lungul cilindrului piezoceramic [31].

64
 2 u z  2
 uz = 0 (4.38)
z 2 c11

Cum nu avem tensiuni mecanice pe verticală, una din condiţiile de frontieră ar fi ca prima
derivată a deplasării să fie nulă.

u z
Tzz = = 0 z = 0, h (4.39)
z

u z = A sin  z   B cos z  (4.40)

Din condițiile inițiale rezultă:

A = 0   h = n
u z = B cos z  (4.41)

Indroducând soluția în ecuația diferențială şi derivând, obţinem formula frecvenţei de rezonanţă

mecanice transversale. Se observă că putem avea mai multe moduri de rezonanţă, în funcţie de
numărul natural n.

 2 c n c11 n c11
2 u z  u z = 0 ;  =  11 = ; fz = , n = 1, 2, ... (4.42)
c11  h  2h 

Practic în modelarea convertorului piezoceramic se ia în calcul doar vibraţia de compresiune

radială sau axială.
Frecvenţa de rezonanţă fundamentală a undei u z calculată în funcţie de lungimea tubului
piezoceramic este f z = 70124 Hz.
Calculul analitic folosește ca date de intrare dimensiunile geometrice, constantele piezoelectrice
ale convertorului piezoceramic, forța axială de 3 N și tensiunea efectivă de 45 V. Pentru alte date
de intrare se poate utiliza programul prezentat în Anexa IV.

65
 Fig. 4.3 Variaţia tensiunilor mecanice radiale şi circulare în funcţie de rază.

Din grafic se observă că solicitarea mecanică radială este mai mare către suprafaţa exterioară a
cilindrului şi minimă la suprafaţa interioară. Solicitarea circulară are o distribuţie complet
inversată, fiind maximă la interior şi minimă către partea exterioară.

Fig. 4.4 Deplasarea radială în funcţie de rază.

Deplasarea radială este cea mai importantă, deoarece ea dictează buna funcţionare a motorului
piezoceramic. O deplasare radială foarte mică poate însemna o acţiune mult limitată asupra
rotorului, ducând de multe ori la oprirea acestuia. Este necesar ca amplitudinea deplasării să fie
suficient de mare pentru a putea învinge cuplul de frecare şi a da un implus de mişcare rotorului.

66
Din grafic se observă că deplasarea radială maximă apare către suprafaţa interioară, iar
deplasarea minimă rămâne către suprafaţa exterioară. Deplasarea maximă radială este de
aproximativ 1.4 m .

Fig. 4.5 Inducţia electrică variabilă cu raza.

Fig. 4.6 Deplasarea verticală funcţie de rază.

Deplasarea verticală calculată este u zcalc = 150 nm . În capitolul 6 se va măsura deplasarea

verticală cu ajutorul unui interferometru liniar.
O analiză amănunţită comparativă între deplasările calculate şi cele obţinute din măsurători se va
face la sfârşitul capitolului 6.

67
 Fig. 4.7 Caracteristica 3D teoretică a vitezei funcţie de tensiune şi forţa axială aplicată.

Pentru o tensiune ce variază între 0  100 V și o forță axială aflată în intervalul 0  20 N

, aplicând soluția deplasării definită de ecuațiile 4.33, 4.34, 4.35, se poate extrage viteza de rotație
cu care este antrenat rotorul (vezi relația 5.19). Viteza calculată se află între - 2  -160 rpm .
Punctele de minim ale turației (cu albastru) semnifică faptul că forța axială generează o forță de
frecare în contact prea mică sau depășește cu mult forța utilă produsă de cilindrul piezoceramic la
aplicarea unei tensiuni sinusoidale. Cazul funcționării unui motor solicitat la o forță de frecare
mai mare decât forța utilă nu poate fi întâlnit în practică. În orice situație, pentru ca un motor
electric să funcționeze la turațiile stabilite, el trebuie să producă în primul rând un cuplu util cel
puţin egal cu cuplul de frecare dinamic. Astfel, soluția deplasării dată de ecuația 4.35 nu poate da
o viteză la fel de mare, iar cu cât forța axială va crește, rotorul va tinde să încetinească până la
oprire. Viteza poate cel mult să crească până în momentul în care se atinge o forță axială optimă
și implicit o presiune optimă în punctele de contact dintre stator și rotor. Relația 4.35 este exactă
numai pentru un interval bine stabilit de variație a forței axiale.
În figura 4.8 sunt date comparativ cele două caracteristici, teoretică și experimentală, de
variație a vitezei de rotație în funcție de tensiunea sinusoidală aplicată tubului piezoceramic, aflat
în jurul frecvenței de rezonanță mecanică. Ambele caracteristici au fost trasate pentru un interval
de variație a tensiunii efective între 10  16 V . Forța axială este considerată constantă,
aproximativ 2 N.

68
 Fig. 4.8 Caracteristica teoretică şi experimentală a vitezei funcţie de tensiunea de alimentare.

Montajul experimental de variație a vitezei s-a realizat cu ajutorul unui booster comandat
de la un generator de frecvență. Boosterul permite un interval de variație între 0  25 V a
tensiunii de alimentare, etajul de amplificare putând genera chiar până la 50 V tensiune maximă
și 100000 Hz frecvență de oscilație a semnalului dată de generatorul de frecvență. Montajul este
explicat mai pe larg în capitolul 9. Deși viteza de rotație este mai mică decât cea nominală,
motorul piezoelectric ar trebui să aibă aceleași caracteristici la diferite amplitudini ale câmpului
electric aplicat. Teoretic, viteza de rotație crește proporțional cu tensiunea de alimentare, dar
practic se observă o variație puțin neliniară a vitezei.

5. Modelarea matematică în regim oscilatoriu. Propagarea undelor

progresive eliptice în materialul piezoelectric

În continuare este prezentată ecuația de propagare a undelor ultrasonice în materialul

piezoceramic, considerând o secțiune de calcul circulară. Direcția de propagare a undei este de-a
lungul circumferinței, astfel că putem avea două amplitudini ale deplasării, verticale și radiale.
Cea mai importantă componentă a deplasării este cea radială, de aceea se ia în calcul doar o
secțiune circulară. Unda progresivă de acest tip va tinde să solicite succesiv în timp la întindere și
compresiune părțile laterale ale cilindrului piezoceramic.

 2u   2u  2u 
 = T0
 x 2  y 2   F
t 2   (5.1)

69
 Dacă avem o singură coordonată (spre exemplu, x) ecuația definește propagarea undelor
pentru o coardă, iar bidimensional ca în cazul de față ecuația definește propagarea undelor pentru
o membrană.

 2u 2  u  2u 
2
T0 F
= v 
0    f0 v 02 = f0 =
t 2  x
2
y 2    (5.2)

 2u 2  u 1 u 1  2 u 
2
= v 
0     f0
t 2  r
2
r r r 2  2  (5.3)

Datorită distribuţiei simetrice în jurul axei cilindrului rezultă o dependenţă numai în

funcţie de rază şi în regim dinamic, unghiul fiind luat în calcul doar ca o coordonată spaţială.
Cum nu avem solicitări externe variabile, ci doar o presiune constantă în punctul de
contact ce generează o tensiune mecanică internă, putem simplifica următoarea ecuație ținând
cont de faptul că f 0 = 0 . În acest caz nu avem vibrații forțate, membrana tubulară oscilând liber.

 2u 2  u 1 u 
2
= v 
0  
t 2
 r
2
r r  (5.4)

Prin metoda separării variabilelor putem scrie soluţia generală a undei, separând astfel
coordonatele spațiale de variația în timp a deplasării:

u  r ,  , t  = u r  r       T  t  (5.5)

În coordonate polare vom avea trei soluții distincte, o soluție ce depinde de rază
(determinată în capitolul anterior de modelare), o soluție ce depinde de poziția pe circumferință și
soluția dată de variația în timp a deplasării.

Ecuația dependentă de timp are soluția T (t ) și poate fi scrisă:

d 2T
2
  2T = 0
dt (5.6)
Partea reală a soluţiei este T  t  = C cos t  .

Deplasarea circumferenţială se anulează datorită simetriei. Practic, vom avea numai amplitudinea
deformării radiale. Există doar o dependenţă sinusoidală în funcţie de unghi şi variaţia în timp.
Soluţia u r  r  a fost calculată în capitolul 4 de modelare, iar soluția generală poate fi
scrisă în funcție de regimul bifazat setat la un unghi de 90° atât electric cât și geometric, indiferent
de poziția pe circumferință dată de unghiul  :

u  r ,  , t  = K r  u r   cos t  cos k  sin t  sin k  (5.7)

70
În regim de alimentare bifazat se va crea o undă progresivă de forma:

u  r ,  , t  = K r  u r  cos t - k  (5.8)

Constanta K r depinde de modul de vibrație și se determină în funcție de tipul alimentării,

monofazată sau bifazată. În regim bifazat amplitudinea vibrației trebuie să rămână la fel ca în
regim monofazat.
Puterea totală necesară alimentării ambelor faze trebuie să fie egală cu puterea electrică
consumată în regim monofazat.

P1 = U s I s  U t I t = 2UI (5.9)

Prin acest calcul putem echivala cele două puteri din regimul bifazat cu o singură putere
în regim monofazat, astfel încât circuitul electromecanic să fie analizat numai pentru o singură
fază. Modelul matematic analizat în regim monofazat se va putea echivala cu cel bifazat stabilind
următoarele relații între curenți și tensiuni:

P1 =  2U  2I  = U I1 1 (5.10)

U 1 , I 1 - tensiunea și curentul în regim monofazat

U , I - tensiunea și curentul pe o singură fază în cazul regimului bifazat
P1 - puterea totală electrică consumată pentru ambele regimuri

Relațiile de legătură între regimul monofazat și cel bifazat pentru aceeaşi amplitudine a vibraţiei:

I1 = 2  I , U1 = 2  U (5.11)

Viteza de propagare a undei progresive în materialul piezoceramic este practic și viteza cu

care rotorul este antrenat în sensul opus. Cele două viteze sunt de sens contrar deoarece
microparticulele de material piezoceramic de pe marginea cilindrului aflate pe „crestele” undei
tind să fie împinse în sens invers față de direcția de propagare.

I1 2I I A
= = = = 2
A A Am Am (5.12)

Sarcina electrică acumulată de elementul piezoelectric este proporțională cu deplasarea la

orice moment de timp. Raportul între sarcină și deplasare îl reprezintă chiar factorul de forță al
sistemului electromecanic.

q t  = u  t   A (5.13)

71
 Orice variație în timp a sarcinii electrice dă o variație a deplasării care multiplicată cu
factorul de forță este chiar curentul electric absorbit de către cilindrul piezoceramic. Altfel spus,
curentul care circulă în elementul electromecanic este dat viteza de propagare a undei
multiplicată cu factorul de forță A.

dq du
I= = - Am u r sin  t - k  = A  Am u r sin  t - k  = K r A  u r sin  t - k 
dt dt (5.14)

Am = K r  A , (5.15)

este factorul de forță corespunzător unui anumit mod de vibrație, factorul de forță modal. Cum
1
factorul de forță modal depinde de K r și A, va rezulta egalitatea K r = .
2
N
r-a
Dar K r =   (5.16)
b-a ,

este un factor dependent de modul de vibraţie şi implicit geometria elementului piezoceramic.

ab
Dacă se consideră o rază medie r = a cilindrului pentru care se calculează K r avem
2
N
 ab 
 -a
Kr =  2  . (5.17)
 b-a 
 
 

N
1 1 1
Din expresia anterioară K r =   = N= , alegerea factorului modal este verificată și de
2 2 2
geometria cilindrică [46].

Anterior s-a stabilit că viteza unghiulară a rotorului poate fi calculată în funcție de variația
deplasării în timp, ecuația 5.18.

u
v= = - K r u r f sin  t - k 
t (5.18)

Factorul modal Kr a fost calculat ca fiind 1 2 considerând armonica fundamentală și raza

medie, u r , u z amplitudinile vibrațiilor radiale și verticale se calculează cu ajutorul formulelor
4.34, 4.37 din capitolul 4 de modelare, iar frecvența f = 32750 Hz (vezi programul din Anexa
IV).

72
Viteza maximă a undei progresive este determinată în funcție de amplitudinea maximă a vibrației
radiale. La diferite momente de timp se pot stabili și geometric pe circumferință locațiile unde
apar maximele și minimele deplasării radiale. Spre exemplu la momentul de timp t = 0 avem

sin  k  = 1  k = . Se observă că la fiecare limită de separare între doi electrozi de
2

alimentare defazați geometric cu apar deformațiile maxime. Același lucru se observă și din
2
simulările următoare efectuate cu ajutorul programului COMSOL 3.3. Știind că în realitate apar
vibrații radiale cât și verticale considerăm că avem următoarea deplasare rezultantă ut = ur2  u z2 .

60 v m 60 K r u t f 60 0.92  10 -6  32750
n=  =  =  = 16  rpm
2 a 2 a 2 2  0.0125 (5.19)

Fig. 5.1 Turaţia funcție de rază.

Turația maximă obținută din calcul este mai mare decât cea determinată pe cale
experimentală la frecvența de rezonanță respectivă. Putem concluziona astfel că modelul actual
nu ia în calcul pierderile undei prin frecare (internă și externă). Turația poate fi estimată mai exact
introducând în ecuații, la numitor, un coeficient de corecție ce ține cont de pierderile respective.
Modificând forţa axială și păstrând tensiunea electrică constantă pentru elementul
piezoceramic, va rezulta o dependenţă a vitezei ca în fig. 5.2.
Pentru tensiunea vârf la vârf de U vv = 18 V = ct. Fax = 1.5, 4.5, 7.5 N Ac = 2az = 7.85 mm .
2

Pentru o frecvenţă de 31250 Hz, puţin mai mică faţă de punctul de rezonanţă, se vor trasa
graficele teoretice și experimentale ale variației vitezei funcție de forța axială aplicată.

73
Fig. 5.2 Caracteristicile teoretice și experimentale ale vitezei unghiulare în funcție de forța axială
aplicată.

Deoarece frecvența de alimentare e puțin defazată de punctul de rezonanță, se atinge

viteza maximă de 7.8 rpm ; cum s-a mai observat înainte, în punctul de rezonanță viteza
maximă atinsă este de 9 rpm. Cu cât forța axială crește, viteza scade treptat până la oprire, caz în
care forța de frecare depășește forța de antrenare a rotorului.
Se va analiza cazul producerii undei ultrasonice progresive folosind configurația de
alimentare (-Sin)(-Cos)(Sin)(Cos) (Fig. 5.3 b). Pentru producerea undei ultrasonice progresive
avem nevoie de un defazaj de 90 grade între cele două tensiuni de alimentare și aceeași
amplitudine.

a) b)
Fig. 5.3 a) Alimentarea cu tensiuni defazate la 90 grade și aceeași amplitudine

74
 b) Configurația de alimentare a fiecărui sector piezoceramic pentru producerea undei
ultrasonice progresive.

În poziția 0 avem momentul inițial de timp, iar în poziția 2 avem o perioadă (T)
completă de oscilație a tensiunii de alimentare. Fiecare cifră înmulțită cu perioada T/8 dă
  3 5 3 7
coordonata de timp respectivă sau unghiul în radiani de 0 (2 ), , , , , , , .
4 2 4 4 2 4

Fig. 5.4 Deformare cilindru la diferiți timpi 0,1/8, 2/8....8/8*T, corespunzători perioadei T.

Se observă că această configurație corespunde unei unde progresive a deformării.

La momentul de timp zero sau T  2  vom avea tensiunea maximă U pentru electrozii
alimentați cu semnal cosinusoidal, în simulare la poziția 0 sectoarele de cerc ale electrozilor
alimentați cosinusoidal sunt solicitate la deformații maxime, iar pentru sectoarele cu semnal
sinusoidal tensiunea de alimentare este zero. În pozițiile 1 și 5 ale semnalelor, la unghiuri de 45°
și 225°, se obțin solicitări uniforme ale materialului piezoelectric, fiecare dintre cele patru
sectoare fiind alimentate cu tensiunea 0.707  U . În mod similar, la momentul de timp 2T / 8 sau

unghiul , poziția 2 din simulare, avem deformațiile maxime pentru sectoarele alimentate cu
2
semnal sinusoidal, iar pentru celelalte două sectoare alimentate cu semnal cosinusoidal tensiunea
este zero. Codul culorii se păstrează la fel ca și pentru celelalte programe de modelare 3D: cu
roșu avem zonele de deformare maximă, cu verde și galben avem zonele de deformare puțin
peste și sub medie, cu albastru deschis deformările foarte mici, iar cu albastru închis se reprezintă
deformarea minimă.
Principalele zone marcate cu roșu sunt localizate pe “buzele” cilindrului sau la limita de
separație între cele patru sectoare de cerc. În aceste locații amplitudinea deplasării este maximă
pentru unda progresivă generată de alimentarea bifazată (-Sin)(-Cos)(Sin)(Cos).
Există doar câteva discontinuități referitoare la observațiile stabilite anterior, în poziția 4 a
unghiului exprimat în radiani  se remarcă o deplasare uniformă minimă, iar în poziția 7
deformări uniforme de valori mici și medii, sub 0.6 m . La sfârșitul capitolului este prezentat

75
un tabel cu toate deplasările obținute pentru toate cele 8 poziții ce descriu comportamentul
convertorului piezoceramic de-a lungul unei perioade complete T.

Fig. 5.5 Modelarea unei secțiuni din cilindrul piezoceramic pentru o tensiune de alimentare de
25V și o forță axială de 1N.

Tridimensional s-a lucrat în coordonate carteziene și s-au stabilit pentru fiecare sector în
parte condițiile de frontieră. În plus, simulările anterioare au fost efectuate numai alimentând cu
tensiuni sinusoidale cele 4 sectoare, ignorând efectul direct piezoelectric produs de presiunea
exercitată de către rotor în punctele de contact cu statorul, atunci când se exercită forța axială.
Calculul poate fi simplificat pentru un model 2D al unei secțiuni transversale care să
includă toate solicitările mecanice atât pentru efectul direct, cât și pentru efectul invers
piezoelectric. Pentru forțe axiale de peste 1 N se remarcă o deformare mult mai mare în zonele
punctelor de contact, situate la limita suprafeței interioare a cilindrului piezoceramic. Spre
exterior deformația cilindrului este mai mică, sectoarele respective fiind alimentate la tensiunea
efectivă de 25 V. În figura 5.5, pentru o forță axială de 1 N și o tensiune efectivă de 25 V s-au
obținut deplasări de maxim 0.12 m .

76
Fig. 5.6 Modelarea unei secțiuni din cilindrul piezoceramic pentru o tensiune de alimentare de 25
V și o forță axială de 14N.

O forță axială și mai mare va crește în continuare amplitudinea deplasării, fiind maximă
de-a lungul suprafeței de contact dintre stator și rotor. Pentru o forță axială importantă de 14 N și
aceeași tensiune de alimentare de 25 V, deplasarea maximă obținută este de 1.63 m . Situația
corespunde cazului real în care la aceleași solicitări s-au obținut deplasări de peste un micron.
Distribuția de culori arată că în zona cu roșu închis avem o presiune externă exercitată mai mare
decât tensiunile mecanice interne produse în urma polarizării electrice.
În realitate, cilindrul piezoceramic nu este supus unei presiuni uniforme pe toată suprafața
interioară, așa cum a fost construit modelul de simulare. Modelul a fost însă verificat și nu există
mari diferențe între o zonă de 0.1 mm lungime sau una de 2 cm lungime, atât cât are în total tubul
piezoceramic. Practic se ia în considerare simetria axială și radială, astfel pentru orice element
sau sector analizat din jurul circumferinței vom avea rezultate similare.
Modelul bidimensional nu poate să prevadă zonele de deformare maximă situate la
frontiera dintre două sectoare succesive sau diferența între deformații de-a lungul circumferinței

77
pentru unghiuri și raze diferite, deoarece se consideră că orice secțiune radială aleasă este
simetrică și furnizează rezultate similare. În figura 5.7 s-a extras deplasarea radială în funcție de
grosimea tubului piezoceramic ce variază între 0 și 4 mm. Pentru o forță axială de 14 N se obține
o deplasare de 1.4  1.6 m .

Fig. 5.7 Deplasarea radială funcție de grosimea tubului piezoceramic pentru o forță axială de
14N.

Deplasarea radială crește cu cât ne apropiem mai mult de suprafața interioară a cilindrului, iar la
exterior deplasarea radială este minimă. Astfel, indiferent de forța axială și tensiunea electrică
aplicată, deplasarea radială este maximă la interfața stator-rotor.
Un material piezoelectric își îmbunătățește proprietățile sale atunci când forța sau
tensiunea electrică este aplicată pe o suprafață cilindrică cât mai mare și grosimea tubului este
foarte mică. În plus, este necesar să avem constantele piezoelectrice specifice direcției radiale și
verticale apropiate de valorile maximale atinse în literatură și industrie.
O grosime prea mare a materialului piezoelectric poate rigidiza și reduce din
deformabilitate, cu cât modulul lui Young (modulul de elasticitate, inversul complianței) este mai
mic, cu atât crește și deformabilitatea materialului. Principalele constante de material folosite în
simulări și calcule sunt complianța s și constanta de încărcare cu sarcină electrică d. În simulările
de față s-au folosit constanele de material specifice materialului tip PZT-5A (vezi Cap. 4).

78
Fig. 5.8 Simulare 3D a deformării totale a cilindrului la perioada de timp 6T/8, punctul maxim al
sinusului și punctul zero pentru cosinus.

79
Fig. 5.9 Simulare 3D a deformării totale a cilindrului la perioada de timp 1/8*T punctul mediu al
cosinusului și sinusului (cross point).

Fig. 5.10 Simulare 3D a deformării totale a cilindrului la perioada de timp 2T/8, punctul minim al
cosinusului și maxim al sinusului (cross point).


La momentul de timp 6T/8 sau 2T/8,  dintr-o perioadă, se vizualizează deformările
2
predominante ale sectoarelor alimentate cu tensiune sinusoidală, celelalte două sectoare
alimentate de la un semnal cosinusoidal generând deplasări minime.
Materialul tinde să se comprime către două limite de separație vecine și să se întindă spre
celelalte două limite de separație din partea opusă. Aplicând succesiv solicitări la întindere și
compresiune și printre ele reveniri la poziția inițială, se construiește o undă progresivă în material
care înaintează odată cu modificarea poziției de alimentare a sectoarelor pe circumferință.
Deoarece frecvența de alimentare în jurul punctului de rezonanță este de 32000 Hz, putem afla
timpii și perioada T de oscilație, T = 0.00003125 s . Știind perioada de oscilație se determină
deplasarea la orice moment de timp; astfel, au fost aleși 8 timpi diferiți de simulare și calcul de
microdeplasări pentru întregul volum al cilindrului ce acoperă o întreagă perioadă de oscilație. În
calculul real s-a utilizat un pas mult mai fin de rezolvare a soluțiilor, cam de 30 ori mai mic decât
perioada de oscilație (0.000001 s). Timpul total de calcul a fost de peste 8 ore pentru o rețea
(mesh) cu aproximativ 3623 elemente, iar pentru 2-3 ore de calcul s-a utilizat o rețea nodală cu
numai 248 elemente. Simulările cu elemente finite puține, sub 200, tind să nu mai acopere cu
precizie prin calcul întregul volum al cilindrului, deoarece circumferința devine un poligon cu
mai puțin de 8 laturi. Deja la un mesh de 248 elemente avem circumferința definită de un
octogon.

80
 Utilizarea programului COMSOL este foarte intuitivă, necesitând doar un mic exemplu de
calcul pentru a parcurge toate etapele necesare introducerii datelor inițiale și a metodei de calcul.
Prima etapă este definirea tipului de problemă, analiza în frecvență, în timp sau în regim
static a unui sistem electromecanic 2D sau 3D cu simetrie axială, mai precis al unui material
piezoelectric din domeniul MEMS. A doua etapă este de definire a geometriei, trasarea se face
din anumite puncte în coordonate carteziene, coordonata zero este de la început fixată pe axa de
simetrie. Construcția geometrică are numeroase facilități; se poate defini un dreptunghi la o
anumită distanță de axa de simetrie, ulterior se modifică din alt stadiu micșorând laturile sau
schimbând cu totul poziția. Se construiește un cilindru plin în jurul axei de simetrie care are deja
patru sectoare separate. Din el se extrage tot volumul unui alt cilindru similar plin de dimensiuni
mai mici, obținând exact tubul piezoceramic al motorului MPR33.
A treia etapă este cea de introducere a condițiilor de frontieră (Boundary Settings). Aici se
stabilește și modul de alimentare sinusoidală, dacă avem o analiză a soluției în timp. Pentru o
analiză statică 2D la fel ca în figurile 5.5, 5.6 se introduce tensiunea maximă pentru latura
exterioară a dreptunghiului din selecția „Electric BC” și pentru latura interioară se alege masa
Ground și solicitarea radială din selecția „Load”. În cazul lățimii dreptunghiului nu avem nici un
fel de solicitare, nici electrică, nici mecanică. Din meniu se alege pentru fiecare categorie, Zero
Charge/Symmetry pentru partea electrică și „No Load” (necompletat) sau zero pentru solicitarea
mecanică.
În simularea 3D condițiile de frontieră se aleg în mod similar pentru fiecare sector circular
în parte. Fiecare din cele patru sectoare ale suprafeței exterioare este alimentat cu o tensiune de
forma U t  = 50 * sin(64000 * pi * t) sau U t  = 50 * cos(64000 * pi * t) , respectând succesiunea
(-Sin)(-Cos)(Sin)(Cos) de faze, pentru a avea în final o undă progresivă. La fel ca în cazul static
se alege masa (Ground) ca fiind întreaga suprafață interioară a cilindrului. Deoarece se lucrează
în coordonate carteziene, pentru toate simulările 3D, solicitarea mecanică radială externă nu se va
mai lua în considerare.
A patra etapă este cea a alegerii materialului sau a definirii lui prin completarea diferitelor
matrici corespunzătoare constantelor de material. Materialul PZT-5A a fost definit cu ajutorul
matricei complianței și a constantei de încărcare cu sarcină electrică (s și d). Fiecare valoare din
matrice aparține unei axe cristalografice de polarizare, iar simetria cristalului determină și
anumite puncte de zero. Fiecărui subdomeniu i se poate atribui un material selectând din meniu
Physics, setări subdomeniu (Subdomain Settings) și „Material settings”. Se pot selecta două
moduri de scriere a ecuațiilor piezoelectricității, în funcție de deplasare și sarcina electrică sau în
funcție de tensiunile mecanice interne și sarcina electrică. În acest caz s-a ales scrierea deplasării
în funcție de solicitările mecanice și sarcina electrică generată prin polarizarea cilindrului,
 L =  s     d  E , legăturile între partea mecanică și cea electrică fiind realizate chiar de cei doi
tensori s și d.
În etapa cinci se generează rețeaua nodală (mesh) cu elemente finite, care va acoperi
automat toate sectoarele și frontierele selectate. Rețeaua poate fi generată și manual din meniul
programului. În simulări, rețeaua a fost generată automat pentru două situații: extra grosieră cu
timp de calcul mult diminuat și normală, ce necesită peste 8 ore de calcul al soluțiilor la fiecare
moment de timp.
Etapa șase constă în stabilirea intervalului de eșantionare, a metodei de calcul a soluției și
a diverselor opțiuni de memorare a soluțiilor pentru tot intervalul de timp specificat. Deoarece
memoria RAM a calculatorului nu permitea salvarea fiecărei soluții pe intervalul de timp dat
chiar de perioada de oscilație, am optat pentru salvarea calculelor într-un fișier. Calculatorul a

81
necesitat un timp mare de procesare datorită multitudinii de soluții analizate pe o rețea de
elemente finite. Spre exemplu, pentru rețeaua extragrosieră a rezultat un fișier de date ce în final
depășea 800 Mb, iar pentru rețeaua normală de peste 3000 de elemente s-a obținut un fișier de
date de aproximativ 5 Gb.
Ultima etapă este cea în care se analizează rezultate obținute, se mai numește și etapa de
postprocesare și vizualizare. Aici se poate opta pentru foarte multe variante de afișare 3D a
soluției. Am ales varianta de deformare a suprafețelor, mai ales pe contur, deoarece acolo se
observă cel mai bine modurile de vibrație și solicitările la întindere sau compresiune. A doua
opțiune a fost de afișare a deplasării totale pe întregul volum, astfel că se va putea distinge
distribuția deformației atât pe direcție radială cât și pe direcție verticală.
Pe scurt aceasta a fost metodologia de lucru în programul COMSOL, valabilă pentru cele
trei tipuri de simulări, o simulare 2D cu simetrie axială ce ia în calcul toate solicitările mecanice,
o simulare 3D de calcul și vizualizare a undei progresive și a modurilor de vibrație și în final o
simulare 3D pentru configurația de alimentare (Sin)(Cos)(Sin)(Cos). Această configurație nu
creează o undă progresivă decât atunci când se folosesc în loc de cilindru plăcuțe piezoceramice
separate cu polarizare inversă pe direcție radială, cazul motorului Squiggle.
Configurația a fost folosită pentru a alimenta motorul piezoelectric în regim bifazat, cu
ajutorul a două conexiuni de alimentare ce unesc fiecare câte două sectoare opuse ale suprafeței
exterioare și un punct de masă conectat la suprafața interioară pentru a realiza o polarizare
radială. Cu acest mod de alimentare se poate obține o amplificare a undelor Raleigh de suprafață.
Pentru o configurație de alimentare a celor 4 electrozi ai suprafeței cilindrice exterioare
(Sin)(Cos)(Sin)(Cos) avem următoarele rezultate ale simulării (tensiunea de alimentare maximă
este de 50 V, U 2 ):

82
Fig. 5.11 Deformarea “buzei” cilindrului pentru momente de timp diferite, corespunzătoare unei
perioade.

Valorile deformațiilor la momentele de timp respective sunt trecute în tabelul 5.I. Deformația
maximă apare la momentul de timp 2T / 8 , respectiv un unghi geometric de 90  . Simularea a
fost realizată doar schimbând configurația de alimentare cu tensiune electrică, în rest se păstrează
aceleași condiții inițiale de frontieră, aceleași date de intrare. O deformare 3D interesantă a
convertorului piezoceramic apare la momentul de timp 3T / 8 . Se observă că aproape toată
structura cilindrului piezoceramic este solicitată la întindere și compresiune în același timp. Dacă
analizăm variația tensiunilor de alimentare din figura 5.3 a) se poate deduce că exact la momentul
de timp 3T / 8 fiecare sector piezoceramic este alimentat cu o tensiune de aceeași amplitudine.

83
 Fig. 5.12 Deformarea 3D a convertorului piezoceramic cilindric la momentul de timp 3T/8.

La momentul de timp 3T/8 cele două vibrații sinusoidale și cosinusoidale se compun într-
o singură undă, dar nu putem spune că această undă este progresivă deoarece nu obținem o
variație în timp similară, care să indice acest lucru.
Amplitudinea medie a deplasării pentru întreaga variație, timp de o perioadă (T), este în acest caz
între 0.1  0.6 m , vezi tabelul 5.I.

Tabel. 5.I
0° 45° 90° 135° 180° 225° 270° 315°
(T) (T/8) (2T/8) (3T/8) (4T/8) (5T/8) (6T/8) (7T/8)
Deplasare totală 0.0379 0.567 0.0844 0.0907 1.18 0.290 0.120 0.572
[µm]
Configurație
Sin-Cos-(-Sin)-
(-Cos)
Deplasare totală 0.137 0.579 2.43 0.0779 0.0961 0.459 0.395 0.104
[µm]
Configurație
Sin-Cos-(Sin)-
(Cos)

84
6. Determinarea modurilor de rezonanţă şi a deplasărilor prin
procedee interferometrice liniare

Fig. 6.1 Determinarea deformaţiei membranelor folosind un interferometru tip Michelson,

realizat de firma Agilent.

Instalaţia de determinare a deformaţiei probei (membrană, actuator piezoelectric) se compune

din:

1-cap laser aşezat pe un tripod reglabil;

2-interferometru liniar cu retroreflector liniar ataşat;
3-două retroreflectoare liniare;
4-electrozi speciali de alimentare (în cazul motorului piezoelectric sunt atașați direct din
construcție);
5-folie izolatoare;
6-cablu de alimentare;
7-proba (membrana, motorul ultrasonic) de măsurat;
8-raza laser generată de capul laser;
9’-raza laser reflectată înapoi la detectorul capului laser, din retroreflectorul liniar ataşat
interferometrului;
9-raza laser reflectată înapoi de la retroreflectorul liniar aşezat peste proba de măsurat;
10-stativ interferometru.

Deoarece softul include mai multe tipuri de măsurători, iniţial trebuie să alegem din soft
procedura de măsurare. În meniul alte măsurători se selectează procedura de măsurare liniară în
timp, a poziţiei.
Interferometrul optic este fixat pe un stativ şi va fi aşezat astfel încât să obţinem o aliniere
cât mai bună a undei reflectate. Pentru a avea erori cât mai mici de măsurare, este recomandat ca

85
unda reflectată să fie aliniată în proporţie de peste 70%. Instalaţia interferometrului Agilent
conţine un soft avansat care afişează şi precizia de aliniere.
Pentru a simplifica procedura de aliniere, interferometrul va rămâne fix pe stativ la o
anumită înălţime, la fel ca şi capul laser. Alinierea lor va fi făcută iniţial înainte de începerea
măsurătorilor.
Pentru a obţine o aliniere foarte precisă, retroreflectorul liniar amplasat peste proba de
măsurat va fi deplasat de fiecare dată împreună cu proba de măsurat.
Retroreflectorul liniar este o prismă de geometrie tip “colţ de cub” şi are rolul de a
reflecta înapoi raza laser. Raza laser reflectată va fi perfect paralelă cu raza incidentă.
Retroreflectorul liniar ataşat de interferometrul optic va da o undă reflectată de referinţă (9 ’)
pentru detectorul capului laser.
Retroreflectorul liniar amplasat deasupra probei de măsurat va da unda reflectată 9, ce se va
compara cu unda de referinţă 9’. Diferenţa măsurată de către detector va da chiar deplasarea
actuatorului piezoelectric rotativ sau a membranei, pe axa verticală.
Membrana poate fi alimentată de la o sursă de tensiune continuă sau o sursă de curent
alternativ. În funcţie de grosimea şi caracteristicile de material se stabilește o tensiune maximă de
alimentare, astfel încât să evităm strapungerea probei [48].
Pentru a obţine o măsuratoare cât mai exactă, electrozii de alimentare trebuie să asigure
planeitatea şi stabilitatea retroreflectorului liniar.
Electrozii de alimentare şi membrana de măsurat nu pot avea dimensiuni foarte mici în
comparaţie cu dimensiunile reflectorului, deoarece se poate strica stabilitatea mecanică a
ansamblului probă-retroreflector și implicit întregul sistem de măsurare va deveni instabil.
În funcţie de dimensiunea şi forma geometrică a membranelor se pot alege sau prelucra
electrozi. Dacă electrozii rigidizează prea mult membrana de măsurat, amplitudinea deplasării
observate va scădea foarte mult. Astfel, trebuie ales un optim al greutăţii şi elasticităţii întregului
ansamblu membrană-electrod.
Deoarece membranele au caracter piezoelectric, trebuie luată în calcul şi greutatea
retroreflectorului.
Între electrozi, masa de măsură şi retroreflectorul liniar sunt dispuse două folii subţiri
izolatoare pentru protecţia la un eventual scurtcircuit.
După ce proba a fost introdusă între cei doi electrozi plani şi procedura de aliniere a fost
efectuată, întreg sistemul optic trebuie lăsat un anumit timp pentru a obţine o stabilizare din punct
de vedere mecanic (relaxarea membranei).
În figura 6.2 este prezentată variaţia iniţială în timp a poziţiei probei.

Fig. 6.2 Variaţia în timp a poziţiei până când se obţine stabilizarea mecanică a sistemului.

86
 Dacă sistemul optic a devenit stabil din punct de vedere mecanic, eliminându-se şi
eventualele vibraţii externe sau interne, se pot începe măsurătorile.
Membrana este alimentată succesiv la diferite tensiuni de alimentare, începând cu 1, 10,
50, 100 V..., până când observăm o deplasare semnificativă. Interferometrul poate măsura cu o
precizie de 10 nm eventualele deplasări.
Motorul piezoelectric rotativ MPR33 este alimentat de la o sursă bifazată de curent
alternativ și frecvență variabilă. Etajul de putere al sursei ce conține partea de amplificare și
reglare a tensiunii, împreună cu generatorul de semnal cu frecvență variabilă constituie structura
de bază a oricărei surse folosite în comanda motoarelor ultrasonice rotative.
În experimentul de aflare a diferitelor moduri de rezonanță ale motorului ultrasonic se
procedează astfel:

- se demontează carcasa și se scoate rotorul, astfel încât, partea superioară a convertorului

piezoceramic tubular să rămână liberă;
- se așează convertorul piezoceramic tubular pe stativ și pe „buza” circulară superioară se
fixează retroreflectorul, respectându-se procedura de aliniere prezentată anterior;
- se pornește softul și se activează începerea măsurătorilor liniare;
- se verifică stabilitatea mecanică a sistemului;
- se pornește sursa și se verifică preliminar spectrele de frecvență de interes și spectrele de
frecvență fără influență în modificarea poziției;
- se repornește experimentul baleind frecvența din punctele fără influență, până când se
parcurge tot spectrul de interes, în interiorul căruia s-au obținut deplasări vizibile;
- se determină și se înregistrează modurile de rezonanță, știind faptul că amplitudinea
maximă a deplasării corespunde exact acelor puncte de rezonanță.

S-a considerat inițial faptul că în afara spectrului de frecvență de interes deplasările sunt
neglijabile. Teoria undelor ultrasonice produse de către un motor piezoelectric rotativ confirmă
acest lucru prin faptul că în afara modurilor de rezonanță motorul nu poate funcționa, deci
amplitudinea vibrațiilor este minimă. Aceasta este o caracteristică deosebit de importantă a
motoarelor cu undă ultrasonică, practic rezonanța și punctele din jurul rezonanței determină
transferul optim (amplitudinea maximă a vibrației) a impulsului mecanic dinspre stator către
rotor.
În acest experiment avem cazul statorului „liber”, unde pierderile mecanice și electrice sunt
neglijate. Teoria statorului „liber”, fără pierderi, este prezentată în capitolul următor cu ajutorul
schemelor electromecanice. Indiferent de cazul ideal sau real se observă respectarea aceluiași
punct de rezonanță.
Modificarea cu câteva sute de hertzi a punctului de rezonanță se poate face numai prin
modificarea forțelor axiale, implicit a forței de frecare și a presiunii de contact între stator și rotor.
Conform experimentului s-a stabilit punctul optim de funcționare ca fiind în jurul frecvenței de
33.725 kHz. Acesta este modul de funcționare normal stabilit și de celelalte determinări
experimentale prezentate în capitolul de caracterizări funcționale specifice.
În dreptul punctului de funcționare optim s-au obținut deplasări maxime de 220 nm.

87
 Fig. 6.3 Punctul de funcționare optim al motorului piezoelectric stabilit în jurul frecvenței de
33.725 kHz.

Deplasarea axială măsurată este u zmas = 220 nm .

Obiectivele acestui studiu au constat în stabilirea limitelor intervalului de variaţie a frecvenţei în
care se simte vizibil o deplasare și în detectarea amplitudinii maxime a acesteia, corespunzătoare
punctului de rezonanță.
Pentru a realiza un grafic deplasare-frecvenţă ar fi fost necesar un sistem complet de achiziţii de
date în timp real atât de la osciloscopul digital (cu care s-a măsurat frecvenţa) cât şi coordonarea
lui cu timpul de achiziţie al sistemului interferometric, complicaţie inutilă, care oricum nu făcea
obiectul studiului.

Fig. 6.4 Stabilirea spectrului de interes din jurul modului de rezonanță, aflat la 33.725 kHz.

88
 S-a observat și al doilea mod de rezonanță în jurul frecvenței de 30.900 kHz. Acesta a fost
numit modul de rezonanță reversibil, deoarece în acest caz se produce reversarea sensului de
rotație al rotorului. Dacă sensul de propagare al undei ultrasonice poate fi reversat în regim
bifazat prin interschimbarea defazajului de la o fază la cealaltă, în regim monofazat sensul de
rotaţie rămâne neschimbat deoarece avem o undă staţionară. În acest caz este foarte util cel de-al
doilea mod de rezonanţă, pentru a putea reversa sensul de rotaţie al rotorului. Chiar şi în regim
bifazat modul de rezonanţă reversibil este util, deoarece se poate simplifica partea electronică de
comandă. Modul de rezonanţă reversibil are însă dezavantajul unei eficienţe mai scăzute în
funcţionare. Deplasarea maximă obţinută în acest caz este mai mică decât în regimul de
funcţionare normal, 180 nm, implicit viteza de rotaţie în sensul opus este mai mică. Dacă spre
exemplu viteza maximă în regim de funcţionare normal este de 9 rpm, în regim de reversare a
sensului de rotaţie viteza nu depăşeşte 5-6 rpm.

Fig. 6.5 Stabilirea spectrului de interes din jurul modului de rezonanță, aflat la 30.900 kHz.

Fig. 6.6 Baleierea preliminară pe un spectru larg de frecvențe și determinarea zonelor de interes.

89
În figura 6.6 s-a încercat o baleiere pe un spectru larg de frecvenţe înregistrând în timp orice
deplasare. Zonele de rezonanţă se pot identifica în momentul în care se obţine deplasarea
maximă.

Fig. 6.7 Măsurarea deplasărilor radiale în jurul punctului de rezonanţă, folosind un palpator cu
pas micrometric.

Deplasările măsurate cu interferometrul liniar sunt aproximativ de același ordin cu cele estimate
teoretic în capitolele 4 şi 5. La frecvența de rezonanță electrică de 33725 Hz s-a determinat
experimental o deplasare verticală maximă de 220 nm, teoretic această deplasare axială este
estimată la 150 nm.

Tabel 6.I
MPR33 Deplasare Deplasare Deplasare Deplasare
Tip material verticală verticală radială radială calculată
PZT-5 măsurată [nm] calculată [nm] măsurată [μm] [μm]
U=ct.=45 V 220 150 2 1.44
F=ct.=3 N

90
Tabelul 6.I este un tabel comparativ între deplasările estimate pe cale teoretică reprezentate grafic
în capitolul 4 și deplasările determinate pe cale experimentală, cu ajutorul interferometrului liniar
sau folosind palpatorul cu pas micrometric digital.
Retroreflectorul nu poate fi fixat într-o poziţie stabilă pentru măsurarea deplasărilor radiale, astfel
că în acest caz se va folosi un palpator cu precizie micrometrică. Deplasările radiale măsurate în
jurul aceleiaşi frecvenţe de rezonanţă sunt de aproximativ 1  2 m . Datorită generării unei unde
ultrasonice palpatorul va sesiza succesiv o deplasare de amplitudine egală.
Iniţial s-au făcut două încercări, s-a reglat sursa la frecvenţa de rezonanţă, apoi s-a oprit
alimentarea şi s-a reglat micrometrul pe zero. La pornirea sursei se observă o deplasare de 1 m .
A doua încercare a constat în baleierea în jurul frecvenţei de rezonanţă şi înregistrarea succesivă a
deplasărilor. În acest caz s-au obţinut deplasări de maxim 2 m . Datele experimentale
corespund cu cele calculate în cadrul capitolelor 4 şi 5. Deplasările radiale calculate sunt de
1.44 m .
Metoda de măsurare a deplasărilor prin interferometrie liniară este extrem de precisă,
putând detecta vibraţii minime de 10 nm. Este o metodă relativ nouă fiind foarte utilă în analiza
actuatorilor piezoelectrici alimentaţi la tensiuni mici (<10 V).
Rezultatele modelului matematic prezentat în capitolul 4 au fost astfel validate prin aceste
metode experimentale.

91
7. Modelarea motorului piezoceramic cu geometrie tubulară utilizând
schemele electromecanice cu parametri concentraţi

Impedanța mecanică constituie un instrument util în analiza vibrațiilor unui sistem

electromecanic. Ea permite determinarea răspunsului în frecvență al unui sistem și stabilirea
fluxului de energie ce trece de la un sistem mecanic la altul. În primul rând impedanța mecanică
dă informații asupra forței transmise și a deplasării sau deformării obținute în material.
Răspunsul unui sistem mecanic sub acțiunea unei forțe excitatoare poate fi exprimat ca un
raport deplasare-forță, viteză-forță sau accelerație-forță.
Un actuator sau motor piezoelectric este privit ca o interacțiune liniară între un sistem
electric și unul mecanic, legătura fiind chiar intrinsecă datorită deplasărilor și forțelor rezultate în
urma polarizării materialului respectiv. Polarizarea electrică este definită drept sarcina electrică
raportată la suprafață, suprafața fiind în anumite cazuri considerată constantă.
Formula 7.1 este chiar ecuația diferențială a unui circuit electric serie RLC. Acest circuit
electric poate fi transformat într-o schemă mecanică ce definește ecuația de mișcare a unui
element piezoceramic. Conversia electromecanică este și reversibilă, dintr-o schemă mecanică
dată a materialului piezoelectric se poate trece complet pe partea electrică.

d 2 qm dq q 1
 Rm m  m = u  t  =
Cp 
Lm 2
i  dt (7.1)
dt dt Cm
qm l x
 = g  P or P = n   , P = , n = d Y ,  = = (7.2)
S l l

P-polarizarea electrică în C m 2 ;  - deformarea relativă; g,n - constante piezoelectrice de

material, coeficientul de tensiune electrică și coeficientul definit ca produsul între coeficientul de
încărcare cu sarcină electrică și modulul de elasticitate al lui Young.
Ținând cont că factorul de forță A este considerat constant, variația sarcinii electrice va fi
direct proporțională cu variația deplasării; astfel, viteza sau forța mecanică va putea fi convertită
în curent electric, respectiv tensiune electrică.

x q
d  Y  = m  A = w  d  Y  qm = x  A (7.3)
l S
În formula 7.4 se remarcă trecerea de la un sistem electric la un sistem mecanic, cu
ajutorul legăturii stabilite de ecuațiile de bază ale piezoelectricității, atât pentru efectul
piezoelectric direct cât și pentru efectul piezoelectric invers.

m d 2  x  A r d  x  A c q
2
 2
 2  2  x  A = u  t  = (7.4)
A dt A dt A Cp

Formula 7.5 este ecuația diferențială a sistemului mecanic analizat, sistem convertit din
ecuația diferențială a unui circuit electric RLC obișnuit, ecuația 7.1. Conversia se face numai
ținând cont de ecuațiile de bază ale efectului piezoelectric.

92
 d 2x dx
m 2
 r   c  x = u t   A (7.5)
dt dt

Schema electromecanică a motorului piezoelectric analizat și în general a oricărui

convertor piezoelectric, fără a lua în considerare pierderile este descrisă în figura 7.1. Factorul de
forță A se poate compara cu un raport de transformare, făcând legătura între partea electrică și
partea mecanică [5, 11, 17].

Fig. 7.1 Schema electromecanică ideală a motorului MPR.

Factorul de forţă este dimensional şi definit ca raportul între forţa rezultantă şi tensiunea
sinusoidală aplicată pe cele două suprafeţe ale elementului piezoceramic.

F0
A=
U
(7.6)
1
F0 = F  v
Ym

Forţa F0 este forţa rezultată la funcţionarea în gol, fără a acţiona rotorul. În gol curentul şi
implicit viteza ce trece prin circuitul mecanic sunt considerate zero, iar forţa rezultantă este
maximă.
În general, circuitul electromecanic are două frecvenţe de rezonanţă: o frecvenţă de
rezonanţă serie fs şi o frecvenţă de rezonanţă în paralel fp. În cele mai multe modelări se utilizează
implicit frecvenţa de rezonanţă serie, deoarece doar partea mecanică este cea care intră în
rezonanţă.

1
fs =
2 Lm C m
1 (7.7)
fp =
C pCm
2 Lm
C p  Cm

93
 Fig. 7.2 Schema electromecanică pentru cazul general în care sunt considerate toate pierderile,
inclusiv pierderile suplimentare date de frecare, contactul mecanic şi temperatură.

Pierderile suplimentare sunt date de sarcina S dispusă în serie cu celelalte elemente

mecanice. În cele mai multe cazuri, schema electromecanică nu ţine cont şi de pierderile
suplimentare, sarcina S putând fi ignorată. O rezistenţă R f dispusă în paralel poate simula mai
exact influenţa forţei de frecare în contactul mecanic. Puterea dispersată pe rezistenţa R f se pierde
prin frecare la suprafaţa de contact dintre stator şi rotor.
Alte pierderi sunt date de către cele două rezistenţe R p şi Rm. Pierderile în dielectric sunt
reprezentate cu ajutorul rezistenţei Rp, iar atenuarea mecanică a undei în materialul piezoceramic
este dată de rezistenţa Rm. Pierderile prin frecare se pot adăuga şi în serie cu rezistenţa Rm,
intervenind în mod direct în calculul impedanţei sau admitanţei mecanice.

Ecuaţiile schemei electromecanice nereprezentate în complex sunt:

1
AU = F  v (7.8)
Ym

I = Y pU  Av (7.9)

1
Yp = 2
 C p2 2 (7.10)
Rp

Modulul admitanței electrice a elementului piezoelectric este dat de un circuit RC paralel.

Din punct de vedere electric, un convertor piezoceramic este un condensator real, cu pierderi în
dielectric.

1
Ym =
2
 1  (7.11)
R   Lm  -
2

C m  
m


94
 Admitanța mecanică Ym convertită într-un circuit electric serie RLC cu ajutorul
factorului de forță conține masa, coeficientul de elasticitate și amortizarea sistemului. În studiul
micromotorului este utilă analizarea admitanței mecanice în jurul frecvenței de rezonanță. Se
observă faptul că frecvența de rezonanță serie a sistemului mecanic depinde exclusiv de masă și
coeficientul de elasticitate, factorul de forță simplificându-se în urma efectuării produsului
Lm  C m .

A2
Cm = A2c = (7.12)
s

m
Lm = (7.13)
A2

r
Rm = (7.14)
A2

U2
Rf = (7.15)
Pmf

L1 = m, C1 = c, R1 = r (7.16)

A = gd 31 c11 (7.17)

cu g - lăţimea elementului piezoceramic, d 31 - constanta piezoelectrică, c11 - modulul Young

sau elastanţa elementului piezoceramic;
v - viteza undelor progresive generate de micromotor sau actuator;
A - factorul de forță, reprezentat de produsul dintre elastanța c, coeficientul de încărcare cu
sarcină electrică d și dimensiunea corespunzătoare modului de vibrație (transversal, longitudinal,
radial etc.);
Z m - impedanţa mecanică a micromotorului piezoelectric transformată într-o impedanță
electrică;
Ym - admitanța mecanică a micromotorului piezoelectric rotativ transformată într-o admitanță
electrică cu ajutorul factorului de forță A;
Lm - inductanţa mecanică transformată în inductanţă electrică, raportând masa m a elementului
piezoceramic la pătratul factorului de forță;

Rm - rezistenţa mecanică transformată în rezistenţă electrică, raportând coeficientul de

amortizare mecanică r la pătratul factorului de forță;
C m - capacitanţa mecanică transformată în capacitanţă electrică, raportând pătratul factorului de
forță la complianța elementului piezoceramic s;
L1 - inductanţa mecanică, R1 - rezistenţa mecanică, C1 - capacitanţa mecanică, cu r -
factorul de amortizare, c – rigiditatea sau constanta elastică, m - masa elementului piezoceramic.

Factorul de forță A = 0.208 a fost determinat cu ajutorul formulei 7.17.

95
Considerând că tensiunea de alimentare este U = 62 V se poate afla forța maximă de actuație
F = AU = 12.92 N .
S-au calculat următorii parametri din dimensiunile geometrice și constantele de material,
experimental s-a măsurat capacitatea Cp și rezistența electrică Rp:

C p = 6.93 nF C m = 0.71 pF
Lm = 1.3 H .
R f  inclus in Rm R p = 20 M Rm = 4600 

Acești parametri electromecanici au fost folosiți în continuare și pentru trasarea graficelor.

Capacitatea schemei mecanice este mult mai mică decât cea electrică, astfel se poate
explica de ce avem un singur punct de rezonanță, cel serie. Rezonanța în paralel ia în considerare
capacitatea cea mai mică. În general, un circuit cu frecvență de rezonanță mai mare își poate
impune regimul oscilant peste un circuit cu frecvență de rezonanță mai mică.
Admitanța totală a unui sistem electromecanic piezoelectric (ecuaţia 7.18) este suma
admitanțelor electrice, mecanice și a impedanțelor suplimentare ce sunt necesare în completarea
explicării fenomenului fizic. Spre exemplu, uneori pentru a explica funcționarea unui motor
piezoelectric rotativ este necesară definirea impedanței forței de frecare și a presiunii în contact.

Y = Y p  Ym  Y f (7.18)

Din fig. 7.1 și schema 7.2 rezultă două cazuri, ideal și real, pentru care se poate analiza în
frecvență admitanța totală a micromotorului piezoelectric rotativ [46]. În cazul ideal admitanța nu
mai ține cont de pierderile apărute în urma conversiei electromecanice. Cazul ideal este util în
determinarea punctelor de rezonanță, chiar și atunci când nu avem contact mecanic între stator și
rotor.
Se observă cum frecvența de alimentare a circuitului electric RC este diferită de frecvența
proprie de rezonanță a ansamblului mecanic statoric. Deoarece aceste frecvențe sunt diferite este
necesar ca fiecare admitanță mecanică sau electrică să fie reprezentată separat în funcție de
frecvențele respective. Vor rezulta astfel două diagrame Bode din care se vor putea extrage
amplitudinile celor două admitanțe.

1  C m 
Yideal = j e C p  = j   e C p  
1  1 -  2 Lm C m  (7.19)
j L m 
jC m

Din schema electrică 7.2 sau ecuația diferențială 7.1 se determină expresia admitanței
mecanice funcție de frecvență. Expersia poate fi trecută mai apoi în Laplacian ca un raport de
polinoame de rang diferit, aceasta fiind chiar funcția de transfer a sistemului mecanic analizat. În
general în MATLAB se lucrează foarte mult cu funcții de transfer, acesta fiind și motivul pentru
care admitanțele au fost scrise ca funcții de transfer ale unui sistem mecanic sau electric. Pentru
anumite funcții de transfer se poate reprezenta grafic diagrama Bode pentru un spectru larg de
frecvențe.

96
 1 j
Y m  j  = =
1 1 (7.20)
Rm  jLm  j R m  j 2  2 L m 
jC m Cm

Funcția de transfer corespunzătoare admitanței mecanice are următoarea expresie:

s
H m  s =
1 (7.21)
Lm s 2  R m s 
Cm

Pentru circuitul electric RC al convertorului piezoceramic se procedează în mod

asemănător, însă dat fiind faptul că avem un polinom de grad I, funcția de transfer va fi modelată
în funcție de impedanța electrică.

1 1
Yp =   j e C p (7.22)
Rp R f

1
Z p  j e  =
1 1 (7.23)
  j e C p
Rp R f

Funcția de transfer corespunzătoare impedanței electrice pentru circuitul RC are

următoarea expresie:

1
H p  s =
1 1 (7.24)
  Cps
Rp R f

Știind că inversul impedanței este admitanța, inițial se va afla amplitudinea impedanței

electrice iar ulterior și admitanța corespunzătoare. Pentru a determina amplitudinea impedanței se
va ține cont de frecvența electrică corespunzătoare punctului de rezonanță.

1
Y p  j e  = (7.25)
Z p  j e 

Analog cu expresia 7.18, admitanța totală a circuitului electromecanic este reprezentată în

complex ca suma între admitanța electrică Y p și admitanța mecanică transformată electric Ym .
Cu scopul de a simplifica calculul, influența forței de frecare va fi introdusă ca rezistență
suplimentară pentru partea electrică sau pentru partea mecanică.

Y =Y p Ym (7.26)

97
Fig. 7.3 Diagrama Bode a admitanței mecanice în cazul ideal pentru motorul piezoelectric rotativ
MPR33.

Amplitudinea admitanței mecanice se va putea extrage din diagramă făcând diferența între
punctul de maxim atins la rezonanță și minimele obținute în afara frecvenței de rezonanță.
Frecvența de rezonanță f s este frecvența circuitului mecanic serie RLC, definită inițial în cadrul
expresiei 7.7. Se observă că la această frecvență amplitudinea semnalului este de 20 dB. Punctul
minim corespunde unei amplitudini de -163 dB.

N  dB 
H = 10 20 (7.27)

În expresia 7.27, N este diferența între amplitudinea maximă și minimă a semnalului.

Deoarece H este privit că o admitanță sau impedanță, semnalul în dB va fi împărțit la 20 și apoi
transformat.
Din figura 7.3 rezultă că admitanța mecanică este foarte mică, în cazul ideal fiind practic
neglijabilă în comparație cu admitanța electrică reală.
1
Admitanța mecanică obținută în cazul ideal este Ym = 7  10 -8 .

În cazul ideal, deoarece rezistențele sunt neglijabile, admitanța electrică și admitanța
mecanică tind către valori foarte mici. Pentru circuitul serie RLC mecanic rezistența tinde către
zero în cazul ideal, iar pentru un condensator fără pierderi, cel din partea electrică reprezentată de
circuitul RC paralel, rezistența tinde la infinit, deoarece dielectricul este un izolator perfect.

98
 Fig. 7.4 Diagrama impedanței electrice în cazul ideal pentru motorul MPR33.

Fig. 7.5 Diagrama Bode a admitanței mecanice în cazul real pentru micromotorul MPR33.

În cazul real pierderile pe rezistențe nu mai sunt neglijabile și admitanța mecanică crește
1
semnificativ, Ym = 3.16  10 -5 . Cu cât rezistența este mai mare, cu atât amplitudinea

semnalului obținut în dB este mai mică și admitanța crește.

99
 Fig. 7.6 Diagrama Bode a admitanței electrice RC pentru micromotorul MPR33.

1
Admitanța circuitului RC paralel este Yp = 3.42  10 - 5 . Atât în cazul ideal cât și în

cazul real admitanțele electrice au fost calculate ținând cont de frecvența de rezonanță de 33725
Hz. La această frecvență amplitudinea în decibeli este de 56.7. Admitanța se calculează făcând
diferența între punctul de maxim de 146 dB și punctul de minim de 56.7 dB considerat, aplicând
ecuația 7.27.
1
Admitanța totală a circuitului electromecanic este Y = Ym  Y p = 6.58  10 -5 .

Dacă rescriem ecuația 7.1 de la începutul capitolului în complex, putem obține două
egalităţi între partea reală, respectiv partea imaginară.

qm
Lm   j  qm  Rm  j  qm  = j e R p q e = u  t 
2
(7.28)
Cm
Separând partea reală și imaginară obținem egalităţile 7.29 şi 7.30, ecuaţia 7.29 fiind
valabilă doar la rezonanţă. Se poate deduce din această ecuaţie şi frecvenţa de rezonanţă. Pentru
ca ecuaţiile menţionate să fie valabile, sarcina electrică acumulată trebuie în primul rând să fie
diferită de zero ( q m  0 ).

qm
- Lm  2 q m  =0 (7.29)
Cm

Rm  q m - R p  e q e = 0 (7.30)

Se va demonstra în continuare că frecvenţa de rezonanţă electrică nu poate fi obținută

oricum, ci în punctul de rezonanţă, raportul între frecvenţa electrică şi cea corespunzătoare
rezonanţei mecanice este constant, depinzând de constantele şi geometria materialului
piezoceramic, capacitatea electrică, rezistenţa electrică, amortizarea mecanică şi factorul de forţă.

100
În ecuația 7.30 știm că rezistențele electrice și mecanice sunt în general parametrii constanți de
material, modificându-se numai în cazul în care condițiile de mediu variază destul de mult. La fel
și capacitatea electrică rămâne constantă atât timp cât nu avem variații importante ale umidității.
Sarcina electrică acumulată depinde de tensiunea la care se încarcă condensatorul piezoceramic și
de capacitatea electrică.
Sarcina electromecanică depinde de amplitudinea vibrației materialului piezoceramic și de
factorul de forță. Raportul între cele două sarcini electrice este constant deoarece efectul
piezoelectric direct și invers demonstrează că raportul între tensiunea electrică și deplasarea
mecanică este constant.

1
2 = (7.31)
Lm C m

 e R p qe
= (7.32)
Rm q m

Raportul între sarcina electrică și electromecanică este constant indiferent că suntem sau
nu în punctul de rezonanță mecanică, aceasta fiind o caracteristică specifică convertoarelor
piezoelectrice.

q e = U  C p
 (7.33)

q m = r  A
U
Câmpul electric radial al convertorului E = generează efectul piezoelectric invers cel
r0
mai pregnant. Astfel, cilindrul piezoceramic va fi solicitat succesiv la compresiune şi dilatare.

r U
= d  E sau r = d  U  = d = ct. (7.34)
r0 r

La rezonanţă, frecvenţa proprie a circuitului mecanic se poate exprima în funcţie de

frecvenţa electrică corespunzătoare. În punctul de rezonanţă, particulele polarizate electric
vibrează cu o amplitudine mecanică proporţională cu amplitudinea câmpului electric aplicat, dar
deosebit este faptul că şi frecvenţa de oscilaţie electrică rămâne proporţională cu frecvenţa
proprie de oscilaţie a sistemului mecanic.

 e R pU  C p  e R pU  C p
= = (7.35)
Rm  r  A Rm  d  U  A

101
 Rp  C p
 = e  (7.36)
Rm  d  A

Rm  d  A
Raportul între frecvenţe se poate exprima în funcţie de o constantă k = .
Rp  C p
Relaţia 7.36 se poate scrie simplificat:

e =   k (7.37)

Valoarea curentului total , I = YU = 4 mA , corespunde cu valoarea tabelată determinată pe

cale experimentală în capitolul 3. Curentul determinat din măsurători pentru convertorul
piezoelectric este de 3 mA. Diferența între cele două valori se explică prin faptul că parametrii
mecanici modelați nu corespund întotdeauna cu situația reală. Modelul schemei electromecanice
este suficient de precis, dar nu poate îngloba și explica întreg fenomenul fizic.

F = AU - Rm v (7.38)

Forța maximă ce o poate dezvolta convertorul piezoceramic cilindric este F = AU = 13 N .

Cuplul măsurat la ax este dat iniţial în tabelul parametrilor funcţionali, determinaţi pe cale
experimentală, în capitolul 3. Cuplul măsurat se află între 2-3 Ncm, iar axul are diametrul de 3
mm. Forța medie măsurată pe cale experimentală este de 14 N.

2M mas
Fmas = = 14 N (7.39)
d ax

Forța maximă dată de modelul schemei electromecanice apare în punctul de rezonanță, la

viteze minime ale rotorului. Această forță se poate compara cu forța medie obținută pe cale
experimentală.

102
 Fig. 7.7 Caracteristica turației funcție de forța axială exercitată asupra rotorului.

Tot din schema electromecanică se poate calcula teoretic viteza de rotație a rotorului în
funcție de forța axială aplicată. Viteza de rotație se poate reprezenta fie direct din raportul forță
impedanță mecanică, fie din raportul forță, impedanță electromecanică echivalentă. În figura 7.7
se face o comparație între viteza de rotație determinată teoretic cu ajutorul ecuațiilor 7.40, 7.41,
7.42 și viteza unghiulară măsurată în cadrul capitolului 3. Variația vitezei este reprezentată pentru
diferite valori ale forței axiale.

F du F
v= = r (mecanic)  v = (electric) (7.40)
Zm dt Z m A2

Viteza este dată și de variația deplasării radiale în timp, în mod similar se poate afla și
accelerația centripetă dată de mișcarea de rotație. Este cunoscut faptul că în cazul mișcării de
rotație sensul accelerației este pe direcție radială.

A  U - Fax
v= [m / s] (7.41)
A2 Z m

Relația 7.41 este valabilă pentru forțe axiale mai mici decât forța utilă exercitată de elementul
piezoceramic tubular la aplicarea unui câmp electric sinusoidal. În general, în funcționarea
motorului piezoelectric este necesar ca forța utilă dată de elementele piezoelectrice să fie mai
mare decât forța sau presiunea externă din zona de contact mecanic. În caz contrar, motorul va fi
nevoit să se oprească datorită suprasarcinii.

103
  A  U - Fax  1 60
n =     [rpm] (7.42)
 A Z m  r 2
2

În concluzie, modelarea motorului rotativ MPR cu ajutorul schemei electromecanice este

rapidă și dă rezultate satisfăcătoare. Datele obținute din modelare nu au diferențe semnificative
față de cele obținute pe cale experimentală.

104
8. Bilanţul de puteri şi pierderile electromecanice ale motorului
piezoelectric rotativ

După cum s-a evidențiat și în capitolul 7, pierderile joacă un rol esențial în modelarea cât
mai exactă a motorului piezoelectric rotativ.
Analog cu celelalte tipuri de motoare electromagnetice, există o putere electrică
consumată și o putere mecanică utilă transferată rotorului prin contact mecanic.
Un prim proces de transfer al puterii electrice în putere mecanică este acela de a imprima
o polarizare a ionilor prezenți în rețeaua cristalină a materialului piezoelectric. Materialul
piezoelectric este în primul rând un dielectric. Un dielectric alimentat în tensiune este privit ca un
condensator. Este știut faptul că orice condensator real are pierderi în dielectric.
În prima parte a capitolului se va analiza pe scurt teoria dielectricilor reali, cu pierderi.
Bilanțul de puteri specific unui motor piezoelectric este prezentat în schema 8.1 [35].

Fig. 8.1 Bilanțul de puteri și pierderile specifice motorului piezoelectric rotativ.

Bilanțul de puteri poate explica întregul fenomen fizic ce stă la baza funcționării
motoarelor piezoelectrice. În primul rând fenomenul începe cu o acumulare de energie a
câmpului electric în dielectricul condensatorului. Energia respectivă se transferă prin polarizare
electrică ionilor rețelei cristaline, care se vor deplasa la o anumită distanță față de poziția inițială.
În câmp alternativ deplasările succesive produc unde sau vibrații mecanice în materialul
piezoelectric. Prin fenomenul de rezonanță și crearea vibrațiilor mecanice progresive la contactul
dintre stator și rotor, energia electrică se transformă în mișcare de rotație. Contactul între stator și
rotor joacă un rol foarte important în transferul de energie necesar bunei funcționări a motorului
piezoelectric. O funcționare eficientă nu se poate realiza fără pierderi în contact. Pierderile în
contact țin de cuplajul mecanic realizat și de pierderile prin frecare apărute între stator și rotor.

P1 = Pdl  Pcmc  Pmf  P2 (8.1)

P1 - puterea electrică consumată, Pdl - pierderile în dielectric, Pcmc - pierderile de cuplaj

mecanic, Pmf - pierderile mecanice prin frecare, P2 - puterea mecanică generată de motor.

105
 Fig. 8.2 Schema electrică a condensatorului real cu pierderi şi diagrama curenţilor.

Curentul I A corespunde ramurii rezistive, iar curentul I C ramurii capacitive. În câmp

alternativ curentul circulă prin condensator sub formă de curent de deplasare, iar pierderile apar
deoarece izolatorul considerat nu este perfect, ci prezintă o oarecare conductivitate.
Fie expresia câmpului electric definită de ecuaţia următoare:

E    = E 0 exp it  (8.2)

dD dE d  E 0 exp it  
J   = =    =    =     i    E   (8.3)
dt dt dt

Curentul de deplasare este definit ca variaţia în timp a inducţiei sau intensităţii câmpului
electric. Permitivitatea unui condensator real este considerat în acest caz un număr complex.
Astfel, produsul între permitivitate şi intensitatea câmpului electric va fi tot un număr complex,
care poate fi echivalat cu o conductivitate reală și imaginară. Conductivitatea reală corespunde
curentului ce trece prin rezistență, iar conductivitatea imaginară corespunde curentului de pe
ramura capacitivă.

    =  a    - i c    (8.4)

J    =   E    =   1  i 2  E    =  c E     i a E    (8.5)

 1 =  c  2 =  a (8.6)

106
 Raportul între cei doi curenți de pe ramura rezistivă, respectiv capacitivă, îl reprezintă
factorul de pierderi în dielectric. În mod similar se poate arăta că raportul între puterea activă și
puterea reactivă, sau raportul între permitivitatea imaginară și reală, este tot factorul de pierderi.

IA c P
= = dl = tg (8.7)
I C  a Qdl

S P Qdl
Sv = = J  E Pdlv = dl Qdlv = (8.8)
V V V

În ecuațiile 8.8, 8.9 și 8.10 puterile activă și reactivă au fost definite pe unitatea de volum,
pentru a putea face mai ușor legătura între conductivitate, permitivitate și pierderile în dielectric.

Pdlv =  1  E 2 =    a  E 2  tg , (8.9)

puterea activă, pierderile reale în dielectric pe unitate de volum.

Qdlv =  2  E 2 =    a  E 2 , puterea reactivă pe unitate de volum. (8.10)

Pentru a întelege mai clar cum intervine factorul de pierderi în dielectric în ecuațiile unui
capacitor real, se consideră capacitatea unui condensator definită printr-un număr complex, unde
C p este capacitatea reală deja măsurată (sau calculată din dimensiunile geometrice), iar C p  tg
este capacitatea părții imaginare (ecuația 8.11).
Puterea aparentă totală a unui sistem electric este definită ca fiind un număr complex, în care,
partea reală corespunde puterii reale active consumate de sistem, iar partea imaginară corespunde
puterii reactive utilizate (ecuația 8.13).

A A A
C pt =     =  a    - i  c    = C p - jC p 2 = C p - jC p tg (8.11)
d d d
U2 1
S = UI = , ZC = (8.12)
ZC j  C pt

Puterea aparentă totală poate fi scrisă ca raport între pătratul tensiunii de alimentare și impedanța
totală a condensatorului cu pierderi. Înlocuind 8.11 în 8.12 obținem expresiile puterii active și
reactive ale condensatorului cu pierderi.

S = U 2 jC p 1 - jtg  = U 2C pa  j  tg  = Pdl  jQdl (8.13)

2 0  r h
Cp = = 6.93 nF (8.14)
ln(b / a )

Factorul de pierderi este o caracteristică de material și este dat pentru multe materiale
piezoelectrice. Factorul de pierderi a fost măsurat cu un RLC-metru performant. Calculele
numerice sunt realizate pentru motorul MPR33. Ca date de intrare sunt frecvenţa, capacitatea

107
electrică, factorul de pierderi tg = 0.027 pt. PZT - 5 A şi tensiunea de alimentare
U 1 = U = 62 V .
Pierderile totale în dielectric sunt definite de puterea reală activă consumată pe rezistență, Pdl ,
sau mai pot fi definite ca produsul între factorul de pierderi și puterea reactivă înmagazinată.

Pdl = U 2 C p tg Qdl = U 2C p (8.15)

Din calcul se poate estima că pierderile în dielectric sunt sub 15 % din puterea totală
consumată, fiind de așteptat ca pierderile majoritare să fie pur mecanice.
Pierderile în dielectric sunt Pdl = 0.024 W .

Puterea totală consumată de motorul piezoelectric este:

P1 = U 1 I 1 = 62  0.003 = 0.186 W (8.16)

Puterea mecanică utilă necesară mișcării de rotație a rotorului este P2 . Ea este calculată
cu ajutorul cuplului mecanic, dat de forța mecanică utilă generată de către materialul
piezoelectric și viteza unghiulară a rotorului. Forța utilă este transferată în mișcarea de rotație
prin contactul între cilindrul piezoceramic și rotorul tronconic. Practic, mișcarea nu poate fi
realizată fără forța utilă combinată cu forța de frecare prezentă în regiunea contactului mecanic.
Forțele de frecare sunt necesare transferului de putere mecanică, dar în funcționarea cât mai
eficientă a motorului piezoelectric ele trebuiesc optimizate.

2  n
P2 = M M = 3 cNm  = = 0.94 rad s (8.17)
60
Din calcul obţinem P2 = 0.0282 W .

Pierderile prin contact mecanic și pierderile de frecare au fost estimate pentru motorul
piezoelectric MPR33 ca fiind:

P1 - Pdl - P2 = Pcmc  Pmf = 0.134 W

(8.18)

Se observă că pierderile prin contact mecanic și prin frecare sunt foarte mari, aproape 70 % din
puterea electrică absorbită de la sursă.
Randamentul motorului MPR33 este de doar 15%, o proprietate frecvent întâlnită la
motoarele piezoelectrice deoarece transferul electromecanic trebuie optimizat cât mai mult.
Motorul MPR33 este un micromotor de dimensiuni geometrice medii, fiind de așteptat ca pentru
dimensiuni mai mici randamentul să se îmbunătățească considerabil.
P
 = 2 = 15% (8.19)
P1

9. Scheme electrice de acționare a motorului piezoelectric rotativ

108
 Cea mai simplă schemă de acționare se poate realiza cu ajutorul unei bobine cu miez
reglabil din ferită sau un tub reglabil dintr-un material conductiv (Al). Capacitorul este
reprezentat de motorul piezoelectric rotativ (MPR). Capacitorul și bobina reglabilă vor forma un
circuit oscilant, cu frecvența de rezonanță proprie echivalentă cu frecvența de rezonanță a
motorului piezoelectric rotativ. Circuitul oscilant este activat atunci când eclatorul capsulat este în
poziția închis şi se atinge tensiunea maximă de conducție.

Fig. 9.1 Schema de acționare folosind un circuit rezonant LC.

S-sursa de alimentare între 10  25 V tensiune alternativă;

T-element de amplificare a tensiunii, în acest caz un tranformator ridicător cu raportul
1 : 10, 1 : 20 ;
k-eclator capsulat ce se anclanșează la o tensiune de aproximativ 180  220 V ;
L-bobină reglabilă pentru un interval de frecvență destul de mic 30  33 kHz .

Cu ajutorul tubului sau miezului de ferită se poate regla frecvenţa, astfel încât vom obţine
implicit şi o reglare a vitezei motorului piezoelectric rotativ.
Montajul prezintă dezavantajul unui interval foarte limitat de reglare a frecvenţei, dar în
schimb se pot obţine amplitudini importante ale tensiunii de alimentare a motorului între
180  220 V . Acest lucru implică o creştere semnificativă a microdeplasării şi a vitezei de
rotaţie a motorului piezoelectric rotativ.
Circuitul rezonant format de bobina și convertorul piezoelectric poate funcționa și ca parte a
unei antene receptoare alimentată wireless de la un circuit emițător. Circuitul emițător va
funcționa la frecvențe radio sau microunde cu modulare pe frecvența ultrasonică de rezonanță a
motorului. Motorul piezoelectric rotativ va fi alimentat de la semnalul ultrasonic demodulat.
Acest tip de antene receptoare se mai numesc și rectene, fiind în special folosite la captarea
energiei microundelor direcționate. Energia captată de rectenă va trece printr-un circuit de
redresare a curentului, o baterie de supercapacitori sau acumulatori și în final prin circuitul de
demodulare.

109
 Fig. 9.2 Schema electronică a sursei de alimentare pentru motorul piezoceramic rotativ.

LM555 este într-o configuraţie de oscilator furnizând la ieşire impulsuri dreptunghiulare

cu factorul de umplere 1 pe 2. Frecvenţa impulsurilor generate este de 2 Hz.

110
TL494 este un oscilator care furnizează la ieşire implsuri dreptunghiulare de frecvenţă variabilă
în funcţie de poziţiile rezistoarelor P2 şi P3.
Rezistorul variabil P1 realizează reglajul factorului de umplere. Rezistorul variabil P2 realizează
reglajul fin al frecvenţei, iar rezistorul variabil P3 realizează reglajul brut al frecvenţei.
U1A (MMC4011) este poartă logică, un „şi” negat, care pe o intrare primeşte impulsuri de 2 Hz
de la oscilatorul LM555, iar pe cealaltă intrare primeşte impulsuri de frecvenţă reglabilă de la
oscilatorul TL494. U1A are rolul de a permite transmiterea unui semnal negat de frecvenţă
reglabilă timp de 0.5 s.
Se observă că poarta logică U1B (MMC4011) este tot un „şi” negat cu cele două intrări unite,
având rolul de a defaza semnalul iniţial la 180 de grade.
SN7474 este un bistabil de tip D, la care, dacă se uneşte intrarea D (pinul 2 cu 8 şi pinul 12 cu 6)
cu ieşirea Q , se obţine un divizor al frecvenţei cu 2. Cele două semnale în urma divizării lor cu
2 vor fi defazate la 90 de grade. Următorarele porţi „şi” au rolul de a reforma prin negare
semnalul rezultat.
BA741 este un amplificator operaţional derivativ, cu rolul de a transforma semnalul
dreptunghiular într-unul cvasisinusoidal. Forma de undă cvasisinusoidală este observată şi în
capitolul 3, figura 3.13.
Partea finală a schemei o reprezintă etajul de amplificare realizat cu un tranzistor
MOSFET şi un transformator ridicător cu raportul aproximativ 4. Dacă în primar avem o tensiune
de 12 V, rezultă o tensiune la ieşire de 50 V.

Fig. 9.3 Sursa de alimentare a motoarelor rotative piezoelectrice (MPR).

111
 Fig. 9.4 Schema de acţionare a unui motor piezoelectric rotativ folosind un booster şi un
generator de semnal.

Generatorul de semnal poate da forme de undă dreptunghiulare sau sinusoidale, cu

frecvenţe cuprinse între 0.05 Hz  1MHz . Amplitudinea semnalului la ieşire din generator este
reglabilă între 0 şi 5V.
Etajul de amplificare furnizează o tensiune la ieşire de maxim 50 V vârf la vârf şi o bandă
de frecvenţă de până în 100 kHz. Cu cât banda de frecvenţă se măreşte, amplificarea semnalului
va avea o anumită scădere de la valoarea stabilită, deoarece produsul între bandă şi amplificare
este constant pentru orice amplificator, obţinându-se o tensiune puţin diminuată la ieşire, dar la
frecvenţa respectivă de rezonanţă a motorului piezoelectric rotativ. Spre exemplu, la o frecvenţă
de rezonanţă de 32  33 kHz, se obţine o tensiune efectivă maximă de 17 V. Montajul foloseşte
deja echipamente uzuale de laborator, fiind util în analiza unui spectru larg de frecvenţe şi în plus
se poate regla amplitudinea tensiunii de alimentare.
Pentru a nu suprasolicita componentele electronice, în montajul experimental se foloseşte
o rezistenţă de limitare a curentului. Boosterul în sine este alimentat de la o sursă diferenţială
formată din două surse de 24 V curent continuu şi un etaj de amplificare a semnalului.

112
 Fig. 9.5 Schema bloc a circuitului integrat TDA7294 folosit în etajul de amplificare.

În figura 9.5 este exemplificată schema bloc a unui amplificator operaţional TDA7294.
Nivelul tensiunilor de intrare acceptat este în intervalul de 0  1 V . Amplificatorul
TDA7294 dispune de un circuit de protecţie la scurtcircuit şi protecţie termică cu oprire
automată. Zgomotul şi distorsiunile semnalului sunt foarte reduse.
O punte alcătuită din două circuite integrate TDA7294 de amplificare se foloseşte la
subwoofere sau aplicaţii HI-FI/TV. Acelaşi circuit se poate folosi direct ca etaj de amplificare
pentru booster. Fiind montaj în punte, tensiunea maximă generată va fi de 35 V.
Partea de preamplificare este alcătuită dintr-o punte cu tranzistori bipolari. Dezavantajul
tranzistorilor bipolari este acela că pot ajunge rapid în faza a doua de străpungere. Pentru a evita
acest lucru, se foloseşte tehnologia mixtă BCD100 de cuplare a tranzistorilor bipolari cu
tranzistori MOS imuni la supratensiuni. Tehnologia mixtă BCD100 permite o exploatare
completă a zonei sigure de operare, atingându-se astfel valori maxime ale puterii la ieşire, mai
ales în prezenţa sarcinilor reactive.
La ieşirea amplificatorului operaţional, câştigul reprezentat de un buffer DMOS trebuie să
fie capabil să suporte tensiuni şi curenţi importanţi, în timp ce nivelul de distorsiune al
armonicilor este menţinut la un nivel acceptabil şi avem un bun răspuns în frecvenţă.

113
 Fig. 9.6 Etajul de amplificare al boosterului constituit dintr-o punte cu două circuite TDA7294.

Principalele avantaje ale schemei în punte sunt performanţele ridicate de putere cu un

nivel al tensiunii de alimentare limitat între  35 V , o putere la ieşire semnificativă de 150 W,
maximum 170 W, chiar pentru sarcini de 16  . Banda de trecere este cuprinsă în intervalul
0  100 kHz .
La frecvenţe mai mari de 20 kHz şi puteri sub 100 W, coeficientul de distorsiune (THD) al
semnalului la ieşire nu depăşeşte 0.1 %.

114
10. Materiale utilizate în construcția convertoarelor electromecanice
piezoelectrice

Dintre materialele piezoelectrice, materialele piezoceramice tip PZT sunt cele mai utilizate
datorită performanțelor lor (v. Anexa I). În natură, dintre mineralele cu proprietăți piezoelectrice
întâlnite putem enumera cuarțul, turmalina, sarea Rochelle, iar în lumea vie cel mai frecvent
întâlnit este colagenul, prezent în structuri osoase, piele, ochi etc.

Fig. 10.1 Macro şi microstructura femurului [49].

Structura osului poate fi grupată pe mai multe nivele (fig 10.1). Cea mai mică unitate
structurală a osului este molecula de colagen căreia îi sunt asociate cristalele de hidroxiapatită.
Dimensiunile cristalitelor sunt de aproximativ 4 x 20 x 60 nm. Acest nivel este considerat cel
molecular. Molecula de colagen are o lungime totală de 280 nm şi un diametru de 1.5 nm.
Următorul nivel este considerat nivelul ultrastructural, aici colagenul şi apatita sunt asociate intim
şi asamblate într-un compozit microfibrilar, fibrele sunt de aproximativ 25-30 nm grosime, cu o
spaţiere între ele de 60 nm [49, 50].
La nivel microstructural, fibrele sunt organizate în lamele concentrice “împletite” sau aleator, în
funcţie de osul analizat. Lamelele de colagen au între 3 şi 7 μm în diametru. Osteoanele
reprezintă diferite grupări concentrice lamelare de fibre de colagen. La nivel macrostructural,
osul este constituit din mai multe osteoane şi porţiuni de lamele interstiţiale, porţiuni parţial
distruse din osteoane mai vechi. Osteoanele au geometrii tubulare şi sunt dispuse în mod
asemănător cu structura de fagure. La fel ca la cablurile multifilare, acest tip de organizare
conferă osului atât elasticitate cât şi rezistență, duritate.

115
Ca proprietăţi elastice, colagenul şi implicit structura osului pot fi definite de o matrice de
coeficienţi elastici, specifică unui material izotrop. Materialul compozit din colagen sau osul este
considerat izotropic pe direcţia transversală, axa de simetrie a osului fiind şi axa de simetrie unică
pentru sistemul tridimensional.
Proprietăţile elastice radiale (direcţia, axa 1) sau transversale (celelalte două direcţii, axe) sunt
aproximativ aceleaşi, cu mici diferenţe. Eventualul gradient de porozitate din diferitele parţi ale
osului sau defectele nu alterează simetria de bază.
Matricea coeficienţilor de elasticitate este:

C11 C12 C13 0 0 0 

C C11 C13 0 0 0 
 12
C 0 
C 
ij =  13
C13 C 33 0 0
,
 0 0 0 C 44 0 0 
 0 0 0 0 C 44 0 
 
 0 0 0 0 0 C 66 

unde C 66 = 1 / 2 C11 - C12  , astfel numai 5 coeficienţi de rigiditate sunt independenţi.

O abordare mai exactă a osului pentru clasificarea lui în funcţie de provenienţă şi localizare în
diferitele părţi ale corpului, consideră osul ca fiind un material ortotropic ce necesită pentru
modelare 9 coeficienţi de rigiditate [1, 20, 21].

Tabel 10.I
Experimente C11 C33 C12 C13 C44
(Tip os) (GPa) (GPa) (GPa) (GPa) (GPa)
Femur bovine 14.1 25 6.34 4.84 7
Tibie om 11.6 22.5 7.95 6.10 4.91
Femur uman 20 30 10.9 11.5 6.56
Femur bovine 21.2 29 11.7 12.7 6.30
harvesian
Femur 22.4 35 14 15.8 8.20
plexiform
bovine

Colagenul este o familie multifuncţională de proteine cu caracteristici structurale unice. Este cea
mai răspândită proteină din corp, servind o multitudine de funcţii biomecanice din os, piele,
tendoane şi ligamente. Cel mai simplu aminoacid prezent în colagen este Glicina. Colagenul este
compus din trei polipeptide înlănţuite, fiecare având secvenţa generală de aminoacizi (Gli-Pro-
Hip)n, glicină, prolină şi hidroxiprolină. Colagenul are o structură triplu helix în care cele trei
catene polipeptidice tip spirală stânga interacţionează între ele “împletindu-se” în jurul unei axe
imaginare, rezultând o spirală comună de dreapta.

116
Fig. 10.2 Formarea structurii de colagen: a) un singur lanţ tip spirală de stânga; b) trei înlănţuiri
singulare formând un triplu helix; c) o moleculă de colagen (tropocolagen); d) moleculele de
colagen aliniate în fibrile suprapuse şi regiuni goale e) cu structura triplu helix.

Urmărind structurile biologice prezentate anterior s-au realizat mai multe tipuri de membrane de
colagen. Membranele care au dat răspunsul cel mai bun au avut o concentraţie majoritară de
colagen (100 %). Membranele cu 80% colagen şi 20% hidroxiapatită nu au dat rezultate
promiţătoare. Materialele colagenice cu rezultate relevante au fost selectate şi folosite la mai
multe tipologii de actuatori piezoelectrici (v. Cap. 11).

Fig. 10.3 Membrana PE3 alimentată la 30 V tensiune continuuă, în regim de comutație.

Membranele PE2, PE3 şi PE4 au fost încercate în regim de impuls de tensiune pe o plajă de
valori între 0  50 V .

117
Membrana PE3 a fost alimentată succesiv cu ajutorul unui comutator, la o tensiune continuuă de
30 V. La 30 V se observă o amplitudine maximă a deplasării de 0.5m .

Fig. 10.4 Membrana colagenică PE3 alimentată la o tensiune continuuă de 50 V, același regim de
comutație.

În figura 10.4 membrana de colagen PE3 este alimentată la o tensiune de 50 V, observându-se o

amplitudine maximă a deplasării de 1.4 m . Membrana PE3 a răspuns cel mai bine atât în
primul set de încercări cât şi în cel de-al doilea set de încercări. Celelalte membrane PE2 şi PE4
şi-au pierdut din caracteristici în timp, stabilizându-se abia în utimul set de încercări efectuat la o
săptămână, faţă de experimentele iniţiale. Aici sunt prezentate rezultatele finale a ultimului set de
încercări.

Fig. 10.5 Ciclul de încărcare-descărcare cu sarcină electrică al membranei PE3.

În figura 10.5 a fost analizat în detaliu un ciclu de încărcare-descarcare (polarizare-depolarizare)

a membranei de colagen. Comparativ cu un material tip PZT care nu se depolarizează decât

118
printr-o descărcare forţată pe o rezistenţă sau prin scurtcircuitare, membranele de colagen
încărcate cu sarcină electrică se depolarizează singure în timp, indiferent de sensul câmpului
electric aplicat.
Membranele de colagen se polarizează lent în timp, timpul de încărcare cu sarcină
electrică este de ordinul secundelor, 6.5 s, iar timpul de descărcare este de aproape jumătate de
minut. Ca orice material piezoelectric, colagenul este în primul rând un dielectric, implicit
membrana e un condensator cu capacitatea între 200  300 pF , considerând aria electrodului
A = 0.00015 m 2 şi o grosime a membranei d = 0.17  0.21 mm .
Permitivitatea relativă calculată este  r = 34  42 .
Pentru membrana având codul PE4 s-a măsurat capacitatea, impedanţa, coeficientul de pierderi şi
rezistenţa. Valorile obţinute sunt trecute în tabelul 10.II.

Tabel 10.II
Cp[pF] Z[kΩ] D R[MΩ]
228.5 679.2 0.0649 3
203.5 804.7 0.089 5
205 670.5 0.0885 4
230.4 730.8 0.0892 4
231.8 670.7 0.0897 3
234.1 709.5 0.0668 4
209.2 729.9 0.0829 3
218.5 775.5 0.0796 3
212.5 696.6 0.088 3
208.5 706.4 0.0765 5

Fig. 10.6 Comutaţii în tensiune pentru membrana PE2 deja polarizată.

Actuaţia membranei în timpul depolarizării produce o scădere drastică a amplitudinii deplasării,

astfel că pentru a realiza o actuaţie eficientă a membranei de colagen, membrana va trebui să fie
activată în câmp electric abia după terminarea ciclului încărcare-descărcare capacitiv.

119
Acest fapt poate fi explicat prin imposibilitatea revenirii imediate a sarcinii electrice în poziţia
iniţială de relaxare în timp ce condensatorul e încărcat complet, energia acumulată fiind maximă.
O fişă completă de încercări generată de către softul interferometrului Agilent este prezentată
pentru membrana PE4. Membranei de colagen PE4 i s-au aplicat mai multe impulsuri de 50 V
curent continuu. S-au măsurat și în acest caz amplitudini ale deplasării de 0.4 m .

Fig. 10.7 Datele şi măsurătorile complete pentru membrana colagenică PE4.

120
 Fig. 10.8 Suprafaţa membranei colagenice PE3.

Fig. 10.9 Profilograma membranei colagenice PE3.

Suprafața membranelor colagenice este caracterizată de o rugozitate medie totală între

30  50 m . S-au analizat succesiv mai multe suprafețe având aria de 191 m  255 m . La

121
nivel microscopic se observă striaţiile membranelor de colagen, ele sunt constituite în principal
din “mănunchiuri” sau structuri ramificate de fibre de colagen.
Conform literaturii de specialitate, mai multe mănunchiuri de microfibre de colagen formează
lamela de colagen.
O astfel de structură formată din lamele împletite este prezentată în figura 10.10.

Fig. 10.10 Suprafaţa 3d reprezentând două lamele de colagen împletite.

Fig. 10.11 Profilograma celor două lamele de colagen.

122
După cum se observă în profilogramă, lamelele de colagen împletite au între 0.0125 şi 0.0150
mm grosime, atât pentru axa X cât şi pentru axa Y. Diametrul unei singure lamele de colagen este
între 3 şi 7 μm în literatura de specialitate. Neţinând cont de eventuala spaţiere între lamele,
diametrul măsurat al unei lamele de colagen este între 6.25  7.5 m , ceea ce corespunde
datelor din literatură.

Fig. 10.12 Profilul suprafeţei membranei PE3 ce conţine fibre de colagen.

123
 Fig. 10.13 Membrana 5H alimentată la o tensiune de numai 10 V curent continuu.

Membrana 5H este o membrană polimerică dopată cu aproximativ 20% pulbere fină de pirită
[51]. Unele din aceste membrane dopate cu pirită s-au străpuns la tensiuni destul de mici datorită
breșelor create de anumite particule de pirită ce pot scurcircuita cei doi electrozi de alimentare,
dispuși de o parte și de alta a probei. Câmpul electric creat între electrozi va căuta să circule pe
drumul cel mai scurt, astfel că un eventual defect de izolație creat de o simplă particulă de pirită
duce la o străpungere localizată pe zona respectivă.
Membrana 5H prezintă o uniformitate foarte bună, în distribuția particulelor de pirită nu se
observă eventuale aglomerări de particule, polimerul izolând complet aceste particule conductive.
Membrana 5H a fost testată de mai multe ori la tensiuni mai mici sau până la 10 V curent
continuu. Este remarcabil faptul că s-au obținut deplasări importante, de ordinul 300-400 nm la o
tensiune de alimentare de numai 10 V (figura 10.13). Membrana se poate compara sau chiar
poate depăși performanțele unui material piezoceramic obișnuit. Forța de prestrângere necesară
fixării membranei a fost de 2.2 N, de alftel fiecare din membranele menționate suportă greutatea
retroreflectorului de 224 grame.

124
 Fig. 10.14 Plăcuță de cuarț dopată cu 9% Ge alimentată la tensiunea de 480 V.

Plăcuța de cuarț are caracteristici piezoelectrice, dar se pot observa deplasări importante la
tensiuni ce depășesc 500 V. Mai precis la 480 V s-a obținut o amplitudine a deplasării de 30-40
nm (figura 10.14), ceea ce reprezintă foarte puțin în comparație cu materialele piezoelectrice
utilizate în prezent și enumerate în acest capitol. Cuarțul este folosit pe scară largă ca oscilator
(rezonator), la frecvențe uzuale de 1-10 MHz sau chiar GHz.
În continuare sunt prezentate membranele polimerice cu structura de bază tip elastomer
[47].
Au fost preparate două tipuri de pudre anorganice de siliciu care diferă prin componenta
anorganică utilizată.
Un polimetilsiloxan având vâscozitatea moleculară de aproximativ 400000 şi 6 % unităţi
molare de metilvinilsiloxan au fost sintetizate prin polimerizarea cationică a
octametilciclotetrasiloxanului în prezenţa H2SO4 ca şi catalizator. Reacţia a avut loc la
temperatura camerei. Polimerul obţinut a fost amestecat cu o soluţie de dioxid de siliciu
hidrofobizat, ca agent întăritor. În compusul rezultat HTV40 a fost introdus un procent de 20 %
pudră anorganică, utilizând un mixer de laborator Yanke-Kunkel echipat cu palete în system
Duplex şi o manta de răcire.
Compozitele rezultate au fost turnate într-un cadru metalic şi apoi presate între două plăci
de sticlă. Acest ansamblu a fost menţinut timp de 2 ore la 150 oC, în tot acest timp având loc
procesul de maturare al elementului compozit. Elastomerul EH1 a fost preparat din matricea
polimercă împreună doar cu agentul întăritor pentru a putea aprecia diferenţa între cele trei
materiale diferite, în funcţie de aplicaţie.

125
 Tabel 10.III. Compozitele preparate.

Cod Membrane Compoziţie

EH1 HTV40
EH5 HTV40, 20% MPQ ZS-9
EH6 HTV40, 20% Pirită

Mai jos sunt descrise rezultatele măsurătorilor efectuate cu membranele elastomerice EH1
şi EH6. Electrozii consideraţi sunt subţiri şi elastici, din folie de cupru de aproximativ 0,1 mm
grosime. În toate măsurătorile cu elastomeri, rezultate promiţătoare au fost obţinute la tensiuni de
peste 300 V curent continuu.
Pentru membrana elastomerică EH1, viteza medie de răspuns este de 2 nm/s şi acceleraţia de 40.6
nm/s2. Deplasarea maximă obţinută este de 2.7 μm.

Fig. 10.15 Actuaţia membranei elasomerice EH1 la 475 V curent continuu.

Următoarea măsurătoare a fost efectuată la tensiunea de 475 V c.c. asupra membranei

polimerice EH6 (elastomer dopat cu pirită). Deplasarea membranei EH6 a fost de 3.3 μm.
În ambele figuri (10.15, 10.16) se observă deplasarea membranei în momentul în care este
aplicată o tensiune electrică. Membrana rămâne polarizată, interferometrul indicând acelaşi nivel
al deplasării. În momentul în care se scurtcircuitează electrozii de pe suprafaţa membranei,
membrana se va relaxa total, sistemul revenind în poziţia iniţială.

126
 Fig. 10.16 Actuaţia membranei elasomerice EH6 la 475 V curent continuu.

Proba 10HSt este o membrană compozită în care matricea polimerică are structura
poliimidică (obținută din 2,6-bis(m-aminofenoxi) benzonitril (aceasta fiind o diamină cu 2 grupe
flexibile eter şi o grupă polară nitril) şi dianhidrida 4,4'-oxidiftalică).
Faza anorganică este constituită dintr-un amestec de BaO şi TiO2.
Membrana a fost preparată astfel: în faza de acid poliamidic (N-metilpirolidona fiind
solventul) s-a introdus un complex de bariu şi titan, iar amestecul obţinut s-a agitat până la
solvirea completă a complexului, după care a fost adaugată o cantitate de apă calculată astfel
încât să aibă loc hidroliza complexului anorganic (la încălzire controlată) cu eliberarea
nanoparticulelor de oxizi de bariu şi titan. Regimul termic a fost de a încălzi treptat membrana
depusă pe placa de sticlă până la 150 grade pentru eliminarea solventului (timp de 3-4 ore) şi
apoi câte 40 minute la 200, 250, 300 grade şi în final 30 minute la 370 grade. După răcire la
temperatura camerei placa de sticlă pe care a fost depusă soluţia de polimer a fost imersată în apă
distilată la fierbere pentru desprinderea membranei. Cantitatea de complex adaugată la soluţia de
acid poliamidic a fost calculată în aşa fel ca după tratamentul termic final să se obţină o
concentraţie de 10% BaO+TiO2 raportat la structura de poliimidă.
Ideea a fost de a obţine o distribuţie uniformă de nanoparticule, amestecarea realizându-se la
nivel molecular.
Membrana polimerică în sine este raportată în literatură ca având proprietăţi
piezoelectrice, iar amestecul de oxizi este adăugat pentru a creşte performanţele piezoelectrice.
Este cunoscut faptul că structura cristalină de BaTiO2 are bune proprietăţi piezoelectrice.
Membrana 10HSt a dat rezultate destul de bune în câmp electric, obţinându-se deplasări de până
la 70 nm, la o tensiune aplicată de 66 V (figura 10.17, 10.18). La tensiuni mai mari membrana va
atinge cu siguranță deplasări de ordinul micronilor, la fel ca în cazul membranelor elastomerice
analizate.
Membrana este foarte subțire și flexibilă, acesta fiind un mare avantaj față de pastilele ceramice
rigide tip PZT. În general membranele polimerice cu structura de bază poliimidică sau

127
elastomerică pot fi preparate prin procedee chimice cunoscute și nu necesită tratamente speciale
complexe ca în cazul unui material PZT.
Datorită flexibilității și maleabilității sale pe orice structură geometrică, membrana polimerică cu
proprietăți piezoelectrice poate fi integrată într-un sistem de senzori sau actuatori cu aplicație în
medicină sau în domeniul materialelor „inteligente”, haine „inteligente” și robotică. Spre
exemplu se pot crea structuri de mușchi artificiali ce pot răspunde la stimuli electrici.
Comparativ cu membranele de colagen, membranele polimerice rămân polarizate în timp, iar
răspunsul în tensiune este foarte rapid, având aceeaşi amplitudine a deplasării.

Fig. 10.17 Răspunsul membranei polimerice 10HSt la un impuls de tensiune de 66V.

128
Fig. 10.18 Răspunsul membranei 10HSt pentru un tren de impulsuri succesive la 66V.

129
11. Alte aplicaţii şi structuri de micromotoare piezoelectrice

11. 1. Frâna piezoelectrică

Frâna piezoelectrică este alcătuită din doi actuatori piezoelectrici liniari tip stivă, fiecare
de 35 mm în diametru şi 8 mm grosime, dispuşi de o parte şi de alta a discului de frână, care
acţionaţi printr-un implus de tensiune continuă vor genera o microdeplasare de 0.1  0.2 mm .
Frânarea se realizează direct prin deplasarea actuatorilor piezoelectrici şi implicit a celor două
plăci ce presează pe discul de frână.

Fig. 11.1 Sistem de frânare piezoelectrică.

Parametrii frânei piezoelectrice:

Tensiune de alimentare: 150  240 V ;

Turaţie maximă: 90 rpm ;
Cuplu de frânare maxim: 4 cNm ;
Putere maximă frână: 0.4 W ;
Forţa maximă de frânare: 0.8 N ;
Gabarit frână: 35x40 mm; Masa < 0.5 Kg;
Gabarit sistem de frânare: 166x167x81 mm; Masa: 2kg.

Actuatorii piezoelectrici sunt activați direct printr-un impuls de la o sursă de tensiune continuă de
200 V sau indirect, cu ajutorul unui transformator ridicător de tensiune. Transformatorul ridicător
este necesar atunci când tensiunea sursei de alimentare este mai mică de 24 V, în acest caz
impedanța proprie a secundarului transformatorului trebuie să permită încărcarea totală a
capacitorilor piezoceramici în respectivul timp de comutație.

130
 Fig. 11.2 Microdeplasarea actuatorilor piezoelectrici tip stivă la 150 V c.c.

La tensiuni continue mai mari de 200 V, spre exemplu dacă impulsul inductiv în secundar ajunge
până în jurul valorii de 400 V, pastilele piezoceramice se deformează chiar peste 0.3 mm într-un
timp foarte scurt (sub 0.1 ms), dar nu rămân blocate datorită depășirii tensiunii de saturație, ci
revin înapoi până în jurul valorii de 0.12 mm. Efectul a fost observat cu ajutorul unui
interferometru laser și apare începând cu tensiunea continuă de 150 V (figura 11.2). Important
este însă faptul că între 150 și 220 V pastilele piezoceramice rămân complet polarizate, chiar
după încetarea aplicării tensiunii. Timpul de descărcare al pastilelor piezoceramice în absența
tensiunii este destul de lent, mai mare de 5 secunde (pastilele piezoceramice sunt capacitori de 21

131
nF cu rezistența proprie de 13 MΩ). Acest fapt permite ca frânarea mecanică să fie completă,
blocând discul de frână în tot acest timp.
Actuatorii tip stivă utilizați în procesul de frânare sunt construiți din 4-6 pastile piezoceramice de
20 mm în diametru lipite fiecare pe un disc metalic de 31 mm în diametru. Aranjarea tip stivă se
folosește pentru o alimentare în paralel și pentru însumarea tutror microdeplasărilor generate de
către fiecare element piezoceramic în parte. Capacitatea echivalentă a configurației în paralel este
C e = n  C1 , astfel, energia acumulată a întregului sistem crește cu cât se adaugă mai multe
n
elemente piezoceramice (n) , W = C1U 2 .
2
q
dW = n dq = n  U  dq = n  U  A  d  n  x  = Fa  d (n  x) (11.1)
C1
C1 - capacitatea electrică a unei pastile piezoceramice, q - sarcina electrică totală acumulată,
U - tensiunea de alimentare, W - energia totală a sistemului, A - factorul de forță, x -
deplasarea unui element infinitezimal, n - numărul de pastile piezoceramice utilizate.

Din punct de vedere energetic s-a demonstrat că deplasarea crește cu numărul de pastile
piezoceramice adăugate, în timp ce forța totală depinde de deplasare la fel ca în cazul unui resort
pentru care se aplică legea lui Hook. Lucrul mecanic efectuat de către actuatorul piezoelectric
este dat de produsul dintre forța generată de actuator și deplasarea totală efectuată, ecuația 11.2.

Fa  X a 1
W= = k  X a2 , unde X a = n  x = n  d  U (11.2)
2 2

Formulele 11.3 și 11.4 sunt folosite în proiectarea actuatorului piezoelectric liniar tip stivă. Forța
generată de către fiecare disc piezoceramic este dată de produsul dintre factorul de forță și
tensiunea de alimentare. Cum teoria piezoelectricităţii respectă şi teoria elasticităţii, forţa poate fi
exprimată şi ca produs între rigiditatea şi deformarea mecanică.

Ya D p g
Fa = n  A  U = k  X a , A = d  Ya  D p , k = (11.3)
g
D p - diametrul pastilei piezoceramice, Ya - coeficientul
de elasticitate echivalent al
actuatorului, calculat în funcție de elasticitatea metalului folosit pentru tresele de alimentare,
elasticitatea materialului piezoceramic și tehnologia de lipire, d - constanta piezoelectrică de
încărcare cu sarcină electrică, g - grosimea discului piezoceramic, k - rigiditatea mecanică a
actuatorului.

Deoarece frecarea mecanică la nivelul pastilelor piezoceramice este neglijabilă în acest caz, iar
pierderile interne de material sunt destul de mici, majoritatea energiei electrice acumulate va
trebui să fie regăsită în lucrul mecanic efectuat de către actuator.
Pentru a afla deplasarea totală a actuatorului se utilizează expresia 11.4, ce provine din formula
mai generală a efectului invers piezoelectric prezentată în capitolul introductiv.

X a = n  d U (11.4)

132
Pentru forțe mari de frânare de ordinul kN trebuie ales din start un material piezoceramic cu un
modul de elasticitate Y și o constantă piezoelectrică d cât mai mare. Fiecare pastilă piezoceramică
trebuie dimensionată astfel încât împreună cu celelalte să reziste și să genereze forța respectivă de
frânare. Pentru puteri de frânare importante (kW) este necesară realizarea unui compromis între
deplasarea și forța generată de către actuatorul piezoelectic. Spre exemplu, forța poate fi obținută
dar deplasarea actuatorului va fi insuficientă pentru frânare, problemă care poate fi rezolvată prin
amplificarea deplasării cu ajutorul unei pârghii mecanice. Desigur, trebuie avut în vedere ca în
urma amplificării deplasării să obținem și forța utilă de frânare.

133
11. 2. Actuatori piezoelectrici cu membrană de colagen

În continuare sunt prezentate câteva structuri realizate din membrane de colagen.

Actuatorul tip acordeon este similar cu actuatorul piezoelectric tip stivă, fiind însă flexibil şi uşor
de realizat.

Fig 11.3 Actuator piezoelectric cu membrană de colagen tip acordeon, geometrie 8x16mm şi
grosime 0.45mm.

Structura şi caracteristicile piezoelectrice ale colagenului au fost analizate pe larg în capitolul 10.
Folosindu-mă de aceste proprietăţi piezoelectrice şi de elasticitatea membranei am construit
diverse structuri similare cu actuatorul piezoelectric tip stivă. Principalele probleme care apar la
un actuator piezoceramic tip stivă provin din tehnologia de realizare a lipiturilor. Orice lipitură
clasică va rigidiza în final întregul ansamblu, scăzând astfel performanţele actuatorului. Am
încercat să evit acest lucru prin adoptarea unor construcţii spiralate similare cu ale capacitorilor
sau tip acordeon dacă vrem să eliminăm inductivitatea proprie. Structurile sunt realizate doar prin
presarea, răsucirea sau înfăşurarea membranei de colagen împreună cu cele două folii conductive
de cupru. În final, actuatorul este capsulat prin presare la o anumită forţă de prestrângere într-o
carcasă elastică care permite propagarea cu pierderi cât mai mici a deplasării şi forţei generate şi
oferă în acelaşi timp şi protecţie.
Un astfel de actuator realizat din 7 straturi tip bandă este prezentat şi în figura 11.3. În momentul
când acesta este alimentat la 350 V curent continuu se obţine o deplasare de 200 nm, vezi figura
11.4. Pentru 100 de astfel de straturi sau spirale ne putem aştepta la o deplasare de 20 microni la
aceeaşi tensiune de alimentare.

134
 Actuator colagen acordeon, 8x16 mm
200

180

160
Deplasare [nm]

140

120

100

80
150 200 250 300 350
Tensiune alimentare [V]

Fig. 11.4 Deplasarea funcţie de tensiunea aplicată actuatorului piezoelectric cu membrană de

colagen tip acordeon.

Folosind linia de fabricaţie a capacitorilor clasici tip rolă (spiralaţi) sau tehnologia de depunere a
unui strat extrem de subţire conductiv (metal, carbon) peste dielectric se pot construi capacitori
piezoelectrici de volum redus şi cu deplasări foarte mari între 0.1  1 mm . Un astfel de actuator
este util în microrobotică pentru realizarea de muşchi artificiali. Colagenul poate fi înlocuit şi de
alţi polimeri (PVDF, PP, PETP) sau elastomeri cu caracteristici piezoelectrice de două sau trei ori
mai bune, vezi membranele elastomerice EH1, EH6 analizate în capitolul anterior.
În figura 11.5 s-a măsurat deplasarea actuatorului tip acordeon cu interferometrul laser liniar
pentru mai multe impulsuri de 300V tensiune continuă. Ţinând cont de faptul că punctul de
referinţă nu se află în zero, valoarea maximă obţinută este de 160 nm.

135
 Fig 11.5 Deplasarea actuatorului 8x16mm tip acordeon la impulsuri de tensiune de 300 V.

Dacă avem nevoie de o structură piezoelectrică plată, cât mai subţire şi flexibliă, se poate utiliza
actuatorul cu membrană de colagen din figura 11.6. Cu cât aria suprafeţei membranei va fi mai
mare şi grosimea mai mică, cu atât va creşte capacitatea electrică şi implicit deplasarea (se vor
acumula mai multe sarcini electrice pentru aceeaşi tensiune de alimentare).

136
 Fig 11.6 Actuator cu membrană pătrată de colagen, aria 20x20 mm şi grosimea 0.6mm.

Pentru actuatorul pătrat cu membrană de colagen din figura 11.6 s-au efectuat mai multe
măsurători la diferite tensiuni de alimentare. La 300 V se obţine o deplasare maximă de 170 nm.

Actuator colagen patrat, 20x20 mm

180

160

140
Deplasare [nm]

120

100

80

60

40
150 200 250 300
Tensiune alimentare [V]

Fig. 11.7 Deplasarea funcţie de tensiune a actuatorului cu membrană pătrată de colagen.

137
Fig 11.8 Deplasarea actuatorului cu membrană pătrată de colagen la 300 V comutaţii succesive.

138
11. 3. Motor ultrasonic cu undă staționară

Un tip de motor ce a fost realizat şi experimentat în laborator este cel cu undă staţionară
ultrasonică. Această structură abordată în faza de model experimental este cea prezentată în
figura 11.9, în care convertoarele cu geometrie disc sunt fixate pe două discuri metalice elastice
ce generează vibraţii care sunt apoi transmise prin microcontactul disc elastic – disc rotoric.
Micromotorul este prevăzut cu un sistem de ax cu ajutorul căruia se poate fixa şi poziţiona discul
pentru un microcontact optim cu discul rotoric.
Este necesar ca cele două elemente suport, inferior şi superior să fie poziţionate cu o
foarte bună planeitate impusă de reglajul microcontactului disc elastic – disc rotoric, Fig. 11.9.

Fig. 11.9 Model experimental de motor piezoelectric cu undă staţionară.

Deoarece majoritatea motoarelor piezoelectrice funcţionează prin intermediul contactului

mecanic, totul se poate reduce la un calcul mecanic al forţelor ce acţionează în acel punct sau pe
microsuprafaţa de contact. Forţa produsă de către elementul piezoelectric poate fi extrasă din
ecuaţiile efectului piezoelectric invers, prezentate pe scurt la începutul subcapitolului 1.2.1. O
undă ultrasonică se poate propaga după o direcţie ortogonală faţă de o anumită axă de polarizare
a materialului, fiind firesc ca amplitudinea deplasării să fie simţită pe acea axă de polarizare.
Cum în cazul de faţă, pentru simplificare, putem considera un singur punct de contact, problema
se poate analiza bidimensional.

139
 Fig. 11.10 Forţele care acţionează asupra rotorului.

FL  FC  N = 0
 (11.5)
FT - FF = FA = m  an
Forţa de frecare joacă un rol esenţial în transmiterea impulsului mecanic statoric.
În cazul în care suprafaţa de contact este în mişcare trebuie introdus coeficientul de frecare
dinamică.

F F = FFs  cd  n (11.6)

În general, coeficientul de frecare dinamică este mai mic decât coeficientul de frecare statică.

FF s =   N (11.7)

Putem considera doar frecarea statică ce se exercită asupra unui punct de contact ideal, fără masă
şi de suprafaţă infinitezimală.

FT = AT  u , FL = AL  u , (11.8)

AT = lT d T YT , AL = l L d L YL (11.9)

Parametrii electrici şi mecanici ce intervin în ecuaţii:

FF - forţa de frecare în microcontactul disc elastic – disc rotoric;

N - forţa normală la suprafaţa de contact;
FC , FC' - forţa centrifugă ce acţionează dinspre periferia discului rotoric către centru; forţa
centripetă ce acţionează în sens opus, fiind considerată forţa de inerţie;
FA - forţa activă mecanică ce generează şi întreţine mişcarea de rotaţie;
FL , FT - forţa longitudinală şi forţa transversală generată de către ansamblul disc metal-piezo
statoric;

140
AL , AT - factorul de forţă longitudinal şi transversal poate fi privit ca un factor de cuplaj între
partea electrică şi partea mecanică;
lT , l L - latura de-a lungul căreia apare unda staţionară (transversală sau longitudinală);
YT , YL - modulul Young de elasticitate a materialului în care apare unda staţionară (transversal
sau longitudinal);
d T , d L - coeficientul piezoelectric de încărcare cu sarcină electrică, transversal sau longitudinal;
u - tensiunea electrică aplicată celor două suprafeţe.

u = U cos( r t ) (11.10)

FC = 4 2 n 2  m  r = - FC' (11.11)

FA = ( AT  AL )u - 4 2 mr  n 2 (11.12)

Dacă rotorul se mişcă cu viteză constantă, putem considera EMBED Equation.3 FA = 0.
Relaţia 11.12 este valabilă în cazul în care elementul piezoceramic se află în jurul rezonanţei
mecanice. Dacă motorul este cu mult în afara frecvenţei de rezonanţă (figura 11.11) turaţia scade
practic spre 0. În orice situaţie cuplul activ va fi direct proporţional cu tensiunea de alimentare.

Fig. 11.11 Caracteristica turaţie funcţie de frecvenţă specifică motorului cu undă staţionară.

Rotorul este antrenat cu viteza unghiulară de 150 rpm printr-o serie de microimpulsuri la
frecvenţa de rezonanţă de 24.7 kHz. Motorul foloseşte atât vibraţia longitudinală a unei plăci cât
şi cea transversală.

141
Fig. 11.12 Vedere laterală şi de sus a convertorului cu două discuri tip piezo-metal ce acţionează
asupra rotorului.

Cum mişcarea este transmisă prin intermediul unui singur punct de contact, cuplul
motorului va fi mult redus, forţa de frecare depinzând de suprafaţa de contact mult diminuată.

142
Cap. 11. 4. Motorul Rombodisc

În continuare este prezentat un nou prototip de motor piezoelectric, denumit

„Rombodisc”. Funcţionarea motorului “Rombodisc” se bazează pe producerea undelor
progresive la intersecţia celor două discuri de alamă, pe care sunt lipite cu adeziv conductiv
discurile piezoceramice.

Fig. 11.13 Motorul liniar tip “Rombodisc”.

Undele ultrasonice staționare produse de către fiecare element piezoceramic în parte se propagă
în toate direcţiile. Astfel este necesar un sistem de ghidaj şi suport în formă de romb pe care se
aşează bilele rotative. În punctele de contact de pe laturile rombului şi circumferinţa sferei se vor
compune două câte două unde staţionare defazate la 90 de grade.

 
u = u1  cos( -  )  u 2  cos( ) = A  sin(t )  cos( -  )  A  cos(t )  cos( )
2 2
u = A  sin(t )  sin( )  A  cos(t )  cos( ) = A cos(t -  ) (11.13)

În regim monofazat motorul funcţionează datorită compunerii undelor staţionare radiale

cu cele generate perpendicular la contactul oblic cu sfera rotativă. Pentru acest mod de
funcţionare se pot imagina şi alte structuri geometrice, spre exemplu inelul piezoceramic.

143
 Fig. 11.14 Compunerea undelor la intersecţia celor două discuri piezoceramice.

Dm = 35 mm; D p = 25 mm
Dsf = 22 mm; H r = 55 mm
Lr = 68 mm; w = 10 mm

În figura 11.14 se observă că în zonele selectate de propagare a undelor, oricărei direcţii

de propagare a undei u1 îi corespunde o anumită undă perpendiculară u2. De o parte şi de alta a
“rombodiscului” apar două unde progresive care se propagă de obicei în contrasens; astfel, cele
două sfere se vor roti în sens opus generând şi o mişcare liniară, în cazul intercalării unei tije
culisante între cele două bile de ghidaj.
În contact cu suprafaţa fină a unei mese sau plăci şi fiind presat de cele două sfere pentru
asigurarea unui contact mecanic optim, “rombodiscul” se va deplasa de unul singur pe o anumită
direcţie, în funcţie de modul de rezonanţă atins. Pe acest principiu se pot construi miniroboţi
independenţi care la moduri diferite de rezonanţă îşi pot modifica traiectoria.
Forţa F este forţa cu care este împinsă tija într-o anumită direcţie de către bilele rotative,
F = 0.7  1.3 cN .
Forţa a fost măsurată cu ajutorul unui microdinamometru de la KontaKtor cu o rezoluţie
de 0.1 cN.
Viteza liniară a tijei se încadrează în intervalul vtija = 0.75  1.6 cm s , variaţia vitezei
depinzând în primul rând de reglajul în frecvenţă din jurul punctului de rezonanţă mecanică.

144
Viteza de rotaţie a sferei este între  sfera = 35  40 rpm . Dacă ataşăm un ax sferei şi un sistem de
lăgăruire obţinem un motor rotativ. Viteza a fost determinată cu ajutorul unui cronometru digital
măsurându-se timpul până când se parcurge distanţa respectivă fixată (3 cm), în cazul bilelor
rotative pentru un anumit număr de rotaţii fixat (2-3 rotaţii). În momentul în care motorul este
lăsat liber să vibreze pe o placă, cu acelaşi principiu de măsurare, se obţine o viteză liniară de
v romb = 0.46 cm s şi o forţă de împingere Fromb = 3.5  4 cN . Motorul îşi trage propria greutate
plus greutatea celor două bile ce presează pe rombul de alamă asigurând un contact îmbunătăţit
cu placa respectivă. Un contact optim cu placa şi un reglaj fin spre punctul maxim de rezonanţă
determină o viteză de deplasare mărită.
Tensiunea de alimentare vârf la vârf este U vv = 94 V .
Din experimente s-au obţinut două moduri de rezonanţă la un interval de
f r1 = 20.1  20.3 kHz şi f r 2 = 21.1  21.8 kHz .
Greutatea unei sfere este G sfera = 45 g .

Fig. 11.15 Forma de undă a tensiunii de alimentare a motorului piezoelectric liniar la frecvenţa de
rezonanţă de 20.2 kHz.

Pentru primul mod de rezonanţă prezentat şi în figura 11.15 se obţine viteza maximă de
0.5 cm s .

145
 Fig. 11.16 Forma de undă a tensiunii de alimentare pentru al doilea mod de rezonanţă
la 21.1 kHz.

Cel de-al doilea mod de rezonanţă permite un reglaj mai larg al frecvenţei, cu viteze de deplasare
puţin diferite.
Cum forța utilă de antrenare a sferei este egală cu forța de împingere măsurată la capătul tijei se
poate determina cuplul, știind că raza sferei este de 11 mm. Ca și motor rotativ, motorul
„Rombodisc” dezvoltă un cuplu maxim de numai 0.0143 cNm, funcționând la o turație de 40
rpm.

Fig. 11.17 Modelul experimental al motorului liniar tip “Rombodisc”.

146
Fig. 11.18 Componentele constructive ale motorului liniar.

147
Cap. 11.5. Proiectarea și realizarea unui motor liniar cu unde
ultrasonice progresive

Elementele piezoceramice sunt dispuse pe placa statorică și alimentate sinusoidal astfel

încât să genereze o undă progresivă ultrasonică de amplitudine maximă.
Pentru a putea înţelege fenomenul care stă la baza producerii unei unde progresive, am
considerat cazul unei plăci de metal pe care sunt lipite cu un strat conductiv elementele
piezoceramice generatoare de vibraţie. Plăcuţele piezoceramice vor fi polarizate pe direcţia
grosimii, firul comun de alimentare (masa) se va fixa în contact cu folia metalică.
Atât elementul piezoceramic I cât şi elementul piezoceramic II vor genera unde staţionare
în placa metalică. Conform teoriei, o undă staţionară se poate descompune într-o undă progresivă
şi una regresivă, care se vor propaga în sens opus de-a lungul plăcii metalice.

Fig. 11.19 Dispunerea elementelor piezoceramice în vederea generării undelor progresive:

a) vedere laterală; b) vedere de sus.

Fig. 11.20 Compunerea vibraţiilor generate de cele două elemente piezoceramice vecine I şi II.

148
Elementele piezoceramice alimentate în curent alternativ la frecvenţe ultrasonice generează
undele progresive:

U I = A sin(t - kx)  A sin(t  kx)

U II = B sin  t - k  x  a      B sin  t  k  x  a    
 2
k= = , v - viteza ,  - lungimea de undă,
 
x-poziția celor două unde plane de-a lungul plăcii metalice. (11.14)

U 1, 2
sunt cele două unde staţionare generate de primele două plăci piezoceramice. Se observă că
ambele unde se propagă în primul rând de-a lungul lamelei metalice, fiecare în ambele sensuri.
Pentru a putea avea o singură undă progresivă unidirecţională trebuie anulată unda regresivă de
sens opus. Acest lucru este posibil în cazul în care amplitudinile vibraţiilor sunt aceleaşi A = B .

- ka   = 1
Se notează : (11.15)
ka   =  2
Astfel, unda de pe elementul II se poate scrie:
U II = B sin(t - kx  1 )  B sin(t  kx   2 ) (11.16)
Pentru ca unda rezultantă sa fie progresivă, se impun condiţiile:
1 = m , m - par , m = 0  2  4...
(11.17)
 2 = n , n - impar , n = 1  3...
1 = -ka   = m
Rezultă : (11.18)
 2 = ka   = n
Unda progresivă rezultantă este în aceste condiţii:

U = A sin(t - kx)  A sin(t  kx)  B sin(t - kx  m )  B sin(t  kx  n ) =

(11.19)
( A  B ) sin(t - kx )  ( A - B ) sin(t  kx).

Din ecuaţia 11.19 unda progresivă unidirecţională este de forma U = 2 A  sin(t - kx) , atunci
când vibraţiile au amplitudini egale. Deoarece unda progresivă descrie mişcări circulare în acelaşi
sens, elementul mobil va fi deplasat în direcţia opusă pe o traiectorie liniară.
Elementele de proiectare a unui motor liniar sunt legate în primul rând de dispunerea plăcilor
piezoceramice şi de defazajul între două deplasări; unde  -lungimea de undă, k-numărul de
undă, T-perioada, f-frecvenţa de alimentare.
Se observă că pentru aceiaşi amplitudine a vibraţiilor vom avea o singură undă călătoare, unda
regresivă anulându-se.
Proiectarea actuatorului liniar piezoelectric se va face în funcţie de lungimea elementului
piezoceramic.

Pornind de la b = , condiţia de creare a undei ultrasonice fundamentale în materialul
2
piezoceramic, avem:

149
c = a-b a =bc (11.20)

Din condiţiile 11.14, 11.15 și 1.17 se pot extrage două egalităţi care se vor folosi în
dimensionarea plăcuţelor piezoceramice şi a celorlalte componente constructive. Plăcuţele vor fi
aranjate la o anumită distanţă, astfel încât, prin compunerea vibraţiilor succesive generate de către
fiecare element piezoceramic vecin să se obţină o undă călătoare. Geometria va dicta în primul
rând compunerea corectă a vibraţiilor, plăcuţele putând fi alimentate monofazat de la aceeaşi
tensiune sinusoidală.

 2
-  a   = m
 (11.21)
 2 a   = n
 

Se consideră acelaşi defazaj de  = al celor două unde staţionare generate electric.
2
Acest defazaj poate fi obţinut în două moduri, fie printr-o alimentare bifazată, fie monofazat, caz
în care defazajul este dat implicit de aşezarea geometrică.

 2    
 -   c  2   2 = m
  
 (11.22)
 2  c      = n
   2  2

 2 
-  c - 2 = m
 (11.23)
 2 c  3 = n
  2
Adunând şi scăzând cele două ecuaţii ale sistemului 11.23 se obţin două condiţii de bază
care descriu toate modurile de vibraţie posibile. Se va alege în primul rând frecvența de vibrație
fundamentală și armonicile imediat următoare.

m  n = 1

 4 (11.24)
-  c =  m - n  2  

150
Sistemul 11.24 poate fi simplificat în continuare înlocuind necunoscuta m în cea de-a doua
ecuaţie; astfel, rezultă o singură ecuaţie din care se poate afla distanţa c la care se pot aşeza
succesiv două plăci vecine.

4
- c =  3 - 2n    (11.25)


c =  2n - 3  (11.26)
4
Armonica fundamentală și cea imediat următoare este determinată de valoarea necunoscutei n şi
de lungimea b a elementului piezoceramic. Cele două soluții de proiectare și dimensionare sunt
prezentate în relaţia 11.27, respectiv 11.28.
   3
Pentru n = 2, m = -1 avem c = a=  = (11.27)
4 2 4 4

3  3 5
Pentru n = 3, m = -2 avem c = a=  = (11.28)
4 2 4 4

Ştiind că b = 5 mm celelalte cote sunt:  = 2b = 10 mm , c = 2.5 mm, a = 7.5 mm ,

pentru cazul 1.25 al fundamentalei, iar armonica imediat următoare are  = 2b = 10 mm ,
c = 7.5 mm, a = 12.5 mm .

Fig. 11.21 Deformarea în câmp electric a unei plăcuțe piezoceramice 5x5 mm folosită în
construcția actuatorului liniar.

S-au efectuat măsurători pe mai multe tipuri de plăcuţe piezoceramice, printre care şi o plăcuţă
pătrată de 5x5 mm (Anexa I).

Motorul liniar poate fi caracterizat de următoarele date nominale, conform modelelor

experimentale testate:

- Tensiunea nominală (valoare efectivă): U n = 50  250 V  .

- Frecvenţa: f n = 20  40kHz .
- Puterea activă nominală: Pn  0.01 W  .

151
- Randament estimat:  n = 0,5  0,55 .
- Forța nominală: Fn = 5  15 mN .
- Viteza liniară: v  0.1 mm / s.
12. Rezumat și observații

Capitolul 1 prezintă o clasificare a principalelor tipuri de convertoare piezoelectrice,

motoare pas cu pas, inerţiale, cu undă staţionară ultrasonică tip “woodpecker” sau cu undă
ultrasonică progresivă.
În subcapitolul 1.2 sunt descrise mai pe larg acţionările electrice specifice motoarelor
liniare tip stivă, motoarelor pas cu pas liniare, rotative sau pe principiul inerţiei. Semnalele de
comandă nu necesită o alimentare la o anumită frecvenţă ultrasonică de rezonanţă, important
fiind doar controlul amplitudinii tensiunii.
Un tip de motor ce a fost realizat şi experimentat în laborator este cel cu undă staţionară
ultrasonică. Subcapitolul 1.3 începe cu descrierea primelor motoare de acest gen, iar în
continuare sunt evidenţiate contribuţiile aduse de către autor. Aceste tipuri de motoare sunt
unidirecţionale şi se bazează pe producerea unei unde staţionare în material de amplitudine
micrometrică. Mişcarea este transferată rotorului printr-o serie de microimpulsuri generate într-un
timp foarte scurt, la o anumită frecvenţă de rezonanţă.
La începutul subcapitolului 1.4 s-a abordat atât din punct de vedere teoretic cât şi
experimental motorul liniar cu undă ultrasonică progresivă. Pentru a realiza acest motor este
foarte important calculul de proiectare şi dimensionarea reperelor. Proiectarea începe de la teoria
compunerii undelor ultrasonice, din care se stabilesc anumite condiţii şi egalităţi matematice ce
satisfac cerinţa ca unda să fie călătoare şi unidirecţională. Dimensiunile geometrice pot fi
calculate chiar din aceste egalităţi matematice. În continuare sunt caracterizate mai multe modele
de motoare rotative cu undă ultrasonică progresivă, printre care motorul USR realizat de firma
Shinsei şi motorul Squiggle realizat de NewScale.
Subcapitolul 1.5 se concentrează asupra acţionărilor hibride cu mai multe grade de
libertate. Spre exemplu, o microacţionare specifică unui scaner optic include un motor de c.c.
pentru deplasări grosiere şi un actuator piezoelectric multistrat folosit în poziţionări de precizie.
O altă structură hibridă poate folosi avantajele şi poate compensa din dezavantajele actuatorilor
piezoelectrici şi magnetostrictivi. Structura rezonantă LC va genera astfel deplasări şi forţe
semnificative, la frecvenţa de oscilaţie minimă impusă.
În capitolele 2 și 3 au fost prezentate principiul de funcţionare şi caracteristicile
constructive ale motorului piezoelectric rotativ cu geometrie tubulară. Micromotorul are o
construcţie extrem de simplă, statorul fiind realizat dintr-un convertor piezoelectric tubular
perfect circular. Rotorul tronconic se realizează prin prelucrări mecanice uzuale, fiind montat în
contact direct cu suprafaţa interioară a cilindrului piezoceramic.
Principiul de funcționare se bazează pe producerea undelor progresive de suprafaţă de tip
Rayleigh în materiale piezoceramice. Undele Rayleigh sunt unde eliptice generate la interfața
stator-rotor. Elementul piezoceramic tubular alimentat monofazat în tensiune alternativă produce
o vibrație longitudinală, pe direcția radială. Deoarece rotorul este tronconic la un unghi de 45°
(sau sferic), impactul între convertor și rotor va fi oblic, cauzând în mod indirect și o vibrație
transversală. Vibrația longitudinală se va compune cu vibrația transversală obținută, rezultând o
mișcare eliptică la suprafața de contact dintre stator și rotor.
Acest principiu de funcționare este valabil atât în regim monofazat cât și în regim bifazat.
În regim monofazat, undele eliptice progresive scad în amplitudine odată cu propagarea lor în

152
adâncime, fiind neglijabile în interiorul materialului piezoceramic. Dezavantajul poate fi înlăturat
prin alimentarea în regim bifazat, regim în care undele eliptice pătrund mult mai ușor în material
și îl fac să vibreze chiar pe întregul volum. Un alt avantaj al regimului bifazat ar consta în
modificarea relativ simplă a sensului de rotație al rotorului prin inversarea polarizării cu o undă
sinusoidală și cosinusoidală.
Motorul poate fi utilizat pentru microacţionări industriale ce necesită cupluri importante,
forţe axiale mari (până în 15 N) şi viteze mici, până în 10 r.p.m.
Din caracteristicile constructive rezultă o serie de avantaje și dezavantaje în raport cu un
motor electromagnetic clasic. Ca dezavantaje ale motorului piezoceramic rotativ pot fi
menționate: schema de acționare destul de complicată, necesitând o sursă de tensiune de peste 50
V și variabilă în frecvență, odată cu miniaturizarea apare problema realizării lipiturilor și a
conexiunilor necesare alimentării electrozilor, eficiența redusă dată de transmisia prin frecare și
contactul imperfect între stator și rotor.
Tot din caracteristicile constructive se pot enumera următoarele avantaje: datorită
tehnologiei simple de fabricație, există posibilitatea miniaturizării la o scară mult mai mică față
de motorul electromagnetic clasic, se poate intra în domeniul micro și nanocomponentelor
electromecanice, randamentul crește simțitor odată cu miniaturizarea, precizia de poziționare este
foarte bună, iar la aceleași dimensiuni motorul piezoceramic dezvoltă cupluri și forțe mult mai
mari față de micromotoarele electromagnetice.
Convertorul piezoceramic este echivalent cu un condensator cilindric polarizat radial pe mai
multe zone. Alimentarea radială cu polarități diferite este utilizată în regim bifazat pentru a crea
unde mecanice „învârtitoare”.
Motorul poate utiliza două tipuri de rotoare: un rotor cu geometrie tronconică sau un rotor
sferic. Rotorul sferic este mai greu de obținut dar oferă un bun contact mecanic între stator și
rotor. Cu cât suprafața de contact este mai bine prelucrată mecanic, cu atât vom avea un mai bun
transfer al vibrației.
O mare parte din capitolul 3 cuprinde și încercările experimentale efectuate pe modelele MPR15
și MPR33. Din aceste experimente s-au putut extrage caracteristicile funcționale, cuplul, turația,
forța axială, modurile de rezonanță și intervalele de variație a frecvenței în jurul punctului de
rezonanță. Din date se deduce că acestea sunt micromotoare lente, dar de cuplu relativ mare și de
rezoluție foarte bună, estimată la nivel de 20 ' de arc.
S-a analizat pentru început caracteristica turaţie funcţie de frecvenţă la sarcină axială
constantă (reprezentată de propria greutate a rotorului sferic 173 grame cu G= 1,73 N). Se
observă variaţia deosebită a turaţiei pe un domeniu relativ îngust de frecvenţă (ce include şi
rezonanţa): 32,5 kHz - 34 kHz.
În regim monofazat cât și în regim bifazat, punctul optim de funcționare se află în jurul
vitezei unghiulare de 9 rpm. Viteza unghiulară a rotorului în funcție de frecvență are un punct de
maxim și o distribuție descendentă spre marginile intervalului de funcționare, la fel ca în cazul
unei diagrame Bode. Maximul vitezei corespunde frecvenței de rezonanță mecanică. Frecvența
electrică necesară atingerii punctelor de rezonanță diferă în general de frecvența de rezonanță
mecanică. Viteza motorului scade foarte repede din punctul de rezonanţă mecanică spre capetele
intervalului de variaţie a frecvenţei. În momentul depășirii capetelor intervalului de funcționare,
rotorul se opreşte brusc. Astfel, faţă de un motor electromagnetic clasic, motoarele piezoelectrice
cu undă ultrasonică progresivă prezintă şi un control start-stop foarte rapid, practic un răspuns
aproape instantaneu. Un motor electromagnetic are o inerţie destul de mare, atât în cazul pornirii
cât şi la oprire, însă şi vitezele sunt incomparabil mai mari. Spre exemplu, frânarea
electromagnetică este mult mai lentă şi imprecisă decât cea prin contact mecanic şi acţionată de

153
un convertor piezoceramic, cazul frânei piezoelectrice. În anumite acţionări, trenuri de mare
viteză, aviaţie, se preferă funcţionarea în tandem a celor două tipuri de frâne; pentru viteze mari
se utilizează frânarea electromagnetică, iar pentru viteze mici cea piezoelectrică.
Comportarea micromotorului a fost analizată şi pentru o forţă axială variabilă. Pentru
micromotorul MPR 33, forţa axială optimă în regim monofazat este de 600 gf, forţă ce include
greutatea proprie a rotorului la care se adaugă forţa generată prin controlul resortului de
compresiune. Din măsurători, o forţă de 700 gf micşorează turaţia la 7 rpm. La 600 gf turația este
de aproximativ 8.5-9 rpm. Odată cu modificarea forței axiale se produce şi o deplasare a
punctului de rezonanță, frecvența de rezonanță electrică scade cu 100 Hz pentru o forță axială
mărită la 600 gf, de la 32800 Hz, punctul de rezonanță corespunzător forței axiale de 400 gf.
La o sarcină axială mai mare se obţine tehnic o turaţie mai mare. În aparenţă o anomalie.
Totul se explică prin principiul de funcţionare. Transmiterea vibraţiilor şi a mişcării de la
convertor la rotor se realizează prin microcontact mecanic. Există deci o forţă optimă de contact
care realizează o funcţionare optimă, în concluzie, un compromis între forţa de pretensiune în
contact, sarcina micromotorului şi viteza sau turaţia în cazul micromotorului rotativ.
Prin variația forței axiale de la o valoare minimă la o valoare maximă se obține tot o
caracteristică descendentă în formă de clopot a vitezei asemănătoare cu diagrama Bode la
rezonanță. Atât pentru forțe mai mici decât forța optimă, cât și pentru forțe mai mari, motorul are
o eficiență scăzută. În afara intervalului de funcționare, o forță axială prea mică nu poate asigura
un bun contact mecanic între stator și rotor, astfel rotorul nu se mai poate roti, iar în cazul unei
forțe axiale prea mari, presiunea în contact e prea mare și implicit forța de frecare este prea mare.
În cazul unei forțe de frecare mai mare decât forța utilă, rotorul se oprește. Din experimente
rezultă că pentru o forță axială sub 1 N rotorul nu are asigurat un bun contact mecanic şi practic
motorul nu poate funcționa. La fel, pentru o forță axială ce depășește 18-20 N rotorul nu se mai
poate roti, datorită suprasarcinii. Forţa sau cuplul optim corespunzător rezonanţei se află în vârful
curbei.
Ţinând cont de faptul că bilanţul de puteri trebuie respectat, iar puterea utilă rămâne
nemodificată, odată cu creşterea forţei axiale şi implicit a sarcinii peste valoarea optimă, viteza
trebuie să scadă, iar odată cu scăderea forţei axiale sub punctul optim, viteza va trebui să revină
cel puţin până la valoarea măsurată în gol, atunci când presiunea în contact este realizată numai
de resortul de compresiune.
Motorul piezoceramic rotativ (modelul MPR33) are o caracteristică mecanică destul de
flexibilă, permițând reglarea vitezei pe tot intervalul, între 0 și 10 rpm. Cuplul nu poate varia
foarte mult deoarece forța de frecare iniţială (de pornire), trebuie să permită un transfer optim de
putere mecanică. Cum forța utilă va trebui să fie întotdeauna mai mare decât forța de frecare,
cuplul minim obținut va fi chiar cel dat de forța de frecare. Cuplul de pornire este cuplul de la
care rotorul începe să se rotească, învingând forța de frecare.
Pentru diferite forţe axiale aflate între 5 şi 20 N, cuplul de frecare variază numai între 2 și
3 Ncm. Cuplul de pornire optim corespunde forței de frecare de 2 Ncm, fiind necesară o forţa
axială de 10-12 N.
În capitolul 4 este descrisă o metodă matematică de modelare a convertorului
piezoceramic. Metoda ține cont de bilanţul de forţe ce acţionează asupra convertorului
piezoceramic şi foloseşte ecuaţiile diferenţiale ale tensiunilor mecanice interne şi a deformaţiilor
din teoria elasticităţii.
Din bilanţul de forţe din mecanica clasică rezultă că o forţă axială se transmite dinspre
rotor pe toată suprafaţa de contact a statorului, sub forma unei presiuni radiale. Considerăm
această presiune ce acţionează asupra suprafeţei interioare a cilindrului piezoceramic ca fiind

154
principala solicitare externă, celelalte solicitări mecanice provenind din efectul piezoelectric
invers dat de câmpul electric. Expresiile tensiunilor mecanice relative au fost particularizate
pentru geometria tubulară a elementului piezoceramic şi condiţiile de frontieră prezentate
anterior.
S-au luat în calcul atât tensiunile mecanice transformate în coordonate polare, cât şi
deformaţiile radiale, circulare şi verticale. Se consideră că iniţial nu avem solicitări mecanice
axiale. Pentru a stabili legătura între deformaţii şi forţe (tensiuni mecanice) se aplică legea lui
Hook pentru efectul piezoelectric, rezultând astfel un sistem de ecuaţii scris în coordonate polare
ce cuprinde ambele efecte piezoelectrice, direct şi invers.
Modelarea matematică trebuie să se facă atât pe baza ecuaţiilor de compatibilitate şi
echilibru din teoria elasticităţii, cât şi din sistemul de ecuaţii al efectului piezoelectric general.
În capitolul 4 s-au calculat presiunile externe, tensiunile mecanice, deplasarea radială, verticală şi
inducţia electrică, toate în funcţie de rază. Datorită simetriei cilindrice pentru o reprezentare 3D
în funcţie de ambele coordonate polare, la aceeaşi rază şi unghi variabil, ar rezulta aceleaşi valori.
Modelul matematic al convertorului piezoelectric tubular a fost analizat în primul rând pentru a
afla soluțiile în regim static. În regim dinamic, nu mai putem vorbi de o singură deplasare, ci de
un întreg ansamblu de vibrații ce se compun și generează în timp o undă mecanică progresivă.
Capitolul 5 este piesa finală care întregește modelul matematic anterior. Soluția undei este
completată și de numeroase simulări realizate în programul COMSOL. Soluția generală a undei
ce se propagă de-a lungul circumferinței este dată de produsul între soluția deplasării radiale,
circumferențiale și soluția variației în timp. Această separare de variabile permite o simplificare a
modelului matematic de calcul.
Soluția undei este definită ca produsul între un factor ce depinde de geometria convertorului și
armonica semnalului, amplitudinea deplasării radiale și variația cosinusoidală în timp, la o
anumită poziție pe circumferință.
La aceeași frecvență de rezonanță stabilită pe cale experimentală rezultă o viteză teoretică
maximă de 8.3 rpm, viteză de rotație foarte apropiată de valoarea maximă obținută din
măsurători.
Simulările în COMSOL au fost realizate pentru patru cazuri. Primele două cazuri au pornit de la
o analiză în regim static, bidimensională, pentru o forță axială de 1 N și 14 N. Tensiunea de
alimentare efectivă rămâne nemodificată la 25 V. Deplasarea totală maximă este de 0.12 m ,
respectiv 1.63 m . Astfel, pe măsură ce forța axială crește, deplasarea interioară va fi și ea mai
mare. Din punct de vedere al solicitării mecanice pentru întreaga suprafață, deplasarea este
maximă la interior și descrește spre limita exterioară.
Următoarele două simulări au fost efectuate în regim dinamic, timp de o perioadă și cu o
vizualizare 3D a deformării materialului. Alimentarea în tensiune s-a făcut respectând
succesiunea de faze (-Sin)(-Cos)(Sin)(Cos) sau (Sin)(Cos)(Sin)(Cos).
Vibrația tubului piezoceramic a fost extrasă pentru opt timpi diferiţi, la un interval egal de
  
eşantionare, mai precis din în . Atât teoretic cât şi din simulări reiese că la un unghi de
4 4 2
3
sau amplitudinea deplasării este maximă pentru sectoarele de cerc alimentate sinusoidal.
2
Principalele zone marcate cu roșu sunt localizate pe “buzele” cilindrului sau la limita de
separație între cele patru sectoare de cerc. În aceste locații amplitudinea deplasării este maximă
pentru unda progresivă generată de alimentarea bifazată (-Sin)(-Cos)(Sin)(Cos).
Deoarece pentru simularile 3D se lucrează în coordonate carteziene, condiţiile de frontieră
ale solicitărilor mecanice radiale externe nu au mai fost definite.

155
 Configurația de alimentare (Sin)(Cos)(Sin)(Cos) nu creează o undă progresivă decât
atunci când se folosesc în loc de cilindru plăcuțe piezoceramice separate cu polarizare inversă pe
direcție radială, cazul motorului Squiggle. Configurația a fost utilizată pentru a alimenta motorul
piezoelectric în regim bifazat cu ajutorul a două conexiuni de alimentare ce unesc fiecare câte
două sectoare opuse ale suprafeței exterioare și un punct de masă conectat la suprafața interioară
pentru a realiza o polarizare radială. Cu acest mod de alimentare se obține o amplificare a undelor
Raleigh de suprafață.
Deplasările rezultate din modelarea matematică corespund cu cele determinate pe cale
experimentală în cadrul capitolului 6.
Deplasarea verticală corespunzătoare lungimii tubului piezoceramic este teoretic de 150
nm. Deplasările verticale măsurate cu interferometrul liniar sunt aproximativ de același ordin,
220 nm. Deplasarea a fost identificată interferometric la frecvenţa de rezonanţă de 33725 Hz. În
concluzie, modelul matematic poate fi validat în zona frecvenţei de rezonanţă. Acest lucru a fost
demonstrat deoarece în afara modurilor de rezonanţă amplitudinea deplasării este mult mai mică,
practic neglijabilă.
Interferometrul laser respectă o anumită procedură de aliniere şi retroreflectorul trebuie să fie
stabil din punct de vedere mecanic. Retroreflectorul nu poate fi pus într-o poziţie stabilă pentru
măsurarea deplasării radiale. Se va folosi în acest caz un palpator cu precizie micrometrică.
Deplasările radiale măsurate în jurul aceleiaşi frecvenţe de rezonanţă sunt de aproximativ
1  2 m , iar deplasările radiale calculate sunt de 1.44 m .
Capitolul 7 prezintă un alt model matematic, utilizând scheme electromecanice. Acest
model matematic permite studiul impedanţei mecanice şi determinarea răspunsului în frecvenţă a
sistemului electromecanic. Se poate estima răspunsul unui sistem mecanic sub acţiunea unei forţe
excitatoare ca un raport deplasare-forță, viteză-forță sau accelerație-forță.
Modelul matematic face legătura între parametrii mecanici şi electrici prin intermediul ecuaţiilor
piezoelectricităţii. O deplasare în sistemul mecanic poate fi percepută ca o acumulare de sarcină
electrică pe unitatea de suprafaţă. Ţinând cont de această legătură, specifică materialului
piezoelectric, se poate converti uşor o schemă pur mecanică într-o schemă electrică. La rezonanţă
este importantă determinarea impedanţei mecanice. Aceşti parametri mecanici, masa, coeficientul
de elasticitate şi amortizarea mecanică corespund din punct de vedere electric unei inductanţe,
capacităţi şi rezistenţe. Cuplajul electromecanic se face prin intermediul unui factor de forţă.
Răspunsul în frecvenţă al sistemului electromecanic este dat de impedanţa totală. Rezonanţa serie
este dată exclusiv de partea mecanică a sistemului, frecvenţa de rezonanţă depinzând de raportul
dintre coeficientul de elasticitate şi masă.
Din grafice se observă că punctul de rezonanţă mecanică se află la 1039000 rad/s sau
165367 Hz, frecvenţa electrică de alimentare fiind de aproximativ 5 ori mai mică.
Ştiind tensiunea de alimentare şi admitanţa totală electromecanică, se poate afla curentul absorbit
de către motor, aproximativ 4 mA. Curentul calculat corespunde cu cel determinat pe cale
experimentală, prezentat ca parametru în cadrul capitolului 3.
Forța maximă dată de modelul schemei electromecanice apare în punctul de rezonanță la
viteze minime ale rotorului. Această forță este comparabilă cu forța medie obținută pe cale
experimentală. Modelarea motorului rotativ MPR cu ajutorul schemei electromecanice necesită
un timp mic de calcul, iar rezultatele sunt satisfăcătoare.
În capitolul 8 a fost analizat bilanţul de puteri. Analog cu motoarele electromagnetice,
există o putere electrică consumată de aproximativ 0.2 W şi o putere mecanică utilă estimată la
0.03 W. Din calcul rezultă că pierderile în dielectric sunt sub 15 % din puterea absorbită de la
rețea, 0.024 W.

156
Pierderile prin frecare şi contact mecanic sunt cele mai importante, fiind calculate din bilanţul de
puteri. Motorul piezoelectric rotativ pierde prin frecare și contactul mecanic 70 % din puterea
electrică inițială.
Puterea electrică însumează practic puterea mecanică utilă şi toate celelalte pierderi specifice
motorului piezoelectric, pierderile în materialul dielectric, pierderile în contact şi pierderile prin
frecare. Mișcarea nu poate fi realizată fără forța utilă combinată cu forța de frecare prezentă în
regiunea contactului mecanic. Forțele de frecare sunt necesare transferului de putere mecanică,
dar ele trebuie optimizate pentru ca motorul piezoelectric să funcționeze cât mai eficient.
Capitolul 9 cuprinde trei scheme electronice distincte de acţionare a motorului piezoelectric.
Prima schemă foloseşte un circuit oscilant LC cu bobină reglabilă, activat de un eclator la o
anumită amplitudine a tensiunii de alimentare. Capacitorul C este reprezentat chiar de convertorul
piezoceramic, iar bobina cu miez variabil este utilizată în reglarea frecvenţei până în punctul de
rezonanţă. Este cea mai simplă schemă de acţionare putând fi adaptată şi pentru un sistem de
transmisie wireless a puterii.
Următoarea schemă a fost construită în conformitate cu schema bloc iniţială, compusă din partea
de generare a semnalului de frecvenţă variabilă, primul etaj de putere de amplificare şi reglare a
tensiunii şi cel de-al doilea etaj de putere pentru amplificarea tensiunii.
Generatorul de frecvenţă variabilă este constituit dintr-un oscilator LM555 ce furnizează la ieşire
impulsuri dreptunghiulare de 2 Hz cu factorul de umplere ½ şi un oscilator TL494 ce furnizează
la ieşire impulsurile de frecvenţă variabilă.
Etajul de reglare al tensiunii conţine mai multe porţi logice ce au rolul de a reforma şi a defaza cu
90 de grade cele două semnale dreptunghiulare. La ieşire se pune un amplificator derivativ cu
rolul de a transforma semnalul dreptunghiular într-o undă cvasisinusoidală.
Partea finală a schemei o reprezintă etajul de amplificare realizat cu un tranzistor
MOSFET şi un transformator ridicător cu raportul aproximativ 4. Dacă în primar avem o tensiune
de 12 V, rezultă o tensiune la ieşire de 50 V.
A treia schemă este alcătuită dintr-un generator de semnal şi un booster. Boosterul este
alimentat de la o sursă diferenţială a câte 24 V şi o punte cu două amplificatoare TDA7294.
În capitolul 10 se descriu mai multe tipuri de materiale cu caracter piezoelectric. În cazul
motorului, materialul piezoceramic folosit este prescurtat PZT-5, prescurtarea vine de la formula
chimică Pb(ZrTi)O3. Polarizarea electrică se realizează prin deplasarea ionilor de Pb, Ti sau Zr
din centrul structurii cristaline de oxigen. Convertorul piezoelectric tubular poate fi realizat și din
alte materiale, cum ar fi structuri tubulare din fibre de colagen. O astfel de structură tubulară este
regăsită și în natură, osul haversian. O structură de motor piezoelectric se poate concepe și din
mai multe membrane polimerice, compoziția lor și rezultatele remarcabile obținute sunt
prezentate pe larg în cadrul capitolului 10. Comparativ cu materialul ceramic PZT-5, membranele
experimentate sunt elastice, fiind ușor de manipulat și prelucrat. Deplasările și răspunsurile la
impulsuri de tensiune au fost determinate tot cu ajutorul interferometrului liniar, ele sunt
comparabile cu cele obținute de o pastilă piezoceramică de dimensiuni asemănătoare.
Ca exemplu ar fi membrana polimerică 5H dopată cu pirită pentru care la numai 10 V
rezultă deplasări de 0.3  0.4 m . Membranele de colagen au dezavantajul unui răspuns lent în
frecvență, dar amplitudinea deplasărilor la tensiuni de 50 V atinge pragul de 1.4 m . Capitolul
11 vine în plus cu noi modele experimentale de motoare piezoelectrice şi diverse teste realizate
pe acestea.
13. Concluzii

157
• Micromotorul piezoelectric rotativ, conceput și brevetat de autor, prezintă o construcție
simplă, fiind realizat dintr-un convertor piezoceramic tubular circular. Un avantaj al
construcției constă în faptul că rotorul tronconic se obține prin prelucrări mecanice uzuale,
fiind montat în contact direct cu suprafaţa interioară a cilindrului piezoelectric. (Cap. 2)
• O funcționare îmbunătățită a motorului s-a obținut prin stabilirea unui punct optim
corespunzător unei forțe axiale de 12 N şi vitezei maxime de rotaţie de 9 rpm. S-a constatat că
variaţia forţei axiale care determină în mod direct modificarea presiunii în contactul mecanic
dintre stator şi rotor determină şi modificarea vitezei unghiulare după o caracteristică
asemănătoare dependenței vitezei funcţie de frecvenţă. Valoarea maximă a vitezei de rotaţie
se atinge în punctul de rezonanţă şi scade apoi rapid până la oprirea rotorului în afara zonei
rezonanţei. (Cap. 3)
Față de motoarele piezoelectrice Squiggle de gabarit apropiat și geometrie similară (SQ 100,
[29]), caracteristici superioare s-au obținut pentru motorul MPR33, cu dimensiunea de 33x20
mm. Acestea sunt următoarele: un cuplu de 3 cNm și o forță axială de maximum 14 N,
comparativ cu o solicitare maximă de 5 N specificată în catalogul modelului SQ 100.
Micromotorul MPR33 dezvoltă un cuplu apropiat de cel al unui motor pas cu pas cu un
consum de până la 5 W și de dimensiuni asemănătoare, deşi puterea totală consumată de la
rețea este de numai 0.2 W. (Cap. 3). La o forţă axială de 400 gf frecvenţa de rezonanţă este
32800 Hz, dacă forţa axială creşte la 600 gf frecvenţa scade cu 100 Hz. Motorul piezoceramic
rotativ (modelul MPR33) are o caracteristică mecanică flexibilă, permițând reglarea vitezei pe
tot intervalul, între 0 și 10 rpm.
• A fost completat şi eficientizat modelul matematic al motorului piezoelectric rotativ în regim
electrocinetic staţionar folosind un algoritm de calcul ce pleacă de la geometria elementului
piezoceramic și de la ipoteza presiunii uniforme pe suprafața de contact dintre stator și rotor.
Astfel au fost calculate tensiunile mecanice interne din ecuațiile diferențiale ale teoriei
elasticității şi a fost elaborată o analiză tridimensională în coordonate cilindrice din ecuațiile
piezoelectricității exprimate sub formă matriceală. (Cap. 4)
• Pentru validarea modelului matematic al motorului în regim oscilatoriu (implicit şi regimul
electrocinetic staţionar adoptat) s-a calculat şi s-a măsurat viteza unghiulară a undei statorice.
Rezultatele obţinute sunt: 8.3 rpm cu modelul analitic și, respectiv, 9 rpm pe modelul
experimental, ceea ce confirmă justeţea modelului propus. (Cap. 5)
• Folosind programul COMSOL s-au efectuat simulări bidimensionale cu simetrie axială pentru
regimuri staţionare, simulări ale căror rezultate sunt în bună concordanță atât cu rezultatele
obținute cu modelul analitic, cât şi cu modelul experimental. Astfel, pentru o forță axială de 1
N, deplasarea radială maximă rezultată este de 0.12 m , iar pentru o forță axială de 14 N
această deplasare crește la 1.63 m . Pentru o forță axială medie de 7 N, modelul analitic
prezice o deplasare radială cu valoarea de 1.12 m , iar din măsurătorile efectuate pe
modelul experimental a rezultat valoarea de 2 m . Din simulare s-a observat că deplasarea
este maximă pe suprafaţa interioară și descrește spre periferie, fapt confirmat și de
caracteristica corespunzătoare determinată cu modelul analitic. (Cap. 5)
• Din simulările 3D în regim dinamic a rezultat faptul că o succesiune de faze (-Sin)(-Cos)(Sin)
(Cos) generează o undă ultrasonică progresivă pe întregul volum al convertorului tubular
piezoceramic, iar pentru o alimentare cu succesiunea (Sin)(Cos)(Sin)(Cos) se obține cel mult
o amplificare a undelor Raleigh de suprafață dar nu o undă progresivă. Amplitudinea maximă
a deplasării apare fie la sectoarele de cerc alimentate cu tensiuni sinusoidale și la defazaje de
90° sau 270°, fie la sectoarele de cerc alimentate cosinusoidal și la defazaje de 0 sau 360°.
Indiferent că defazajul este de 0, 45, 90, 135, 180, 225 270 sau 315 grade, zonele cu deplasare

158
 maximă sunt în primul rând localizate pe “buzele” cilindrului sau la limita de separație între
cele patru sectoare de cerc. (Cap. 5, figurile 5.10, 5.11)
• Deplasările obținute din calcul, de 150 nm (în direcția verticală) și 1.44 μm (în direcția
radială) au fost confirmate experimental prin valori apropiate de 220 nm și, respectiv, 2 μm
(direcția radială). (Cap.4 si 6).
• Identificarea modurilor de rezonanță ale unui motor tip MPR a fost realizată printr-o metodă
bazată pe interferometria laser cu rezoluție de 20 nm în sesizarea deplasărilor şi vibraţiilor.
Astfel, s-a constatat experimental că deplasarea maximă apare în zona de rezonanță și este
neglijabilă în afara ei. (Cap. 6)
• Analiza fenomenului de rezonanță s-a făcut cu ajutorul schemei electromecanice a motorului
piezoelectric. Din caracteristica admitanţă electromecanică echivalentă-frecvenţă, modelată
pe întregul spectru de frecvenţe, a rezultat că:
-frecvenţei de rezonanţă mecanică de 165 kHz îi corespunde admitanţa de 0.658 μΩ -1, pentru
care s-a calculat apoi curentul de 4 mA şi forţa utilă maximă de 13 N.
- viteza unghiulară este de 4 rpm la o forţă axială de 6 N. (Cap. 7)
• Ambele modelări (3D și schema electromecanică) au confirmat rezultatele obținute pe cale
experimentală cu o eroare relativă: 0.28-0.32 % pentru modelul 3D (excepție estimarea
turației care nu ia în calcul pierderile) și, respectiv, 0.7 % pentru schema electromecanică.
(Cap. 4,5,7)
• Cu ajutorul schemei electromecanice echivalente s-a calculat pentru randament valoarea de
15 %, la o putere totală consumată de 0.186 W. Pierderile în dielectric calculate sunt de 15 %
din puterea absorbită de la rețea, iar pierderile mecanice prin frecare sunt de 70 %. (Cap. 8)
• A fost elaborată o schemă electronică pentru reglarea și stabilizarea frecvenței. Această
schemă cuprinde:
-generatorul de frecvenţă variabilă constituit dintr-un oscilator LM555 şi un oscilator TL494;
-etajul de reglare al tensiunii care conţine mai multe porţi logice ce au rolul de a reforma şi a
defaza cu 90 de grade cele două semnale dreptunghiulare; la ieşire este prezent un amplificator
derivativ care transformă semnalul dreptunghiular într-o undă cvasisinusoidală;
-etajul final de amplificare este realizat cu un tranzistor MOSFET şi un transformator
ridicător cu raportul aproximativ 4. (Cap. 9)
• Au fost analizate și alte tipuri de materiale piezoelectrice care au fost utilizate ulterior la
realizarea de noi structuri flexibile de micromotoare și actuatori piezoelectrici liniari sau
rotativi si anume:
- Membrane de colagen de 25x25 mm; pentru acestea s-au obtinut deplasări de 1.4 μm la
tensiuni de 50 V.
- Membrane polimerice dopate cu 20% pirită (5H). Pentru acestea s-au măsurat deplasări între
300 și 400 nm la aplicarea unor tensiuni de cca. 10 V.
-Membrana elastomerică EH6. Pentru această membrană s-au măsurat deplasări de 3 μm la
tensiuni de alimentare de 475 V curent continuu. (Cap. 10)
• În capitolul 11 s-au propus noi structuri de actuatori piezoelectrici și micromotoare:
- O frână piezoelectrică care utilizează doi actuatori piezoelectrici liniari tip stivă. La
aplicarea unui implus de tensiune continuă se generează o microdeplasare de 0.1  0.2 mm
care blochează discul de frână. Puterea maximă a frânei realizate este de 0.4 W.
-S-au realizat și măsurat mai multe tipuri de actuatori liniari cu membrane flexibile de
colagen.

159
 -A fost creat și analizat un motor cu undă ultrasonică staționară ce funcționează pe baza
impulsurilor date de două discuri compozite piezo-metal (subcap. 11.3, fig. 11.9). Pentru acest
tip de micromotor s-a obținut o viteză unghiulară maximă de 160 rpm (cea mai mare viteză
dintre toate modelele experimentale), la un cuplu de 0.02 cNm.
-A fost construit și experimentat un alt prototip de motor piezoelectric (subcap. 11.4, fig.
11.13, 11.14), pentru care s-a propus denumirea „Rombodisc”. Funcționarea acestui
micromotor are la bază producerea undelor progresive eliptice la intersecţia a două discuri de
alamă care constituie suportul elementelor piezoceramice. Turația maximă a rotoarelor sferice
ale motorului „Rombodisc” este de 40 rpm la un cuplu de 0.014 cNm. Motorul „Rombodisc”
poate funcționa și ca motor liniar prin glisarea lui pe o suprafață sau prin cuplarea cu o tijă
metalică ce vine în contact cu ambele rotoare sferice.
• Lucrarea de față se poate continua prin dezvoltarea procedurilor de prelucrare a unor noi
materiale piezoelectrice sau electrostrictive și prin analiza comportării electromecanice a
acestora și anume:
- studiul dopării membranelor polimerice cu aproximativ 20% pulbere fină de pirită
distribuită uniform și complet izolată, fapt care creează o concentrare a câmpului electric în
zonele respective și o modificare a polarizării. Astfel, la tensiuni mici de alimentare (<20V)
noul material poate depăși performanțele actuale ale materialelor piezoceramice curente.
- studiul dopării membranelor polimerice piezoelectrice cu un amestec de oxizi de bariu și
titan în vederea creșterii performanţelor acestora.

Bibliografie

160
[1] L. Eyraud, “Dielectriques solides anisotropes et feroelectricite”, Ed. Gauthier Villars, Paris,
1967

[2] Mircea Ignat, Teza de doctorat “Contributii privind scanarea optica folosind actuatoarele-
senzori ultrasonici pe baza de materiale inteligente”, U.P.B., 2000

[3] George Zărnescu, “Actuator piezoelectric liniar pentru microactionari electrice”, Teza de
disertaţie, U.P.B., Facultatea de inginerie electrică, Catedra Masini si Actionari electrice, 2005

[4] Mircea Ignat, George Zărnescu, Sebastian Soltan, “The Modelling of the Electromechanical
Multilayer Piezoceramic Microactuators”, SCEE 2006, Sinaia, Romania, 17-22 Sept. 2006, pag.
28, Vol. ISBN 978-973-718-520-4

[5] Mircea Ignat, George Zărnescu, “Considerations on the piezoceramic properties to design
the micromotors and microactuators”, Electrotehnica Electronica Automatica (EEA, Editura
Electra), Vol. 54, Nr. 2, Apr.-Iun. 2006, ISSN 1582-5175

[6] I.S. Jeludev, “Cristale Electrice”, Ed. Tehnica, Bucuresti, 1972

[7] K. Spanner, “Survey of the Various Operating Principles of Ultrasonic Piezomotors”, White
Paper for Actuator 2006, PI(Physik Instrumente) http://www.pi.ws, 2006

[8] PiezoMotor Uppsala AB, “Piezo LEGS Data and User Instructions”,
http://www.piezomotor.com , Sweden

[9] Bogdan Ivaşcu, Marius Juganaru, “Motoare cu ultrasunete”, Proiect tehnologii electrofizice,
U.P.B., Facultatea de electronică şi telecomunicaţii, Secţia inginerie fizică, 2004

[10] James B. Dabney, Thomas L. Harman, “Dynamic Properties of Piezoelectric Ultrasonic

Motors for Space Robotics Applications”, ISSO, Annual Report 2003, University of Houston-
Clear Lake, p. 42-45

[11] George Chromely, Brian Moeller, Ilan Sabar, George Zener, Ozgur Eris, “Design of a
Piezoelectric Based Actuator for Power Door Locks”, GM-Delphi, Design Requirement
Document, 25 January, 1997

[12] George Zărnescu, Dr.Eng. Mircea Ignat, “Analysis of piezoceramic plates supplied by a DC
voltage source with application in linear actuation”, The first Workshop of electrical materials
and applications, 21 Sept. 2005, Bucharest, ISBN 973-718-308-8

[13] Mircea Ignat, Ioan Ardelean, George Zărnescu, Sebastian Soltan, “Microactionari
Neconventionale”, Ed. Electra, Bucuresti, 2006, ISBN (13) 978-973-7728-72-2 (973-7728-72-6)

[14] Victor Drobota, “Rezistenta Materialelor”, Ed. Didactica si Pedagogica, Bucuresti, 1982
[15] Hortopan Gh., “Aparate electrice”, Ed. Didactica si Pedagogica, Bucuresti, 1980

161
[16] Mocanu C. I., “Bazele electrotehnicii. Teoria campului electromagnetic”, Ed. Tehnica si
Pedagogica, Bucuresti, 1991

[17] Mircea Ignat, George Zărnescu, Sebastian Soltan, Victor Stoica, “Electromechanical
Microdrives for Robotics using Piezoelectric Microactuators and Micromotors”, SISOM 2006, 17
May 2006

[18] K. Ragulskis, R. Bansevicius, R. Barauskas, G. Kulvietis “Vibromotors for Precision

Microrobots” Hemisphere publishing Corporation, 1988

[19] Yukio Yamamoto, Masami Nirei, Yoshimi Kikuchi “Development of Standing Wave Type
Piezoelectric Motor for Reciprocating Motion” International Aegean conf. on Electrical Machines
and Power Electronics Vol 1/2, 1995, p.225-230

[20] Amos Ullmann, Ilan Fono, “The Piezoelectric Valve-Less Pump Improved Dynamic Model”,
IEEE Journal of Microelectromechanical Systems, Vol. 11, No. 6, Dec. 2002, p. 655-664

[21] M. Ignat, G. Zărnescu, S. Soltan, I. Ardelean, C. Moisescu, “Magneto-mechanic model of

the magnetotactic bacteria. Applications in the microactuator field”, Journal of Optoelectronics
and Advanced Materials(JOAM), Vol. 9, No. 4, April 2007, p. 1169-1171, ISSN: 1454-4164 (ISI)

[22] T. Bourouina, E. Lebrasseur, G. Reyne, A. Debray, H. Fujita, A. Ludwig, E. Quandt, H.

Muro, T. Oki, A. Asaoka, “Integration of Two Degree-of-Freedom Magnetostrictive Actuation
and Piezoresistive Detection: Application to a Two-Dimensional Optical Scanner”, IEEE
JMEMS, Vol. 11, No. 4, Aug. 2002, p. 355-361

[23] Ioan Magheti, Mariana Savu, “Vibratii Mecanice”, Ed. Bren, Bucuresti, 2004

[24] G.L.C.M. de Abreu, J.F. Ribeiro, V. Steffen, “Finite Element Modeling of a Plate with
Localized Piezoelectric Sensors and Actuators”, J. of the Braz. Soc. Of Mech. Sci. & Eng., April-
June 2004, Vol. XXVI, No. 2, p. 117-128

[25] Rudolf Emil Nistor, Roman Chirila, “Unde electromagnetice in medii anizotrope ”, Ed.
Tehnica, Bucuresti, 1999

[26] Mircea Ignat, Gheorghe Amza, Cristinel I. Haraguta, “Actuatori electromecanici

neconventionali I”, Ed. Electra, Bucuresti, 2002

[27] Mircea Ignat, Gabriela Hristea, Gabriela Telipan, “Actuatori electromecanici si senzori
neconventionali II”, Ed. Electra, Bucuresti, 2004
[28] Ueha S., Y. Tomikawa, Kurosawa, N. Nakamura “Ultrasonic motors. Theory and
Applications”, Claredon Press, Oxford, 1993

[29] http://www.newscaletech.com

[30] http://www.shinsei-motor.com

162
[31] N. Bugdayci, D. B. Bogy, F.E. Talke, „Axisymmetric Motion of Radially Polarized
Piezoelectric Cylinders Used in Ink Jet Printing”, IBM Journal Res. Develop., Vol 27, No. 2,
March 1983, pag. 171-180

[32] Alan R. Barnett, Saravanan M. Peelamedu, Rao V. Dukkipati, Nagi G. Naganathan, „Finite
Element Approach to Model and Analyze Piezoelectric Actuators”, JSME International Journal,
Series C, Vol. 44, No. 2, 2001, pag. 476-485

[33] S. Timoshenko, J.N. Goodier, „Theory of Elasticity”, Editura McGraw-Hill Book Company,
1951

[34] Mircea Ignat, George Zărnescu, Lucian Paslaru, “Piezoelectric Micromotor with Coaxial
Cylindrical Convertor”, ACEMP 07 - Electromotion 07 Joint Conference, Bodrum, Turcia, 10-12
Sept. 2007

[35] Mircea Ignat, George Zărnescu, “Comparative Study on The Equivalent Circuit of The
Electric Motor and Traveling Wave Piezoelectric Ultrasonic Motor ”, ICEM 2006,
Chania, Crete Island, Greece, 2-5 Sept. 2006

[36] Nicolae Lobonțiu, Ephrahim Garcia, „Mechanics of Microelectromechanical Systems”,

Editura Springer Science, Kluwer Academic Pulishers, Boston, 2005

[37] Chen Ying, Shi Zhi-fei, “Analysis of a functionally graded piezothermoelastic hollow
cylinder”, Journal of Zhejiang University Science, 2005, 6A, pag. 956-961

[38] Stewart Sherrit, Binu K. Mukherjee, “Characterization of Piezoelectric Materials for

Transducers”, Jet Propulsion Laboratory & Physics Department of Royal Military College of
Canada

[39] Mircea Ignat, George Zărnescu, Sebastian Soltan, Victor Stoica, “Electromechanical
Microdrives for Robotics using Piezoelectric Microactuators and Micromotors”, SISOM 2006, 17
May 2006

[40] Aoyagi M., Hurashima K., Tomikawa Y., „Very high torque ultrasonic motor using
longitudinal and torsional multi-mode rod vibration of large diameter”, Nagoya, Japan,
September 24-26, 1992, p. 821-825

[41] Bai D., Ishii T., Nakamura K., Ueha S., „An ultrasonic motor driven by the phase-velocity
difference between two traveling waves”, Ieee Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics, and
Frequency Control, Vol. 51, No. 6, June 2004, p. 680-685

[42] Changing L., „Study on the traveling wave ultrasonic motor with cylindrical shape stator
using bending vibration mode”, NUAA Masters Thesis in RCUM, February, 2000, 81 pages

[43] Dong S., Wang S., Shen W., Li L., „Frictional noise and noise restraint of the piezoelectric-
ultrasonic motor”, Journal of Intelligent Material Systems and Structures, Vol. 15-June 2004, p.
471-478

163
[44] D. D. Ebenezer, R. Ramesh, “Exact analysis of axially polarized piezoelectric ceramic
cylinders with certain uniform boundary conditions”, Current Science, Vol. 85, No. 8, 25 Oct.
2003

[45] B. Nogarede, E. Piecourt, “Modelisation of a traveling wave piezoelectric motor by

equivalent electromechanical circuit”, Proceeding of International Conference on Electrical
Machines (ICEM 94), Vol. 2, 1994, pp. 128–133

[46] N. El Ghouti, “Hybrid modeling of a traveling wave piezoelectric motor”, Ph.D. dissertation,
Department of Control Engineering, Aalborg University, 2000

[47] Corneliu Hamciuc, Elena Hamciuc, Mircea Ignat, George Zărnescu, “Aromatic Poly(ether
imide)s Containing Nitrile Groups”, High Performance Polymers, Apr 2008, Vol. 0, pp.
0954008308090458v1, ISSN: 0954-0083 (ISI)

[48] Mircea Ignat, George. C. Zărnescu, Sebastian.Soltan, “Theoretical and experimental

aspects about investigations on piezo and electrostrictive nanoactuation with interferometric
microscopes”, Seeing at the Nanoscale VI Exploring the Future of Nanotechnology Using SPM
and Related Techniques (VEECO), Berlin, Germany, July 9-11, 2008

[49] Joseph D. Bronzino, “The Biomedical Engineering Handbook Second Edition”, Vol I, 2000,
Edituri CRC Press LLC, IEEE Press

[50] Joanna Sierpowska, “Electrical and Dielectric Characterization of Trabecular Bone Quality”,
Doctoral dissertation, University of Kupio, 2007

[51] Elena Hamciuc, Corneliu Hamciuc, Maria Cazacu, Mircea Ignat, George Zărnescu,
“Polyimide-polydimethylsiloxane copolymers containing nitrile groups”, European Polymer
Journal 45, 2009, pag. 182-190, ISSN: 0014-3057 (ISI)

[52] C. Henaux, JF. Rouchon, B. Nogarede, “Development of a simplified supply for diphased
piezoelectrics”, EPE 2001, Graz, P1-P4

[53] Y.B. Cohen, X. Bao, W. Grandia, Jet Propulsion Lab., “Rotary Ultrasonic Motors Actuated
By Traveling Flexural Waves”, Proceedings of the Smart Structures and Materials Symposium,
San Diego, March 1998

[54] Yukio Yamamoto, Masami Nirei, Yoshimi Kikuchi “Development of Standing Wave Type
Piezoelectric Motor for Reciprocating Motion”, International Aegean conf. on Electrical
Machines and Power Electronics, Vol 1/2, 1995, p.225-230

[55] Amza G. ,“Ultrasunetele. Aplicaţii active”, Bucureşti, Editura AGIR, 2006, p. 817-833

[56] Amza G., Dănilă B., Constantinescu F., „Sisteme ultraacustice: calcul, proiectare, aplicaţii în
tehnică”, Editura Tehnică, Bucureşti, 1988

164
[57] Moal P. L., Joseph E., Ferniot J., „Mechanical energy transductions in standing wave
ultrasonic motors: Analytical modeling and experimental investagations”, European Journal of
Mechanics A/Solids 19, 2000, p. 849–771

[58] Cazacu M, Ignat M, Racles C, G. Zarnescu, “Polydimethylsiloxane/silica composites

incorporating pyrite powders for actuation elements”, Polymer International, Vol. 58, Nr. 7,
Pag. 745-751, Iul. 2009, ISSN 0959-8103 (ISI)

[59] Cazacu, M., Ignat, M., Vlad, A., Alexandru M., G. Zarnescu, „Heat-cured silicone rubber
incorporating pyrite powders for actuation elements”, Optoelectronics and Advanced Materials-
Rapid Communications, Vol. 4, Nr. 3 , Pag. 349-351, Mar. 2010, ISSN 1842-6573 (ISI)

[60] http://en.wikipedia.org/wiki/Piezoelectric_motor

[61] http://www.newfocus.com/products/documents/literature/OnMoving.pdf

[62] http://electricalandelectronics.org/wp-content/uploads/2008/10/actuator2006

165