2 Depunerea de filme subtiri prin ablatie laser

2.1 Interacia radiaie laser suprafa

2.1.1 Interacia radiaie laser materie; aspecte termice i netermice ale
fotoablaiei
2.1.1.1 Introducere
De la apariia laserilor, numeroase lucrri, att teoretice ct i experimentale au
fost realizate cu scopul de a nele!e fenomenele fizico"c#imice care !u$erneaz
interacia radiaiei laser cu substana.
Interacia la care ne referim i efectele care rezult n urma ei depind de numeroi
parametri, cum sunt natura, caracteristicile fizico"c#imice i starea suprafeei
materialului, fluena, lun!imea de und i durata iradierii%ca parametrii ai fasciculului
laser%precum i natura i presiunea !azului ambiant.
&utem distin!e sc#ematic trei re!iuni de interes'
1( $olumul intei;
2( suprafaa intei caracterizat de o anumit )stare de suprafa) bine determinat;
*( re!iunea situat deasupra suprafeei n care pot exista specii c#imic )acti$e) i+sau n
care poate aprea o plasm.
, problem care inter$ine este faptul c proprietile fizico"c#imice ale celor trei
re!iuni contribuie ntr"un mod foarte interdependent i se modific, n !eneral, foarte
rapid n timpul i dup realizarea interaciei.
-a cum s"a obser$at experimental, fluena de pra! descrete cu creterea
coeficientului de absorbie al intei .creterea coeficientului de absorbie poate fi datorat
descreterii lun!imii de und laser, adu!rii de dopani n materialul intei etc.(.
/oeficientul efecti$ de absorbie se poate scrie'
MF
i D D
N N + + + ( .
0
.2.1(
unde'
"
0
este coeficientul de absorbie al materialului pur, ce depinde liniar de temperatur i
difer semnificati$ pentru solidele cristaline fa de cele amorfe;
-
D
N
D
descrie efectul dopanilor ce absorb lumina laser. N
D
reprezint numrul de atomi
sau de molecule de dopant n unitatea de $olum;
-
i
(N) ia n consideraie sc#imbrile n absorbie cauzate de defectele induse de iradierea
laser i atin!e o $aloare de saturaie dup un anumit numr de pulsuri laser, n funcie de
materialul intei.
"
MF
ia n consideraie procesele de absorbie multifotonic.
Defectele induse de iradierea laser sunt importante pentru comportamentul la
ablaie a materialelor cu banda optic, E
g
, lar! i dac ener!iile fotonilor h1E
g
. 2n acest
caz, prin aplicarea pulsurilor laser succesi$e, numrul de defecte din $olumul iradiat
crete, iar coeficientul de absorbie se amplific. -stfel, fluena de pra! este considerabil
mai mic pentru ablaia multipuls fa de cea monopuls. /u alte cu$inte, pentru fluene
mai mici dect fluena pra! de ablaie, ablaia $a ncepe dup aplicarea unui anumit
numr de pulsuri, atin!ndu"se re!imul staionar dup un numr mai mare de pulsuri
laser.
3aloarea fluenei laser de pra!,
prag
, descrete odat cu descreterea duratei
pulsului laser, , datorit faptului c, n cazul pulsurilor scurte, pierderea de ener!ie n
materialul intei este mai mic. -stfel, $aporizarea materialului se produce ncepnd de la
$alori mai mici ale fluenei de pra!.
4ata de ablaie laser se definete ca fiind fie !rosimea total a stratului ablat prin
aciunea unui puls laser, x .m+puls(, fie ca $iteza medie de ablaie pe puls v
a
=x/
.m+s(, unde reprezint durata pulsului laser.
4ata de ablaie depinde de ener!ia fotonilor, de fluena laser, de aria spotului
focal, de adncimea de difuzie a cldurii i, respecti$, de entalpia de $aporizare a
materialului intei. ,data cu creterea fluenei laser, rata de ablaie crete i scade odat
cu scderea ariei spotului laser. 5ub un pra! de saturaie, rata de ablaie de$ine
independent de dimensiunea spotului. 3iteza speciilor ablate este, n !eneral, de 1 pn
la 10 m+ns i, c#iar dac $om presupune c ablaia ncepe instantaneu, expansiunea
plasmei laser rmne nesemnificati$ pe durata unui puls laser de pico sau femtosecunde.
6cranarea produs de plasma laser este, n acest caz, puternic diminuat. -stfel, sub
aciunea unor pulsuri laser cu durate de pico sau femtosecunde, rata de ablaie de$ine
practic independent de dimensiunile spotului laser.
2nainte de a ncepe studiul propriu"zis al depunerii de filme subiri prin ablaie
laser este util s efectum o recapitulare a noiunilor elementare pri$itoare la interacia
radiaiei laser cu substana, pentru a preciza ipotezele i notaiile aplicate ntr"un astfel de
studiu.
2.1.1.2 &roprieti optice fundamentale ale materialelor
3om aminti cte$a noiuni elementare pri$itoare la interaciunea unei unde
electroma!netice cu substana, necesare nele!erii celor ce $or urma n studiul ntreprins.
/mpul electric al unei unde plane care se propa! ntr"un mediu omo!en i
neabsorbant l putem scrie sub forma'
1
]
1

,
_

t
z
i

2
exp
0
E E
.2.2(
unde z este coordonata n direcia de propa!are; este pulsaia i este lun!imea
de und =(2/)(c/n); n este indicele de refracie al mediului considerat i c este $iteza
luminii n $id.
7luxul de ener!ie transportat de und este dat de'
2
0 0
8 cE n I | H E .2.*(
unde
o
este permiti$itatea electric a $idului.
Distribuia de intensitate n fasciculul cel mai comun utilizat pentru calcule i,
adesea, suficient pentru a descrie n prim aproximaie un fscicul laser, este distribuia
!aussian'
( + exp. ( .
2 2
0
w r I r I .2.9(
unde W talia fasciculului.
2n acest caz, puterea total transportat de fascicul este dat de'
0
2
I w P .2.:(
2ntr"un mediu absorbant, trebuie s nlocuim indicele de refracie precedent, n,
printr"un indice complex n, definit prin'
2
in n n +
.2.;(
/oeficientul de absorbie al materialului este le!at de partea ima!inar a indicelui
de refracie i se exprim astfel'
( + (. + 1 . + 2 + 9 + 2
2 2
!z !I I a n c n a
.2.<(
unde a este lun!imea de absorbie a radiaiei electroma!netice n material, definit ca
acea coordonat z la care modulul cmpului electric scade de " ori. /oeficientul de
absorbie, a, i intensitatea fasciculului n mediu sunt le!ate de coordonata z
corespunztoare prin le!ea =eer >ambert.
( exp. ( 0 . ( . az I z I
.2.?(
4eflecti$itatea # este definit ca raportul dintre intensitatea radiaiei reflectate I
#

la lun!imea de und i intensitatea incident I
0
'
0
+ I I #
#

.2.@(
&entru un fascicul care este incident normal pe suprafaa materialului cu indicele
de refracie n, reflecti$itatea rezult din relaia lui 7resnel ca fiind'
2
1
1
+

n
n
# .2.10(
Densitatea de ener!ie I
$
absorbit la adncimea z fa de suprafaa de inciden
poate fi scris astfel'
(A exp. 1 (B 1 .
0
az # I I
a

.2.11(
I
0
fiind intensitatea fasciculului incident. /oeficienii a i # sunt le!ai de indicele
de refracie complex n al materialului, el nsui dependent de funcia dielecric complex
i de conducti$itatea , prin relaiile'
2 0 #
2
% i % % & % ' i % n + + ) /(
2
2
2
1 1
n n ;
2 1 2
2 n n
.2.12(
i' 2 + ( .
1
2
1
+ n ; 2 + ( .
1
2
2
n
-ceast funcie dielecrtic complex descrie rspunsul materialului supus
interaciei cu o radiaie electroma!netic .considerat de intensitate slab( i se poate
scrie sub forma'
( )

+
(
( (
(
P
(
)


2 2
2
1
.2.1*(
unde
0
2 2
+ * N"
P
,
p
fiind )frec$ena plasmei); )
(
reprezint numrul de electroni
le!ai aflai n starea proprie de oscilaie cu frec$ena
C
;
(
reprezint constantele de
amortizare a micrii electronilor n mediu; N este numrul de electroni din unitatea de
$olum.
2.1.1.* 7enomene ce contribuie la realizarea ablaiei laser
2n cele ce urmeaz $om examina diferitele procese susceptibile s se produc n
timpul iradierii laser a unui material. 5e distin! dou cate!orii de fenomene care, n
!eneral, sunt interdependente i inter$in simultan n mecanismul !lobal de ablare'
fenomene t"r*ic" i fenomene n"-t"r*ic".
Ablaia termic
2n funcie de natura materialui, diferite procese iniiale pot conduce la realizarea
unei ablaii t"r*ic". 5ituaia DEmodelatEE corespunde iradierii unui metal cu radiaie laser
I4. 4eamintim c ti*pii caracteristici !" r"+axar" t"r*ic, ntr"un metal sunt de ordinul
10
"1*
secunde i $ariaz ntre10
"12
secunde i10
";
secunde pentru un ne"metal.
7ie a lun!imea de penetrare a undei electroma!netice n material i th lun!imea
de difuzie termic dup timpul t ,unde '
t#F2.Gt(
1+2
Htilizarea laserilor n pulsuri ale cror durate sunt n domeniul nanosecundelor
poate conduce la dou situaii'
1( th--a. cnd ener!ia ac#iziionat n $olumul de !rosime a este transformat n
cldur care se propa! prin prob conform le!ilor obinuite care !u$erneaz transportul
de cldur ;
2( th//a, cnd ener!ia absorbit n $olumul de !rosime a se disip cu dificultate n
restul materialului i, dac este suficient creterea temperaturii rerzultate, poate conduce
la topirea+e$aporarea materialului coninut n zona de !rosime a. 5e realizeaz astfel
expulzarea de material printr"un proces I termic J, fr ca zona ce nconCoar poriunea
iradiat s fie nclzit sensibil.
Ablaia netermic
7enomenele netermice se deosebesc fa de cele termice prin faptul c procesul
iniial de interacie nu const ntr"un transfer direct de ener!ie ctre electronii de
conducie, urmat de o redistribuire imediat ctre reea. -ceste probleme se ntlnesc n
esen atunci cnd este $orba de materiale ne"metalice' polimeri, semiconductori,
izolatori.
2.2 Epansiunea plasmei
2.2.1 &ana de material ablat i expulzarea de material
2.2.2 Introducere
4ezultatele ce $or fi prezentate n continuare se bazeaz n principal pe studiul
efectuat n Keza de Doctorat a lui =.-n!lerand.
-tunci cnd un fascicul laser de putere suficient de mare iradiaz un material, se
obser$ c o anumit cantitate de material este expulzat pe o direcie perpendicular pe
suprafaa intei. 5e $a forma oLpanL adesea luminoas, deasupra suprafeei materialului.
-cest fenomen poate fi folosit fie pentru prelucrarea materialului considerat, fie pentru
depunerea unui strat din acest material pe un strat plasat paralel de aceast int. 5e
constat c distribuiile n compoziie i !rosime a straturilor depuse .o dependen de tip
c!s
n
cu "n12# aproximati$( sunt foarte diferite de cele obser$ate n cazul metodelor
MclasiceL de e$aporare. -ceste obser$aii rezult att din cauza proceselor speciale de
interacie laser"material ct i a fenomenelor implicate n expansiunea materialului
expulzat.
&rocesele care concur la realizarea ablaiei se clasific n patru etape succesi$e'
1( Interacia radiaiei cu materialul, care conduce la ablaia acestuia.
2( &rimele momente MtriteL de particule expulzate.
*( 6xpansiunea iniial unidimensional .1D( a materialului eCectat i e$entuala interacie
a norului de $apori cu partea final a pulsului de radiaie laser.
9( Destinderea adiabatic tridimensional .*D( a Mnorului de plasmL, care ncepe dup
ncetarea iradierii i expansiunii 1D. -ceast etap Coac un rol determinant, n particular,
asupra e$acurii speciilor eCectate n afara zonei de interacie i asupra creterii de straturi
subiri prin fotoablaie.
2.2.1.2 7ormarea stratului NOHD56O .a doua faz(
5peciile care intr n compoziia $aporilor produi deasupra materialului nu sunt
n $ecintatea imediat a suprafeei materialului n ec#ilibru de translaie .media
$ectorial a $itezei nu este nul (. -cest ec#ilibru nu poate fi atins dect n urma ctor$a
ciocniri, deci pe o distan de cte$a drumuri libere medii. 5tratul a$nd !rosimea
necesar pentru stabilirea ec#ilibrului de tranziie se numete strat Nnudsen.
4eprezentarea sc#ematic a acestui strat este dat n fi!ura 2.1.
Podelarea const n a considera c n $ecintatea suprafeei, particulele care
formeaz $aporii pot fi mprite n trei cate!orii'
" partic0+" !" tip0+ pro$enite direct de la suprafa i a cror $itez 1
x
n direcia
normal la suprafaa satisface' 1
x
>0 .1
2
i1
z
sunt ntre i +(. 2n cazul unui proces
termic de $aporizare, aceste particule $or a$ea pentru funcia de distribuie dup $iteze o
)semi"PaxQellian) )

forma'

)
F
( )

,
_

+ +

3
2
z
2
2
2
x 2 4
3 3
r5 2
1 1 1
r5 2 ep
/

.2.2@(
cu 3
x
R0 i "13
S
, K
s
temperatura suprafeei,
*
6
r .G' constanta lui =oltzmann i m'
masa unei particule(
s
densitatea. 3iteza lor medie dup direcia perpendicular'
2

3
x
*
65 2
1
,
_

.2.*0(
" partic0+"+" !" tip0+ 2. pro$enite din !rupul precedent, dat n urma ctor$a ciocniri .*(
trec mai departe de limita stratului Nnudsen i a cror funcie de distribuie dup $iteze
este o PaxQellian )complet) )
2
n sistemul de referin a centrului de mas care se
deplaseaz cu $iteza 0
6
7
( )
( )
1
1
]
1

+ +


6
z 2 6 x
6 6
r5
1 1 0 1
r5 )
2
exp 2
2 2 2
2
*
2

.2.*1(
" partic0+" car" 3" r"8ntorc +a 9int,. a$nd funcia de distribuie )
2
i 1
x
<0 i care, n
!eneral, sunt presupuse a se recondensa cu un coeficient de condensare .lipire( e!al cu 1.
6le sunt n proporie de n raport cu particulele de tip 2 .$. fi!. 2.1(.
z
S
5trat Nundsen
K
5
x
f
1
f
2
T f
2
$i%. 2.1 4eprezentarea stratului Nundsen
,dat stabilizat stratul Nnudsen, considerm c plasma format este n re!im
n"3ta9ionar pe durata ntre!ului puls laser .densitatea de material expulzat este funcie de
timp(. 6ste necesar s inem cont de acest fapt n ecuaiile #idrodinamice. 5in!# a
presupus, n plus, c temperatura penei este constant n timpul acestei etape' destindere
izoterm nestaionar. Dup ncetarea pulsului laser, nu se mai eCecteaz material din
int; detenta $a fi adiabatic 1D, apoi *D. -ceast a fost studiat de Nools, bazndu"se
pe lucrrile iniiale ale lui DaQson. 4ezultatele experimentale cu pri$ire la ima!inea
plasmei arat c pe durata a *00 pn la :00 ns dup interacia radiaiei cu materialul,
destinderea se face n principal pe direcia perpendicular pe int.
Dup realizarea ablaiei trebuie descompus faza de expansiune a plasmei n dou
etape succesi$e temporal' destinderea 1D pe durata pulsului laser .a *"a faz(, apoi
destinderea 1D i *D adiabatic .a"9 a faz(, ca n fi!ura 2.2.
&rima etapa ' interactia radiatie - doua etapa ' formarea stratului
laser metal Nundsen
- treia etapa ' expansiunea 1 D - patra etapa ' expansiunea * D
$i%. 2.2 /ele 9 etape temporale ale ablatiei laser in $id,
modelarea lui 5in!#
&bser'aie
2n cele ce au fost prezentate s"au fcut dou ipoteze'
" particulele sunt emise la suprafa, printr"un proces de tip termic .funcia de distribuie a
$itezelor fiind presupus semi"PaxQellian (
" particulele sunt emise fr ener!ie intern.