TSS / ETMSS

partea a V-a

Metode de analiza cu ajutorul AFM a

suprafeţelor si interfeţelor
 Imagistica suprafetelor si topografie

Cele mai răspândite tehnici de imagistică a suprafeţelor si de măsurare a

caracteristicilor morfologice ale acesteia
 SPM - Scanning probe microscopy

Diversele forme de SPM:

 Microscopia de forţă atomică (AFM)
Laser
Oglinda

Cantilever
Matrice fotodioda

Proba
Ac
Scanner piezoelectric XYZ

 Suprafața eșantionului este scanată de vârful atașat cantileverului.

 Sistemul este capabil să detecteze și să măsoare forțe de ordinul nN,
folosind detecția asistată optic.
 AFM
1. Modul CONTACT
 Interacțiunea dintre atomii individuali ai varfului-sondă (tip) și cei ai suprafeței
are loc prin forte coulombiene și/sau forţe induse de polarizare.
 Forțele de interactiune considerabile (pot afecta starea fizică a suprafeței).
 Servește pentru caracterizarea morfologica a suprafeței.

2. Modul NON-CONTACT
 Distanta vârf-suprafață este menținută constantă (2-30 nm).
 Sunt implicate doar forțe „individuale“ de interactiune intre UN ATOM din
varful acului (cel mai apropiat de suprafață) si eșantion, ca întreg.
 Forțe coulombiene, magnetostatice, van der Waals (cu 2 - 4 ordine de marime
mai mici decat in cazul tehnicii ¨contact mode¨).

3. Modul REZONANT (TAPPING)

 Este o combinație a celor două moduri precedente.
 Se bazeaza pe amortizarea oscilatiilor și pe modificarea frecvenței proprii de
rezonanță a lamelei cantileverului, în prezenţa unei forţe externe statice, care
apare în condițiile apropierii vârfului de suprafață.
 Se evita apariția efectelor de forfecare sau “gravare” a probei.
 AFM
 În principiu, AFM în mod contact amintește de
principiul de funcţionare a traductorului de tip pick-
up, sau de stylus profilometer.

 AFM incorporeaza o serie de rafinamente ce

permit atingerea rezoluției la scara atomica:
1. Detecția sensibilă la fază (lock-in).
2. Cantilevere sensibile (constantă elastică mică)
3.Vârfuri mult mai ascuțite.
4. Posibilitatea poziționării vârfului în condiții de Dependența de distanța tip –
suprafaţă a intensității și a
înaltă acuratețe spațială. sensului forțelor van der Waals.
5. Utilizarea reacției negative pentru controlul
intensității forței.

Rugozitatea medie a suprafeței: unde:

 1. AFM în mod contact
Topografia suprafeţei
Este tehnica folosită cel mai frecvent. Permite determinarea topografiei
suprafeţei, prin deplasarea vârfului activ pe suprafaţa de studiat.
Există 3 moduri principale de operare:

 Inaltime constantă

O imagine realizata prin modul

contact: strat de TiO2 depus prin
ablație laser
 mod contact/topografie

(b) Forţă constantă

O imagine a suprafetei unui

film de TiO2 obţinut prin
pulverizare magnetron.
 mod contact/topografie

 Error contact mode

O imagine de eroare in cazul

scanării în contact-mode a
suprafeței unui film de TiO2,
depus prin PLD
 1. AFM în mod contact
Imagistica de forţă
 ∆Z Este folosit pentru a scana
suprafețe relativ plate. Operatia este
asigurata intr-un mod mai precis si
mai rapid prin eliminarea buclei de
control automat cu reacție negativă
(feedback). z = const.

Aplicatii:
 fizica polimerilor
 semi-conductorilor
 materialelor compozite.
 mod contact/imagistica de forta
 Lateral force mode
Distinge regiuni cu valori diferite ale
coeficientilor de frecare statică.

Permite obținerea de imagini cu

contururi foarte nete în cazul oricăror
suprafețe.

Poate fi folosită in asociație cu alte

tehnici AFM, pentru o caracterizare
mai completă.

Aplicații:
 tehnologia semi-conductorilor,
 polimeri
 dispozitivelor de stocare în masă,
 detectarea contaminării superficiale,
 nano-tribologie
 mod contact/imagistica de forta

In acest caz se traseaza

caracteristicile forta-distanta, din
care se deduc valorile componentei
verticale ale fortei cu care varful
actioneaza asupra suprafetei, in mod
contact.

Aplicatii in caracterizarea:
 catalizatorilor,
 semiconductorilor,
 polimerilor,
 straturilor subtiri,
 dispozitivelor de stocare a informatiei,
 contaminarii suprafetei.
 1. AFM în mod contact
Imagistica forţei de aderență
Se obțin informatii asupra proprietăților de aderență a suprafeței eșantionului.

Se scaneaza suprafata trasându-se curbele F(d). Se alcatuiește o harta a valorilor

forței corespunzătoare saltului (SNAP BACK).
 1. AFM în mod contact
Modul spreading resistance
Aici se foloseste un tip conductor
pentru a obtine, de exemplu,
concentratia dopanților intr-un
semiconductor.

Este asigurata o valoare relativ

mare a fortei pentru a strapunge
stratul nativ de SiO2

Cantileverul fiind acoperit cu un

strat exterior conductor, se mapeaza
conductivitatea locala a suprafetei.

Se foloseste in mod curent in

asociatie cu o altă metodă
convențională de imagistică AFM.
3. AFM în mod rezonant (tapping mode)

O imagine realizata prin tapping

mode: suprafeta de lucru a unei
matrite pentru fabricarea CD-urilor.
3. AFM in modul rezonant
Imaginea de fază

Măsurătorile se efectueaza, de
obicei, în asociație cu alte
metode conventionale de de
imagistică topologică pentru a
obtine “harți” bidimensionale
ale proprietăților de suprafață,
cum ar fi hărțile compoziției,
aderenței, coeficientului de
frecare sau viscoelasticitatea.

Informatii pretioase pentru o

gama larga de aplicatii:
biologie, magnetism, etc…
Kelvin SPM

În acest caz, între vârf și

eșantion se aplica o diferență
de potențial electric. Se obțin
informații despre distribuția
superficială a potențialului
electric.

Metoda permite localizarea și

identificare cauzelor apariţiei
defectelor din structura unor
dispozitive cu structura multi-
material si multi-strat.
 Microscopia de forță magnetică (MFM)

Folosită în cercetarea
fundamentală și aplicativă,
pentru a obține imaginea de
domenii magnetice în cazul
materialelor fero-magnetice
masive, a straturilor subțiri
fero-magnetice, discurilor si
benzilor magnetice,
magnetilor permanenti si
materialelor magnetice moi.
.