CAPITOLUL 3

ACTUATOARE
3.1. INTRODUCERE
Actuatorii sunt dispozitive care transform o energie oarecare in energie mecanic. Actuatorii electrici
transform variaiile parametilor electrici in variaii ai parametrilor mecanici. Sunt foarte utilizai in orice fel de
acionri mecanice: in industria automobilelor, biomedicina (colposcopul, endoscopul), acionarea panourilor
solare, etc.
. O reprezentare schematic a funciei unui actuator este dat n figura de mai jos

O prim clasificare a actuatoarelor poate lua n considerare dou clase, pornind de la principiul de
funcionare:
Actuatoare clasice / convenionale
Actuatoare speciale.
ntr-o sistematizare a actuatoarelor se consider ca un prim criteriu cel referitor la principiul de interaciune i
creare a micrii

Actuatoarele a cror funcionare se bazeaz pe deformaii liniare sau unghiulare au n componena structural
materiale inteligente (smart materials): materiale piezoelectrice, materiale electrostrictive i magnetostrictive,

materiale reologice, materiale cu memoria formei (sensibile termic), materiale sensibile pH, materiale
electrocromice (i modific proprietile optice funcie de tensiunea aplicat pe materialul electrod) etc.
Componenta fundamental a actuatorului este traductorul. Traductorul a fost definit ca un dispozitiv care
transform energia neelectric n energie electric sau invers. Traductorul a fost definit i ca un dispozitiv care
transform o form de energie n alta: energia cinetic de translaie n energie cinetic de rotaie sau invers. Un
actuator poate fi asimilat cu o nseriere de dou traductoare cu dou porturi: portul de intrare electric i portul de
ieire mecanic .

In general se pot considera dou tipuri de traductoare :

- Traductoare pe baz de caracteristici geometrice n care efectul de cuplaj ntre cele dou forme de energie
intrare i de ieire se bazeaz pe formele geometrice ale elementelor componente. Actuatoarele rezultate din
aceast categorie de traductoare sunt denumite actuatoare geometrice.
- Traductoare pe baz de caracteristici de material n care fenomenul de conversie ntre formele de energie
este direct utilizat pentru dezvoltarea actuatoarelor ca de exemplu actuatoarele piezoelectrice care vor fi studiate
in Capitolul 4
Un actuator magnetic transform o energie electric aplicat la intrare intr-o energie magnetic la
ieirea din sistem. In majoritatea cazurilor blocurile sunt neliniare.Exemple tipice de actuatoare magnetice sunt:
valvele electrohidraulice de la orice sistem in micare (avion, tractor, auto), dispozitivele pentru protezele
medicale (inima, rinichi, ureche artificiale), capetele de poziionare pentru unitile de disc la calculatoare ,
megafoane ., contactoare, chimbatoare si relee pentru transmisia si distribuia energiei electrice .Comparat cu un
actuator magnetic, un senzor magnetic are fluxul de energie invers (energia magnetic de la intrare este
transformat in energia campului magnetic). Exemple tipice de senzori magnetici sunt: senzori de proximitate,
microfoane ,senzori de viteza. In mod similar se pot defini si un actuator electrostatic.

3.2. ACTUATORUL ELECTROSTATIC

3.2.1. CONDENSATORUL DIPORT
Se consider un condensator plan cu o armtur mobil i una fix

unde = 0 r este permitivitatea dielectricului

g
(presupunem aer = 0 ), A este aria armturii i g distanta dintre armturi.
Aplicnd teorema forelor generalizate n cmp electric, fora care se exercit ntre cele dou armturi
este dat de expresia:
Capacitatea condensatorului plan este C

dWe
F =+

dg Q=ct
Pentru Q = cst

We =

plan

sau
U = ct

Q2 Q2 g
Q2
=
i deci F =
2C 2A
2A

Se observ c energia nmagazinat n condensator este funcie de o variabil electric ( Q sarcin

electric) i de o variabil mecanic ( g distana dintre armturi).
Aceast observaie conduce la reprezentarea acestui element printr-un condensator diport:

Elementul de circuit are doua porti: la poarta electrica variabila de efort e1 este tensiunea U si fluxul
f1 este curentul I ; la poarta mecanica variabila de efort e2 este forta F care actioneaza asupra armaturilor si
fluxul f2 este viteza cu care se deplaseaza armatura mobila dg/dt.

3.2.2. ACTUATORUL ELECTROSTATIC

Actuatorul electrostatic elementar este format dintr-un condensator plan cu o armtur fix i una
mobil. Armtura mobil este ataat la un resort fixat de un suport fix. La echilibru fora electrostatic care
acioneaz asupra armturii va fi egal cu fora elastic a resortului.

. Circuitul echivalent conform cu teoria reprezentat la capitolul2 va fi:

se observ c armtura mobil i cu captul resortului execut aceeai deplasare dar n direcii diferite.

Cnd spaiul dintre armturi crete, arcul se strnge, i invers, deci g = - z

Actuator electrostatic comandat n sarcin

Se consider un actuator cu o surs ideal de curent conectat la poarta electric; n acest fel se
comand direct creterea sau scderea sarcinii condensatorului.

Dac se consider c la momentul t = 0 ,

Q = 0 , condensatorul este descrcat, atunci sarcina la un

Q2
t
anumit moment de timp t va fi Q = iin (t ) dt .Fora electric determinat de aceast sarcin este: F =
0
2A
F
respectiv deplasarea captului resortului corespunztoare acestei fore este : z =
k
t
Spaiul dintre armturi g = g 0 g dt unde g 0 este distana iniial dintre armturi.
0

Q2
Deoarece g = z rezult g = g 0 z , respectiv g = g 0
i tensiunea U la poarta electric este
2Ak
Q2
Q( g 0
)
Qg

2
Ak
=
U=
A
A
Cu ct sarcina Q este mai mare cu att resortul este mai strns.
Spaiul dintre armturi se reduce la zero pentru Q calculat din

Q' 2
= kg 0
2 0 A

Actuatorul electrostatic comandat n tensiune

Schema echivalent va fi

Pentru calculul forei care se exercit ntre armturi se aplic teorema forelor generalizate n cmp
AU in2
We
=
electric la tensiune constant F =
U = cst
g
2g 2

n acest caz se observ c tensiunea determin fora care strnge resortul, spaiul dintre armturi se
AU in2
f
modific: g = g 0 z cu z =
i deci g = g 0
k
2kg 2
Se obine o ecuaie de ordinul trei pentru g i deci n acest caz condensatorul cu armtur mobil este
un element neliniar; o dat g calculat rezult sarcina electric Q corespunztoare.
Din expresia lui g se observ uor c exist valori critice pentru U in pentru care sistemul devine
instabil. Rezultanta forei care acioneaz asupra armturii mobile este suma algebric a forei electrice i a celei
mecanice
Frez = Fel + Fmec

AU 2
=
+ k ( g 0 g ) . La echilibru Frez = 0
2g 2

La o mic perturbaie g a poziiei armturii mobile g + g corespunde o variaie Frez . Dac Frez
este pozitiv pentru un g pozitiv atunci g este un punct de echilibru nestabil
Frez =

Frez
AV 2
g = ( 3 k )g
g
g

Pentru ca g s fie o soluie de echilibru stabil trebuie ca s avem k >

AU 2

g3
Este evident c elementul de circuit esenial care descrie componenta unui actuator electrostatic este
condensatorul diport. Pentru descrierea comportrii ntregului dispozitiv mai trebuie adugate si alte elemente:
la poarta mecanic masa armturii mobile i un amortizor (descrie forele care apar din viscozitatea mediului n
care se mic armtura) si la poarta electric rezistenta interna a sursei

Se scriu ecuaiile date de teorema a II-a a lui Kirchhoff pentru cele dou bucle

1
Qg
Q2
i = Q = (U in
) si
+ b g+ m g+ k(g g0 ) = 0
R
A
2A

Dac se aleg drept variabile de stare : x = Q, x = g si x3 = g

2
1
se obine sistemul de ecuaii de stare al sistemului:

x1 =

x x
1
(U in 1 2 )
R
A

=x

x3 =

1 x12
(
+ k ( x 2 g 0 ) + bx3 )
m 2A

De completat

3.2.3. EXEMPLE

1.

Se considera urmatorul actuator electrostatic

In spatiul d dintre cele doua armaturi plane de arie A , materialul dielectric de permitivitate r
se poate misca lateral fiind sustinut de un arc cu constanta de elasticitate k.
Se formeaza doua condensatoare legate in paralel,

Ca cu dielectric aer si Cd cu dielectric

cu r.

Energia electrostatica acumulata in campul creat intre armaturi va fi :

In cazul unui condensator controlat in tensiune forta electrica este:

Rezultanta forei care acioneaz asupra materialului dielectric mobil este suma algebric a
forei electrice i a celei mecanice :

Deoarece k <0 sistemul este stabil si nu exista fenomen de respingere. La echilibru forta
electrica va fie gala cu cea mecanica si se obtine:

Circuitul echivalent obtinut cu elemente concentrate de circuit este cel din figura de mai jos:

Aplicand teorema a doua a lui Kirchhoff in bucla din dreapta se obtine:

Daca se aplica transformata Laplace se obtine :

Pentru un semnal la intrare constant u(t) = U , transformata Laplace a fortei F(t) va fi :

Respectiv

Exemplu numeric
Pentru U=10 V, L=500m, W=500m, r =40, k=1N/m si d=100 m se obtin urmatoarele
valori

2. Condensatorul MEMS este o structura micro-mecanica care, n functie de implementare,

si poate modifica distanta dintre armaturi sau aria lor comuna, realiznd astfel modificarea
capacitatii electrice Miscarea mecanica propriu-zisa este asigurata de aplicarea unei tensiuni
electrice continue, care creeaza un cmp electrostatic ce exercita o forta asupra armaturilor si
modifica astfel pozitia acestora. Armaturile pot avea o geometrie complexa, interdigitata (n
scopul maririi capacitatii electrice) si sunt suspendate de micro-arcuri.
Condensatorul pieptene
Se considera un sistem format dintr-o armatura fixa si o armatura mobila dupa directia x. Pe
portiunea comuna a celor doua armaturi se formeaza un condensator.

Capacitatea condensatorului este :

Cu energia

Forta electrostatica care se exercita asupra armaturii mobile este direct proportionala cu
patratul tensiunii aplicate si invers proportionala cu distanta g dintre armaturi, dar este
independenta de x , deci forta care se exercita in directia miscarii este constanta:

S-a aratat ca un punct de echilibru este instabil daca in prezenta unei perturbatii forta
rezultanta nu actioneaza pentru a reveni la pozitia de echilibru. In cazul unui punct stabil
variatia fortei rezultante trebuie sa fie de semn opus cu perturbatia , ceea ce este cazul
exemplului dat. Deci acest sistem este intotdeauna stabil.

La o variatie a lui x cu x
Variatia fortei rezultante va fi :

In figura de mai jos este un condensator pieptene

Asigurarea stabilitatii laterale a acestui tip de condensator se asigura cu ajutorul unui arc
suplimentar montat dupa directia y

Pentru calculul fortei rezultante dupa directia y se face un calcul similar cu cel al fortei dupa
directia x :

Din expresia tensunii critice se observa ca pentru a mari stabilitatea laterala a sistemului
raportul ky /kx trebuie sa fie mare. Stabilitatea laterala devine critica pentru condensatoarele
piepten cu g mic ( dar forta electrica este mare si deci se pot obtine frecvente de rezonanta
mari) Aceasta contradictie se rezolva printr-o tehnologie destul de costisitoare : obtinerea
unor spatii intre electrozi si a dintilor-armaturi de ordinul submicronilor
litografiere scumpa, optimizarea proiectarii microarcurilor etc
Functionarea unei structuri interdigitale este prezentata in figura de mai jos

necesita o

In figura de mai jos este prezentat un condensator de tip pieptene triunghiular (structura
interdigitala )

Forta rezultanta in directia x este :

La perturbatii mici x variatia fortei rezultante este :

Sistemul va fi stabil atunci cand

Un sistem rezonant este astfel construit nct prezinta fenomenul de rezonanta la o frecventa
data. La rezonanta are loc raspunsul (mecanic sau electric) maxim. Prin utilizarea unei
structuri interdigitale se poate construi un rezonator microelectromecanic ( vibratii)

In continuare sunt prezentate doua aplicatii tehnice care contin microrezonatoare mecanice.

In tabelul de mai sus este data o schema de fabricatie a unui actuator cu condensator de tip
pieptene ( preluata dintr-un curs de MEMS de la University of California, Los Angeles)

In figura de mai jos este prezentat un traductor multirezonant care poate fi utilizat la
inlocuirea unui procesor traditional de voce. Traductorul contine o suprafata rezonanta dintrun polimer microprocesat capabil sa descompuna pasiv un sunet in mai multe frecvente fara
sa se mai faca o conversie analog-digitala , toate benzile de frcventa sunt filtrate mecanic in
paralel. Acest dispozitiv fiind foarte simplu, consuma o putere foarte mica si de dimensiuni
mici ( <1cm) poate fi utilizat la implanturi auditive

3.3. ACTUATOARE MAGNETICE

3.3.1. BOBINA DIPORT
Se consider circuitul magnetic de mai jos :

In care: lm este lungimea medie a miezului, g este dimensiunea intrefierului, A aria sectiunii in miez, n
numarul de spire, u tensiunea la bornele infasurarii si i curentul care o parcurge. Miezul feromagnetic se
considera cu >>0 .
Se fac urmatoarele ipoteze simplificatoare:
- inductia magnetic B uniform in seciunea A,
- nu exista dispersie a campului magnetic
- se consider lungimea medie lm a miezului feromagnetic
- caracteristica B(H) este linear
Din teoria circuitelor magnetice rezult fluxul =

0 A

g + 0 lm

(ni ); =

1
(ni )
R

Unde R este reluctana circuitului magnetic. Solenatia ni este tensiunea magnetomotoare in lungul unei
curbe inchise. Din legea induciei electromagnetice rezult c: u = n

d
i deci
dt

1
u
n

Se observ c acest circuit magnetic se poate modela foarte uor cu un girator . Se obtine bobina diport.

Cu acest model se face o legatur direct ntre domeniul electric i domeniul magnetic. Reluctana
circuitului magnetic este definit ca R =
mare cu att fluxul magnetic este mai mic

ni

; se observ c pentru o solenaie ni dat cu ct reluctana este mai

Dac se face analogia cu un sistem mecanic se observ c este cazul unui resort al crui circuit
echivalent este un condensator C mag =

1
=
R

0 A

g + 0 lm

~ 0 A
deoarece 0
g

Din punct de vedere energetic energia nmagazinat n bobin pentru o valoare dat a circuitului este
W=

t i
2

n 2 i 2 C mg
ni
2
=
=
=
2
2
2C mg

Aceast conexiune ntre domeniul electric i cel magnetic prin intermediul unui model cu girator i
condensator este extrem de util n cazul n care exist i o parte mobil n circuitul magnetic.

3.3.2. ACTUATORUL MAGNETIC

n figura de mai jos este prezentat foarte simplificat un actuator magnetic, cu o plac de material
permeabil ( egal cu permeabilitatea miezului) care se mic lateral n spaiul ntrefierului i care este ataat
la un resort.

Fora magnetic la care este supus placa mobil se calculeaz cu teorema forelor generalizate n cmp
Wm
n 2i 2
magnetic Fmg =
i = cst Energia magnetic se calculeaz cu expresia Wm =
unde R este reluctana
x
2R

echivalent a circuitului magnetic asociat dispozitivului cu

x
un factor care indic poziia plcii mobile n
x0

spaiul ntrefierului:

1
=
R

0 A

g + 0 lm

Dac se consider c g << g i c

F=

n 2i 2
2 x0

0 A
0

g +

(1

x
)+
x0

0 A

g + 0 lm

x
x0

lm << g se obine fora care acioneaz asupra plcii mobile.

lm

Se observ c F depinde de ptratul solenaiei ni (tensiune magnetic) i este independent de

coordonata generalizat x.
Acest tip de actuator presupune trei domenii de energie: curentul electric din domeniul electric
stabilete o tensiune magnetic i domeniul magnetic care conduce la o energie magnetic stocat n
condensatorul magnetic diport.

Poarta de ieire a condensatorului diport este n domeniul mecanic fiind conectat la un condensator
mecanic care reprezint resortul
Echilibrul mecanic se obine atunci cnd Fmec = Fmg respectiv kx = Fmg
x=

n 2i 2

2kx0

0 A
0

g +

lm

Ca i n cazul actuatorului electrostatic pentru a obine un model ct mai complet se pot

aduga masa plcuei mobile i un element amortizor n serie cu condensatorul mecanic i o
surs de tensiune cu rezisten n circuitul electric.

3.3.3 EXEMPLU
Se considera urmatorul actuator:

O placuta de siliciu de masa m ,cu aria l 1 x l 2 de grosime d se gaseste in campul magnetic

creat de o pereche de magneti permanenti de inductie B. Placuta este actionata ( o miscare de
torsiune) de forta electromagnetica produsa de bobina cu n spire aflata in campul creat de
magnetii permanenti. Dispozitivul astfel creat se numeste oglinda de torsiune
Ecuatia de miscare este data de :

In care T este cuplul, I este momentul de inertie, C coeficientul de amortizare , unghiul de

rotatie si K este coieficientul de torsiune .
Din teoria fortelor din campul magnetic ( forta Lorenz)cuplul de actionare al acestui actuator
este :

In care n este numarul de spire al bobinei, i(t) curentul din bobina, B inductia magnetica a
campului creat de magnetii permanenti , l1 si l2 sunt dimensiunile bobinei
Daca se iau un considerare toate cele trei domenii ale actuatorului magnetic prezentat se
obtine circuitul echivalent al sistemului in care m este masa placii lui b ii corespunde K din
ecuatia de miscare si lui 1/k ii corespunde momentul de inertie I.

Din teorema a doua lui Kirchoff rezulta ecuatia neliniara de mai jos

Pentru a rezolva aceasta ecuatie nu se poate folosi transformata Laplace.

Din punct de vedere mecanic echilibrul static se obtine atunci cand forta Lorenz este egala cu
forta arcului si d/dt si d 2/dt

sunt nule . Din punct de vedere al teoriei circuitelor

electrice acesta corespunde punctului static de functionare . Functia de transfer data de

raportul dintre marimea de intrare ( curentul i(t) ) si marimea de iesire ( unghiul ) este

Daca se considera variatii mici ale unghiului de actionare fata de o valoare data 0 ( punctul
static de functionare) , sistemul poate fi considerat liniar si atunci elementul diport T(t)
(neliniar) poate fi inlocuit printr-un girator

Cu ecuatia data de:

In continuare calculul este foarte simplu : se calculeaza tensiunea U, apoi viteza unghiulara
prin impartirea cu ngirator .
Aceasta analiza prin liniarizarea in jurul punctului static de functionare este valabila numai la
semnale mici, respectiv la valori foarte mici ale unghiului de rotatie in jurul lui 0 . In cazul in
care uhghiul de rotatie devine mare , ngirator numai este constant , este o functie de unghiul de
rotatie si elementul diport girator devine neliniar.