CAPITOLUL II

PROCESE FIZICE LA ÎNCĂLZIREA ÎN

PLASMĂ

2.1. CARACTERIZAREA PLASMEI

Din cele patru stări – solid, lichid,gaze şi plasmă – sub care se

găseşte materia în univers, aproximativ 99% este sub formă de plasmă.
Din punct de vedere cinetic plasma este un sistem de particule
incărcate (ioni pozitivi, ioni negativi, electroni, atomi neutri aflându-se
într-o cvasineutralitate), cuante de radiaţii şi câmpuri magnetice într-o
continuă interacţiune cu apariţie de fenomene mecanice , termice şi
electrice şi a numeroase procese elementare ca: ionizări, excitări,
recombinări, absorbţii şi emisii de radiaţii.
Particulele pozitive sunt ionii atomici şi moleculari, iar cele
negative sunt electronii şi ionii negativi. Particulele neutre se află în
stare negativă fundamentală.
Din punct de vedere energetic plasma se află la cel mai înalt
nivel faţă de celelalte stări de agregare, energia consumată pentru trecera
materiei în stare de plasmă este mult mai mare decât la trecerea la
celelalte stări de agregare. Între particulele plasmei au loc atât ciocniri
elastice ca în starea gazoasă cât şi ciocniri neelastice când particulele
reacţionează energetic formând ioni pozitivi, electroni şi fotoni ce
caracterizează o stare de ionizare.
Gradul de ionizare al plasmei se exprimă prin raportul α,

ni
 ,
ni  n n
(2.1.)

unde: ni – numărul particulelor ionizate;

 Procese fizice la incălzirea în plasmă
nn – numărul particulelor neutre.
In general plasmele se clasifică după gradul de ionizare (α):
- plasme slab ionizate, α<<1 respectiv nn>>nI;
- plasme ionizate α<1 respectiv nn<nI;
- plasme total ionizate, α=1, respectiv nn=0.
Astfel plasmele formate în gaze rarefiate sunt plasme slab
ionizate, în arcul electric sunt ionizate iar în reacţii nucleare sunt total
ionizate.
Materia în stare de plasmă (ionizată) este influenţată de câmpuri
electrice şi magnetice, astfel încât spaţiul dintre două plăci a
condensatorului se vor deplasa în raport cu sarcina lor şi va apare în
câmp electric, E. Aplicarea unei tensiuni între cei doi electrozi (plăci) va
da naştere unui curent electric. Procesele din plasme sunt complexe şi
greu de pus în evidenţă, ele sunt studiate în laboratoare specializate.

2.1.1.CLASIFICAREA PLASMELOR

Criteriile de clasificare sunt multiple şi au destinaţii diferite. Cea

mai generală clasificare este prezentată ţinând cont de lungimea de
ecranare Debye, de concentraţia putătorilor de sarcină şi de temperatură.
Se mai practică o calsificare a plasmelor pe baza drumului liber
parcurs de purtătorii de sarcină între două ciocniri,λ c, a dimensiunii
caracteristice „l”, a plasmei (de exemplu, lungimea coloanei pozitive de
plasmă ) şi a lungimii Landau. In tabelul de mai jos se prezintă sintetic
variantele posibile.
La un alt procedeu de clasificare a plasmelor, se foloseşte
mecanismul lor energetic, exprimat prin ecuaţia :
+ + + =JiEj (2.2.)
unde:ρ este densitatea de energie termică a plasmei; υi – viteza
medie de deplasare a particulelor ; υ j – viteza de deplasarea a sistemului
de referinţă; t – timpul; ri – coordonata de poziţie; Qi – fluxul de căldură
faţă de viteza medie υi ; Ψij – tensorul total al tensiunilor cinetice; Ji –
densitatea de curent (considerată ca suma a densităţii curentului de
convecţie şi a densităţii curentului de conducţie); E j – câmpul electric
raportat la sistemul de referinţă ce se mişcă cu viteza υj.

2
 CERCETĂRI ÎN DOMENIUL NITRURĂRII IONICE
Primul termen din ecuaţia (2.2.), supranumită şi ecuaţia energiei
reprezintă mărimea variaţiei energiei termice a particulelor cuprinse în
unitatea de volum, ce se deplasează uniform cu viteza medie de masă
υi.Al doilea termen reprezintă energia pe care o transportă în unitatea de
volum mobilă fluxul de particule. Al treilea termen reprezintă variaţia
energiei datorată fluxului de căldură. Al patrulea termen reprezintă
variaţia energiei ca urmare a lucrului mecanic pe care-l efectuează
presiunea pe suprafaţa unitară a volumului mobil.Membrul doi al
ecuaţiei (2.2.) reprezintă căldura Joule
Din punct de vedere energetic prin prisma ecuaţiei (2.2.)
plasmele cu EJ>0 sunt cele cu sursă termică, iar plasmele cu EJ≤0 sunt
aşa numitele „plasme asamblate”, la care electroliţii şi ionii sunt generaţi
separaţi şi apoi asamblaţi in acelaşi recipient.Există, pentru obţinerea
plasmelor fascicule de fotoni, electroni, sau particule grele. Tabloul
general de clasificare a plasmelor după mecanismul lor energetic este
prezentat în tabelul 2.1. Câteva date numericede caracterizare a
plasmelor se prezintă în tabelele 2.2., 2.3.

3
 Procese fizice la incălzirea în plasmă
Tab 2.1.Clasificarea plasmelor după mecanismul lor energetic

Ionizare de suprafata
Sarcini asamblate
Ioni tropaţi
Surse externe Fotoni
Gaz iradiat Particule grele
EJ≤0 Electroni
Flăcări
Energie chimica
Post luminiscente
Surse interne
Curgere
Energie mecanică
Undă de şoc
Corona
Fluctuante Luminiscenţă în curent alternativ
Arc în curent alternativ
Descărcări Scânteia
Tranzitori
polarizate (cuplaj
Arc pulsant
rezistiv)
Cvasistaţionare Arc de înaltă frecvenţă
Luminiscenţă în curent continuu
Staţionare
Arc în curent continuu
Reflexă
Corona
Fluctuante Luminiscenţă în curent alternativ
Arc în curent alternativ
Descărcări Scânteia
polarizate (cuplaj Tranzitorii
Arc pulsant
EJ>0 capacitiv) Cvasistaţionare Arc de înaltă frecvenţă
Luminiscenţă în curent continuu
Staţionare Arc în curent continuu
Reflexă
Descărcare în microunde
Tranzitorii
Descărcări pulsantă
polarizate (cuplaj
Luminiscenţă de înaltă frecvenţă
capacitiv) Cvasistaţionare
Descărcare în microunde
Descărcări inelare în înaltă
Fluctuante
frecvenţă
Descărcări Descărcări inelare pulsante
Tranzitorii
inductive (cuplaj Compresie magnetică
inductiv) Descărcări în microunde
Cvasistaţionare Descărcări inelare în înaltă
frecvenţă

Tab 2.2. Energiile de disociere, rezonanţă si ionizare

4
 CERCETĂRI ÎN DOMENIUL NITRURĂRII IONICE

Energia de
Energia de Energia de
Molecula disociere a
rezonanţă, eV ionizare, eV
moleculei, eV

Br2 1.970 - 12.8

CN 11.108 6,0 14,0

CO - 10,0 14,1

Cl2 2,475 - 13,2

H2 4,476 11,5 15,6

I2 1,54 2,3 9,7

N2 9,756 6,1 15,5

NO 6,487 5,4 9,5

O2 5,08 7,9 12,5

H2O - 7,6 12,6

Produsul presiune
Potenţialul de
Gazul Catodul distanţă anod-
străpungere V
catod torr x m

He Fe 150 0,025

N2 Fe 275 0,0075

O2 Fe 450 0,0070

Aer Fe 330 0,0057

H2 Pt 295 0,0125

Na Ni 335 0,0004

K K 230 0,0033

Cs Ni 360 0,0024

Tab 2.3.Potenţialele minime de străpungere

5
 Procese fizice la incălzirea în plasmă

2.2. PROCESE ELEMENTARE ÎN PLASMĂ

6
 CERCETĂRI ÎN DOMENIUL NITRURĂRII IONICE
Întreţinerea unei plasme presupune un permanent echilibru între
formarea şi dispariţia purtătorilor de sarcină. În cazul plasmei de gaze
rarefiate formată între cei doi electrozi există o interacţiune permanentă
între câmpul electric şi particulele de gaz, aceste procese se numesc de
volum şi de suprafaţă.
Aceste procese rezultate din ciocnirea particulelor între ele şi cu
electrozii se numesc elastice dacă în urma interacţiunii nu se modifică
energia internă a particulelor şi neelastice dacă energia internă cel puţin
a unei particule se modifică.

2.2.1.PROCESE ELEMENTARE ÎN VOLUM

În volumul cuprins între electrozii spaţiului de gaze rarefiate mai

multe tipuri de procese:
a) Ciocnirea elastică electron – atom. Aceasta se produce numai
dacă energia electronului este mai mică decât nivelul cel mai
de jos a atomului ciocnit de electron.

e Ae A (2.3)
Suma energiilor cinetice este aceeaşi înainte şi după ciocnire.
b) Ciocnirea elastică atom-atom.
A B  A B (2.4)

Ecuaţia generală a reacţiei în cazul ciocnirilor elastice între două

particule oarecare este aceeaşi înainte şi după reacţie:

A1 ( E1 )  A2' ( E 2 )  A1 ( E1' )  A2 ( E 2' ) (2.5)

Condiţia este:
E1  E 2  E1'  E 2' (2.6)

unde: E1 , E2 – energiile înainte de ciocnire;

E1’, E2’ – energiile după ciocnire.
c) În cazul ciocnirii inelastice particulele A1 şi A2 suferă
modificări interioare devenind A1' şi A2' ceea ce corespunde

7
 Procese fizice la incălzirea în plasmă

E1  E 2  E1'  E 2'  E (2.7)

d) Excitarea atomilor prin ciocniri electronice. Aceasta este de
asemenea o ciocnire neelastică întrucât energia atomului A s-a modificat
devenind A*.
A  e  A*  e (2.8)

Electronul e prin ciocnire a pierdut energia devenind e.

e) Ionizarea atomilor prin ciocniri electronice.

A  e  A  e  e (2.9)

Atomul A prin ciocnire cu un electron a devenit un ion

pozitiv A+ prin pierderea unui electron.
f) Transferul de excitare. Un atom în stare excitată A * în
prezenţa unui electron poate transfera energia electronului

A*  e  A  e (2.10)
Faţă de (2.6) este de fapt o ciocnire neelastică inversă scăzând
energia atomului, acest proces poate avea loc şi între doi atomi dintre
care unul excitat însă după transfer rezultă o diferenţă de energie.

A*  B  B *  A  E (2.11)

În cazul când avem doi atomi de aceeaşi speţă se poate scrie

A *  h    A  h   h   (2.12)

Acest fenomen stă la baza laserilor.

Au fost prezentate numai procesele mai importante care au loc în
volumul plasmei, în realitate pot exista şi alte fenomene complexe.
2.2.2. PROCESE ELEMENTARE DE SUPRAFAŢĂ

8
 CERCETĂRI ÎN DOMENIUL NITRURĂRII IONICE
La ciocnirea particulelor plasmei cu electrozii sau pereţii incintei
pot avea loc ciocniri elastice sau neelastice care constituie fenomene de
suprafaţă:
a) Împrăştierea elastică sau neelastică a particulelor cu
respectarea consrvării energie şi impulsului.
b) Adsorbţia şi absorbţia cu respectarea legilor difuziei.
c) Pulverizarea atomilor prin expulzarea lor din electrozi sau
ţinte aşezate în calea particulelor accelerate care pot fi ioni
pozitivi, ioni negativi sau particule neutre.
d) Emisia elctronică secundară, constă în extragerea electronilor
din electrozii solizi prin schimbarea lor cu particule
accelerate.
e) Evaporarea, care are loc când electrodul este destul de cald şi
particulele pot părăsi electrodul sub formă de ioni pozitivi,
ioni negativi sau chiar neutri.
f) Emisia termoelectronică, care se produce la temperaturi
ridicate a electrodului care este supus unei diferenţe de
potenţial ce depăşeşte barieara Schottky.
g) Emisia de fotoni se produce la interacţiunea suprafeţei
solidului (electrodului) cu particulele accelerate în câmpul
electric.
h) Ionizarea superficială. Aceasta se produce la cotactul
partculelor excitate cu electrozii producând ionizare pozitivă
sau negativă.
În general fenomenele de la interfaţa plasmă-solid sunt
numeroase şi diversificate. Un rol important îl au emisia
electronică şi bombardamentul cu ioni pozitivi.
Numărul mediu de electroni secundari emişi pentru un
ion incident defineşte coeficientul emisiei secundare.

e
i 
i
(2.13)

unde: Γe – numărul de electroni emişi;

ΓI – numărul de ioni incidenţi.

9
 Procese fizice la incălzirea în plasmă
În mod asemănător se defineşte şi un coeficient al emisiei
secundare prin bombardament de fotoni

e
f  (2.14)
f

unde: Γf – numărul de fotoni.

De asemenea se poate defini şi un coeficient al atomilor neutri
rapizi:

e
n  (2.15)
n

unde: Γa – numărul de neutri rapizi.

Coeficientul global al emisiei secundare a catodului va fi

   i   f   n  ... (2.16)

2.2.3. PRODUCEREA PLASMEI PRIN DESCĂRCĂRI

ELECTRICE ÎN GAZE RAREFIATE

În acest caz străpungerea electrică a gazelor la tensiune ridicată

se produce prin fenomene de ionizări care iniţial au loc prin radiaţia
cosmică sau a pământului. Astfel, între cei doi electrozi va lua naştere un
element electric. Dependenţa dintre factorii care condiţionează procesul
de formare a plasmei se analizează cu dispozitivul din fig2.2.

Fig.2.2 Dispozitivul de analiză a

procesului de formare a plasmei în
gaze rarefiate.

10
 CERCETĂRI ÎN DOMENIUL NITRURĂRII IONICE
Instalaţia este formată dintr-o incintă vidată în care se găsesc doi
electrozi B şi A care formează catodul şi anodul. Electrozii sunt
conectaţi la o sursă de curent continuu E în serie cu o rezistenţă R şi un
ampermetru G, în paralel cu electrozii este montat voltmetrul V.
Cu ajutorul acestei instalaţii se poate trasa o curbă de dependenţă
a tensiunii la bornele electrozilor în raport cu curentul de descărcare.
Această funcţie reprezintă grafic caracteristica volt-amper (curba
Paschen), iar pentru condiţii particulare este reprezentată în fig,2.3.
Din analiza curbei rezultă faptul că aceasta conţine mai multe
domenii: în regiunea A-B la electrozii tubului de descărcare apar curenţi
slabi (10-12 A) sub formă de impulsuri datorită formării întâmplătoare a
sarcinilor electrice în masa gazului. Odată cu creşterea tensiunii se
creează condiţii de aprindere a descărcării la tensiunea V B, tensiune care
păstrează aproximativ constantă pe porţiunea B-C şi care poartă numele
de descărcare Townsend.

Fig.2.3 Curba caracteristică volt-amper pentru

Neon la presiunea de 1 torr într-un tub cu lungimea de
50 cm şi cu electrozi cu secţiunea de 10 cm2.

11
 Procese fizice la incălzirea în plasmă
Pentru valorile mici ale densităţii curentului de descărcare
caracteristice regimului Townsend (porţiunea B-C- a curbei), numărul de
excitări, ionizări şi recombinări este mic, decărcarea este alunecoasă
sarcina spaţială creată de ioni sau electroni în volumul descărcării este
neglijabilă astfel încât câmpul electric este nedeformat fiind identic cu
cel existent înaintea amorsării descărcării electrice.
Până în punctul C descărcarea nu este însoţită de fenomene
luminoase. Pe porţiunea C-D panta descărcării este negativă ceea ce face
ca descărcarea să fie instabilă şi poartă numele de descăcare corona
urmată de porţiunea D-E care este o zonă de trecere către o descărcare
stabilă şi poartă numele de descărcare subnormală.
Porţiunea de curbă E-F corespunde unei descărcări luminiscente
stabile şi poartă numele de descărcare luminiscentă normală.In regimul
normal E-F densitatea de curent j este constantă, iar catodul este
incomplet acoperit de descărcare (acest efect este folosit în mod curent
la tuburile luminiscente de iluminat).
Creşterea curentului are loc pe seama extinderii din suprafaţa
catodului pe care are loc descărcarea.
Regimul anormal incepe atunci când catodul este complet
acoperit de descărcare (punctul F).La o creştere în continuare a
potenţialului aplicat pe electrozi creşte densitatea de curent, implicit
densitatea de energie cedată catodului prin bombardamentul ionilor şi al
atomilor neutri rapizi, respectiv creşte temperatura acestuia. Regimul
anormal (porţiunea F-G a curbei Paschen) este utilizat în nitrurarea
ionică, temperatura piesei catod fiind controlată prin variaţia puterii
electrice disipate în descărcare.
Decărcarea pe porţiunea F-G evoluează rapid în regim de
descărcare luminiscentă anormală, după care pe porţiunea G-H se
declanşează formarea arcului electric. Porţiunea de curbă F-G este
caracteristică proceselor de încălzire în plasme gaze rarefiate (plasmă
rece) şi este caracterizată printr-o stabilitate condiţionată.

2.2.4. STABILIREA PARAMETRILOR DESCĂRCĂRII

ELECTRICE ÎN PLASMĂ DE GAZE RAREFIATE

În cazul descărcării pe porţiunea F-G la o creştere a tensiunii U

are loc o creştere a ionizării gazului şi deci o creştere a curentului.
Rezistenţa R din fig.2.2 serveşte la asigurarea stabilităţii descărcării în
12
 CERCETĂRI ÎN DOMENIUL NITRURĂRII IONICE
cazul scăderii tensiunii. Dacă schematizăm electric dispozitivul din
fig.2.2. vom avea schema alimentării electrice din fig.2.4.
U
U

R
R II
U
S
Us

Fig.2.4. Schema alimentării electrice a incintei de descărcare în

gaze rarefiate
Us – tensiunea sursei; U – tensiunea de descărcare; I – curentul
de descărcare ; R – rezistenţă de stabilizare.

Din schema prezentată rezultă

U s  U  IR (2.17)

Din curba caracteristică de descărcare (Paschen) rezultă pe

porţiunea F-G o dependenţă a tensiunii de curentul de descărcare.

U   (I ) (2.18)

La o variaţie a tensiunii de descărcare vom avea o variaţie a

curentului de descărcare

dU
U   I (2.19)
dI

13
 Procese fizice la incălzirea în plasmă
Sursa de alimentare va reacţiona printr-o tensiune de autoinducţie

d (I )
U s   L (2.20)
dt

În acest caz vom avea

U s  U s  U  U  R( I  I ) (2.21)

Înlocuind valorile ΔUs şi ΔU va rezulta

d (t ) dU
Us  L U  I  R( I  I ) (2.22)
dt dI

Simplificând rezultă

d (I )  dU 
L  R  I (2.23)
dt  dt 
Rezolvând rezultă pentru t=0 şi Δl=Δlo următoarea expresie

1 dU 
 R t
I  I 0  e L dt  (2.24)

Pentru asigurarea stabilităţii trebuie ca odată cu creşterea

timpului Δl să tindă către Δlo, adică

dU
R 0 (2.25.)
dI

dU
Această condiţie este satisfăcută în mod sigur dacă 0,
dI
adică dacă panta caracteristicii Φ(I) este pozitivă, ceea ce corespunde la
o funcţie crescătoare.

14
 CERCETĂRI ÎN DOMENIUL NITRURĂRII IONICE
Având în vedere că funcţia U(I) pe porţiunea F-G este
dU
crescătoare, adică  0 , stabilitatea este asigurată.
dI

2.3. ANALIZA PARAMETRILOR FIZICI AI

DESCĂRCĂRII ELECTRICE ÎN GAZE RAREFIATE ÎN
VEDEREA STABILIRII PROCESULUI DE ÎNCĂLZIRE

Principalii parametrii ai procesului de formare a plasmei sunt

următorii:
- tensiunea de aprindere a plasmei;
- curentul de descărcare;
- presiunea gazului;
- temperatura catodului.
Aceşti parametrii nu sunt independenţi, deci în majoritatea cazurilor
nu se poate aplica principiul suprapunerii efectelor, adică de a studia
separat fiecare parametru în parte.
Tensiunea de aprindere a plasmei (străpungerea electrică a gazelor
rarefiate).
Orice gaz este un izolator perfect dacă nu conţine particule încărcate
electric (ioni şi electroni). Între doi electrozi, datorită ionizării naturale
vor apare sarcini electrice ce vor da naştere unui curent electric la
aplicarea unei diferenţe de potenţial, acest curent amplifică ionizarea
spaţiului astfel că la o anumită tensiune va apare o scânteie care va
descărca electrozii. Această tensiune este numită tensiune de aprindere
(Vs) pentru o distanţă dintre electrozi (d) şi o presiune a gazului (P).

BPd
Vs 
  1  (2.26)
ln A  P  d  ln ln1  
   

Valorile constantelor A şi B pot fi calculate cu ajutorul unor

relaţii.

15
 Procese fizice la incălzirea în plasmă
1 Vi
A şi B  (2.27)
1 1

unde: λ1 – drumul medidu a unei particule la presiunea de p=1

torr;
Vi – potenţialul de ionizare a particulei.
Pentru diferite gaze sunt determinate valorile A şi B conform
tabelului 2.4.

Tabel 2.4

Gaz A[(cm.torr)-1] B [V(cm.torr)-1]

H2 5 130
N2 12 342
Aer 15 365
Ar 14 180

În cele mai multe cazuri potenţialele de aprindere se dau sub

formă de grafice, fig.2.5.

Fig.2.5. Potenţialele de aprindere (Va) pentru

diferite gaze în raport cu produsul pd [torr cm].
p – presiunea; d – distanţa dintre electrozi.

16
 CERCETĂRI ÎN DOMENIUL NITRURĂRII IONICE
2.3.1 Curentul de descărcare.

Dacă în doi electrozi se găseşte o sarcină electrică (q) la

deplasarea ei va lua naştere un curent (I), între curent şi sarcina electrică
va exista relaţia:

 i  dt  q
0
(2.28)

Fenomenele care apar în gazele ionizate la trecerea curentului

electric diferă substanţial faţă de conductorii ohmici (solizi şi lichizi).
Sub influenţa câmpului electric particulele prin ciocnirea lor pot
produce ionizări care modifică rezistenţa electrică. Pentru un curent
suficient de mare descărcarea se menţine fără a mai fi nevoie de
ionizarea exterioară, adică descărcarea devine independentă.
Dacă se notează cu (i0) curenţii slabi cauzaţi de ionizarea de către
câmpurile exterioare şi cu (i) curentul cauzat de către câmpul electric al
electrozilor atunci raportul lor se numeşte factor de amplificare.

i 1
 (e d  1) (2.29)
i0   d

unde: α – coeficient de ionizare;

d – distanţa dintre electrozi.
Acest raport se poate exprima grafic sub forma prezentată în
fig.2.6.

În cazul gazelor moleculare la care electronii se ataşează

moleculelor formând ioni negativi care nu mai contribuie la ionizare
curba are aspectul O D. Pe porţiunea OA viteza de ionizare este
constantă şi se poate extrage coeficientul (α). Odată cu creşterea
distanţei d peste o anumită valoare curentul nu mai depinde de această
distanţă (AB).

17
 Procese fizice la incălzirea în plasmă

Fig.2.6. Dependenţa factorului de amplificare de distanţa d.

2.3.2 Presiunea gazului.

În urma analizei proceselor elementere din plasmă a rezultat că
compoziţia şi presiunea gazului determină atât tensiunea de aprindere cât
şi curentul de descărcare, acest fapt face ca presiunea gazului să fie
analizată numai în legătură cu ceilalţi factori. Presiunea gazului apare
foarte evident în relaţia tensiunii de aprindere a plasmei sub forma
produsului (Pd) care poartă numele de distanţă redusă şi care reprezintă
o constantă în anumite condiţii de descărcare, deci se poate spune că

Vs  f ( P  d ) (2.30)

şi se defineşte ca o lege Paschen sub forma:

Există o tensiune minimă de aprindere a unei descărcări care
depinde de natura gazului, de produsul (P∙d) şi de materialul catodului.
În activitate experimentală se foloseşte noţiunea de câmp electric
E
redus   şi care în anumite condiţii se poate păstra constantă, de
P
 
asemenea se foloseşte şi noţiunea de grad de ionizare redus   . Aceste
P
mărimi sunt legate sub forma:

18
 CERCETĂRI ÎN DOMENIUL NITRURĂRII IONICE

 E
 f  (2.31)
P P

Funcţia de legătură se prezintă sub formă experimentală:

  B  P
 A exp   (2.32)
P  E 

Constantele A şi B sunt prezentate în tabelul 2.4. Aspectul

general al reprezentării grafice a acestei funţii este prezentat în fig.2.7.

Fig.2.7. Aspectul general al funcţie .

Există numeroase grafice experimentale exprimate în aceste

coordonate pentru a putea fi comparate între ele.

2.3.3 Temperatura catodului.

Catodul joacă un rol important în amorsarea şi menţinerea
descărcării întrucât procesele care au loc aici (emisie de electroni şi
captare de ioni) sunt esenţiale. Procesele care au loc la catod sunt
ilustrate prin diagrama parametrilor descărcării, fig.2.8.

19
 Procese fizice la incălzirea în plasmă

Fig.2.8. Căderea catodică Vc şi densitatea de curent în descărcarea

anormală. J=; unde I este intensitatea curentului, iar s este suprafaţa

catodului.

În cazul temperaturilor scăzute ale catodului (până la 600˚C)

condiţiile de descărcare nu se modifică substanţial întrucât termoemisia
catodului nu este hotărâtoare.

2.4. PROCESE ÎN VOLUMUL DE AER

Dacă între piesele (catod) ce se nitrurează şi recipientul (anod) se

aplică o diferenţă de potenţial U cotinuă ( 300 – 1200 V ), la o presiune
scăzută ( 2 – 15 mbar ) a unui amestec de gaze N2 + H2 de exemplu, unii
atomi ( molecule ) vor pierde câte un electron, adică se ionizează, ca
urmare a radiaţiilor ionizate care traversează spaţiul de lucru şi care
provin din radiaţia cosmică sau de la elementele radioactive ale
Pământului sau atmosferei.
20
 CERCETĂRI ÎN DOMENIUL NITRURĂRII IONICE
Rezultă astfel electroni şi ioni pozitivi ce se vor deplasa
accelerat, în câmpul electric existent, spre anod şi respectiv spre catod
( fig.2.9 ), sub acţiunea unor forţe

F = q.E
(perete recipient)

CATOD
ANOD

(piesa)
A A
o +

e- e Aº A+
Unde q este sarcina - particulei (în cazul electronilor q=│e│), iar E
este intensitatea câmpului electric dintre anod şi catod.
Dacă diferenţa de potenţial dintre anod şi catod este suficient de
mare iar presiunea din recipient suficient de scăzută pentru ca electronul
să ajungă, prin accelerarea între două ciocniri succesive, la o energie
cinetică mai mare sau cel puţin egală cu energia de ionizare a atomilor
(moleculelorFig) din
2.9.spaţiul de lucru,
Deplasarea atomiloracesta va dintre
în spaţiul ioniza, la sirândul
anod catod lui, atomul
( molecula ) cu care interacţionează, rezultând astfel un nou ion pozitiv
şi un nou electron ce va fi accelerat spre anod. Deoarece mobilitatea
electronilor este mult mai ridicată decât cea a ionilor, viteza lor de
antrenarea fiind cu cca. două ordine de mărime mai mare decât cea a
ionilor, rezultă posibilitatea unei multiplicări în avalanşă a numărului de
electroni şi ioni pozitivi ( numărul mediu de ionizări efectuate de un
electron pe unitatea de lungime de drum, pe diracţia câmpului electric, se
numeşte coeficient de ionizare α sau coeficient Townsend ).
Concomitent apare însă şi un proces invers, de recombinare, prin
care un ion pozitiv astfel format captează un electron şi devine neutru

21
 Procese fizice la incălzirea în plasmă
iar energia suplimentară a electronului se emite sub formă de radiaţie
electromagnetică, inclusuv în spectrul vizibil:

A+ + e- → A˚ + hυ

În funcţie de presiunea din recipient, tensiunea la care

descărcarea se autoîntreţine prin atingerea regimului staţionar în care
numărul de ionizări este egal cu numărul de recombinări, se numeşte
tensiune de aprindere Ua .
În situaţia în care, între două ciocniri, electronul nu a ajuns la
energia de ionizare a unui atom ( moleculă ) de gaz, are loc doar un
transfer de energie care determină excitarea particulei lovite, energia de
excitare fiind ulterior emisă sub formă de radiaţie electromagnetică.
Un alt proces important este cel de interacţiune cu transfer de
sarcină, determinat de interacţia unui ion pozitiv A+cu un atom
( moleculă ) neutru B0, de aceeaşi sau de altă natură. Ionul A+ poate astfel
să capteze un electron şi să devină neutru, ionul B + deplasându-se
accelerat spre catod:

A + + B0 → A 0 + B+

De asemenea, în volumul de gaze mai au loc, ca urmare a

interacţiilor cu electroni, ioni sau neutri, procese de disociere a
moleculelor NH3, H2, N2 în atomi sau radicali NiHj precum şi procese
inverse, de asociere (clustering).

2.4.1 Amorsarea descărcării luminiscente

Existenţa descărcărilor electrice în gaze implică trei grupe de

fenomene:
1. formarea de purtători de sarcină (electroni şi ioni pozitivi)
2. mişcarea purtătorilor în câmpul electric aplicat
3. neutralizarea purtătorilor de sarcină.

1. Intr-un spaţiu de descărcare are loc în volumul gazului sau la

electrozi. Procesele principale de formare în volum a purtătorilor
de sarcină sunt:

22
 CERCETĂRI ÎN DOMENIUL NITRURĂRII IONICE
 ionizarea prin ciocniri a electronilor care intre două
ciocniri au acumulat energie cinetică suficientă în câmpul
electric dintre electrozi cu atomii neutri
 ionizarea prin ciocniri ale ionilor pozitivi cu energie cu
atomii neutri rezultând un ion lent şi un atom neutru rapid
 ionizarea atomilor neutri de către fotonii emişi de atomii
metastabili (atomii neutri excitaţi prin ciocnire cu
electroni)
Pentru a se putea aprecia cantitativ aceste procese se defineşte
coeficientul de ionizare prin numărul de atomi neutri ionizaţi de către un
purtător de sarcină de-a lungul unui parcurs de un centimetru în gaz.
Se notează cu α-coeficientul de ionizare pentru electroni,
respectiv cu β-coeficientul de ionizare pentru ionii pozitivi. Producerea
de electroni ca efect al bombardamentului de către particulele cu energie
provenite din descărcare (ioni pozitivi, atomi neutri rapizi) se numeste
emisie secundară. Coeficientul de emisie secundară γ se defineşte prin
numărul de electroni emişi din catod proveniţi în urma impactului dintre
acesta şi o particulă cu energie.
2. Mişcarea purtătorilor de sarcină în spaţiul de descărcare este
dependentă de geometria acestuia, de natura şi presiunea gazului
şi de câmpul electric local. Pentru caracterizarea mişcării în câmp
electric se utilizează noţiunea de mobilitate, definită ca fiind
viteza atinsă de electroni şi respectiv ioni în câmpul electric
unitar.
3. Neutralizarea purtătorilor de sarcină sau în volumul de
descărcare prin recombinări de tip ion-electron, ion-ion şi ion-
atom neutru.
In general, într-un spaţiu de descărcare există întotdeauna un
număr iniţial de perechi electroni-ioni rezultate prin ionizări datorate
fondului natural de radiaţii. În drum spre anod energia cinetică a
electronilor creşte pe seama potenţialui aplicat pe electrozi.La valori
egale sau mai mari decât energia de ionizare devin frecvente ionizările
prin ciocniri electron-atom. Electronii secundari rezultaţi din aceste
ciocniri acceleraţi în câmpul electric local vor ioniza la rândul lor gazul
rezultând alţi electroni. Procesul se dezvoltă în avalanşă.

23
 Procese fizice la incălzirea în plasmă

Fig. 2.10 Schema de principiu la descărcarea în gaze ionizate

Considerăm că iniţial din faţa catodului pleacă n 0 electroni/cm2·s

care pe distanţa dx vor forma dn electroni:
dn = α·n·dx
unde n reprezintă numărul de electroni ce traversează planul situat
la distanţa x de catod. Integrând ecuaţia în baza unei condiţii iniţiale x=0
şi n=n0 rezultă:

In urma condiţiilor limită :

şi (2.33)

Numărul de electroni care ating anodul (se deplasează pe distanţa

d) neglijând recombinările în volum se determină cu relaţia:
(2.34)
Numărul electronilor produşi de n0 electroni iniţiali va fi :
(2.35)

24
 CERCETĂRI ÎN DOMENIUL NITRURĂRII IONICE
Numărul de ioni pozitivi va fi acelaşi.
Coeficientul α fiind în general mic, ionii vor contribui la apariţia
de noi purtători de sarcină electrică în special prin emisie secundară
astfel încăt vor rezulta din anod
electroni secundari.
La anod, în urma ionizărilor din interval ajung
electroni.
In acelaşi timp s-au produs şi un număr de
ioni pozitivi.
Din catod vor fi eliberaţi
electroni secundari.
La anod vor ajunge
electroni care pe drum au produs
ioni pozitivi.
Fenomenul continuuă astfel că, plecând de la n 0 electroni iniţiali
s-a ajuns la urmatoarea sumă la anod:
+ + +....................

Relaţia de mai sus este o progresie geometrică cu raţia .

(2.36)

In cazul in care suma progresiei geometrice se

determină cu relaţia:

(2.37)

25
 Procese fizice la incălzirea în plasmă

Densitatea de curent la descărcare este dată cu relaţia:

(2.38)

Dacă la fiecare avalanşă se produc un număr de ioni care la catod

vor da prin emisie secundară un număr de electroni egal cu al
electronilor care au iniţiat avalanşa descărcarea are un regim staţionar.
Condiţia este:
(2.39)
Regimul de descărcare descris se numeşte descărcare Townsend.
În general coeficienţii α şi γ sunt funcţie de câmpul electric şi
presiune:
α = p f1 (E/p); γ = f2 (E/p)
Pentru electrozi plani, la densităţi mici de curent câmpul electric
este E = U/d, unde U = potenţialul aplicat pe electrozi.
Relaţia (2.39) se poate scrie:

(2.40)

unde Ua = potenţialul de amorsare.

Relaţia (2.40) este exprimarea cantitativă a legii lui Paschen de
amorsare a descărcării.

2.4.2 Descărcarea luminiscentă

26
 CERCETĂRI ÎN DOMENIUL NITRURĂRII IONICE
Tensiunea aplicată nu descreşte în mod liniar între peretele
incintei de nitrurare (anodul instalaţiei) şi piesă (catod).Tensiunea
aplicată cade la câţiva milimetri înaintea suprafeţei piesei. Această
cădere catodică de tensiune din vecinătatea suprafeţei catodului este
denumită şi cădere catodică.
Deci toate fenomenele de ionizare ce sunt esenţiale pentru
nitrurarea ionică se limitează la această zonă îngustă de cădere catodică.

Fig.2.11. Schema descărcării luminiscente . Zone de

descărcare şi cădere de potenţial:
S As – spaţiul întunecat Aston
LC – lumină catodică
SC – spatiul întunecos catodic (spaţiul Hittdorf)
LN – lumina negativă
SF - spaţiul întunecos Faraday
Coloana pozitivă
SA - spaţiul întunecos anodic
LA - lumină anodică
dc - lungimea căderii catodice
Mecanismul descărcării luminiscente este urmatorul:
Electroni secundari emisi la energia de 1÷2 eV sunt acceleraţi în
câmpul electric din faţa catodului (zona S As)
In zona LC energia cinetică a electronilor ajunge la valoarea la
care se produce excitarea atomilor neutri întâlniţi.
Energia cinetică a electronilor creşte în continuare iar
probabilitatea de excitare scade (spaţiul întunecat Hittdorf).
Zona luminii negative este cea mai luminoasă în descărcare.
Radiaţiile provin din recombinări şi din excitările de atomi neutri
27
 Procese fizice la incălzirea în plasmă
datorate electronilor primari care, în prealabil, au pierdut o parte din
energie prin procese de ionizare
Grosimea zonei luminii negative se reduce odată cu creşterea
presiunii gazelor.În legătură cu caracteristicile acestei zone trebuie să
menţionam un aspect cu largi implicaţii practice: la o eventuală
apropiere continuă a anodului şi catodului unei descărcări luminiscente
( de exemplu: experimentul, într-un tub din sticlă ) se poate constata că
zonele catodice ale descărcării îşi pastrează practic lungimea şi poziţia
până la apropierea anodului de marginea catodică a luminii negative. De
aceea, la nitrurarea ionică se pot nitrura piese cu o geometrie complexă
sau mai multe piese simultan: datorita intensei căderi de potenţial în
intervalul catod – LN, marginea catodică a luminii negative se comportă
ca un “pseudoanod” ce urmăreşte configuraţia suprafeţei ce se
nitrurează.
Datorită mobilităţii mari a electronilor în zona dinspre catod a
luminii negative există o sarcină spaţială pozitivă care ecranează spaţiul
dinspre anod şi duce practic la mutarea acestuia în zona luminii negative
(zona LN).
Pe distanţa dc se realizează căderea catodică iar pentru o
descărcare normală în atmosferă de azot cu catod de fier această lungime
se determină cu relaţia:
dc = dn = 0,419p-1, în cm (zona EF de pe curba Paschen) unde p
este presiunea din incintă, în torri.
Pentru o descărcare anormală lungimea dc = dan depinde de
curentul de descărcare după legea lui Aston.
, în cm (zona FG)
unde j= densitatea de curent , p = presiune
În regiunea dinspre anod a luminii negative concentraţia
electronilor este relativ mare şi ca urmare, are loc difuzia acestora spre
anod (spaţiul întunecat Faraday).
Căderea de potenţial în zona SF este mică, iar câmpul electric
este slab Totuşi valoarea lui permite accelerarea electronilor ceea ce face
posibilă obţinerea unor energii cinetice suficiente pentru procese de
ionizare şi excitare specifice coloanei pozitive – coloana pozitivă este
luminoasă.

28
 CERCETĂRI ÎN DOMENIUL NITRURĂRII IONICE
Anodul este un colector pasiv de electroni.În anumite condiţii la
anod apare o cădere de potenţial, electronii fiind acceleraţi suplimentar
în această zonă, ionizând şi excitând gazul (zonele SA şi LA).
În concluzie, pentru realizarea descărcării luminiscente într-o
incintă de nitrurare în plasmă între anod(incinta de nitrurare) şi catod
(piesa de nitrurat) trebuie să se asigure o distanţă minimă egală cu
lungimea căderii catodice într-un regim anormal de descărcare (dan).
Experimental s-a determinat că, în regimul descărcării
luminiscente anormale, în atmosferă de amoniac disociat, grosimea
zonei căderii catodice de potenţial poate fi aproximată prin relaţia:
dan ≈ 6,66 / P ( mbar ) ( mm )

2.5. PROCESE LA CATOD

După cum s-a aratat, catodul este supus unui bombardament cu

ioni pozitivi şi atomi neutri rapizi. În funcţie de energia acumulată,
particulele incidente (ioni pozitivi) -i- , pot să producă la catod (fig.2.12)
în mod direct sau indirect – prin intermediul unor atomi primari p,
secundari s sau terţiari tdislocaţi – o suită de efecte dintre care se
menţionează:
Incălzirea (prin determinarea unei puternice stări de vibraţie, cu
amplitudine ridicată, a unor atomi v ), dislocarea interstiţială a unor
atomi din reţea, implantarea unor particule incidente şi pulverizarea
( extragerea ) unor particule de la suprafaţa catodului.
Bombardarea catodului determină de asemenea şi o emisie de
electroni “secundari” (emisie electronica secundară ) ce contribuie la
formarea şi întreţinerea descărcării luminiscente: datorită marii lor
mobilităţi şi a câmpului electric intens, determinat de căderea catodică
de potenţial, electronii de emisie secundară ating, la o mică distanţă de
catod, o energie suficientă pentru a determina excitarea atomilor sau
moleculelor de gaz.
Emisia electronică secundară poate fi provocată fie de ciocnirea
ionilor incidenţi pe catod ( emisie termoelectronică, determinată de
puternice încălziri locale ale suprafeţei catodului ) fie de interacţia
electrostatică dintre ionii pozitivi şi electronii de conducţie de la
suprafaţa acestuia ( emisie de câmp ). În cazul din urmă, atracţia
electrostatică la apropierea unui ion de suprafaţa catodului produce
ieşirea a doi electroni, dintre care unul va neutraliza ionul ( neutralizare
29
 Procese fizice la incălzirea în plasmă
Auger ) iar altul va fi emis ca electron “secundar”. Rezultă deci că toţi
ionii incidenţi ajung de fapt, la catod, în stare neutralizată.

Pulverizare catodică

Fig 2.12.Interacţiunea particulelor incidente i cu atomii retelei

catodului (p, s, t, - atomi de recul primari, secundari şi
respectiv terţiari, v – atomi în stare de vibraţie termică.

Emisia electronică secundară este stimulată şi de fotonii energici,

în general din domeniul ultraviolet, proveniţi din zona luminii negative.
Dintre efectele produse de bombardarea catodului o importanţă
deosebită revine, la nitrurarea ionică, pulverizării (extragerii) catodice
care în esenţă este un proces de emisie de atomi secundari, terţiari dar şi
de ioni sau molecule: o parte din energia particulelor rapide incidente se
transferă atomilor reţelei fie sub formă de căldură ( în punctul de impact
temperatura catodului creşte până la evaporare ) fie sub formă de impuls.

2.5.1 Pulverizarea catodică

Bombardarea catodului de către ionii pozitivi şi atomii neutri

rapizi proveniţi din descărcarea luminiscentă determină pe lângă emisia
de electroni secundari şi smulgerea (emisia) unor atomi şi ioni dintre
constituenţii catodului adică o erodare a suprafeţei catodice.
Pulverizarea catodică poate fi: chimică şi fizică.
1.Pulverizarea catodică chimică: are loc atunci când ionii pozitivi
şi atomii rapizi reacţionează chimic cu materialul catodului.Astfel la
nitrurarea ionică în atmosferă de azot şi hidrogen bombardarea
30
 CERCETĂRI ÎN DOMENIUL NITRURĂRII IONICE
suprafeţelor cu ioni de hidrogen determină formarea în straturilor
superficiale a compuşilor gazoşi de tipul CxHy, care sunt eliberaţi prin
degazare datorită temperaturii ridicate.
Astfel superficial piesa se decarburează şi în poziţiile interstiţiale
ocupate înainte de carbon se fixează azotul
2.Pulverizarea catodică fizică presupune smulgarea de atomi de
pe suprafata catodului datorită lovirii cu particule incidente (ioni,atomi).
Numărul de atomi smulşi de către o particulă incidentă depinde de:
starea suprafeţei catodului (microasperităţile duc la marirea
randamentului smulgerii datorită evaporării termice a acestora).
Deşi particulele evaporate din catod au o energie de minim 10-20
eV, datorită presiunii de lucru de 0,1....10 torr, la nitrurarea
ionică are loc un intens proces de retrodifuzie cu formarea unor
compusi de tipul FeN.
de natura intensităţii şi energiei perticulelor incidente (pragul
energiei la care are loc pulverizarea catodică fizică este de circa
10.....20 eV)
de unghiul de incidenţă a particulelor – incidenţa oblică duce la
o smulgere mai eficientă a particulelor

Fig 2.13 Diferite unghiuri de incidenţă la pulverizare catodică.

Ionii pozitivi lovesc cu o anumită energie cinetică suprafaţa

piesei de tratat penetrând câteva straturi atomice.Se produce un transfer
de impuls către atomii reţelei dezvoltându-se cascade de ciocniri atomice
ce se propagă spre suprafaţă. Energia consumată de către acest proces se

31
 Procese fizice la incălzirea în plasmă
transformă în energie termică şi determină încălzirea directă a
catodului.La suprafaţă se produce efect de sputtering (de smulgerea
atomilor, a compuşilor chimici, etc) cât şi procese de emisie secundară
de electroni.Particulele emise din catod prin efect de sputtering se
caracterizează printr-o anumită energie de emisie.

Atom sau ion cu energie cinetica

SUPRAFATA

Fig 2.14. Pulverizare catodica reprezentare schematică.

Orientativ, se apreciază că adâncimea stratului erodat (pulverizat)

în unitatea de timp la nitrurarea oţelurilor carbon în atmosferă de
amoniac disociat este:

s = ( 1,4 … 1,6 ) μm/h

Datorită distanţei relativ mari între anod şi catod precum şi a

presiunii gazelor din spaţiul de lucru, cea mai mare parte a particulelor
pulverizate revin însă la catodul descărcării.
Pulverizarea catodică produce practic o curăţare a suprafeţei
pieselor supuse nitrurării precum şi o activare a limitelor şi suprafeţelor
grăunţilor superficiali. Pulverizarea poate fi atât de intensă încât
distruge, de exemplu, chiar şi pelicula pasivă de oxizi a oţelurilor
inoxidabile austenitice. Ea influenţează de asemenea formarea stratului
alb şi poate afecta chiar dimensional piesele supuse nitrurării.
Bombardarea catodului prezintă şi un important efect de
degazare a suprafeţelor supuse nitrurării ionice. Pe suprafeţele respective
se menţin, chiar după o atentă curăţare şi vidare a recipientului, vapori
de apă, oxizi, aer, azot şi hidrocarburiiar într-un strat superficial foarte

32
 CERCETĂRI ÎN DOMENIUL NITRURĂRII IONICE
subţire pot fi absorbite gaze ca O2, N2, CO, CO2. Gazele absorbite
superficial vor fi însă eliminate ( degazate ) din volumul de metal în
primele faze ale încălzirii astfel că putem analiza, practic, doar
fenomenele legate de gazele adsorbite.
Atomii adsorbiţi pe suprafeţele catodului difuzează superficial şi
formează pe acestea molecule şi aglomeraţii de molecule ( micropungi
de gaz ) care, la încălzire, se desprind relativ uşor de suprafeţele
respective. Densitatea de molecule a acestor formaţii fiind destul de
ridicată, în microvolumul respectiv procesele de ionizare şi recombinare
determinate de electronii de emisie secundară vor fi mai intense astfel
că, îndeosebi în intervalul de temperaturi 100 - 200˚C, la suprafaţa
pieselor se produc numeroase scintilaţii.
Pentru a fi desorbite, moleculele, respectiv atomii, gazele
adsorbite fizic sau chimic este necesar ca aceştia să aibă o energie Ed de
activare a difuziei, respectiv să aibă o energie superioară energiei Ea de
fixare superficială. Fracţiunea moleculelor care ating această energie la
temperatura T a pieselor este dată de distribuţia Boltzmann astfel:

unde: q=debitul specific al degazării şi reprezintă cantitatea de gaz

adsorbită eliberată într-o secundă în vid de un cm 2 din suprafaţa piesei
[torr/s·cm2]
Ka,Kd = constante ce ţin cont de tipul atomului adsorbit şi de
natura materialului care adsoarbe.
Mărimea energiilor Ed şi Ea depinde de natura gazelor : de
exemplu pentru hidrogen Ed=20 kcal/mol iar pentru oxigen Ed = 130
kcal/mol.
Unele gaze chemisorbite printre care şi oxigenul, practic nu pot fi
desorbite chimic la temperaturi convenabile.In cazul nitrurării ionice
desorbţia este mult mai puternică datorită energiilor mult mai mari
transmise prin bombardament cu ioni şi atomi neutri rapizi, cât şi
datorită degazării chimice prin reducerea oxizilor la bombardarea cu
hidrogen.
Dacă aglomerarea de molecule adsorbite pe catod are un volum
mai mare (cazul pieselor insuficient curăţate ), punga de gaz ce se

33
 Procese fizice la incălzirea în plasmă
desprinde de suprafaţă va fi puternic ionizată de electronii de emisie
secundară, se produce o bruscă reducere a rezistenţei electrice în
volumul respectiv şi deci o creştere a densităţii de putere. Are loc o
descărcare foarte intensă care determină încălzirea locală a suprafeţei
până la temperatură de vaporizare, se produce o puternică emisie
termoelectronică şi se declanşează o descărcare în arc electric cu
producerea unui crater în punctul respectiv. Pentru evitarea distrugerii
piesei este necesară întreruperea automată a tensiunii de alimentare, într-
un timp mai redus decât cel de supraîncăzire locală (de ordinul
milisecundelor ), operaţie care în instalaţiile de nitrurare ionică este
asigurată de un circuit electronic de stingere rapidă sau prin alimentarea
descărcării în curent pulsant de înaltă frecvenţă.

Efectul de catod dublu

Deoarece geometria pieselor supuse nitrurării este foarte variată

poate apărea efectul de catod dublu.
Efectul apare atunci când piesa catod are suprafeţe dispuse faţă în
faţă, la o distanţă astfel încât luminile negative se întâlnesc. În aceste
condiţii electronii acceleraţi în căderea catodică de potenţial din faţa unei
suprafeţe sunt încetiniţi şi retroacceleraţi în căderea catodică a celeilalte
suprafeţe.

e
-

Fig 2.15 Efect de catod dublu

Datorită pendulării în spaţiul dintre cele două suprafeţe lungimea

parcursului electronilor creşte foarte, mult implicit numărul de ionizări.
Fluxul de electroni rezultaţi datorită lovirii electronilor de atomii
neutri este foarte intens.
34
 CERCETĂRI ÎN DOMENIUL NITRURĂRII IONICE
Creşterea concentraţiilor ionilor determină o intensificare a
bombardamentului ionic (la catod) ceea ce face să crească foarte mult
temperatura catodului (câteva sute de grade).
Zona este foarte luminoasă datorită emisiei de fotoni. Densitatea
de curent locală creşte scurtcircuitând practic restul descărcării.
Descărcarea se face astfel predominant în zona catodului dublu aici
apărând fenomene negative precum: decălire până la topire şi trecerea
frecventă în regim de arc electric.
Efectul de catod dublu apare pentru distanţe intercatodice
cuprinse între (2-3)dan (când se intersectează luminile negative).
În cazul în care catodul dublu se formează în cavităţi, efectul este
important dacă adâncimea cavităţii este mai mare decât diametrul
acesteia.
S-a demonstrat experimental că fenomenul de catod dublu poate
fi evitat, de exemplu în cazul unor găuri înfundate cu D = 3 … 10 mm,
dacă
6D  h  12D
iar în cazul unor găuri cu D  10 mm, dacă
12D  h  22D
Găurile străpunse pot fi nitrurate pe o adâncime practic dublă faţă
de cea corespunzătoare găurilor înfundate. Dacă gaura străpunsă are însă
o lungime mare în raport cu diametrul ei, adâncimea stratului nitrurat
scade spre mijlocul găurii şi de aceea, în condiţiile unui diametru
suficient de mare, uniformizarea descărcării ( nitrurării ) se poate asigura
doar prin introducerea coaxială a unei tije cu rol de anod auxiliar.

2.5.3 Tranzitia in regim de arc electric

În general, atunci când catodul emite un număr foarte mare de

electroni sau se creează condiţii favorabile apariţiei acestora prin procese
de ionizare, impedanţa zonei de cădere catodică scade, iar descărcarea
luminiscentă trece în arc electric.
Dată fiind frecvenţa arcului electric, în procesul de nitrurare
ionică, cât şi efectele sale distrugătoare asupra şarjei şi sursei de
alimentare cu energie electrică, condiţiile de apariţie a acestuia trebuie
evitate.

35
 Procese fizice la incălzirea în plasmă
Trecerea în regim de arc electric are loc în momentul în care
catodul , prin bombardamentul ionilor şi atomilor neutri rapizi ajunge la
termoemisie. În general, redresorul care alimentează cu energie electrică
descărcarea dintr-un recipient de nitrurare ionică menţine temperatura
piesei catod la valori mult mai mici decît temperatura de termoemisie.
Datorită faptului că în procesul de degazare apar în fata catodului zone
cu densităţi foarte mari de purtători de sarcină, zone care favorizează
apariţia unor „canale” de impedanţă foarte mică întrega putere este
practic concentrată în aceste zone.
Datorită bombardamentului local foarte intens, temperatura
zonelor menţionate creşte rapid până la termoemisie, ceea ce favorizează
apariţia arcului electric.
Totodată are loc şi o intensificare a degazării, în special prin
desorbţie. Arcul electric poate fi mobil, urmărind din aproape în
aproape, pe suprafaţa piesei, zonele cu o degazare mai intensă.
Calitatea nesatisfăcătoare a piesei catod poate duce la apariţia
arcului electric. Microasperităţile concentrează intens câmpul electric
ceea ce conduce local, la creearea unor zone cu presiune mare, deci cu
ionizare intensă. Se creează astfel condiţii pentru amorsarea arcului
electric.
Pentru a evita efectele arcului electric, redresorul de alimentare
este dotat cu sisteme de protecţie la scurtcircuit.

Fig 2.16. Arc electric

După cum s-a prezentat anterior, nitrurarea ionică are loc în

regimul de descărcare luminiscentă anormală, regim în care se asigură
acoperirea prin descărcare a întregii suprafeţe catodice şi densitatea
curentului poate creşte proporţional cu intensitatea I. În acest regim
mecanismul nitrurării propriu-zise este mult mai complex decât o simplă
36
 CERCETĂRI ÎN DOMENIUL NITRURĂRII IONICE
adsorbţie şi difuzie. Succinta prezentare a fenomenelor fizico-chimice la
catod impune ca probabil un mecanism care să ia în consideraţie
multitudinea de fenomene şi interdependenţa acestora. Astfel, pe de o
parte, în catod pot fi implantaţi atomi neutri rapizi de azot şi ioni
neutralizaţi Auger ( inclusiv ioni moleculari sau neutri rapizi moleculari
N2, NH, N2H, NH2, ş.a. care disociază la impactul cu atomii catodului ).
Pe de altă parte are loc o adsorbţie pe catod a particulelor de Fe şi alte
elemente de aliere pulverizate catodic şi nitrurate înainte de a reveni pe
suprafaţa acestuia. Adsorbţia (difuzia) azotului din aceste combinaţii în
stratul superficial al piesei se produce concomitent şi în bună parte
condiţionat de un alt proces de difuzie, cu sens invers: cel al carbonului,
din interior către suprafaţa decarburată prin bombardamentul catodic.
Se menţionează că cercetările efectuate până în pezent au relevat
rolul determinant al hidrogenului în procesul de nitrurare : în lipsa
acestuia (nitrurare în azot, azot + argon, ş.a.) nu s-a obţinut, practic, o
zona de difuzie ci doar o zonă de combinaţie (stratul alb) saturată cu
azot. Prezenţa hidrogenului la catod este deci necesară deoarece
decarburarea superficială pe care o produce prin pulverizarea chimică
determină difuzia carbonului din interiorul piesei către suprafaţa acesteia
(pentru reechilibrarea parţială a concentraţiilor) şi faciliteaza difuzia
azotului în sens invers, spre interiorul piesei, unde poate substitui
interstiţial şi atomii de carbon difuzaţi.

37

Fig.2.17. Fenomene la nitrurarea ionică.

 Procese fizice la incălzirea în plasmă

Se formează astfel zona de difuzie a stratului nitrurat. Se

menţionează că rolul hidrogenului în procesul de nitrurare ionică este
mult mai vast, acesta lărgind domeniul de valori al mărimilor electrice în
care se poate produce descărcarea luminiscentă anormală şi influenţând
chiar randamentul energetic al procesului

38