Facultatea de Fizica, Chimie si Tehnologia Petrolului Master I

Structura si proprietatile optice ale vidului termic evaporat in pelicule subtiri de Sb O

2 3

Bobrnac Ionela

Structura si proprietatile optice ale vidului termic evaporat in pelicule subtiri de Sb O

2 3

Peliculele subtiri de trioxid de antimoniu au fost pregatite prin tehnica de evaporare termica in vid pe substrat de sticla subtire pastrate la o temperatura de 20 0 C si 200 0 C. Structura straturilor, dimensiunea boabelor, morfologia si rugozitatea suprafetei au fost determinate de difractia razelor X( XDR), microscopie electronica de transmisie (TEM), microscopia electronica de baletaj (SEM) si forta atomica microscopica (AFM). Straturile obtinute (0.8 m ) au fost centrate pe o strucutura policristalina cubica cu constanta structurii a=11.16A. Constantele optice ale filmului au fost derivate de la spectrele de transmisie optica la rangul lungimii de unda 290-1200 nm, folosind metoda Swanepoel. Analiza dependentei spectrale de coeficientul de absobtie , in regiunea de absorbtie intrinseca, indica prezenta unei transmisii optice premise indirect cu banda de energie cuprinse intre 2.75 si 2.85 eV pentru depunerile straturilor la o temperatura de 20 0 C si 200
0

C.

Introducere
Elementele compuse din coloanele V-B (As, Sb, Si) si VI-B (O, S, Se, Te) din tabelul
V B VI B periodic cu formulele chimice M 2 N 3 au, practic, structura cristalina a sulfurii de

atimoniu. Compusii din grupele V-VI ale filmelor subtiri au aplicatii posibile in dispozitivele optoelctronice, dispozitivele fotoelectronice, ventilatoarele termoelectrice, selectivele solare, straturi decorative. Cresterea necesara acestor filme solicita tehnica diverselor depuneri, cum ar fi electrodepunerea, spray de piroliza, evaporarea chimica in baia de alkaline, metoda uscarii profunde, absorbtia succesiva a straturilor ionice si metoda reactiei, metoda microemulsiei, depunerea vaporilor chimici si imprastierea termala. In ultimi ani, au aparut cateva rapoarte experimentale despre proprietatile electrice ale gazelor cu oxid derivate din Sb 2 O 3 . Prezenta trioxidului de antimoniu in sticlele de silicat conduce la comportamente electrice interesante la o temperatura de 300 K. Conductia electrica din aceste sticle la temperaturi sub 300 K arata ca apar ca urmare a trecerii perechilor de electroni in straturile de ioni cu diferite valente, ex: Sb 3+ - Sb 5+ . Adaosul de trioxid de antimoniu la gazul de telerura binara de vanadiu schimba natura, trecand de la nonadiabatic la adiabatic. Ca parte a unui studiu a seriilor compusului omolog de antimoniu cu grupul alementelor din nivelul IV am investigat efectele temperaturii substratului de trioxid de antimoniu si proprietatile structurale si optice ale stratutilor subtiri. Trioxidul de antimoniu are doua modificari cristaline: ortorhombica si cubica. Compusii omologi Sb 2 Se 3 si Sb 2 S 3 au loc numai in forma ortorhombica. Ambele Sb 2 O 3 ies ca materiale naturale: primul sub forma ortorhombica si ultimul sub forma cubica. In aceasta lucrare raportam prepararea straturilor subtiri cubice folosind tehnica evaporarii termale in vid la diferite temperaturi ale substraturilor. Un studiu detaliat ale proprietatilor structurale si optice a fost facut pentru aceste straturi.

Experimental
Straturile subtiri de trioxid de antimoniu au fost depozitate pe substratul ce acopera sticla microscopica de un sistem de evaporare termala in vid folosind ca material de inceput: o pudra policristalina de trioxid de antimoniu cu o puritate de 99.99 %. Temperatura sursei de evaporare a fost mentinuta constant la un punct de topire a trioxidului de antimoniu de 656 0 C. Straturile de trioxid de antimoniu au fost depozitate la temperaturile substraturilor de 20
0

C si 200 0 C la o acuratete de 2%, cu o rata de

depunere de 60A/s, controland curentul filamentului si grosimea finala de 0.8 m . Grosimea straturilor a fost masurata prin metoda interferometrica folosind un microscop MII-4 de tip Linnik. Suprafata microrigozitatii straturilor a fost masurata folosind un microscop Digital Instruments Nanoscope III cu forta atomica. Investigatia microstructurii a fost facuta folosind un difractometru cu raze X si un microscop Philis CM-120 cu transmisie electronica operat la 100 kV cu o rezolutie calibrata de 0.4 nm. Tiparele difractiei razei X au fost inregistrate automat folosind radiatii CuK cu filtru de Ni operat la 32 kV si 22 mA cu o rata de scanare de 0.5 deg/min in suprafata de scanare de 10 pana la 60 grade. Proprietatile optice ale straturilor subtiri de trioxid de antimoniu au fost studiate folosind spectrul de transmisie optinut din spectro-fotometrul cu unda dubla in zona lungimii de unda de la 300 la 1200 nm. Efectul substratului este compensat experimental

prin transmisia optica a subtratului de sticla. Spectrul a fost masurat la temperatura camerei in aer curat.

Rezultate si discutii
Analiza modelelor difractiei razei X si a transmisiei electronice reprezentate in Fig. 1 si respective Fig. 2 pentru monstrele studiate a aratat o dependenta puiternica a caracteristicilor structurale ale straturilor de temperatura substratului. Analiza atenta a modelelor difractiei razei X (Fig. 1) indica natura policristalina a unitatii cubice FCC cu parametrii structurii a=11.16 A care sunt in concordanta cu primele date. Aceasta pare sa fie singura faza prezenta in straturi.

Cristalitele sunt orientate de preferat temperatura substratului a crescut de la 20 0 C

cu planele (222) catre substrat. Cu cat la 200

0

C intensitatea varfului care

corespunde planelor (222) a crescut. La temperatura substratului t s =20 0 C varful mic care corespunde planelor (440) a crescut. Distanta interplanara a structurii policristaline a straturilor de trioxid de antimoniu a fost calculata folosind urmatoarea formula:

d hkl =

L R

(1)

Unde :

= 0.037 A reprezinta lungimea de unda a electronului la 100 kV,

L este lungimea camerei a microscopului cu transmisie de electroni, R este raza inelelor de la modelul difractiei electronului (Fig. 2a si 2b )

Figura 3a si 3b arata scanarea microscopica a electronilor (SEM) a straturilor subtiri de trioxid de antimoniu depozitate la temperatura substraturilor t s =20 0 C si respectiv t s =200
0

C . Rezultatele indica faptul ca bucatile sunt bine distribuite, omogen si fin. Dimensiunea bucatilor calculate din metoda intercept conform formulei

D=

1.5l (2) Nm

Unde : m= marimea microscopului ,

l = lungimea liniei microscopice , N= indica numarul de linie , si 1,5 este un parametru al formei. Dimensiunea medie a bucatilor a scazut de la 92.22 la 48.44 nm, in timp ce temperatura substratului a crescut de la 20 0 C la 200 0 C . Aceasta afirmatie este confirmata de observatii la rezolutie inalta cu termometru cu transmisia electronilor in care diversele tiparuri ale marginii, corespunzand unei orientari diferite a bucatilor arata cu mai mare acuratete extensia fiecarei bucatele.

Concluzii
In acest studiu influenta temperaturii substratului asupra propietatilor structurale si optice ale straturilor de trioxid de antimoniu au fost investigate. Se poate concluziona ca temperatura substratului are o influneta puternica asupra proprietatilor structurale si in acelas timp celor optice ale straturilor de trioxid de antimoniu. Studiile difractiei razei X si transmisia microscopica a electronilor au aratat ca aceste straturi depozitate la temperatura substratului de 20 0 C si 200 0 C au natura policristalina corespunzatoare unei faze FCC cu parametrii structurii a=11.16A. Cu cat temperatura substratului creste, ca atat dimensiunea medie a bucatilor si asprimea ei scad de la 92.22 la 48.44 nm si respectiv de la 44.65 la 34 nm. In acelas timp spatiul optic al benzii care corespunde transmisiei indirecte creste de la 2.75 la 2.85 eV, in timp ce temperatura substratului variaza de la 20 0 C la 200 0 C .