Nitrurile de siliciu (Si3N4) sunt o serie de ceramici de inginerie avansată caracterizate prin

rezistență ridicată, duritate și duritate și stabilitate termică excelentă. Nitrură de siliciu a fost
descoperită la mijlocul secolului al XIX-lea, dar nu s-a acordat ușurinței fabricării, datorită
naturii sale legate covalent.

Tipuri de ceramică cu nitrura de siliciu:

Aceasta a dus inițial la dezvoltarea a două tipuri de nitrură de siliciu:

- nitrură de siliciu legată de reacție (RBSN)

-nitrură de siliciu presată la cald (HPSN).

Ulterior, începând cu anii 1970, s-au dezvoltat alte două tipuri: nitrură de siliciu sinterizat
(SSN), care include sialonele, și nitrură de siliciu legată cu reacție sinterizată (SRBSN).

Proprietati:

Nitrura de siliciu (Si3N4) este o ceramică inginerească foarte importantă, care este disponibilă în
mai multe forme, fiecare având propriile proprietăți unice. Acestea includ rezistența ridicată,
duritatea și duritatea, rezistența excelentă la uzură, rezistența la coroziune la mulți acizi și
alcaline și o rezistență excepțională la șocuri termice. Aceste proprietăți permit azotului de
siliciu, și în special SSN și sialonul, să găsească utilizare în multe aplicații industriale. Pe măsură
ce materialele sunt din ce în ce mai acceptate și utilizate pe scară largă, noi aplicații sunt
descoperite tot timpul.

Sinteza materialului ceramic cu nitrura de siliciu folosind procedeul direct de

nitrare:

1. Materialul de pornire este pulberea de siliciu amorf, cu amoniac si azot ca gaz precursor.

2. Producem pulberea de nitrat de siliciu Si3N4. Materialul ceramic a fost fabricat folosind
metoda de nitrare directă a siliciului. De obicei, praful de siliciu amorf este plasat într-un creuzet
de grafit acoperit cu azot de bor BN cu diametru interior de 100 mm.

3. Apoi, se efectueaza reacția de irigare într-un cuptor cu tub orizontal (GPS de sinterizare a
presiunii gazului, FPW 100 / 150-2200-100-LA, Elatec Inc., SUA) sub debitul gazelor de la 1 la
3 L / min de azot și gazul de amoniac cu presiunea gazelor amestecurilor este crescut de la 0,2 la
1 MPa (temperatura cuprinsă între 1300oC și 1600oC timp de 30 până la 800 min. Ltd).
 Înainte de încălzire, in cuptor a fost introdus un amestec azotat de amoniac-argon, îndepărtand
aerul rămas în tub.

4. Cuptorul a fost apoi încălzit la o rată de rampă de la 10 grade C / min până la 1000 grade C,
iar apoi încălzirea a continuat la 5C / min până la temperatura finală. După temperatura de
predare, probele au fost menținute de la 30 până la 800 min înainte de răcire.

5. După finalizarea procesului de sinterizare, cuptorul a fost răcit la temperatura camerei cu

viteza de răcire de 20 grade C / min. După răcire la temperatura camerei, substraturile au fost
îndepărtate din reactor pentru a determina cantitatea de Si3N4 depus, și pentru alte caracteristici.

6. Compozițiile în faza de pudră de nitrură de siliciu au fost determinate prin difracție de raze X
(XRD; Siemens D500, Germania). Modelul a fost colectat în intervalul de la 10 ° la 90 °.

7. Morfologia materialelor ceramice a fost investigată prin scanarea microscopiei electronice

Parametrii de funcționare au fost de 20 kV pentru accelerarea tensiunii, curentul fasciculului 0,5
nA, durata de viață de 50 s și diametrul fasciculului de 1-2 .m. Conversia lui Si este determinată

de formula: , unde C= conversia procentuala a Si, Sio= cantitatea initiala de

Si, Sic= cantitatea de Si dupa reactive.

Imagini SEM ale materialelor Si3N4 ceramice preparate cu diferite debituri. Se poate observa
din figura cu debitul de gaze de 1 L / min, Si3N4 (în principal faza)) este compus din fibre
dendritice, în timp ce la 2 L / min este compus în cea mai mare parte din fibre curbate cu unele
particule anomale. Cu debitul de 3 L / min, cristalul de Si3N4 compus din fibre drepte
asemănătoare cu o lungime cuprinsă între 5 și 100 μm și diametre de aproximativ 0,3-4 m. Este
evident că complexitatea cristalelor de Si3N4 crește odată cu debitele de gaz.

Imagini SEM pentru Si3N4 formate sub debite diferite: (a) 1 L / min, (b) 2 L / min, (c) 3 L / min
Faza cristalină a temperaturilor de reacție diferite ale Si3N4. Sunt prezentate modelele XRD ale
probelor sinterizate la diferite temperaturi:

Scheme XRD ale materialelor Si3N4 ceramice preparate la diferite temperaturi în amestecuri
de 75 vol% N2-25 vol% Ar cu debit de gaz de 3 L / min și 0,2 Mpa